JP5429345B2 - 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、及び電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、信号線が密に形成された固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法、及び電子機器に関する。

ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサ（以下、ＣＩＳ）は、高機能、低消費電力のため、特に携帯機器向けイメージセンサ領域において、従来のＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサからの置き換えが急速に進んでいる。

また、近年、ＣＩＳにおいて、画素の微細化と共に、多画素化が急ピッチで進んでいる。先端ＣＭＯＳＬＳＩに使用されるプロセス技術を適用することにより、画素寸法の微細化で先行していたＣＣＤイメージセンサを追い越し、より小さい寸法の画素開発が行われている。ＣＩＳにおいては、ＣＣＤイメージセンサと比較し、画素内のデバイス要素が多く、また、動作も単純でないため、論理回路と同様の金属層での信号線が画素内においても行われる。ただし、光電変換素子であるフォトダイオード（ＰＤ）への光入射経路は開けておかなければならないことから、限られた領域に信号線が集中することになる。ここで、前述の多画素化が行われると、信号線が長くなるだけでなく、隣接信号線へと移行する距離もまた長くなる。これにより、抵抗と容量の両方が増大する傾向にあり、隣接信号線間の信号のクロストークが大きくなる。

図１６を用いて、信号線間距離が短い場合に起こるクロストークについて説明する。
図１６は、固体撮像装置の行方向に配設される信号線を２本図示したものであり、上の信号配線１００は、転送信号線、選択信号線、リセット信号線のいずれかであり、下の信号配線１０１は、上の信号配線１００に隣接して配設された隣接信号線である。このように、信号配線１００，１０１同士が隣接して配設されている場合においては、信号配線１００，１０１間に、図１６に示すように、駆動回路１０２から離れた部分での抵抗Ｒが増大するとともに、信号配線１００，１０１間の容量Ｃが増大する。そうすると、上の信号配線１００に所望のパルス信号φＳｉｇが駆動回路１０２より入力されたとき、その信号配線１００に隣接している信号配線１０１にも、そのパルス信号φＳｉｇの微分成分（微分パルス）が発生してしまう。微分パルスがＯＮ側にふれると、本来、駆動されていない信号配線１０１に混信が起こる。これがクロストークである。クロストークの影響を受ける信号配線１０１が、特に、転送信号線である場合には、フォトダイオードからの信号電荷の漏れが起こってしまう。

信号線間のクロストークを抑制するためには、信号線抵抗Ｒと信号線間容量Ｃを低減することが必要である。しかしながら、信号配線幅や信号配線間隔を拡大して、信号配線抵抗Ｒと信号配線間容量Ｃを低減する方法は、光電変換素子であるフォトダイオードへの集光の妨げとなるため、好ましくない。また、駆動回路１０２の出力インピーダンスを下げることも、信号配線の抵抗が支配的な状態では効果がない。

このため、信号配線抵抗Ｒ、信号配線間容量Ｃを見かけ上低減する方法として、信号配線１００，１０１の両端に、駆動回路を配置し、信号配線１００，１０１の両側から駆動することが考えられる。そうすることにより、各駆動回路の負荷は半分になるため、信号配線抵抗Ｒ、信号配線間容量Ｃともに低減できる。

しかしながら、上述したように、信号配線１００，１０１の両端に、駆動回路を配置した場合、各駆動回路に入力する制御信号の同期がとれていなければならない。制御信号のタイミングがずれると信号遷移が遅くなる。特に、ＣＭＯＳ型の駆動回路の場合、制御信号のタイミングのずれが大きいと、リークの原因にもなるため、好ましくない。

これに対し、クロストークの抑制に注目したインピーダンス制御が、下記特許文献１に記載されている。特許文献１では、自信号を用いて、終端トランジスタのインピーダンスを制御する構成が記載されている。他の信号が入力されるタイミングにおいて、終端トランジスタのインピーダンスを自信号のフィードバックにより低く設定する。終端トランジスタのインピーダンスが低くなることにより、信号配線の電位固定が強くなる。これにより、クロストークによる信号変動を抑制している。

特開２００２−３０３８０３号公報

しかしながら、この特許文献１における方法では、自信号のフィードバックを用いるため、自信号が遷移する際に障害となる。すなわち、信号が遷移するとき、ドライバと反対側では、自信号を保持する方向に終端トランジスタがはたらいている。したがって、ドライバ側からみると、インピーダンスが高くなったのと同じであり、信号遷移に時間が掛かる。

上述の点に鑑み、本発明は、信号遷移速度の低下防止と、クロストーク抑制が両立された固体撮像装置と、その駆動方法を提供するものであり、また、その固体撮像装置を用いた電子機器を提供するものである。

上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の固体撮像装置は、以下の構成を有する。
まず、入射された光を光電変換して、信号電荷を蓄積させる光電変換部と、複数の光電変換部に蓄積された信号電荷をフローティングディフュージョンに読み出す為の転送信号が入力される複数の転送信号線とを有する。
そして、それらの転送信号線に、それぞれ所望の信号を入力する駆動回路を有する。さらに、転送信号線の駆動回路が接続される側とは反対側に接続され、転送信号線のうち所望の転送信号線に転送信号が入力されるタイミングよりも前から、当該所望の転送信号線に隣接する転送信号線を一定電圧に固定させるための制御信号が入力される終端回路とを有する。
すなわち、本発明の固体撮像装置では、転送信号線に対して、転送信号線を駆動する駆動回路とは反対側に端部に接続された終端回路を有し、前記終端回路は、前記所望の転送信号線に入力される転送信号を生成するための信号を、前記制御信号として前記隣接する転送信号線に入力し、前記隣接する転送信号線は、前記駆動回路からの信号と前記終端回路からの制御信号とにより一定電圧に固定される。

本発明の固体撮像装置では、所望の転送信号線に所望の信号が入力されたときに、隣接する転送信号線は、制御信号が終端回路に入力されていることにより、当該隣接する転送信号線の電位が一定に固定される。これにより、転送信号線の信号線抵抗や、転送信号線と、隣接する転送信号線との間の信号線間容量が低減されるので、所望の転送信号線における、隣接する転送信号線に入力される信号からの影響が低減される。

また、本発明の固体撮像装置の駆動方法は、以下の工程で構成される。
まず、光電変換部に光入射し、光電変換して信号電荷を蓄積させる。次に、信号電荷を転送するために設けられた複数の転送信号線に、駆動回路から転送信号を入力する。そして、転送信号線のうち所望の転送信号線に転送信号が入力されるタイミングよりも前から、当該所望の転送信号線に隣接する転送信号線を一定電圧に固定するための制御信号を当該転送信号線において前記駆動回路と反対側に接続した終端回路に入力する。そして、前記終端回路は、前記所望の転送信号線に入力される転送信号を生成するための信号を、前記制御信号として前記隣接する転送信号線に入力し、前記隣接する転送信号線は、前記駆動回路からの信号と前記終端回路からの制御信号とにより一定電圧に固定される。

本発明の固体撮像装置の駆動方法では、所望の転送信号線に、信号が入力されるタイミングよりも前から、隣接する転送信号線を一定電圧に固定する。これにより、所望の転送信号線において、これに隣接する転送信号線に入力されている信号からの影響による誤信号入力が低減される。

本発明の電子機器は、光学系と、固体撮像装置と、信号処理回路とを有する。そして、その固体撮像装置は、上述した本発明の固体撮像装置を用いる。

本発明の電子機器では、固体撮像装置において、転送信号線に所望の信号が入力されたときに、これに隣接する転送信号線は、制御信号が終端回路に入力されていることにより電位が一定に固定される。これにより、転送信号線の信号線抵抗や、転送信号線間の信号線間容量が低減されるので、転送信号線における、隣接する転送信号線に入力される信号からの影響による誤信号入力が低減される。

本発明によれば、信号遷移に影響を与えることなく、クロストークによる誤信号入力を抑制し、画質の向上が図られた固体撮像装置、及び電子機器をえることができる。

本発明の第１の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成図である。 終端回路の概略構成図である。 第１の実施形態に係る固体撮像装置の動作タイミングを示す図である。 Ａ，Ｂ 駆動方法例１を実施するための概略構成図、及び駆動方法例１における動作タイミングを示す。 Ａ，Ｂ 駆動方法例２を実施するための概略構成図、及び駆動方法例２における動作タイミングを示す。 Ａ，Ｂ 駆動方法例３を実施するための概略構成図、及び駆動方法例３における動作タイミングを示す。 駆動方法例４を実施するための概略構成図である。 Ａ，Ｂ 駆動方法例５を実施するための概略構成図、及び駆動方法例５における動作タイミングを示す。 本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成図である。 第２の実施形態に係る固体撮像装置の要部の配置レイアウトを示す。 本発明の第３の実施形態に係る固体撮像装置の要部の配置レイアウトを示す。 本発明の第４の実施形態に係る固体撮像装置の要部の配置レイアウトを示す。 本発明の第５の実施形態に係る固体撮像装置の要部の等価回路を示す。 本発明の第６の実施形態に係る固体撮像装置の要部の等価回路を示す。 本発明の電子機器を示す概略構成図である。 従来例の固体撮像装置における要部を示す概略構成図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。

［第１の実施形態］
図１に本発明の第１の実施形態における固体撮像装置、いわゆるＣＭＯＳイメージセンサの概略構成を示す。本実施形態例に係る固体撮像装置１は、複数の画素２が、規則性をもって２次元配列された撮像部（いわゆる画素部）３と、撮像部３の周辺に配置された周辺回路とを有する。周辺回路は、垂直駆動部４、水平転送部５、終端回路７、及び出力部６を有して構成され、また、垂直駆動部４及び終端回路７に入力される所望の信号を発生させるための信号発生回路を有する。

画素２は、１つの光電変換素子であるフォトダイオードＰＤと、複数の画素トランジスタ（ＭＯＳトランジスタ）とにより構成される。

画素２において、フォトダイオードＰＤは、光入射で光電変換され、その光電変換で生成された信号電荷を蓄積する領域を有して成る。複数の画素トランジスタは、転送トランジスタＴｒ１、リセットトランジスタＴｒ２、増幅トランジスタＴｒ３及び、選択トランジスタＴｒ４の４つのＭＯＳトランジスタを有している。転送トランジスタＴｒ１は、フォトダイオードＰＤに蓄積された信号電荷をフローティングディフュージョン領域ＦＤに読み出すトランジスタである。リセットトランジスタＴｒ２は、フローティングディフュージョン領域ＦＤの電位を規定の値に設定するためのトランジスタである。増幅トランジスタＴｒ３は、フローティングディフュージョン領域ＦＤに読み出された信号電荷を電気的に増幅するためのトランジスタである。選択トランジスタＴｒ４は、画素１行を選択して画素信号を垂直信号線８に読み出すためのトランジスタである。
なお、図示しないが、選択トランジスタＴｒ４を省略した３つのトランジスタとフォトダイオードＰＤで画素を構成することも可能である。

画素２の回路構成では、転送トランジスタＴｒ１のソースがフォトダイオードＰＤに接続され、そのドレインがリセットトランジスタＴｒ２のソースに接続される。転送トランジスタＴｒ１とリセットトランジスタＴｒ２間の電荷−電圧変換手段となるフローティングディフュージョン領域ＦＤ（転送トランジスタのドレイン領域、リセットトランジスタのソース領域に相当する）が増幅トランジスタＴｒ３のゲートに接続される。増幅トランジスタＴｒ３のソースは選択トランジスタＴｒ４のドレインに接続される。リセットトランジスタＴｒ２のドレイン及び増幅トランジスタＴｒ３のドレインは、電源電圧供給部に接続される。また、選択トランジスタＴｒ４のソースが垂直信号線８に接続される。

垂直駆動部４は、転送トランジスタＴｒ１、リセットトランジスタＴｒ２、選択トランジスタＴｒ４のそれぞれのゲートに接続される転送信号線、リセット信号線、選択信号線に、所望のパルス信号を入力するための駆動回路を有する。すなわち、垂直駆動部４から、リセット信号線を介し、１行に配列された画素２のリセットトランジスタＴｒ２のゲートに、共通に印加される行リセット信号φＲＳＴが供給される。同じく、垂直駆動部４から、転送信号線を介して、１行の画素の転送トランジスタＴｒ１のゲートに、共通に印加される行転送信号φＴＲＦが供給される。さらに、同じく、垂直駆動部４から、選択信号線を介して、１行の選択トランジスタＴｒ４のゲートに、共通に印加される行選択信号φＳＥＬが供給される。

水平転送部５は、各列の垂直信号線８に接続された、アナログ／デジタル変換器９と、行選択回路（スイッチ手段）ＳＷと、水平転送線１０とを有して構成される。出力部６は、増幅器又は、アナログ／デジタル変換器及び／又は信号処理回路から構成されるものであるが、本例では、水平転送線１０からの出力を処理する信号処理回路１１と、出力バッファ１２とを有して構成される。また、水平転送線１０は、例えばデータビット線と同数の信号線で構成されたバス信号線で構成される。

終端回路７は、所望の転送信号線を一定電圧に固定するための回路であり、図２に、その構成例の一例を示す。終端回路７は、図２に示すように、ＭＯＳトランジスタからなる制御トランジスタＴｒ５により構成される。制御トランジスタＴｒ５としては、ｎチャネル、またはｐチャネルのＭＯＳトランジスタを用いることができ、この例においては、ｎチャネルのＭＯＳトランジスタを用いる例としている。この制御トランジスタＴｒ５において、ソースは低電圧ＶＬに接続され、ゲートには、信号発生回路１６から出力される制御信号φＴＥＲＭが供給され、ドレインは、転送信号線１４に接続される。また、この終端回路７は、転送信号線１４の行転送信号φＴＲＦが供給される側とは反対側の端部に接続されるものである。この低電圧ＶＬは、転送信号線１４に入力されるローレベルの電圧と等しい電圧であればよく、例えば、典型的なローレベル電圧として０Ｖが挙げられる。
この終端回路７は、制御トランジスタＴｒ５のゲートに、制御信号φＴＥＲＭを入力することにより、転送信号線１４に低電圧ＶＬを供給することができる回路である。

この例において、終端回路７は、ローレベルの低電圧ＶＬに終端させる例としたが、これに限れられるものではない。例えば、ダイナミックレンジの拡大を目的として、中間電位に固定する場合もあり得る。この場合は、フォトダイオードの電荷量を蓄積時間の途中まで小さめにしておき、転送ゲートを中間電位にして電荷をあふれさせ、途中から完全に転送ゲートを閉じて残り時間でさらに電荷を蓄積する構成とされる。
すなわち、終端回路７の電位は、センサの仕様に応じて任意の電位とすることができるものである。
また、終端回路７の構成例は、図２に示す例に限られるものではない。

信号発生回路１６は、各部の動作に必要なクロックや、所定タイミングのパルス信号、各信号線に供給されるアドレス信号を生成するものである。信号発生回路１６において発生されたアドレス信号は、図示しないデコーダ等を介して、所望の垂直駆動部４の転送信号用駆動回路、リセット信号用駆動回路、選択信号用駆動回路に入力される。転送信号用駆動回路に入力されるパルス信号を、行転送信号φＴＲＦ、リセット信号用駆動回路に入力されるパルス信号を、行リセット信号φＲＳＴ、選択信号用駆動回路に入力されるパルス信号を、行選択信号φＳＥＬとする。
また、同じく、信号発生回路１６において発生されるパルス信号の一部は、終端回路７を構成する制御トランジスタＴｒ５のゲートに入力される。そのパルス信号を、制御信号φＴＥＲＭとする。

この固体撮像装置１では、各行の画素２の信号が各アナログ／デジタル変換器９にてアナログ／デジタル変換され、順次選択される行選択回路ＳＷを通じて水平転送線１０に読み出され、順次に水平転送される。水平転送線１０に読み出された画像データは、信号処理回路１１を通じて出力バッファ１２より出力される。

［固体撮像装置の動作］
画素２における一般的な動作を説明する。
最初に、転送トランジスタＴｒ１のゲートとリセットトランジスタＴｒ２のゲートをオン状態にして、フォトダイオードＰＤの電荷を全て空にする。次いで、転送トランジスタＴｒ１のゲートと、リセットトランジスタＴｒ２のゲートをオフ状態にして、電荷蓄積を行う。次に、フォトダイオードＰＤの電荷を読み出す直前に、リセットトランジスタＴｒ２のゲートをオン状態にして、フローティングディフュージョン（ＦＤ）領域の電位をリセットする。その後、リセットトランジスタＴｒ２のゲートをオフ状態にし、転送トランジスタＴｒ１のゲートをオン状態にして、フォトダイオードＰＤからの電荷をフローティングディフュージョン（ＦＤ）領域へ転送する。増幅トランジスタＴｒ３では、ゲートに電荷が印加されたことを受けて信号電荷を電気的に増幅する。一方、選択トランジスタＴｒ４は、読み出し対象画素のみオン状態とし、該当する画素内の増幅トランジスタＴｒ３からの電荷−電圧変換された画像信号が垂直信号線８に読み出されることとなる。

これらの、転送トランジスタＴｒ１、リセットトランジスタＴｒ２、選択トランジスタＴｒ４のＯＮ／ＯＦＦは、垂直駆動部４から供給される行転送信号φＴＲＦ、行リセット信号φＲＳＴ、行選択信号φＳＥＬによってなされる。図３に、上述した信号電荷の読み出し時における、動作タイミング例を示す。図３に示すように、期間Ｔ１において、フォトダイオードＰＤの電荷を空にし、期間Ｔ２で電荷蓄積を行う。そして、期間Ｔ２の後半部分の期間Ｔ４でフローティングディフュージョン領域ＦＤの電位をリセットし、このフローティングディフュージョン領域ＦＤのリセット電位をリセットレベルとして読み出す。その後、期間Ｔ３で、フォトダイオードＰＤに蓄積された信号電荷をフローティングディフュージョン領域ＦＤに転送し、このときのフローティングディフュージョン領域ＦＤの電位を期間Ｔ５で信号レベルとして垂直信号線８に読み出す。

