JP5429014B2 - Air purifier and total organic carbon measuring apparatus using the air purifier - Google Patents
Air purifier and total organic carbon measuring apparatus using the air purifier Download PDFInfo
- Publication number
- JP5429014B2 JP5429014B2 JP2010092004A JP2010092004A JP5429014B2 JP 5429014 B2 JP5429014 B2 JP 5429014B2 JP 2010092004 A JP2010092004 A JP 2010092004A JP 2010092004 A JP2010092004 A JP 2010092004A JP 5429014 B2 JP5429014 B2 JP 5429014B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- air
- soda lime
- pipe
- carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
Description
本発明は、二酸化炭素を除去した空気を生成するための空気精製装置、及びその空気精製装置の用途の一例としてその空気精製装置を用いた全有機体炭素(TOC)測定装置に関するものである。二酸化炭素の含有量が少ない空気は、例えばTOC測定装置において採取した試料水中に存在する二酸化炭素(IC)を除去するための通気処理に用いることができる。 The present invention relates to an air purifier for generating air from which carbon dioxide has been removed, and a total organic carbon (TOC) measuring apparatus using the air purifier as an example of the use of the air purifier. The air having a low carbon dioxide content can be used for aeration treatment for removing carbon dioxide (IC) present in sample water collected by a TOC measuring device, for example.
TOC測定装置は、試料水に含まれる有機体炭素を酸化分解して二酸化炭素に変換した後、二酸化炭素濃度を計測することにより試料水の有機体炭素を測定する装置である。試料水には有機体炭素を酸化分解する前から二酸化炭素が含まれており、その状態で有機物炭素を二酸化炭素に変換して二酸化炭素濃度を計測すると、全炭素(TC)を測定することができる。TCとICを別個に測定し、(TC−IC)としてTOCを求めることもできる。一方、TOCを直接測定しようとすると、ICを除去しない場合は有機体炭素の測定値は実際よりも大きくなってしまう。そのため、TOC測定装置には試料水中に既存する二酸化炭素を除去するための二酸化炭素除去部が設けられている。 The TOC measuring device is a device that measures the organic carbon in the sample water by measuring the carbon dioxide concentration after the organic carbon contained in the sample water is oxidized and decomposed into carbon dioxide. The sample water contains carbon dioxide before the organic carbon is oxidatively decomposed, and when carbon dioxide concentration is measured by converting organic carbon to carbon dioxide in that state, total carbon (TC) can be measured. it can. It is also possible to measure TC and IC separately and to obtain TOC as (TC-IC). On the other hand, when trying to measure TOC directly, the measured value of organic carbon becomes larger than the actual value when IC is not removed. For this reason, the TOC measuring device is provided with a carbon dioxide removing unit for removing carbon dioxide existing in the sample water.
二酸化炭素除去部において行なわれる処理としては、試料水中に通気ガス(スパージガス)を供給する通気処理が一般的である(例えば、特許文献1参照。)。そのような二酸化炭素除去部に通気ガスを供給するために、従来では、二酸化炭素やTOCの濃度が極低濃度の高純度空気ボンベを装置に接続するほか、空気を700℃〜900℃で燃焼してその空気中のTOCを二酸化炭素に変換し、その空気をソーダライムに通すことで二酸化炭素をソーダライムに吸収させて二酸化炭素やTOCが除去された空気を精製する空気精製装置を設置するなどしていた。 As a process performed in the carbon dioxide removal unit, an aeration process for supplying an aeration gas (sparge gas) into the sample water is generally used (see, for example, Patent Document 1). In order to supply aeration gas to such a carbon dioxide removal unit, conventionally, a high-purity air cylinder having extremely low concentrations of carbon dioxide and TOC is connected to the apparatus, and air is burned at 700 ° C. to 900 ° C. Then, the TOC in the air is converted into carbon dioxide, and the air is passed through soda lime so that the carbon dioxide is absorbed by soda lime, and an air purifier that purifies the air from which carbon dioxide and TOC have been removed is installed. Etc.
