JP5451979B2 - 波面センサ、および光位相分布制御装置 - Google Patents
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形状可変鏡の代わりにピストン駆動するマイクロミラーアレイを用いる場合には、マイクロミラーアレイが未制御な状態であるため、隣接したマイクロミラー間で、ある程度のピストン位相差があることが考えられる。このような場合には、Shack−Hartmannセンサでは、このピストン位相差を計測することができないという問題があった。
図1は、本発明の実施の形態1における波面センサ、および空間位相分布制御装置の構成図である。図1における空間位相分布制御装置は、位相分布制御対象である光波1、マイクロミラーアレイ2、像転送光学系3、像転送光学系を構成するレンズ3a、3b、第1のレンズレットアレイ4、第2のレンズレットアレイ5、2次元検出器6、および信号処理部7で構成される。ここで、本実施の形態1における集光レンズ系は、第1のレンズレットアレイ4および第2のレンズレットアレイ5に相当する。
隣接するセグメント波面の相対位相差を、集光スポットの輝度分布から求める信号処理方法としては、先の実施の形態1で説明した方法以外の別の方法を用いても実現可能である。先の図3を参照すると、隣接するセグメント波面間にピストン位相差がある場合には、ピストン位相差がない場合と比較して、輝度分布の最大ピーク値が低下すると同時に、2番目に高いピーク値が増大することがわかる。
図4は、本発明の実施の形態3における波面センサ、および空間位相分布制御装置の構成図である。図4における空間位相分布制御装置は、位相分布制御対象である光波1、マイクロミラーアレイ2、像転送光学系3、像転送光学系を構成するレンズ3a、3b、光波位置可変手段20、共用レンズレットアレイ21、2次元検出器6、および信号処理部7で構成される。
Claims (9)
- ピストン駆動可能な複数のマイクロミラーを2次元アレイ状に配列したマイクロミラーアレイによって反射された光波の空間位相分布を計測する波面センサであって、
前記マイクロミラーアレイによって反射された前記光波を集光する集光レンズ系と、
前記集光レンズ系により集光された集光スポット像の強度分布を検出する2次元検出器と、
前記2次元検出器で検出された前記強度分布に基づいて前記光波の空間位相分布を示す2次元マップを演算する信号処理部と
を備え、
前記集光レンズ系は、前記マイクロミラーアレイを構成する各マイクロミラーによって反射された光波に対応するセグメント波面からなる2次元平面に対して、第1の方向に隣接するセグメント波面の光波を集光する第1のレンズレットアレイと、前記第1の方向とは異なる第2の方向に隣接するセグメント波面の光波を集光する第2のレンズレットアレイとを有し、
前記信号処理部は、前記第1のレンズレットアレイおよび前記第2のレンズレットアレイにより集光された集光スポット像の強度分布の変化を利用して隣接するセグメント波面間のピストン位相差を演算し、前記ピストン位相差から前記2次元マップを演算する
ことを特徴とする波面センサ。 - 請求項1に記載の波面センサにおいて、
前記集光レンズ系において、
前記第1のレンズレットアレイは、2次元アレイ状に配列されて構成され、
前記第2のレンズレットアレイは、2次元アレイ状あるいはリニアアレイ状に配列されて構成され、
前記第1のレンズレットアレイおよび前記第2のレンズレットアレイは、独立したレンズレットアレイとして構成される
ことを特徴とする波面センサ。 - 請求項2に記載の波面センサにおいて、
前記第1のレンズレットアレイは、構成要素である個々のレンズレットに対し、前記マイクロミラーアレイにおける第1の方向に隣接する2つのマイクロミラーが反射した光波の部分波面を入射させるように配置され、
前記第2のレンズレットアレイは、構成要素である個々のレンズレットに対し、前記マイクロミラーアレイにおける前記第1の方向とは異なる第2の方向に隣接する2つのマイクロミラーが反射した光波の部分波面を入射させるように配置される
ことを特徴とする波面センサ。 - 請求項1に記載の波面センサにおいて、
前記集光レンズ系は、
前記マイクロミラーアレイによって反射された前記光波が入射する光波入射位置を可変とする光波位置可変手段と、
2次元アレイ状に配列され、前記光波位置可変手段により入射位置の異なる光波を入射することにより、前記第1のレンズレットアレイおよび前記第2のレンズレットアレイの役目を果たす共用レンズレッドアレイと
により構成されることを特徴とする波面センサ。 - 請求項4に記載の波面センサにおいて、
前記光波位置可変手段は、前記共用レンズレッドアレイの構成要素である個々のレンズレットに対し、前記マイクロミラーアレイにおける第1の方向に隣接する2つのマイクロミラーが反射した光波の部分波面を入射させる位置に相当する第1の光波入射位置と、前記マイクロミラーアレイにおける前記第1の方向とは異なる第2の方向に隣接する2つのマイクロミラーが反射した光波の部分波面を入射させる位置に相当する第2の光波入射位置とを切り替えることを特徴とする波面センサ。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の波面センサにおいて、
前記信号処理部は、前記2次元検出器で検出された前記強度分布に基づいてピーク輝度値Pおよび全強度Iを求め、あらかじめ定められたP/Iとピストン位相差との関係から、隣接するセグメント波面間のピストン位相差を演算することを特徴とする波面センサ。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の波面センサにおいて、
前記信号処理部は、前記2次元検出器で検出された前記強度分布に基づいて、ピーク輝度値P1および座標(XP1、YP1)と、2次ピーク輝度値P2および座標(XP2、YP2)とを求め、あらかじめ定められたP2/P1とピストン位相差との関係、および両座標の位置関係から、隣接するセグメント波面間のピストン位相差を演算することを特徴とする波面センサ。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の波面センサにおいて、
前記信号処理部は、隣接するセグメント波面間のピストン位相差に基づいて、前記第1の方向における相対位相差のマッピングと、前記第2の方向における相対位相差のマッピングとを求めることで、空間位相分布に相当する前記2次元マップを演算することを特徴とする波面センサ。 - ピストン駆動可能な複数のマイクロミラーを2次元アレイ状に配列したマイクロミラーアレイを有し、前記マイクロミラーアレイによって光波を反射することにより、光波の空間位相分布を任意に形成する光位相分布制御装置であって、
請求項1〜8に記載の波面センサを有し、
前記波面センサに含まれる前記信号処理部は、前記2次元マップとして得られた前記空間位相分布が所望の分布を示すように、前記複数のマイクロミラーをピストン駆動して光波の反射方向を制御する
ことを特徴とする光位相分布制御装置。
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