JP5406605B2 - Heat resistant resin and resin composition containing the same - Google Patents

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本発明は、耐熱性に優れた樹脂に関し、例えばカラーフィルター等の製造に利用できて、熱硬化条件下での形状保持性能に優れた樹脂組成物を得ることができる、高耐熱性の樹脂に関する。   The present invention relates to a resin having excellent heat resistance, and for example, to a highly heat resistant resin that can be used in the production of color filters and the like and can obtain a resin composition having excellent shape retention performance under thermosetting conditions. .

カラー液晶表示装置は、光の透過量あるいは反射量を制御する液晶部とカラーフィルターとを構成要素とするが、このカラーフィルターの製造方法では、通常、ガラス、プラスチックシート等の透明基板の表面にブラックマトリックスを形成し、続いて、赤、緑、青等の異なる色相を、順次ストライプ状あるいはモザイク状のような色パターンで形成する方法が採用されている。ここ数年、液晶テレビ、液晶モニター、カラー液晶携帯電話など、あらゆる分野でカラー液晶表示装置が用いられてきており、カラーフィルターは、これらカラー液晶表示装置の視認性を左右する重要な部材の一つである。   A color liquid crystal display device includes a liquid crystal unit that controls the amount of light transmitted or reflected and a color filter as constituent elements. In this method of manufacturing a color filter, the surface of a transparent substrate such as glass or plastic sheet is usually used. A method is adopted in which a black matrix is formed, and subsequently different hues such as red, green, and blue are sequentially formed in a color pattern such as a stripe shape or a mosaic shape. In recent years, color liquid crystal display devices have been used in various fields such as liquid crystal televisions, liquid crystal monitors, and color liquid crystal mobile phones. Color filters are an important member that affects the visibility of these color liquid crystal display devices. One.

一般的なブラックマトリクスの形成方法は、カーボン顔料や樹脂顔料等を含有する感光性樹脂組成物をフォトリソグラフ法によりパターニングを行い、前記感光性樹脂組成物をブラックマトリクスとして使用するものである。ここで、現像・リンス後の熱硬化工程であるポストベークでは、230℃前後の熱に数分から数十分曝された際に、形成したテーパー形状を保持する必要がある。   As a general method for forming a black matrix, a photosensitive resin composition containing a carbon pigment, a resin pigment, or the like is patterned by a photolithographic method, and the photosensitive resin composition is used as a black matrix. Here, in post-baking, which is a thermosetting step after development and rinsing, it is necessary to maintain the formed tapered shape when exposed to heat at around 230 ° C. for several minutes to several tens of minutes.

特に、インクジェット法により色パターン(画素)を形成する場合には、ブラックマトリクスをインク保持枠体として使用するため、カラーフィルターの色特性を満足する着色部分の厚みを得るためには、少なくとも1μm以上の厚みのブラックマトリクスが必要となり、ポストベーク時のテーパー形状保持がより難しくなっている。   In particular, when a color pattern (pixel) is formed by an ink jet method, a black matrix is used as an ink holding frame, and therefore, at least 1 μm or more is required to obtain a thickness of a colored portion that satisfies the color characteristics of the color filter. Therefore, it is more difficult to maintain a tapered shape during post-baking.

また、カラーフィルターの製造では、電極であるITOを接着する工程において250℃前後の熱に曝されるが、カラーフィルターにクラックが生じるのを防ぐために、熱高耐熱性の材料が必要となってくる。   In the production of a color filter, it is exposed to heat at around 250 ° C. in the process of adhering ITO as an electrode. However, in order to prevent the color filter from cracking, a heat and heat resistant material is required. come.

そこで、例えば特許文献1では、特定の芳香族エポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物を更に多塩基酸カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有化合物を樹脂主成分として含むブラックレジストが、高遮光率を有し、フォトリソグラフィー法によるファインパターンの形成が容易であって、しかも、絶縁性、耐熱性、密着性、室温保存安定性にも優れた遮光性薄膜形成用組成物となることを報告している。しかしながら、この特許文献1では、ブラックマトリックスの標準的な膜厚である1μm付近の薄膜用のブラックレジストについて述べており、1.5μmを超えるような膜厚にした場合での形状保持性能を担保するための耐熱性については直接触れていない。   Therefore, for example, in Patent Document 1, an unsaturated group-containing compound obtained by further reacting a reaction product of a specific aromatic epoxy compound and (meth) acrylic acid with a polybasic carboxylic acid or an anhydride thereof is used as a resin main component. Black resist containing as a component has a high light-shielding rate, easy to form fine patterns by photolithography, and also has a light-shielding thin film with excellent insulation, heat resistance, adhesion, and room temperature storage stability Reported to be a forming composition. However, this Patent Document 1 describes a black resist for a thin film having a standard thickness of 1 μm, which is a standard thickness of a black matrix, and guarantees the shape retention performance when the film thickness exceeds 1.5 μm. There is no direct mention of the heat resistance to do this.

一方、厚膜であることを特徴とするカラーフィルター関連材料の例として、特許文献2及び3がある。このうち特許文献2は、薄膜印刷を繰り返して成膜するものであって、露光及び熱焼成工程を有さない印刷法でのカラーフィルター形成に関する内容であり、形成したカラーフィルターの耐熱性を考慮するような記載はない。また、特許文献3は、ブラックマトリクスを形成する際の現像処理回数を重ねるごとに現像時間を長くする方法に関し、形状のバラツキが少ない形状再現性に優れたブラックマトリクスを得るものであるが、同じくブラックマトリクスの耐熱性を考慮するような記載はない。   On the other hand, Patent Documents 2 and 3 are examples of color filter-related materials that are thick films. Among these, Patent Document 2 is a method for forming a film by repeating thin film printing, and relates to the formation of a color filter by a printing method that does not have exposure and thermal baking processes, and considers the heat resistance of the formed color filter. There is no description to do. Further, Patent Document 3 relates to a method for increasing the development time each time the number of development processes for forming a black matrix is repeated, and obtains a black matrix having excellent shape reproducibility with little variation in shape. There is no description considering the heat resistance of the black matrix.

また、特許文献4及び5は、クレゾールノボラック樹脂等のアルカリ可溶性ノボラック樹脂、及びスチレン/ヒドロキシスチレン重合物をバインダー樹脂とすることで、解像度や耐熱性等の諸性能に優れたカラーフィルター用樹脂組成物を得るとする。しかしながら、これらの特許文献では、得られた着色パターンの耐熱性評価は、いずれも200℃で行っており、これ以上の高温条件での形状保持性能は触れられていない。   Patent Documents 4 and 5 describe resin compositions for color filters that are excellent in various performances such as resolution and heat resistance by using an alkali-soluble novolak resin such as a cresol novolak resin and a styrene / hydroxystyrene polymer as a binder resin. Suppose you get things. However, in these patent documents, the heat resistance evaluation of the obtained colored pattern is performed at 200 ° C., and the shape retention performance under higher temperature conditions is not mentioned.

特開平8−278629号公報JP-A-8-278629 特開平5−045513号公報JP-A-5-045513 特開2003−270431号公報JP 2003-270431 A 特開平6−194827号公報JP-A-6-194427 特開平6−194835号公報JP-A-6-194835

そこで、本発明者等は、例えばカラーフィルターの製造において、色パターンやブラックマトリクス等の硬化膜を厚膜で得る場合にも、高温の熱硬化工程で形状保持が可能であり、また、200℃を超えるようなITO接着工程等に耐え得るような耐熱性を備えた樹脂について鋭意検討した結果、所定のフルオレン骨格をノボラック構造で連結した新規な樹脂が、上記のような性能を全て満たすことができることを見出し、本発明を完成した。   Therefore, the present inventors can maintain the shape in a high-temperature thermosetting process even when a thick film such as a color pattern or a black matrix is obtained in the production of a color filter. As a result of diligent research on a resin having heat resistance that can withstand an ITO bonding process exceeding 1%, a new resin in which a predetermined fluorene skeleton is connected with a novolac structure can satisfy all of the above performances. The present invention has been completed by finding out what can be done.

