JP6171545B2

JP6171545B2 - Laser processing smoke cleaning device, laser processing device

Info

Publication number: JP6171545B2
Application number: JP2013099397A
Authority: JP
Inventors: 仁大沼; 貴之川名
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2013-05-09
Filing date: 2013-05-09
Publication date: 2017-08-02
Anticipated expiration: 2033-05-09
Also published as: JP2014217862A

Description

本発明は、レーザ加工により発生する煙を除去するレーザ加工煙清浄装置、レーザ加工装置に関するものである。 The present invention relates to a laser processing smoke cleaning apparatus and a laser processing apparatus that remove smoke generated by laser processing.

従来、シートのレーザ加工時に発生する煙を排煙する装置があった（例えば特許文献１）。
しかし、従来の装置は、排煙機能が不十分であった。このため、煙に含まれる微粒子がレーザ照射ヘッド周辺に付着してしまい、また、この堆積物がレーザ照射ヘッド周辺からシートに落下してしまう可能性があった。 Conventionally, there has been an apparatus for exhausting smoke generated during laser processing of a sheet (for example, Patent Document 1).
However, the conventional apparatus has an insufficient smoke exhausting function. For this reason, fine particles contained in the smoke may adhere to the periphery of the laser irradiation head, and this deposit may fall from the periphery of the laser irradiation head onto the sheet.

特開２００２−１６００８７号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-160087

本発明の課題は、レーザ加工領域時に発生する煙を、加工領域から十分に除去できるレーザ加工煙清浄装置、レーザ加工装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a laser processing smoke cleaning device and a laser processing device that can sufficiently remove smoke generated in a laser processing region from the processing region.

本発明は、以下のような解決手段により、課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。 The present invention solves the problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this. In addition, the configuration described with reference numerals may be improved as appropriate, or at least a part thereof may be replaced with another configuration.

・第１の発明は、加工シート（Ｗ）を送り方向（Ｘ１）に送りレーザ光によって前記加工シートを加工するレーザ加工機（１）に、取り付けられるレーザ加工煙清浄装置（１０，２０，６０，２１０，２２０，２６０）であって、空気を、レーザ加工によって煙（Ｓ１，Ｓ２）が発生する空間（Ａ１，Ａ２）に向けて、送り方向に沿う方向に、かつ、前記加工シートの幅方向（Ｙ）に奥行がある態様で流出する流出部（３０，７０，２３０，２７０）を備えること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第２の発明は、第１の発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記流出部（３０，７０，２３０，２７０）は、空気を、レーザ加工によって煙（Ｓ１，Ｓ２）が発生する空間（Ａ１，Ａ２）よりも広い領域に対して流出すること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第３の発明は、第１又は第２の発明のレーザ加工煙清浄装置において、このレーザ加工煙清浄装置（２０）は、レーザ光を照射するレーザ照射部（３）に取り付けられ、前記レーザ光を通す筒部（２１）を備え、前記流出部（３０）は、空気を、前記筒部の先端よりも加工シート（Ｗ）側の空間（Ａ１）に対して流出すること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第４の発明は、第３の発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記筒部（２１）の外形は、レーザ照射方向に平行であること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第５の発明は、第３又は第４の発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記筒部（２１）の内部に、空気を流出する筒内流出部（４０）を備えること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第６の発明は、第１から第５のいずれかの発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記流出部（３０，７０，２３０，２７０）は、空気を、送り方向の下流側（Ｘ１）に向けて流出すること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。 The first invention is a laser processing smoke cleaning device (10, 20, 60) attached to a laser processing machine (1) for processing a processed sheet (W) in a feed direction (X1) and processing the processed sheet with laser light. , 210, 220, 260) toward the space (A1, A2) in which smoke (S1, S2) is generated by laser processing, in the direction along the feed direction, and the width of the processed sheet It is a laser processing smoke cleaner characterized by providing the outflow part (30,70,230,270) which flows out in the aspect with a depth in a direction (Y).
-2nd invention is the laser processing smoke cleaning apparatus of 1st invention, The said outflow part (30,70,230,270) is the space (where S1 and S2) generate | occur | produces air by laser processing ( It is a laser processing smoke cleaner characterized by flowing out to a wider area than A1, A2).
-3rd invention is the laser processing smoke cleaning apparatus of 1st or 2nd invention, this laser processing smoke cleaning apparatus (20) is attached to the laser irradiation part (3) which irradiates a laser beam, and said laser It comprises a cylindrical part (21) through which light passes, and the outflow part (30) flows out air to the space (A1) on the processed sheet (W) side from the tip of the cylindrical part. It is a laser processing smoke cleaner.
-4th invention is the laser processing smoke cleaning apparatus of 3rd invention, The external shape of the said cylinder part (21) is parallel to a laser irradiation direction, It is a laser processing smoke cleaning apparatus characterized by the above-mentioned.
The fifth invention is characterized in that in the laser processing smoke cleaning device of the third or fourth invention, an in-cylinder outflow part (40) for outflowing air is provided inside the cylinder part (21). It is a laser processing smoke cleaner.
-The sixth invention is the laser processing smoke cleaning apparatus of any one of the first to fifth inventions, wherein the outflow part (30, 70, 230, 270) is air downstream in the feed direction (X1). It is a laser processing smoke cleaning apparatus characterized by flowing out toward the surface.

・第７の発明は、第１から第６のいずれかの発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記流出部（３０，７０，２３０，２７０）の空気の流出先に配置され、前記流出部が流出した空気と煙とを流入する流入部（５０，８０，２５０，２８０）を備えること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第８の発明は、第７の発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記流入部（５０，８０）は、軸方向が送り方向になるように配置された筒の加工シート（Ｗ）側を開口した形状であること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第９の発明は、第７又は第８の発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記レーザ加工機は、前記加工シート（Ｗ）の送り角度を、屈曲部（２ｂ）で変化させるものであり、前記流入部（５２）は、前記屈曲部（２ｂ）で送り角度が変化した前記加工シートの経路にも配置されており、前記屈曲部で送り角度が変化した前記加工シート側も開口していること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。
・第１０の発明は、第７から第８のいずれかの発明のレーザ加工煙清浄装置において、前記流入部（５１）の先端（５１ａ）は、煙が発生する空間（Ａ１）を囲うように形成されていること、を特徴とするレーザ加工煙清浄装置である。 -7th invention is arrange | positioned in the outflow part of the said outflow part (30,70,230,270) in the laser processing smoke cleaning apparatus of any one of 1st to 6th invention, The said outflow part is It is a laser processing smoke cleaner characterized by including the inflow part (50, 80, 250, 280) which flows in the outflowed air and smoke.
-8th invention is the laser processing smoke cleaning apparatus of 7th invention, The said inflow part (50,80) is the processed sheet (W) side of the cylinder arrange | positioned so that an axial direction may turn into a feed direction. It is a laser processing smoke cleaner characterized by having an open shape.
-9th invention is the laser processing smoke cleaning apparatus of 7th or 8th invention, The said laser processing machine changes the feed angle of the said processed sheet (W) by a bending part (2b). The inflow portion (52) is also arranged in the path of the processed sheet whose feed angle has changed at the bent portion (2b), and the processed sheet side whose feed angle has changed at the bent portion is also open. It is the laser processing smoke cleaning apparatus characterized by this.
The tenth aspect of the present invention is the laser-processed smoke cleaning apparatus of any one of the seventh to eighth aspects, wherein the tip (51a) of the inflow portion (51) surrounds a space (A1) where smoke is generated. It is formed, It is a laser processing smoke cleaning apparatus characterized by the above-mentioned.

・第１１の発明は、第１から第１０のいずれかに記載のレーザ加工煙清浄装置（１０，２０，６０，２１０，２２０，２６０）と、加工シート（Ｗ）に対してレーザ光照射してレーザ加工を行うレーザ照射部（３，２０３）と、を備えるレーザ加工装置である。 -11th invention irradiates a laser beam with respect to the laser processing smoke cleaning apparatus (10, 20, 60, 210, 220, 260) in any one of 1st to 10th, and a processing sheet (W). And a laser irradiation unit (3, 203) for performing laser processing.

本発明によれば、レーザ加工領域時に発生する煙を、加工領域から十分に除去できるレーザ加工煙清浄装置、レーザ加工装置を提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a laser processing smoke cleaning device and a laser processing device that can sufficiently remove smoke generated in a laser processing region from the processing region.

第１実施形態のレーザ加工機１を手前側Ｙ１から見た断面図である。It is sectional drawing which looked at the laser beam machine 1 of 1st Embodiment from this side Y1. 第１実施形態のレーザ加工機１の加工用紙Ｗよりも上側Ｚ２の一部を拡大した断面図である。It is sectional drawing which expanded a part of upper side Z2 rather than the process paper W of the laser beam machine 1 of 1st Embodiment. 第１実施形態の清浄装置１０の周辺を、ノズル口３１を通る水平面で切断した断面を、上側Ｚ２から見た断面図である（図２の矢印３−３部断面図）。It is sectional drawing which looked at the cross section which cut | disconnected the periphery of the cleaning apparatus 10 of 1st Embodiment by the horizontal surface which passes the nozzle opening 31 from upper side Z2 (arrow 3-3 part sectional drawing of FIG. 2). 第１実施形態のレーザ加工機１の加工用紙Ｗよりも下側Ｚ１の一部を拡大した断面図である。It is sectional drawing which expanded a part of lower side Z1 rather than the processing paper W of the laser beam machine 1 of 1st Embodiment. 比較例のレーザ加工機及び清浄装置１１０を手前側Ｙ１から見た断面図である。It is sectional drawing which looked at the laser processing machine and cleaning apparatus 110 of the comparative example from the near side Y1. 第２実施形態のレーザ加工機２０１の斜視図である。It is a perspective view of the laser beam machine 201 of 2nd Embodiment.

