JP5373660B2 - 結晶の構造解析方法 - Google Patents
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任意のバルク結晶、又は任意の基板上にエピタキシャル成長により作製された任意の材料系からなる単層及び多層構造結晶を解析対象の試料とし、当該試料をX線回折測定により構造評価する結晶の構造解析方法において、
2つ以上の相異なる反射指数hklを選択し、選択した反射指数hkl各々について、選択した反射指数hklで特定されるX線入射角度を中心値とするスキャン角度ΔθでX線入射角度を変更し、X線受光器を対称反射配置としてX線回折測定を行うことにより、横軸がスキャン角度Δθで縦軸がX線強度を表すhkl反射プロファイルを求める測定工程と、
選択した反射指数hklで特定されるhkl面と、前記バルク結晶の表面又は前記多層構造結晶の表面或いは前記基板の表面とのなす面角度θcを用いて、前記測定工程で求めたhkl反射プロファイル各々について、前記横軸Δθを[Δθ/sinθc]で規格化する再規格化処理を行って、各hkl反射プロファイルを描き直す再規格化工程と、
前記再規格化工程で再規格化した各hkl反射プロファイル中の解析対象のピークについて、hkl反射プロファイル同士の前記ピークの頂点を揃えて重ねて表示し、hkl反射プロファイル同士のピーク拡がり形状を比較することにより、前記ピーク拡がり形状の反射指数hklに関する依存性を解析する形状解析工程と、
前記形状解析工程における解析により、前記ピーク拡がり形状が反射指数hklに依存しない不変な形状になっていることを確認することにより、前記ピーク拡がり形状が結晶のモザイク性により生じる局所的なtwist分布に起因して生じることを判定する判定工程とを有し、
前記測定工程において、前記X線受光器の位置は固定し、前記試料のみを回転させるスキャンモードを用いて、前記X線回折測定を行うことにより、横軸がスキャン角度Δθで縦軸がX線強度を表すhkl反射プロファイルを求め、求めたhkl反射プロファイルについて、前記再規格化工程、前記形状解析工程及び前記判定工程を適用することを特徴とする。
本発明においては、任意のバルク結晶、又は、任意の基板上にエピタキシャル成長により作製された任意の材料系からなる単層及び多層構造結晶が、解析対象の試料となるが、ここでは、対象試料の一例として、(0001)サファイア基板上にMOVPE成長法によりGaNエピタキシャル薄膜試料を作製した。この材料系は、twist分布に起因したX線回折のピーク拡がりが主に観測される典型例となっているものである。なお、GaNエピタキシャル薄膜試料以外にも、例えば、InGaAs/GaAs、Si/SiGeなどの材料系を用いた歪系エピタキシャル層、歪超格子構造等でもよい。
θは、対象試料の表面(又は基板面)に対するX線入射角であり、Δθは、測定の際のX線入射角度のスキャン角度である。又、θcは、反射指数hklで特定されるhkl面と対象試料の表面(又は基板面)がなす面角度である。スキャン角度Δθは、具体的には、反射指数hklで特定されるhkl面に対して、当該反射指数hklにより特定される角度を中心値として、予め決めた僅かに小さい角度から予め決めた僅かに大きい角度まで、X線入射角度を変更(スキャン)した角度である。従って、スキャンされる照射X線の入射角度が、反射指数hklで特定される角度になったときに、スキャン角度Δθは0°となる。
11 X線源
12 X線受光器
13 試料台
14 試料
15 ωステージ
16 2θステージ
Claims (1)
- 任意のバルク結晶、又は任意の基板上にエピタキシャル成長により作製された任意の材料系からなる単層及び多層構造結晶を解析対象の試料とし、当該試料をX線回折測定により構造評価する結晶の構造解析方法において、
2つ以上の相異なる反射指数hklを選択し、選択した反射指数hkl各々について、選択した反射指数hklで特定されるX線入射角度を中心値とするスキャン角度ΔθでX線入射角度を変更し、X線受光器を対称反射配置としてX線回折測定を行うことにより、横軸がスキャン角度Δθで縦軸がX線強度を表すhkl反射プロファイルを求める測定工程と、
選択した反射指数hklで特定されるhkl面と、前記バルク結晶の表面又は前記多層構造結晶の表面或いは前記基板の表面とのなす面角度θcを用いて、前記測定工程で求めたhkl反射プロファイル各々について、前記横軸Δθを[Δθ/sinθc]で規格化する再規格化処理を行って、各hkl反射プロファイルを描き直す再規格化工程と、
前記再規格化工程で再規格化した各hkl反射プロファイル中の解析対象のピークについて、hkl反射プロファイル同士の前記ピークの頂点を揃えて重ねて表示し、hkl反射プロファイル同士のピーク拡がり形状を比較することにより、前記ピーク拡がり形状の反射指数hklに関する依存性を解析する形状解析工程と、
前記形状解析工程における解析により、前記ピーク拡がり形状が反射指数hklに依存しない不変な形状になっていることを確認することにより、前記ピーク拡がり形状が結晶のモザイク性により生じる局所的なtwist分布に起因して生じることを判定する判定工程とを有し、
前記測定工程において、前記X線受光器の位置は固定し、前記試料のみを回転させるスキャンモードを用いて、前記X線回折測定を行うことにより、横軸がスキャン角度Δθで縦軸がX線強度を表すhkl反射プロファイルを求め、求めたhkl反射プロファイルについて、前記再規格化工程、前記形状解析工程及び前記判定工程を適用することを特徴とする結晶の構造解析方法。
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