JP5448755B2 - 接合装置 - Google Patents
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Description
本発明の他の課題は、基板をより安定して接合する接合装置を提供することにある。
本発明のさらに他の課題は、接合される基板の位置ずれを防止する接合装置を提供することにある。
また、同様に接合後のウェハと下カートリッジ8との接触面積を調整することで吸着面全体吸着力の低減効果を得ることができる。この施策により、接合装置1は、下カートリッジ8に載せられている接合ウェハが静電チャック18に吸着されている場合で、静電チャック18が鉛直上方向に上昇するときに、下カートリッジ8が静電チャック18とともに鉛直上方向に上昇することが防止される。
その結果、接合装置1は、静電チャック18の吸着力を変化させることなく、かつ、ウェハに所定の加工を施すことなく、ウェハをより安定して取り扱うことができる。
同様に、島部分121が形成された下カートリッジ8が、関係125相当の面122を備える場合、上ウェハ50−1と下ウェハ50−2とを接合してなる接合ウェハが静電チャック18に吸着されている場合で、静電チャック18が鉛直上方向に上昇するときに、静電チャック18とともに鉛直上方向に上昇することが防止される。
その結果、接合装置1は、静電チャック18の吸着力を変化させることなく、かつ、ウェハに所定の加工を施すことなく、ウェハをより安定して取り扱うことができる。
同様に、島部分131が形成された下カートリッジ8が、関係135相当の面132を備える場合、上ウェハ50−1と下ウェハ50−2とを接合してなる接合ウェハが静電チャック18に吸着されている場合で、静電チャック18が鉛直上方向に上昇するときに、静電チャック18とともに鉛直上方向に上昇することが防止される。
その結果、接合装置1は、静電チャック18の吸着力を変化させることなく、かつ、ウェハに所定の加工を施すことなく、ウェハをより安定して取り扱うことができる。島部分131は、さらに、既述の実施の形態における島部分121に比較して、表面積をより小さく形成することができる。このため、島部分131が形成される上カートリッジは、島部分121が形成される上カートリッジに比較して、接合チャンバー2内の真空度の劣化をより防止することができる。
2 :接合チャンバー
3 :ロードロックチャンバー
4 :真空ポンプ
5 :ゲートバルブ
6 :搬送機構
7 :上カートリッジ
8 :下カートリッジ
9 :真空ポンプ
10 :接合装置制御装置
11 :圧接機構
12 :位置合わせ機構
13 :圧接軸
14 :イオンガン
15 :電子源
17 :ハンド
18 :静電チャック
19 :荷重計
21−1〜21−2:爪
25−1:辺縁
25−2:辺縁
45 :ステージキャリッジ
46 :支持面
47 :複数のアライメント用孔
48−1〜48−2:位置決めピン
49−1〜49−2:切り欠き
50−1:上ウェハ
50−2:下ウェハ
51−1〜51−4:島部分
52−1〜52−3:複数のウェハ位置決めピン
53−1〜53−2:複数の位置決め穴
54 :複数のアライメント用穴
56 :フランジ部分
57 :本体部分
59 :位置決め用ピン
61 :島部分
62−1〜62−3:複数のウェハ位置決めピン
63−1〜63−2:複数の位置決め穴
64 :複数のアライメント用穴
65 :溝
66 :フランジ部分
67 :本体部分
70 :ウェハ
71 :カートリッジ
72 :空間
111:島部分
112:複数の孔
115:島部分
116:複数の突起
121:島部分
122:面
131:島部分
132:面
141:カートリッジ
142:島部分
143:引っ掛かり部
144:大径部分
145:小径部分
151:ステージキャリッジ
152:複数のピン
153:支柱部分
154:頭部分
Claims (11)
- 基板が載せられるカートリッジと、
前記カートリッジが載せられるキャリッジと、
静電チャックに印加される印加電圧に応じて定まる静電引力により前記基板を吸着する該静電チャックと、
前記キャリッジに対して前記静電チャックを駆動する圧接機構と
を具備し、
前記カートリッジは、前記カートリッジに載せられている基板が前記静電チャックに吸着されている場合で、前記静電チャックが前記キャリッジから遠ざけられるときに、前記カートリッジが前記キャリッジから遠ざからないような形状に形成されている
接合装置。 - 請求項1において、
前記カートリッジは、前記カートリッジに前記基板が載せられているときに、前記基板の表面のうちの前記カートリッジに対向する領域から前記カートリッジまでの平均距離が、前記印加電圧が印加されて前記基板に加えて前記カートリッジが吸着されるときの該カートリッジの限界平均距離より大きくなるように、形成されている
接合装置。 - 請求項2において、
前記カートリッジは、前記カートリッジに前記基板が載せられているときに、前記カートリッジの表面のうちの前記基板に対向する領域の表面粗さが、前記印加電圧が印加されて前記基板に加えて前記カートリッジが吸着されるときの該カートリッジの限界表面粗さより大きくなるように、形成されている
接合装置。 - 請求項2または請求項3のいずれかにおいて、
前記カートリッジは、前記カートリッジに前記基板が載せられているときに、前記カートリッジの表面のうちの前記基板に対向する領域の平面度が、前記印加電圧が印加されて前記基板に加えて前記カートリッジが吸着されるときの該カートリッジの限界平面度より大きくなるように、形成されている
接合装置。 - 請求項2〜請求項4のいずれかにおいて、
前記カートリッジは、前記カートリッジに前記基板が載せられているときに、前記カートリッジの表面のうちの前記基板に対向する領域の面積が、前記印加電圧が印加されて前記基板に加えて前記カートリッジが吸着されるときの該カートリッジの限界面積より小さくなるように、形成されている
接合装置。 - 請求項2〜請求項5のいずれかにおいて、
前記カートリッジは、前記カートリッジに前記基板が載せられているときに、前記カートリッジの表面のうちの前記基板との接触面積が、前記印加電圧が印加されて前記基板に加えて前記カートリッジが吸着されるときの該カートリッジの限界接触面積より小さくなるように、前記カートリッジの表面のうちの前記基板に対向する領域に穴が形成されている
接合装置。 - 請求項2〜請求項6のいずれかにおいて、
前記カートリッジは、前記カートリッジに前記基板が載せられているときに、前記カートリッジの表面のうちの前記基板との接触面積が、前記印加電圧が印加されて前記基板に加えて前記カートリッジが吸着されるときの該カートリッジの限界接触面積より小さくなるように、前記カートリッジの表面のうちの前記基板に対向する領域に突起が形成されている
接合装置。 - 請求項1〜請求項7のいずれかにおいて、
前記カートリッジは、前記カートリッジの重量が、前記印加電圧が印加されて前記基板に加えて前記カートリッジが吸着されるときの該カートリッジの限界重量より大きくなるように、形成されている
接合装置。 - 請求項1〜請求項8のいずれかにおいて、
前記キャリッジは、引っ掛け部が形成され、
前記カートリッジは、前記カートリッジが前記キャリッジに載せられるときに前記引っ掛け部に引っ掛けられることにより前記印加電圧における吸着力により前記カートリッジが前記キャリッジから遠ざかるのを防止する
接合装置。 - 請求項1〜請求項9のいずれかにおいて、
前記圧接機構は、さらに、前記静電チャックが上基板を吸着している場合で、下基板が載せられている他のカートリッジが前記キャリッジに載せられているときに、前記上基板と前記下基板とが接合されるように、前記キャリッジに対して前記静電チャックを駆動する
接合装置。 - 請求項10において、
前記上基板と前記下基板とが接合される前に、前記上基板の前記下基板に対向する面と前記下基板の前記上基板に対向する面とを活性化させる活性化装置
をさらに具備する接合装置。
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JP4875678B2 (ja) * | 2008-09-01 | 2012-02-15 | 三菱重工業株式会社 | 常温接合装置 |
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- 2009-11-30 JP JP2009271486A patent/JP5448755B2/ja active Active
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