以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態のレーザ加工機１を手前側Ｙ１から見た断面図である。
図２は、第１実施形態のレーザ加工機１の加工用紙Ｗよりも上側Ｚ２の一部を拡大した断面図である。
図３は、第１実施形態の清浄装置１０の周辺を、ノズル口３１を通る水平面で切断した断面を、上側Ｚ２から見た断面図である（図２の矢印３−３部断面図）。
図４は、第１実施形態のレーザ加工機１の加工用紙Ｗよりも下側Ｚ１の一部を拡大した断面図である。
実施形態及び図面では、説明を明確にするために、便宜上、図１を基準にして、レーザ加工領域における左右方向を加工用紙Ｗの送り方向Ｘをとし、加工用紙Ｗの面方向のうち送り方向Ｘに直交する方向、つまり、加工用紙Ｗの幅方向を奥行方向Ｙとする。レーザ加工機１は、加工用紙Ｗの表面（ＸＹ平面）が水平面になるように、加工用紙Ｗを送ることとし、加工用紙Ｗの表面の法線方向を鉛直方向Ｚとする。
また、送り方向Ｘの上流側が右側Ｘ２であり、下流側が左側Ｘ１である。レーザ照射方向は、鉛直方向Ｚであり、上側Ｚ２から下側Ｚ１に向けて、加工用紙Ｗにレーザ照射するものとする。
なお、レーザ加工機１の配置は、上記構成に限定されず、例えば、レーザ加工機１の全体を、傾けて配置したりしてもよい。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 is a cross-sectional view of the laser beam machine 1 according to the first embodiment as viewed from the front side Y1.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a part of the upper side Z2 of the processing sheet W of the laser beam machine 1 according to the first embodiment.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the periphery of the cleaning device 10 according to the first embodiment taken along the horizontal plane passing through the nozzle port 31 as viewed from the upper side Z2 (a cross-sectional view taken along arrow 3-3 in FIG. 2).
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a part of the lower side Z1 of the processing sheet W of the laser beam machine 1 according to the first embodiment.
In the embodiment and the drawings, for the sake of clarity, for the sake of convenience, with reference to FIG. 1, the left-right direction in the laser processing region is defined as the feed direction X of the processed paper W, and the feed direction of the surface direction of the processed paper W The direction perpendicular to X, that is, the width direction of the processed paper W is defined as the depth direction Y. The laser processing machine 1 sends the processed paper W so that the surface (XY plane) of the processed paper W becomes a horizontal plane, and the normal direction of the surface of the processed paper W is the vertical direction Z.
Further, the upstream side in the feed direction X is the right side X2, and the downstream side is the left side X1. The laser irradiation direction is the vertical direction Z, and the processing paper W is irradiated with laser from the upper side Z2 toward the lower side Z1.
In addition, arrangement | positioning of the laser processing machine 1 is not limited to the said structure, For example, you may arrange | position the whole laser processing machine 1 inclining.

図１に示すように、レーザ加工機１は、加工システムの一部を構成する装置である。
この加工システムは、加工用紙Ｗ（加工シート）を左側Ｘ１に送りながら、インラインでプリント、レーザ加工等をして、帳票等を製造するシステムである。
レーザ加工機１は、これらの加工のうち加工用紙Ｗに対してレーザ加工を行う。レーザ加工機１は、例えば、縦ミシン目加工、マーキング処理、ハーフカット加工等を行う。 As shown in FIG. 1, the laser beam machine 1 is an apparatus that constitutes a part of a machining system.
This processing system is a system that manufactures a form or the like by performing printing, laser processing, or the like in-line while feeding the processed paper W (processed sheet) to the left side X1.
The laser processing machine 1 performs laser processing on the processing paper W among these processing. The laser processing machine 1 performs, for example, vertical perforation processing, marking processing, half cut processing, and the like.

レーザ加工機１は、ローラ２ａ，２ｂ（屈曲部）、照射ヘッド３（レーザ照射部）、清浄装置１０（レーザ加工煙清浄装置）を備える。
ローラ２ａ，２ｂは、レーザ加工を行う領域において、加工用紙Ｗを送るローラである。ローラ２ａ，２ｂは、レーザ加工機１の右側Ｘ２、左側Ｘ１にそれぞれ配置されている。
レーザ加工機１は、ローラ２ａ，２ｂ間では、加工用紙Ｗを水平方向に送る。そして、レーザ加工機１は、ローラ２ａ，２ｂを屈曲部として、加工用紙Ｗの送り方向を、水平方向から、下斜め方向に変化させる。 The laser processing machine 1 includes rollers 2a and 2b (bending portions), an irradiation head 3 (laser irradiation portion), and a cleaning device 10 (laser processing smoke cleaning device).
The rollers 2a and 2b are rollers that feed the processed paper W in a region where laser processing is performed. The rollers 2a and 2b are disposed on the right side X2 and the left side X1 of the laser processing machine 1, respectively.
The laser beam machine 1 feeds the processed paper W in the horizontal direction between the rollers 2a and 2b. Then, the laser beam machine 1 changes the feeding direction of the processed paper W from the horizontal direction to the diagonally downward direction using the rollers 2a and 2b as bent portions.

照射ヘッド３は、レーザ光３ａを照射する装置である。
照射ヘッド３は、レンズ収容ケース３ｂ、レンズ３ｃを備える。
レンズ収容ケース３ｂは、レンズ３ｃを収容する部材である。レンズ収容ケース３ｂは、奥行方向Ｙに駆動可能に駆動装置（図示せず）によって支持されている。レンズ収容ケース３ｂは、加工準備時にレーザ照射位置を調整したり、加工時にレーザ照射位置を微調整する場合等に、奥行方向Ｙに駆動される。
レンズ３ｃは、レーザ発振装置（図示せず）からレーザ光３ａが導かれ、加工用紙Ｗに向けてレーザ光３ａを照射する光学部材である。 The irradiation head 3 is a device that irradiates a laser beam 3a.
The irradiation head 3 includes a lens housing case 3b and a lens 3c.
The lens housing case 3b is a member that houses the lens 3c. The lens housing case 3b is supported by a driving device (not shown) so as to be drivable in the depth direction Y. The lens housing case 3b is driven in the depth direction Y when the laser irradiation position is adjusted during processing preparation or when the laser irradiation position is finely adjusted during processing.
The lens 3c is an optical member that receives the laser light 3a from the laser oscillation device (not shown) and directs the laser light 3a toward the processed paper W.

清浄装置１０は、レーザ加工によって、加工用紙Ｗから発生する煙を清浄する装置である。
清浄装置１０は、上部清浄装置２０、下部清浄装置６０を備える。 The cleaning device 10 is a device that cleans smoke generated from the processed paper W by laser processing.
The cleaning device 10 includes an upper cleaning device 20 and a lower cleaning device 60.

図２に示すように、上部清浄装置２０は、加工用紙Ｗの上側Ｚ２に発生した煙Ｓ１を清浄する装置である。
上部清浄装置２０は、筒部２１、上部流出部３０、筒内流出部４０、上部流入部５０を備える。
筒部２１は、照射ヘッド３のレンズ収容ケース３ｂの下端に配置され、ネジ止め等によってレンズ収容ケース３ｂに取り付けられる。筒部２１の上側Ｚ２は、作業者が着脱時等に、把持するためにフランジ部２１ａになっている。なお、筒部２１の上側Ｚ２は、フランジ部２１ａを設けた形態に限定されず、レンズ収容ケース３ｂと同じ外径にしてもよい。
筒部２１は、筒体であり、軸方向が鉛直方向Ｚであり、かつ、レーザ光３ａの光軸と同軸に配置される。
筒部２１は、内径及び外径が変化しない円筒状の部材である。このため、水平面を断面とする断面形状の外形は、鉛直方向Ｚのいずれでも、一定の大きさである。
筒部２１は、レーザ光３ａが通過できるように、筒部下端２１ｂが開口している。筒部下端２１ｂよりも下側Ｚ１の空間であって、上部流出部３０のノズル口３１（後述する）よりも左側Ｘ１の空間は、レーザ加工によって加工用紙Ｗの上側Ｚ２に煙が発生する空間（以下「上部煙発生空間Ａ１」という）である。 As shown in FIG. 2, the upper cleaning device 20 is a device that cleans the smoke S 1 generated on the upper side Z 2 of the processed paper W.
The upper cleaning device 20 includes a cylinder part 21, an upper outlet part 30, an in-cylinder outlet part 40, and an upper inlet part 50.
The cylindrical portion 21 is disposed at the lower end of the lens housing case 3b of the irradiation head 3, and is attached to the lens housing case 3b by screwing or the like. The upper side Z2 of the cylinder part 21 is a flange part 21a for an operator to grip when attaching or detaching. The upper side Z2 of the cylindrical portion 21 is not limited to the form in which the flange portion 21a is provided, and may have the same outer diameter as the lens housing case 3b.
The cylindrical part 21 is a cylindrical body, the axial direction is the vertical direction Z, and is arranged coaxially with the optical axis of the laser light 3a.
The cylinder part 21 is a cylindrical member whose inner diameter and outer diameter do not change. For this reason, the outer shape of the cross-sectional shape with the horizontal plane as the cross section has a constant size in any of the vertical directions Z.
The cylindrical part 21 has an open lower end 21b so that the laser beam 3a can pass through. The space on the lower side Z1 from the lower end 21b of the cylinder portion and the space on the left side X1 from the nozzle port 31 (described later) of the upper outflow portion 30 is a space in which smoke is generated on the upper side Z2 of the processed paper W by laser processing. (Hereinafter referred to as “upper smoke generation space A1”).