しかし、高純度空気ボンベを装置に接続すると、高純度空気ボンベの高純度空気がなくなったときにボンベを取り換えなければならず、ボンベを交換するための費用が必要となり維持コストが高くなるという問題があった。また、空気を燃焼後にソーダライムに通す空気精製装置は空気を燃焼させるための燃焼炉が必要なために設置面積が大きくなるという問題があった。 However, when a high-purity air cylinder is connected to the equipment, the high-purity air cylinder must be replaced when the high-purity air is exhausted, and the cost of replacing the cylinder is required, which increases the maintenance cost. was there. In addition, an air purifier that passes air through soda lime after combustion requires a combustion furnace for burning air, so that there is a problem that an installation area becomes large.
そこで本発明は、設置面積が小さく維持コストも低減された空気精製装置及びTOC測定装置を提供することを目的とするものである。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an air purification apparatus and a TOC measurement apparatus that have a small installation area and reduced maintenance costs.
本発明の空気精製装置は、粒状のソーダライムを導入口と排出口を有する容器内に充填したソーダライム管と粒状の活性炭を導入口と排出口を有する容器内に充填した活性炭管が直列に接続された空気精製部を備え、空気を空気精製部のソーダライム管及び活性炭管に通すことにより精製するものである。 In the air purifying apparatus of the present invention, a soda lime pipe filled with granular soda lime in a container having an inlet and an outlet and an activated carbon pipe filled with granular activated carbon in a container having an inlet and an outlet are connected in series. It has a connected air purification unit, and purifies the air by passing it through a soda lime tube and an activated carbon tube of the air purification unit.
活性炭は主にTOCを吸着させ、ソーダライムは主に二酸化炭素を吸着させるものであり、これらを一定量のユニットにし、交互に接続させることで空気からTOCと二酸化炭素を効率的に除去することができる。 Activated charcoal mainly adsorbs TOC, soda lime adsorbs mainly carbon dioxide, and these are united in a certain amount and are connected alternately to efficiently remove TOC and carbon dioxide from the air. Can do.
ところで、活性炭にはソーダライムに比べて多くの二酸化炭素やTOCの量が吸着している。空気精製装置の最下流部に活性炭管があると、活性炭に初めから吸着していた二酸化炭素やTOCが精製された空気とともに出てくることがある。そこで、最下流部の管にはソーダライム管を接続しておくことが好ましい。そうすれば、活性炭管から出てきた二酸化炭素をソーダライムに吸着させることができる。 By the way, activated carbon has more carbon dioxide and TOC adsorbed than soda lime. If there is an activated carbon pipe at the most downstream part of the air purifier, carbon dioxide or TOC adsorbed on the activated carbon from the beginning may come out with purified air. Therefore, it is preferable to connect a soda lime pipe to the most downstream pipe. If it does so, the carbon dioxide which came out of the activated carbon tube can be made to adsorb | suck to soda lime.
1つのソーダライム管と1つの活性炭管とを直列に接続して空気精製部を構成した場合、ごく稀に空気中の二酸化炭素やTOCが空気精製部に吸着されずに出てくることがあり、その二酸化炭素やTOCを含んだ空気をTOC測定装置などの測定装置に供給すると、正確な測定ができなくなる。そこで、空気精製部はソーダライム管と活性炭管とをそれぞれ2つ以上備え、ソーダライム管と活性炭管が交互に接続されていることが好ましい。そうすれば、仮に上流側のソーダライム管や活性炭管で吸着さなかった二酸化炭素やTOCが存在したとしてもそれよりも下流側のソーダライム管や活性炭管に吸着させることができる。また、ソーダライム管と活性炭管を交互に接続することにより、活性炭表面の一部がアルカリ性となり酸性有機ガスや二酸化炭素の吸着能力が付加され、交互に接続することにより、効率的にTOCと二酸化炭素が除去される。 When an air purification unit is configured by connecting one soda lime tube and one activated carbon tube in series, carbon dioxide and TOC in the air may come out without being adsorbed by the air purification unit. If the carbon dioxide or TOC-containing air is supplied to a measuring device such as a TOC measuring device, accurate measurement cannot be performed. Therefore, it is preferable that the air purification section includes two or more soda lime tubes and activated carbon tubes, and the soda lime tubes and activated carbon tubes are alternately connected. Then, even if carbon dioxide and TOC that were not adsorbed by the upstream soda lime tube and activated carbon tube exist, they can be adsorbed by the soda lime tube and activated carbon tube downstream of the carbon dioxide and TOC. In addition, by alternately connecting soda lime tubes and activated carbon tubes, a part of the activated carbon surface becomes alkaline, and an adsorption capacity for acidic organic gas and carbon dioxide is added. Carbon is removed.
