JP5386108B2 - 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置の描画データ転送方法 - Google Patents

Description

本発明は、荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置の描画データ転送方法に関する。

近年、半導体デバイスの回路パターンの微細化が飛躍的に進んでおり、電子ビーム描画装置が広く用いられている。電子ビーム描画装置を用いて描画するためには、設計データから電子ビーム描画装置用の描画データを作成する必要がある。
パイプライン方式を用いて設計データのブロックから描画データのブロックを作成する装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この特許文献１の装置によれば、プロセッサの直列接続段数が演算ユニット間で異なっているため、演算負荷の異なる設計データのブロックを高効率で演算することができる。

しかしながら、パイプライン方式では、偏向制御回路への描画データの転送が効率良く行われないため、更なるスループットの向上に対応することができない可能性がある。また、スループットの向上と共に、偏向制御回路における描画データのブロックの欠損を確実に防止する必要がある。
特開平５−９０１４１号公報 特開２００８−３４４３９号公報

本発明の課題は、上記課題に鑑み、偏向制御手段への描画データの転送を高効率で行うと共に、偏向制御手段における描画データのブロックの欠損を確実に防止することが可能な荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置の描画データ転送方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明の第１の態様は、ブロック単位に分散された設計データである設計ブロックデータを演算してブロック単位の描画データである描画ブロックデータを生成する複数の演算手段と、前記複数の演算手段により生成された描画ブロックデータを描画順に並べ替えて、偏向器を制御する偏向制御手段に転送する複数の並べ替え手段と、前記複数の演算手段により生成された描画ブロックデータの出力先として、前記複数の並べ替え手段から１つの並べ替え手段を選択する選択手段と、前記選択手段により選択された並べ替え手段から前記偏向制御手段に最初に転送する描画ブロックデータを設定する設定手段とを備えた荷電粒子ビーム描画装置であって、前記選択手段により選択された並べ替え手段は、前記設定手段により設定された描画ブロックデータが前記演算手段から入力されたときに、入力された描画ブロックデータ、もしくは、入力された描画ブロックを含み描画順が連続する複数の描画ブロックデータを前記偏向制御手段に転送することを特徴とする。
この第１の態様によれば、描画ブロックデータの並べ替えと偏向制御手段への転送が複数の並べ替え手段により行われるため、偏向制御手段への転送を高効率で行うことができ、スループットを向上させることができる。ところが、複数の並べ替え手段を設けると、偏向制御手段において描画ブロックデータの欠損が生じやすくなる。しかし、この第１の態様によれば、選択手段により選択された並べ替え手段から偏向制御手段に最初に転送する描画ブロックデータが設定手段により設定される。そして、設定手段により設定された描画ブロックデータが演算手段から並べ替え手段に入力されたときに、入力された描画ブロックデータ、もしくは、入力された描画ブロックデータを含み描画順が連続する複数の描画ブロックデータが、並べ替え手段から偏向制御手段に転送される。これにより、偏向制御手段における描画ブロックデータの欠損の発生を確実に防止することができる。

この第１の態様において、前記選択手段は、前記偏向制御手段への描画ブロックデータの転送を開始する際に、並べ替え手段を切り替えることが好ましい。これにより、一の並べ替え手段から偏向制御手段への描画ブロックデータの転送中に、他の並べ替え手段に演算手段から描画ブロックデータを出力することができる。そうすると、他の並べ替え手段において描画ブロックデータの並べ替えを実行することが可能である。よって、スループットを更に向上させることができる。

本発明の第２の態様は、ブロック単位に分散された設計データである複数の設計ブロックデータを演算してブロック単位の描画データである複数の描画ブロックデータを生成し、生成された複数の描画ブロックデータを複数の並べ替え手段により描画順に並べ替えて偏向制御手段に転送する荷電粒子ビーム描画装置における描画データの転送方法であって、前記複数の設計ブロックデータを複数の演算手段に分配するステップと、前記複数の演算手段により生成された描画ブロックデータの出力先として、前記複数の並べ替え手段から１つの並べ替え手段を選択するステップと、選択された並べ替え手段から前記偏向制御手段に最初に転送する描画ブロックデータを設定するステップと、前記複数の演算手段により生成された描画ブロックデータを選択された並べ替え手段に出力するステップと、設定された描画ブロックデータが選択された並べ替え手段に入力されたときに、入力された描画ブロックデータ、もしくは、入力された描画ブロックデータを含み描画順が連続する複数の描画ブロックデータを前記偏向制御手段に転送するステップとを含むことを特徴とする。
この第２の態様によれば、描画ブロックデータの並べ替えと偏向制御手段への転送が複数の並べ替え手段により行われるため、偏向制御手段への転送を高効率で行うことができ、スループットを向上させることができる。ところが、複数の並べ替え手段を設けると、偏向制御手段において描画ブロックデータの欠損が生じやすくなる。しかし、この第２の態様によれば、選択された並べ替え手段から偏向制御手段に最初に転送する描画ブロックデータが設定される。そして、設定された描画ブロックデータが並べ替え手段に入力されたときに、入力された描画ブロックデータ、もしくは、入力された描画ブロックデータを含み描画順が連続する複数の描画ブロックデータが、並べ替え手段から偏向制御手段に転送される。これにより、偏向制御手段における描画ブロックデータの欠損の発生を確実に防止することができる。

この第２の態様において、前記偏向制御手段への前記描画ブロックデータの転送を開始する際に、選択された並べ替え手段を別の並べ替え手段に切り替えるステップを更に含むことが好ましい。これにより、一の並べ替え手段から偏向制御手段への描画ブロックデータの転送中に、他の並べ替え手段に演算手段から描画ブロックデータを出力することができ、他の並べ替え手段において描画ブロックデータの並べ替えを実行することが可能である。よって、スループットを更に向上させることができる。

この第２の態様において、前記複数の演算手段により生成された前記描画ブロックデータをプールするステップを更に含み、設定された前記描画ブロックデータを選択された前記並べ替え手段に入力できるように、プールされた前記描画ブロックデータを選択された前記並べ替え手段に出力することが好ましい。これにより、多くの描画ブロックデータが生成されプールされた場合であっても、選択された並べ替え手段において描画ブロックデータの欠損の発生を防止することができる。よって、偏向制御手段における描画ブロックデータの欠損の発生を確実に防止することができる。

図１は、本発明の実施の形態による電子ビーム描画装置の構成を示す概略図である。
図１に示す電子ビーム描画装置１００は、パターン描画を実行する描画部１を備えている。描画部１の電子銃２から発せられた電子ビーム（例えば、５０ｋＶに加速された電子ビーム）３は、Ｓ１アパーチャ４によって断面形状が矩形に成形される。Ｓ１アパーチャ４により成形された電子ビーム３は、投影レンズ６によりＳ２アパーチャ７上に投影される。このとき、Ｓ２アパーチャ７上のＳ１アパーチャ像の位置は、成形偏向器５により調整される。偏向制御回路１５により成形偏向器５を駆動制御することによって、Ｓ１アパーチャ像とＳ２アパーチャ７の開口部との重なり具合が制御される。その結果、電子ビーム３の断面形状が矩形もしくは三角形に成形される。

Ｓ２アパーチャ７により成形された電子ビーム３は、対物レンズ９により縮小されて試料１０に照射される。このとき、偏向制御回路１５により対物偏向器８を駆動制御することによって、試料１０上の電子ビーム３の照射位置が決められる。試料１０は、例えば、レチクルであり、連続移動するステージ１１上に保持されている。ステージ１１は、図示省略するモータをステージ駆動回路１２によって駆動することで、Ｘ方向、Ｙ方向及びθ方向（水平回転方向）に駆動される。ステージ１１の位置は、レーザ干渉計１３の出力に基づいてステージ位置検出回路１４によって検出される。
なお、図示しないが、対物偏向器８は、試料１０上のサブフィールド内での電子ビームの偏向を行う副偏向器と、フレーム内でサブフィールドの位置を制御する主偏向器とによって構成することができる。

偏向制御回路１５は、データ処理部１６から転送された描画データ（描画ブロックデータ）に基づいて、成形偏向器５及び対物偏向器８を駆動制御するものである。データ処理部１６は、設計データ（ＣＡＤデータ）を分散・並列化処理することによって生成した描画ブロックデータを偏向制御回路１５に転送するものである。データ処理部１６は、設計データの分散・並列化処理及び描画ブロックデータの転送に関する制御を実行する制御手段としてのＤＰＭ（Data Pass Manager）２０のほか、分散手段２１と、複数の演算手段２２と、選択手段２３と、第１並べ替え手段２４と、第２並べ替え手段２６とを有している。複数の演算手段２２は、分散手段２１と選択手段２３との間に１つずつ並列に配置されている。

分散手段２１は、１つの設計データを複数のブロック単位の設計データ（以下「設計ブロックデータ」という。）に分散するユニットである。各演算手段２２は、分散された設計ブロックデータを図形演算（展開処理を含む）し、ブロック単位の描画データ（以下「描画ブロックデータ」という。）を生成する演算ユニットである。また、各演算手段２２は、生成した描画ブロックデータを一時的にプール（保持）することが可能である。選択手段２３は、演算手段２２によって生成された描画ブロックデータの出力先として、第１並べ替え手段２４と第２並べ替え手段２６の何れかを選択するものである。第１並べ替え手段２４及び第２並べ替え手段２６は、それぞれ入力された描画ブロックデータを描画順に並べ替えて偏向制御回路１５に転送するユニットである。

第１及び第２並べ替え手段２４，２６は、描画ブロックデータの並べ替えに用いられるメモリ２５，２７をそれぞれ有している。メモリ２５，２７の容量は、例えば、４ＧＢ〜１２ＧＢとすることができる。なお、１つの描画ブロックデータのデータ量は、例えば、２００ＭＢ〜５００ＭＢとすることができる。

図１に示す電子ビーム描画装置１００は、電子ビーム描画装置１００の動作全体を制御する制御部３０を備えている。制御部３０には、上述したステージ駆動回路１２、ステージ位置検出回路１４、偏向制御回路１５及びＤＰＭ２０のほか、記憶装置１７がバス１８を介して接続されている。記憶装置１７には、複数の設計データが記憶されている。

次に、上記データ処理部１６の動作を簡単に説明する。
ＤＰＭ２０は、オペレータによりパターンレイアウトが登録されると、このパターンレイアウトに対応する設計データを記憶装置１７から読み出し、読み出した設計データを分散手段２１に出力する。分散手段２１は、入力された設計データを複数の設計ブロックデータに分散し、分散された各設計ブロックデータを空いている演算手段２２に出力する。各演算手段２２は、設計ブロックデータの演算処理（図形演算処理）を行うことで、描画ブロックデータＤＰＢ（Data Pass Block）を生成する。この演算処理には、圧縮された設計ブロックデータを展開する展開処理が含まれる。

ここで、分散手段２１によって同じデータ量の設計ブロックデータに分散されたとしても、演算手段２２によって生成されたＤＰＢのデータ量は異なってしまう。ＤＰＢのデータ量が相違する主な理由は、パターン密度の相違である。このため、複数の演算手段２２に同時に設計ブロックデータを分配したとしても、複数の演算手段２２の演算終了タイミングは異なってしまう。その結果、選択手段２３により選択された並べ替え手段２４，２６に入力されるＤＰＢの順番は描画順と異なってしまう。そこで、偏向制御回路１５にＤＰＢを転送する前に、並べ替え手段２４，２６においてＤＰＢを描画順に並べ替える必要がある。

各演算手段２２は、演算処理が終了すると、生成したＤＰＢを選択された並べ替え手段２４，２６に直ちに出力するのではなく、一時的にプール（Pool）する。詳細には、各演算手段２２は、ＤＰＢを生成すると同時に、ＤＰＭ２０にプール信号を出力する。ＤＰＭ２０は、プール信号を出力した演算手段２２から、選択手段２３により選択された並べ替え手段２４，２６にＤＰＢを出力させる。このとき、選択された並べ替え手段２４，２６のメモリ２５，２７の残量（空き容量）が考慮される。つまり、後述する待ちＤＰＢが必ずメモリ２５，２７に記憶できるように、プールされたＤＰＢが演算手段２２から出力される。

並べ替え手段２４，２６は、演算手段２２から入力されたＤＰＢを内部のメモリ２５，２７に一時的に格納し、ＤＰＢを描画順（番号順）に並べ替えて偏向制御回路１５に転送する。このとき、後述する待ちＤＰＢが入力されると、入力された待ちＤＰＢもしくは待ちＤＰＢを含む連続番号の複数のＤＰＢ（ＤＰＢ群）が転送される。そうすると、図２に示すように、描画ブロックデータの欠損の無い描画データが得られる。図２に示すように、描画ブロックデータの長さは一定ではなく、１つの描画ブロックデータが２つのストライプに分割されることはない。

次に、図３及び図４を参照して、上記データ処理部１６における描画ブロックデータ（ＤＰＢ）の転送について説明する。
図３及び図４は、本実施の形態において、データ処理部１６で実行される描画ブロックデータ（ＤＰＢ）の転送方法を説明するための図である。

図３（Ａ）において破線で囲んで示すように、先ず、選択手段２３によって第１並べ替え手段２４が選択される。そして、図３（Ａ）において符号「Ｗ」で示すように、上記選択された第１並べ替え手段２４において、「待ちＤＰＢ」がＤＰＢ１に設定される。この「待ちＤＰＢ」とは、偏向制御回路（ＤＥＦ）１５に未だ転送されていないＤＰＢのうち、番号が最小のＤＰＢ（すなわち、描画順が最も早いＤＰＢ）である。つまり、「待ちＤＰＢ」は、最初に偏向制御回路１５に転送する必要があるＤＰＢである。この待ちＤＰＢを偏向制御回路１５に転送することで、欠陥ＤＰＢの発生を防止することができる。
図３（Ａ）に示すように、ＤＰＢ２，４，５がプールされているため、これらのＤＰＢ２，４，５が第１並べ替え手段２４に出力される。

第１並べ替え手段２４に入力されたＤＰＢ２，４，５は、第１並べ替え手段２４のメモリ２５に記憶される。このとき、図３（Ｂ）に示すように、第１並べ替え手段２４（のメモリ２５）には、待ちＤＰＢであるＤＰＢ１が記憶されていない。このため、ＤＰＢ２，４，５は、第１並べ替え手段２４から偏向制御回路１５に転送されない。すなわち、待ちＤＰＢであるＤＰＢ１が入力されるまでは、第１並べ替え手段２４から偏向制御回路１５へのＤＰＢの転送が禁止される。
そして、図３（Ｂ）に示すように、ＤＰＢ１がプールされると、ＤＰＢ１が第１並べ替え手段２４に出力される。

第１並べ替え手段２４に入力されたＤＰＢ１は、メモリ２５に記憶される。記憶されたＤＰＢ１は待ちＤＰＢであるので、図３（Ｃ）に示すように、ＤＰＢ１が第１並べ替え手段２４から偏向制御回路１５に転送される。このとき、ＤＰＢ１だけでなく、ＤＰＢ１と連続するＤＰＢ２も一度に偏向制御回路１５に転送される。偏向制御回路１５は、転送されたＤＰＢ１，２に基づいて、成形偏向器５及び対物偏向器８を制御する。これにより、ＤＰＢ１，２を試料１０に描画することができる（以降のＤＰＢについても同様）。
一方、ＤＰＢ１，２と不連続のＤＰＢ４，５は、偏向制御回路１５に転送されない。ＤＰＢ４，５が転送されると、偏向制御回路１５においてＤＰＢ３の欠損が生じてしまい、パターン抜けが発生してしまうためである。
なお、インターネット分野ではデータの欠損は許容されるが、電子ビーム描画装置１００においてはＤＰＢの欠損は許容されず確実に防止する必要がある。

第１並べ替え手段２４から偏向制御回路１５へのＤＰＢ１，２の転送が開始されると、選択手段２３によって第２並べ替え手段２６が選択されると共に、待ちＤＰＢ「Ｗ」がＤＰＢ３に設定される。
ＤＰＢ１，２の転送中に、ＤＰＢ３がプールされると、このＤＰＢ３が第２並べ替え手段２６に出力される。このように偏向制御回路１５への転送開始タイミングで第１並べ替え手段２４と第２並べ替え手段２６とを交互に切り替えることにより、並べ替え手段２４，２６を効率的に利用することができ、スループットを向上させることができる。
第２並べ替え手段２６に入力されたＤＰＢ３は、メモリ２７に記憶される。この記憶されたＤＰＢ３は待ちＤＰＢであるので、図３（Ｄ）に示すように、ＤＰＢ３が第２並べ替え手段２６から偏向制御回路１５に転送される。このとき、第２並べ替え手段２６のメモリ２７にはＤＰＢ３と連続するＤＰＢが記憶されていないため、ＤＰＢ３のみが偏向制御回路１５に転送される。

第２並べ替え手段２６から偏向制御回路１５へのＤＰＢ３の転送が開始されると、図３（Ｅ）に示すように、選択手段２３によって第１並べ替え手段２４が選択され、待ちＤＰＢ「Ｗ」がＤＰＢ４に設定される。ＤＰＢ４は第１並べ替え手段２４に既に記憶されているため、ＤＰＢ４及びこのＤＰＢ４と連続するＤＰＢ５は偏向制御回路１５に転送可能である。しかし、第１並べ替え手段２４と第２並べ替え手段２６の両方から偏向制御回路１５への転送はできない。このため、ＤＰＢ３の転送が終了するのを待って、ＤＰＢ４，５が転送される。図３（Ｅ）に示すように、ＤＰＢ３の転送中にＤＰＢ６，７がプールされると、ＤＰＢ６，７が第１並べ替え手段２４に出力される。

ＤＰＢ３の転送が終了すると、図４（Ａ）に示すように、第１並べ替え手段２４から偏向制御回路１５へのＤＰＢ４、５，６，７の転送が開始されると共に、選択手段２３によって第２並べ替え手段２６が選択され、待ちＤＰＢ「Ｗ」がＤＰＢ８に設定される。

その後、図４（Ｂ）に示すようにＤＰＢ９，１０，１１，１２がプールされると、上記と同様の方法では、ＤＰＢ９，１０，１１，１２が第２並べ替え手段２６に出力可能である。しかし、図４（Ｂ）に示すように、ＤＰＢ９，１０，１１のみが第２並べ替え手段２６に出力される。これは、ＤＰＢ９，１０，１１，１２を第２並べ替え手段２６のメモリ２７に記憶すると、メモリ２７の残量（空き容量）が待ちＤＰＢであるＤＰＢ８の容量よりも小さくなるためである。すなわち、ＤＰＢ９，１０，１１，１２をメモリ２７に記憶した後、ＤＰＢ８を記憶することができなくなり、ＤＰＢ８の欠損が生じてしまうためである。そこで、待ちＤＰＢであるＤＰＢ８を記憶できるだけの残量をメモリ２７に確保するため、ＤＰＢ１２が第２並べ替え手段２６に出力されない。

その後、図４（Ｃ）に示すように、ＤＰＢ８がプールされると、ＤＰＢ８が第２並べ替え手段２６に出力される。上述したように、第２並べ替え手段２６のメモリ２７はＤＰＢ８を記憶可能な残量を有するため、メモリ２７にＤＰＢ８が記憶される。記憶されたＤＰＢ８は待ちＤＰＢであるので、図４（Ｄ）に示すように、ＤＰＢ８とこのＤＰＢ８と連続するＤＰＢ９，１０，１１が第２並べ替え手段２６から偏向制御回路１５に転送される。ＤＰＢ８，９，１０，１１の転送が開始されると、図４（Ｄ）に示すように、選択手段２３によって第１並べ替え手段２４が選択され、待ちＤＰＢ「Ｗ」がＤＰＢ１２に設定される。ＤＰＢ１２は既にプールされているため、ＤＰＢ１２が第１並べ替え手段２４に出力される。

第１並べ替え手段２４に入力されたＤＰＢ１２は、メモリ２５に記憶される。この記憶されたＤＰＢ１２は待ちＤＰＢであるので、図４（Ｅ）に示すように、ＤＰＢ１２が第１並べ替え手段２４から偏向制御回路１５に転送される。ＤＰＢ１２の転送が開始されると、図４（Ｅ）に示すように、選択手段２３によって第２並べ替え手段２６が選択される。
以上の動作を繰り返すことで、偏向制御回路１５における欠損ＤＰＢの発生を防止しつつ、スループットを向上させることができる。

次に、図５を参照して、具体的な制御について説明する。
図５は、本実施の形態において、ＤＰＭ２０が実行するデータ転送制御ルーチンを示すフローチャートである。本ルーチンは、オペレータによりパターンレイアウトが登録された際に起動されるものである。

図５に示すルーチンによれば、先ず、設計データの分散処理を実行し、分散処理により生成した設計ブロックデータを複数の演算手段２２に分配する（ステップ１００）。このステップ１００では、オペレータにより登録されたパターンレイアウトに対応する設計データが記憶装置１７から読み出され、読み出された設計データが分散手段２１に入力される。分散手段２１は、入力された設計データを分散して複数の設計ブロックデータを生成し、生成した複数の設計ブロックデータを空いている演算手段２２に出力する。演算手段２２は、入力された設計ブロックデータを演算処理して描画ブロックデータであるＤＰＢを生成すると、一時的にプールする。

上記ステップ１００の処理の後、演算手段２２により生成されるＤＰＢの出力先として、選択手段２３により第１並べ替え手段２４と第２並べ替え手段２６の何れか一方を選択する（ステップ１０２）。このステップ１０２では、例えば、図３（Ａ）に示すように、第１並べ替え手段２４が選択される。そして、上記ステップ１０２で選択された並べ替え手段において待ちＤＰＢを設定する（ステップ１０４）。
上述したように、この待ちＤＰＢとは、偏向制御回路１５に転送されていないＤＰＢのうち最小番号のＤＰＢ（すなわち、最初に描画するＤＰＢ）である。このステップ１０４では、例えば、図３（Ａ）に示すように、選択された第１並べ替え手段２４において、ＤＰＢ１が待ちＤＰＢ（Ｗ）として設定される。
なお、このステップ１０４の処理は、上記本発明の第１の態様における「設定手段」に対応する。

その後、複数の演算手段２２の何れかにＤＰＢがプールされているか否かを判別する（ステップ１０６）。上述したように、各演算手段２２は、生成したＤＰＢをプールする際に、ＤＰＭ２０に対してプール信号を出力する。このステップ１０６では、演算手段２２から入力されるプール信号に基づいて、ＤＰＢがプールされているか否かが判別される。このステップ１０６の処理は、演算手段２２にＤＰＢがプールされるまで繰り返し実行される。

上記ステップ１０６でＤＰＢがプールされていると判別された場合には、プールされているＤＰＢが、上記ステップ１０４で設定された待ちＤＰＢであるか否かが判別される（ステップ１０８）。このステップ１０８でプールされているＤＰＢが待ちＤＰＢであると判別された場合には、プールされているＤＰＢを、上記ステップ１０２で選択された並べ替え手段に出力する（ステップ１１２）。このステップ１１２では、例えば、図３（Ｂ）に示すように、待ちＤＰＢであるＤＰＢ１が演算手段２２から第１並べ替え手段２４に出力され、メモリ２５に記憶される。その後、ステップ１１４の処理に移行する。

一方、上記ステップ１０８でプールされているＤＰＢが待ちＤＰＢではないと判別された場合には、プールされているＤＰＢを上記ステップ１０２で選択された並べ替え手段に出力すると、並べ替え手段のメモリに待ちＤＰＢ分の容量が残るか否かが判別される（ステップ１１０）。このステップ１１０で待ちＤＰＢ分の容量が残ると判別された場合には、プールされているＤＰＢを、上記ステップ１０２で選択された並べ替え手段に出力する（ステップ１１２）。このステップ１１２では、例えば、図３（Ａ）に示すように、プールされているＤＰＢ２，４，５が演算手段２２から第１並べ替え手段２４に出力され、第１並べ替え手段２４のメモリ２５に記憶される。その後、ステップ１１４の処理に移行する。

上記ステップ１１０で待ちＤＰＢ分の容量が残らないと判別された場合には、プールされているＤＰＢが並べ替え手段に出力されず、上記ステップ１０６の処理に戻る。例えば、図４（Ｂ）に示すように、ＤＰＢ９−１１は第２並べ替え手段２６に出力されるものの、ＤＰＢ１２は第２並べ替え手段２６に出力されずプールされたままである。これは、ＤＰＢ１２が第２並べ替え手段２６に出力されメモリ２７に記憶されると、メモリ２７に待ちＤＰＢであるＤＰＢ８を記憶できなくなるためである。

ステップ１１４では、選択された並べ替え手段に待ちＤＰＢが入力されたか否か、すなわち、選択された並べ替え手段のメモリに待ちＤＰＢが記憶されたか否かが判別される。このステップ１１４で待ちＤＰＢが入力されていないと判別された場合には、上記ステップ１０６の処理に戻る。

一方、上記ステップ１１４で待ちＤＰＢが入力されたと判別された場合には、選択されていない並べ替え手段から偏向制御回路１５へのＤＰＢの転送中であるか否かを判別する（ステップ１１６）。このステップ１１６の処理は、ＤＰＢの転送が終了するまで繰り返し実行される。これにより、両方の並べ替え手段２４，２６から同時に偏向制御回路１５にＤＰＢの転送が行われる事態を防止することができる。例えば、図３（Ｅ）に示すように、第２並べ替え手段２６から偏向制御回路１５にＤＰＢ３を転送している間は、第１並べ替え手段２４から偏向制御回路１５へのＤＰＢ４，５の転送は行われない。

上記ステップ１１６でＤＰＢの転送中ではないと判別された場合には、待ちＤＰＢ、もしくは、待ちＤＰＢを含む連続番号の複数のＤＰＢを偏向制御回路１５に転送開始する（ステップ１１８）。このステップ１１８では、例えば、図３（Ｃ）に示すように、ＤＰＢ１，２が偏向制御回路１５に転送開始される。

そして、最終のＤＰＢ（図２参照）が偏向制御回路１５に転送されたか否かを判別する（ステップ１２０）。このステップ１２０で最終のＤＰＢが転送されていないと判別された場合には、並べ替え手段が切り替えられる（ステップ１２２）。このステップ１２２では、ＤＰＢを転送している並べ替え手段とは異なる並べ替え手段が選択される。その後、ステップ４に戻り、切り替え後の並べ替え手段において待ちＤＰＢが設定される。
上記ステップ１２２では、例えば、図３（Ｃ）に示すように、ＤＰＢ１，２を転送している第１並べ替え手段２４とは異なる第２並べ替え手段２６が選択される。これにより、プールされたＤＰＢを切り替え後の第２並べ替え手段２６に出力可能となると共に、第２並べ替え手段２６においてＤＰＢの並べ替えが可能となる。
その後、上記ステップ１０４では、上記ステップ１２２で切り替えられた並べ替え手段において、待ちＤＰＢが設定される。例えば、図３（Ｃ）に示すように、第２並べ替え手段２６においてＤＰＢ３が待ちＤＰＢと設定される。その後、上記ステップ１０６以降の処理を実行する。

一方、上記ステップ１２０で最終のＤＰＢが転送されたと判別された場合には、並べ替え手段の切り替えが不要であるため、そのまま本ルーチンを終了する。

以上述べたように、本実施の形態では、複数の並べ替え手段２４，２６を用いて、演算手段２２により生成された描画ブロックデータの並べ替えと、並べ替えられた描画ブロックデータの偏向制御回路１５への転送が行われる。これにより、並べ替え手段２４，２６から偏向制御回路１５への描画ブロックデータの転送を高効率で行うことができるため、偏向制御回路１５における描画ブロックデータの待ち時間を短縮することができるため、スループットを向上させることができる。
また、本実施の形態では、偏向制御回路１５への描画ブロックデータの転送を行っている並べ替え手段２４，２６とは異なる並べ替え手段２６，２４が、演算手段２２からの描画ブロックデータの出力先として選択手段２３により選択される。これにより、一方の並べ替え手段から偏向制御回路１５に描画ブロックデータを転送している間に、演算手段２２から他方の並べ替え手段に描画ブロックデータを出力することができ、他方の並べ替え手段において描画ブロックデータの並べ替えを行うことができる。よって、スループットを向上させることができる。
また、本実施の形態では、選択手段２３により選択された並べ替え手段２４，２６において、偏向制御回路１５に未だ転送されていないＤＰＢのうち番号が最小のＤＰＢが待ちＤＰＢとして設定される。そして、この待ちＤＰＢが選択された並べ替え手段２４，２６に入力されると、待ちＤＰＢもしくは待ちＤＰＢを含む連続番号のＤＰＢが偏向制御回路１５に出力される。これにより、偏向制御回路１５において欠落ＤＰＢの発生を確実に防止することができる。

尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することができる。例えば、上記実施の形態では電子ビームを用いたが、本発明はこれに限られるものではなく、イオンビームなどの他の荷電粒子ビームを用いた場合にも適用可能である。
また、上記実施の形態では並べ替え手段を２つ設けているが、本発明はこれに限られるものではなく、並べ替え手段を３つ以上設けてもよい。

本発明の実施の形態による電子ビーム描画装置の構成を示す概略図である。 描画ブロックデータの欠損の無い描画データを示す図である。 本発明の実施の形態において、データ処理部１６で実行される描画ブロックデータ（ＤＰＢ）の転送方法を説明するための図である（その１）。 本発明の実施の形態において、データ処理部１６で実行される描画ブロックデータ（ＤＰＢ）の転送方法を説明するための図である（その２）。 本発明の実施の形態において、ＤＰＭ２０が実行するデータ転送制御ルーチンを示すフローチャートである。

符号の説明

１００ 電子ビーム描画装置
１ 描画部
５ 成形偏向器
８ 対物偏向器
１０ 試料
１５ 偏向制御回路
１６ データ処理部
１７ 記憶装置
２０ ＤＰＭ
２１ 分散手段
２２ 演算手段
２３ 選択手段
２４ 第１並べ替え手段
２５，２７ メモリ
２６ 第２並べ替え手段
３０ 制御計算機

Claims (5)

1. ブロック単位に分散された設計データである設計ブロックデータを演算してブロック単位の描画データである描画ブロックデータを生成する複数の演算手段と、
   前記複数の演算手段により生成された描画ブロックデータを描画順に並べ替えて、偏向器を制御する偏向制御手段に転送する複数の並べ替え手段と、
   前記複数の演算手段により生成された描画ブロックデータの出力先として、前記複数の並べ替え手段から１つの並べ替え手段を選択する選択手段と、
   前記選択手段により選択された並べ替え手段から前記偏向制御手段に最初に転送する描画ブロックデータを設定する設定手段とを備え、
   前記選択手段により選択された並べ替え手段は、前記設定手段により設定された描画ブロックデータが前記演算手段から入力されたときに、入力された描画ブロックデータ、もしくは、入力された描画ブロックを含み描画順が連続する複数の描画ブロックデータを前記偏向制御手段に転送することを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。
2. 請求項１に記載の荷電粒子ビーム描画装置において、
   前記選択手段は、前記偏向制御手段への描画ブロックデータの転送を開始する際に、並べ替え手段を切り替えることを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。
3. ブロック単位に分散された設計データである複数の設計ブロックデータを演算してブロック単位の描画データである複数の描画ブロックデータを生成し、生成された複数の描画ブロックデータを複数の並べ替え手段により描画順に並べ替えて偏向制御手段に転送する荷電粒子ビーム描画装置における描画データの転送方法であって、
   前記複数の設計ブロックデータを複数の演算手段に分配するステップと、
   前記複数の演算手段により生成された描画ブロックデータの出力先として、前記複数の並べ替え手段から１つの並べ替え手段を選択するステップと、
   選択された並べ替え手段から前記偏向制御手段に最初に転送する描画ブロックデータを設定するステップと、
   前記複数の演算手段により生成された描画ブロックデータを選択された並べ替え手段に
   出力するステップと、
   設定された描画ブロックデータが選択された並べ替え手段に入力されたときに、入力された描画ブロックデータ、もしくは、入力された描画ブロックデータを含み描画順が連続する複数の描画ブロックデータを前記偏向制御手段に転送するステップとを含むことを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置の描画データの転送方法。
4. 請求項３に記載の荷電粒子ビーム描画装置における描画データの転送方法において、
   前記偏向制御手段への前記描画ブロックデータの転送を開始する際に、選択された並べ替え手段を別の並べ替え手段に切り替えるステップを更に含むことを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置の描画データ転送方法。
5. 請求項３又は４に記載の荷電粒子ビーム描画装置の描画データ転送方法において、
   前記複数の演算手段により生成された前記描画ブロックデータをプールするステップを更に含み、
   設定された前記描画ブロックデータを選択された前記並べ替え手段に入力できるように、プールされた前記描画ブロックデータを選択された前記並べ替え手段に出力することを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置の描画データ転送方法。

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