上部流出部３０は、上部煙発生空間Ａ１の煙を除去するために、上部煙発生空間Ａ１に向けて、空気を流出する部材である。上部流出部３０は、溶接等によって筒部２１に一体的に形成される。
なお、上部流出部３０と筒部２１とは、一体に限らず、分離した形態でもよい。
上部流出部３０は、空気を送出する送出管３０ａが接続されている。送出管３０ａは、ポンプ等の空気供給装置（図示せず）に接続されている。
上部流出部３０は、筒部下端２１ｂの右側Ｘ２の領域に配置されている。
上部流出部３０は、ノズル口３１を備える。
図３に示すように、ノズル口３１は、奥行方向Ｙに細長く、奥行方向Ｙの長さＷ３１は、筒部２１の外径ｄ２１よりも大きい。ノズル口３１の開口方向は、左側Ｘ１である。 The upper outflow portion 30 is a member that flows out air toward the upper smoke generation space A1 in order to remove the smoke in the upper smoke generation space A1. The upper outflow portion 30 is integrally formed with the cylindrical portion 21 by welding or the like.
In addition, the upper outflow part 30 and the cylinder part 21 are not restricted to integral, The separated form may be sufficient.
The upper outlet 30 is connected to a delivery pipe 30a that sends out air. The delivery pipe 30a is connected to an air supply device (not shown) such as a pump.
The upper outflow portion 30 is disposed in the region on the right side X2 of the cylindrical portion lower end 21b.
The upper outlet 30 includes a nozzle port 31.
As shown in FIG. 3, the nozzle port 31 is elongated in the depth direction Y, and the length W 31 in the depth direction Y is larger than the outer diameter d 21 of the cylindrical portion 21. The opening direction of the nozzle port 31 is the left side X1.

上記構成により、上部流出部３０は、送出管３０ａから送られた空気を内部で圧縮した後、送り方向Ｘに沿った方向である左側Ｘ１に向けて、ノズル口３１から上部煙発生空間Ａ１に勢いよく流出する。
上側Ｚ２から見たときに（図３参照）、ノズル口３１から流出した空気は、移動空間Ａ３１に示すように、奥行方向Ｙに長さＷ３１の奥行がある態様で移動しようとする。このため、空気は、上部煙発生空間Ａ１の全領域を通る。つまり、空気は、筒部下端２１ｂよりも加工用紙Ｗ側の空間であり、筒部下端２１ｂの外形よりも広い領域（移動空間Ａ３１）を移動する。 With the above configuration, the upper outflow portion 30 compresses the air sent from the delivery pipe 30a inside, and then moves from the nozzle port 31 to the upper smoke generation space A1 toward the left side X1 along the feed direction X. It flows out vigorously.
When viewed from the upper side Z2 (see FIG. 3), the air that has flowed out of the nozzle port 31 tends to move in a manner in which there is a depth of length W31 in the depth direction Y, as shown in the movement space A31. For this reason, air passes the whole area | region of upper smoke generation space A1. That is, the air moves in a space (moving space A31) that is a space closer to the processed paper W than the cylinder lower end 21b and wider than the outer shape of the cylinder lower end 21b.

図２に示すように、筒内流出部４０は、筒部２１の内部に空気を流出する部材である。
筒内流出部４０は、空気供給部（図示せず）から空気を送出する送出管４０ａが接続されている。
筒内流出部４０は、筒部２１の内部に空気を流出するノズル口４１を備える。 As shown in FIG. 2, the in-cylinder outflow part 40 is a member that flows out air into the inside of the cylinder part 21.
The in-cylinder outflow part 40 is connected to a delivery pipe 40a that sends out air from an air supply part (not shown).
The in-cylinder outflow part 40 includes a nozzle port 41 through which air flows out into the cylinder part 21.

上部流入部５０は、上部流出部３０が流出した空気の移動先に配置され、レーザ加工により発生した煙を流入する装置である。上部流入部５０は、空気を吸入する吸入管５０ａが接続されている。吸入管５０ａは、ポンプ等の空気吸引装置（図示せず）に接続されている。
上部流入部５０の形状は、軸方向が送り方向Ｘになるように配置された円筒を、加工用紙Ｗに平行な面で切断して、加工用紙Ｗ側に開口したような形状である。
上部流入部５０は、上流部５１、下流部５２を備える。 The upper inflow portion 50 is a device that is disposed at the destination of the air that has flowed out of the upper outflow portion 30 and that flows in smoke generated by laser processing. The upper inflow portion 50 is connected to a suction pipe 50a that sucks air. The suction pipe 50a is connected to an air suction device (not shown) such as a pump.
The shape of the upper inflow portion 50 is such that a cylinder arranged so that the axial direction is the feed direction X is cut along a plane parallel to the processed paper W and opened to the processed paper W side.
The upper inflow portion 50 includes an upstream portion 51 and a downstream portion 52.

上流部５１は、上部煙発生空間Ａ１の近傍からローラ２ｂまで間に、延在する（図１参照）。
上側Ｚ２から見たときに（図３参照）、上流部５１の右側先端５１ａは、筒部２１及び上部煙発生空間Ａ１の周囲を囲うような円弧状である。上流部５１の左側先端５１ａは、開口している。右側先端５１ａの開口は、ノズル口３１に対向配置されている。右側先端５１ａの開口の奥行方向Ｙの長さＷ５１ａ（奥行方向Ｙの長さ）は、筒部２１の外径ｄ２１よりも十分に大きく、また、ノズル口３１の奥行方向Ｙの長さＷ３１よりも大きい。 The upstream portion 51 extends from the vicinity of the upper smoke generation space A1 to the roller 2b (see FIG. 1).
When viewed from the upper side Z2 (see FIG. 3), the right end 51a of the upstream portion 51 has an arc shape that surrounds the cylinder portion 21 and the upper smoke generation space A1. The left end 51a of the upstream portion 51 is open. The opening of the right end 51 a is disposed to face the nozzle port 31. The length W51a in the depth direction Y (length in the depth direction Y) of the opening of the right end 51a is sufficiently larger than the outer diameter d21 of the cylindrical portion 21, and is longer than the length W31 of the nozzle port 31 in the depth direction Y. Is also big.

図１に示すように、下流部５２は、加工用紙Ｗの移動経路のうちローラ２ｂで送り角度が変化した部分に配置されている。下流部５２の下側Ｚ１（加工用紙Ｗ側）も、傾斜して送られる加工用紙Ｗに平行な切断面で切断され、開口している。下流部５２の左側Ｘ１は、吸入管５０ａに接続されている。 As shown in FIG. 1, the downstream portion 52 is disposed in a portion of the movement path of the processed paper W where the feed angle is changed by the roller 2 b. The lower side Z1 (processed paper W side) of the downstream portion 52 is also cut and opened by a cutting surface parallel to the processed paper W fed in an inclined manner. The left side X1 of the downstream portion 52 is connected to the suction pipe 50a.

図４に示すように、下部清浄装置６０は、加工用紙Ｗの下側Ｚ１に発生した煙Ｓ２を清浄する装置である。
下部清浄装置６０は、下部流出部７０、下部流入部８０を備える。
下部流出部７０は、上部流出部３０と同様な部材である。すなわち、下部流出部７０は、加工用紙Ｗの下面側に配置され、空気を、右側Ｘ２から左側Ｘ１に向けて勢いよく流出し、奥行方向Ｙに奥行がある態様で流出する。
下部流入部８０は、下部流出部７０の空気の流出先に配置され、レーザ加工により下側Ｚ１に発生した煙を流入する装置である。下部流入部８０は、空気を吸入する吸入管８０ａが接続されている。吸入管８０ａは、ポンプ等の空気吸引装置（図示せず）に接続されている。 As shown in FIG. 4, the lower cleaning device 60 is a device that cleans the smoke S 2 generated on the lower side Z 1 of the processed paper W.
The lower cleaning device 60 includes a lower outflow portion 70 and a lower inflow portion 80.
The lower outflow portion 70 is a member similar to the upper outflow portion 30. That is, the lower outflow portion 70 is arranged on the lower surface side of the processed paper W, and air flows out from the right side X2 toward the left side X1, and outflows in a manner in which the depth is in the depth direction Y.
The lower inflow portion 80 is a device that is arranged at the air outflow destination of the lower outflow portion 70 and flows smoke generated on the lower side Z1 by laser processing. The lower inflow portion 80 is connected to a suction pipe 80a that sucks air. The suction pipe 80a is connected to an air suction device (not shown) such as a pump.