従って、本発明の目的は、耐熱性に優れて、例えばカラーフィルターの製造における高温での熱硬化条件下でも形状保持が可能な樹脂を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a resin that is excellent in heat resistance and can retain its shape even under high temperature thermosetting conditions in the production of color filters, for example.

また、本発明の別の目的は、加熱条件下での形状保持性能に優れた樹脂組成物を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a resin composition excellent in shape retention performance under heating conditions.

すなわち、本発明は、下記一般式(I)で表され、分子量500〜10000であることを特徴とする樹脂である。

Figure 0005406605
(n1〜n2はそれぞれ独立して0〜20の整数を示し、n3は0〜10の整数を示し、n1〜n3の合計は1以上の整数である。また、R1、R2、R3、R4、R5、R6、及びR7は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基から選ばれる同一あるいは相異なる一価の置換基であり、R1とR2及び/又はR5とR6とR7は環を形成していてもよい。Zは、水素原子又は以下の一般式(II)で示される構造を持つ1価の末端基である。)
Figure 0005406605
(R8〜R12のうち主鎖(-CHR4-)に対してオルソ位又はパラ位の3つの置換基のうち少なくとも一つは水酸基を示す。その他のR8〜R12は、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基又はアリール基から選ばれる同一あるいは相異なる一価の置換基を示し、R8〜R12の隣り合う二つの置換基は環を形成していてもよい。) That is, the present invention is a resin represented by the following general formula (I) and having a molecular weight of 500 to 10,000.
Figure 0005406605
(N 1 ~n 2 each independently an integer of 0 to 20, n 3 represents an integer of 0, the sum of n 1 ~n 3 is an integer of 1 or more. Further, R 1, R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are the same or different monovalent substituents selected from a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and R 1 and R 2 And / or R 5 , R 6 and R 7 may form a ring, and Z is a hydrogen atom or a monovalent end group having a structure represented by the following general formula (II).
Figure 0005406605
(Backbone (-CHR 4 of R 8 ~R 12 -. At least one of) three substituents ortho or para to show the hydroxyl group other R 8 to R 12 is a hydrogen atom And the same or different monovalent substituent selected from a halogen atom, a hydroxyl group, an alkyl group or an aryl group, and two adjacent substituents of R 8 to R 12 may form a ring.)

また、本発明は、下記一般式(III)で表され、分子量600〜12000であることを特徴とする感光性樹脂である。

Figure 0005406605
(n1〜n2はそれぞれ独立して0〜20の整数を示し、n3は0〜10の整数を示し、n1〜n3の合計は1以上の整数を示す。 1 、R 2 、R 3 、R 4 、R 5 、R 6 、及びR 7 は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基から選ばれる同一あるいは相異なる一価の置換基であり、R 1 とR 2 及び/又はR 5 とR 6 とR 7 は環を形成していてもよい。Xは水素原子あるいは(メタ)アクリル基を示し、R8〜R12のうち主鎖(-CHR4-)に対してオルソ位又はパラ位の3つの置換基のうち少なくとも一つはOX基を示し、かつ、全てのXの総数に対して(メタ)アクリル基の割合は10〜100%である。その他のR 8 〜R 12 は、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基又はアリール基から選ばれる同一あるいは相異なる一価の置換基を示し、R 8 〜R 12 の隣り合う二つの置換基は環を形成していてもよい。) The present invention is also a photosensitive resin represented by the following general formula (III) and having a molecular weight of 600 to 12000.
Figure 0005406605
(N 1 ~n 2 each independently an integer of 0 to 20, n 3 represents an integer of 0, the sum of n 1 ~n 3 represents an integer of 1 or more. R 1, R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are the same or different monovalent substituents selected from a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and R 1 and R 2 and / or Or R 5 , R 6, and R 7 may form a ring, X represents a hydrogen atom or a (meth) acryl group, and R 8 to R 12 represent the main chain (—CHR 4 —). At least one of the three substituents in the ortho-position or para-position represents an OX group, and the ratio of the (meth) acryl group is 10 to 100% with respect to the total number of all X. Other R 8 to R 12 is a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, the same or different monovalent substituents selected from alkyl or aryl group Shown, two substituents adjacent to R 8 to R 12 may form a ring.)

更に、本発明は、(A)上記いずれかの樹脂、(B)少なくとも1個以上のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、及び(C)光重合開始剤を含む、感光性樹脂組成物である。   Furthermore, the present invention provides a photosensitive resin composition comprising (A) any one of the above resins, (B) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond, and (C) a photopolymerization initiator. It is a thing.

一般式(I)で表される樹脂は、ビスフェノールフルオレン骨格がノボラック構造で結合している。式中のn1〜n2はそれぞれ独立して0〜20の整数を示し、n3は0〜10の整数を示し、n1〜n3の合計は1以上の整数である。このうち、n2、n3の繰り返し構造に関し、一般式(I)の樹脂はブロック共重合に限定されるものではなく、交互共重合体であってもよく、ランダム共重合体であってもよい。また、一般式(III)で表される感光性樹脂は、上記一般式(I)の樹脂と(メタ)アクリル酸ハロゲン又は(メタ)アクリル酸無水物とを反応させて得ることができる。以下、これらの樹脂を含めて、本発明について詳細に説明する。 The resin represented by the general formula (I) has a bisphenolfluorene skeleton bonded with a novolac structure. N 1 in formula ~n 2 each independently an integer of 0 to 20, n 3 represents an integer of 0, the sum of n 1 ~n 3 is an integer of 1 or more. Among these, regarding the repeating structure of n 2 and n 3 , the resin of the general formula (I) is not limited to block copolymerization, and may be an alternating copolymer or a random copolymer. Good. The photosensitive resin represented by the general formula (III) can be obtained by reacting the resin of the above general formula (I) with (halogen) (meth) acrylate or (meth) acrylic anhydride. Hereinafter, the present invention including these resins will be described in detail.

一般式(I)で表される樹脂は、ビスフェノールフルオレン類およびフェノール類を、アルデヒド類を用いて架橋させたノボラック型の構造を持つ。末端基Zが水素原子の場合つまりビスフェノールフルオレン類およびn2、n3の繰り返し構造で示されるフェノール類のみを架橋させた場合は有機溶剤溶解性に劣り、合成時の分子量制御が困難なため、一般式(II)に示される末端基Zとなるフェノール類つまりフェノール性水酸基のオルソ位又はパラ位の1箇所のみが水素原子であるフェノール類を樹脂合成時に加えることが望ましい。また、樹脂合成時にオルソ位およびパラ位の2箇所が水素原子であるフェノール類を加える、あるいはジメチロールフェノール類を架橋に用いることにより、ビスフェノールフルオレン類の間にスペーサーとしてフェノール類が挿入された構造を持つ樹脂にすることで、さらに有機溶剤溶解性に優れた樹脂にすることができる。 The resin represented by the general formula (I) has a novolak structure in which bisphenolfluorenes and phenols are crosslinked using aldehydes. When the terminal group Z is a hydrogen atom, that is, when only the bisphenolfluorenes and the phenols represented by the repeating structure of n 2 and n 3 are crosslinked, the solubility in organic solvents is poor, and the molecular weight control during synthesis is difficult. It is desirable to add a phenol which is the terminal group Z represented by the general formula (II), that is, a phenol having only one hydrogen atom at the ortho-position or para-position of the phenolic hydroxyl group at the time of resin synthesis. In addition, a structure in which phenols are inserted as spacers between bisphenol fluorenes by adding phenols having two hydrogen atoms in the ortho-position and para-position at the time of resin synthesis, or by using dimethylolphenols for crosslinking By using a resin having the above, it is possible to make the resin further excellent in organic solvent solubility.