そして、信号発生回路１６から出力されるアドレス信号により、各行毎に、選択的に行転送信号φＴＲＦ、行リセット信号φＲＳＴ、行選択信号φＳＥＬが順次供給され、行選択信号φＳＥＬの供給により選択された行毎に、信号電荷が、垂直信号線８に読み出される。

本実施形態例では、終端回路７を構成する制御トランジスタＴｒ５のゲートには、所定の期間、制御信号φＴＥＲＭが供給される。この制御信号φＴＥＲＭは、選択されていない転送信号線１４のうちの、所望の転送信号線１４に入力されるものである。選択されていない行の転送信号線１４では、転送信号線１４に接続される転送信号用駆動回路からは、低電圧ＶＬが供給されている。そして、制御信号φＴＥＲＭが供給された場合、制御トランジスタＴｒ５のソースは、低電圧ＶＬに接続されているので、終端回路７からも、転送信号線１４に低電圧ＶＬが供給されることとなる。このため、制御信号φＴＥＲＭが供給された転送信号線１４は、両側から低電圧ＶＬが同期して入力される。これにより、制御信号φＴＥＲＭが供給された転送信号線１４は、両側から同電位が供給されるため、信号線内の抵抗Ｒが、片側から電圧を供給する場合の１／２程度に低減され、隣接する信号線との信号線間容量Ｃも低減させることができる。これにより、制御信号φＴＥＲＭが供給された転送信号線１４では、その転送信号線１４に隣接するリセット信号線１３、選択信号線１５、若しくは他の転送信号線１４との間で起こるクロストークを抑制することができ、信号遷移速度の低下を防ぐことができる。

ところで、固体撮像装置１においては画素部において、フォトダイオードを読み出すための転送信号線１４へのクロストークが最も懸念される。なぜならば、蓄積期間中のフォトダイオードＰＤの転送ゲートが混信により開いてしまうと、特に高輝度時など、フォトダイオードＰＤに十分信号電荷が蓄積されているときには、信号電荷の漏れを生じてしまうからである。

本実施形態例では、特に、転送信号線１４に終端回路７を接続し、所望の転送信号線１４を一定電圧に固定できる構成としている。これにより、転送信号線１４において、隣接する他の信号線からのクロストークを抑制することで、信号電荷の漏れを低減できる。

以下に、終端回路７の駆動方法例を、その駆動方法例を実施するための回路構成例を図示して詳述する。

［駆動方法例１］
まず、駆動方法例１として、撮像部３内において転送信号線１４同士が隣接する場合の固体撮像装置１の駆動方法を、図４Ａ，Ｂを用いて説明する。図４Ａにおいて、図１に対応する部分には、同一符号を付し、重複説明を省略する。

図４Ａは、固体撮像装置１の要部の概略構成であり、駆動方法例１を実施するための回路構成を有するものである。図４Ａは、撮像部３の行方向に延びる転送信号線１４と、その転送信号線１４に隣接して形成される他の転送信号線１４（以下、隣接転送信号線１４ａ）及び、その転送信号線１４、隣接転送信号線１４ａに接続される周辺回路を模式的に示すものである。また、図４Ｂには、駆動方法例１における動作タイミングを示す。ここで、転送信号線をｉ番目の行に相当する転送信号線１４ｉとすると、隣接転送信号線１４ａは、例えば、ｉ＋１番目の行に相当する転送信号線１４ｉ＋１と見ることができる。

転送信号線１４、及び隣接転送信号線１４ａの一方の端部は、垂直駆動部４に接続されており、それぞれ、垂直駆動部４内において、転送信号用駆動回路４ａに接続されている。そして、隣接転送信号線１４ａの他方の端部は、終端回路７に接続されている。この終端回路７は、図２で説明した構成例と同様であるから、重複説明を省略する。そして、終端回路７及び垂直駆動部４には、それぞれ、信号発生回路１６において発生された所望のパルス信号が入力される。

垂直駆動部４内の転送信号用駆動回路４ａ、及び終端回路７のゲートには、信号発生回路１６により発生された行転送信号φＴＲＦ、及び制御信号φＴＥＲＭがそれぞれ入力される。ここで、行転送信号φＴＲＦ及び、制御信号φＴＥＲＭは、実際には、信号発生回路１６から出力されるアドレス信号等のパルス信号を、図示しないデコーダや論理回路に入力することにより生成されるものである。

この固体撮像装置１では、転送信号線１４に接続される転送信号用駆動回路４ａに入力される行転送信号φＴＲＦと、終端回路７に入力される制御信号φＴＥＲＭとは、それぞれ同期するように、信号発生回路１６から出力する。また、転送信号用駆動回路４ａに入力される行転送信号φＴＲＦのパルス幅Ｗ１よりも、終端回路７に入力される制御信号φＴＥＲＭのパルス幅Ｗ２の方は十分長く構成する。これにより、信号発生回路１６から発生される行転送信号φＴＲＦを転送信号要駆動回路４ａに入力するまでの信号遅延時間と、制御信号φＴＥＲＭを終端回路７に入力するまでの信号遅延時間との差を、吸収することができる。

そして、図４Ｂに示すように、行転送信号φＴＲＦのパルスの立ち上がりよりも早いタイミングで、制御信号φＴＥＲＭが終端回路７に入力されるように構成する。また、行転送信号φＴＲＦのパルスの立ち下がりよりも遅いタイミングで、制御信号φＴＥＲＭのパルスが立ち下がるように構成する。

このような回路構成を有する固体撮像装置において、転送信号線１４を駆動するために、行転送信号φＴＲＦを信号発生回路１６から出力する。そうすると、図４Ｂに示すように、信号発生回路１６からは、制御信号φＴＥＲＭも出力され、終端回路７の制御トランジスタＴｒ５のゲートには、行転送信号φＴＲＦが転送信号線１４に入力されるよりも早いタイミングで、制御信号φＴＥＲＭが入力される。そして、制御信号φＴＥＲＭにより制御トランジスタＴｒ５がＯＮ状態とされ、隣接転送信号線１４ａは、その他端に接続された終端回路７側から低電圧ＶＬが印加される。そして、このとき、隣接転送信号線１４ａは信号電荷の読み出しがされない、すなわち、選択されていない行であるので、隣接転送信号線１４ａには、その一端の垂直駆動部４側からも低電圧ＶＬが印加されている状態である。このため、制御信号φＴＥＲＭにより制御トランジスタＴｒ５がＯＮされた状態において、隣接転送信号線１４ａは、両側から低電圧ＶＬに電位が固定される。

そして、隣接転送信号線１４ａが一定電位に固定された後に、転送信号線１４に行転送信号φＴＲＦが入力される。そうすると、行転送信号φＴＲＦが入力されるタイミングにおいては、すでに、隣接転送信号線１４ａは、低電圧ＶＬに電位固定されており、かつ、隣接転送信号線１４ａの両側から同期した電位が供給されていることで、隣接転送信号線１４ａ内の信号線抵抗Ｒが１／２程度に低減されている。このため、転送信号線１４と隣接転送信号線１４ａとの間にできる信号線間容量Ｃが低減され、転送信号線１４における行転送信号φＴＲＦの立ち上がり時における隣接転送信号線１４ａとの間の信号のクロストークが低減される。

そして、これにより、隣接転送信号線１４ａにおいて、行転送信号φＴＲＦのパルスの立ち上がりの影響、すなわち、誤信号となる微分パルスの発生を低減することができる。すなわち、隣接転送信号線１４ａの電位固定を強くすることにより、クロストークによる隣接転送信号線１４ａ内の信号変動を、起きにくくすることができる。

従来、転送信号線１４の行転送信号φＴＲＦのパルスの立ち上がりの影響で、隣接転送信号線１４ａにおいて、微分パルスによる信号変動が起こった場合、ＯＮ状態の電位が、隣接転送信号線１４ａに接続される転送ゲートに入力されてしまう問題があった。

これに対して、この駆動方法例１においては、転送信号線１４に行転送信号φＴＲＦが入力された際に、隣接転送信号線１４ａにおいて、微分パルスの発生が抑制されて、クロストークが抑制される。これにより、隣接転送信号線１４ａで起こる不要な信号電荷の漏れを防ぐことができる。

［駆動方法例２］
次に、駆動方法例２として、撮像部３内において転送信号線１４同士が隣接する場合の固体撮像装置の他の駆動方法を、図５Ａ，Ｂを用いて説明する。図５Ａにおいて、図１に対応する部分には、同一符号を付し、重複説明を省略する。