下部流入部８０は、上流部８１、下流部８２を備える。
上流部８１は、上流部５１と同様な部材である。すなわち、上流部８１は、軸方向が送り方向Ｘになるように配置された円筒を切断して、右側Ｘ２、上側Ｚ２（加工用紙Ｗ側）に開口した形状である。上流部８１は、加工用紙Ｗの下側Ｚ１で煙が発生する領域（以下、「下部煙発生空間Ａ２」という）の近傍からローラ２ｂの右側Ｘ２の近傍までの間に、延在している。
図示は省略するが、上部清浄装置２０と同様に、上流部８１の右側先端８１ａの開口の奥行方向Ｙの長さも、ノズル口７１の奥行方向Ｙの長さよりも大きい。
下流部８２は、上流部８１の左側Ｘ１に連続する部分である。下流部８２は、ローラ２ｂを逃げるとともに、上流部８１から左側Ｘ１に流れてきた空気を、吸入管８０ａが配置されている下側Ｚ１へと導く。このため、下流部８２は、斜めに傾いた断面形状を有する。下流部８２の下側Ｚ１は、吸入管８０ａに接続されている。 The lower inflow portion 80 includes an upstream portion 81 and a downstream portion 82.
The upstream part 81 is a member similar to the upstream part 51. That is, the upstream portion 81 has a shape in which a cylinder disposed so that the axial direction is the feeding direction X is cut and opened to the right side X2 and the upper side Z2 (processing paper W side). The upstream portion 81 extends from the vicinity of the area where smoke is generated on the lower side Z1 of the processed paper W (hereinafter referred to as “lower smoke generation space A2”) to the vicinity of the right side X2 of the roller 2b. .
Although illustration is omitted, the length in the depth direction Y of the opening of the right end 81 a of the upstream portion 81 is also longer than the length of the nozzle port 71 in the depth direction Y, as in the upper cleaning device 20.
The downstream portion 82 is a portion that is continuous with the left side X 1 of the upstream portion 81. The downstream portion 82 escapes the roller 2b and guides the air flowing from the upstream portion 81 to the left side X1 to the lower side Z1 where the suction pipe 80a is disposed. For this reason, the downstream part 82 has a cross-sectional shape inclined diagonally. The lower side Z1 of the downstream portion 82 is connected to the suction pipe 80a.

レーザ加工機１の空気の流れについて説明する。
なお、下記空気の流れの説明には、レーザ加工機１の構成から想定される形態を含み、実際の空気の流れは、下記形態に限定されない。
図１から図３に示すように、加工時には、上部流出部３０、筒内流出部４０、下部流出部７０は、空気が送出管３０ａ，４０ａ，７０ａから常時供給され、空気をノズル口３１，４１、７１から常時流出する。同様に、上部流入部５０、下部流入部８０は、空気が吸入管５０ａ，８０ａから常時吸引され、空気を開口から常時流入する。
（レーザ加工にともなう煙の発生）
レーザ加工機１の制御部（図示せず）は、加工用紙Ｗのマーキング等をセンサで読み取ると、レーザ照射部からレーザ光３ａを照射して、加工用紙Ｗにレーザ加工を行う。
加工用紙Ｗにレーザ光３ａが照射すると、煙Ｓ１，Ｓ２が加工用紙Ｗの上側Ｚ２、下側Ｚ１に発生する。 The air flow of the laser beam machine 1 will be described.
In addition, the description of the following air flow includes the form assumed from the configuration of the laser processing machine 1, and the actual air flow is not limited to the following form.
As shown in FIGS. 1 to 3, at the time of processing, the upper outlet 30, the in-cylinder outlet 40, and the lower outlet 70 are constantly supplied with air from the delivery pipes 30 a, 40 a, 70 a, It always flows out from 41 and 71. Similarly, in the upper inflow portion 50 and the lower inflow portion 80, air is always sucked from the suction pipes 50a and 80a, and air is always flown from the opening.
(Generation of smoke due to laser processing)
A control unit (not shown) of the laser processing machine 1 performs laser processing on the processing paper W by irradiating the laser light 3a from the laser irradiation unit when the marking or the like of the processing paper W is read by a sensor.
When the processed paper W is irradiated with the laser light 3a, smoke S1 and S2 are generated on the upper side Z2 and the lower side Z1 of the processed paper W.

［加工用紙上側の空間の空気の流れ］
（上部煙発生空間Ａ１及びその周辺の空気の流れ）
図２に示すように、上部流出部３０は、上部煙発生空間Ａ１のうち筒部下端２１ｂから下側Ｚ１に１０ｍｍ程度の空間に向けて、左側Ｘ１に空気を流出する（矢印Ｆ１参照）。
また、加工用紙Ｗの直上では、加工用紙Ｗの送りにより、自然に、右側Ｘ２から左側Ｘ１に向けて空気が流れる。この空気の流れが影響して、上部煙発生空間Ａ１の全体において、右側Ｘ２から左側Ｘ１に向けて空気が流れる（図示は省略した）。 [Air flow in the upper space of processed paper]
(Air flow in upper smoke generation space A1 and its surroundings)
As shown in FIG. 2, the upper outflow part 30 flows out air to the left side X1 from the cylinder part lower end 21b toward the lower Z1 in the upper smoke generation space A1 toward the left side X1 (see arrow F1).
Further, immediately above the processed paper W, the air naturally flows from the right side X2 toward the left side X1 by feeding the processed paper W. Due to the influence of this air flow, air flows from the right side X2 toward the left side X1 in the entire upper smoke generation space A1 (not shown).

このため、上部煙発生空間Ａ１で上部流出部３０からの空気と、加工用紙Ｗの送りによる空気とが合流する。合流した空気の流れは、上部流出部３０から流出時の速度よりも速くなる。
これにより、空気の加工用紙Ｗに対する速度（相対速度）は、空気の実際の速度よりも遅くなる。このため、清浄装置は、加工用紙Ｗ上部における乱流の発生を抑制し、煙Ｓ１の滞留を抑制できる。 For this reason, the air from the upper outflow part 30 and the air by which the processed paper W is fed merge in the upper smoke generation space A1. The flow of the merged air becomes faster than the speed at the time of outflow from the upper outflow portion 30.
Thereby, the speed (relative speed) of air with respect to the processed paper W becomes slower than the actual speed of air. For this reason, the cleaning device can suppress the occurrence of turbulent flow in the upper part of the processed paper W and suppress the retention of the smoke S1.

上部煙発生空間Ａ１では、上記空気に対して、さらに、筒内流出部４０が流出した空気が筒部２１の開口から流出して（矢印Ｆ２参照）、合流する。なお、筒部２１の内部の上側Ｚ２は、レンズ３ｃ等があり、密閉されているので、筒内流出部４０が流出した空気は、筒部下端２１ｂの開口から流出する。
このため、上部煙発生空間Ａ１では、空気は、左側Ｘ１に向かうに従って下側Ｚ１に降下するように流れる（矢印Ｆ３参照）。また、上部流出部３０は、移動空間Ａ３１（図４参照）となるように、空気を流出する。これにより、煙Ｓ１を、加工領域から十分に除去し、レーザ加工機１は、良好にレーザ加工することができる。 In the upper smoke generation space A1, the air that has flowed out of the in-cylinder outflow portion 40 flows out of the opening of the tube portion 21 (see arrow F2) and merges with the air. In addition, since the upper side Z2 inside the cylinder part 21 includes the lens 3c and the like and is sealed, the air that has flowed out of the in-cylinder outflow part 40 flows out from the opening of the cylinder part lower end 21b.
For this reason, in the upper smoke generation space A1, air flows so as to descend to the lower side Z1 as it goes to the left side X1 (see arrow F3). Moreover, the upper outflow part 30 flows out air so that it may become movement space A31 (refer FIG. 4). Thereby, the smoke S1 is sufficiently removed from the processing region, and the laser processing machine 1 can perform laser processing satisfactorily.

加工用紙Ｗの上面側の煙Ｓ１は、上側Ｚ２に立ち昇った後、この流れに乗って移動する。
このため、煙Ｓ１は、筒部２１の手前側Ｙ１及び奥側Ｙ２の空間に立ち上ったりすること、筒部２１の内部への流入等が抑制される。
また、上部煙発生空間Ａ１の空気は、左側Ｘ１に向かうに従って、降下するので、筒部下端２１ｂ等への接触が抑制される。
さらに、空気は、上部煙発生空間Ａ１を通過した後も、その勢いがある程度維持されて、上側Ｚ２への移動が抑制される（矢印Ｆ４参照）。このため、筒部２１の手前側Ｙ１及び奥側Ｙ２の空間に立ち上ったりすることも抑制される。
これにより、清浄装置１０は、筒部下端２１ｂや、筒部２１及び照射ヘッド３の外周面等への、煙Ｓ１の接触を抑制できる。
また、筒部２１は、円筒であるので、外周面が鉛直方向Ｚに平行に形成されており、フランジ部２１ａを除けば、下側Ｚ１に向いている面や、突起等の構成がない。このため、仮に、煙Ｓ１が筒部下端２１ｂから矢印Ｆ４の方向等に移動しても、筒部２１は、煙Ｓ１との接触が抑制される。この作用については、後述する比較例でも説明する。 The smoke S1 on the upper surface side of the processed paper W rises to the upper side Z2, and then moves along this flow.
For this reason, the smoke S 1 rises in the space on the near side Y 1 and the back side Y 2 of the cylindrical portion 21, and the inflow into the cylindrical portion 21 is suppressed.
Further, since the air in the upper smoke generation space A1 descends toward the left side X1, contact with the cylinder lower end 21b and the like is suppressed.
Further, even after the air passes through the upper smoke generation space A1, the momentum is maintained to some extent, and movement to the upper side Z2 is suppressed (see arrow F4). For this reason, rising in the space of the near side Y1 and the back side Y2 of the cylinder part 21 is also suppressed.
Thereby, the cleaning apparatus 10 can suppress the contact of the smoke S1 to the cylinder part lower end 21b, the cylinder part 21, the outer peripheral surface of the irradiation head 3, and the like.
Moreover, since the cylinder part 21 is a cylinder, the outer peripheral surface is formed in parallel with the vertical direction Z, and there is no structure of the surface or protrusion etc. which face the lower side Z1, except for the flange part 21a. For this reason, even if smoke S1 moves from the cylinder part lower end 21b to the direction of arrow F4, etc., the cylinder part 21 is suppressed from contacting with the smoke S1. This effect will also be described in a comparative example described later.

（上部流入部５０及びその周辺の空気の流れ）
上部煙発生空間Ａ１を通ってきた空気は、上部流入部５０に流入する。
上部流入部５０の右側先端５１ａは、上部流出部３０を囲うように形成されている（図４参照）。このため、上部流入部５０は、右側先端５１ａ内の開口を流入口として、上部流出部３０が流出し上部煙発生空間Ａ１を通ってきた空気を、煙Ｓ１と一緒に、確実に流入できる。 (Air flow in upper inflow portion 50 and its surroundings)
The air that has passed through the upper smoke generation space A1 flows into the upper inflow portion 50.
The right end 51a of the upper inflow portion 50 is formed so as to surround the upper outflow portion 30 (see FIG. 4). For this reason, the upper inflow part 50 can surely flow in the air that has flowed out of the upper outflow part 30 and passed through the upper smoke generation space A1, using the opening in the right end 51a as an inflow port, together with the smoke S1.

なお、上部流入部５０の外形のうち煙Ｓ１と接触する可能性がある部分は、右側先端５１ａの縁部及び下側縁部５１ｂである。
しかし、開口の奥行方向Ｙの長さＷ５１ａが、上部煙発生空間Ａ１よりも十分に大きいので（図４参照）、右側先端５１ａの縁部及び下側縁部５１ｂは、煙Ｓ１との接触が抑制される。
加えて、煙Ｓ１の濃度は、加工用紙Ｗに近くなる程高くなるが、上部流入部５０は、下側Ｚ１が開口しているので、煙Ｓ１の濃度が高い空間には、上部流入部５０の構造物が存在しないことにもなる。
このため、上流部５１の外形には、煙Ｓ１が接触することが抑制される。 In addition, the part which may contact smoke S1 among the external shapes of the upper inflow part 50 is the edge part of the right side front end 51a, and the lower edge part 51b.
However, since the length W51a in the depth direction Y of the opening is sufficiently larger than the upper smoke generation space A1 (see FIG. 4), the edge of the right tip 51a and the lower edge 51b are not in contact with the smoke S1. It is suppressed.
In addition, the concentration of the smoke S1 increases as it approaches the processed paper W, but the upper inflow portion 50 is open at the lower side Z1, so the upper inflow portion 50 is in a space where the concentration of the smoke S1 is high. This means that there is no structure.
For this reason, it is suppressed that smoke S1 contacts the external shape of the upstream part 51. FIG.

上流部５１に入った空気は、吸入管５０ａに向かって左側Ｘ１に移動する（矢印Ｆ５ａ〜Ｆ５ｃ参照）。このため、上流部５１の内壁５１ｃには、煙が接触し、煙に含まれる微粒子等が堆積する。しかし、仮に、この堆積物が落下したとしても、この堆積物は、上流部５１の内部の空気の流れに乗って、吸入管５０ａに吸入される。 The air that has entered the upstream portion 51 moves to the left side X1 toward the suction pipe 50a (see arrows F5a to F5c). For this reason, the smoke comes into contact with the inner wall 51c of the upstream portion 51, and particulates contained in the smoke are deposited. However, even if this deposit falls, the deposit rides on the air flow inside the upstream portion 51 and is sucked into the suction pipe 50a.

加工用紙Ｗの直上の空気の流れについて説明する。
加工用紙Ｗの送りにともない、加工用紙Ｗの直上の空気が、加工用紙Ｗの直上の空間を、左側Ｘ１に移動する場合がある（矢印Ｆ６参照）。この空気は、上流部５１の下側縁部５１ｂの開口からの吸引力により、上側Ｚ２に移動する（矢印Ｆ７参照）。このため、仮に、煙Ｓ１がこの加工用紙Ｗの直上の空気の流れに乗ったとしても、上流部５１は、下側縁部５１ｂの開口を吸入口として、これを吸入できる。
なお、前述したように、上流部５１内壁の堆積した堆積物が加工用紙Ｗ上に落下したような場合であっても、上流部５１が、下側縁部５１ｂの開口から、この落下した堆積物を吸入できることも期待できる。 The flow of air immediately above the processed paper W will be described.
As the processed paper W is fed, the air immediately above the processed paper W may move to the left side X1 in the space immediately above the processed paper W (see arrow F6). This air moves to the upper side Z2 by the suction force from the opening of the lower edge portion 51b of the upstream portion 51 (see arrow F7). For this reason, even if the smoke S1 gets on the flow of air immediately above the processed paper W, the upstream portion 51 can suck the opening of the lower edge portion 51b as the suction port.
As described above, even when the deposit accumulated on the inner wall of the upstream portion 51 falls on the processed paper W, the upstream portion 51 is deposited from the opening of the lower edge portion 51b. We can expect to be able to inhale things.

（下流部５２の空気の流れ）
図１に示すように、上流部５１から流れてきた空気は、下流部５２の内部に導かれる。このため、上流部５１から流れてきた空気は、突起等の構造物に衝突することなく、スムーズに下流部５２の内部に導かれ、さらに、吸入管５０ａに吸入される。
また、下流部５２は、下側Ｚ１が開口しているので、上流部５１と同様に、煙との接触が抑制される。 (Air flow in the downstream portion 52)
As shown in FIG. 1, the air flowing from the upstream part 51 is guided to the inside of the downstream part 52. For this reason, the air flowing from the upstream portion 51 is smoothly guided to the inside of the downstream portion 52 without colliding with a structure such as a protrusion, and further sucked into the suction pipe 50a.
Moreover, since the lower side Z1 is opening the downstream part 52, contact with smoke is suppressed similarly to the upstream part 51.

さらに、仮に、上流部５１の内壁に堆積した堆積物が加工用紙Ｗ上に落下したとしても、下流部５２が、上流部５１と同様に、この堆積物を吸入できることも期待できる。なお、加工用紙Ｗの送り経路がローラ２ｂの部分で左斜め下方向に屈曲しているので、落下した堆積物は、加工用紙Ｗから浮き上がりやすくなる（矢印Ａ参照）。このため、下流部５２は、落下した堆積物を吸入しやすくなる。 Furthermore, even if the deposit accumulated on the inner wall of the upstream portion 51 falls on the processing paper W, it can be expected that the downstream portion 52 can suck the deposit in the same manner as the upstream portion 51. In addition, since the feeding path of the processed paper W is bent diagonally to the left at the roller 2b portion, the fallen deposits are easily lifted from the processed paper W (see arrow A). For this reason, the downstream part 52 becomes easy to inhale the deposit which fell.

このように、上部清浄装置２０は、レーザ加工により加工用紙Ｗの上側Ｚ２に発生した煙Ｓ１を、レーザ加工機１の外形部分への接触を抑制しながら、上部流入部５０から流入できる。また、上部清浄装置２０は、加工用紙Ｗの直上には、上部流入部５０の構造物（筐体等）がない構造である。このため、加工用紙Ｗの直上には、微粒子が付着する構造物がないことになる。これにより、加工用紙Ｗ上に微粒子の堆積物が落下することを抑制できる。
また、下流部５２の加工用紙Ｗ側は、開口している。このため、上部清浄装置２０は、加工用紙Ｗの送り経路のうちより長い部分を、微粒子が付着する構造物がない構成にできる。これにより、上部清浄装置２０は、加工用紙Ｗ上に微粒子の堆積物が落下することを抑制できる。
さらに、上部流入部５０は、開口縁部への微粒子の堆積を抑制できるため、空気の流入量（吸引力）の低下も少ない。 As described above, the upper cleaning device 20 can flow the smoke S1 generated on the upper side Z2 of the processing paper W by the laser processing from the upper inflow portion 50 while suppressing contact with the outer shape portion of the laser processing machine 1. Further, the upper cleaning device 20 has a structure in which there is no structure (a housing or the like) of the upper inflow portion 50 immediately above the processed paper W. For this reason, there is no structure to which fine particles adhere immediately above the processed paper W. Thereby, it is possible to suppress the deposit of fine particles from falling on the processed paper W.
Further, the processing paper W side of the downstream portion 52 is open. For this reason, the upper cleaning apparatus 20 can be configured such that the longer part of the feed path of the processed paper W has no structure to which fine particles adhere. Thereby, the upper cleaning device 20 can suppress the deposit of fine particles from falling on the processed paper W.
Furthermore, since the upper inflow portion 50 can suppress the accumulation of fine particles on the opening edge portion, there is little decrease in the inflow amount (suction force) of air.