一般式(I)で表される樹脂は、ビスフェノールフルオレンを一つ以上含む構造であり、n3は0〜10であるが、好ましくは1〜10であり、より好ましくは1〜4である。n3が0であると耐熱性に劣り、5以上であると加工性に劣る。またスペーサーとなるフェノール類の数n1及びn2について、それぞれ0〜20の整数であり、n1とn2の合計については、好ましくは0〜11であり、より好ましくは0〜5であるのがよい。n1とn2の合計が12以上であると耐熱性に劣る。 The resin represented by the general formula (I) has a structure containing one or more bisphenolfluorenes, and n 3 is 0 to 10, preferably 1 to 10, more preferably 1 to 4. When n 3 is 0, the heat resistance is poor, and when it is 5 or more, the workability is poor. Further, the numbers n 1 and n 2 of phenols serving as spacers are each an integer of 0 to 20, and the total of n 1 and n 2 is preferably 0 to 11 and more preferably 0 to 5. It is good. If the total of n 1 and n 2 is 12 or more, the heat resistance is poor.

一般式(I)の樹脂を与える好ましいビスフェノールフルオレン類としては、次のようなものが挙げられる。9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−エチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−アリルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−ブロモフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−フルオロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシナフチル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジブロモフェニル)フルオレン等が挙げられる。   Preferred bisphenol fluorenes that give the resin of the general formula (I) include the following. 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-methylphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-ethylphenyl) fluorene, 9,9 -Bis (4-hydroxy-3-allylphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-chlorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-bromophenyl) fluorene, 9,9 -Bis (4-hydroxy-3-fluorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxynaphthyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) fluorene, 9,9- Bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3,5-dibromophenyl) fur Luolene and the like can be mentioned.

一般式(I)の樹脂を与える好ましいアルデヒド類あるいはジメチロールフェノール類として次のようなものが挙げられる。すなわち、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、n-ブチルアルデヒド、イソブチルアルデヒド、n-吉草酸アルデヒド、イソ吉草酸アルデヒド、2−メチルブチルアルデヒド、1−ヘキサナール、2−エチルブチルアルデヒド、ベンズアルデヒド、o−トルアルデヒド、m−トルアルデヒド、p−トルアルデヒド、2,6−ビス(ヒドロキシメチル)−p−クレゾール、2,4−ビス(ヒドロキシメチル)−o−クレゾール等を例示することができる。   Preferred aldehydes or dimethylolphenols that give the resin of the general formula (I) include the following. That is, formaldehyde, acetaldehyde, propionaldehyde, n-butyraldehyde, isobutyraldehyde, n-valeric aldehyde, isovaleric aldehyde, 2-methylbutyraldehyde, 1-hexanal, 2-ethylbutyraldehyde, benzaldehyde, o-tolualdehyde M-tolualdehyde, p-tolualdehyde, 2,6-bis (hydroxymethyl) -p-cresol, 2,4-bis (hydroxymethyl) -o-cresol, and the like.

一般式(I)の樹脂のスペーサーとなり得るフェノール類としては次のようなものが挙げられる。すなわち、o−クレゾール、p−クレゾール、2−エチルフェノール、4−エチルフェノール、2−プロピルフェノール、4−プロピルフェノール、2−イソプロピルフェノール、4−イソプロピルフェノール、2−tert−ブチルフェノール、4−tert−ブチルフェノール、2−sec−ブチルフェノール、4−sec−ブチルフェノール、2−メトキシフェノール、4−メトキシフェノール、2−ナフトール等を例示することができる。   Examples of the phenols that can serve as the spacer of the resin of the general formula (I) include the following. That is, o-cresol, p-cresol, 2-ethylphenol, 4-ethylphenol, 2-propylphenol, 4-propylphenol, 2-isopropylphenol, 4-isopropylphenol, 2-tert-butylphenol, 4-tert- Examples include butylphenol, 2-sec-butylphenol, 4-sec-butylphenol, 2-methoxyphenol, 4-methoxyphenol, 2-naphthol and the like.

一般式(I)の樹脂の末端基となり得るフェノール類としては次のようなものが挙げられる。すなわち、2,4−ジメチルフェノール、2,6−ジメチルフェノール、2−クロロ−o−クレゾール、2−クロロ−p−クレゾール、4−クロロ−o−クレゾール、2−ブロモ−o−クレゾール、2−ブロモ−p−クレゾール、4−ブロモ−o−クレゾール、2−tert−ブチル−o−クレゾール、4−tert−ブチル−p−クレゾール、4−tert−ブチル−o−クレゾール、2,4−ジ−tert−ブチルクレゾール、2−メトキシ−o−クレゾール、2−メトキシ−p−クレゾール、4−メトキシ−o−クレゾール、2,6−ジ−tert−ブチルクレゾール、2−アリル−o−クレゾール、2−アリル−p−クレゾール、1−ナフトール等を例示することができる。   Examples of the phenols that can be a terminal group of the resin of the general formula (I) include the following. 2,4-dimethylphenol, 2,6-dimethylphenol, 2-chloro-o-cresol, 2-chloro-p-cresol, 4-chloro-o-cresol, 2-bromo-o-cresol, 2- Bromo-p-cresol, 4-bromo-o-cresol, 2-tert-butyl-o-cresol, 4-tert-butyl-p-cresol, 4-tert-butyl-o-cresol, 2,4-di- tert-butylcresol, 2-methoxy-o-cresol, 2-methoxy-p-cresol, 4-methoxy-o-cresol, 2,6-di-tert-butylcresol, 2-allyl-o-cresol, 2- Examples include allyl-p-cresol and 1-naphthol.

本発明においては、一般式(I)及び(II)の置換基のうち、好ましい態様はR1がハロゲン原子又は炭素数7以下の炭化水素であり、R5、R6、及びR7のうちフェノール性水酸基のオルソ位及びパラ位に当たる全ての置換基がハロゲン原子又は炭素数7以下の炭化水素であり、R8〜R12のうちフェノール性水酸基のオルソ位及びパラ位に当たる全ての置換基がハロゲン原子又は炭素数7以下の炭化水素であるのがよい。このような態様であれば、直鎖状に合成された樹脂とすることができる。なお、一般式(I)で表される樹脂の分子量(Mw)は500〜10000であり、好ましくは500〜5000であり、より好ましくは800〜2000である。 In the present invention, among the substituents of the general formulas (I) and (II), a preferred embodiment is that R 1 is a halogen atom or a hydrocarbon having 7 or less carbon atoms, and among R 5 , R 6 , and R 7 All the substituents corresponding to the ortho-position and para-position of the phenolic hydroxyl group are halogen atoms or hydrocarbons having 7 or less carbon atoms, and all the substituents corresponding to the ortho-position and para-position of the phenolic hydroxyl group among R 8 to R 12 are It may be a halogen atom or a hydrocarbon having 7 or less carbon atoms. If it is such an aspect, it can be set as resin linearly synthesize | combined. In addition, the molecular weight (Mw) of resin represented by general formula (I) is 500-10000, Preferably it is 500-5000, More preferably, it is 800-2000.

また、本発明においては、一般式(I)の樹脂を前駆体として、これに(メタ)アクリル基を導入することで、一般式(III)で表される感光性樹脂を得ることができる。一般式(III)の感光性樹脂は、(メタ)アクリル基が一般式(I)の全てのフェノール性水酸基の数に対して10%以上導入された樹脂であり、50%以上導入されていることがより好ましい。(メタ)アクリル基の導入量が10%より少ないと、硬化時の架橋点が少なくなり、樹脂を硬化させた際の耐熱性をより一層向上させることができる効果が望めなくなる。なお、ここで言う(メタ)アクリル基の割合は、一般式(I)のフェノール性水酸基の数に対して、導入された(メタ)アクリル基の数に基づくものである。   Moreover, in this invention, the photosensitive resin represented by general formula (III) can be obtained by using the resin of general formula (I) as a precursor and introduce | transducing a (meth) acryl group into this. The photosensitive resin of general formula (III) is a resin in which 10% or more of (meth) acrylic groups are introduced with respect to the number of all phenolic hydroxyl groups of general formula (I), and 50% or more is introduced. It is more preferable. When the amount of (meth) acrylic group introduced is less than 10%, the number of crosslinking points at the time of curing decreases, and the effect of further improving the heat resistance when the resin is cured cannot be expected. In addition, the ratio of the (meth) acryl group said here is based on the number of the (meth) acryl groups introduce | transduced with respect to the number of the phenolic hydroxyl groups of general formula (I).

以下に一般式(III)の感光性樹脂の合成法を示すが、本発明の感光性樹脂はこの合成法で得られたものに限るものではない。この一般式(III)の感光性樹脂は上記一般式(I)の樹脂に対して、酸触媒あるいは塩基存在下、アクリル酸クロライド、アクリル酸ブロマイド、アクリル酸クロライド、メタクリル酸ブロマイド等の(メタ)アクリル酸ハライド、あるいは(メタ)アクリル酸無水物を反応させることで合成することができる。このうち、酸触媒としては塩酸、硫酸等の無機酸やメチルスルホン酸、p−トルエンスルホン酸等の有機酸が挙げられる。また、塩基としては水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化セシウム等のアルカリ金属水酸化物、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリイソプロピルアミン、トリイソブチルアミン、ジアザビシクロウンデセン、ピリジン等が挙げられる。なお、一般式(III)で表される樹脂の分子量(Mw)は600〜12000であり、好ましくは600〜6000であり、より好ましくは1000〜3000である。   Although the synthesis method of the photosensitive resin of general formula (III) is shown below, the photosensitive resin of this invention is not restricted to what was obtained by this synthesis method. This photosensitive resin of general formula (III) is a (meth) such as acrylic acid chloride, acrylic acid bromide, acrylic acid chloride, methacrylic acid bromide in the presence of an acid catalyst or a base with respect to the resin of general formula (I). It can be synthesized by reacting an acrylic acid halide or (meth) acrylic anhydride. Among these, examples of the acid catalyst include inorganic acids such as hydrochloric acid and sulfuric acid, and organic acids such as methylsulfonic acid and p-toluenesulfonic acid. Bases include alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide, potassium hydroxide and cesium hydroxide, trimethylamine, triethylamine, tripropylamine, tributylamine, triisopropylamine, triisobutylamine, diazabicycloundecene, pyridine Etc. In addition, the molecular weight (Mw) of resin represented by general formula (III) is 600-12000, Preferably it is 600-6000, More preferably, it is 1000-3000.

また、本発明では、上記一般式(I)又は(III)で表される樹脂を用いて、(B)成分の「少なくとも1個以上のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー」、及び(C)成分の「光重合開始剤」と共に配合することで、感光性樹脂組成物を得ることができる。架橋密度をより一層向上させることができる観点から、一般式(III)で表される樹脂を用いて、(B)成分及び(C)成分と共に配合して、感光性樹脂組成物を得るのが好ましい。一般式(III)の樹脂を含んだ好ましい態様の感光性樹脂組成物では、一般式(III)の感光性樹脂を樹脂成分の主成分として含有するようにするのが望ましい。ここで、樹脂成分とは、重合又は硬化させることにより樹脂となる成分をいい、樹脂の他、オリゴマー、モノマーを含む。また、主成分として含有するとは、一般式(III)の感光性樹脂が樹脂成分中に30wt%以上、好ましくは50wt%以上含まれることをいう。なお、好ましい態様では、上記一般式(III)の感光性樹脂を必須成分として含めばよく、感光性樹脂以外の成分は顔料等の着色剤や溶剤のほか、各種充填剤などを含んでもよい。   Further, in the present invention, using the resin represented by the general formula (I) or (III), the “photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond” as the component (B), and By blending with the “photopolymerization initiator” of component (C), a photosensitive resin composition can be obtained. From the viewpoint of further improving the crosslinking density, the resin represented by the general formula (III) is used together with the component (B) and the component (C) to obtain a photosensitive resin composition. preferable. In the photosensitive resin composition of the preferable aspect containing resin of general formula (III), it is desirable to contain the photosensitive resin of general formula (III) as a main component of a resin component. Here, the resin component refers to a component that becomes a resin by polymerization or curing, and includes an oligomer and a monomer in addition to the resin. Moreover, containing as a main component means that the photosensitive resin of general formula (III) is contained 30 wt% or more, preferably 50 wt% or more in the resin component. In a preferred embodiment, the photosensitive resin of the general formula (III) may be included as an essential component, and components other than the photosensitive resin may include various fillers in addition to a colorant such as a pigment and a solvent.

(B)成分である「少なくとも1個以上のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー」としては、例えば、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート等の水酸基を有するモノマーや、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類を挙げることができる。これらの化合物は、その1種又は2種以上を使用することができる。   Examples of the component (B) “photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond” include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, and 2-ethylhexyl. Monomers having a hydroxyl group such as (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di ( (Meth) acrylate, dimethylol tricyclodecane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, List of (meth) acrylic acid esters such as intererythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, etc. be able to. These compounds can be used alone or in combination of two or more thereof.

これら(B)成分と(A)成分の一般式(III)で表される感光性樹脂との配合割合については、(A)成分及び(B)成分の合計100重量部における重量比[(A)/(B)]が、20重量部/80重量部〜90重量部/10重量部であるのがよく、好ましくは40重量部/60重量部〜80重量部/20重量部であるのがよい。   About the mixture ratio of these (B) component and the photosensitive resin represented by general formula (III) of (A) component, the weight ratio [(A) in a total of 100 weight part of (A) component and (B) component [(A ) / (B)] should be 20 parts by weight / 80 parts by weight to 90 parts by weight / 10 parts by weight, and preferably 40 parts by weight / 60 parts by weight to 80 parts by weight / 20 parts by weight. Good.

また、成分(C)の光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p'-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、2-(o-クロロフェニル)-4,5-フェニルビイミダゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)ビイミダゾール、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2,4,5-トリアリールビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物類、2-トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル-5-(p-シアノスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール等のハロメチルチアゾール化合物類、2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-メチル−4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(3,4,5-トリメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メチルチオスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン等のハロメチル−s−トリアジン系化合物類、1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-,2-(o-ベンゾイルオキシム)、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-o-ベンゾアート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-o-アセタート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1-オンオキシム-o-アセタート等のo-アシルオキシム系化合物類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2-クロロチオキサンソン、2,4-ジエチルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、2-イソプロピルチオキサンソン等のイオウ化合物、2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類、アゾビスイソブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物、トリエタノールアミン、トリエチルアミン等の第3級アミンなどが挙げられる。これらの光重合開始剤は、その1種又は2種以上を使用することができる。   Examples of the photopolymerization initiator of component (C) include acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butyl. Acetophenones such as acetophenone, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, benzophenones such as p, p'-bisdimethylaminobenzophenone, benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-phenylbiimidazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) biimidazole, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenyl Biimidazole, 2- (o-methoxyphene B) -4,5-diphenylbiimidazole, biimidazole compounds such as 2,4,5-triarylbiimidazole, 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2- Halomethylthiazole such as trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole Compounds, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2-phenyl-4 , 6-Bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2- (4-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) ) -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2- (4-methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2- ( 4-methoxystyryl) -4,6- Bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2- (3,4,5-trimethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine, 2- (4 -Methylthiostyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -1,3,5-triazine and other halomethyl-s-triazine compounds, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio) phenyl] -, 2- (o-benzoyloxime), 1- (4-phenylsulfanylphenyl) butane-1,2-dione-2-oxime-o-benzoate, 1- (4-methylsulfanylphenyl) butane-1, O-acyloxime compounds such as 2-dione-2-oxime-o-acetate and 1- (4-methylsulfanylphenyl) butan-1-oneoxime-o-acetate, benzyldimethyl ketal, thioxanthone, 2-chlorothio Xanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxone Organic compounds such as 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, anthraquinones such as 2,3-diphenylanthraquinone, organic peroxidation such as azobisisobutylnitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide Products, thiol compounds such as 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole and 2-mercaptobenzothiazole, and tertiary amines such as triethanolamine and triethylamine. One or more of these photopolymerization initiators can be used.

(C)成分の光重合開始剤の使用量は、(A)成分の一般式(III)で表される感光性樹脂及び(B)成分の光重合性モノマーの合計100重量部を基準として、1〜50重量部であるのがよく、好ましくは2〜40重量部であるのがよい。なお、(C)成分の光重合開始剤には、光増感作用を併せ持つものも含まれるが、別途光増感剤を添加してもなんらさしつかえない。   The amount of the photopolymerization initiator used as the component (C) is based on a total of 100 parts by weight of the photosensitive resin represented by the general formula (III) of the component (A) and the photopolymerizable monomer of the component (B). It should be 1 to 50 parts by weight, preferably 2 to 40 parts by weight. Incidentally, the photopolymerization initiator of the component (C) includes those having a photosensitizing action, but there is no problem even if a photosensitizer is added separately.

(A)成分の一般式(III)で表される感光性樹脂、(B)成分の光重合性モノマー、及び(C)成分の光重合開始剤を必須成分として含む感光性樹脂組成物は、カラーフィルターインクや保護膜等のカラーフィルター用材料をはじめ、半導体用レジスト材料、構造体形成用フォトレジスト材料などに適用することができる。この感光性樹脂組成物は、必要により下記に示す溶剤に溶解させたり、各種添加剤を配合して用いることもできる。   The photosensitive resin composition containing the photosensitive resin represented by the general formula (III) of the component (A), the photopolymerizable monomer of the component (B), and the photopolymerization initiator of the component (C) as essential components, The present invention can be applied to color filter materials such as color filter inks and protective films, semiconductor resist materials, and structure forming photoresist materials. If necessary, this photosensitive resin composition can be dissolved in a solvent shown below, or various additives can be blended.

本発明の感光性樹脂組成物をカラーフィルター用途に使用する場合には、前記(A)〜(C)の各成分の他に、溶剤を配合するのが好ましい。溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類、α−若しくはβ−テルピネオール等のテルペン類等、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N-メチル-2-ピロリドン等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類等が挙げられ、これらを用いて溶解、混合させることにより、均一な溶液状の組成物とすることができる。   When using the photosensitive resin composition of this invention for a color filter use, it is preferable to mix | blend a solvent other than each component of said (A)-(C). Examples of the solvent include alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, ethylene glycol, propylene glycol, terpenes such as α- or β-terpineol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, N-methyl-2- Ketones such as pyrrolidone, aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, tetramethylbenzene, cellosolve, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, propylene Glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene Glycol ethers such as glycol monoethyl ether, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl Examples include acetates such as ether acetate, and the like, and these can be dissolved and mixed to form a uniform solution-like composition.

また、本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑剤、充填材、溶剤、レベリング剤、消泡剤等の添加剤を配合することができる。このうち、熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、フェノチアジン等を挙げることができる。可塑剤としては、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、トリクレジル等を挙げることができる。充填材としては、グラスファイバー、シリカ、マイカ、アルミナ等を挙げることができる。また、消泡剤やレベリング剤としては、例えば、シリコン系、フッ素系、アクリル系の化合物を挙げることができる。   Moreover, the photosensitive resin composition of the present invention may contain additives such as a curing accelerator, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, a filler, a solvent, a leveling agent, and an antifoaming agent as necessary. . Among these, examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butylcatechol, phenothiazine and the like. Examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, and tricresyl. Examples of the filler include glass fiber, silica, mica, and alumina. Examples of the antifoaming agent and leveling agent include silicon-based, fluorine-based, and acrylic compounds.

本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤を除いた固形分(固形分には硬化後に固形分となるモノマーを含む)中に、(A)成分の一般式(III)で表される感光性樹脂、(B)成分の光重合性モノマー、及び(C)成分の光重合開始剤が合計で70wt%以上、好ましくは80wt%以上、より好ましくは90wt%以上含まれるのが望ましい。溶剤の量は、目標とする粘度によって変化するが、樹脂組成物全体量に対して20〜80wt%の範囲が望ましい。   The photosensitive resin composition of the present invention has a photosensitivity represented by the general formula (III) of the component (A) in the solid content excluding the solvent (the solid content includes a monomer that becomes a solid content after curing). The total amount of the resin, the photopolymerizable monomer (B) and the photopolymerization initiator (C) is preferably 70 wt% or more, preferably 80 wt% or more, more preferably 90 wt% or more. The amount of the solvent varies depending on the target viscosity, but is preferably in the range of 20 to 80 wt% with respect to the total amount of the resin composition.

本発明の硬化膜(硬化物)は、例えば、上記感光性樹脂組成物の溶液を基板等に塗布し、乾燥し、光(紫外線、放射線等を含む)を照射して、これを硬化させることにより得ることができる。一般には、先ず、基板の表面上に感光性樹脂組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜を露光したのち、その後ポストベークすることにより、硬化物を得る。感光性樹脂組成物を基板に塗布する際には、公知の溶液浸漬法、スプレー法の他、ローラーコーター機、ランドコーター機やスピナー機を用いる方法等の何れの方法をも採用することができる。これらの方法によって、所望の厚さに塗布した後、溶剤を除去する(プレベーク)ことにより、硬化膜が形成される。特に、本発明の感光性樹脂組成物は、一般式(I)又は(III)で表される高耐熱性の樹脂を含み、下記のようなポストベーク等の熱硬化条件下での形状保持性能に優れることから、2μm以上の厚い硬化膜を得る場合にも好適に利用することができる。プレベークはオーブン、ホットプレート等による加熱、真空乾燥又はこれらの組み合わせることによって行われる。プレベークにおける加熱温度及び加熱時間は、使用する溶剤に応じて適宜選択され、例えば80〜120℃の温度で1〜10分間行われる。   The cured film (cured product) of the present invention is obtained by, for example, applying the above-mentioned photosensitive resin composition solution to a substrate or the like, drying it, and irradiating it with light (including ultraviolet rays and radiation) to cure it. Can be obtained. In general, first, a photosensitive resin composition is applied on the surface of a substrate, and then pre-baked to evaporate the solvent to form a coating film. Subsequently, after exposing this coating film, a hardened | cured material is obtained by post-baking after that. When applying the photosensitive resin composition to the substrate, any method such as a method using a roller coater machine, a land coater machine, or a spinner machine can be adopted in addition to a known solution dipping method and spray method. . After applying to a desired thickness by these methods, the solvent is removed (prebaked) to form a cured film. In particular, the photosensitive resin composition of the present invention contains a highly heat-resistant resin represented by the general formula (I) or (III), and retains the shape under the thermosetting conditions such as the following post-bake. Therefore, the present invention can be suitably used when a thick cured film having a thickness of 2 μm or more is obtained. Pre-baking is performed by heating with an oven, a hot plate, etc., vacuum drying, or a combination thereof. The heating temperature and heating time in the pre-baking are appropriately selected according to the solvent to be used, and are performed, for example, at a temperature of 80 to 120 ° C. for 1 to 10 minutes.

硬化膜を作製する際に使用される放射線としては、例えば可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が250〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。露光による硬化後、150〜250℃の温度及び20〜100分の条件で熱処理(ポストベーク)が行われる。このポストベークは、塗膜と基板との密着性を高めるため等の目的で行われる。   As the radiation used for producing the cured film, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray and the like can be used, and radiation having a wavelength in the range of 250 to 450 nm is preferable. After curing by exposure, heat treatment (post-bake) is performed at a temperature of 150 to 250 ° C. and a condition of 20 to 100 minutes. This post-baking is performed for the purpose of improving the adhesion between the coating film and the substrate.

本発明の樹脂は、高耐熱性を示すフルオレン骨格が高耐熱性を示すノボラック構造で結ばれていることから高い耐熱性を示す。そのため、例えばカラーフィルターを製造する際に用いられる感光性樹脂組成物とした場合、ポストベーク等の熱硬化や200℃を超えるようなITO接着工程等の条件下で優れた形状保持性を発現することができ、特に、厚膜の硬化膜が求められるような場合に好適に用いることができる。   The resin of the present invention exhibits high heat resistance because the fluorene skeleton exhibiting high heat resistance is connected with a novolac structure exhibiting high heat resistance. Therefore, for example, when a photosensitive resin composition is used in the production of a color filter, it exhibits excellent shape retention under conditions such as post-baking and other heat curing and ITO bonding processes exceeding 200 ° C. In particular, it can be suitably used when a thick cured film is required.

以下、参考例、実施例及び比較例に基づき本発明をより詳細に説明する。なお、本発明はこれらの参考例、実施例及び比較例によりその範囲を限定されるものではない。また、以下の実施例等における樹脂の分子量はテトラヒドロフランを展開溶媒として、ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)にて標準ポリスチレン換算値として重量平均分子量(Mw)を求めた値である。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on reference examples, examples, and comparative examples. The scope of the present invention is not limited by these reference examples, examples and comparative examples. In addition, the molecular weight of the resin in the following Examples and the like is a value obtained by calculating the weight average molecular weight (Mw) as a standard polystyrene conversion value by gel permeation chromatography (GPC) using tetrahydrofuran as a developing solvent.

また、実施例等で使用する略号は次のとおりである。
BCFL:9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)フルオレン
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ANON:シクロヘキサノン
The abbreviations used in the examples and the like are as follows.
BCFL: 9,9-bis (4-hydroxy-3-methylphenyl) fluorene PGMEA: propylene glycol monomethyl ether acetate ANON: cyclohexanone

[参考例1]
撹拌機、冷却器を備えた200mLセパラブルフラスコにBCFL 5.68g、2,6−ジメチルフェノール1.22g、パラホルムアルデヒド0.60g、及びp−トルエンスルホン酸一水和物95mgを加え、トルエン50g中100℃で5時間撹拌した。10%炭酸ナトリウム水溶液0.27gを加えて中和し、減圧下で溶剤を溜去し、樹脂−1を6.77g得た。得られた樹脂−1について、GPCによるMwは908であり、Mw/Mnは1.52であった。また、1HNMRの結果は次のとおりである。1HNMR(CDCl3,δ)7.75−7.60(6H,m,Ar−H)、7.35−6.46(34H,m,Ar−H)、3.84−3.57(8H,m,Ar−CH2−Ar)、及び2.30−1.93(30H,m,Ar−CH3)。
[Reference Example 1]
To a 200 mL separable flask equipped with a stirrer and a condenser were added BCFL 5.68 g, 2,6-dimethylphenol 1.22 g, paraformaldehyde 0.60 g, and p-toluenesulfonic acid monohydrate 95 mg, and toluene 50 g The mixture was stirred at 100 ° C. for 5 hours. Neutralization was performed by adding 0.27 g of a 10% aqueous sodium carbonate solution, and the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain 6.77 g of Resin-1. About obtained resin-1, Mw by GPC was 908 and Mw / Mn was 1.52. Moreover, the result of 1 HNMR is as follows. 1 HNMR (CDCl 3 , δ) 7.75-7.60 (6H, m, Ar—H), 7.35-6.46 (34H, m, Ar—H), 3.84-3.57 ( 8H, m, Ar-CH2-Ar), and 2.30-1.93 (30H, m, Ar-CH3).

[参考例2]
撹拌機、冷却器を備えた200mLセパラブルフラスコにBCFL 5.68g、4−クロロ−o−クレゾール1.43g、パラホルムアルデヒド0.60g、及びp−トルエンスルホン酸一水和物95mgを加え、トルエン50g中100℃で5時間撹拌した。10%炭酸ナトリウム水溶液0.27gで中和し、減圧下で溶剤を溜去し、樹脂−2を6.67g得た。得られた樹脂−2について、GPCによるMwは1534であり、Mw/Mnは1.81であった。また、1HNMRの結果は次のとおりである。1HNMR(CDCl3,δ)7.78−7.61(6H,m,Ar−H)、7.39−6.30(34H,m,Ar−H)、3.80−3.52(8H,m,Ar−CH2−Ar)、2.30−1.88(24H,m,Ar−CH3)。
[Reference Example 2]
A 200 mL separable flask equipped with a stirrer and a condenser was added with 5.68 g of BCFL, 1.43 g of 4-chloro-o-cresol, 0.60 g of paraformaldehyde, and 95 mg of p-toluenesulfonic acid monohydrate. The mixture was stirred at 100 ° C. in 50 g for 5 hours. The mixture was neutralized with 0.27 g of 10% aqueous sodium carbonate solution, and the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain 6.67 g of Resin-2. About obtained resin-2, Mw by GPC was 1534 and Mw / Mn was 1.81. Moreover, the result of 1 HNMR is as follows. 1 HNMR (CDCl 3 , δ) 7.78-7.61 (6H, m, Ar—H), 7.39-6.30 (34H, m, Ar—H), 3.80-3.52 ( 8H, m, Ar-CH2-Ar), 2.30-1.88 (24H, m, Ar-CH3).

[参考例3]
撹拌機、冷却器を備えた1LセパラブルフラスコにBCFL 226g、2,4−ジ−t−ブチルフェノール82.3g、パラホルムアルデヒド24.0g、及びp−トルエンスルホン酸一水和物1.9gを加え、トルエン500g中100℃で5時間撹拌した。10%炭酸ナトリウム水溶液5.3gで中和し、減圧下で溶剤を溜去し、樹脂−3を264g得た。得られた樹脂−3について、GPCによるMwは1290であり、Mw/Mnが1.51であった。また、1HNMRの結果は次のとおりである。1HNMR(CDCl3,δ)7.79−7.56(6H,m,Ar−H)、7.37−6.31(34H,m,Ar−H)、3.92−3.50(8H,m,Ar−CH2−Ar)、2.25−1.83(18H,m,Ar−CH3)、1.52−1.13(36H,m,Ar−tBu)。
[Reference Example 3]
226 g of BCFL, 82.3 g of 2,4-di-t-butylphenol, 24.0 g of paraformaldehyde, and 1.9 g of p-toluenesulfonic acid monohydrate were added to a 1 L separable flask equipped with a stirrer and a condenser. The mixture was stirred in 500 g of toluene at 100 ° C. for 5 hours. The mixture was neutralized with 5.3 g of a 10% aqueous sodium carbonate solution, and the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain 264 g of Resin-3. About obtained resin-3, Mw by GPC was 1290, and Mw / Mn was 1.51. Moreover, the result of 1 HNMR is as follows. 1 HNMR (CDCl 3 , δ) 7.79-7.56 (6H, m, Ar—H), 7.37-6.31 (34H, m, Ar—H), 3.92-3.50 ( 8H, m, Ar-CH2-Ar), 2.5-1.83 (18H, m, Ar-CH3), 1.52-1.13 (36H, m, Ar-tBu).

[参考例4]
撹拌機、冷却器を備えた200mLセパラブルフラスコにBCFL 5.68g、2,6−ジメチルフェノール1.23g、2,6−ビス(ヒドロキシメチル)フェノール3.37g、及びp−トルエンスルホン酸一水和物95mgを加え、トルエン50g中100℃で5時間撹拌した。10%炭酸ナトリウム水溶液0.27gで中和し、減圧下で溶剤を溜去し、樹脂−4を9.06g得た。得られた樹脂−4について、GPCによるMwは1570であり、Mw/Mnが1.77であった。また、1HNMRの結果は次のとおりである。1HNMR(CDCl3,δ)7.78−7.65(6H,m,Ar−H)、7.40−6.48(42H,m,Ar−H)、3.85−3.59(16H,m,Ar−CH2−Ar)、2.35−1.88(42H,m,Ar−CH3)。
[Reference Example 4]
In a 200 mL separable flask equipped with a stirrer and a condenser, BCFL 5.68 g, 2,6-dimethylphenol 1.23 g, 2,6-bis (hydroxymethyl) phenol 3.37 g, and p-toluenesulfonic acid monohydrate 95 mg of the Japanese product was added, and the mixture was stirred at 100 ° C. for 5 hours in 50 g of toluene. The mixture was neutralized with 0.27 g of 10% aqueous sodium carbonate solution, and the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain 9.06 g of Resin-4. About obtained resin-4, Mw by GPC was 1570, and Mw / Mn was 1.77. Moreover, the result of 1 HNMR is as follows. 1 HNMR (CDCl 3 , δ) 7.78-7.65 (6H, m, Ar—H), 7.40-6.48 (42H, m, Ar—H), 3.85-3.59 ( 16H, m, Ar-CH2-Ar), 2.35-1.88 (42H, m, Ar-CH3).

[参考例5]
撹拌機、冷却器を備えた200mLセパラブルフラスコにBCFL 5.68g、4−クロロ−o−クレゾール1.46g、2,6−ビス(ヒドロキシメチル)フェノール3.36g、及びp−トルエンスルホン酸一水和物95mgを加え、トルエン50g中100℃で5時間撹拌した。10%炭酸ナトリウム水溶液0.27gで中和し、減圧下で溶剤を溜去し、樹脂−5を8.69g得た。得られた樹脂−5について、GPCによるMwは2260であり、Mw/Mnが2.30であった。また、1HNMRの結果は次のとおりである。1HNMR(CDCl3,δ)7.78−7.60(6H,Ar−H)、7.40−6.35(42H,m,Ar−H)、3.85−3.51(16H,m,Ar−CH2−Ar)、2.32−1.82(36H,m,Ar−CH3)。
[Reference Example 5]
In a 200 mL separable flask equipped with a stirrer and a condenser, 5.68 g of BCFL, 1.46 g of 4-chloro-o-cresol, 3.36 g of 2,6-bis (hydroxymethyl) phenol, and one p-toluenesulfonic acid Hydrate (95 mg) was added, and the mixture was stirred in toluene (50 g) at 100 ° C. for 5 hours. The mixture was neutralized with 0.27 g of 10% aqueous sodium carbonate solution, and the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain 8.69 g of Resin-5. About obtained resin-5, Mw by GPC was 2260, and Mw / Mn was 2.30. Moreover, the result of 1 HNMR is as follows. 1 HNMR (CDCl 3 , δ) 7.78-7.60 (6H, Ar—H), 7.40-6.35 (42H, m, Ar—H), 3.85-3.51 (16H, m, Ar-CH2-Ar), 2.32-1.82 (36H, m, Ar-CH3).

[参考例6]
撹拌機、冷却器を備えた200mLセパラブルフラスコにBCFL 22.7g、2,4−ジ−t−ブチルフェノール8.25g、2,6−ビス(ヒドロキシメチル)フェノール13.4g、及びp−トルエンスルホン酸一水和物0.19gを加え、トルエン80g中100℃で5時間撹拌した。10%炭酸ナトリウム水溶液0.53gで中和し、減圧下で溶剤を溜去し、樹脂−6を32.2g得た。得られた樹脂−6について、GPCによるMwは1773であり、Mw/Mnが1.68であった。また、1HNMRの結果は次のとおりである。1HNMR(CDCl3,δ)7.82−7.60(6H,m,Ar−H)、7.39−6.42(42H,m,Ar−H)、4.02−3.59(16H,m,Ar−CH2−Ar)、2.35−1.89(30H,m,Ar−CH3)、1.55−1.20(36H,m,Ar−tBu)。
[Reference Example 6]
In a 200 mL separable flask equipped with a stirrer and a condenser, 22.7 g of BCFL, 8.25 g of 2,4-di-t-butylphenol, 13.4 g of 2,6-bis (hydroxymethyl) phenol, and p-toluenesulfone The acid monohydrate 0.19g was added and it stirred at 100 degreeC in 80g of toluene for 5 hours. The mixture was neutralized with 0.53 g of 10% aqueous sodium carbonate solution, and the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain 32.2 g of Resin-6. About obtained resin-6, Mw by GPC was 1773, and Mw / Mn was 1.68. Moreover, the result of 1 HNMR is as follows. 1 H NMR (CDCl 3 , δ) 7.82-7.60 (6H, m, Ar—H), 7.39-6.42 (42H, m, Ar—H), 4.02-3.59 ( 16H, m, Ar-CH2-Ar), 2.35-1.89 (30H, m, Ar-CH3), 1.55-1.20 (36H, m, Ar-tBu).

[実施例7]
撹拌機、冷却器を備えた200mLセパラブルフラスコに樹脂−3を19.9g、アクリル酸無水物を1.51g、及びメチルスルホン酸96mgを加え、トルエン50g中100℃で15時間撹拌し、得られた反応混合物を飽和炭酸水素ナトリウム水で中和洗浄を行い、減圧下で溶剤を溜去し、樹脂−3のフェノール性水酸基の総数に対して83%にアクリル基が導入された樹脂−7を17.7g得た。得られた樹脂−7について、GPCによるMwは1493であり、Mw/Mnが1.43であった。また、1HNMRの結果は次のとおりである。1HNMR(CDCl3,δ)7.80−7.69(6H,Ar−H)、7.43−5.68(34H,m,Ar−H,20H,m,H2C=CH−)、3.75−3.39(8H,m,Ar−CH2−Ar)、2.18−1.88(30H,m,Ar−CH3)、1.50−1.20(36H,m,Ar−tBu)。
[Example 7]
A 200 mL separable flask equipped with a stirrer and a condenser was added with 19.9 g of resin-3, 1.51 g of acrylic anhydride, and 96 mg of methylsulfonic acid, and the mixture was stirred in 100 g of toluene at 50 ° C. for 15 hours. The resulting reaction mixture was neutralized and washed with saturated aqueous sodium hydrogen carbonate, and the solvent was distilled off under reduced pressure. Resin-7 in which acrylic groups were introduced into 83% of the total number of phenolic hydroxyl groups in Resin-3 Of 17.7 g. About obtained resin-7, Mw by GPC was 1493 and Mw / Mn was 1.43. Moreover, the result of 1 HNMR is as follows. 1 HNMR (CDCl 3 , δ) 7.80-7.69 (6H, Ar—H), 7.43-5.68 (34H, m, Ar—H, 20H, m, H 2 C═CH—) 3.75-3.39 (8H, m, Ar-CH2-Ar), 2.18-1.88 (30H, m, Ar-CH3), 1.50-1.20 (36H, m, Ar) -TBu).

[実施例8]
撹拌機、冷却器を備えた200mLセパラブルフラスコに樹脂−6を23.2g、アクリル酸無水物を22.2g、及びメチルスルホン酸96mgを加え、トルエン50g中100℃で15時間撹拌し、得られた混合物を飽和炭酸水素ナトリウム水で中和洗浄を行い、減圧下で溶剤を溜去することで樹脂−6のフェノール性水酸基の総数に対して75%にアクリル基が導入された樹脂−8を21.6g得た。得られた樹脂−8について、GPCによるMwは2136であり、Mw/Mnが1.74であった。また、1HNMRの結果は次のとおりである。1HNMR(CDCl3,δ)7.80−7.63(6H,Ar−H)、7.39−5.63(42H,m,Ar−H,27H,m,H2C=CH−)、3.79−3.35(16H,m,Ar−CH2−Ar)、2.30−1.92(18H,m,Ar−CH3)、1.56−1.13(36H,m,Ar−tBu)。
[Example 8]
To a 200 mL separable flask equipped with a stirrer and a condenser, 23.2 g of resin-6, 22.2 g of acrylic anhydride and 96 mg of methylsulfonic acid were added, and the mixture was stirred at 100 ° C. for 15 hours in 50 g of toluene. The mixture obtained was neutralized and washed with saturated aqueous sodium hydrogen carbonate, and the solvent was distilled off under reduced pressure, whereby resin-8 having an acrylic group introduced into 75% of the total number of phenolic hydroxyl groups of resin-6. 21.6 g was obtained. About obtained resin-8, Mw by GPC was 2136, and Mw / Mn was 1.74. Moreover, the result of 1 HNMR is as follows. 1 HNMR (CDCl 3 , δ) 7.80-7.63 (6H, Ar—H), 7.39-5.63 (42H, m, Ar—H, 27H, m, H 2 C═CH—) 3.79-3.35 (16H, m, Ar-CH2-Ar), 2.30-1.92 (18H, m, Ar-CH3), 1.56-1.13 (36H, m, Ar) -TBu).

[実施例9]
上記で得られた感光性の樹脂−7及び樹脂−8を用いて、以下のようにして感光性樹脂組成物を調製し、Tgを指標にして耐熱性の評価を行った。
[Example 9]
Using the photosensitive resin-7 and the resin-8 obtained above, a photosensitive resin composition was prepared as follows, and heat resistance was evaluated using Tg as an index.

樹脂−7を3.60g、DCP−A(共栄社化学社製、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート)を3.60g、イルガキュアOXE−2(チバジャパン社製、光開始剤)を0.22g、界面活性剤SH3775(花王社製)を0.03g、カップリング剤S−510(信越化学社製)を0.06g、PGMEAを4.50g、及びANONを3.00g用意し、これらを混合して感光性樹脂組成物に調製した。得られた樹脂組成物について、スピンコーターを用いガラス基板に塗布し、90℃で3分間のプレベークを行った後、I線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで100mJ/cm2の紫外線を照射して感光部分の光硬化反応を行った。次いで、150℃で30分、引き続き230℃で30分のポストベークを行い、80μmの厚さの硬化膜を得た。この硬化膜について粘弾性測定を行いtanδからTgを測定した。結果を表1に示す。 3.60 g of resin-7, 3.60 g of DCP-A (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., dimethylol tricyclodecane diacrylate), 0.22 g of Irgacure OXE-2 (manufactured by Ciba Japan, photoinitiator), interface Prepare 0.03 g of activator SH3775 (manufactured by Kao), 0.06 g of coupling agent S-510 (manufactured by Shin-Etsu Chemical), 4.50 g of PGMEA, and 3.00 g of ANON, and mix them. A photosensitive resin composition was prepared. The obtained resin composition was applied to a glass substrate using a spin coater, pre-baked at 90 ° C. for 3 minutes, and then irradiated with ultraviolet rays of 100 mJ / cm 2 with an ultrahigh pressure mercury lamp with an I-line illuminance of 30 mW / cm 2. Irradiated to carry out photocuring reaction of the photosensitive part. Subsequently, post-baking was performed at 150 ° C. for 30 minutes and subsequently at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a cured film having a thickness of 80 μm. The cured film was measured for viscoelasticity and Tg was measured from tan δ. The results are shown in Table 1.

[実施例10]
樹脂−7を樹脂−8に置き換え、それ以外は実施例9と同様の配合比で感光性樹脂組成物を調製し、実施例9と同様の手法で評価を行った。結果を表1に示す。
[Example 10]
Resin-7 was replaced with resin-8, and other than that, a photosensitive resin composition was prepared at the same blending ratio as in Example 9, and evaluated in the same manner as in Example 9. The results are shown in Table 1.

[比較例1]
樹脂−7をV−259ME(新日鐵化学社製、フルオレン型エポキシ型アクリレート/酸無水物重合付加体)に置き換え、それ以外は実施例9と同様の配合比で感光性樹脂組成物を調製し、実施例9と同様の手法で評価を行った。結果を表1に示す。
[Comparative Example 1]
Resin-7 was replaced with V-259ME (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd., fluorene type epoxy acrylate / acid anhydride polymerization adduct), and other than that, a photosensitive resin composition was prepared at the same mixing ratio as Example 9. Then, evaluation was performed in the same manner as in Example 9. The results are shown in Table 1.

Figure 0005406605
Figure 0005406605

Claims (3)

下記一般式(III)で表され、分子量600〜12000であることを特徴とする感光性樹脂。
Figure 0005406605
(n1〜n2はそれぞれ独立して0〜20の整数を示し、n3は0〜10の整数を示し、n1〜n3の合計は1以上の整数を示す。 1 、R 2 、R 3 、R 4 、R 5 、R 6 、及びR 7 は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基から選ばれる同一あるいは相異なる一価の置換基であり、R 1 とR 2 及び/又はR 5 とR 6 とR 7 は環を形成していてもよい。Xは水素原子あるいは(メタ)アクリル基を示し、R8〜R12のうち主鎖(-CHR4-)に対してオルソ位又はパラ位の3つの置換基のうち少なくとも一つはOX基を示し、かつ、全てのXの総数に対して(メタ)アクリル基の割合は10〜100%である。その他のR 8 〜R 12 は、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基又はアリール基から選ばれる同一あるいは相異なる一価の置換基を示し、R 8 〜R 12 の隣り合う二つの置換基は環を形成していてもよい。
A photosensitive resin represented by the following general formula (III) and having a molecular weight of 600 to 12,000.
Figure 0005406605
(N 1 ~n 2 each independently an integer of 0 to 20, n 3 represents an integer of 0, the sum of n 1 ~n 3 represents an integer of 1 or more. R 1, R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 and R 7 are the same or different monovalent substituents selected from a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group or an aryl group, and R 1 and R 2 and / or Or R 5 , R 6, and R 7 may form a ring, X represents a hydrogen atom or a (meth) acryl group, and R 8 to R 12 represent the main chain (—CHR 4 —). At least one of the three substituents in the ortho-position or para-position represents an OX group, and the ratio of the (meth) acryl group is 10 to 100% with respect to the total number of all X. Other R 8 to R 12 is a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, the same or different monovalent substituents selected from alkyl or aryl group Shown, two substituents adjacent to R 8 to R 12 may form a ring.)
下記(A)〜(C)を含む感光性樹脂組成物。
(A)請求項1に記載の樹脂、
(B)少なくとも1個以上のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、及び
(C)光重合開始剤
The photosensitive resin composition containing following (A)-(C).
(A) the resin according to claim 1 ,
(B) a photopolymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond, and (C) a photopolymerization initiator.
請求項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させて形成した硬化物。 A cured product formed by curing the photosensitive resin composition according to claim 2 .
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