JP5426815B2 - 液滴生成装置および液滴生成方法 - Google Patents
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Description
前記液滴材料吐出部まで前記液滴材料を輸送する輸送管、2)前記輸送管に所定圧力で、前記液滴材料を供給する液滴材料供給部を備えた液滴生成装置であって、3)前記液滴材料吐出部から吐出される液滴材料が、吐出後、所望の液滴になるように、前記輸送管の外壁に接触させた振動部で前記輸送管を振動させる。
図1に、本発明にかかる液滴生成装置の外観概略図を示す。液滴生成装置1は、ポット3、配管9、フィルタ10、ノズル13、電源部17、および振動部21を備えている。
本件発明による液滴生成メカニズムをより明確にするために、発明者は、以下のような変形例についても実験を行った。
上記実施形態においては、図2に示すように、ピエゾ素子を配管に当接させ、これを固定バンドで覆うように固定した(以下B方式という)。しかしながら、固定方法については、図5に示す保持具120、130を用いて、ピエゾ素子を配管に当接させた位置a1の対向位置a2に、空間を設けるように配管に固定するようにしてもよい(以下A方式という)。
配管の材質をステンレスではなく、ナイロンチューブに変更した場合には、15ボルト(P-P値)まで交流電圧を高くしたが、液滴は生成されなかった。したがって、硬度が所定以上である配管を用いる必要がある。ただステンレス以外でも、振動が伝わる程度の硬度があれば採用することができる。
配管を外径1/8インチ(3.18mm)、1/4インチ(6.36mm)、途中まで1/8インチでその先が1/4インチとした場合(以下C形式という)の比較結果を図7に示す。図7Aは外径1/8インチの場合、図7Bは外径1/4インチの場合、図に示す。図7Cに示すパイプ形状を、図9Aに示す。この例では、接続部61にて、1/8インチと1/4インチの配管が接続されている。かかる変形例による実験から、振動を伝わる程度の硬度である配管であれば、外径や途中での径変化があっても、液滴生成には影響がないといえる。
ノズルとピエゾ素子との距離を変化させた変形例を図9Bに示す。この例では、1/4インチの配管を用いて、ノズルが固定されているフランジ65までの距離Xを8cm〜99cmまで段階的に変化させている。その結果、いずれも目的となる小径の液滴が生成された。その際、液滴生成に必要な最小電圧はほとんど変わらなかった。なお、距離Xが45cm付近での電圧が高い原因は、ノズルとフィルタの中央辺りであり、パイプ内部での共振しているものと思われる。
以上の変形例による実験の結果、発明者は、1)ピエゾ素子による振動がパイプ内部の液体に伝わり、液体内部の音波としてノズルに伝わり、液滴が発生する、2)ピエゾ素子の振動で発生した液体内部の振動が、ノズルまでの間で減衰しない限り、ピエゾの設置位置は限定されないと考えた。
なお、本実施形態においては、ピエゾ素子による振動を利用した場合について説明したが、電磁石および永久磁石を用いて配管を振動させるようにしてもよい。たとえば、ピエゾ素子を用いた場合、0.1μm以下の小さな振幅が実現でき、この程度の振幅でも液滴は得られる。また、ピエゾ素子は振動させる力も大きい。これに対して、磁場による場合には、さらに振動幅を大きくすることができる。したがって、吐出させる液滴の径、材質などから適宜選択すればよい。
5・・・・水
7・・・・不活性ガス封入管
9・・・・配管
10・・・フィルタ
13・・・ノズル
15・・・排出槽
17・・・電源部
Claims (8)
- 液滴材料を吐出する液滴材料吐出部、
前記液滴材料吐出部まで前記液滴材料を輸送する輸送管、
前記輸送管に所定圧力で、前記液滴材料を供給する液滴材料供給部、
を備えた液滴生成装置であって、
前記液滴材料吐出部から吐出される液滴材料が、吐出後、所望の液滴になるように、前記液滴材料吐出部を固定させた状態で、前記輸送管の外壁に接触させた振動部で前記輸送管を振動させること、
を特徴とする液滴生成装置。 - 請求項1の液滴生成装置において、
前記振動部は、周期的な電気信号が与えられることにより、一部が物理的に振動すること、
を特徴とするもの。 - 請求項2の液滴生成装置において、
前記振動部は、圧電素子および前記圧電素子を固定する固定ブロックで構成されていること、
を特徴とするもの。 - 請求項2の液滴生成装置において、
前記液滴材料の不純物を除去する除去部を、前記振動部よりも前記液滴材料供給部側に設けたこと、
を特徴とするもの。 - 請求項2の液滴生成装置において、
前記振動部は、周期的に変化する磁場により振動すること、
を特徴とするもの。 - 請求項1〜5のいずれかの液滴生成装置、
前記液滴生成装置から供給される液滴に、パルスレーザ光を照射する光源、
を備えたことを特徴とする極端紫外光生成装置。 - 請求項6の極端紫外光生成装置を備えたことを特徴とする露光装置。
- 液滴材料を輸送管にて液滴材料吐出部まで輸送し、前記液滴材料吐出部にて液滴材料の吐出圧力を周期的に変化させて吐出させて、液滴を生成する方法であって、
前記輸送管の外壁に振動部を接触させ、前記液滴材料吐出部から吐出される液滴材料が、吐出後、所望の液滴になるように、前記液滴材料吐出部が振動しない状態で前記振動部により前記輸送管の前記外壁を振動させること、
を特徴とする液滴生成方法。
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