［加工用紙下側の空間の空気の流れ］
図４に示すように、下部流出部７０からの流出した空気は、上部流出部３０と同様に、加工用紙Ｗの送りにともなって移動する空気と合流し、奥行方向Ｙに幅がある態様で、左側Ｘ１に移動する（矢印Ｆ１１参照）。
また、下部流入部８０は、上側Ｚ２が開口しているので、下部煙発生空間Ａ２内の空気は、左側Ｘ１に移動するに従って下側Ｚ１に移動するように、移動する。このため、下部煙発生空間Ａ２内の空気は、右側先端８１ａの開口、又は上側縁部８１ｂ内の開口から、上流部８１に流入する（Ｆ１２参照）。 [Air flow in the space below the processed paper]
As shown in FIG. 4, the air that flows out from the lower outflow portion 70 merges with the air that moves as the processed paper W is fed and has a width in the depth direction Y, like the upper outflow portion 30. , Move to the left side X1 (see arrow F11).
Moreover, since the upper side Z2 is opening the lower inflow part 80, the air in lower smoke generation space A2 moves so that it may move to lower Z1 as it moves to the left side X1. For this reason, the air in the lower smoke generation space A2 flows into the upstream portion 81 from the opening of the right tip 81a or the opening in the upper edge 81b (see F12).

加工用紙Ｗの下側Ｚ１で発生した煙Ｓ２は、この空気に乗って、上流部８１に流入する。
煙Ｓ２は、上流部５１と同様に、上流部８１の外形（右側先端８１ａの縁部及び上側縁部８１ｂ）との接触が抑制されながら、上流部８１の内部に導かれる。このため、下部清浄装置６０は、上流部８１の外形への微粒子の堆積を抑制できる。 The smoke S2 generated on the lower side Z1 of the processed paper W rides on the air and flows into the upstream portion 81.
Similarly to the upstream portion 51, the smoke S2 is guided to the inside of the upstream portion 81 while the contact with the outer shape of the upstream portion 81 (the edge of the right tip 81a and the upper edge 81b) is suppressed. For this reason, the lower cleaning device 60 can suppress the accumulation of fine particles on the outer shape of the upstream portion 81.

上流部８１に入った空気は、上流部５１と同様に、拡散しながら吸入管８０ａに向かって移動すると考えられる（矢印Ｆ１３ａ〜Ｆ１３ｃ参照）。
このとき、煙Ｓ２は、上流部８１の内壁８１ｃに接触するため、内壁８１ｃには微粒子が堆積する。しかし、加工用紙Ｗの下側Ｚ１においては、この堆積物は、上流部８１の底部８１ｄに落下するので、加工用紙Ｗに接触することはない。 Like the upstream portion 51, the air that has entered the upstream portion 81 is considered to move toward the suction pipe 80a while diffusing (see arrows F13a to F13c).
At this time, since the smoke S2 comes into contact with the inner wall 81c of the upstream portion 81, fine particles accumulate on the inner wall 81c. However, on the lower side Z 1 of the processing paper W, the deposit falls on the bottom 81 d of the upstream portion 81, and therefore does not come into contact with the processing paper W.

また、加工用紙Ｗの直下においては、加工用紙Ｗの送りにともない流れる空気は、加工用紙Ｗの上側Ｚ２と同様に、上流部８１の上側縁部８１ｂ内の開口からの吸引力により、左側Ｘ１に移動するに従って下側Ｚ１に移動する（矢印Ｆ１４参照）。
このため、仮に、煙Ｓ２がこの空気の流れに乗ったとしても、上流部８１が、この煙Ｓ２を吸入できる。 Also, immediately below the processed paper W, the air flowing along with the processed paper W is fed to the left side X1 by the suction force from the opening in the upper edge 81b of the upstream portion 81, as with the upper side Z2 of the processed paper W. Moves to the lower side Z1 (see arrow F14).
For this reason, even if the smoke S2 rides on the air flow, the upstream portion 81 can suck the smoke S2.

図１に示すように、下流部８２の内壁８２ｃは、上流部８１の内壁８１ｃと同様に、煙が接触するため、微粒子が堆積する。しかし、下流部８２は、吸入管８０ａに接続されているので、堆積物が落下しても、吸入管８０ａにそのまま吸入する。
このように、下部清浄装置６０は、加工用紙Ｗの下側Ｚ１においても、堆積した微粒子が、加工用紙Ｗに付着することを抑制できる。 As shown in FIG. 1, the inner wall 82 c of the downstream portion 82 is in contact with the smoke, like the inner wall 81 c of the upstream portion 81, so that fine particles accumulate. However, since the downstream part 82 is connected to the suction pipe 80a, even if the deposit falls, the downstream part 82 sucks into the suction pipe 80a as it is.
In this way, the lower cleaning device 60 can suppress the deposited fine particles from adhering to the processed paper W even on the lower side Z1 of the processed paper W.

［比較例]
図５は、比較例のレーザ加工機及び清浄装置１１０を手前側Ｙ１から見た断面図である。
なお、比較例の説明及び図面において、実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾（下２桁）に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
清浄装置１１０は、保護カバー１２１、カバー内流出部１４０、上部流入部１５０、下部流入部１８０を備える。
保護カバー１２１は、レンズからのレーザ光路に対応した形状である。つまり、保護カバー１２１は、空洞の円錐状であり、下端にレーザ光を照射する開口１２１ａを備える。 [Comparative example]
FIG. 5 is a cross-sectional view of the comparative laser processing machine and cleaning device 110 as viewed from the front side Y1.
Note that, in the description of the comparative example and the drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the embodiment, and repeated descriptions are omitted as appropriate.
The cleaning device 110 includes a protective cover 121, an in-cover outflow portion 140, an upper inflow portion 150, and a lower inflow portion 180.
The protective cover 121 has a shape corresponding to the laser light path from the lens. That is, the protective cover 121 has a hollow conical shape and includes an opening 121a for irradiating a laser beam at the lower end.

上記形状により、保護カバー１２１の外周の断面形状は、上側Ｚ２に至るに従って外形が大きくなる。
カバー内流出部１４０は、保護カバー１２１内の空間に、空気を流出する部材である。カバー内流出部１４０に流出した空気は、保護カバー１２１の開口１２１ａから、下側Ｚ１に向けて流出する。
上部流入部１５０は、レーザ加工により加工用紙Ｗの上側Ｚ２に発生した煙Ｓ１を流入する。上部流入部１５０は、円筒状の部材である。上部流入部１５０は、上部煙発生空間Ａ１の左側Ｘ１に配置されている。
下部流入部１８０は、レーザ加工により加工用紙Ｗの下側Ｚ１に発生した煙Ｓ２を流入する。下部流入部１８０は、円筒状の部材である。下部流入部１８０は、上部煙発生空間Ａ１の左側Ｘ１に配置されている。 With the above shape, the outer shape of the cross-sectional shape of the outer periphery of the protective cover 121 increases as it reaches the upper side Z2.
The in-cover outflow portion 140 is a member that outflows air into the space in the protective cover 121. The air that has flowed into the in-cover outflow portion 140 flows out from the opening 121a of the protective cover 121 toward the lower side Z1.
The upper inflow portion 150 flows in smoke S1 generated on the upper side Z2 of the processed paper W by laser processing. The upper inflow portion 150 is a cylindrical member. The upper inflow portion 150 is disposed on the left side X1 of the upper smoke generation space A1.
The lower inflow portion 180 flows in smoke S2 generated on the lower side Z1 of the processing paper W by laser processing. The lower inflow portion 180 is a cylindrical member. The lower inflow portion 180 is disposed on the left side X1 of the upper smoke generation space A1.

［比較例における加工用紙上側の空間の空気の流れ］
比較例の清浄装置１１０では、上部煙発生空間Ａ１に流出する空気は、保護カバー１２１の開口１２１ａからの空気のみである。また、比較例の清浄装置１１０の上部煙発生空間Ａ１内の空気は、上部流出部３０を備えていない。
このため、比較例の上部煙発生空間Ａ１内の空気は、実施形態のような上部煙発生空間Ａ１の全領域を左側Ｘ１に向けて通るような形態ではなく（図３参照）、保護カバー１２１の開口１２１ａから、単に降下しようとする。
一方、上部流入部１５０は、上部煙発生空間Ａ１内の空気を流入する。 [Air flow in the space above the processed paper in the comparative example]
In the cleaning device 110 of the comparative example, the air flowing out into the upper smoke generation space A1 is only the air from the opening 121a of the protective cover 121. Further, the air in the upper smoke generation space A1 of the cleaning device 110 of the comparative example does not include the upper outflow portion 30.
For this reason, the air in the upper smoke generation space A1 of the comparative example is not in the form of passing through the entire area of the upper smoke generation space A1 as in the embodiment toward the left side X1 (see FIG. 3), but the protective cover 121. It simply tries to descend from the opening 121a.
On the other hand, the upper inflow part 150 flows in the air in the upper smoke generation space A1.

このため、上部煙発生空間Ａ１内の空気は、左側Ｘ１に向かうに従って、下側Ｚ１に降下するように流れて、上部流入部１５０内に流入する（矢印Ｆ１０１参照）。
また、比較例の上部煙発生空間Ａ１内の空気は、実施形態のような上部流出部３０を備えていないので、実施形態の清浄装置１０に比べると、流速が遅くなる。このため、比較例の清浄装置１１０は、発生した煙Ｓ１のうち上部流入部１５０内に流入できるものが、実施形態の清浄装置１０に比べると、少なくなる。
上部流入部１５０内に流入できなかった煙Ｓ１は、拡散しながら上部煙発生空間Ａ１外の空間に移動する。 For this reason, the air in the upper smoke generation space A1 flows so as to descend to the lower side Z1 toward the left side X1, and flows into the upper inflow portion 150 (see arrow F101).
Moreover, since the air in upper smoke generation space A1 of a comparative example is not provided with the upper outflow part 30 like embodiment, compared with the cleaning apparatus 10 of embodiment, a flow rate becomes slow. For this reason, the cleaning device 110 of the comparative example has less of the generated smoke S1 that can flow into the upper inflow portion 150 compared to the cleaning device 10 of the embodiment.
The smoke S1 that could not flow into the upper inflow portion 150 moves to a space outside the upper smoke generation space A1 while diffusing.

