JP5375374B2 - Circuit connection material and circuit connection structure - Google Patents

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Description

本発明は、回路接続材料及び回路接続構造体に関するものである。   The present invention relates to a circuit connection material and a circuit connection structure.

従来、相対向する回路を加熱、加圧し加圧方向の電極間を電気的に接続する回路接続材料として、異方導電性接着フィルムが知られており、例えば、エポキシ系接着剤やアクリル系接着剤に導電粒子を分散させた異方導電性接着フィルムが知られている。かかる異方導電性接着フィルムは、主に液晶ディスプレイ(以下、「LCD」とする。)を駆動させる半導体が搭載されたTCP(Tape Carrier Package)又はCOF(Chip On Flex)とLCDパネルとの電気的接続、あるいは、TCP又はCOFとプリント配線板との電気的接続に広く使用されている。   Conventionally, anisotropic conductive adhesive films are known as circuit connection materials for heating and pressurizing opposing circuits to electrically connect electrodes in the pressurizing direction, for example, epoxy adhesives and acrylic adhesives. An anisotropic conductive adhesive film in which conductive particles are dispersed in an agent is known. Such an anisotropic conductive adhesive film is mainly composed of a TCP (Tape Carrier Package) or COF (Chip On Flex) on which a semiconductor for driving a liquid crystal display (hereinafter referred to as “LCD”) is mounted and the LCD panel. Widely used for electrical connection or electrical connection between a TCP or COF and a printed wiring board.

また、最近では、半導体をフェイスダウンで直接LCDパネルやプリント配線板に実装する場合でも、従来のワイヤーボンディング法ではなく、薄型化や狭ピッチ接続に有利なフリップチップ実装が採用されている。このフリップチップ実装においても、異方導電性接着フィルムが回路接続材料として用いられている(例えば、特許文献1〜4参照)。   Recently, even when a semiconductor is directly mounted on an LCD panel or a printed wiring board face down, flip chip mounting, which is advantageous for thinning and narrow pitch connection, has been adopted instead of the conventional wire bonding method. Also in this flip chip mounting, an anisotropic conductive adhesive film is used as a circuit connecting material (for example, see Patent Documents 1 to 4).

ところで、近年、LCDモジュールのCOF化やファインピッチ化に伴い、回路接続材料を用いた接続の際に、隣り合う回路電極間に短絡が発生するという問題が生じている。この対応策として、接着剤成分中に絶縁粒子を分散させて短絡を防止する技術が知られている(例えば、特許文献5〜9参照)。   By the way, in recent years, with the increase in COF and fine pitch of LCD modules, there is a problem that a short circuit occurs between adjacent circuit electrodes when connecting using a circuit connecting material. As a countermeasure, a technique is known in which insulating particles are dispersed in an adhesive component to prevent a short circuit (see, for example, Patent Documents 5 to 9).

絶縁粒子を接着剤成分中に分散させる場合、回路接続材料の接着力の低下や、基板と回路接続部との界面での剥離が問題となる傾向がある。このため、基板が絶縁性有機物又はガラスからなる配線部材や、表面の少なくとも一部が窒化シリコン、シリコーン樹脂、ポリイミド樹脂の少なくとも一つからなる配線部材等に接着するために、回路接続材料にシリコーン粒子を含有させて接着力を向上させる方法(例えば、特許文献10参照)や、接着後の熱膨張率差に基づく内部応力を低減させるため、回路接続材料にゴム粒子を分散させる方法が知られている(例えば、特許文献11参照)。   When the insulating particles are dispersed in the adhesive component, there is a tendency that a decrease in the adhesive strength of the circuit connection material or peeling at the interface between the substrate and the circuit connection portion becomes a problem. For this reason, in order for the substrate to adhere to a wiring member made of an insulating organic substance or glass, or a wiring member made of at least one part of at least one of silicon nitride, silicone resin, polyimide resin, etc., the circuit connecting material is made of silicone. A method for improving adhesion by incorporating particles (for example, see Patent Document 10) and a method for dispersing rubber particles in a circuit connecting material in order to reduce internal stress based on a difference in coefficient of thermal expansion after adhesion are known. (For example, refer to Patent Document 11).

更に、回路電極間の短絡を防止する手段として、絶縁性を有する被膜で表面を被覆した導電粒子を回路接続材料に分散させる方法が知られている(例えば、特許文献12,13参照)。   Furthermore, as a means for preventing a short circuit between circuit electrodes, a method is known in which conductive particles whose surfaces are coated with an insulating film are dispersed in a circuit connecting material (see, for example, Patent Documents 12 and 13).

特開昭59−120436号公報JP 59-120436 A 特開昭60−191228号公報JP-A-60-191228 特開平1−251787号公報JP-A-1-251787 特開平7−90237号公報JP-A-7-90237 特開昭51−20941号公報JP 51-20941 A 特開平3−29207号公報JP-A-3-29207 特開平4−174980号公報JP-A-4-174980 特許第3048197号公報Japanese Patent No. 3048197 特許第3477367号公報Japanese Patent No. 3477367 国際公開WO01/014484号パンフレットInternational Publication WO01 / 014484 Pamphlet 特開2001−323249号公報JP 2001-323249 A 特許第2794009号公報Japanese Patent No. 2779409 特開2001−195921号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-195921

近年、コストを低下させる観点から、ガラス基板の回路電極としてインジウム−錫酸化物(ITO:Tin doped Indium Oxide)電極に替えてインジウム−亜鉛酸化物(IZO:Zinc doped Indium Oxide)電極が使用されはじめている。IZO電極に対しては、接続抵抗を低減する観点から、NiあるいはNi合金やNi酸化物等を含む最外層で覆われた導電粒子を回路接続材料に分散させることが検討されている。しかし、この場合、導電粒子の平均粒径や接着剤の種類によっては導電粒子の最外層のNiが影響して、回路接続材料のポットライフが低下してしまうという問題がある。このように導電粒子を分散させた従来の回路接続材料では、十分に回路電極間の接続抵抗を低減すると共にポットライフの低下を抑制することが困難であるとの問題がある。   In recent years, an indium-zinc oxide (IZO) electrode has been used instead of an indium-tin oxide (ITO) electrode as a circuit electrode of a glass substrate from the viewpoint of reducing costs. Yes. For the IZO electrode, from the viewpoint of reducing connection resistance, it has been studied to disperse conductive particles covered with an outermost layer containing Ni, Ni alloy, Ni oxide, or the like in a circuit connection material. However, in this case, depending on the average particle diameter of the conductive particles and the type of adhesive, there is a problem that the outermost layer Ni of the conductive particles influences and the pot life of the circuit connecting material is reduced. As described above, the conventional circuit connection material in which the conductive particles are dispersed has a problem that it is difficult to sufficiently reduce the connection resistance between the circuit electrodes and to suppress the decrease in pot life.

そこで、本発明は、従来の回路接続材料に比べ、ITO電極やIZO電極等の回路電極の種類に依存することなく回路電極間の接続抵抗を低減することが可能であると共に、ポットライフの低下を抑制することが可能な回路接続材料及び回路接続構造体を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention can reduce the connection resistance between the circuit electrodes without depending on the type of the circuit electrodes such as the ITO electrode and the IZO electrode as compared with the conventional circuit connection material, and lower the pot life. An object of the present invention is to provide a circuit connection material and a circuit connection structure capable of suppressing the above.

本発明は、対向する回路電極間に介在して回路電極同士を電気的に接続する回路接続材料であって、接着剤成分と、Ni、Ni合金及びNi酸化物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む最外層に覆われた第1の導電粒子と、Auを含む最外層に覆われた第2の導電粒子と、を含有し、第1の導電粒子における最外層の表面に複数の突起部が形成されており、回路接続材料における単位体積あたりの第1の導電粒子の数に対する第2の導電粒子の数の比が0.4〜3である回路接続材料を提供する。   The present invention is a circuit connecting material for electrically connecting circuit electrodes interposed between opposing circuit electrodes, and at least one selected from the group consisting of an adhesive component, Ni, Ni alloy, and Ni oxide A plurality of protrusions on the surface of the outermost layer of the first conductive particles, the first conductive particles covered with the outermost layer containing seeds, and the second conductive particles covered with the outermost layer containing Au. A circuit connecting material is provided in which a ratio of the number of second conductive particles to the number of first conductive particles per unit volume in the circuit connecting material is 0.4 to 3.

また、本発明は、対向する回路電極間に介在して回路電極同士を電気的に接続する回路接続材料であって、接着剤成分と、ビッカース硬度が300Hv以上の金属を含む最外層に覆われた第1の導電粒子と、Auを含む最外層に覆われた第2の導電粒子と、を含有し、第1の導電粒子における最外層の表面に複数の突起部が形成されており、回路接続材料における単位体積あたりの第1の導電粒子の数に対する第2の導電粒子の数の比が0.4〜3である回路接続材料を提供する。   Further, the present invention is a circuit connecting material for electrically connecting circuit electrodes interposed between opposing circuit electrodes, and is covered with an outermost layer containing an adhesive component and a metal having a Vickers hardness of 300 Hv or more. The first conductive particles and the second conductive particles covered with the outermost layer containing Au, and a plurality of protrusions are formed on the surface of the outermost layer of the first conductive particles, Provided is a circuit connection material in which the ratio of the number of second conductive particles to the number of first conductive particles per unit volume in the connection material is 0.4 to 3.

かかる回路接続材料によれば、回路電極の種類に依存することなく回路電極間の接続抵抗を低減することが可能であると共に、ポットライフの低下を抑制することが可能である。   According to such a circuit connection material, it is possible to reduce the connection resistance between the circuit electrodes without depending on the type of the circuit electrode, and it is possible to suppress a decrease in pot life.

回路接続材料における第1の導電粒子の含有量に対する第2の導電粒子の含有量の比は、体積比で0.4〜3であることが好ましい。この場合、回路電極の種類に依存することなく回路電極間の接続抵抗を更に低減することが可能であると共に、ポットライフの低下を更に抑制することが可能である。   The ratio of the content of the second conductive particles to the content of the first conductive particles in the circuit connection material is preferably 0.4 to 3 in volume ratio. In this case, it is possible to further reduce the connection resistance between the circuit electrodes without depending on the type of the circuit electrode, and it is possible to further suppress the decrease in pot life.

第1の導電粒子の突起部の高さは50〜500nmであり、隣接する突起部間の距離は1000nm以下であることが好ましい。   The height of the protrusions of the first conductive particles is preferably 50 to 500 nm, and the distance between adjacent protrusions is preferably 1000 nm or less.

第1の導電粒子及び第2の導電粒子の少なくとも一方の平均粒径は1〜10μmであることが好ましい。この場合、隣接する回路電極間の短絡を抑制することができる。   The average particle diameter of at least one of the first conductive particles and the second conductive particles is preferably 1 to 10 μm. In this case, a short circuit between adjacent circuit electrodes can be suppressed.

また、本発明は、第1の回路電極を有する第1の回路部材と、第2の回路電極を有する第2の回路部材とを、第1の回路電極及び第2の回路電極が対向した状態で配置して、第1の回路電極と第2の回路電極との間に上記回路接続材料を介在して加熱加圧することにより、第1の回路電極及び第2の回路電極が電気的に接続されている回路接続構造体を提供する。   According to the present invention, the first circuit member having the first circuit electrode and the second circuit member having the second circuit electrode are in a state where the first circuit electrode and the second circuit electrode face each other. The first circuit electrode and the second circuit electrode are electrically connected by placing the circuit connection material between the first circuit electrode and the second circuit electrode and applying heat and pressure. Provided is a circuit connection structure.

本発明の回路接続構造体では、上記回路接続材料を用いていることにより、回路電極の種類に依存することなく回路電極間の接続抵抗を低減することが可能であると共に、ポットライフの低下を抑制することが可能である。   In the circuit connection structure of the present invention, by using the circuit connection material, it is possible to reduce the connection resistance between the circuit electrodes without depending on the type of the circuit electrodes, and to reduce the pot life. It is possible to suppress.

本発明の回路接続構造体において、第1の回路電極及び第2の回路電極の少なくとも一方は、インジウム−錫酸化物(ITO)及びインジウム−亜鉛酸化物(IZO)の少なくとも一方を含むことが好ましい。この場合、回路電極同士の電気的接続を顕著に良好にすることができる。   In the circuit connection structure of the present invention, it is preferable that at least one of the first circuit electrode and the second circuit electrode includes at least one of indium-tin oxide (ITO) and indium-zinc oxide (IZO). . In this case, the electrical connection between the circuit electrodes can be remarkably improved.

本発明によれば、従来の回路接続材料に比べ、ITO電極やIZO電極等の回路電極の種類に依存することなく回路電極間の接続抵抗を低減することが可能であると共に、ポットライフの低下を抑制することが可能な、接続信頼性に優れた電気・電子用の回路接続材料及び回路接続構造体を提供できる。   According to the present invention, compared with conventional circuit connection materials, it is possible to reduce the connection resistance between circuit electrodes without depending on the type of circuit electrodes such as ITO electrodes and IZO electrodes, and to reduce pot life. It is possible to provide a circuit connection material and a circuit connection structure for electric / electronic that are excellent in connection reliability.

本発明の一実施形態に係る回路接続材料を示す模式断面図。The schematic cross section which shows the circuit connection material which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る回路接続材料に含まれる導電粒子を示す模式断面図。The schematic cross section which shows the electrically-conductive particle contained in the circuit connection material which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る回路接続構造体を示す模式断面図。1 is a schematic cross-sectional view showing a circuit connection structure according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る回路接続構造体の製造方法を模式的に示す工程断面図。Process sectional drawing which shows typically the manufacturing method of the circuit connection structure which concerns on one Embodiment of this invention.

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as necessary.

<回路接続材料>
まず、図1を参照して、本実施形態の回路接続材料1について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る回路接続材料を示す模式断面図である。回路接続材料1は、接着剤成分(絶縁性物質)11aと、第1の導電粒子12aと、第2の導電粒子12bとを構成成分として含有する。
<Circuit connection material>
First, the circuit connection material 1 of this embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a circuit connection material according to an embodiment of the present invention. The circuit connecting material 1 contains an adhesive component (insulating substance) 11a, first conductive particles 12a, and second conductive particles 12b as constituent components.

(接着剤成分)
接着剤成分11aは、例えば(a)加熱又は光によって遊離ラジカルを発生する硬化剤(以下、場合により「(a)遊離ラジカル発生剤」という。)及び(b)ラジカル重合性物質を含有する。
(Adhesive component)
The adhesive component 11a contains, for example, (a) a curing agent that generates free radicals by heating or light (hereinafter sometimes referred to as “(a) free radical generator”) and (b) a radical polymerizable substance.

(a)遊離ラジカル発生剤は、目的とする接続温度、接続時間、ポットライフ等により適宜選定され、過酸化化合物(有機過酸化物)、アゾ系化合物又は光開始剤のような、加熱及び光照射の少なくとも一方の処理により活性ラジカルを発生する化合物が用いられる。   (A) The free radical generator is appropriately selected depending on the intended connection temperature, connection time, pot life, etc., and heating and light such as a peroxide compound (organic peroxide), an azo compound or a photoinitiator. A compound that generates an active radical by at least one treatment of irradiation is used.

有機過酸化物は、高い反応性と優れたポットライフとを両立する観点から、半減期10時間の温度が40℃以上であり、かつ、半減期1分の温度が180℃以下であることが好ましく、半減期10時間の温度が60℃以上であり、かつ、半減期1分の温度が170℃以下であることがより好ましい。また、有機過酸化物は、回路部材の回路電極の腐食を防止するために、塩素イオンや有機酸の含有量が5000ppm以下であることが好ましく、更に、加熱分解後に発生する有機酸が少ないものがより好ましい。   From the viewpoint of achieving both high reactivity and excellent pot life, the organic peroxide has a half-life temperature of 40 ° C or higher and a half-life temperature of 1 minute is 180 ° C or lower. More preferably, the temperature with a half-life of 10 hours is 60 ° C. or more, and the temperature with a half-life of 1 minute is 170 ° C. or less. The organic peroxide preferably has a chlorine ion or organic acid content of 5000 ppm or less in order to prevent corrosion of the circuit electrode of the circuit member, and further generates less organic acid after thermal decomposition. Is more preferable.

有機過酸化物としては、例えば、ジアシルパーオキサイド、パーオキシジカーボネート、パーオキシエステル、パーオキシケタール、ジアルキルパーオキサイド、ハイドロパーオキサイド等から選定できる。これらの中でも、回路部材の接続端子の腐食を抑える観点から、パーオキシエステル、ジアルキルパーオキサイド、ハイドロパーオキサイドから選定されることが好ましく、高い反応性が得られる観点から、パーオキシエステルから選定されることがより好ましい。   The organic peroxide can be selected from, for example, diacyl peroxide, peroxydicarbonate, peroxyester, peroxyketal, dialkyl peroxide, hydroperoxide and the like. Among these, it is preferable to select from peroxyesters, dialkyl peroxides, and hydroperoxides from the viewpoint of suppressing corrosion of connection terminals of circuit members, and from the viewpoint of obtaining high reactivity, it is selected from peroxyesters. More preferably.

ジアシルパーオキサイドとしては、例えば、イソブチルパーオキサイド、2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、3,5,5−トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ステアロイルパーオキサイド、スクシニックパーオキサイド、ベンゾイルパーオキシトルエン、ベンゾイルパーオキサイドが挙げられる。   Examples of the diacyl peroxide include isobutyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, 3,5,5-trimethylhexanoyl peroxide, octanoyl peroxide, lauroyl peroxide, stearoyl peroxide, and succinic peroxide. , Benzoylperoxytoluene, and benzoyl peroxide.

パーオキシジカーボネートとしては、例えば、ジ−n−プロピルパーオキシジカーボネート、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ビス(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシメトキシパーオキシジカーボネート、ジ(2−エチルヘキシルパーオキシ)ジカーボネート、ジメトキシブチルパーオキシジカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチルパーオキシ)ジカーボネートが挙げられる。   Examples of peroxydicarbonate include di-n-propyl peroxydicarbonate, diisopropyl peroxydicarbonate, bis (4-t-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate, di-2-ethoxymethoxyperoxydicarbonate, Examples include di (2-ethylhexylperoxy) dicarbonate, dimethoxybutylperoxydicarbonate, and di (3-methyl-3-methoxybutylperoxy) dicarbonate.

パーオキシエステルとしては、例えば、クミルパーオキシネオデカノエート、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシネオデカノエート、1−シクロヘキシル−1−メチルエチルパーオキシノエデカノエート、t−ヘキシルパーオキシネオデカノエート、t−ブチルパーオキシピバレート、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノネート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(2−エチルヘキサノイルパーオキシ)ヘキサン、1−シクロヘキシル−1−メチルエチルパーオキシ−2−エチルヘキサノネート、t−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノネート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノネート、t−ブチルパーオキシイソブチレート、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、t−ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘキサノネート、t−ブチルパーオキシラウレート、2,5−ジメチル−2,5−ビス(m−トルオイルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキシルモノカーボネート、t−ヘキシルパーオキシベンゾエート、t−ブチルパーオキシアセテートが挙げられる。   Examples of peroxyesters include cumyl peroxyneodecanoate, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxyneodecanoate, 1-cyclohexyl-1-methylethylperoxynoedecanoate, t -Hexylperoxyneodecanoate, t-butylperoxypivalate, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2-ethylhexanoate, 2,5-dimethyl-2,5-bis ( 2-ethylhexanoylperoxy) hexane, 1-cyclohexyl-1-methylethylperoxy-2-ethylhexanoate, t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy-2-ethyl Hexanonate, t-butylperoxyisobutyrate, 1,1-bis (t-butylperoxy) cyclo Xane, t-hexylperoxyisopropyl monocarbonate, t-butylperoxy-3,5,5-trimethylhexanonate, t-butylperoxylaurate, 2,5-dimethyl-2,5-bis (m- Toluoyl peroxy) hexane, t-butyl peroxyisopropyl monocarbonate, t-butyl peroxy-2-ethylhexyl monocarbonate, t-hexyl peroxybenzoate, t-butyl peroxyacetate.

パーオキシケタールとしては、例えば、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,5,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1−ビス(t−ブチルパーオキシ)−3,5,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−(t−ブチルパーオキシ)シクロドデカン、2,2−ビス(t−ブチルパーオキシ)デカンが挙げられる。   Examples of the peroxyketal include 1,1-bis (t-hexylperoxy) -3,5,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (t-hexylperoxy) cyclohexane, 1,1-bis ( t-butylperoxy) -3,5,5-trimethylcyclohexane, 1,1- (t-butylperoxy) cyclododecane, 2,2-bis (t-butylperoxy) decane.

ジアルキルパーオキサイドとしては、例えば、α,α’−ビス(t−ブチルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルクミルパーオキサイドが挙げられる。   Examples of the dialkyl peroxide include α, α′-bis (t-butylperoxy) diisopropylbenzene, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexane, t -Butyl cumyl peroxide is mentioned.

ハイドロパーオキサイドとしては、例えば、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイドが挙げられる。   Examples of the hydroperoxide include diisopropylbenzene hydroperoxide and cumene hydroperoxide.

アゾ化合物としては、例えば、2,2’−アゾビス−2,4−ジメチルバレロニトリル、1,1’−アゾビス(1−アセトキシ−1−フェニルエタン)、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、ジメチル−2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、4,4’−アゾビス(4−シアノバレリン酸)及び1,1’−アゾビス(1−シクロヘキサンカルボニトリル)が挙げられる。   Examples of the azo compound include 2,2′-azobis-2,4-dimethylvaleronitrile, 1,1′-azobis (1-acetoxy-1-phenylethane), and 2,2′-azobisisobutyronitrile. 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile), dimethyl-2,2′-azobisisobutyronitrile, 4,4′-azobis (4-cyanovaleric acid) and 1,1′-azobis ( 1-cyclohexanecarbonitrile).

光開始剤としては、例えば、ベンゾインエチルエーテル、イソプロピルベンゾインエーテル等のベンゾインエーテル、ベンジル、ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等のベンジルケタール、ベンゾフェノン、アセトフェノン等のケトン類及びその誘導体、チオキサントン類、並びに、ビスイミダゾール類が好適に用いられる。   Photoinitiators include, for example, benzoin ethers such as benzoin ethyl ether and isopropyl benzoin ether, benzyl ketals such as benzyl and hydroxycyclohexyl phenyl ketone, ketones and derivatives thereof such as benzophenone and acetophenone, thioxanthones, and bisimidazoles Are preferably used.

光開始剤を用いる場合、用いる光源の波長や所望の硬化特性等に応じて、最適な光開始剤が選択される。また、必要に応じて、アミン類、イオウ化合物、リン化合物等の増感剤を任意の比率で光開始剤と併用してもよい。   When a photoinitiator is used, an optimal photoinitiator is selected according to the wavelength of the light source used, desired curing characteristics, and the like. Moreover, you may use together sensitizers, such as amines, a sulfur compound, and a phosphorus compound, with a photoinitiator in arbitrary ratios as needed.

増感剤としては、脂肪族アミン、芳香族アミン、含窒素環状構造を有するピペリジン等の環状アミン、o−トリルチオ尿素、ナトリウムジエチルジチオホスフェート、芳香族スルフィン酸の可溶性塩、N,N’−ジメチル−p−アミノベンゾニトリル、N,N’−ジエチル−p−アミノベンゾニトリル、N,N’−ジ(β−シアノエチル)−p−アミノベンゾニトリル、N,N’−ジ(β−クロロエチル)−p−アミノベンゾニトリル、トリ−n−ブチルホスフィン等が好ましい。また、増感剤としては、プロピオフェノン、アセトフェノン、キサントン、4−メチルアセトフェノン、ベンゾフェノン、フルオレン、トリフェニレン、ビフェニル、チオキサントン、アントラキノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、フェナントレン、ナフタレン、4−フェニルアセトフェノン、4−フェニルベンゾフェノン、1−ヨードナフタレン、2−ヨードナフタレン、アセナフテン、2−ナフトニトリル、1−ナフトニトリル、クリセン、ベンジル、フルオランテン、ピレン、1,2−ベンゾアントラセン、アクリジン、アントラセン、ペリレン、テトラセン、2−メトキシナフタレン等の非色素系増感剤、チオニン、メチレンブルー、ルミフラビン、リボフラビン、ルミクロム、クマリン、ソラレン、8−メトキシソラレン、6−メチルクマリン、5−メトキシソラレン、5−ヒドロキシソラレン、クマリルピロン、アクリジンオレンジ、アクリフラビン、プロフラビン、フルオレセイン、エオシンY、エオシンB、エリトロシン、ローズベンガル等の色素系増感剤が挙げられる。   Sensitizers include aliphatic amines, aromatic amines, cyclic amines such as piperidine having a nitrogen-containing cyclic structure, o-tolylthiourea, sodium diethyldithiophosphate, soluble sulfinic acid salts, N, N′-dimethyl -P-aminobenzonitrile, N, N'-diethyl-p-aminobenzonitrile, N, N'-di (β-cyanoethyl) -p-aminobenzonitrile, N, N'-di (β-chloroethyl)- P-aminobenzonitrile, tri-n-butylphosphine and the like are preferable. As sensitizers, propiophenone, acetophenone, xanthone, 4-methylacetophenone, benzophenone, fluorene, triphenylene, biphenyl, thioxanthone, anthraquinone, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'- Bis (diethylamino) benzophenone, phenanthrene, naphthalene, 4-phenylacetophenone, 4-phenylbenzophenone, 1-iodonaphthalene, 2-iodonaphthalene, acenaphthene, 2-naphthonitrile, 1-naphthonitrile, chrysene, benzyl, fluoranthene, pyrene, Non-pigment sensitizers such as 1,2-benzoanthracene, acridine, anthracene, perylene, tetracene, 2-methoxynaphthalene, thionine, methylene blue, lumiflavin, ribo Rabin, lumichrome, coumarin, psoralen, 8-methoxypsoralen, 6-methylcoumarin, 5-methoxypsoralen, 5-hydroxypsoralen, coumarylpyrone, acridine orange, acriflavine, proflavine, fluorescein, eosin Y, eosin B, erythrosine, rose Examples include dye-based sensitizers such as Bengal.

これらの(a)遊離ラジカル発生剤は、1種を単独で又は2種以上を混合して使用することができ、分解促進剤、抑制剤等を混合して用いてもよい。   These (a) free radical generators can be used singly or in combination of two or more, and may be used by mixing a decomposition accelerator, an inhibitor and the like.

(a)遊離ラジカル発生剤の含有量は、接着剤成分全体に対して0.05〜10質量%が好ましく、0.1〜5質量%がより好ましい。   (A) 0.05-10 mass% is preferable with respect to the whole adhesive agent component, and, as for content of a free radical generator, 0.1-5 mass% is more preferable.

(b)ラジカル重合性物質は、ラジカルにより重合する官能基を有する物質であり、例えば、アクリレート(対応するメタクリレートを含む。以下同じ。)、マレイミド化合物が挙げられる。   The (b) radical polymerizable substance is a substance having a functional group that is polymerized by radicals, and examples thereof include acrylates (including corresponding methacrylates; the same shall apply hereinafter) and maleimide compounds.

アクリレートとしては、例えば、ウレタンアクリレート、メチルアクリレート、エチルアクリレート、イソプロピルアクリレート、イソブチルアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジアクリロキシプロパン、2,2−ビス〔4−(アクリロキシメトキシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(アクリロキシポリエトキシ)フェニル〕プロパン、ジシクロペンテニルアクリレート、トリシクロデカニルアクリレート、ビス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、ε−カプロラクトン変性トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレートが挙げられる。   Examples of the acrylate include urethane acrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate, isopropyl acrylate, isobutyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylol methane tetraacrylate, 2- Hydroxy-1,3-diaacryloxypropane, 2,2-bis [4- (acryloxymethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (acryloxypolyethoxy) phenyl] propane, dicyclopentenyl acrylate , Tricyclodecanyl acrylate, bis (acryloxyethyl) isocyanurate, ε-caprolactone-modified tris (acryloxyethyl) Isocyanurate, tris (acryloyloxyethyl) isocyanurate.

マレイミド化合物としては、分子中にマレイミド基を少なくとも2個以上含有するものが好ましく、例えば、1−メチル−2,4−ビスマレイミドベンゼン、N,N’−m−フェニレンビスマレイミド、N,N’−p−フェニレンビスマレイミド、N,N’−m−トルイレンビスマレイミド、N,N’−4,4−ビフェニレンビスマレイミド、N,N’−4,4−(3,3’−ジメチル−ビフェニレン)ビスマレイミド、N,N’−4,4−(3,3’−ジメチルジフェニルメタン)ビスマレイミド、N,N’−4,4−(3,3’−ジエチルジフェニルメタン)ビスマレイミド、N,N’−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、N,N’−4,4−ジフェニルプロパンビスマレイミド、N,N’−4,4−ジフェニルエーテルビスマレイミド、N,N’−3,3’−ジフェニルスルホンビスマレイミド、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[3−s−ブチル−4,8−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、1,1−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]デカン、4,4’−シクロヘキシリデン−ビス[1−(4−マレイミドフェノキシ)−2−シクロヘキシル]ベンゼン、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンが挙げられる。これらは、1種を単独で又は2種以上を併用して用いてもよく、アリルフェノール、アリルフェニルエーテル、安息香酸アリル等のアリル化合物と併用して用いてもよい。   As the maleimide compound, those containing at least two maleimide groups in the molecule are preferable. For example, 1-methyl-2,4-bismaleimidebenzene, N, N′-m-phenylenebismaleimide, N, N ′ -P-phenylene bismaleimide, N, N'-m-toluylene bismaleimide, N, N'-4,4-biphenylene bismaleimide, N, N'-4,4- (3,3'-dimethyl-biphenylene ) Bismaleimide, N, N′-4,4- (3,3′-dimethyldiphenylmethane) bismaleimide, N, N′-4,4- (3,3′-diethyldiphenylmethane) bismaleimide, N, N ′ -4,4-diphenylmethane bismaleimide, N, N'-4,4-diphenylpropane bismaleimide, N, N'-4,4-diphenyl ether bisma Imido, N, N′-3,3′-diphenylsulfone bismaleimide, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [3-s-butyl-4,8 -(4-maleimidophenoxy) phenyl] propane, 1,1-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] decane, 4,4'-cyclohexylidene-bis [1- (4-maleimidophenoxy) -2 -Cyclohexyl] benzene, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane. These may be used alone or in combination of two or more, and may be used in combination with allyl compounds such as allylphenol, allylphenyl ether, and allyl benzoate.

(b)ラジカル重合性物質としては、接着性が向上する観点から、アクリレートが好ましく、ウレタンアクリレート又はウレタンメタアクリレートがより好ましい。(b)ラジカル重合性物質は、1種を単独で又は2種以上を併用して用いることができる。   (B) As a radically polymerizable substance, an acrylate is preferable from the viewpoint of improving adhesiveness, and urethane acrylate or urethane methacrylate is more preferable. (B) A radically polymerizable substance can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

接着剤成分11aは、25℃での粘度が100000〜1000000mPa・sであるラジカル重合性物質を少なくとも含有することが好ましく、100000〜500000mPa・sであるラジカル重合性物質を含有することがより好ましい。ラジカル重合性物質の粘度は、市販のE型粘度計を用いて測定できる。   The adhesive component 11a preferably contains at least a radical polymerizable substance having a viscosity at 25 ° C. of 100,000 to 1,000,000 mPa · s, and more preferably contains a radical polymerizable substance of 100,000 to 500,000 mPa · s. The viscosity of the radical polymerizable substance can be measured using a commercially available E-type viscometer.

(b)ラジカル重合性物質は、上記ラジカル重合性物質に加えて、耐熱性を向上させるために上記有機過酸化物と架橋して、単独で100℃以上のTgを示すラジカル重合性物質を更に含有することが特に好ましい。このようなラジカル重合性物質としては、ジシクロペンテニル基、トリシクロデカニル基及び/又はトリアジン環を有するものを用いることができる。これらの中でも、トリシクロデカニル基やトリアジン環を有するラジカル重合性物質が好適に用いられる。   (B) In addition to the radical polymerizable substance, the radical polymerizable substance is further crosslinked with the organic peroxide in order to improve heat resistance, and further includes a radical polymerizable substance having a Tg of 100 ° C. or more alone. It is particularly preferable to contain it. As such a radically polymerizable substance, a substance having a dicyclopentenyl group, a tricyclodecanyl group and / or a triazine ring can be used. Among these, radically polymerizable substances having a tricyclodecanyl group or a triazine ring are preferably used.

また、必要に応じて、ハイドロキノン、メチルエーテルハイドロキノン類等の重合禁止剤を適宜用いてもよい。   Moreover, you may use suitably polymerization inhibitors, such as hydroquinone and methyl ether hydroquinones, as needed.

更に、(b)ラジカル重合性物質は、上記ラジカル重合性物質に加えて、リン酸エステル構造を有するラジカル重合性物質を更に含有することが好ましい。リン酸エステル構造を有するラジカル重合性物質は、無水リン酸と2−ヒドロキシル(メタ)アクリレートとの反応物として得られる。具体的には、2−メタクリロイロキシエチルアッシドホスフェート、2−アクリロイロキシエチルアッシドホスフェート等が挙げられる。これらは、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用できる。   Furthermore, it is preferable that the (b) radical polymerizable substance further contains a radical polymerizable substance having a phosphate ester structure in addition to the radical polymerizable substance. The radically polymerizable substance having a phosphoric ester structure is obtained as a reaction product of phosphoric anhydride and 2-hydroxyl (meth) acrylate. Specific examples include 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate and 2-acryloyloxyethyl acid phosphate. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

リン酸エステル構造を有するラジカル重合性物質の含有量は、金属等の無機物表面との接着強度が向上する観点から、接着剤成分100質量部に対して0.1〜10質量部が好ましく、0.5〜5質量部がより好ましい。   The content of the radical polymerizable substance having a phosphate ester structure is preferably 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the adhesive component from the viewpoint of improving the adhesive strength with the surface of an inorganic substance such as metal. More preferable is 5 to 5 parts by mass.

接着剤成分11aは、例えば(c)熱硬化性樹脂と(d)その硬化剤とを含有してもよい。   The adhesive component 11a may contain, for example, (c) a thermosetting resin and (d) the curing agent.

(c)熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂は、1分子内に2個以上のグリシジル基を有する各種のエポキシ化合物等を単独に、あるいは、その2種以上を混合して用いられる。エポキシ樹脂としては、エピクロルヒドリンとビスフェノールA、ビスフェノールF及び/又はビスフェノールAD等とから誘導されるビスフェノール型エポキシ樹脂、エピクロルヒドリンとフェノールノボラックやクレゾールノボラックとから誘導されるエポキシノボラック樹脂やナフタレン環を含んだ骨格を有するナフタレン系エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種を単独で又は2種以上を混合して用いることが可能である。エポキシ樹脂は、不純物イオン(Na、Cl等)や、加水分解性塩素等を300ppm以下に低減した高純度品を用いることがエレクトロンマイグレーション防止のために好ましい。 (C) As the thermosetting resin, an epoxy resin is preferable. The epoxy resin is used alone or in combination of two or more of various epoxy compounds having two or more glycidyl groups in one molecule. Epoxy resins include bisphenol-type epoxy resins derived from epichlorohydrin and bisphenol A, bisphenol F and / or bisphenol AD, skeletons containing epoxy novolac resins derived from epichlorohydrin and phenol novolac or cresol novolac, and naphthalene rings. Naphthalene type epoxy resin having glycidyl amine type epoxy resin, glycidyl ether type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, alicyclic epoxy resin and the like. Epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. For the epoxy resin, it is preferable to use a high-purity product in which impurity ions (Na + , Cl −, etc.), hydrolyzable chlorine, etc. are reduced to 300 ppm or less.

(d)硬化剤は、より長いポットライフを得る観点から、潜在性硬化剤が好ましい。熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂である場合、潜在性硬化剤としては、イミダゾール系、ヒドラジド系、三フッ化ホウ素−アミン錯体、スルホニウム塩、アミンイミド、ポリアミンの塩、ジシアンジアミド等が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を混合して使用することができる。潜在性硬化剤には、分解促進剤、抑制剤等を混合してもよい。上記潜在性硬化剤は、可使時間が延長されるため、ポリウレタン系、ポリエステル系の高分子物質等で被覆してマイクロカプセル化することが好ましい。   (D) The curing agent is preferably a latent curing agent from the viewpoint of obtaining a longer pot life. When the thermosetting resin is an epoxy resin, examples of the latent curing agent include imidazole series, hydrazide series, boron trifluoride-amine complex, sulfonium salt, amine imide, polyamine salt, dicyandiamide, and the like. These can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types. The latent curing agent may be mixed with a decomposition accelerator, an inhibitor and the like. The latent curing agent is preferably microencapsulated by coating with a polyurethane-based or polyester-based polymeric substance or the like because the pot life is extended.

また、本実施形態の回路接続材料1は、取り扱い性に優れる観点から、フィルム状で使用することが好ましい。この場合、接着剤成分11aがフィルム形成性高分子を含有してもよい。フィルム形成性高分子としては、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリフェニレンオキサイド、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、キシレン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイソシアネート樹脂、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステルウレタン樹脂等が用いられる。   Moreover, it is preferable to use the circuit connection material 1 of this embodiment in a film form from a viewpoint which is excellent in handleability. In this case, the adhesive component 11a may contain a film-forming polymer. As film-forming polymers, polystyrene, polyethylene, polyvinyl butyral, polyvinyl formal, polyimide, polyamide, polyester, polyvinyl chloride, polyphenylene oxide, urea resin, melamine resin, phenol resin, xylene resin, epoxy resin, polyisocyanate resin, Phenoxy resin, polyimide resin, polyester urethane resin or the like is used.

これらの中でも、接着性が向上する観点から、水酸基等の官能基を有する樹脂がより好ましい。また、上記フィルム形成性高分子をラジカル重合性の官能基で変性したものも用いることができる。フィルム形成性高分子の重量平均分子量は10000以上が好ましい。また、重量平均分子量は、1000000以上になると混合性が低下する傾向にあることから、1000000未満が好ましい。   Among these, a resin having a functional group such as a hydroxyl group is more preferable from the viewpoint of improving adhesiveness. Moreover, what modified | denatured the said film forming polymer with the radically polymerizable functional group can also be used. The weight average molecular weight of the film-forming polymer is preferably 10,000 or more. Further, the weight average molecular weight is preferably less than 1,000,000 because the mixing property tends to decrease when it becomes 1,000,000 or more.

なお、本明細書における重量平均分子量は、ゲルパーミエイションクロマトグラフィー(GPC)分析により下記条件で測定し、標準ポリスチレンの検量線を使用して換算することにより求められるものである。
(GPC条件)
使用機器:日立L−6000型((株)日立製作所製、商品名)
検出器:L−3300RI((株)日立製作所製、商品名)
カラム:ゲルパックGL−R420+ゲルパックGL−R430+ゲルパックGL−R440(計3本)(日立化成工業(株)製、商品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:40℃
流量:1.75ml/min
In addition, the weight average molecular weight in this specification is calculated | required by measuring on the following conditions by gel permeation chromatography (GPC) analysis, and converting using the analytical curve of a standard polystyrene.
(GPC conditions)
Equipment used: Hitachi L-6000 type (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name)
Detector: L-3300RI (trade name, manufactured by Hitachi, Ltd.)
Column: Gel pack GL-R420 + Gel pack GL-R430 + Gel pack GL-R440 (3 in total) (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: 40 ° C
Flow rate: 1.75 ml / min

(導電粒子)
本実施形態の回路接続材料1は、導電粒子として、所定の物質を含む最外層に覆われた第1の導電粒子12aと、Auを含む最外層に覆われた第2の導電粒子12bとを含有する。
(Conductive particles)
The circuit connection material 1 of the present embodiment includes, as conductive particles, first conductive particles 12a covered with an outermost layer containing a predetermined substance, and second conductive particles 12b covered with an outermost layer containing Au. contains.

まず、第1の導電粒子12aの構成について図2を用いて詳細に説明する。図2は、本発明の一実施形態に係る回路接続材料に含まれる導電粒子を示す模式断面図である。   First, the configuration of the first conductive particles 12a will be described in detail with reference to FIG. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing conductive particles contained in a circuit connection material according to an embodiment of the present invention.

図2(a)に示すように、導電粒子12aは、核体21と、核体21の表面上に形成される金属層(最外層)22とを有する。核体21は、中核部21aと、中核部21aの表面上に形成される突起部21bとを有している。金属層22は、表面に複数の突起部14を有している。金属層22は、核体21を覆っており、突起部21bに対応する位置で突出し、その突出している部分が突起部14となっている。   As shown in FIG. 2A, the conductive particle 12 a includes a nucleus body 21 and a metal layer (outermost layer) 22 formed on the surface of the nucleus body 21. The core body 21 has a core portion 21a and a protrusion 21b formed on the surface of the core portion 21a. The metal layer 22 has a plurality of protrusions 14 on the surface. The metal layer 22 covers the core body 21 and protrudes at a position corresponding to the protruding portion 21 b, and the protruding portion is the protruding portion 14.

核体21は、有機高分子化合物からなることが好ましい。この場合、核体21は、金属からなる核体に比べてコストが低い上、熱膨張率や圧着接合時の寸法変化に対して弾性変形範囲が広いため、回路接続材料に好適に用いられる。   The nucleus 21 is preferably made of an organic polymer compound. In this case, the core body 21 is preferably used as a circuit connection material because it has a lower cost than a core body made of metal and has a wide elastic deformation range with respect to a coefficient of thermal expansion and a dimensional change during pressure bonding.

核体21の中核部21aを構成する有機高分子化合物としては、例えばアクリル樹脂、スチレン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリブタジエン樹脂又はこれらの共重合体が挙げられ、これらを架橋したものを使用してもよい。核体21の突起部21bを構成する有機高分子化合物としては、中核部21aを構成する有機高分子化合物と同一であっても異なっていてもよい。   Examples of the organic polymer compound constituting the core portion 21a of the core body 21 include acrylic resin, styrene resin, benzoguanamine resin, silicone resin, polybutadiene resin, or a copolymer thereof. May be. The organic polymer compound constituting the protruding portion 21b of the core body 21 may be the same as or different from the organic polymer compound constituting the core portion 21a.

核体21の中核部21aの平均粒径は、1〜10μmであることが好ましく、2〜8μmであることがより好ましく、3〜5μmであることが更に好ましい。平均粒径が1μm未満であると粒子の二次凝集が生じ、隣接する回路との絶縁性が不十分となる傾向がある。他方、平均粒径が10μmを越えると、その大きさに起因して隣接する回路との絶縁性が不十分となる傾向がある。   The average particle size of the core portion 21a of the core 21 is preferably 1 to 10 μm, more preferably 2 to 8 μm, and still more preferably 3 to 5 μm. When the average particle size is less than 1 μm, secondary aggregation of the particles occurs, and the insulation with an adjacent circuit tends to be insufficient. On the other hand, if the average particle diameter exceeds 10 μm, the insulation with an adjacent circuit tends to be insufficient due to the size.

核体21は、中核部21aの表面に中核部21aよりも小さな径を有する突起部21bを複数個吸着させることにより形成することができる。突起部21bを中核部21aの表面に吸着させる方法としては、例えば、中核部21a及び突起部21bの双方もしくは一方の粒子をシラン、アルミニウム、チタン等の各種カップリング剤及び接着剤の希釈溶液で表面処理した後、両者を混合し付着させる方法が挙げられる。なお、突起部21bの平均粒径は50〜500nmであることが好ましい。   The core 21 can be formed by adsorbing a plurality of protrusions 21b having a smaller diameter than the core 21a on the surface of the core 21a. As a method for adsorbing the protrusion 21b on the surface of the core 21a, for example, the core 21a and the protrusion 21b or both particles may be diluted with various coupling agents such as silane, aluminum, titanium, and an adhesive. After surface treatment, the method of mixing and adhering both is mentioned. In addition, it is preferable that the average particle diameter of the protrusion part 21b is 50-500 nm.

金属層22は、Ni、Pd、Rh等のビッカース硬度が300Hv以上の金属を含む。Niとしては、純Ni、Ni合金及びNi酸化物からなる群より選ばれる少なくとも1種が挙げられ、これらの中でも純Niが好ましい。同様に、Pdとしては純Pdが好ましい。Ni合金としては、例えば、Ni−B、Ni−W、Ni−B、Ni−W−Co、Ni−Fe及びNi−Crが挙げられる。Ni酸化物としては、例えば、NiO等が挙げられる。金属層22は、単一の金属の層からなるものであってもよく、複数の金属の層からなるものであってもよい。なお、ビッカース硬度は、例えば、ジャパンハイテック社製の「Maicroharadness Tester MHT−4(商品名)」を用いて、負荷荷重20kgf、負荷速度20kgf/秒、保持時間5秒の条件で測定することができる。   The metal layer 22 includes a metal having a Vickers hardness of 300 Hv or more, such as Ni, Pd, and Rh. Examples of Ni include at least one selected from the group consisting of pure Ni, Ni alloys, and Ni oxides. Among these, pure Ni is preferable. Similarly, pure Pd is preferable as Pd. Examples of the Ni alloy include Ni-B, Ni-W, Ni-B, Ni-W-Co, Ni-Fe, and Ni-Cr. Examples of the Ni oxide include NiO. The metal layer 22 may be composed of a single metal layer or may be composed of a plurality of metal layers. The Vickers hardness can be measured using, for example, “Maicroharadness Tester MHT-4 (trade name)” manufactured by Japan High-Tech, under the conditions of a load load of 20 kgf, a load speed of 20 kgf / second, and a holding time of 5 seconds. .

金属層22は、これらの金属を核体21に対して無電解めっき法を用いてめっきすることにより形成することができる。無電解めっき法は、大きくバッチ方式と連続滴下方式とに分けられるが、いずれの方式を用いても金属層22を形成することができる。   The metal layer 22 can be formed by plating these metals on the core 21 using an electroless plating method. The electroless plating method is roughly divided into a batch method and a continuous dropping method, and the metal layer 22 can be formed by using any method.

金属層22の厚さ(めっきの厚さ)は、50〜170nmが好ましく、50〜150nmがより好ましい。金属層22の厚さをこのような範囲とすることで、回路電極32,42間の接続抵抗をより一層低減させることができる。金属層22の厚さが50nm未満ではめっきの欠損等が発生する傾向があり、170nmを超えると導電粒子間で凝結が発生して隣接する回路電極間で短絡が生じる傾向がある。   50-170 nm is preferable and, as for the thickness (thickness of plating) of the metal layer 22, 50-150 nm is more preferable. By setting the thickness of the metal layer 22 in such a range, the connection resistance between the circuit electrodes 32 and 42 can be further reduced. If the thickness of the metal layer 22 is less than 50 nm, plating defects tend to occur, and if it exceeds 170 nm, condensation occurs between the conductive particles and a short circuit tends to occur between adjacent circuit electrodes.

なお、導電粒子12aは、部分的に核体21が露出している場合がある。この場合、接続信頼性の観点から、核体21の表面積に対する金属層22の被覆率は70%以上であることが好ましく、80%以上であることがより好ましく、90%以上であることが更に好ましい。   Note that the core 21 may be partially exposed from the conductive particles 12a. In this case, from the viewpoint of connection reliability, the coverage of the metal layer 22 with respect to the surface area of the core 21 is preferably 70% or more, more preferably 80% or more, and further preferably 90% or more. preferable.

導電粒子12aの突起部14の高さ(H)は50〜500nmであることが好ましく、75〜300nmであることがより好ましい。突起部14の高さ(H)が50nm未満であると、高温高湿処理後に接続抵抗が高くなる傾向があり、500nmを超えると、導電粒子と回路電極との接触面積が小さくなるため接続抵抗が高くなる傾向がある。   The height (H) of the protrusion 14 of the conductive particle 12a is preferably 50 to 500 nm, and more preferably 75 to 300 nm. If the height (H) of the protrusion 14 is less than 50 nm, the connection resistance tends to increase after the high-temperature and high-humidity treatment. If the height (H) exceeds 500 nm, the contact area between the conductive particles and the circuit electrode becomes small, so the connection resistance Tend to be higher.

隣接する突起部14間の距離(S)は1000nm以下であることが好ましく、500nm以下であることがより好ましい。また、隣接する突起部14間の距離(S)は、後述する導電粒子12aと回路電極32,42との間に接着剤成分11aの硬化体11bが入り込まず、十分に導電粒子12aと回路電極32,42とを接触させるためには、少なくとも50nm以上であることが好ましい。なお、突起部14の高さ(H)及び隣接する突起部14間の距離(S)は、電子顕微鏡により測定することができる。   The distance (S) between the adjacent protrusions 14 is preferably 1000 nm or less, and more preferably 500 nm or less. Further, the distance (S) between the adjacent protrusions 14 is sufficient that the cured body 11b of the adhesive component 11a does not enter between the conductive particles 12a and the circuit electrodes 32 and 42, which will be described later, and the conductive particles 12a and the circuit electrodes sufficiently. In order to make 32 and 42 contact, it is preferable that it is at least 50 nm or more. In addition, the height (H) of the protrusion part 14 and the distance (S) between the adjacent protrusion parts 14 can be measured with an electron microscope.

なお、導電粒子12aは、図2(b)に示すように、核体21が中核部21aのみで構成されていてもよい。言い換えると、図2(a)に示す核体21において突起部21bが設けられていなくてもよい。図2(b)に示す導電粒子12aは、中核部21aの表面を金属めっきし、中核部21aの表面上に突起部14を有する金属層22を形成することにより得ることができる。   In addition, as shown in FIG.2 (b), as for the electrically-conductive particle 12a, the nucleus 21 may be comprised only by the core part 21a. In other words, the protrusion 21b may not be provided in the core body 21 shown in FIG. The conductive particles 12a shown in FIG. 2B can be obtained by metal-plating the surface of the core 21a and forming the metal layer 22 having the protrusions 14 on the surface of the core 21a.

突起部14を形成させるためのめっき方法について説明する。突起部14は、金属めっきの際、めっき条件を途中で変更して、金属層22の厚さを部分的に変化させることで形成することができる。例えば、突起部14は、最初に使用しためっき液よりも濃度の高いめっき液をめっき反応の途中で追加し、めっき液の濃度を不均一にすることにより形成することができる。   A plating method for forming the protrusion 14 will be described. The protrusion 14 can be formed by changing the plating conditions in the middle of metal plating and partially changing the thickness of the metal layer 22. For example, the protrusion 14 can be formed by adding a plating solution having a higher concentration than the plating solution used first in the course of the plating reaction and making the concentration of the plating solution non-uniform.

導電粒子12aの含有量は、接着剤成分100体積部に対して0.1〜30体積部が好ましく、用途に応じて適宜調整される。また、導電粒子12aの含有量は、導電粒子12aによる隣接する回路同士の短絡等を一層十分に抑制する観点から、接着剤成分100体積部に対して0.1〜10体積部がより好ましい。   The content of the conductive particles 12a is preferably 0.1 to 30 parts by volume with respect to 100 parts by volume of the adhesive component, and is appropriately adjusted according to the application. In addition, the content of the conductive particles 12a is more preferably 0.1 to 10 parts by volume with respect to 100 parts by volume of the adhesive component from the viewpoint of more sufficiently suppressing short circuit between adjacent circuits due to the conductive particles 12a.

回路電極32,42間の導通を一層確実にする観点から、導電粒子12aの10%圧縮弾性率(K値)は、100〜1000kgf/mmであることが好ましい。ここで、10%圧縮弾性率(K値)とは、導電粒子12aを10%圧縮変形させた際の弾性率をいい、例えば株式会社フィッシャーインストルメンツ製H−100微小硬度計により測定することができる。 From the viewpoint of further ensuring the conduction between the circuit electrodes 32 and 42, the 10% compression elastic modulus (K value) of the conductive particles 12a is preferably 100 to 1000 kgf / mm 2 . Here, the 10% compression modulus (K value) refers to the modulus of elasticity when the conductive particles 12a are 10% compressed and deformed, and can be measured by, for example, an H-100 microhardness meter manufactured by Fisher Instruments Inc. it can.

また、導電粒子12aは、非導電性のガラス、セラミック、プラスチック等の絶縁粒子を、Ni等を含む金属層22で被覆したものであってもよい。金属層22がNiを含み核体21がプラスチックである場合や、又は導電粒子12aが熱溶融金属粒子の場合には、加熱加圧により変形性を有し、接続時に導電粒子12aと電極との接触面積が増加し接続信頼性が向上するので好ましい。   In addition, the conductive particles 12a may be formed by coating insulating particles such as non-conductive glass, ceramic, and plastic with a metal layer 22 containing Ni or the like. When the metal layer 22 contains Ni and the core 21 is plastic, or when the conductive particles 12a are hot-melt metal particles, the metal layer 22 is deformable by heating and pressurization, and the conductive particles 12a and the electrodes are connected at the time of connection. This is preferable because the contact area is increased and the connection reliability is improved.

次に、第2の導電粒子12bについて説明する。導電粒子12bは、図2(c)に示すように、中核部21aと、中核部21aの表面上に形成される金属層(最外層)23とを有する。導電粒子12bは、突起部14を有していない点、及び、金属層23がAuを含む点で導電粒子12aと相違している。なお、導電粒子12bは、導電粒子12aと同様に金属層23の表面に突起部を有していてもよい。   Next, the second conductive particles 12b will be described. As shown in FIG. 2C, the conductive particle 12b includes a core portion 21a and a metal layer (outermost layer) 23 formed on the surface of the core portion 21a. The conductive particle 12b is different from the conductive particle 12a in that the conductive particle 12b does not have the protrusion 14 and the metal layer 23 contains Au. Note that the conductive particles 12b may have protrusions on the surface of the metal layer 23 in the same manner as the conductive particles 12a.

導電粒子12bについて、含有量及び圧縮弾性率、中核部21aの材質及び平均粒径、並びに、金属層23の厚さ及び被覆率等の好適な範囲は、導電粒子12aと同様である。   Regarding the conductive particles 12b, the preferred range of the content and compression modulus, the material and average particle diameter of the core 21a, the thickness and coverage of the metal layer 23, and the like are the same as those of the conductive particles 12a.

導電粒子12a及び導電粒子12bの少なくとも一方の平均粒径は、接続する回路電極の高さより低くすることにより隣接電極間の短絡を抑制できる観点から、1〜10μmが好ましく、2〜8μmがより好ましく、3〜5μmが更に好ましい。また、導電粒子12a及び導電粒子12bの両方の平均粒径が上記範囲であることが好ましい。なお、導電粒子12aの「平均粒径」とは、突起部14の高さ(H)は考慮せず、核体21と金属層22の突起部14が形成されていない部分とを考慮して算出される粒径を意味するものとする。   The average particle diameter of at least one of the conductive particles 12a and the conductive particles 12b is preferably 1 to 10 μm, more preferably 2 to 8 μm, from the viewpoint that the short circuit between adjacent electrodes can be suppressed by making it lower than the height of the circuit electrode to be connected. 3 to 5 μm is more preferable. Moreover, it is preferable that the average particle diameter of both the electroconductive particle 12a and the electroconductive particle 12b is the said range. Note that the “average particle diameter” of the conductive particles 12a does not consider the height (H) of the protrusions 14 but considers the core 21 and the portion of the metal layer 22 where the protrusions 14 are not formed. It shall mean the calculated particle size.

導電粒子12a,12bの平均粒径は、以下のようにして測定できる。示差走査型電子顕微鏡(SEM:例えば、HITACHI製、S800)で3000倍に拡大された導電粒子の粒子像から50個の粒子を任意に選択する。拡大された粒子像を用いて、選択した複数の粒子それぞれについて最大径と最小径とを測定する。そして、それぞれの粒子の最大径及び最小径の積の平方根をその粒子の粒径とする。任意に選択した導電粒子50個について上記のようにして各々粒径を測定し、測定した粒子個数で粒径の和を除した値を平均粒径とする。   The average particle diameter of the conductive particles 12a and 12b can be measured as follows. 50 particles are arbitrarily selected from the particle image of the conductive particles magnified 3000 times with a differential scanning electron microscope (SEM: for example, S800, manufactured by HITACHI). Using the enlarged particle image, the maximum diameter and the minimum diameter are measured for each of the selected plurality of particles. The square root of the product of the maximum diameter and the minimum diameter of each particle is defined as the particle diameter of the particle. The particle diameter of each of 50 arbitrarily selected conductive particles is measured as described above, and the value obtained by dividing the sum of the particle diameters by the measured number of particles is taken as the average particle diameter.

回路接続材料1における単位体積あたりの導電粒子12aの数(A)に対する導電粒子12bの数(B)の個数比(B)/(A)は、0.4〜3であり、0.45〜2.5が好ましく、0.5〜2.0がより好ましい。上記個数比(B/A)が0.4未満であると、IZO等の高抵抗基板での抵抗値が高くなる傾向があり、3を超えると、ポットライフが低下する傾向がある。   The number ratio (B) / (A) of the number (B) of the conductive particles 12b to the number (A) of the conductive particles 12a per unit volume in the circuit connecting material 1 is 0.4 to 3, and 0.45 to 2.5 is preferable, and 0.5 to 2.0 is more preferable. When the number ratio (B / A) is less than 0.4, the resistance value of a high-resistance substrate such as IZO tends to increase, and when it exceeds 3, the pot life tends to decrease.

回路接続材料1における導電粒子12a,12bの個数比(B/A)は、接着剤成分を溶解可能な溶剤に回路接続材料1を溶解し、得られた不溶成分から余分な溶剤等を除去した後、示差走査顕微鏡を用いて残存物中の導電粒子を任意に100個以上観察し、導電粒子12a,12bの個数をそれぞれ測定することで算出することができる。接着剤成分を溶解可能な溶剤としては、特に限定されるものではないが、例えばMEK(メチルエチルケトン)やトルエンが挙げられる。   The number ratio (B / A) of the conductive particles 12a and 12b in the circuit connection material 1 was obtained by dissolving the circuit connection material 1 in a solvent capable of dissolving the adhesive component and removing excess solvent and the like from the obtained insoluble component. Thereafter, it can be calculated by observing arbitrarily 100 or more conductive particles in the residue using a differential scanning microscope and measuring the number of conductive particles 12a and 12b, respectively. Although it does not specifically limit as a solvent which can melt | dissolve an adhesive agent component, For example, MEK (methyl ethyl ketone) and toluene are mentioned.

回路接続材料1における導電粒子12aの含有量(a)に対する導電粒子12bの含有量(b)の比(b)/(a)は、体積比で0.4〜3が好ましく、0.45〜2.5がより好ましく、0.5〜2.0が更に好ましい。上記比(b/a)が0.4未満であると、IZO等の高抵抗基板での抵抗値が高くなる傾向があり、3を超えると、ポットライフが低下する傾向がある。   The ratio (b) / (a) of the content (b) of the conductive particles 12b to the content (a) of the conductive particles 12a in the circuit connection material 1 is preferably 0.4 to 3, and preferably 0.45 to 0.45. 2.5 is more preferable, and 0.5 to 2.0 is still more preferable. When the ratio (b / a) is less than 0.4, the resistance value of a high-resistance substrate such as IZO tends to increase, and when it exceeds 3, the pot life tends to decrease.

回路接続材料1における導電粒子12a,12bの比(b/a)は、回路接続材料1の単位体積あたりの導電粒子の個数と導電粒子の平均粒径とから体積比に換算することで算出することができる。なお、導電粒子の「体積」とは、導電粒子全体に対する突起部の体積が占める割合は微小であるため、導電粒子の比(b/a)の算出において突起部の体積は考慮しないものとする。   The ratio (b / a) of the conductive particles 12a and 12b in the circuit connecting material 1 is calculated by converting the volume ratio from the number of conductive particles per unit volume of the circuit connecting material 1 and the average particle diameter of the conductive particles. be able to. Note that the “volume” of the conductive particles is such that the ratio of the volume of the protrusions to the entire conductive particles is very small, so the volume of the protrusions is not considered in the calculation of the ratio (b / a) of the conductive particles. .

更に、本実施形態の回路接続材料1は、ゴム微粒子、充填材、軟化剤、促進剤、老化防止剤、着色剤、難燃化剤、チキソトロピック剤、カップリング剤、フェノール樹脂、メラミン樹脂、イソシアネート類等を含有することもできる。   Furthermore, the circuit connection material 1 of the present embodiment includes rubber fine particles, fillers, softeners, accelerators, anti-aging agents, colorants, flame retardants, thixotropic agents, coupling agents, phenol resins, melamine resins, Isocyanates can also be contained.

ゴム微粒子としては、粒子の平均粒径が、配合する導電粒子12a,12bの平均粒径の2倍以下であり、かつ室温(25℃)での貯蔵弾性率が導電粒子12a,12b及び接着剤成分11aの室温での貯蔵弾性率の1/2以下であるものが好ましい。特に、ゴム微粒子の材質がシリコーン、アクリルエマルジョン、SBR、NBR、ポリブタジエンゴムである場合、1種を単独で又は2種以上を混合して用いることが好適である。3次元架橋したこれらゴム微粒子は、耐溶剤性が優れており、接着剤成分11a中に容易に分散される。   As the rubber fine particles, the average particle size of the particles is not more than twice the average particle size of the conductive particles 12a and 12b to be blended, and the storage elastic modulus at room temperature (25 ° C.) is the conductive particles 12a and 12b and the adhesive. What is 1/2 or less of the storage elastic modulus of the component 11a at room temperature is preferable. In particular, when the material of the rubber fine particles is silicone, acrylic emulsion, SBR, NBR, or polybutadiene rubber, it is preferable to use one kind alone or a mixture of two or more kinds. These three-dimensionally crosslinked rubber fine particles have excellent solvent resistance and are easily dispersed in the adhesive component 11a.

充填材を含有した場合、接続信頼性等が向上するため好ましい。充填材の最大径は、導電粒子12a,12bの平均粒径未満であることが好ましい。充填材の含有量は、回路接続材料全体に対して5〜60体積%の範囲が好ましい。含有量が60体積%を越えると、信頼性向上の効果が飽和する傾向がある。   The inclusion of a filler is preferable because connection reliability and the like are improved. The maximum diameter of the filler is preferably less than the average particle diameter of the conductive particles 12a and 12b. The content of the filler is preferably in the range of 5 to 60% by volume with respect to the entire circuit connecting material. When the content exceeds 60% by volume, the effect of improving reliability tends to be saturated.

カップリング剤としては、ビニル基、アクリル基、アミノ基、エポキシ基及びイソシアネート基からなる群より選ばれる1種以上の基を含有する化合物が、接着性の向上の点から好ましい。   As the coupling agent, a compound containing one or more groups selected from the group consisting of a vinyl group, an acrylic group, an amino group, an epoxy group, and an isocyanate group is preferable from the viewpoint of improving adhesiveness.

本実施形態の回路接続材料1は、反応性樹脂を含有する層と潜在性硬化剤を含有する層とに分離した場合や、遊離ラジカルを発生する硬化剤を含有する層(絶縁層)と導電粒子を含有する層とに分離した場合、従来の高精細化の効果に加えて、ポットライフの更なる向上効果が得られる。   The circuit connecting material 1 of the present embodiment is electrically conductive when separated into a layer containing a reactive resin and a layer containing a latent curing agent, or a layer (insulating layer) containing a curing agent that generates free radicals. When separated into a layer containing particles, in addition to the conventional high-definition effect, a further improvement effect of pot life can be obtained.

なお、上記導電粒子12a,12bの個数比(B/A)及び体積比(b/a)の算出において、導電粒子を含む層と導電粒子を含まない層とを回路接続材料1が有する場合には、導電粒子12a,12bの個数比及び体積比は、導電粒子を含む層における値を意味するものとする。   In the calculation of the number ratio (B / A) and volume ratio (b / a) of the conductive particles 12a and 12b, when the circuit connecting material 1 has a layer containing conductive particles and a layer not containing conductive particles. The number ratio and volume ratio of the conductive particles 12a and 12b mean values in a layer including the conductive particles.

本実施形態の回路接続材料1は、接続時に接着剤が溶融流動し相対向する回路電極を接続した後、硬化して接続を保持するものであり、接着剤の流動性は重要な因子である。厚さ0.7mm、15mm×15mmのガラス板に、厚さ35μm、5mm×5mmの回路接続材料1を挟み、170℃、2MPa、10秒の条件で加熱加圧を行った場合、初期の面積(A)と加熱加圧後の面積(B)とを用いて表される流動性(B)/(A)の値は1.3〜3.0であることが好ましく、1.5〜2.5であることがより好ましい。(B)/(A)が1.3未満では流動性が悪く、良好な接続が得られない傾向があり、3.0を超える場合は、気泡が発生しやすく信頼性に劣る傾向がある。   In the circuit connection material 1 of the present embodiment, the adhesive melts and flows at the time of connection, and the circuit electrodes facing each other are connected and then cured to maintain the connection. The fluidity of the adhesive is an important factor. . When the circuit connection material 1 having a thickness of 35 μm and 5 mm × 5 mm is sandwiched between a glass plate having a thickness of 0.7 mm and 15 mm × 15 mm, and heating and pressing are performed under conditions of 170 ° C., 2 MPa, 10 seconds, the initial area The value of fluidity (B) / (A) expressed using (A) and the area (B) after heating and pressing is preferably 1.3 to 3.0, and preferably 1.5 to 2 .5 is more preferable. When (B) / (A) is less than 1.3, the fluidity is poor and there is a tendency that good connection cannot be obtained. When it exceeds 3.0, bubbles tend to be generated and the reliability tends to be poor.

本実施形態の回路接続材料1の硬化後の40℃での弾性率は100〜3000MPaが好ましく、500〜2000MPaがより好ましい。   100-3000 MPa is preferable and, as for the elasticity modulus in 40 degreeC after hardening of the circuit connection material 1 of this embodiment, 500-2000 MPa is more preferable.

<回路接続構造体>
図3は、本発明の一実施形態に係る回路接続構造体を示す模式断面図である。本実施形態の回路接続構造体100は、相互に対向する回路部材(第1の回路部材)30及び回路部材(第2の回路部材)40と、回路部材30及び回路部材40の間に介在し、これらを接続する回路接続部材10とを備えている。
<Circuit connection structure>
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a circuit connection structure according to an embodiment of the present invention. The circuit connection structure 100 of the present embodiment is interposed between the circuit member (first circuit member) 30 and the circuit member (second circuit member) 40 facing each other, and the circuit member 30 and the circuit member 40. And a circuit connecting member 10 for connecting them.

回路部材30は、回路基板(第1の回路基板)31と、回路基板31の主面31a上に形成される回路電極(第1の回路電極)32とを備えている。回路部材40は、回路基板(第2の回路基板)41と、回路基板41の主面41a上に形成される回路電極(第2の回路電極)42とを備えている。   The circuit member 30 includes a circuit board (first circuit board) 31 and a circuit electrode (first circuit electrode) 32 formed on the main surface 31 a of the circuit board 31. The circuit member 40 includes a circuit board (second circuit board) 41 and a circuit electrode (second circuit electrode) 42 formed on the main surface 41 a of the circuit board 41.

回路基板31,41の材質は特に制限されないが、通常は有機絶縁性物質、ガラス又はシリコンである。   The material of the circuit boards 31 and 41 is not particularly limited, but is usually an organic insulating material, glass or silicon.

回路電極32,42の材質としては、Au、Ag、Sn、Pt族の金属、ITO、IZO、Al、Crが挙げられる。回路電極32,42の少なくとも一方は、電気的接続が顕著に良好となる観点から、ITO及びIZOの少なくとも一方を含むことが好ましい。また、回路電極32,42は、全体が上記材質で構成されていてもよいし、最外層のみが上記材質で構成されていてもよい。   Examples of the material of the circuit electrodes 32 and 42 include Au, Ag, Sn, and Pt group metals, ITO, IZO, Al, and Cr. At least one of the circuit electrodes 32 and 42 preferably includes at least one of ITO and IZO from the viewpoint that the electrical connection is remarkably improved. Further, the circuit electrodes 32 and 42 may be entirely made of the above material, or only the outermost layer may be made of the above material.

回路電極32、42の表面は平坦になっていることが好ましい。なお、本明細書において「回路電極の表面が平坦」とは、回路電極の表面の凹凸が20nm以下であることをいう。   The surfaces of the circuit electrodes 32 and 42 are preferably flat. In the present specification, “the surface of the circuit electrode is flat” means that the unevenness of the surface of the circuit electrode is 20 nm or less.

回路電極32,42の厚さを50nm未満にすると、回路部材30及び回路部材40間で回路接続材料1を加圧するに際し、回路接続材料1中の導電粒子12aの表面側にある突起部14が回路電極32,42を貫通し回路基板31,41と接触する場合がある。そのため、回路電極32,42の厚さを50nm以上とすることにより、回路電極32,42と導電粒子12aとの接触面積が増加し、接続抵抗がより低下することとなる。また、回路電極32,42の厚さは、製造コスト等の点から、1000nm以下が好ましく、500nm以下がより好ましい。   When the thickness of the circuit electrodes 32 and 42 is less than 50 nm, when the circuit connecting material 1 is pressed between the circuit member 30 and the circuit member 40, the protrusions 14 on the surface side of the conductive particles 12a in the circuit connecting material 1 are formed. In some cases, the circuit electrodes 32 and 42 may be penetrated and contacted with the circuit boards 31 and 41. Therefore, by setting the thickness of the circuit electrodes 32 and 42 to 50 nm or more, the contact area between the circuit electrodes 32 and 42 and the conductive particles 12a is increased, and the connection resistance is further reduced. In addition, the thickness of the circuit electrodes 32 and 42 is preferably 1000 nm or less, and more preferably 500 nm or less from the viewpoint of manufacturing cost.

また、回路部材30において、回路電極32及び回路基板31の間に絶縁層が更に設けられてもよいし、回路部材40において、回路電極42及び回路基板41の間に絶縁層が更に設けられていてもよい。絶縁層の材質は、絶縁材料で構成されていれば特に制限されないが、通常は有機絶縁性物質、二酸化珪素又は窒化珪素である。   In the circuit member 30, an insulating layer may be further provided between the circuit electrode 32 and the circuit board 31. In the circuit member 40, an insulating layer is further provided between the circuit electrode 42 and the circuit board 41. May be. The material of the insulating layer is not particularly limited as long as it is made of an insulating material, but is usually an organic insulating material, silicon dioxide or silicon nitride.

第1の回路部材30及び第2の回路部材40の具体例としては、半導体チップ、抵抗体チップ、コンデンサチップ等のチップ部品、プリント基板等の基板が挙げられる。これらの回路部材30,40には通常、回路電極(接続端子)32,42が多数(場合によっては単数でもよい)設けられている。   Specific examples of the first circuit member 30 and the second circuit member 40 include chip components such as a semiconductor chip, a resistor chip, and a capacitor chip, and a substrate such as a printed circuit board. These circuit members 30 and 40 are usually provided with a large number of circuit electrodes (connection terminals) 32 and 42 (in some cases, the number may be one).

回路接続部材10は、上記回路接続材料1を硬化処理することによって得られるものであり、上記接着剤成分11aを硬化してなる硬化体11bと、上記導電粒子12a,12bとを含む。   The circuit connection member 10 is obtained by curing the circuit connection material 1, and includes a cured body 11b obtained by curing the adhesive component 11a and the conductive particles 12a and 12b.

回路接続構造体100において、対向する回路電極32と回路電極42とは、第1の導電粒子12a及び第2の導電粒子12bを介して電気的に接続されている。即ち、導電粒子12a,12bが、回路電極32,42の双方に直接接触している。具体的には、導電粒子12aの突起部14が、硬化体11bを貫通して回路電極32,42に接触しており、導電粒子12bの表面が回路電極32,42に接触している。このため、回路電極32,42間の接続抵抗が十分に低減され、回路電極32,42間の良好な電気的接続が可能となる。従って、回路電極32,42間の電流の流れを円滑にすることができ、回路の持つ機能を十分に発揮することができる。なお、導電粒子12a,12bに押圧されることにより、回路電極32及び回路電極42の表面には、例えば、高さT1,T2の段差が形成されている。   In the circuit connection structure 100, the circuit electrode 32 and the circuit electrode 42 facing each other are electrically connected via the first conductive particles 12a and the second conductive particles 12b. That is, the conductive particles 12 a and 12 b are in direct contact with both the circuit electrodes 32 and 42. Specifically, the protrusions 14 of the conductive particles 12a pass through the cured body 11b and are in contact with the circuit electrodes 32 and 42, and the surfaces of the conductive particles 12b are in contact with the circuit electrodes 32 and 42. For this reason, the connection resistance between the circuit electrodes 32 and 42 is sufficiently reduced, and a good electrical connection between the circuit electrodes 32 and 42 becomes possible. Therefore, the flow of current between the circuit electrodes 32 and 42 can be made smooth, and the functions of the circuit can be fully exhibited. Note that, by being pressed by the conductive particles 12a and 12b, steps of heights T1 and T2 are formed on the surfaces of the circuit electrode 32 and the circuit electrode 42, for example.

導電粒子12aの複数の突起部14の一部は、回路電極32又は回路電極42に食い込んでいることが好ましい。この場合、導電粒子12aの突起部14と回路電極32,42との接触面積がより増加し、接続抵抗をより低減させることができる。   It is preferable that some of the plurality of protruding portions 14 of the conductive particles 12a bite into the circuit electrode 32 or the circuit electrode 42. In this case, the contact area between the projecting portion 14 of the conductive particle 12a and the circuit electrodes 32 and 42 is further increased, and the connection resistance can be further reduced.

(回路接続構造体の製造方法)
本実施形態の回路接続材料1は、ICチップと基板との接着や、電気回路相互の接着用のフィルム状接着剤としても有用である。第1の回路電極(接続端子)を有する第1の回路部材と、第2の回路電極(接続端子)を有する第2の回路部材とを、第1の回路電極及び第2の回路電極が対向した状態で配置して、第1の回路電極と第2の回路電極との間に本実施形態の回路接続材料1を介在して加熱加圧することにより、第1の回路電極及び第2の回路電極が電気的に接続させて、回路接続構造体100を構成することができる。
(Method for manufacturing circuit connection structure)
The circuit connection material 1 of the present embodiment is also useful as a film adhesive for bonding an IC chip and a substrate or bonding electric circuits to each other. The first circuit electrode and the second circuit electrode are opposed to the first circuit member having the first circuit electrode (connection terminal) and the second circuit member having the second circuit electrode (connection terminal). The first circuit electrode and the second circuit are arranged in such a state that the circuit connection material 1 of the present embodiment is interposed between the first circuit electrode and the second circuit electrode and heated and pressurized. The circuit connection structure 100 can be configured by electrically connecting the electrodes.

本実施形態で用いる回路電極の接続方法は、熱又は光による硬化性を有する回路接続材料1を、表面が金、銀、錫及び白金属から選ばれる金属を含む一方の電極回路上に形成した後、もう一方の回路電極を位置合わせし加熱、加圧することで、回路電極同士を接続することができる。   In the circuit electrode connection method used in the present embodiment, the circuit connection material 1 having heat or light curability is formed on one electrode circuit containing a metal whose surface is selected from gold, silver, tin and white metal. Thereafter, the circuit electrodes can be connected to each other by aligning the other circuit electrode and heating and pressurizing.

本実施形態の回路接続構造体100としては、例えば、半導体チップ、抵抗体チップ、コンデンサチップ等のチップ部品、プリント基板等の基板等が挙げられる。これらの回路接続構造体100には回路電極(接続端子)が通常は多数(場合によっては単数でもよい)設けられており、回路接続構造体100の少なくとも1組をそれらの回路接続構造体100に設けられた接続端子の少なくとも一部を対向配置し、対向配置した回路電極間に接着剤を介在させ、加熱加圧して対向配置した回路電極同士を電気的に接続して回路板とする。回路接続構造体100の少なくとも1組を加熱加圧することにより、対向配置した回路電極同士は、直接接触により又は異方導電性接着剤(回路接続材料)の導電粒子を介して電気的に接続することができる。   Examples of the circuit connection structure 100 according to the present embodiment include chip components such as semiconductor chips, resistor chips, and capacitor chips, and substrates such as printed boards. These circuit connection structures 100 are usually provided with a large number of circuit electrodes (connection terminals) (may be a single terminal in some cases), and at least one set of the circuit connection structures 100 is attached to the circuit connection structures 100. At least a part of the provided connection terminals is arranged to face each other, an adhesive is interposed between the arranged circuit electrodes, and the circuit electrodes arranged to face each other by heating and pressing are electrically connected to form a circuit board. By heating and pressing at least one set of the circuit connection structure 100, the circuit electrodes arranged opposite to each other are electrically connected by direct contact or through conductive particles of an anisotropic conductive adhesive (circuit connection material). be able to.

次に、図4を用いて、本実施形態の回路接続構造体70の製造方法について具体的に説明する。図4は、本発明の一実施形態に係る回路接続構造体の製造方法を模式的に示す工程断面図である。図4(a)は、回路部材同士を接続する前の状態を示しており、図4(b)は回路部材同士を接続する際の状態を示しており、図4(c)は回路部材同士を接続した後の回路接続構造体を示している。   Next, the manufacturing method of the circuit connection structure 70 of the present embodiment will be specifically described with reference to FIG. FIG. 4 is a process cross-sectional view schematically showing a method for manufacturing a circuit connection structure according to an embodiment of the present invention. FIG. 4A shows a state before the circuit members are connected to each other, FIG. 4B shows a state when the circuit members are connected to each other, and FIG. The circuit connection structure after connecting is shown.

まず、図4(a)に示すように、主面上に回路電極72及び液晶表示部74を有するLCDパネル73を用意する。次に、フィルム状の回路接続材料61を回路電極72上に接着して載置する。そして、COF等の回路電極76が設けられた回路基板75を、回路電極72と回路電極76とが回路接続材料61を介して互いに対向するように位置合わせする。なお、回路電極72及び回路電極76は、例えば複数の電極が並んだ構造を有している。   First, as shown in FIG. 4A, an LCD panel 73 having a circuit electrode 72 and a liquid crystal display 74 on the main surface is prepared. Next, the film-like circuit connecting material 61 is adhered and placed on the circuit electrode 72. Then, the circuit board 75 provided with the circuit electrode 76 such as COF is aligned so that the circuit electrode 72 and the circuit electrode 76 face each other with the circuit connection material 61 therebetween. The circuit electrode 72 and the circuit electrode 76 have, for example, a structure in which a plurality of electrodes are arranged.

次に、図4(b)に示すように、LCDパネル73と回路基板75とを位置あわせをしながら、回路電極72と回路電極76とが回路接続材料61を介して互いに対向するように、回路接続材料61上に回路基板75を載置する。これにより、回路電極72と回路電極76とが回路接続材料61中の導電粒子12a,12bにより接続されることとなる。   Next, as shown in FIG. 4B, while aligning the LCD panel 73 and the circuit board 75, the circuit electrode 72 and the circuit electrode 76 face each other with the circuit connection material 61 therebetween. A circuit board 75 is placed on the circuit connection material 61. As a result, the circuit electrode 72 and the circuit electrode 76 are connected by the conductive particles 12 a and 12 b in the circuit connection material 61.

次に、回路電極76が配置された面とは反対側の面から(図4(b)中の矢印A方向)回路基板75を加圧すると共に、回路接続材料61を加熱する。これにより、回路接続材料61が硬化し、回路接続部材60が得られる。以上により、図4(c)に示すように、LCDパネル73と回路基板75とが回路接続部材60を介して強固に接続された回路接続構造体70が得られる。なお、硬化処理の方法は、使用する接着剤成分に応じて、加熱及び光照射の一方又は双方を採用することができる。   Next, the circuit board 75 is pressurized from the surface opposite to the surface on which the circuit electrode 76 is disposed (in the direction of arrow A in FIG. 4B), and the circuit connection material 61 is heated. Thereby, the circuit connection material 61 is hardened and the circuit connection member 60 is obtained. 4C, the circuit connection structure 70 in which the LCD panel 73 and the circuit board 75 are firmly connected via the circuit connection member 60 is obtained. In addition, the method of a hardening process can employ | adopt one or both of a heating and light irradiation according to the adhesive agent component to be used.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。   The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the above embodiment.

以下、実施例によって本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples.

(実施例1)
[ウレタンアクリレートの合成]
重量平均分子量800のポリカプロラクトンジオール400質量部と、2−ヒドロキシプロピルアクリレート131質量部、触媒としてジブチル錫ジラウレート0.5質量部、重合禁止剤としてハイドロキノンモノメチルエーテル1.0質量部を攪拌しながら50℃に加熱して混合した。次いで、イソホロンジイソシアネート222質量部を滴下し更に攪拌しながら80℃に昇温してウレタン化反応を行った。イソシアネート基の反応率が99%以上になったことを確認後、反応温度を下げてウレタンアクリレートを得た。
Example 1
[Synthesis of urethane acrylate]
While stirring 400 parts by mass of polycaprolactone diol having a weight average molecular weight of 800, 131 parts by mass of 2-hydroxypropyl acrylate, 0.5 parts by mass of dibutyltin dilaurate as a catalyst, and 1.0 part by mass of hydroquinone monomethyl ether as a polymerization inhibitor, 50 Heat to ℃ and mix. Next, 222 parts by mass of isophorone diisocyanate was dropped, and the temperature was raised to 80 ° C. while stirring to carry out a urethanization reaction. After confirming that the reaction rate of the isocyanate group was 99% or more, the reaction temperature was lowered to obtain urethane acrylate.

[ポリエステルウレタン樹脂の調製]
ジカルボン酸としてテレフタル酸、ジオールとしてプロピレングリコール、イソシアネートとして4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネートを用い、テレフタル酸/プロピレングリコール/4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネートのモル比が1.0/1.3/0.25となるポリエステルウレタン樹脂を調製した。
[Preparation of polyester urethane resin]
Using terephthalic acid as the dicarboxylic acid, propylene glycol as the diol, and 4,4′-diphenylmethane diisocyanate as the isocyanate, the molar ratio of terephthalic acid / propylene glycol / 4,4′-diphenylmethane diisocyanate is 1.0 / 1.3 / 0. A polyester urethane resin of 25 was prepared.

上記ポリエステルウレタン樹脂をメチルエチルケトンに20質量%となるように溶解した。上記ポリエステルウレタン樹脂のメチルエチルケトン溶液を用いて、片面を表面処理(シリコーン処理)した厚さ80μmのPETフィルムに塗工装置を用いて塗布した。更に、70℃、10分の熱風乾燥により、厚さが35μmのフィルムを作製した。広域動的粘弾性測定装置(Rheometric Scientific社製、商品名:RSAII)を用いて引っ張り荷重5g、周波数10Hzにて弾性率の温度依存性を測定した。測定結果から得られたポリエステルウレタン樹脂のガラス転移温度は105℃であった。   The said polyester urethane resin was melt | dissolved in methyl ethyl ketone so that it might become 20 mass%. Using a methyl ethyl ketone solution of the above-mentioned polyester urethane resin, it was applied to a PET film having a thickness of 80 [mu] m on one surface (silicone treatment) using a coating apparatus. Furthermore, a film having a thickness of 35 μm was produced by hot air drying at 70 ° C. for 10 minutes. The temperature dependence of the elastic modulus was measured at a tensile load of 5 g and a frequency of 10 Hz using a wide-range dynamic viscoelasticity measuring device (trade name: RSAII, manufactured by Rheometric Scientific). The glass transition temperature of the polyester urethane resin obtained from the measurement results was 105 ° C.

ラジカル重合性物質として上記ウレタンアクリレート25質量部、イソシアヌレート型アクリレート(製品名:M−325、東亞合成社製)20質量部、2−メタクリロイロキシエチルアッシドホスフェート(製品名:P−2M、共栄社化学社製)1質量部、遊離ラジカル発生剤としてベンゾイルパーオキサイド(製品名:ナイパーBMT−K40、日本油脂製)4質量部を、フィルム形成性高分子としての上記ポリエステルウレタン樹脂の20%メチルエチルケトン溶液55質量部に混合し、攪拌しバインダ樹脂とした。   As a radical polymerizable substance, 25 parts by mass of the urethane acrylate, 20 parts by mass of isocyanurate acrylate (product name: M-325, manufactured by Toagosei Co., Ltd.), 2-methacryloyloxyethyl acid phosphate (product name: P-2M, 1 part by mass of Kyoeisha Chemical Co., Ltd.), 4 parts by mass of benzoyl peroxide (product name: Nyper BMT-K40, manufactured by NOF Corporation) as a free radical generator, and 20% methyl ethyl ketone of the polyester urethane resin as a film-forming polymer The solution was mixed with 55 parts by mass and stirred to obtain a binder resin.

更に、Niを含む最外層に覆われ、かつ最外層の表面に突起を有する導電粒子(平均粒径:4μm、以下、場合により「Ni被覆粒子」と表記する。)を上記バインダ樹脂の固形分に対して2体積%、Auを含む最外層に覆われた導電粒子(平均粒径:4μm、以下、場合により「Au被覆粒子」と表記する。)を1体積%配合分散させた。そして、混合液を片面を表面処理(シリコーン処理)した厚さ50μmのPETフィルムに塗工装置を用いて塗布し、70℃、10分の熱風乾燥により、接着剤層の厚さが16μmの異方導電接着剤層A(幅15cm、長さ70m)を得た。得られた異方導電接着剤層Aを1.5mm幅に裁断し、内径40mm、外径48mmのプラスチック製リールの側面(厚さ1.7mm)に接着フィルム面を内側にして50m巻きつけ、テープ状の回路接続フィルムを得た。   Furthermore, conductive particles (average particle diameter: 4 μm, hereinafter referred to as “Ni-coated particles” in some cases) covered with the outermost layer containing Ni and having protrusions on the surface of the outermost layer are added to the solid content of the binder resin. The conductive particles covered with the outermost layer containing 2% by volume of Au (average particle diameter: 4 μm, hereinafter referred to as “Au-coated particles” in some cases) were mixed and dispersed by 1% by volume. Then, the mixed solution was applied to a PET film having a thickness of 50 μm with one surface treated (silicone treatment) using a coating apparatus, and dried with hot air at 70 ° C. for 10 minutes, so that the adhesive layer had a thickness of 16 μm. A direction conductive adhesive layer A (width 15 cm, length 70 m) was obtained. The obtained anisotropic conductive adhesive layer A was cut into a width of 1.5 mm, and wound on the side surface (thickness 1.7 mm) of a plastic reel having an inner diameter of 40 mm and an outer diameter of 48 mm with the adhesive film surface facing inward for 50 m, A tape-like circuit connection film was obtained.

(実施例2〜6)
導電粒子の含有量を表1に示すように変化させた以外は、実施例1と同様にして、回路接続フィルムを作製した。
(Examples 2 to 6)
A circuit connection film was produced in the same manner as in Example 1 except that the content of the conductive particles was changed as shown in Table 1.

(実施例7〜12)
Ni被覆粒子及びAu被覆粒子をそれぞれ平均粒径が3μmのものに変更し、導電粒子の配合量を表2に示すように変化させた以外は、実施例1と同様にして、回路接続フィルムを作製した。
(Examples 7 to 12)
A circuit connection film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the Ni coated particles and the Au coated particles were each changed to those having an average particle size of 3 μm, and the blending amount of the conductive particles was changed as shown in Table 2. Produced.

(比較例1〜6)
導電粒子の含有量を表3に示すように変化させた以外は、実施例1と同様にして、回路接続フィルムを作製した。
(Comparative Examples 1-6)
A circuit connection film was produced in the same manner as in Example 1 except that the content of the conductive particles was changed as shown in Table 3.

(比較例7〜12)
Ni被覆粒子及びAu被覆粒子をそれぞれ平均粒径が3μmのものに変更し、導電粒子の含有量を表4に示すように変化させた以外は、実施例1と同様にして、回路接続フィルムを作製した。
(Comparative Examples 7-12)
A circuit connection film was prepared in the same manner as in Example 1 except that the Ni-coated particles and the Au-coated particles were each changed to those having an average particle size of 3 μm and the content of the conductive particles was changed as shown in Table 4. Produced.

Figure 0005375374
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(回路の接続)
実施例、比較例で得られた回路接続フィルム(幅1.5mm、長さ3cm)の接着剤面を、70℃、1MPaで2秒間加熱加圧して厚さ0.7mmのITOコートガラス基板あるいはCr/IZOコートガラス基板上に転写し、PETフィルムを剥離した。次いで、ピッチ50μm、厚さ8μmのすずめっき銅回路を600本有するフレキシブル回路板(FPC)を、転写した接着剤上に置き、24℃、0.5MPaで1秒間加圧して仮固定した。このFPCが回路接続フィルムによって仮固定されたガラス基板を本圧着装置に設置し、200μm厚さのシリコーンゴムをクッション材とし、FPC側から、ヒートツールによって170℃、3MPaで6秒間加熱加圧して幅1.5mmにわたり接続し、接続体を得た。
(Circuit connection)
An adhesive-coated surface of the circuit connection films (width 1.5 mm, length 3 cm) obtained in the Examples and Comparative Examples was heated and pressed at 70 ° C. and 1 MPa for 2 seconds, or a 0.7 mm thick ITO coated glass substrate or It transferred on the Cr / IZO coat glass substrate, and peeled PET film. Next, a flexible circuit board (FPC) having 600 tin-plated copper circuits with a pitch of 50 μm and a thickness of 8 μm was placed on the transferred adhesive, and temporarily fixed by pressing at 24 ° C. and 0.5 MPa for 1 second. A glass substrate on which this FPC is temporarily fixed by a circuit connection film is installed in the main pressure bonding apparatus, and 200 μm-thick silicone rubber is used as a cushioning material, and heated and pressed at 170 ° C. and 3 MPa for 6 seconds from the FPC side by a heat tool. A connection was obtained by connecting over a width of 1.5 mm.

(接続抵抗の測定)
上記接続体について、接続部を含む上記FPCの隣接回路間の抵抗値をマルチメータ(装置名:TR6845、アドバンテスト社製)で測定した。抵抗値は隣接回路間の抵抗40点を測定し、平均値を求めた。得られた結果を表5〜8に示す。
(Measurement of connection resistance)
About the said connection body, the resistance value between the adjacent circuits of said FPC including a connection part was measured with the multimeter (device name: TR6845, the product made by Advantest). For the resistance value, 40 points of resistance between adjacent circuits were measured, and an average value was obtained. The obtained results are shown in Tables 5-8.

(ポットライフの確認)
実施例、比較例で得られた回路接続フィルムを44℃の恒温槽にて3日間暴露処理した。そして、その回路接続フィルムを用いてITOコートガラス基板、IZOコートガラス基板及びFPCを上記と同様に回路接続した後、接続抵抗を測定した。曝露処理後に接続抵抗の増加が抑制されたものをポットライフが良好なものとした。得られた結果を表5〜8に示す。
(Confirm pot life)
The circuit connection films obtained in Examples and Comparative Examples were exposed for 3 days in a constant temperature bath at 44 ° C. Then, the circuit connection film was used to connect the ITO coated glass substrate, the IZO coated glass substrate and the FPC in the same manner as described above, and then the connection resistance was measured. Pot life was improved when the increase in connection resistance was suppressed after the exposure treatment. The obtained results are shown in Tables 5-8.

Figure 0005375374
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1,61…回路接続材料、10,60…回路接続部材、11a…接着剤成分、12a…第1の導電粒子、12b…第2の導電粒子、14…突起部、22…金属層(最外層)、31,41…回路部材、32,42…回路電極、70,100…回路接続構造体、H…突起部の高さ、S…突起部間の距離。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,61 ... Circuit connection material 10, 60 ... Circuit connection member, 11a ... Adhesive component, 12a ... 1st electroconductive particle, 12b ... 2nd electroconductive particle, 14 ... Protrusion part, 22 ... Metal layer (outermost layer) , 31, 41... Circuit members, 32, 42... Circuit electrodes, 70, 100... Circuit connection structure, H. Height of projections, S. Distance between projections.

Claims (7)

対向する回路電極間に介在して前記回路電極同士を電気的に接続する回路接続材料であって、
接着剤成分と、Ni、Ni合金及びNi酸化物からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む最外層に覆われた第1の導電粒子と、Auを含む最外層に覆われた第2の導電粒子と、を含有し、
前記第1の導電粒子における前記最外層の表面に複数の突起部が形成されており、
前記回路接続材料における単位体積あたりの前記第1の導電粒子の数に対する前記第2の導電粒子の数の比が0.4〜3である、回路接続材料。
A circuit connecting material that is electrically connected between the circuit electrodes interposed between opposing circuit electrodes,
First conductive particles covered with an outermost layer containing an adhesive component, at least one selected from the group consisting of Ni, Ni alloy and Ni oxide, and second conductive covered with an outermost layer containing Au Particles, and
A plurality of protrusions are formed on the surface of the outermost layer in the first conductive particles,
The circuit connection material, wherein a ratio of the number of the second conductive particles to the number of the first conductive particles per unit volume in the circuit connection material is 0.4 to 3.
対向する回路電極間に介在して前記回路電極同士を電気的に接続する回路接続材料であって、
接着剤成分と、ビッカース硬度が300Hv以上の金属を含む最外層に覆われた第1の導電粒子と、Auを含む最外層に覆われた第2の導電粒子と、を含有し、
前記第1の導電粒子における前記最外層の表面に複数の突起部が形成されており、
前記回路接続材料における単位体積あたりの前記第1の導電粒子の数に対する前記第2の導電粒子の数の比が0.4〜3である、回路接続材料。
A circuit connecting material that is electrically connected between the circuit electrodes interposed between opposing circuit electrodes,
Containing an adhesive component, first conductive particles covered with an outermost layer containing a metal having a Vickers hardness of 300 Hv or more, and second conductive particles covered with an outermost layer containing Au,
A plurality of protrusions are formed on the surface of the outermost layer in the first conductive particles,
The circuit connection material, wherein a ratio of the number of the second conductive particles to the number of the first conductive particles per unit volume in the circuit connection material is 0.4 to 3.
前記回路接続材料における前記第1の導電粒子の含有量に対する前記第2の導電粒子の含有量の比が体積比で0.4〜3である、請求項1又は2に記載の回路接続材料。   The circuit connection material according to claim 1 or 2, wherein a ratio of the content of the second conductive particles to the content of the first conductive particles in the circuit connection material is 0.4 to 3 in volume ratio. 前記第1の導電粒子の前記突起部の高さが50〜500nmであり、隣接する前記突起部間の距離が1000nm以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の回路接続材料。   The circuit connection material according to any one of claims 1 to 3, wherein a height of the protrusions of the first conductive particles is 50 to 500 nm, and a distance between the adjacent protrusions is 1000 nm or less. . 前記第1の導電粒子及び前記第2の導電粒子の少なくとも一方の平均粒径が1〜10μmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の回路接続材料。   The circuit connection material according to any one of claims 1 to 4, wherein an average particle size of at least one of the first conductive particles and the second conductive particles is 1 to 10 µm. 第1の回路電極を有する第1の回路部材と、第2の回路電極を有する第2の回路部材とを、前記第1の回路電極及び前記第2の回路電極が対向した状態で配置して、前記第1の回路電極と前記第2の回路電極との間に請求項1〜5のいずれか一項に記載の回路接続材料を介在して加熱加圧することにより、前記第1の回路電極及び前記第2の回路電極が電気的に接続されている、回路接続構造体。   A first circuit member having a first circuit electrode and a second circuit member having a second circuit electrode are arranged with the first circuit electrode and the second circuit electrode facing each other. The first circuit electrode is formed by heating and pressing the circuit connection material according to claim 1 between the first circuit electrode and the second circuit electrode. And a circuit connection structure in which the second circuit electrodes are electrically connected. 前記第1の回路電極及び前記第2の回路電極の少なくとも一方が、インジウム−錫酸化物及びインジウム−亜鉛酸化物の少なくとも一方を含む、請求項6に記載の回路接続構造体。   The circuit connection structure according to claim 6, wherein at least one of the first circuit electrode and the second circuit electrode includes at least one of indium-tin oxide and indium-zinc oxide.
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