JP5374739B2 - Linear sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、リニアセンサに関し、特に、検出コイルと長手状のスケールを用い、スケールの横揺れ時も安定して検出が行えるような構造とするための新規な改良に関する。 The present invention relates to a linear sensor, and more particularly to a novel improvement for using a detection coil and a longitudinal scale so that a structure can be stably detected even when the scale rolls.
従来、用いられていたこの種のリニアセンサとしては、磁気を用いたマグネスケール、光学式リニアエンコーダ、電磁誘導式の構成等があったが、使用温度範囲が狭く、検出部とスケールとのギャップも狭い構成であった。
また、使用温度範囲が広く取れる構成としては、リニアレゾルバ、LVDT、磁歪式リニアセンサが存在するが、ギャップが狭いという問題が存在していた。
従来例として代表的な構成としては、図12に示される特許文献1の直線位置検出装置を挙げることができる。
Conventionally used linear sensors of this type include magnet-type magnet scales, optical linear encoders, electromagnetic induction type configurations, etc., but the operating temperature range is narrow and there is a gap between the detector and the scale. The configuration was narrow.
Further, as a configuration that can take a wide operating temperature range, there are a linear resolver, an LVDT, and a magnetostrictive linear sensor, but there is a problem that the gap is narrow.
As a typical configuration as a conventional example, the linear position detection device of Patent Document 1 shown in FIG.
図12において、符号31で示されるものは長手形状の固定子であり、この固定子31の下面には複数の突出歯32がその長手方向に沿って所定間隔で形成されている。
前記固定子31の下方位置には、この固定子31の長さよりも長い形状の可動子40が矢印の方向に沿って移動可能に配設されており、この可動子40の上面には波形に形成された波形部40aが形成されている。
前記各突出歯32には、励磁コイル2Bと出力コイル2,2Aとが巻回して設けられており、各突出歯32と波形部40aとの間の隙間dは前記可動子40の移動に応じて変化するように攻勢されている。
In FIG. 12, the reference numeral 31 indicates a longitudinal stator, and a plurality of protruding
A mover 40 having a shape longer than the length of the stator 31 is disposed below the stator 31 so as to be movable in the direction of the arrow. The upper surface of the mover 40 has a waveform. The formed waveform portion 40a is formed.
Each projecting
従って、前記可動子40の直線移動により各突出歯32と波形部40aとの間の隙間dにより、ギャップパーミアンスが移動距離に対して正弦波状に変化する波形状に形成され、周知の可変リラクタンス型のレゾルバを直線的に展開したリニア型のリニアセンサを得ることができる。
Therefore, the gap permeance changes into a sine wave shape with respect to the moving distance due to the gap d between each protruding
従来のリニアセンサは、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、前述のリニアセンサは、出力コイルが巻回されている固定子1と可動子5との隙間の変化を位置信号として利用していたため、出力コイルと可動子間のギャップを大きくすると、ギャップ長の変化での位置検出信号が小さくなるため、ギャップを大きくすることは極めて困難であった。
Since the conventional linear sensor is configured as described above, the following problems exist.
That is, since the linear sensor described above uses a change in the gap between the stator 1 and the mover 5 around which the output coil is wound as a position signal, if the gap between the output coil and the mover is increased, the gap Since the position detection signal when the length changes is small, it is extremely difficult to increase the gap.
従来、用いられていたこの種のリニアセンサは、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、出力コイルが設けられている突出歯と可動子の波形部との間のギャップ長の変化を位置信号として利用しているため、突出歯と波形部との間のギャップを大きくすると、このギャップ長の変化での位置信号が小さくなるため、このギャップを広くすることは、リニアセンサ自体の位置検出信号のレベルが小さくなると共に、形状の小型化に逆行することになっていた。
Conventionally, this type of linear sensor has been configured as described above, and thus has the following problems.
That is, since the change in the gap length between the protruding tooth on which the output coil is provided and the corrugated portion of the mover is used as a position signal, if the gap between the protruding tooth and the corrugated portion is increased, this Since the position signal due to the change in the gap length becomes small, widening the gap is going to go against the downsizing of the shape as the level of the position detection signal of the linear sensor itself becomes small.
本発明によるリニアセンサは、第1、第2及び第3突出歯部を有し検出ステータとしてのE型コアと、前記第1突出歯部に巻回された第1検出コイルと、前記第3突出歯部に巻回された第2検出コイルと、前記第1突出歯部と第3突出歯部間に位置する前記第2突出歯部に巻回された励磁コイルと、前記各突出歯部の各先端面の近傍位置に配設された長手状磁性部材と、前記長手状磁性部材上に設けられ互いに間隔をあけると共に前記第1、第2、第3突出歯部に対応して設けられ磁性材料からなる第1、第2、第3スケールとを備え、前記第1、第3スケールは、長手方向に沿って前記長手方向に直交する第1、第3スケール幅が変化し、前記第1、第3スケールと検出ステータとの非接触状態による相対移動を前記第1、第2検出コイルで検出すると共に、前記第1、第3スケール幅は第1、第3突出歯部の第1、第3歯幅より小である構成であり、また、前記各スケールは、前記長手状磁性部材上に貼り付けられている構成であり、また、前記E型コアの前記コア幅方向に沿うコア幅寸法は、前記長手状磁性部材の幅寸法より大である構成であり、また、前記第2突出歯部に設けられている前記励磁コイルの外周には、第1、第2補正コイルが筒状でかつ二層状に設けられている構成であり、また、前記第2突出歯部に設けられている前記励磁コイルの下方位置には、各々独立した一対の輪状ボビンを介して第1、第2補正コイルが前記第2突出歯部の長手方向に沿って積層されている構成であり、また、前記第2突出歯部に設けられている前記励磁コイルの下方位置には、前記励磁コイルを設けるための励磁コイル用ボビンと一体に形成された補正コイル用ボビンを介して第1、第2補正コイルが前記第2突出歯部の長手方向と直交する方向に沿って積層されている構成であり、また、前記第2突出歯部に設けられている前記励磁コイルの下方位置には、前記励磁コイルを設けるための励磁コイル用ボビンと一体に形成された補正コイル用ボビンを介して第1、第2補正コイルが前記第2突出歯部の長手方向と沿う方向において積層されている構成であり、また、前記各スケールは長手状磁性部材と一体に形成されている構成であり、また、前記各スケールは長手状磁性部材とは別体で設けられ、各スケールの位置を調整できる構成であり、また、前記各スケールの中、第1、第3スケールは長手状磁性部材とは別体で位置を調整でき、第2スケールは長手状磁性部材と一体とした構成である。 The linear sensor according to the present invention has an E-shaped core as a detection stator having first, second, and third projecting teeth, a first detection coil wound around the first projecting teeth, and the third A second detection coil wound around the projecting tooth portion; an excitation coil wound around the second projecting tooth portion located between the first projecting tooth portion and the third projecting tooth portion; and each projecting tooth portion. A longitudinal magnetic member disposed in the vicinity of each of the tip surfaces, and provided on the longitudinal magnetic member so as to be spaced apart from each other and corresponding to the first, second, and third protruding tooth portions. First, second, and third scales made of a magnetic material, wherein the first and third scales vary in the first and third scale widths perpendicular to the longitudinal direction along the longitudinal direction. 1. Relative movement between the third scale and the detection stator in a non-contact state is performed by the first and second detection coils. And the first and third scale widths are smaller than the first and third tooth widths of the first and third projecting tooth portions, and the scales are arranged on the longitudinal magnetic member. The core width dimension along the core width direction of the E-type core is larger than the width dimension of the longitudinal magnetic member, and the second protrusion On the outer periphery of the exciting coil provided in the tooth portion, the first and second correction coils are provided in a cylindrical shape and in two layers, and are provided in the second protruding tooth portion. The first and second correction coils are stacked along the longitudinal direction of the second protruding tooth portion via a pair of independent ring-shaped bobbins, respectively, below the exciting coil. In the lower position of the exciting coil provided in the second protruding tooth portion, The first and second correction coils are stacked along the direction orthogonal to the longitudinal direction of the second protruding tooth portion via the correction coil bobbin formed integrally with the excitation coil bobbin for providing the excitation coil. And a correction coil bobbin formed integrally with an excitation coil bobbin for providing the excitation coil at a position below the excitation coil provided in the second protruding tooth portion. The first and second correction coils are stacked in the direction along the longitudinal direction of the second protruding tooth portion, and the scales are formed integrally with the longitudinal magnetic member. Each scale is provided separately from the longitudinal magnetic member, and the position of each scale can be adjusted. Among the scales, the first and third scales are longitudinal magnetic members. Separate from The position can be adjusted by the body, and the second scale is configured integrally with the longitudinal magnetic member.
本発明によるリニアセンサは、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、第1、第2及び第3突出歯部を有し検出ステータとしてのE型コアと、前記第1突出歯部に巻回された第1検出コイルと、前記第3突出歯部に巻回された第2検出コイルと、前記第1突出歯部と第3突出歯部間に位置する前記第2突出歯部に巻回された励磁コイルと、前記各突出歯部の各先端面の近傍位置に配設された長手状磁性部材と、前記長手状磁性部材上に設けられ互いに間隔をあけると共に前記第1、第2、第3突出歯部に対応して設けられ磁性材料からなる第1、第2、第3スケールとを備え、前記第1、第3スケールは、長手方向に沿って前記長手方向に直交する第1、第3スケール幅が変化し、前記第1、第3スケールと検出ステータとの非接触状態による相対移動を第1、第2検出コイルで検出すると共に、前記第1、第3スケール幅は第1、第3突出歯部の第1、第3歯幅より小である構成であることにより、直線移動する長手状磁性部材が横方向に横揺れを起した場合でも安定したリニア検出ができる。
また、各スケールは長手状磁性部材上に貼り付けられているため、組立てが容易である。
また、前記E型コアの前記コア幅方向に沿うコア幅寸法は、前記長手状磁性部材の幅寸法より大であることにより、各検出コイルによるエアギャップ面積の検出が容易となる。
また、前記第2突出歯部に設けられている前記励磁コイルの外周には、第1、第2補正コイルが筒状でかつ二層状に設けられていることにより、オフセット調整により、出力信号の感度の補正を行うことができる。
また、前記第2突出歯部に設けられている前記励磁コイルの下方位置には、各々独立した一対の輪状ボビンを介して第1、第2補正コイルが前記第2突出歯部の長手方向に沿って積層されていることにより、前述と同様の補正ができる。
また、前記第2突出歯部に設けられている前記励磁コイルの下方位置には、前記励磁コイルを設けるための励磁コイル用ボビンと一体に形成された補正コイル用ボビンを介して第1、第2補正コイルが前記第2突出歯部の長手方向と直交する方向に沿って積層されていることにより、前述と同様の補正を行うことができる。
また、前記第2突出歯部に設けられている前記励磁コイルの下方位置には、前記励磁コイルを設けるための励磁コイル用ボビンと一体に形成された補正コイル用ボビンを介して第1、第2補正コイルが前記第2突出歯部の長手方向と沿う方向において積層されていることにより、前述と同様の補正を行うことができる。
また、各スケールが長手状磁性部材と一体の場合は製作が容易であり、各スケール全て又はその中の2個が長手状磁性部材と別体である場合には、各スケール間の間隔すなわち取付位置を調整することができる。
Since the linear sensor according to the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained.
That is, an E-shaped core having a first, second, and third projecting tooth portions as a detection stator, a first detection coil wound around the first projecting tooth portion, and a coil wound around the third projecting tooth portion. A second detection coil that is rotated, an excitation coil wound around the second projecting tooth portion located between the first projecting tooth portion and the third projecting tooth portion, and each tip surface of each projecting tooth portion. A longitudinal magnetic member disposed in the vicinity and a first magnetic material provided on the longitudinal magnetic member and spaced from each other and corresponding to the first, second, and third protruding teeth. 1, 2, 3, and the first and 3rd scales change in the width of the 1st and 3rd scales orthogonal to the longitudinal direction along the longitudinal direction, and the 1st and 3rd scales And the relative movement caused by the non-contact state between the first and second detection coils, 1. When the first and third scale widths are smaller than the first and third tooth widths of the first and third projecting tooth portions, the longitudinal magnetic member that moves linearly rolls laterally. But stable linear detection is possible.
Moreover, since each scale is affixed on the longitudinal magnetic member, assembly is easy.
Moreover, the core width dimension along the core width direction of the E-type core is larger than the width dimension of the longitudinal magnetic member, so that the air gap area can be easily detected by each detection coil.
In addition, since the first and second correction coils are provided in a cylindrical shape and a two-layer shape on the outer periphery of the excitation coil provided in the second protruding tooth portion, the output signal can be adjusted by adjusting the offset. Sensitivity can be corrected.
In addition, at the lower position of the excitation coil provided on the second protruding tooth portion, the first and second correction coils are disposed in the longitudinal direction of the second protruding tooth portion via a pair of independent ring-shaped bobbins. By being laminated along, correction similar to the above can be performed.
In addition, at a position below the excitation coil provided on the second projecting tooth portion, first and second correction coil bobbins integrally formed with the excitation coil bobbin for providing the excitation coil are provided. The correction | amendment similar to the above can be performed because 2 correction | amendment coils are laminated | stacked along the direction orthogonal to the longitudinal direction of a said 2nd protrusion tooth | gear part.
In addition, at a position below the excitation coil provided on the second projecting tooth portion, first and second correction coil bobbins integrally formed with the excitation coil bobbin for providing the excitation coil are provided. Since the two correction coils are stacked in the direction along the longitudinal direction of the second protruding tooth portion, the same correction as described above can be performed.
In addition, when each scale is integral with the longitudinal magnetic member, it is easy to manufacture, and when all of the scales or two of them are separate from the longitudinal magnetic member, the interval between the scales, that is, mounting The position can be adjusted.
本発明は、検出コイルと長手状励磁部材の組合わせによる面積変化に基づく簡単な構造としたリニアセンサを提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the linear sensor made into the simple structure based on the area change by the combination of a detection coil and a longitudinal excitation member.
以下、図面と共に本発明によるリニアセンサの好適な実施の形態について説明する。
尚、従来例と同一又は同等部分については同一符号を用いて説明する。
図1及び図2において、符号30で示されるものは検出ステータであり、この検出ステータ30は、全体形状がE型をなすE型コア31と、このE型コア31に一体に形成され、かつ、互いに間隔をあけて位置する第1、第2突出歯部32,33,34と、前記各突出歯部32,34に巻回された第1、第2検出コイル2,2Aと、中央位置の前記第2突出歯部33に巻回された励磁コイル2Bと、から構成されている。
Hereinafter, preferred embodiments of a linear sensor according to the present invention will be described with reference to the drawings.
Note that the same or equivalent parts as in the conventional example will be described using the same reference numerals.
1 and 2, what is indicated by
前記各突出歯部32,33,34の第1〜第3先端面32a,33a,34aの近傍位置には、磁性材料よりなり長手形状の長手状磁性部材40が、前記各先端面32a,33a,34aとは所定のギャップを保つ非接触状態で直線移動自在に構成されている。
In the vicinity of the first to third tip surfaces 32a, 33a, 34a of the protruding
前記検出ステータ30は、図1、図3で示されるように、前記E型コア31のコア厚さ41に沿うコア厚さ方向Bを有し、このE型コア31の長さであるコア幅寸法W1(図3)を有している。
As shown in FIGS. 1 and 3, the
前記長手状磁性部材40は、所定の厚さからなる板状又は薄膜状等の帯状磁性材からなり、本形態では板状の場合が採用されており、所定の磁性部材幅寸法W2を有している。また、長手状磁性部材40の構造としては、積層の板、圧粉鉄芯による板状とすることもできる。
前記コア幅寸法W1は長手状磁性部材40の幅寸法W2よりも十分に大となるように構成されている。
It said elongate magnetic member 40 is made of band-shaped magnetic material plate or thin film or the like formed of a predetermined thickness, in the present embodiment is adopted if the plate, have a predetermined magnetic member width W 2 doing. Moreover, as a structure of the longitudinal magnetic member 40, it can also be set as the plate shape by a laminated board and a compacting iron core.
The core width dimension W 1 is configured to be sufficiently larger than the width dimension W 2 of the longitudinal magnetic member 40.
前記長手状磁性部材40上には、互いに間隔をあけると共に前記第1、第2、第3突出歯部32〜33に対応して貼り付けて設けられ磁性材料からなる第1〜第3スケール40A,40B,40Cが設けられ、前記第2スケール40Bはその全長にわたり同一幅で形成されているが、第1、第3スケール40A,40Cは、図4に示されるように、その長手方向A(すなわち、検出ステータ30の往復移動方向と一致)に沿って、この長手方向Aに直交する第1、第3スケール幅B1,B2がテーパ状に順次変化し、第1、第3スケール40A,40Cと検出ステータ30との非接触状態による相対移動を第1、第2検出コイル2,2Aで検出するように構成されている。
尚、前記第1、第3スケール40A,40Bの第1、第3スケール幅B1,B3は、図2、図で示すように、第1、第3突出歯部32,34の第1、第3歯幅W1,W3より小とされ、前記長手状磁性部材40の長手方向Aに沿う往復移動時における横揺れ発生時における検出誤差が発生することのないように構成されている。
The first to
The first and third scale widths B1 and B3 of the first and
前述の構成において、励磁コイル2Bに励磁信号を供給して励磁状態とした後、固定された検出ステータ30に対して各スケール40A,40B,40Cと共に長手状磁性部材40を矢印Dの方向に沿ってE型コア31とは非接触状態で移動させると、E型コア31に対する各スケール40A,40Cの重なり具合が変化するため、このE型コア31各スケール40A,40Cとのエアギャップ面積の変化を各検出コイル2,2Aからの誘起電圧の電圧レベルによって、長手状磁性部材40の長手方向の位置を検出することができる。
In the above-described configuration, after the excitation signal is supplied to the
また、前述の場合は、検出ステータ30を固定し、長手状磁性部材40を移動させた場合について述べたが、相対的な構成であるので、長手状磁性部材40を固定し、検出ステータ30を移動させた場合も、前述と同様の作用効果を得ることができる。
In the above case, the
尚、各スケール40A,40Cは、図4のように、各スケール40A,40Cの長さはその全長にわたりE型コア31との重合状態(すなわち、エアギャップ面積)が連続して変化しているため、その全長の何れの位置でも移動位置又は長さ位置を検出することができる。
従って、前記各スケール40A,40Cは、細長いテーパ形状となり、その長手方向全体にわたり連続的に変化していることが明らかである。
In addition, as for each
Therefore, it is clear that each of the
次に、図5においては、図3で示される第2突出歯部33に巻回されている励磁コイル2Bの外周に出力信号(検出信号)のオフセットを調整するための第1補正コイル50及び第2補正コイル51が筒状に巻回されている。
Next, in FIG. 5, the first correction coil 50 for adjusting the offset of the output signal (detection signal) on the outer periphery of the
図6は、図5の他の形態を示すもので、第2突出歯部33に励磁コイル2Bが巻回された輪状の励磁コイル用ボビン52の下方に、一対の第1、第2輪状ボビン53,54が第2突出歯部33の長手方向Gに沿って積層され、第1輪状ボビン53内には第1補正コイル50が設けられ、第2輪状ボビン54内には第2補正コイル51が設けられている。
FIG. 6 shows another embodiment of FIG. 5, and a pair of first and second annular bobbins are provided below a ring-shaped exciting coil bobbin 52 in which the
図7は、図6の他の形態を示すもので、第2突出歯部33に励磁コイル2Bが巻回された輪状の励磁コイル用ボビン52の下方にこの励磁コイル用ボビン52と一体に形成された補正コイル用ボビン53C内に第1、第2補正コイル50,51が第2突出磁極33の長手方向Gと直交する径方向に沿って積層した状態で配設されている。
FIG. 7 shows another embodiment of FIG. 6, and is formed integrally with the exciting coil bobbin 52 below the annular exciting coil bobbin 52 in which the
図8は、図6の他の形態を示すもので、図6の第1、第2輪状ボビン53,54の構成を励磁コイル用ボビン52と一体に形成したもので、第1、第2補正コイル用ボビン53A,53Bとし、他の構成は図5と同一であるため、同一符号を付し、その説明は省略する。 FIG. 8 shows another form of FIG. 6, in which the first and second annular bobbins 53 and 54 of FIG. 6 are formed integrally with the exciting coil bobbin 52, and the first and second corrections are made. The coil bobbins 53A and 53B are the same as those in FIG. 5 and the other components are the same as those in FIG.
前述のように、第2突出歯部33に形成された第1、第2補正コイル50,51を励磁することにより、前述のように本発明においては、従来のようにギャップ長の変化の検出ではなく、ギャップ面積の変化でコイルの磁束量を変化させ位置情報を得ているため、各補正コイル50,51からの励磁によって、励磁コイル2Bの両側に検出コイル2,2Aを配設することにより、励磁コイル2Bより励磁された磁束を両方の検出コイル2,2Aで受けるため、一方の検出コイル2で増加した分の磁束は他方の検出コイル2Aでは減少した形となり、それぞれの検出コイル2,2Aからの出力の差と和の比率は一定となり、ギャップ変動に強い特性を得ることができる。尚、前述の各補正コイル50,51の起電力により、図示していないが、各検出コイル2,2Aからの検出信号のオフセットの調整を行う。
As described above, by exciting the first and second correction coils 50 and 51 formed on the second protruding
次に、各第1、第2補正コイル50,51の起電力を検出コイル2,2Aの起電力から引くことにより、検出時における検出レシオを大きく取るために用いられる。 Next, it is used to increase the detection ratio at the time of detection by subtracting the electromotive force of each of the first and second correction coils 50 and 51 from the electromotive force of the detection coils 2 and 2A.
尚、前述の検出ステータ30のE型コア31としては、珪素鋼板積層、パーマロイ、圧粉鉄芯の何れかよりなり、スケールとしての長手状磁性部材40は、軟磁性鋼板で作成、鋼板、珪素鋼板、パーマロイの積層で作成、圧粉鉄芯で作成の何れかで構成されている。
また、図9は図1の各スケール40A〜40Cが長手状磁性部材40と一体構成の形態を示し、図10は各スケール40A〜40Cが長手状磁性部材40とは別体で位置調整可能とした構成を示し、図11は各スケール40A〜40Cの中、第1、第3スケール40A,40Cを長手状磁性部材40とは別体で位置調整可能とし、第2スケール40Bは長手状磁性部材40とは一体とした構成を示し、何れかの構成を採用することができる。
The E-shaped core 31 of the
9 shows a configuration in which the
本発明によるリニアセンサは、製鉄所等の長手状部材のリニア検出だけではなく、各種工作機、ロボット、宇宙機器等への応用も可能である。 The linear sensor according to the present invention can be applied not only to linear detection of a longitudinal member such as an ironworks but also to various machine tools, robots, space equipment, and the like.
2 第1検出コイル
2A 第2検出コイル
2B 励磁コイル
30 検出ステータ
31 E型コア
32 第1突出歯部
32a 第1先端面
33 第2突出歯部
33a 第2先端面
34 第3突出歯部
34a 第3先端面
40 長手状磁性材料
40A 第1スケール
40B 第2スケール
40C 第3スケール
B1 第1スケール幅
B3 第3スケール幅
W1 コア幅寸法
W2 磁性部材幅寸法
W3 第1歯幅
W4 第3歯幅
B コア厚さ方向
C コア幅方向
50 第1補正コイル
51 第2補正コイル
52 励磁コイル用ボビン
53 第1輪状ボビン
53A 第1補正コイル用ボビン
53B 第2補正コイル用ボビン
53C 補正コイル用ボビン
54 第2輪状ボビン
G 長手方向
2
Claims (10)
前記長手状磁性部材(40)上に設けられ互いに間隔をあけると共に前記第1、第2、第3突出歯部(32〜33)に対応して設けられ磁性材料からなる第1、第2、第3スケール(40A,40B,40C)とを備え、
前記第1、第3スケール(40A,40C)は長手方向(A)に沿って前記長手方向(A)に直交する第1、第3スケール幅(B1,B3)が変化し、前記第1、第3スケール(40A,40C)と検出ステータ(30)との非接触状態による相対移動を前記第1、第2検出コイル(2,2A)で検出すると共に、前記第1、第3スケール幅(B1,B3)は第1、第3突出歯部(32,34)の第1、第3歯幅(W3,W4)より小であることを特徴とするリニアセンサ。 An E-shaped core (31) serving as a detection stator (30) having first, second and third protruding teeth (32, 33, 34) and wound around the first protruding teeth (32) A first detection coil (2); a second detection coil (2A) wound around the third projecting tooth portion (34); the first projecting tooth portion (32); and a third projecting tooth portion (34). The exciting coil (2B) wound around the second projecting tooth portion (33) positioned between the projecting tooth portions (32a, 34a) and the distal end surfaces (32a to 34a) of the projecting tooth portions (32, 33, 34). A disposed longitudinal magnetic member (40);
First, second, and second layers made of a magnetic material provided on the longitudinal magnetic member (40) and spaced apart from each other and corresponding to the first, second, and third protruding teeth (32 to 33). With a third scale (40A, 40B, 40C),
The first and third scales (40A, 40C) change in the first and third scale widths (B1, B3) perpendicular to the longitudinal direction (A) along the longitudinal direction (A), The first and second detection coils (2, 2A) detect relative movement of the third scale (40A, 40C) and the detection stator (30) in a non-contact state, and the first and third scale widths ( B1, B3) is smaller than the first and third tooth widths (W 3 , W 4 ) of the first and third protruding teeth (32, 34).
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