上部煙発生空間Ａ１の上側Ｚ２に移動した煙Ｓ１の一部は、保護カバー１２１の左側Ｘ１に移動することになる。前述したように、保護カバー１２１の外周は、断面形状が上側Ｚ２に至るに従って外形が大きくなる。つまり、保護カバー１２１の外周面１２１ｂは、斜め下方向に向いているので、上側Ｚ２に移動した煙に接触しやすい。このため、保護カバー１２１の外周面１２１ｂのうち左側Ｘ１の面には、煙Ｓ１に含まれる微粒子Ｐが堆積する。
これに対して、実施形態の筒部２１は、外周面が鉛直方向Ｚに平行方向に形成されているので、煙Ｓ１との接触が抑制され、微粒子Ｐが堆積も抑制できるわけである。 A part of the smoke S1 moved to the upper side Z2 of the upper smoke generation space A1 moves to the left side X1 of the protective cover 121. As described above, the outer circumference of the outer periphery of the protective cover 121 increases as the cross-sectional shape reaches the upper side Z2. That is, since the outer peripheral surface 121b of the protective cover 121 faces obliquely downward, it easily comes into contact with smoke that has moved to the upper side Z2. For this reason, the fine particles P contained in the smoke S1 accumulate on the left side X1 of the outer peripheral surface 121b of the protective cover 121.
On the other hand, since the outer peripheral surface of the cylindrical portion 21 of the embodiment is formed in a direction parallel to the vertical direction Z, the contact with the smoke S1 is suppressed and the accumulation of the fine particles P can also be suppressed.

また、比較例では、上部煙発生空間Ａ１の上側Ｚ２に移動した煙Ｓ１の他の一部は、上部流入部１５０の左側端部１５０ａの縁部に接触する。このため、上部流入部１５０の左側端部１５０ａの縁部にも、微粒子Ｐが堆積する。 In the comparative example, the other part of the smoke S1 that has moved to the upper side Z2 of the upper smoke generation space A1 contacts the edge of the left end 150a of the upper inflow portion 150. For this reason, the fine particles P are also deposited on the edge of the left end 150 a of the upper inflow portion 150.

なお、上部流入部１５０は、実施形態の上部流入部５０のような下側Ｚ１が開口したような形状ではなく、円筒状の部材である。このため、上部流入部１５０の外周面のうち右側先端１５０ａ側の下面にも、微粒子Ｐが堆積する。
また、比較例では、保護カバー１２１の開口１２１ａから流出した空気は、単に降下しようとするので、煙Ｓ１は、上部煙発生空間Ａ１の手前側Ｙ１及び奥側Ｙ２にも移動しやすい（図示は省略した）。
このため、上部流入部１５０の右側先端１５０ａは、全周に渡って微粒子Ｐが堆積する。 In addition, the upper inflow part 150 is not a shape in which the lower side Z1 is opened like the upper inflow part 50 of the embodiment, but a cylindrical member. For this reason, the fine particles P are also deposited on the lower surface of the upper inflow portion 150 on the right tip 150a side.
Further, in the comparative example, the air flowing out from the opening 121a of the protective cover 121 simply tries to descend, so that the smoke S1 easily moves to the front side Y1 and the back side Y2 of the upper smoke generation space A1 (illustration is shown). Omitted).
For this reason, the fine particles P accumulate on the right end 150a of the upper inflow portion 150 over the entire circumference.

このように、加工用紙Ｗの上側Ｚ２では、保護カバー１２１の周囲、上部流入部１５０の右側先端１５０ａの全周に渡って微粒子Ｐが堆積する。
微粒子Ｐは、ある程度の量だけ堆積すると、自重等によって落下する。このうち、保護カバー１２１の周囲や、上部流入部１５０の外周のうち下側Ｚ１に付着した堆積物は、加工用紙Ｗ上に落下してしまう。この場合には、加工用紙Ｗを汚してしまうし、また、次の工程でもレーザ加工等を行う場合には、落下した堆積物にレーザ光が照射されてしまい、加工不良の原因になる。 In this way, on the upper side Z2 of the processed paper W, the fine particles P accumulate around the protective cover 121 and over the entire circumference of the right end 150a of the upper inflow portion 150.
When the fine particles P are deposited in a certain amount, they fall due to their own weight. Among these, the deposit adhering to the lower side Z 1 around the protective cover 121 and the outer periphery of the upper inflow portion 150 falls on the processed paper W. In this case, the processed paper W is soiled, and when laser processing or the like is performed in the next step, the fallen deposit is irradiated with laser light, which causes processing defects.

［比較例における加工用紙下側の空間の空気の流れ］
比較例の清浄装置１１０は、実施形態のような下部流出部７０を備えていない。
このため、下部煙発生空間Ａ２の空気も、上部煙発生空間Ａ１と同様に、実施形態の清浄装置１０に比べると流速が遅くなり、かつ、下部煙発生空間Ａ２の全領域を左側Ｘ１に向けて通るような形態ではない。
そのため、下部流入部１８０は、上部流入部１５０と同様に、右側先端１８０ａに微粒子Ｐが堆積する。 [Air flow in the space below the processed paper in the comparative example]
The cleaning device 110 of the comparative example does not include the lower outflow portion 70 as in the embodiment.
Therefore, the air in the lower smoke generating space A2 also has a lower flow rate than the cleaning device 10 of the embodiment, and the entire area of the lower smoke generating space A2 is directed to the left side X1 as in the upper smoke generating space A1. It is not a form that passes through.
Therefore, in the lower inflow portion 180, as in the upper inflow portion 150, the fine particles P accumulate on the right end 180 a.

このうち、保護カバー１２１の周囲や、上部流入部１５０の外周のうち下側Ｚ１に付着した堆積物は、ある程度の大きさになると、加工用紙Ｗに接触して汚してしまうし、この場合には、加工用紙Ｗの上側Ｚ２と同様に、加工不良の原因となる。
このように、比較例の清浄装置１１０は、実施形態の清浄装置１０よりも、煙を除去する機能が低く、加工用紙Ｗの汚れ等を発生しやすい。 Among these, deposits adhering to the lower side Z1 around the protective cover 121 and the outer periphery of the upper inflow portion 150 come into contact with the processed paper W and become dirty when the size becomes a certain size. Is a cause of processing defects, similar to the upper side Z2 of the processed paper W.
Thus, the cleaning device 110 according to the comparative example has a lower function of removing smoke than the cleaning device 10 according to the embodiment, and the processing paper W is likely to be stained.

以上説明したように、本実施形態の清浄装置１０は、レーザ加工により発生した煙を、確実に除去できる。これにより、製品の品質を向上できる。また、加工中に作業者による清掃作業の回数も減らせるので、製造効率を向上できる。 As described above, the cleaning device 10 of the present embodiment can reliably remove smoke generated by laser processing. Thereby, the quality of a product can be improved. In addition, since the number of cleaning operations by the operator during processing can be reduced, manufacturing efficiency can be improved.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾（下２桁）に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
図６は、第２実施形態のレーザ加工機２０１の斜視図である。
レーザ加工機２０１は、照射ヘッド２０３、清浄装置２１０を備える。
照射ヘッド２０３は、ガルバノ光学系を備えている。照射ヘッド２０３は、左側Ｘ１に送られる加工用紙Ｗに対して、レーザ光２０３ａの照射先を照射範囲２０３ｂ内で送り方向Ｘ及び奥行方向Ｙに移動させながら、レーザ加工を行う。
このため、レーザ加工機２０１の上部煙発生空間、下部煙発生空間は、照射範囲２０３ｂの上側Ｚ２の空間、下側Ｚ１の空間である。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
In the following description and drawings, parts having the same functions as those of the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals or the same reference numerals at the end (last two digits), and repeated descriptions are omitted as appropriate. To do.
FIG. 6 is a perspective view of a laser beam machine 201 according to the second embodiment.
The laser processing machine 201 includes an irradiation head 203 and a cleaning device 210.
The irradiation head 203 includes a galvano optical system. The irradiation head 203 performs laser processing on the processing paper W sent to the left side X1 while moving the irradiation destination of the laser beam 203a in the feeding direction X and the depth direction Y within the irradiation range 203b.
For this reason, the upper smoke generation space and the lower smoke generation space of the laser processing machine 201 are the space on the upper side Z2 and the space on the lower side Z1 of the irradiation range 203b.

清浄装置２１０は、上部清浄装置２２０、下部清浄装置２６０を備える。
上部清浄装置２２０は、上部流出部２３０、上部流入部２５０を備える。
上部流出部２３０のノズル口２３１は、奥行方向Ｙの長さが、照射範囲２０３ｂよりも大きい。
同様に、上部流入部２５０のノズル口２５１は、奥行方向Ｙの長さが、照射範囲２０３ｂよりも大きい。
このため、上側Ｚ２から見たときに、加工用紙Ｗの上側Ｚ２において、上部流出部２３０から流出した空気は、奥行方向Ｙに奥行がある態様で移動して、上部流入部２５０に流入する（矢印Ｆ２０１ａ〜Ｆ２０１ｃ参照）。そのため、上部流出部２３０から流出した空気は、照射範囲２０３ｂの全領域、つまり、上部煙発生空間の全領域を通ることになる。
これにより、加工用紙Ｗの上側Ｚ２において、レーザ加工により発生した煙は、上部煙発生空間を通る間に、この空気に乗って、上部流入部２５０に流入する。 The cleaning device 210 includes an upper cleaning device 220 and a lower cleaning device 260.
The upper cleaning device 220 includes an upper outflow portion 230 and an upper inflow portion 250.
The nozzle port 231 of the upper outflow portion 230 has a length in the depth direction Y that is larger than the irradiation range 203b.
Similarly, the nozzle port 251 of the upper inflow portion 250 has a length in the depth direction Y that is larger than the irradiation range 203b.
For this reason, when viewed from the upper side Z2, on the upper side Z2 of the processed paper W, the air flowing out from the upper outflow portion 230 moves in a manner having a depth in the depth direction Y and flows into the upper inflow portion 250 ( Arrow F201a-F201c). Therefore, the air that flows out from the upper outflow portion 230 passes through the entire area of the irradiation range 203b, that is, the entire area of the upper smoke generation space.
Thereby, on the upper side Z 2 of the processed paper W, smoke generated by laser processing rides on this air and flows into the upper inflow portion 250 while passing through the upper smoke generation space.

下部清浄装置２６０は、上部清浄装置２２０と同様に、下部流出部２７０、下部流入部２８０を備える。
そして、下部清浄装置２６０は、加工用紙Ｗの下側Ｚ１において、レーザ加工により発生した煙を、下部煙発生空間を通る間に、上部清浄装置２２０と同様に、下部流入部２８０に流入する。 Similar to the upper cleaning device 220, the lower cleaning device 260 includes a lower outflow portion 270 and a lower inflow portion 280.
Then, the lower cleaning device 260 flows smoke generated by laser processing on the lower side Z1 of the processing paper W into the lower inflow portion 280 in the same manner as the upper cleaning device 220 while passing through the lower smoke generation space.

以上説明したように、本実施形態の清浄装置２１０は、ガルバノ光学系を備えたレーザ加工機２０１においても、レーザ加工により発生した煙を、第１実施形態と同様に、確実に除去できる。これにより、製品の品質を向上できるし、また、製造効率を向上できる。 As described above, the cleaning device 210 of the present embodiment can reliably remove smoke generated by laser processing even in the laser processing machine 201 including the galvano optical system, as in the first embodiment. Thereby, the quality of a product can be improved and manufacturing efficiency can be improved.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made as in the modifications described later, and these are also included in the present invention. Within the technical scope. In addition, the effects described in the embodiments are merely a list of the most preferable effects resulting from the present invention, and the effects of the present invention are not limited to those described in the embodiments. It should be noted that the above-described embodiment and modifications described later can be used in appropriate combination, but detailed description thereof is omitted.

（変形形態）
（１）本実施形態において、清浄装置は、煙発生空間の右側には流出部を、左側には流入部を、それぞれ設けた例を示したが、これに限定されない。これらの一方のみを備えてもよい。
例えば、比較例の清浄装置に対して、実施形態の流出部のみを設けた形態にしてもよい。この場合にも、実施形態と同様に、煙発生空間に対して、奥行方向に幅の態様で、空気を移動できるので、煙清浄の効果を期待できる。
また、例えば、比較例の清浄装置に対して、実施形態の流入部のみを設けた形態にしてもよい。この場合にも、実施形態と同様に、煙発生空間を囲うように、流入口を配置でき、かつ、下側（又は上側）が開口しているので、煙清浄の効果を期待できる。 (Deformation)
(1) In the present embodiment, the cleaning apparatus is illustrated with an example in which an outflow part is provided on the right side of the smoke generation space and an inflow part is provided on the left side, but the present invention is not limited thereto. Only one of these may be provided.
For example, you may make it the form which provided only the outflow part of embodiment with respect to the cleaning apparatus of a comparative example. Also in this case, as in the embodiment, since the air can be moved in the depth direction with respect to the smoke generation space, the effect of smoke cleaning can be expected.
For example, you may make it the form which provided only the inflow part of embodiment with respect to the cleaning apparatus of a comparative example. Also in this case, as in the embodiment, since the inflow port can be arranged so as to surround the smoke generation space and the lower side (or upper side) is opened, the effect of smoke cleaning can be expected.

（２）本実施形態において、流入口は、奥行方向に長く開口した形状である例を説明したが、これに限定されない。例えば、複数の小さいノズル口を奥行方向に配列した形態としてもよい。この場合にも、奥行方向に幅の態様で、空気を移動させることができる。また、ノズル口の大きさを調整すれば、奥行方向に位置に応じて、空気の移動速度や供給量を調整できる。例えば、煙の濃度の高い空間のみ、空気の移動速度を速くしたり、空気の供給量を多くするように調整したりできる。 (2) In this embodiment, although the example in which the inflow port was a shape opened long in the depth direction was described, it is not limited to this. For example, a plurality of small nozzle openings may be arranged in the depth direction. Also in this case, the air can be moved in a width manner in the depth direction. Moreover, if the size of the nozzle opening is adjusted, the moving speed and supply amount of air can be adjusted according to the position in the depth direction. For example, the air moving speed can be increased only in a space where the smoke concentration is high, or the air supply amount can be increased.

（３）第１実施形態において、流入口は、ローラ２ｂ（屈曲部）以降も設けられている例を説明したが、これに限定されない。例えば、流入口は、ローラ２ｂの手前側（上流側Ｘ２）にのみ設けてもよい。 (3) In 1st Embodiment, although the inflow port demonstrated the example provided after the roller 2b (bending part), it is not limited to this. For example, the inlet may be provided only on the front side (upstream side X2) of the roller 2b.

１，２０１レーザ加工機
１０，２１０清浄装置
２１筒部
３０，２３０上部流出部
３１，４１，７１，２３１，２５１ノズル口
４０筒内流出部
５０，２５０上部流入部
５１，８１上流部
５２，８２下流部
７０，２７０下部流出部
８０，２８０下部流入部
Ａ１上部煙発生空間
Ａ２下部煙発生空間
Ａ３１移動空間
Ｐ微粒子
Ｗ加工用紙 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,201 Laser processing machine 10,210 Cleaning apparatus 21 Tube part 30,230 Upper outflow part 31,41,71,231,251 Nozzle port 40 In-cylinder outflow part 50,250 Upper inflow part 51,81 Upstream part 52,82 Downstream part 70,270 Lower outflow part 80,280 Lower inflow part A1 Upper smoke generation space A2 Lower smoke generation space A31 Moving space P Fine particles W Processing paper

Claims

A laser processing smoke cleaning apparatus attached to a laser processing machine for processing a processed sheet in a feed direction and processing the processed sheet with laser light,
A cylindrical part that is attached to a laser irradiation part that emits laser light and passes the laser light;
It is integrally attached to the cylinder part, and the air flows out in a direction along the feeding direction toward the space where smoke is generated by laser processing, and in a mode with a depth in the width direction of the processed sheet , And the 1st outflow part which flows out out of the air to the space by the side of a processing sheet rather than the tip of the above-mentioned cylinder part ,
It is arranged on the opposite side to the side where the first outflow part is provided across the processed sheet, and the air is directed toward the space where smoke is generated by laser processing, in the direction along the feed direction, and A second outflow portion that flows out in a form having a depth in the width direction of the processed sheet;
The first outflow portion and the second outflow portion are the air outflow destinations, and are arranged to cover at least a part of the laser irradiation portion, and the first outflow portion and the second outflow portion have flowed out. An inflow section for flowing air and smoke;
With
The inflow part is
A first inflow portion disposed on one side of the processed sheet and having an opening on the processed sheet side;
A second inflow portion disposed on the other surface side of the processed sheet and having an opening on the processed sheet side;
Providing
A laser processing smoke cleaning device.

The laser-processed smoke cleaning device according to claim 1,
The first outflow part and the second outflow part flow out air to an area wider than a space where smoke is generated by laser processing;
A laser processing smoke cleaning device.

In the laser processing smoke cleaner according to claim 1 or 2 ,
The outer shape of the cylindrical portion is parallel to the laser irradiation direction;
A laser processing smoke cleaning device.

In the laser processing smoke cleaning apparatus in any one of Claims 1-3 ,
An in-cylinder outflow part for outflowing air inside the cylinder part;
A laser processing smoke cleaning device.

In the laser processing smoke cleaning apparatus in any one of Claims 1-4 ,
The first outflow portion and the second outflow portion outflow air toward the downstream side in the feeding direction;
A laser processing smoke cleaning device.

In the laser processing smoke cleaning apparatus in any one of Claims 1-5 ,
The inflow portion has a shape in which a processed sheet side of a cylinder arranged so that an axial direction is a feeding direction is opened;
A laser processing smoke cleaning device.

The laser-processed smoke cleaner according to claim 6 ,
The laser processing machine is to change the feed angle of the processed sheet at a bent portion,
The inflow part is
It is also arranged in the route of the processed sheet whose feed angle has changed at the bent portion,
The processed sheet side whose feed angle has changed at the bent portion is also open.
A laser processing smoke cleaning device.

In the laser processing smoke cleaning apparatus according to claim 6 or 7 ,
The tip of the inflow portion is formed so as to surround a space where smoke is generated,
A laser processing smoke cleaning device.

The laser processing smoke cleaning device according to any one of claims 1 to 8 ,
A laser irradiation unit that performs laser processing by irradiating the processing sheet with laser light ;
A laser processing apparatus comprising: