JP5399075B2 - 直列接続されたキャパシタを有するmemsデバイス装置 - Google Patents
直列接続されたキャパシタを有するmemsデバイス装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5399075B2 JP5399075B2 JP2008546788A JP2008546788A JP5399075B2 JP 5399075 B2 JP5399075 B2 JP 5399075B2 JP 2008546788 A JP2008546788 A JP 2008546788A JP 2008546788 A JP2008546788 A JP 2008546788A JP 5399075 B2 JP5399075 B2 JP 5399075B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- capacitor
- electrode
- mems
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/38—Multiple capacitors, e.g. ganged
Description
−(特定の形式の膜を使った)マイクロフォンまたはスピーカとしての利用
−センサたとえば空気圧センサとしての利用
−共振器としての利用
−ディスプレイにおけるピクセルスイッチとしての利用またはオプティカルスイッチ用ミラーの駆動
−RFアプリケーションにおける利用たとえばスイッチまたは可変容量としての利用
商業ベースで重要な適用事例の1つは、電話機またはコンピュータのような移動無線デバイスのフロントエンドに集積されたバンドスイッチングとの可変インピーダンスマッチングのために利用することである。
Copen = A ε0 /(g+ gd ε0/εd)
であり、クローズ状態ではこれは
Cclosed = A εd/gd
で表される。
1.小さい容量のためには小さい面積が必要とされるため、kの値が著しく小さいきわめて従順ないしはコンプライアントなばねが必要とされる。これらのばねは著しく長くなければならないので、それによって大きい面積が占められてしまい、これはコストに関して効率的ではない。
2.長いばねによりキャパシタに対し大きな直列抵抗と直列インダクタンスが加わることになり、殊にばねがRF信号を搬送する場合、このことは望ましくない。
3.ばね定数の小さいばねを用いたデバイスは、クローズ状態におけるデバイスの静止摩擦に起因していっそう故障しやすい。静止摩擦力がばね力よりも大きいと故障が発生する。
Fstiction > Fspring = kg
静止摩擦力に対する物理的な出所は誘電体においてトラップされた電荷であり、電極間に湿気が存在するときに表面力または毛管力の間に生じるファンデルワールス力van der Waal forceである。
4.小さいk値によりスイッチング時間が長くなり、つまりそれによってスイッチングが緩慢になる。慣用のデカップリングキャパシタCの欠点は、MEMSキャパシタの容量チューニングレンジが低減することである。デカップリングキャパシタCがない場合、チューニングレンジは以下のとおりである:
αMEMS = Cclosed/Copen = (εd g/ (ε0gd) + 1)
デカップリングキャパシタCがある場合、チューニングレンジは以下のとおりである:
αMEMS+C = αMEMS *(Cc/Copen + 1)/(C/Copen + αMEMS)
大きい容量値をもつMEMSデバイスにおいて広いチューニングレンジを達成するのは困難である場合が多く、したがって効果的なチューニングレンジをさらにデカップリングキャパシタにより低減するのはいっそう望ましくない。
図3は、チューナブルキャパシタの実施形態を示す概略図である。
図4は、別の実施形態を示す概略図である。
図5は、別の実施形態を示す断面図である。
図6は、図5に対応する実施形態を示す平面図である。
1.頂部電極はキャパシタC1とC2との間で共有されているので、C1とC2との間の(電気的な)距離が最小化され、それゆえ直列抵抗ならびに装置のインダクタンスが最小化される。この利点は、共有される可動電極の代わりに下方の固定電極が共有されるようにした代案にもあてはまる。
2.キャパシタはそれらの可動電極を共有するので(図1とは異なり)ばねを介してRF電力を流す必要がなく、これによって直列抵抗ならびにインダクタンスがさらに最小化される。この利点は、上述の項目1における代案についてはあてはまらない。
3.双方のキャパシタにおける静電力は同じ頂部電極を動かすために用いられるので、等しいプルイン電圧についてばね定数kを図2のC1およびC2の場合の2倍の大きさにすることができ、(C>>C3openとすれば)図2のC3の場合よりも4倍の大きさにさえすることができる。
Fsfd = b0v/ z3
ここでvは速度であり、zは各電極間の距離である。定数b0はホールを設けることにより低減できる。
1.シリコン基板におけるMEMS構造このケースでは電極は基板表面に対し垂直方向に配向されている。この構造は典型的にはセンサおよび共振器の用途に利用される(他の用途も除外されない)。
−二重にクランプされたビーム(2つまたはそれよりも多くの辺で基板表面に接続されているビーム、このため基板に対する振れはビーム中央で発生する)
−単一個所でクランプされたビーム(このケースでは基板に対する振れはビーム端部で発生する)
1.電力ないしは電圧の取り扱いが向上する。
2.チューニングレンジが大きくなる。
3.特に小さいキャパシタについて、静止摩擦の影響を受けにくくなる。
4.特に小さいキャパシタについて、直列のインダクタンスおよび抵抗が小さくなる。
5.小さい容量値を形成するために総サイズが小さくなる。
−(特定の形式の膜を使った)マイクロフォンまたはスピーカにおける利用
−センサたとえば空気圧センサにおける利用
−共振器における利用
−ディスプレイのピクセルスイッチにおける利用またはオプティカルスイッチ用ミラーの駆動
−RFアプリケーションにおける利用たとえばスイッチまたは可変容量としての利用
Claims (7)
- RF集積回路において、
複数の固定電極(e1,e3)と、
前記複数の固定電極(e1,e3)に対し共通の電極として動作する可動電極(e2)と、
該可動電極(e2)を動かすマイクロエレクトロメカニカル構造体(k,k/2)と、
直列接続された2つ以上の可変キャパシタ(C1,C2;C4,C5,C6,C7)と、
を有しており、
ただし、前記直列接続された可変キャパシタのうち少なくとも最初のキャパシタまたは最後のキャパシタは前記複数の固定電極(e1,e3)を有しており、
前記複数の固定電極(e1,e3)のみにRF信号が印加され、
複数の前記可変キャパシタのうち少なくとも1つの可変キャパシタの前記固定電極と前記可動電極の間にDC制御電圧が印加される、
ことを特徴とする、RF集積回路。 - 請求項1記載のRF集積回路において、
前記直列接続された可変キャパシタ(C1,C2;C4,C5,C6,C7)を介してRF信号が供給されることを特徴とする、RF集積回路。 - 請求項1または2記載のRF集積回路において、
前記可変キャパシタは同じ実効容量を有することを特徴とする、RF集積回路。 - 請求項1から3のいずれか1項記載のRF集積回路において、
該可変キャパシタの各々に等しいDC制御電圧が加えられることを特徴とする、RF集積回路。 - 請求項1から4のいずれか1項記載のRF集積回路において、
チューニング速度を高めるため、前記可動電極(e2)は複数のホールから成るアレイを有することを特徴とする、RF集積回路。 - 請求項1から5のいずれか1項記載の集積回路の製造方法において、
各々可動電極(e2)を有する2つ以上の可変キャパシタ(C1,C2;C4,C5,C6,C7)を形成するステップと、
制御信号に従い容量を変化させるため前記可動電極を動かすマイクロエレクトロメカニカル構造体(k,k/2)を形成するステップと、
前記可変キャパシタを直列に接続するステップ
を有することを特徴とする製造方法。 - 請求項6記載の集積回路を使用したチューニング方法において、
容量を変化させるために制御信号を設定するステップを有することを特徴とするチューニング方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP05112831.2 | 2005-12-22 | ||
EP05112831 | 2005-12-22 | ||
PCT/IB2006/054929 WO2007072407A2 (en) | 2005-12-22 | 2006-12-18 | Arrangement of mems devices having series coupled capacitors |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009521128A JP2009521128A (ja) | 2009-05-28 |
JP5399075B2 true JP5399075B2 (ja) | 2014-01-29 |
Family
ID=38189058
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008546788A Active JP5399075B2 (ja) | 2005-12-22 | 2006-12-18 | 直列接続されたキャパシタを有するmemsデバイス装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8194386B2 (ja) |
JP (1) | JP5399075B2 (ja) |
DE (1) | DE112006003383T5 (ja) |
WO (1) | WO2007072407A2 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE602006020778D1 (de) * | 2006-01-03 | 2011-04-28 | Nxp Bv | System und verfahren zur seriellen datenkommunikation |
EP2321632B1 (en) * | 2008-09-11 | 2017-03-01 | ams International AG | Sensor with combined in-plane and parallel-plane configuration |
EP2329280B1 (en) * | 2008-09-15 | 2012-07-04 | Nxp B.V. | A capacitive sensor device and a method of sensing accelerations |
US8519966B2 (en) * | 2009-04-28 | 2013-08-27 | Broadcom Corporation | Capacitor for use in a communication device and methods for use therewith |
EP2249365A1 (en) * | 2009-05-08 | 2010-11-10 | Nxp B.V. | RF MEMS switch with a grating as middle electrode |
EP2278714B1 (en) | 2009-07-02 | 2015-09-16 | Nxp B.V. | Power stage |
JP5204066B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2013-06-05 | 株式会社東芝 | Memsデバイス |
CN102725808B (zh) * | 2010-01-28 | 2016-01-20 | 株式会社村田制作所 | 可变电容装置 |
KR101104603B1 (ko) * | 2010-05-28 | 2012-01-12 | 한국과학기술원 | 멤즈 가변 캐패시터 및 그의 구동 방법 |
US8867592B2 (en) | 2012-05-09 | 2014-10-21 | Nxp B.V. | Capacitive isolated voltage domains |
US9007141B2 (en) | 2012-05-23 | 2015-04-14 | Nxp B.V. | Interface for communication between voltage domains |
US20140043216A1 (en) * | 2012-08-10 | 2014-02-13 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Boron nitride antistiction films and methods for forming same |
US8680690B1 (en) | 2012-12-07 | 2014-03-25 | Nxp B.V. | Bond wire arrangement for efficient signal transmission |
US9467060B2 (en) | 2013-04-03 | 2016-10-11 | Nxp B.V. | Capacitive level shifter devices, methods and systems |
US8896377B1 (en) | 2013-05-29 | 2014-11-25 | Nxp B.V. | Apparatus for common mode suppression |
FR3045982B1 (fr) * | 2015-12-18 | 2019-06-14 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Cellule logique a faible consommation |
EP3373387B1 (en) * | 2017-03-10 | 2023-09-06 | Synergy Microwave Corporation | Microelectromechanical switch with metamaterial contacts |
US10497774B2 (en) | 2017-10-23 | 2019-12-03 | Blackberry Limited | Small-gap coplanar tunable capacitors and methods for manufacturing thereof |
US10332687B2 (en) | 2017-10-23 | 2019-06-25 | Blackberry Limited | Tunable coplanar capacitor with vertical tuning and lateral RF path and methods for manufacturing thereof |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2247125B (en) * | 1990-08-16 | 1995-01-11 | Technophone Ltd | Tunable bandpass filter |
US5051643A (en) * | 1990-08-30 | 1991-09-24 | Motorola, Inc. | Electrostatically switched integrated relay and capacitor |
US5959516A (en) * | 1998-01-08 | 1999-09-28 | Rockwell Science Center, Llc | Tunable-trimmable micro electro mechanical system (MEMS) capacitor |
US5880921A (en) * | 1997-04-28 | 1999-03-09 | Rockwell Science Center, Llc | Monolithically integrated switched capacitor bank using micro electro mechanical system (MEMS) technology |
US6242989B1 (en) * | 1998-09-12 | 2001-06-05 | Agere Systems Guardian Corp. | Article comprising a multi-port variable capacitor |
US6094102A (en) * | 1999-04-30 | 2000-07-25 | Rockwell Science Center, Llc | Frequency synthesizer using micro electro mechanical systems (MEMS) technology and method |
US6362018B1 (en) * | 2000-02-02 | 2002-03-26 | Motorola, Inc. | Method for fabricating MEMS variable capacitor with stabilized electrostatic drive |
US6507475B1 (en) * | 2000-06-27 | 2003-01-14 | Motorola, Inc. | Capacitive device and method of manufacture |
US6426687B1 (en) * | 2001-05-22 | 2002-07-30 | The Aerospace Corporation | RF MEMS switch |
JP3890952B2 (ja) | 2001-10-18 | 2007-03-07 | ソニー株式会社 | 容量可変型キャパシタ装置 |
EP1454333B1 (en) * | 2001-11-09 | 2007-09-12 | WiSpry, Inc. | Mems device having a trilayered beam and related methods |
US6714105B2 (en) * | 2002-04-26 | 2004-03-30 | Motorola, Inc. | Micro electro-mechanical system method |
WO2003106326A2 (en) * | 2002-06-13 | 2003-12-24 | Coventor, Incorporated | Micro-electro-mechanical system (mems) variable capacitor apparatuses and related methods |
GB0214206D0 (en) * | 2002-06-19 | 2002-07-31 | Filtronic Compound Semiconduct | A micro-electromechanical variable capacitor |
ATE434839T1 (de) * | 2002-12-13 | 2009-07-15 | Wispry Inc | Varactorvorrichtungen und verfahren |
JP4814089B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2011-11-09 | 三菱電機株式会社 | 移相回路及び多ビット移相器 |
CN1947209B (zh) * | 2004-05-31 | 2011-04-27 | 富士通株式会社 | 可变电容器及其制造方法 |
US7274278B2 (en) * | 2004-09-09 | 2007-09-25 | University Of South Florida | Tunable micro electromechanical inductor |
JP4037394B2 (ja) * | 2004-09-16 | 2008-01-23 | 株式会社東芝 | マイクロメカニカルデバイス |
US7385800B2 (en) * | 2004-12-09 | 2008-06-10 | Wispry, Inc. | Micro-electro-mechanical system (MEMS) capacitors, inductors, and related systems and methods |
-
2006
- 2006-12-18 WO PCT/IB2006/054929 patent/WO2007072407A2/en active Application Filing
- 2006-12-18 JP JP2008546788A patent/JP5399075B2/ja active Active
- 2006-12-18 DE DE112006003383T patent/DE112006003383T5/de not_active Withdrawn
- 2006-12-18 US US12/158,668 patent/US8194386B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009521128A (ja) | 2009-05-28 |
WO2007072407A3 (en) | 2007-11-15 |
US20090237858A1 (en) | 2009-09-24 |
WO2007072407A2 (en) | 2007-06-28 |
US8194386B2 (en) | 2012-06-05 |
DE112006003383T5 (de) | 2008-10-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5399075B2 (ja) | 直列接続されたキャパシタを有するmemsデバイス装置 | |
JP5259188B2 (ja) | Memsデバイス用のバネ構造体 | |
US6593672B2 (en) | MEMS-switched stepped variable capacitor and method of making same | |
Blondy et al. | Handling RF power: The latest advances in RF-MEMS tunable filters | |
Kurmendra et al. | A review on RF micro-electro-mechanical-systems (MEMS) switch for radio frequency applications | |
US20090211885A1 (en) | Electronic device | |
US8018307B2 (en) | Micro-electromechanical device and module and method of manufacturing same | |
KR101268208B1 (ko) | 높은 캐패시턴스 rf mems 스위치들을 제공하기 위한 시스템 및 방법 | |
KR20040038555A (ko) | 미세전자기계적 시스템 기술을 이용한 고주파 소자 | |
US7750419B2 (en) | Tuneable electronic devices and electronic arrangements comprising such tuneable devices | |
Pu et al. | Stable zipping RF MEMS varactors | |
JP4072060B2 (ja) | 可変容量コンデンサを有する装置、とりわけ高周波マイクロスイッチ | |
Karthick et al. | Review on radio frequency micro electro mechanical systems (RF-MEMS) switch | |
JP5130291B2 (ja) | 電気機械素子およびそれを用いた電気機器 | |
US20040031912A1 (en) | Method of eliminating brownian noise in micromachined varactors | |
JP2011070950A (ja) | Mems型rfスイッチ | |
Raman et al. | Design and analysis of RF MEMS switch with π-shaped cantilever beam for wireless applications | |
Bhoomika et al. | Micromachined Varactors with High Tuning Ratio using Electrostatic and Piezoelectric Actuation Mechanisms | |
KR100636351B1 (ko) | 정전기력 구동 rf mems 스위치 및 그 제조 방법 | |
Sulaiman et al. | Design and Analysis of a Radio Frequency Based Non-Contact Type Micro Electromechanical Switch | |
Mahmoudi et al. | A combined thermo-electrostatic MEMS-based switch with low actuation voltage | |
Guines et al. | A quasi bistable RF-MEMS switched capacitor | |
Karthick et al. | Review on Radio Frequency Micro TS Electro Mechanical Systems (RF-MEMS)|| |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091021 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20100709 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101228 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111027 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120126 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120202 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120227 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120305 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120326 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120427 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120914 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130109 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130118 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20130215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131023 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5399075 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |