JP5444233B2 - パターン基板の洗浄を最適化する装置および方法 - Google Patents
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Description
なお、本願に係る発明は、以下のような態様で実現することもできる。
適用例1
パターンウェーハの表面上の汚染物を除去するために洗浄材料を分注する洗浄ヘッドであって、
前記洗浄ヘッドを前記表面に近接して保持するためのアームと、
前記パターンウェーハの前記表面に対向する複数のチャネルを有する前記洗浄ヘッドと、を備え、
前記複数のチャネルのそれぞれは、二個の端部を有し、前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ流動し、前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、前記分注された洗浄材料は、基板に対して、前記複数のチャネルのそれぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、パターン基板の前記表面上の前記汚染物の除去を促進する、洗浄ヘッド。
適用例2
前記複数のチャネルは、互いに平行であり、前記複数のチャネルは、前記洗浄ヘッドの長さに対して約0°ないし約180°の角度を成す、適用例1の洗浄ヘッド。
適用例3
前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含む、適用例1の洗浄ヘッド。
適用例4
前記洗浄材料は、単相、二相、または三相から成る、適用例1の洗浄ヘッド。
適用例5
前記洗浄材料は、発泡体、乳液、またはゲルである、適用例1の洗浄ヘッド。
適用例6
前記パターンウェーハは、支配的なパターンを有し、前記パターンウェーハは、洗浄中、前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで配される、適用例1の洗浄ヘッド。
適用例7
前記複数のチャネルは、互いに平行ではない、適用例1の洗浄ヘッド。
適用例8
前記複数のチャネルは、螺旋状パターンを形成する、適用例1の洗浄ヘッド。
適用例9
パターンウェーハの表面上の汚染物を除去するために洗浄材料を分注する洗浄ヘッドを有する洗浄システムであって、
前記パターンウェーハを前記洗浄ヘッドへ向けて移動させる輸送機構と、
前記パターンウェーハを前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで保持し、保持した前記パターンウェーハが前記洗浄ヘッドへの移動のために前記輸送機構に配置されるウェーハホルダと、
複数のチャネルを有する前記洗浄ヘッドと、を備え、
前記複数のチャネルのそれぞれは、二個の端部を有し、前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ流動し、前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、前記洗浄ヘッドは、アームにより前記パターンウェーハの前記表面に近接して保持され、前記分注された洗浄材料は、基板に対して、前記複数のチャネルのそれぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、パターン基板の前記表面上の前記汚染物の除去を促進する、洗浄システム。
適用例10
異なるチャネル設計を有する複数の洗浄ヘッドが存在し、前記洗浄ヘッドは、前記パターンウェーハにおいて最善の汚染除去効率を達成するように、前記複数の洗浄ヘッドから選択される、適用例9の洗浄システム。
適用例11
前記複数のチャネルは、互いに平行であり、前記複数のチャネルは、前記洗浄ヘッドの長さに対して約0°ないし約180°の角度を成す、適用例9の洗浄システム。
適用例12
前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含む、適用例9の洗浄システム。
適用例13
前記洗浄システムに二個以上の洗浄ヘッドが存在し、各洗浄ヘッドは、前記複数のチャネルについて独自の構成を有する、適用例9の洗浄システム。
適用例14
前記パターンウェーハは、支配的なパターンを有し、前記パターンウェーハは、洗浄中、前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで配される、適用例9の洗浄システム。
適用例15
前記支配的なパターンは、互いに平行な複数の線である、適用例14の洗浄システム。
適用例16
パターンウェーハの表面上の汚染物を除去する洗浄材料を分注するために洗浄ヘッドを使用する方法であって、
前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで、前記パターンウェーハをウェーハホルダに配置するステップと、
前記パターンウェーハを前記ウェーハホルダと共に前記洗浄ヘッドの下に配置するステップと、
前記パターンウェーハを洗浄するために前記洗浄ヘッドから前記洗浄材料を分注するステップと、を備え、
前記洗浄ヘッドは、複数のチャネルを有し、前記複数のチャネルのそれぞれは、二個の端部を有し、前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ流動し、前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、前記分注された洗浄材料は、基板に対して、前記複数のチャネルの前記それぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、パターン基板の前記表面上の汚染物の除去を促進する方法。
適用例17
さらに、前記パターンウェーハを前記ウェーハホルダと共に前記洗浄ヘッドへ向けて移動させる、適用例16の方法。
適用例18
前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含み、前記垂直な成分は、汚染除去効率を向上させる、適用例16の方法。
適用例19
前記パターンウェーハは、支配的なパターンを有し、前記パターンウェーハは、洗浄中、前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで配され、前記特定の向きは、汚染除去効率を向上させる、適用例16の方法。
適用例20
前記支配的なパターンは、ポリシリコン線または金属相互接続部により形成される、適用例19の方法。
Claims (16)
- パターンウェーハの表面上の汚染物を除去するために洗浄材料を分注する洗浄ヘッドであって、
前記洗浄ヘッドを前記表面に近接して保持するためのアームと、
前記パターンウェーハの前記表面に対向する複数のチャネルを有する前記洗浄ヘッドと、を備え、
前記複数のチャネルのそれぞれは、二個の端部を有し、互いに平行に配され、
前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、
前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ、前記チャネルの長さ方向に沿って流動し、
前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、
前記アームによる前記洗浄ヘッドと前記パターンウェーハとの相対運動により、前記分注された洗浄材料は、前記パターンウェーハに対して、前記複数のチャネルのそれぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、前記パターンウェーハの前記表面上の前記汚染物の除去を促進し、
前記アームは、前記パターンウェーハ上の隆起した線またはトレンチの長さに対して、前記剪断力の角度が−20度〜20度となるように、前記洗浄ヘッドを前記パターンウェーハに対して相対的に動かすことができる、洗浄ヘッド。 - 前記複数のチャネルは、前記洗浄ヘッドの長さに対して約0°ないし約180°の角度を成す、請求項1記載の洗浄ヘッド。
- 前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含む、請求項1記載の洗浄ヘッド。
- 前記洗浄材料は、単相、二相、または三相から成る、請求項1記載の洗浄ヘッド。
- 前記洗浄材料は、発泡体、乳液、またはゲルである、請求項1記載の洗浄ヘッド。
- 前記複数のチャネルは、螺旋状パターンを形成する、請求項1記載の洗浄ヘッド。
- パターンウェーハの表面上の汚染物を除去するために洗浄材料を分注する洗浄ヘッドを有する洗浄システムであって、
前記パターンウェーハを前記洗浄ヘッドへ向けて移動させる輸送機構と、
前記パターンウェーハを前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで保持し、保持した前記パターンウェーハが前記洗浄ヘッドへの移動のために前記輸送機構に配置されるウェーハホルダと、
複数のチャネルを有する前記洗浄ヘッドと、を備え、
前記複数のチャネルのそれぞれは、二個の端部を有し、互いに平行に配され、
前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、
前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ、前記チャネルの長さ方向に沿って流動し、
前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、
前記洗浄ヘッドは、アームにより前記パターンウェーハの前記表面に近接して保持され、
前記アームによる前記洗浄ヘッドと前記パターンウェーハとの相対運動により、前記分注された洗浄材料は、前記パターンウェーハに対して、前記複数のチャネルのそれぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、前記パターンウェーハの前記表面上の前記汚染物の除去を促進し、
前記アームと前記輸送機構の少なくとも一方は、前記パターンウェーハ上の隆起した線またはトレンチの長さに対して、前記剪断力の角度が−20度〜20度となるように、前記洗浄ヘッドを前記パターンウェーハに対して相対的に動かすことができる、洗浄システム。 - 異なるチャネル設計を有する複数の洗浄ヘッドが存在し、前記洗浄ヘッドは、前記パターンウェーハに応じて、前記複数の洗浄ヘッドから選択される、請求項7記載の洗浄システム。
- 前記複数のチャネルは、前記洗浄ヘッドの長さに対して約0°ないし約180°の角度を成す、請求項7記載の洗浄システム。
- 前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含む、請求項7記載の洗浄システム。
- 前記洗浄システムに二個以上の洗浄ヘッドが存在し、各洗浄ヘッドは、前記複数のチャネルについて独自の構成を有する、請求項7記載の洗浄システム。
- 前記パターンウェーハは、支配的なパターンを有し、前記支配的なパターンは、互いに平行な複数の線である、請求項7記載の洗浄システム。
- パターンウェーハの表面上の汚染物を除去する洗浄材料を分注するために洗浄ヘッドを使用する方法であって、
前記洗浄ヘッドに対して特定の向きで、前記パターンウェーハをウェーハホルダに配置するステップと、
前記パターンウェーハを前記ウェーハホルダと共に前記洗浄ヘッドの下に配置するステップと、
前記パターンウェーハを洗浄するために前記洗浄ヘッドから前記洗浄材料を分注するステップと、を備え、
前記洗浄ヘッドは、複数のチャネルを有し、
前記複数のチャネルのそれぞれは、互いに平行に配され、二個の端部を有し、
前記二個の端部の一方は、前記洗浄材料を分注し、前記洗浄材料は、前記分注を行う端部から前記チャネルの他方の端部へ、前記チャネルの長さ方向に沿って流動し、
前記分注を行う端部は、前記洗浄材料の供給元に結合され、
前記洗浄ヘッドは、アームにより前記パターンウェーハの前記表面に近接して保持され、
アームによる前記洗浄ヘッドと前記パターンウェーハとの相対運動により、前記分注された洗浄材料は、前記パターンウェーハに対して、前記複数のチャネルの前記それぞれの軸線に沿った方向に剪断力を及ぼして、前記パターンウェーハの前記表面上の汚染物の除去を促進し、
前記洗浄ヘッドから前記洗浄材料を分注するステップは、前記アームが、前記パターンウェーハ上の隆起した線またはトレンチの長さに対して、前記剪断力の角度が−20度〜20度となるように、前記洗浄ヘッドを前記パターンウェーハに対して相対的に動かすステップを含む、方法。 - さらに、前記パターンウェーハを前記ウェーハホルダと共に前記洗浄ヘッドへ向けて移動させる、請求項13記載の方法。
- 前記洗浄材料が及ぼす前記剪断力は、前記パターンウェーハと前記洗浄ヘッドとの間の移動方向に対して垂直な成分を含み、前記垂直な成分は、汚染除去効率を向上させる、請求項13記載の方法。
- 前記パターンウェーハは、支配的なパターンを有し、前記支配的なパターンは、ポリシリコン線または金属相互接続部により形成される、請求項13記載の方法。
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