図５Ａは、固体撮像装置１の要部の概略構成であり、駆動方法例２を実施するための構成を有するものである。図５Ａは、撮像部３の行方向に延びる４行分の転送信号線１４を図示したものであり、２ｎ＋１行目（奇数行）〜２ｎ＋４行目（偶数行）の転送信号線１４（２ｎ＋１）〜１４（２ｎ＋４）を代表して図示している。また、図５Ｂには、駆動方法例２における動作タイミングを示す。この例においては、例えば、上の２つの転送信号線１４（２ｎ＋１），１４（２ｎ＋２）が互いに隣接して設けられており、下の２つの転送信号線１４（２ｎ＋３），１４（２ｎ＋４）が互いに隣接して設けられているものとする。

これらの転送信号線１４（２ｎ＋１）〜１４（２ｎ＋４）の一方の端部は、垂直駆動部４に接続されており、それぞれ、垂直駆動部４内において、転送信号用駆動回路４ａに接続されている。転送信号線１４（２ｎ＋１）〜１４（２ｎ＋４）の他方の端部は、終端回路７に接続されている。転送信号用駆動回路４ａ及び終端回路７には、それぞれ信号発生回路１６から発生される所望のパルス信号が入力される。

信号発生回路１６と転送信号用駆動回路４ａ間には、信号発生回路１６で発生されるアドレス信号をデコードするデコーダ１８や、信号発生回路１６から発生されるパルス信号とデコードされたアドレス信号とのＡＮＤをとる論理回路１９が構成されている。
また、終端回路７は、ｎチャネルのＭＯＳトランジスタからなる第１の制御トランジスタＴｒ５−１及び第２の制御トランジスタＴｒ５−２と、第２の制御トランジスタＴｒ５−２直前に設けられた反転回路１７により構成される。この終端回路７において、第１及び第２の制御トランジスタＴｒ５−１、Ｔｒ５−２のソースには、低電圧ＶＬが接続されている。そして、第１の制御トランジスタＴｒ５−１のゲートには、アドレス最下位ビットが入力され、ドレインは、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）に接続される。また、第２の制御トランジスタＴｒ５−２のゲートには、アドレス最下位ビットが反転回路１７を介して入力され、ドレインは、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１），１４（２ｎ＋３）に接続される。そして、このように構成された終端回路７には、信号発生回路１６から出力されるアドレス信号の最下位ビットのみが入力される構成とされている。

このような回路構成を有する固体撮像装置において、例えば、奇数行である転送信号線１４（２ｎ＋１）を駆動するために、行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋１を入力するとする。この奇数行の転送信号線１４２ｎ＋１に入力される行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋１を生成するための、アドレス信号の最下位ビットが“１”であるとすると、終端回路７には、“１”の信号を有する制御信号φＴＥＲＭｅが入力される。終端回路７は、ｎチャネルのＭＯＳトランジスタからなる第１及び第２の制御トランジスタＴｒ５−１，Ｔｒ５−２で構成されるので、制御信号φＴＥＲＭｅが終端回路７に入力された場合、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）に接続される第１の制御トランジスタＴｒ５−１のみがＯＮ状態となる。第２の制御トランジスタＴｒ５−２には、その直前に反転回路１７が構成されているため、“０”が入力されることとなり、ＯＦＦ状態のままである。

そして、これにより、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）には、終端回路７側から、低電圧ＶＬが印加される。このとき、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）の転送信号用駆動回路４ａ側からも低電圧ＶＬが印加されているので、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）は、両側から低電圧ＶＬに固定される。

すなわち、図５Ｂに示すように、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）を駆動する行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋１を発生させるためのアドレス信号が入力されている１ライン間において、その偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）に接続される終端回路７には、制御信号φＴＥＲＭｅが入力される。そうすると、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）に、行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋１が入力されるタイミングよりも早いタイミングで偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）は、両側から低電位ＶＬに固定されることとなる。

すなわち、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）に、行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋１が入力されるタイミングにおいては、すでに、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）は、低電圧ＶＬに電位固定されている。さらに、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２），１４（２ｎ＋４）の両側から同期した電位が供給されることで、転送信号線１４（２ｎ＋２）,１４（２ｎ＋４）内の信号線抵抗Ｒが１／２程度に低減されている。このため、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）と隣接する偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２）との間にできる信号線間容量Ｃが低減され、信号線間の信号のクロストークが低減される。

そして、これにより、駆動される奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）に隣接する偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２）において、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）に入力される行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋１のパルスの立ち上がりの影響を抑制することができる。すなわち、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２）の電位固定を強くすることにより、クロストークによる信号変動を起きにくくすることができる。
なお、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋３）に行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋３を入力する場合も同様の動作により、隣接する偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋４）との間のクロストークを低減することができる。

逆に、偶数行である転送信号線１４（２ｎ＋２）を駆動するために、行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋２を入力するとする。そうすると、今度は、アドレス最下位ビットは、“０”となるので、終端回路７には、“０”が入力される。“０”が制御信号φＴＥＲＭｏとして入力された場合、反転回路１７を介して“１”とされた信号だけが、ｎチャネルのＭＯＳトランジスタをＯＮすることが出来るので、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）,１４（２ｎ＋３）に接続される第２の制御トランジスタＴｒ５−１のみがＯＮ状態となる。そして、これにより、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）,１４（２ｎ＋３）には、低電圧ＶＬが印加されることとなる。このとき、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）,１４（２ｎ＋３）の転送信号用駆動回路４ａ側からも低電圧ＶＬが印加されているので、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１），１４（２ｎ＋３）は、両側から低電圧ＶＬに固定される。

すなわち、図５Ｂに示すように、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２）を駆動する行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋２を、転送信号線１４（２ｎ＋２）に入力するためのアドレス信号が入力されている１ライン間において、その奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１），１４（２ｎ＋３）に接続される終端回路７には、制御信号φＴＥＲＭｏが入力される。そうすると、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２）に、行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋２が入力されるタイミングよりも早いタイミングで、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）,１４（２ｎ＋３）に制御信号φＴＥＲＭｏが入力されることとなる。

すなわち、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２）に行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋２が入力されるタイミングにおいては、すでに、奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１），１４（２ｎ＋３）は、両側から低電圧ＶＬが印加されることにより、電位固定されている。これにより、転送信号線１４（２ｎ＋１），１４（２ｎ＋３）内の信号線抵抗Ｒが１／２程度に低減される。このため、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋２）と、それに隣接する奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋１）との間にできる信号線間容量Ｃが低減され、信号線間の信号のクロストークが低減される。
なお、偶数行の転送信号線１４（２ｎ＋４）に行転送信号φＴＲＦ２ｎ＋４を入力する場合も同様の動作により、隣接する奇数行の転送信号線１４（２ｎ＋３）との間のクロストークを低減することができる。

一般的に、固体撮像装置１において、転送信号線１４は、選択する順番に並んでいる。このため、選択する転送信号線１４が奇数行であるときは、偶数行の転送信号線１４を全て一定電位に固定し、選択する転送信号線１４が偶数であるときは、奇数行の転送信号線１４を全て一定電位に固定する。これにより、転送信号線１４同士が隣接している場合においても、転送信号線１４間のクロストークを抑制できる。

また、この駆動方法例２の構成は、転送信号線１４同士が隣接する場合のみならず、異なる行ブロックに構成された転送信号線１４と、選択信号線１５またはリセット信号線１３との間に起こるクロストークを抑制することもできる。例えば、奇数行の選択信号線１５またはリセット信号線１３におけるパルス信号の立ち上がりに起因して、偶数行の転送信号線１４に信号変動が起こるのを防ぐためには、偶数行の転送信号線１４を信号線の両側から一定電圧に固定すればよい。この場合も、アドレス信号の最下位ビットを制御信号φＴＥＲＭとして、図５に示す終端回路７に入力する構成とすればよい。

駆動方法例２では、１組みの奇数行及び偶数行について説明したが、奇数行、または偶数行に行転送信号φＴＲＦを入力したときに、この転送信号線１４を挟む両側に偶数行、または奇数行の転送信号線１４が一定電位で固定される。すなわち、この例では、隣接する、両側に転送信号線１４におこるクロストークを抑制できる。

［駆動方法例３］
次に、駆動方法例３として、撮像部３内においてリセット信号線１３と転送信号線１４が隣接して設けられる固体撮像装置１の駆動方法を、図６Ａ，Ｂを用いて説明する。図６Ａ，Ｂにおいて、図１に対応する部分には、同一符号を付し、重複説明を省略する。

図６Ａは、固体撮像装置１の要部の概略構成であり、駆動方法例３を実施するための構成を有するものである。図６Ａは、撮像部３の行方向に延びるリセット信号線１３と、そのリセット信号線１３と同じ行ブロック内において、リセット信号線１３に隣接して形成される転送信号線１４、及び、そのリセット信号線１３、転送信号線１４に接続される周辺回路を模式的に示すものである。また、図６Ｂには、駆動方法例３における動作タイミングを示す。