本発明のTOC測定装置は、通気ガスを試料水中で通気することにより試料水中に含まれる二酸化炭素を通気ガスによる通気処理により除去する二酸化炭素除去部、二酸化炭素除去部を経た試料水中の有機体炭素を二酸化炭素に変換する酸化反応部及び酸化反応部を経た試料水中の二酸化炭素濃度を計測する二酸化炭素計測部を備えたものであって、二酸化炭素除去部に本発明の空気精製装置が接続されており、空気精製装置で精製された空気が通気ガスとして試料水中に供給されるように構成されているものである。 The TOC measuring apparatus according to the present invention includes a carbon dioxide removing unit that removes carbon dioxide contained in a sample water by aeration treatment with the aeration gas by aeration of the aeration gas in the sample water, and an organic substance in the sample water that has passed through the carbon dioxide removal unit. An oxidation reaction unit that converts carbon to carbon dioxide and a carbon dioxide measurement unit that measures the carbon dioxide concentration in the sample water that has passed through the oxidation reaction unit, the air purification device of the present invention is connected to the carbon dioxide removal unit The air purified by the air purifier is supplied to the sample water as aeration gas.
本発明の空気精製装置は、粒状のソーダライムを導入口と排出口を有する容器内に充填したソーダライム管と粒状の活性炭を導入口と排出口を有する容器内に充填した活性炭管が直列に接続された空気精製部を備えたものであって、高純度空気ボンベや燃焼炉が不要であるので、従来の空気精製装置に比べて設置コストを安くすることができるとともに設置面積を小さくすることができる。 In the air purifying apparatus of the present invention, a soda lime pipe filled with granular soda lime in a container having an inlet and an outlet and an activated carbon pipe filled with granular activated carbon in a container having an inlet and an outlet are connected in series. Since it has a connected air purification unit and does not require a high-purity air cylinder or combustion furnace, the installation cost can be reduced and the installation area can be reduced compared to conventional air purification equipment. Can do.
本発明のTOC測定装置は本発明の空気精製装置を用いて二酸化炭素除去部に通気ガスを供給するものであるので、従来よりも小型でかつ維持コストを安くすることができる。 Since the TOC measuring apparatus of the present invention supplies the aeration gas to the carbon dioxide removing unit using the air purifying apparatus of the present invention, it is smaller than the conventional one and can be maintained at a lower cost.
空気精製装置の一実施例を図1及び図2により説明する。
空気精製装置1は、空気精製部2に空気を供給するポンプ14、空気精製部2の出口にフィルタ16及びこれらを接続する配管12a,12bからなる。空気精製部2は複数の二酸化炭素吸収管3がチューブ13により直列に接続されたものである。ポンプ14は空気を吸引して空気精製部2へ送り込むために設けられており、フィルタ16は空気精製部2を経た空気から固形物を除去するために設けられている。
An embodiment of the air purifier will be described with reference to FIGS.
The
図2に示されているように、空気精製部2は二酸化炭素吸収管3として、例えば内径が10〜20mm、長さが15cm程度のガラス管内に直径が1〜3mm程度の粒状の活性炭8が20〜50g封入された活性炭管4と、例えば内径が10〜20mm、長さが15cm程度のガラス管内に直径が1〜3mm程度の粒状のソーダライム10が20〜50g封入されたソーダライム管6とを備えている。なお、活性炭8やソーダライム10を収容して活性炭管4、ソーダライム管6を構成する容器はガラス以外の無機素材からなるものであってもよい。
As shown in FIG. 2, the air purifying
活性炭管4及びソーダライム管6のガラス管は一端がキャップによって封止されるとともにその近傍の側壁に突起状の開口部が設けられている。ガラス管の他端にも突起状の開口部が設けられている。これらの突起状の開口部はチューブ13の穴に挿入され、チューブ13を介して他の活性炭管4又はソーダライム管6に接続されている。それぞれのガラス管で、上流側の開口部が導入口、下流側の開口部が排出口である。最上流側の活性炭管4の突起状開口部には配管12aが挿入され、配管12aはポンプ14に接続されている。最下流側のソーダライム管6の突起状開口部には配管12bが挿入され、配管12bはフィルタ16に接続されている。活性炭管4、ソーダライム管6はそれぞれ3本ずつ設けられ、最上流部に活性炭管4、最下流部にソーダライム管6がくるように、チューブ13によって交互に直列に接続されている。
The glass tubes of the activated
なお、活性炭管4に封入されている活性炭8は、なるべく活性炭管4に封入される前の段階で二酸化炭素やTOCの吸着量が少なくなるように、予め不活性ガス雰囲気下において500〜600℃で2〜3時間焼成したものを用いることが好ましい。また、ソーダライム管6に封入されているソーダライム10は水分率が2〜10%程度のものが好ましく、さらにはソーダライム管6に封入されるまでに空気に触れて二酸化炭素を吸着させないように、アルミパウチなどの無機素材によって包装されていたものを用いることが好ましい。
The activated
この空気精製装置1において、活性炭管4は主に空気中の有機性ガスの吸着に作用し、ソーダライム管6は主に二酸化炭素の吸着に作用する。
In the air purifying
なお、この実施例では活性炭管4とソーダライム管6がそれぞれ3本ずつ設けられて交互に接続されているが、活性炭管4とソーダライム管6の数はそれぞれ1本、2本又は4本以上であってもよい。また、活性炭管4とソーダライム管6が必ずしも交互に接続されていなくともよい。例えば、活性炭管4−活性炭管4−ソーダライム管6―ソーダライム管6と接続したり、ソーダライム管6−活性炭管4−活性炭管4−ソーダライム管6と接続したりすることも可能である。なお、最下流の二酸化炭素吸収管3はソーダライム管6であることが好ましい。活性炭はソーダライムよりも初期の二酸化炭素吸着量が多いため、その二酸化炭素が精製された空気とともにこの空気精製装置1から出ていくのを防止するためである。
In this embodiment, three activated
この空気精製装置1は、ポンプ14により供給された空気を空気精製部2の活性炭管4及びソーダライム管6を順に通過させることにより、空気中に含まれる二酸化炭素やTOCが活性炭8及びソーダライム10に吸着して除去され、二酸化炭素やTOCの含有量の少ない空気を精製することができる。このように、複数本の活性炭管4及びソーダライム管6とポンプ14、フィルタ16だけで構成されている空気精製装置1は、燃焼炉で空気を燃焼した後でソーダライムによって二酸化炭素を吸収させる方式の空気精製装置よりも小型であるとともに安価であり、TOC測定装置などの装置の大きさを増大化させることなく組み込むことができる。
This
上記の空気精製装置1を用いたTOC測定装置の一例を図3により説明する。
流路を切り替えるための切替えバルブ20は中央に設けられた共通のポートと、共通のポートに切り替えて接続される複数のポートを備えている。切替えバルブ20の共通のポートにはシリンジ14が接続され、共通のポートに切り替えて接続されるポートに試料流路22、酸供給流路24、ドレイン流路26、及び酸化反応部30へ繋がる測定流路28がそれぞれ接続されている。酸化反応部30はCO2検出部32に接続されている。シリンジ14は吸引・吐出口が上方を向き、プランジャ16が上下方向に摺動するように配置されている。シリンジ14内部の空間の下部に空気精製装置1が配管12を介して接続されており、プランジャ16が配管の接続位置よりも下方にあるときに空気精製装置1からの空気がシリンジ14内に供給されるように構成されている。
An example of the TOC measuring apparatus using the
The switching
このTOC測定装置では、まずシリンジ14と試料流路22とを接続するように切替えバルブ20を切り替え、プランジャ16を配管12との接続位置よりも下にある状態で、プランジャ16を吸引側へ駆動してシリンジ14内に試料を吸引する。次に、シリンジ14と酸供給流路24とを接続とを接続するように切替えバルブ20を切り替え、プランジャ16をさらに吸引側へ駆動してシリンジ14の試料に酸を加える。
In this TOC measuring device, first, the switching
シリンジ14とドレイン流路26とを接続するように切替えバルブ20を切り替え、シリンジ14内に空気精製装置1から通気ガスを供給し、シリンジ14内で試料の通気処理を行なう。この通気処理により、試料中の二酸化炭素がドレイン流路26を介して外部へ排出される。通気処理が終了した後、シリンジ14内の上部の気相をドレイン流路26から排出するようにプランジャ16を吐出側へ駆動した後、シリンジ14と測定流路28とを接続するように切替えバルブ20を切り替え、プランジャ16をさらに吐出側へ駆動して試料を酸化反応部30に注入する。
The switching
酸化反応部30を経た試料はCO2検出部32に導入される。酸化反応部30では注入された試料中の全有機体炭素が二酸化炭素に変換され、CO2検出部32では全有機体炭素から変換された二酸化炭素の濃度が検出される。試料における全有機体炭素濃度とCO2検出部32による二酸化炭素濃度の検出値は予め検量線により関係付けられており、試料の二酸化炭素濃度を検出することで全有機体炭素濃度を測定することができる。
The sample that has passed through the
同実施例のTOC測定装置(<実施例>と表す)と、同実施例の空気精製装置1に代えて高純度空気ボンベを用いたTOC測定装置(<比較例>と表す)を用いて、純水を試料として空気精製装置1又は高純度空気ボンベの温度(精製カラム温度と表す)を7℃、25℃、40℃にしたときのTOC測定を1ヶ月(31日)間行なった結果を表1に示す。測定条件は、通気ガス供給流量100ml/min、1回の測定での通気時間90秒、試料量2000μLであった。
Using the TOC measuring device (represented as <Example>) of the same example and the TOC measuring device (represented as <Comparative example>) using a high-purity air cylinder instead of the
表1に示されているように、精製カラム温度が7℃、25℃、40℃のいずれの場合においても、実施例と比較例の測定値との差が1ppb以下であった。TOC測定装置における測定値の許容誤差は純水測定時における1ppb以下であるとされており、上記の測定結果はいずれの精製カラム温度においてもこの条件を満たしている。このことから、実施例の空気精製装置1はTOC測定装置での1ヶ月間の使用にも耐えうる性能を有するものであることを確認することができた。
As shown in Table 1, when the purification column temperature was 7 ° C., 25 ° C., or 40 ° C., the difference between the measured values of the example and the comparative example was 1 ppb or less. The tolerance of the measured value in the TOC measuring device is assumed to be 1 ppb or less at the time of pure water measurement, and the above measurement result satisfies this condition at any purification column temperature. From this, it was confirmed that the
1 空気精製装置
2 空気精製部
3 二酸化炭素吸収管
4 活性炭管
6 ソーダライム管
8 活性炭
10 ソーダライム
12 配管
13 チューブ
14 シリンジ
16 プランジャ
20 切替えバルブ
22 試料流路
24 酸供給流路
26 ドレイン流路
28 測定流路
30 酸化反応部
32 CO2検出部
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記二酸化炭素除去部に請求項1又は2に記載の空気精製装置が接続されており、前記空気精製装置で精製された空気が前記通気ガスとして試料水中に供給される全有機体炭素測定装置。 A carbon dioxide removal part that removes carbon dioxide contained in the sample water by aeration treatment with the aeration gas by aeration of the aeration gas in the sample water, and an oxidation that converts the organic carbon in the sample water that has passed through the carbon dioxide removal part to carbon dioxide In the total organic carbon measuring device equipped with a carbon dioxide measuring unit that measures the carbon dioxide concentration in the sample water that has passed through the reaction unit and the oxidation reaction unit,
An all-organic carbon measuring device, wherein the air purifier according to claim 1 or 2 is connected to the carbon dioxide removing unit, and the air purified by the air purifier is supplied as sample gas into the sample water.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010092004A JP5429014B2 (en) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | Air purifier and total organic carbon measuring apparatus using the air purifier |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010092004A JP5429014B2 (en) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | Air purifier and total organic carbon measuring apparatus using the air purifier |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011220915A JP2011220915A (en) | 2011-11-04 |
JP5429014B2 true JP5429014B2 (en) | 2014-02-26 |
Family
ID=45038076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010092004A Expired - Fee Related JP5429014B2 (en) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | Air purifier and total organic carbon measuring apparatus using the air purifier |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5429014B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6136800B2 (en) * | 2013-09-18 | 2017-05-31 | 株式会社島津製作所 | Carbon measuring device |
KR102087642B1 (en) * | 2019-03-13 | 2020-03-11 | 이엠씨 주식회사 | Total organic carbon measuring instrument automates sample and gas supply. |
KR102384212B1 (en) * | 2021-06-22 | 2022-04-08 | 한국에너지기술연구원 | Liquid sampling automation equipment and liquid sampling automation systems having the same |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07119749B2 (en) * | 1987-09-09 | 1995-12-20 | 株式会社島津製作所 | Sample introduction device for carbon analyzer |
JPH10104220A (en) * | 1996-09-30 | 1998-04-24 | Shimadzu Corp | Combustion-oxidation type toc meter |
JPH11156142A (en) * | 1997-11-28 | 1999-06-15 | Shimadzu Corp | Air refining apparatus |
JP3587724B2 (en) * | 1999-05-10 | 2004-11-10 | 紀本電子工業株式会社 | Continuous gas extractor and continuous analyzer for free carbon dioxide and dissolved inorganic carbon dioxide in water using it |
JP2003019420A (en) * | 2001-07-09 | 2003-01-21 | Tamotsu Minami | Method for cleaning volatile organic halogen compound- containing air |
JP3919513B2 (en) * | 2001-11-29 | 2007-05-30 | 国立循環器病センター総長 | Process for producing 15-O-carbon monoxide |
JP2008139229A (en) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Shimadzu Corp | Sample supply device, and total organic carbon meter using the sample supply device |
JP3133856U (en) * | 2007-05-14 | 2007-07-26 | 株式会社島津製作所 | Total organic carbon meter |
-
2010
- 2010-04-13 JP JP2010092004A patent/JP5429014B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011220915A (en) | 2011-11-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9492628B2 (en) | Apparatus, systems and method for collecting and reclaiming anaesthetic agents and for removing nitrous oxide from exhaust gases | |
US20160031722A1 (en) | Counterflow adsorption filter column for water treatment | |
JP5429014B2 (en) | Air purifier and total organic carbon measuring apparatus using the air purifier | |
KR101486110B1 (en) | System for preventing contaminants from reaching a gas purifier | |
JP6843395B2 (en) | Three-component simultaneous analyzer and three-component simultaneous analysis method | |
CN102042925A (en) | Method and apparatus for removing chloride from samples containing volatile organic carbon | |
JP2007319843A (en) | Gas dissolving module | |
JPH05312796A (en) | Apparatus for semi-continuous measurement and monitoring of chlorobenzene as alternate index for dioxine in exhaust gas | |
US8865073B2 (en) | Air purifier and total organic carbon measuring device using the air purifier | |
CN102895865A (en) | Method for removing contaminant in gas stream | |
JP6409589B2 (en) | Water treatment equipment | |
CN201308804Y (en) | Dry-type air absorption purification tower | |
JPH05302920A (en) | Carbon measuring apparatus | |
CN211111554U (en) | Pharmaceutical production chemical waste liquid treatment device | |
CN106103342B (en) | System and method for ultra-high purity (UHP) carbon dioxide purification | |
CN209060829U (en) | Waste gas recovery processing apparatus in operation | |
CN209752557U (en) | Chemical industry tail gas cleanup unit | |
JP4195831B2 (en) | How to detect harmful gases | |
JP2021088484A (en) | Methane removal device, high purity nitrogen supply system, gas chromatograph analysis system, and catalyst function regeneration method | |
JP2018025429A (en) | Reduction filter of mercury concentration measuring apparatus | |
JP5780966B2 (en) | Membrane-based compressed air breathing system | |
JP5617623B2 (en) | Total organic carbon measuring device | |
JP3212446B2 (en) | Purification facilities for soil contaminated with organochlorine compounds | |
CN210665631U (en) | Room temperature removes formaldehyde catalyst activity detection device | |
KR101958854B1 (en) | Apparatus for refining biomethane |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120806 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130708 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130716 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131118 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5429014 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |