JP5380800B2 - 電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
*************
1.電子部品の第一実施形態
2.電子部品の第二実施形態
3.電子部品の第三実施形態
4.電子部品の第四実施形態
5.電子部品の製造方法の第一実施形態
6.電子部品の製造方法の第二実施形態
7.電子部品の製造方法の第三実施形態
8.電子部品の製造方法の第四実施形態
9.他の実施形態
*************
・構成
図1Aは、本発明の第一実施形態としての電子部品1とそれに接続される他の電子部品2との結合状態を示す断面図であり、図1Bは電子部品1を示す平面図である。図1Aは図1Bに示す1A線断面を示している。
電子部品1は、導電性の配線要素である表面配線102が形成されている基板10と、基板10の接合面10aから垂直方向に突出する複数のコネクタ100とを備えている。接合面10aは、他の電子部品2が組み付けられる基板10の面である。
電子部品1のコネクタ100は、他の電子部品2に備わる突起電極201にスナップフィットする所謂マイクロコネクタであって、脚部101と、ストッパ面103と、ガイド面104とを備えている。コネクタ100は、表面配線102の上に堆積した導電性の膜からなる。
脚部101は基端が表面配線102に接合され、基板10の接合面10aに対して垂直な方向に複数部位が突出している。すなわち、脚部101は表面配線102との接合面に近い方を固定端とする複数の片持ち梁を有し、それぞれの突端が互いに遠ざかる方向および近づく方向に弾性変形可能である。
ガイド面104は、それぞれのストッパ面103の突端から脚部101の外側に向かって後退しながら脚部101の基端から突端に向かう方向に延びる斜面である。換言すれば、ガイド面104は、コネクタ100の突端から脚部101の突端で囲まれた隙間に向かって落ちくぼむ斜面である。
他の電子部品2の突起電極201は、電子部品2の配線要素200から基板202の接合面202aに対して垂直な方向に延びている。突起電極201の突端面は内側から外側に向かって基板202側に落ち込んでいる。突起電極201の突端面はコネクタ100のガイド面104と摺接する斜面である。突起電極201の突端面がこのような形態を有するため、コネクタ100に突起電極201を挿入しやすくなっている。突起電極201の側面は突起電極201の突端から基端に向かって外側に張り出し、続いて、基端に向かって内側に緩やかに落ちくぼんでいる。突起電極201の側面がこのような形態を有するため、突起電極201とコネクタ100とがスナップフィットすると、特定の力を加えない限り両者が分解することはない。スナップフィットしているコネクタ100と突起電極201とを分解するのに必要な力は、コネクタ100のストッパ面103の傾斜角θ(図1C参照)、突起電極20の側面のストッパ面103に摺接する部分の傾斜角γ、脚部101の剛性などによって決まる。このような形態の突起電極201は、例えば等方性エッチングによって犠牲膜に半球状の凹部を形成し、その凹部の底から配線要素200を露出させる通孔を異方性エッチングにより形成した後に、配線要素200から導電膜を等方的に成長させることにより製造される。
前述したとおり、コネクタ100の脚部101は電子部品1の基板10の接合面10aに対して垂直な方向に延び、コネクタ100の突端面には脚部101で囲まれた隙間に向かって落ちくぼむガイド面104が形成されている。このため、脚部101が囲む隙間に突起電極201が挿入されるとき、突起電極201の突端面がガイド面104を押し込み、脚部101の間の隙間が広がる。ガイド面104と突起電極201の側面との接触部位が突起電極201の側面の山を越えて突起電極201の基端に近づくと、突起電極201はコネクタ100のストッパ面103によって拘束される。すなわち、脚部101が囲む隙間に対し、突起電極201を基板10の接合面10aと垂直な方向に押し込むことにより、コネクタ100と突起電極201とがスナップフィットする。その結果、コネクタ100が突起電極201を挟み込むようにして突起電極201に接触することによって突起電極201とコネクタ100とが導通した状態で電子部品1と他の電子部品2とが結合される。したがって、電子部品1と他の電子部品2とは積み重ねて接続可能である。このように、コネクタ100を用いることにより、常温下の機械的な操作で電子部品1と他の電子部品2とを積み重ねるようにして結合することができる。
・構成
図2Aは、本発明の第二実施形態としての電子部品3とそれに接続される他の電子部品2との接合状態を示す断面図であり、図2Bは電子部品3を示す平面図である。図2Aは図2Bに示す2A線断面を示している。
図3Aは、本発明の第三実施形態としての電子部品4とそれに接続される他の電子部品5との結合状態を示す断面図であり、図3Bは電子部品4と他の電子部品5との結合状態を示す平面図である。図3Aは図3Bに示す3A線断面を示している。
電子部品4のコネクタ120は、他の電子部品5に備わる電極207にスナップフィットする所謂マイクロコネクタであって、脚部101と、ストッパ面107とガイド面106とを備えている。コネクタ120は表面配線102の上に堆積した導電性の膜からなる。
ストッパ面107は、脚部101の突端から脚部101の外側に向かって突出し、脚部101の基端側を向いている。コネクタ120に電極207が結合している状態においては、ストッパ面107は、脚部101の突端から電極207の通孔大径部205aの側面に向かって突出する方向に延び、電極207の通孔小径部206aを向く形態である。
ガイド面106は、それぞれのストッパ面107の突端から脚部101の内側に向かって後退しながら脚部101の基端から突端に向かう方向に延びる斜面である。換言すれば、ガイド面106は、コネクタ120の突端から脚部101の外側に向かって落ちくぼむ斜面である。
他の電子部品5の電極207は、通孔小径部206aと、通孔小径部206aの輪郭を内包する通孔大径部205aとからなる通孔を有する。すなわち、電極207は一方の開口が他方の開口に比べて狭まっている通孔を有する。電極207の通孔がこのような形態を有するため、電極207とコネクタ120とがスナップフィットすると、特定の力を加えない限り、両者が分解することはない。このような形態の電極207は、絶縁性の基板208に通孔を形成した後、フォトレジストマスクと無電解めっきとを用いて基板208に所定形状の導電膜205を形成すると同時に通孔大径部205aを形成し、通孔大径部205aを犠牲膜で埋めた状態において導電膜206を成膜し、フォトレジストマスクを用いたエッチングによって通孔小径部206aを形成することにより製造される。
前述したとおり、コネクタ120の脚部101には電子部品4の基板10の接合面10aに対して垂直な方向に延びる部位が複数形成され、コネクタ120の突端面には脚部101の外側に向かって落ちくぼむガイド面106が形成されている。このため、通孔小径部206aから電極207の通孔にコネクタ120が挿入されるとき、通孔小径部206aの側面がガイド面106を押し込み、脚部101の間の隙間が狭まる。ガイド面106が電極207の通孔小径部206aを突き抜けると、ストッパ面107が電極207を構成している導電膜206と向き合うためコネクタ120は導電膜206によって拘束される。すなわち、電極207の通孔に対し、コネクタ120を基板208の接合面208aに対して垂直な方向に押し込むことにより、コネクタ120と電極207とがスナップフィットする。その結果、コネクタ120が電極207の通孔を押し広げるようにして電極207の通孔の側面に接触することによって電極207とコネクタ120とが導通した状態で電子部品4と他の電子部品5とが結合される。したがって、電子部品4と他の電子部品5とは積み重ねて接続可能である。このように、コネクタ120を用いることにより、常温下の機械的な操作で電子部品4と他の電子部品5とを積み重ねるようにして結合することができる。
図4Aは本発明の第三実施形態としての電子部品6とそれに接続される他の電子部品7との結合状態を示す断面図であり、図4Bは電子部品6と他の電子部品7との結合状態を示す平面図である。図4Aは図4Bに示す4A線断面を示している。
また、電子部品6において脚部101は表面配線102に別個独立に接合されている4つの部位から形成されている。すなわち、脚部101は堆積膜の1つのまとまりから構成されていてもよいし、互いに分断された堆積膜の部分から構成されていても良い。
図5から図13は図1Aおよび図1Bに示す電子部品1の製造方法を示す図であり、図13B以外は図1Bに示す1A線断面に対応する断面を示している。
次に図7に示すように、表面配線102が露出する開口13aを有する第一犠牲膜13を基板10の上に形成する。第一犠牲膜13は例えばSiO2をプラズマCVDによって成膜することによって形成される。開口13aはフォトレジストマスクを用いた反応性イオンエッチングなどの異方性エッチングによって形成される。第一犠牲膜13の厚さは基板10の接合面10aからみたコネクタ100の高さに応じて設定される。
次に図10に示すように、開口13aに対応する凹部17aが残存する範囲の厚さまで第二導電膜17を第一導電膜の上層をなす導電膜15の表面に堆積する。第二導電膜17はWをCVDによって成膜して形成することが好ましいが、NiFe、NiMo、NiW、NiMn、NiP等のニッケル合金、TiN、TaN、WSi、Cu、Ni、Cu合金などをWに代えて用いても良いし、第二導電膜17を電解めっき、無電解めっき、パルスめっきなどで成膜しても良い。
図14から図17は図2Aおよび図2Bに示す電子部品3の製造方法を示す図であり、図2Bに示す2A線断面に対応する断面を示している。
次に図14に示すように、上述した電子部品1の製造方法と同様に導電膜15とそのシード層14とからなる第一導電膜と第二犠牲膜16とを形成する。ただし、第二犠牲膜16の材料にはフォトレジスト、SiO2、SiNなどの絶縁性材料を用い、第二犠牲膜16の成膜には材料に応じた方法を選択する。
次に図16に示すように、上述した電子部品1の製造方法と同様に第二導電膜17を導電膜15の表面に堆積する。このとき、第二犠牲膜16が絶縁性材料からなるため、第二導電膜17は第二犠牲膜16の表面には堆積しない。
その後、上述した電子部品1の製造方法と同様の工程を実施すると、図2Aおよび図2Bに示すコネクタ110が完成する。
図18から図21は図3Aおよび図3Bに示す電子部品4の製造方法を示す図であり、図3Bに示す3A線断面に対応する断面を示している。
次に図18に示すように、導電膜15およびそのシード層14からなる第一導電膜の表層および第二犠牲膜16の表層を研削又は研磨(CMPでもよい)の少なくともいずれかによって除去する。このとき、研削又は研磨の終点は、第一犠牲膜13が露出するとともに第一犠牲膜13の開口13aの内側に第一導電膜および第二犠牲膜16が残存する範囲で制御する。その結果、第一犠牲膜13、シード層14、導電膜15および第二犠牲膜16の表面は平坦化される。
次に図20に示すように第一犠牲膜13と、第一導電膜をなす導電膜15およびそのシード層14と、第二犠牲膜16との表面に導電膜26およびそのシード層25からなる第二導電膜を堆積する。シード層25の材料にはTiNを用い、導電膜26の材料にはWを用い、導電膜26の成膜にはCVDを用いるが、TiNに代えて他の合金を用いても良いし、Wに代えてTiN、TaNなどの他の高融点金属を用いても良いし、導電膜26の成膜に電解めっき、無電解めっき、パルスめっき、スパッタ、蒸着などを用いても良い。
その後、上述した電子部品1の製造方法と同様の工程を実施すると、図3Aおよび図3Bに示すコネクタ120が完成する。
図22A、図23A、図24および図25は図4Aおよび図4Bに示す電子部品6の製造方法を示す断面図であり、図4Bに示す4A線断面に対応する断面を示している。図22Bおよび図23Bは電子部品6の製造方法を示す平面図である。
次に図22Aおよび図22Bに示すように、第一犠牲膜13の開口13aを分断する犠牲膜28を表面配線102および第一犠牲膜13の上に形成する。犠牲膜28は、例えばSiNx、第一犠牲膜13と同じSiO2などをプラズマCVDによって表面配線102および第一犠牲膜13の上に堆積させ、フォトレジストマスクを用いた反応性イオンエッチングによって不要部を除去することによって形成される。
次に図26に示すように、Arイオンなどを用いたイオンミリングにより導電膜30を先鋭化する。その結果、基板10の接合面10aに対して約45度傾斜したガイド面108が形成される。
尚、本発明の技術的範囲は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
例えばコネクタ100、110に対応する突起電極は、コネクタ100、110がスナップフィットする形態であればよく、例えば鏃形でもよい。犠牲膜28と犠牲膜29に同じ材料を用い、犠牲膜28をマスクした状態で犠牲膜29を犠牲膜28より先に除去してもよい。また犠牲膜28と犠牲膜29とを同時に除去しても良い。また、コネクタの脚部にはスリットを形成する必要は必ずしもない。
また、上記実施形態で示した材質や寸法や成膜方法やパターン転写方法はあくまで例示であるし、当業者であれば自明である工程の追加や削除や工程順序の入れ替えについては説明が省略されている。
Claims (2)
- 基板の配線要素が露出する開口を有する第一犠牲膜を前記基板の接合面上に形成し、
前記第一犠牲膜および前記配線要素の表面に前記開口を埋めない範囲で第一導電膜を堆積し、
前記開口の内側を埋める第二犠牲膜を前記第一導電膜の上に形成し、
前記第一導電膜が露出するとともに前記第二犠牲膜が前記開口の内側の底部に一部残存する範囲で前記第二犠牲膜の表層を除去し、
前記第二犠牲膜の表層が除去されることにより露出した前記第一導電膜の表面に、前記開口に対応する凹部が残存する範囲で第二導電膜を堆積し、
前記開口の外側において前記第一犠牲膜が露出し前記開口の内側において前記第二犠牲膜が露出するとともに前記第一導電膜および前記第二導電膜が前記開口の側面上に残存する範囲で前記第一導電膜の表層および前記第二導電膜の表層を異方性エッチングまたはイオンミリングにより除去し、
前記第一犠牲膜および前記第二犠牲膜を除去する、
ことを含む電子部品の製造方法。 - 前記第一導電膜および前記第二導電膜の前記配線要素から前記基板の接合面と垂直な方向に突出している部分に異方性エッチングによりスリットを形成する、
ことを含む請求項1に記載の電子部品の製造方法。
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