リセット信号線１３及び、転送信号線１４の一方の端部には、垂直駆動部４が接続されており、垂直駆動部４内において、リセット信号線１３は、リセット信号用駆動回路４ｂに、転送信号線１４は、転送信号線用駆動回路４ａに接続されている。そして、転送信号線１４の他方の端部は、終端回路７に接続されている。この終端回路７は、図２で説明した構成例と同様であるから、重複説明を省略する。また、垂直駆動部４内の転送信号用駆動回路４ａ及び、終端回路７のゲートには、信号発生回路１６により発生された行転送信号φＴＲＦ及び制御信号φＴＥＲＭがそれぞれ入力される。
ここで、行転送信号φＴＲＦ及び、制御信号φＴＥＲＭは、実際には、信号発生回路１６から出力されるアドレス信号等のパルス信号を、図示しないデコーダや論理回路に入力することにより生成されるものである。

ところで、行リセット信号φＲＳＴと、行転送信号φＴＲＦは、同じタイミングで入力する必要がない。また、リセット信号線１３に隣接する転送信号線１４において、行リセット信号φＲＳＴに起因するクロストークを抑制するためには、行リセット信号φＲＳＴのパルスの立ち上がり時において、転送信号線１４の電位が固定されていればよい。すなわち、転送信号線１４において、不要な信号電荷の漏れを低減するためには、正方向のカップリングのみを抑制すればよい。

そこで、この駆動方法例３では、リセット信号用駆動回路４ｂには、信号発生回路１６から出力される行リセット信号φＲＳＴを、遅延回路１９を介して入力させ、終端回路７には、その行リセット信号φＲＳＴを遅延させずに、制御信号φＴＥＲＭとして入力する構成とする。

このような回路構成を有する固体撮像装置１において、リセット信号線１３を駆動するために、行リセット信号φＲＳＴを信号発生回路１６から出力する。そうすると、図６Ｂに示すように、信号発生回路１６からは、制御信号φＴＥＲＭも出力され、終端回路７の制御トランジスタＴｒ５のゲートには、行リセット信号φＲＳＴが転送信号線１４に入力されるよりも早いタイミングで、制御信号φＴＥＲＭが入力される。そして、制御信号φＴＥＲＭにより制御トランジスタＴｒ５がＯＮ状態とされ、転送信号線１４は、終端回路７側から低電圧ＶＬが印加される。そして、このとき、転送信号線１４には、まだ行転送信号φＴＲＦが入力されていないため、転送信号線１４には、垂直駆動部４側からも低電圧ＶＬが印加されている。すなわち、制御信号φＴＥＲＭにより制御トランジスタＴｒ５がＯＮされた状態において、転送信号線１４は、両側から低電圧ＶＬに電位が固定される。

そして、転送信号線１４が低電圧ＶＬに電位固定されるタイミングに遅延して、リセット信号線１３に行リセット信号φＲＳＴが入力される。そうすると、行リセット信号φＲＳＴが入力されるタイミングにおいては、すでに、転送信号線１４は、低電圧ＶＬに電位固定されており、かつ、転送信号線１４の両側から同期した電位を供給することで、転送信号線１４内の信号線抵抗Ｒが１／２程度に低減されている。このため、リセット信号線１３と転送信号線１４との間にできる信号線間容量Ｃが低減され、リセット信号線１３と転送信号線１４間の信号のクロストークが低減される。
そして、これにより、転送信号線１４において、行リセット信号φＲＳＴのパルスの立ち上がりの影響、すなわち、微分パルスの発生を低減することができる。すなわち、転送信号線の電位固定を強くすることにより、クロストークによる転送信号線１４内の信号変動を抑制することができる。

従来、リセット信号線１３の行リセット信号φＲＳＴのパルスの立ち上がりの影響で、転送信号線１４において信号変動が起こった場合、転送信号線１４においても、ＯＮ状態の電位が転送ゲートに入力されてしまい、フォトダイオードＰＤからの電荷の漏れが起こってしまう。これに対して、この駆動方法例３においては、リセット信号線１３に行リセット信号φＲＳＴが入力された際に、そのリセット信号線１３に隣接する転送信号線１４において、微分パルスの発生が抑制されて、クロストークが抑制される。これにより、転送信号線１４で起こる不要な電荷の漏れを防ぐことができる。

この例においては、行リセット信号φＲＳＴの立ち下がり時においては、転送信号線１４は終端回路７側から低電位ＶＬが供給されていないが、行リセット信号φＲＳＴの立ち下がりの影響は、転送信号線１４の電位を更にＯＦＦの電位とするものである。そのため、信号電荷が漏れることはない。

［駆動方法例４］
次に、駆動方法例４として、撮像部３内においてリセット信号線１３と転送信号線１４が隣接して設けられる固体撮像装置１の駆動方法を、図７を用いて説明する。図７において、図１に対応する部分には、同一符号を付し、重複説明を省略する。

図７は、固体撮像装置１の要部の概略構成であり、駆動方法例４を実施するための構成を有するものである。図７に、撮像部３の、３行分のリセット信号線１３ｉ〜１３ｉ＋２と、そのリセット信号線１３ｉ〜１３ｉ＋２と同じ行ブロック内において、リセット信号線１３ｉ〜１３ｉ＋２に隣接して形成される転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２を示す。また、そのリセット信号線１３ｉ〜１３ｉ＋２、転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２に接続される周辺回路を模式的に示す。

転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２の一方の端部には、転送信号用駆動回路４ａが接続されており、また、他方の端部には、終端回路７が接続されている。そして、リセット信号線１３ｉ〜１３ｉ＋２の、転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２の転送信号用駆動回路４ａが接続される端部とは反対の端部には、リセット信号用駆動回路４ｂが接続されている。また、この例において、終端回路７は、図２と同様であるから、重複説明を省略する。

このような回路構成を有する固体撮像装置１において、終端回路７を構成する制御トランジスタＴｒ５ｉ〜Ｔｒ５ｉ＋２のゲートには、それぞれ、同じ行ブロック内の行リセット信号φＲＳＴｉ〜φＲＳＴｉ＋２が、制御信号φＴＥＲＭｉ〜φＴＥＲＭｉ＋２として入力される構成とされる。そして、リセット信号線用駆動回路４ｂにおいて、入力される行リセット信号φＲＳＴｉ〜φＲＳＴｉ＋２に遅延効果を付す。これにより、駆動方法例３に示した行リセット信号φＲＳＴと制御信号φＴＥＲＭの関係と同様の関係を有する、行リセット信号φＲＳＴｉ〜φＲＳＴｉ＋２と制御信号φＴＥＲＭｉ〜φＴＥＲＭｉ＋２を得ることができる。そして、駆動方法例３と同様の効果を得ることができる。

このように、所望の信号を入力する駆動回路（本例では、リセット信号用駆動回路４ｂ）と、クロストーク対象の所望の転送信号線１４の転送信号用駆動回路４ａとが、画素２の配列に対して、互いに逆の端部に構成する場合は、信号のタイミングを制御しやすい。すなわち、信号を入力する所望の駆動回路と、制御対象の転送信号線１４に接続された終端回路７とが互いに近くなるため、信号線の長さ等に起因する信号線遅延等のタイミングをあまり意識せずに配置することが可能となる。

このような構成は、駆動方法例１及び駆動方法例２にも適用することができる。

［駆動方法例５］
次に、駆動方法例５として、撮像部３内において選択信号線１５と転送信号線１４が隣接して設けられる固体撮像装置１の駆動方法を、図８Ａ，Ｂを用いて説明する。図８Ａ，Ｂにおいて、図１に対応する部分には、同一符号を付し、重複説明を省略する。

図８Ａは、固体撮像装置１の要部の概略構成であり、駆動方法例５を実施するための構成を有するものである。図８Ａに、撮像部３の、３行分の選択信号線１５ｉ〜１５ｉ＋２と、その選択信号線１５ｉ〜１５ｉ＋２と同じ行ブロック内において、選択信号線１５ｉ〜１５ｉ＋２に隣接して形成される転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２を示す。また、その選択信号線１５ｉ〜１５ｉ＋２、転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２に接続される周辺回路を模式的に示す。そして、図８Ｂには、駆動方法例５における動作タイミングを示す。

転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２及び選択信号線１５ｉ〜１５ｉ＋２の一方の側は、垂直駆動部４に接続されており、それぞれ、垂直駆動部４内において、転送信号用駆動回路４ａ及び、選択信号用駆動回路４ｃに接続されている。そして、転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２の他方の側は、終端回路７に接続されている。

垂直駆動部４の選択信号用駆動回路４ｃには、選択信号線１５ｉ〜１５ｉ＋２を駆動するための、行選択信号φＳＥＬｉ〜φＳＥＬｉ＋２がそれぞれ入力される。この行選択信号φＳＥＬｉ〜φＳＥＬｉ＋２は、信号発生回路１６から発生されたアドレス信号を、デコーダ２１を介して出力した信号である。また、転送信号線用駆動回路４ａにおいても、それぞれ、行転送信号φＴＲＦｉ〜φＴＲＦｉ＋２が入力され、その行転送信号φＴＲＦｉ〜φＴＲＦｉ＋２は、信号発生回路１６により発生されるものであるが、その詳細は、省略する。

そして、終端回路７は、制御トランジスタＴｒ５ｉ〜Ｔｒ５ｉ＋２より構成されており、それぞれのソースは、低電圧ＶＬに接続されている。そして、それぞれのゲートには制御信号φＴＥＲＭｉ〜φＴＥＲＭｉ＋２が入力される。制御信号φＴＥＲＭｉ〜φＴＥＲＭｉ＋２は、信号発生回路１６で発生されたアドレス信号が、遅延回路２０及びデコーダ２２を介して生成された信号である。また、制御トランジスタＴｒｉ〜Ｔｒｉ＋２のドレインは、それぞれ、転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２に接続される。そして、このデコーダ２２は、駆動している行の、１つ前の行の行選択信号φＳＥＬを、駆動している行の転送信号線１４ｉ〜１４ｉ＋２に接続された制御トランジスタＴｒ５ｉ〜Ｔｒ５ｉ＋２に、それぞれ入力するためのものである。

このような回路構成を有する固体撮像装置において、例えば、選択信号線１５ｉを駆動するとする。そうすると、図８Ｂからわかるよう、図８Ａでは図示しない、前行の選択信号線１５ｉを駆動するために入力された行選択信号φＳＥＬｉ−１が、期間ｔ１だけ遅延して制御トランジスタＴｒ５ｉのゲートに入力される。すなわち、前行の行選択信号φＳＥＬｉ−１が、制御信号φＴＥＲＭｉとして制御トランジスタＴｒ５ｉのゲートに入力される。

そうすると、選択信号線１５ｉに、行選択信号φＳＥＬｉが入力されるタイミングにおいて、その選択信号線１５ｉに隣接する転送信号線１４ｉは、両側から低電圧ＶＬに固定されている状態となる。そして、転送信号線１４ｉの両側から同期した電位が供給されることで、転送信号線１４ｉ内の信号線抵抗Ｒが１／２程度に低減されている。このため、選択信号線１５ｉと転送信号線１４ｉとの間にできる信号線間容量Ｃが低減され、選択信号線１５ｉと転送信号線１４ｉ間の信号のクロストークが低減される。
そして、これにより、転送信号線１４ｉにおいて、行選択信号φＳＥＬｉのパルスの立ち上がりの影響、すなわち、微分パルスの発生を低減することができる。すなわち、転送信号線の電位固定を強くすることにより、クロストークによる転送信号線内の信号変動を受けにくくすることができる。

他の選択信号線１５ｉ＋１，１５ｉ＋２に、それぞれ行選択信号φＳＥＬｉ＋１，φＳＥＬｉ＋２を入力する場合も、同様の構成により、隣接する転送信号線１４ｉ＋１，１４ｉ＋２との間のクロストークを低減することができる。

また、遅延回路２０の直後に、反転回路を構成する回路構成とすれば、同一ブロック行の行選択信号φＳＥＬを制御信号φＴＥＲＭとして用いることができる。

［第１の実施形態の効果］
本実施形態の固体撮像装置によれば、上述の駆動方法例１〜５を用いることにより、転送信号線の終端に、所望の期間一定電位を供給できる終端回路７を構成することにより、転送信号線への誤信号入力を抑制することができる。これにより、画素出力の変動を抑制した固体撮像装置を得ることができる。また、このような構成においては、信号遷移に影響を与えることがないため、信号遷移速度が低減されるおそれがない。
特に、本実施形態例で示したＣＭＯＳ型の固体撮像装置（ＣＭＯＳイメージセンサ）は、行毎に、信号電荷を読み出していく順次アクセスであり、また、読み出しスピードは、それほど速くない。このため、通常のＬＳＩ、メモリ等に比べて、終端回路７の制御は難しくない。

なお、上述の例では、信号が入力される信号線に隣接する転送信号線へのクロストークの低減を目的とした構成であるが、この信号線と転送信号線との配置関係は、同一平面上であっても、異なる平面上であっても適用できる。すなわち、多層配線層の異なる層内に、形成される信号線と転送信号線との間のクロストークの抑制にも効果的である。

次に、上述した駆動方法例１〜５を適用できる固体撮像装置の他の構成例について説明する。

［第２の実施形態］
図９に、本発明の第２の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成を示す。
本実施形態例の固体撮像装置５０は、複数の画素、本例では、４つの画素に、転送トランジスタを除く他の画素トランジスタを共有した例であり、以下、画素トランジスタを共有する画素群を共有画素という。すなわち、共有画素においては、光電変換素子であるフォトダイオードが４つ構成されている。図９において、図１と同一部分には、同一符号を付し重複説明を省略する。

本実施形態例の固体撮像装置５０は、複数の共有画素５２が、規則性を持って２次元配列された撮像部５３（いわゆる画素部）と、撮像部５３の周辺に配置された周辺回路とを有して構成される。周辺回路は、垂直駆動部４、水平転送部５、終端回路７、信号発生回路１６、及び出力部６から構成される。共有画素５２は、複数、本実施形態例では、４つの光電変換素子であるフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４と、４つの転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４と、各１つのリセットトランジスタＴｒ２、増幅トランジスタＴｒ３及び選択トランジスタＴｒ４とから構成される。

共有画素５２の回路構成では、図９に示すように、４つの各フォトダイオードＰＤ［ＰＤ１，ＰＤ２，ＰＤ３，ＰＤ４］が、それぞれ対応する４つの転送トランジスタＴｒ１１，Ｔｒ１２，Ｔｒ１３，Ｔｒ１４のソースに接続される。そして、各転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４のドレインが１つのリセットトランジスタＴｒ２のソースに接続される。各転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４とリセットトランジスタＴｒ２間の電荷−電圧変換手段となる共通のフローティングディフュージョン領域ＦＤは１つの増幅トランジスタＴｒ３のゲートに接続される。増幅トランジスタＴｒ３のソースは、１つの選択トランジスタＴｒ４のドレインに接続される。リセットトランジスタＴｒ２のドレイン及び、増幅トランジスタＴｒ３のドレインは、電源電圧供給部に接続される。また、選択トランジスタＴｒ４のソースが垂直信号線８に接続される。

各転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４のゲートには、それぞれ行転送信号φＴＲＦ１〜φＴＲＦ４が印加される。リセットトランジスタＴｒ２のゲートには行リセット信号φＲＳＴが印加される。そして、選択トランジスタＴｒ４のゲートには、行選択信号φＳＥＬが印加される。

垂直駆動部４、水平転送部５、出力部６、終端回路７、信号発生回路１６、その他の構成は、図１と同様であるから、重複説明を省略する。

このように、４つの画素が、転送トランジスタ以外の画素トランジスタを共有する共有画素を構成する場合の、共有画素５２内における４つのフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４及び、転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４の概略構成を以下に示す。

図１０は、本実施形態例の固体撮像装置５０の要部の配置レイアウトである。
図１０に示すように、共有画素５２を構成する４つのフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４は、２次元アレイ状に構成されている。そして、４つのフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４の中央部には、フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４に共通に接続されるフローティングディフュージョン領域ＦＤが構成される。そして、各フォトトランジスタＰＤ１〜ＰＤ４と、フローティングディフュージョン領域ＦＤとの境界部には、それぞれの転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４の転送ゲート５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄが構成される。

そして、各転送ゲート５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄに接続されるように、転送信号線１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが構成される。この場合、隣接するフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４間の間隔が狭いので、隣接するフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４の間の領域に、例えば、行方向に延びる転送信号線１４を２本ずつ配設する構成とする。図１０においては、フォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４の読み出し順、すなわち、転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４の転送ゲート５５ａ，５５ｂ，５５ｃ，５５ｄへの行転送信号φＴＲＦの供給順に、転送信号線１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを配列する。共有画素５２に対して、垂直方向の外側に、転送ゲート５５ａ，５５ｄに接続信号線５６で接続される転送信号線１４ａ，１４ｄをそれぞれ配設する。そして、共有画素５２の垂直方向の配列されたフォトダイオードＰＤ１，ＰＤ２と、フォトダイオードＰＤ３，ＰＤ４との間の領域に、転送ゲート５５ｂ，５５ｃに接続信号線５６で接続される転送信号線１４ｂ，１４ｃをそれぞれ配設する。
図１０において、その他の信号線等の図示は省略する。

このような構成を有する固体撮像装置５０においては、まず、転送信号線１４ａに行転送信号φＴＲＦ１を入力することにより、フォトダイオードＰＤ１からの信号電荷がフローティングディフュージョン領域ＦＤに読み出されて、垂直信号線８により転送される。次に、転送信号線１４ｂに、行転送信号φＴＲＦ２を入力することにより、フォトダイオードＰＤ２からの信号電荷がフローティングディフュージョン領域ＦＤに読み出されて、垂直信号線８により転送される。同様にして、順に、転送信号線１４ｃ，１４ｄに行転送信号φＴＲＦ３，φＴＲＦ４を入力することにより、それぞれのフォトダイオードＰＤ３、ＰＤ４に蓄積された信号電荷が読み出される。

ところで、図１０からわかるように、このような構成を有する固体撮像装置では、４つのフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４に対して、１つのフローティングディフュージョン領域ＦＤが共有されている。このため、転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４の転送ゲートは近接して設けられている。それに加え、隣接するフォトダイオードＰＤ間の距離は小さいため、それぞれの転送信号線１４［１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ］間の距離も小さくなる。そうすると、前述したようなクロストークが発生してしまう。

本実施形態例の固体撮像装置５０では、上述の駆動方法例１及び駆動方法例２で示した回路構成を用いて、終端回路７に制御信号φＴＥＲＭを入力する。これにより、隣接する転送信号線１４［１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ］間でおこるクロストークを抑制することができる。

［第３の実施形態］
次に、図１１に、本発明の第３の実施形態に係る固体撮像装置の、要部の配置レイアウトを示す。本実施形態例の固体撮像装置の全体の回路構成は、図９と同様であるので、重複説明は省略する。
また、図１１において、図１０に対応する部分には同一符号を付し、重複説明を省略する。

本実施形態例では、２次元アレイ状に配列されたフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４のうちの、斜めに隣り合うフォトダイオードＰＤ１、及びＰＤ２が１つのフローティングディフュージョン領域ＦＤ１を共有する。そして、フォトダイオードＰＤ１の列方向に、一つおきに隣り合うフォトダイオードＰＤ３と、フォトダイオードＰＤ２の列方向に、一つおきに隣り合うフォトダイオードＰＤ４とが、１つのフローティングディフュージョン領域ＦＤ２を共有する。そして、このように、斜めに隣り合うフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４により、１つの共有画素６０が構成される。

本実施形態例において、各フォトトランジスタＰＤ１〜ＰＤ４と、フローティングディフュージョン領域ＦＤ１、ＦＤ２との境界部には、それぞれの転送トランジスタＴｒ１１〜Ｔｒ１４の転送ゲート５９ａ，５９ｂ，５９ｃ，５９ｄが構成される。

そして、各転送ゲート５９ａ，５９ｂ，５９ｃ，５９ｄに接続されるように、転送信号線１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが構成される。この場合、フォトダイオードＰＤ１とフォトダイオードＰＤ２との間に転送信号線１４ａ，１４ｂを配設し、フォトダイオードＰＤ３とフォトダイオードＰＤ４との間に、転送信号線１４ｃ，１４ｄを配設する。
図１１において、その他の信号線等の図示は省略する。

このような構成を有する固体撮像装置においては、まず、転送信号線１４ａに行転送信号φＴＲＦ１を入力することにより、フォトダイオードＰＤ１からの信号電荷がフローティングディフュージョン領域ＦＤ１に読み出されて、垂直信号線８により転送される。次に、転送信号線１４ｂに、行転送信号φＴＲＦ２を入力することにより、フォトダイオードＰＤ２からの信号電荷がフローティングディフュージョン領域ＦＤ１に読み出されて、垂直信号線８により転送される。同様にして、順に、転送信号線１４ｃ，１４ｄに行転送信号φＴＲＦ３，φＴＲＦ４を入力する。そうすると、それぞれのフォトダイオードＰＤ３、ＰＤ４に蓄積された信号電荷がフローティングディフュージョン領域ＦＤ２に読み出されて、垂直信号線８により転送される。

そして、本実施形態例においても、２つのフォトダイオードＰＤ１，ＰＤ２、またはフォトダイオードＰＤ３，ＰＤ４で、１つのフローティングディフュージョン領域ＦＤ１またはＦＤ２を共有するため、転送ゲート５９ａ，５９ｂ，５９ｃ，５９ｄは、互いに近接して設けられる。これにより、転送信号線１４［１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ］間の距離は小さくなり、前述したようなクロストークが発生してしまう。

本実施形態例の固体撮像装置においても、上述の駆動方法例１及び駆動方法例２で示した回路構成を用いて、終端回路７に制御信号φＴＥＲＭを入力する。これにより、隣接する転送信号線１４［１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ］間でおこるクロストークを抑制することができる。

［第４の実施形態］
図１２に、本発明の第４の実施形態に係る固体撮像装置の、要部の配置レイアウトを示す。
本実施形態例の固体撮像装置は、２次元アレイ状に配列されたフォトダイオードＰＤ１〜ＰＤ４において、行方向に隣り合うフォトダイオードＰＤ１及びＰＤ２間でフローティングディフュージョン領域ＦＤ１を共有し、また、行方向に隣り合うフォトダイオードＰＤ３及びＰＤ４間でフローティングディフュージョン領域ＦＤ２を共有する。また、列方向に隣り合うフォトダイオードＰＤ１及びＰＤ３間で転送トランジスタの転送ゲート５７を共有し、また、列方向に隣り合うフォトダイオードＰＤ２及びＰＤ４間で転送トランジスタの転送ゲート５８を共有する。そして、転送ゲート５７には、転送信号線１４ａが接続され、転送ゲート５８には、転送信号線１４ｂが接続される。

このような構成を有する固体撮像装置において、転送信号線１４ａにより、転送ゲート５７に行転送信号φＴＲＦを入力する。そうすると、フォトダイオードＰＤ１、ＰＤ３の信号電荷がそれぞれ、フローティングディフュージョン領域ＦＤ１，ＦＤ２に読み出される。次に、転送信号線１４ｂにより、転送ゲート５８に行転送信号φＴＲＦを入力すると、フォトダイオードＰＤ２、ＰＤ４の信号電荷がそれぞれ、フローティングディフュージョン領域ＦＤ１，ＦＤ２に読み出される。

このように、本実施形態例の固体撮像装置では、転送トランジスタの転送ゲート５７，５８が、それぞれ２つのフォトダイオードに共有される。これにより、２つのフォトダイオードから同時に信号を読み出すことができる。

ところで、このような固体撮像装置においても、２つのフォトダイオードで１つの転送ゲートを共有する構成することにより、転送信号線１４ａ，１４ｂ間の距離は小さくなり、前述したようなクロストークが発生してしまう。

本実施形態例の固体撮像装置においても、上述の駆動方法例１及び駆動方法例２で示した回路構成を用いて、転送信号線１４ａ，１４ｂへ制御信号φＴＥＲＭを入力する。これにより、隣接する転送信号線１４ａ，１４ｂ間でおこるクロストークを抑制することができる。

［第５の実施形態］
図１３に、本発明の第５の実施形態に係る固体撮像装置の概略回路構成を示す。
本実施形態例の固体撮像装置は、上下２つの画素でトランジスタを共有する例である。単位セル３０は、実線で囲まれた部分であり、この単位セル３０は、２つの画素３１、３２から構成されている。画素３１，３２は、それぞれ、フォトダイオード３３，３４と、複数の画素トランジスタとから構成される。複数の画素トランジスタは、フォトダイオード３３及び３４のそれぞれに接続される２つの転送トランジスタＴｒ３５，Ｔｒ３６と、２つの画素３１，３２に共通のリセットトランジスタＴｒ３７、増幅トランジスタＴｒ３８とから構成される。転送トランジスタＴｒ３５,Ｔｒ３６のソースは、それぞれ、フォトダイオード３３，３４に接続されており、そのドレインがリセットトランジスタＴｒ３７のソースに接続される。転送トランジスタＴｒ３５，Ｔｒ３６とリセットトランジスタＴｒ３７間の電荷−電圧変換手段となるフローティングディフュージョン領域ＦＤ（転送トランジスタのドレイン領域、リセットトランジスタのソース領域に相当する）が増幅トランジスタＴｒ３８のゲートに接続される。増幅トランジスタＴｒ３８、及びリセットトランジスタＴｒ３７のドレインは、電源電圧を供給する全面選択信号線３９に接続される。
そして、増幅トランジスタＴｒ３８のソースは、垂直信号線４８に接続される。

そして、転送トランジスタＴｒ３５，Ｔｒ３６のゲートには、行転送信号φＴＲＦを供給する転送信号線４２,４３が接続されており、リセットトランジスタＴｒ３７のゲートには、行リセット信号φＲＳＴを供給するリセット信号線４１が接続されている。

このような構成を有する固体撮像装置においては、単位セル３０内において、リセット信号線４１と、転送信号線４２，４３のうちの一方の転送信号線４２が、隣接して構成される。そうすると、転送信号線４２とリセット信号線４１間の距離は小さくなり、前述したようなクロストークが発生してしまう。

本実施形態例の固体撮像装置においては、上述の駆動方法例３及び駆動方法例４で示した回路構成を用いて、転送信号線４２へ制御信号φＴＥＲＭを入力する。これにより、隣接する転送信号線４２と、リセット信号線４１間でおこるクロストークを抑制することができる。

［第６の実施形態例］
次に、図１４に、本発明の第６の実施形態に係る固体撮像装置の概略回路構成を示す。
本実施形態例の固体撮像装置は、上下２つの画素でトランジスタを共有する例である。単位セル７７は、実線で囲まれた部分であり、この単位セル７７は、２つの画素７８，７９から構成されている。画素７８，７９は、それぞれ、フォトダイオード６９，７０と、複数の画素トランジスタとから構成される。複数の画素トランジスタは、フォトダイオード６９及び７０のそれぞれに接続される転送トランジスタＴｒ７４，Ｔｒ７３と、リセットトランジスタＴｒ７２，Ｔｒ７１と、増幅トランジスタＴｒ７５,Ｔｒ７６とから構成される。

転送トランジスタＴｒ７４,Ｔｒ７３のソースは、それぞれ、フォトダイオード６９，７０に接続されており、そのソースがリセットトランジスタＴｒ７２，Ｔｒ７１のドレインに接続される。転送トランジスタＴｒ７４，Ｔｒ７３のドレインは、フローティングディフュージョン領域ＦＤ１,ＦＤ２に接続されており、フローティングディフュージョンＦＤ１,ＦＤ２は増幅トランジスタＴｒ７５,Ｔｒ７６のゲートに接続される。増幅トランジスタＴｒ７５，Ｔｒ７６のソースは、それぞれ選択トランジスタＴｒ８０のドレインに接続されており、選択トランジスタＴｒ８０のソースは、電源電圧ＶＤＤに接続されている。また、リセットトランジスタＴｒ７１，Ｔｒ７２のソースも電源電圧ＶＤＤに接続されている。

そして、転送トランジスタＴｒ７４，Ｔｒ７３のゲートには、行転送信号φＴＲＦを供給する転送信号線６６が接続されており、リセットトランジスタＴｒ７２，Ｔｒ７１のゲートには、行リセット信号φＲＳＴを供給するリセット信号線６８が接続されている。また、選択トランジスタＴｒ８０のゲートには、行選択信号φＳＥＬを供給する選択信号線６７が接続されている。

本実施形態例において、画素７８のフォトダイオード６９に蓄積された信号電荷は、信号線６３に転送され、画素７９のフォトダイオード７０に蓄積された信号電荷は、信号線６５に転送される。

このような構成を有する固体撮像装置においては、単位セル７７内において、選択信号線６７と、転送信号線６６が、隣接して構成される。そうすると、転送信号線６６と選択信号線６７間の距離は小さくなり、前述したようなクロストークが発生してしまう。

本実施形態例の固体撮像装置においては、上述の駆動方法例５で示した回路構成を用いて、転送信号線６６へ制御信号φＴＥＲＭを入力する。これにより、隣接する転送信号線６６と、選択信号線６７間でおこるクロストークを抑制することができる。

上述した固体撮像装置は、例えば、カメラ、カメラ付き携帯電話、その他の撮像機能を備えた機器等の電子機器に適用することができる。

［電子機器］
以下に、本発明の固体撮像装置を用いた電子機器について説明する。
図１５は、上述の固体撮像装置を用いた電子機器９０の概略構成である。本実施形態例の電子機器９０は、光学系（光学レンズ）９１と、固体撮像装置９２と、信号処理回路９３とを有して構成される。固体撮像装置９２は、上述した構成を有する第１〜第５の実施形態に係る固体撮像装置が適用される。

本実施形態例の電子機器９０において、光学系９１は、被写体からの像光（入射光）を固体撮像装置９２の撮像面上に結像させる。これにより、固体撮像装置９２のフォトダイオードにおいて、一定期間信号電荷が蓄積される。そして、信号処理回路９３は、固体撮像装置９２の出力信号に対して種々の信号処理を施して出力する。

図１５の構成は、カメラモジュール、あるいは撮像機能を有する撮像モジュールとして構成することができる。本発明は、このようなモジュールを備えて、例えば、カメラ付き携帯電話、その他の撮像機能を有する機器等の、電子機器を構成することができる。

本発明の電子機器によれば、画素出力の変動が抑制された固体撮像装置が用いられているので、高画質の映像を得ることができる。

１・・固体撮像装置、２・・画素、３・・撮像部、４・・垂直駆動部、５・・水平転送部、６・・出力部、７・・終端回路、ＰＤ・・フォトダイオード、１３・・リセット信号線、１４・・転送信号線、１５・・選択信号線、１６・・信号発生回路

Claims (13)

1. 入射された光を光電変換して、信号電荷を蓄積させる複数の光電変換部と、
   前記各光電変換部に蓄積された信号電荷をフローティングディフュージョン領域に読み出す為の転送信号が入力される複数の転送信号線と、
   前記複数の転送信号線にそれぞれ所望の信号を入力する駆動回路と、
   前記転送信号線の駆動回路が接続される側とは反対側に接続され、当該転送信号線のうち所望の転送信号線に転送信号が入力されるタイミングよりも前から、当該所望の転送信号線に隣接する転送信号線を一定電圧に固定させるための制御信号が入力される終端回路とを備え、
   前記終端回路は、前記所望の転送信号線に入力される転送信号を生成するための信号を、前記制御信号として前記隣接する転送信号線に入力し、
   前記隣接する転送信号線は、前記駆動回路からの信号と前記終端回路からの制御信号とにより一定電圧に固定される
   固体撮像装置。
2. 前記制御信号は、前記所望の転送信号線に入力される転送信号と同期している
   請求項１記載の固体撮像装置。
3. 前記制御信号は、前記所望の転送信号に入力される転送信号のパルス幅よりも広い信号である
   請求項２記載の固体撮像装置。
4. 前記終端回路は、前記所望の転送信号線に入力される転送信号を生成するための信号を反転させた信号を前記制御信号として用いる
   請求項１記載の固体撮像装置。
5. 前記フローティングディフュージョンは、前記光電変換部の複数で共有されている
   請求項１〜４の何れか一項に記載の固体撮像装置。
6. 前記光電変換部の複数で共有された増幅トランジスタを有する
   請求項１〜５の何れか一項に記載の固体撮像装置。
7. 前記光電変換部の複数で共有されたリセットトランジスタを有する
   請求項１〜６の何れか一項に記載の固体撮像装置。
8. 前記光電変換部の複数で共有された選択トランジスタを有する
   請求項１〜７の何れか一項に記載の固体撮像装置。
9. 光電変換部に光入射し、光電変換して信号電荷を蓄積させる工程、
   前記信号電荷を転送するために設けられた複数の転送信号線に、駆動回路から転送信号を入力する工程、
   前記転送信号線のうち所望の転送信号線に転送信号が入力されるタイミングよりも前から、当該所望の転送信号線に隣接する転送信号線を一定電圧に固定するための制御信号を当該転送信号線において前記駆動回路と反対側に接続した終端回路に入力する工程を含み、
   前記終端回路は、前記所望の転送信号線に入力される転送信号を生成するための信号を、前記制御信号として前記隣接する転送信号線に入力し、
   前記隣接する転送信号線は、前記駆動回路からの信号と前記終端回路からの制御信号とにより一定電圧に固定される
   固体撮像装置の駆動方法。
10. 前記終端回路への前記制御信号の入力により、前記駆動回路から前記隣接する転送信号線に印加されている固定の電位と同電位を、当該終端回路から当該隣接する転送信号線に入力し、当該隣接する転送信号線を一定電圧に固定する
    請求項９記載の固体撮像装置の駆動方法。
11. 前記終端回路に、前記所望の転送信号線に入力される前記転送信号と同期した制御信号を入力することにより、前記隣接する転送信号線を前記一定電圧に固定する
    請求項９または１０記載の固体撮像装置の駆動方法。
12. 前記終端回路に、前記所望の転送信号線に入力される前記転送信号を生成するための信号を入力することにより、当該信号を反転させて前記制御信号として用いる
    請求項９または１０記載の固体撮像装置の駆動方法。
13. 光学系と、固体撮像装置と、信号処理回路とを備え、
    前記固体撮像装置は、
    入射された光を光電変換して、信号電荷を蓄積させる複数の光電変換部と、
    前記各光電変換部に蓄積された信号電荷をフローティングディフュージョン領域に読み出す為の転送信号が入力される複数の転送信号線と、
    前記複数の転送信号線にそれぞれ所望の信号を入力する駆動回路と、
    前記転送信号線の駆動回路が接続される側とは反対側に接続され、当該転送信号線のうち所望の転送信号線に転送信号が入力されるタイミングよりも前から、当該所望の転送信号線に隣接する転送信号線を一定電圧に固定させるための制御信号が入力される終端回路とを備え、
    前記終端回路は、前記所望の転送信号線に入力される転送信号を生成するための信号を、前記制御信号として前記隣接する転送信号線に入力し、
    前記隣接する転送信号線は、前記駆動回路からの信号と前記終端回路からの制御信号とにより一定電圧に固定される
    電子機器。

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