JP5372244B2 - ヨーレートセンサのためのセルフテスト - Google Patents
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Description
そこで本発明が基礎とする課題は、このような従来技術の欠点に鑑み、より改善された機能性検査を提供することにある。この課題は請求項1の特徴部分に記載された本発明によるヨーレートセンサと、請求項5の特徴部分に記載された本発明による方法とによって解決される。これらの本発明によれば、検査信号の処理方向に関連して、応答信号のための読出し箇所が、検査信号のための読出し箇所と、可動質量体構造部の偏倚量をフィードバックするための調整部材との間に配設されることによって従来技術では得られなかった利点が得られるようになる。
マイクロメカニカルなヨーレートセンサ10(振動ジャイロ)では、外力によって発生した物体の角速度(ヨーレート)Ωを検出するためにコリオリ効果が利用されている。それに対しては、センサ10の可動な質量体構造部12の第1方向xの動きが速度vに変換される。これは、周波数ωAの駆動振動14を用いて行われる。可動の質量体構造部12は、駆動用質量体16と検出用質量体18を含み、駆動用質量体16の有利な振動方向xは、検出用質量体18の有利な振動方向yに対して垂直方向に配向される。検出用質量体18を有利な振動方向yでバネ装置を用いて機械的に結合20することによって、駆動用質量体16に作用するコリオリ力FCが検出用質量体18に伝達される。このコリオリ力FCは質量体構造部12の角速度Ωに基づいて発生している。一般に、2つの振動方向x、yの正確な直交性は厳密には存在し得ないので、駆動用質量体16の偏倚に起因して第2の(前記コリオリ力FCとは異なった)応力成分FQ(直交成分)が検出用質量体18の有利な振動方向yに沿って発生する。このコリオリ成分と直交成分は、互いに90°位相がずれているため、これらの2つの成分FC,FQは、別々に求めることが可能である。詳細には駆動周波数ωAを用いた復調24,26によって求めることができる。復調器24は、直交信号28を生成する。移相器27を用いて90°位相のずらされた検出信号32の復調によって復調器26からは角速度Ωに比例した測定信号30が供給される。検出信号32の検出は、開ループ又は閉ループ構成を用いて行われる。積分制御器36の出力信号34は、電圧に変換された出力信号34(直交信号)を直交成分補償電極38に与えることによって、直交成分FQの要因に対抗し得る。相応に形成された電極構造を用いることによって、偏倚量xに比例する横方向応力が生成され、駆動振動14の方向は、その応力作用Fqが検出振動40に対して消滅するまで転回される。
Claims (10)
- 可動質量体構造部(12)と、駆動要素(13)と、評価要素(15)と、を含み、
前記駆動要素(13)は、可動質量体構造部(12)を運動(14)中にずらす及び/又は保持するように適合化され、
前記評価要素(15)は、角速度(Ω)に対する可動質量体構造部(12)のリアクション(40)を検出するように適合化され、
前記可動質量体構造部(12)は、駆動用質量体(16)および検出用質量体(18)を含み、
前記駆動用質量体(16)は、ばね装置を用いた機械的結合によって前記検出用質量体(18)に接続され、
前記駆動用質量体(16)は、駆動振動(14)の方向に可動である、
ヨーレートーセンサ(10)において、
直交成分補償電極(38)が設けられており、
前記駆動質量体(16)は、前記直交成分補償電極(38)を用いて前記検出質量体(18)の検出振動(40)に対する応力作用が消滅するまで回転可能であり、
前記直交成分補償電極(38)は、検査信号(42)の検査信号供給側(22)に接続され、
前記検査信号供給側(22)は、検査信号(42)を前記直交成分補償電極(38)に送出し、
検査信号(42)の処理方向(45)に関する応答信号(47)の読出し箇所(50)が、検査信号(42)の給電箇所(48)と、可動質量体構造部(12)の偏倚量(40)をフィードバックするための調整部材(38)と、の間、かつ、調整部材(38)の前に設けられていることを特徴とするヨーレートセンサ。 - 前記可動質量体構造部(12)への検査信号(42)の給電に対して、別のアクチュエータ(39)又は別の電極(39)が直交成分の補償のための要素として設けられている、請求項1記載のヨーレートセンサ。
- 前記検査信号(42)は、実質的に平均ゼロの特性を有する応答信号(47)を引き起こすために利用されている、請求項1または2記載のヨーレートセンサ。
- 前記検査信号(42)のレベルと、該検査信号(42)の処理ループ(43)を介して引き起こされる応答信号(47)のレベルとの間の関係が線形である、請求項1から3いずれか1項記載のヨーレートセンサ。
- ヨーレートセンサ(10)の機能性検査のための方法であって、
駆動用質量体(16)および検出用質量体(18)を含む可動質量体構造部(12)を駆動するステップと、
直交成分制御ループ(44)の給電箇所(48)にて直交成分制御ループ(44)に検査信号(42)を給電するステップと、
可動質量体構造部(12)の偏倚量(40)をフィードバックするステップと、
可動質量体構造部(12)からフィードバックされた度量を検出するステップと、
直交成分制御ループ(44)から、検査信号(42)に依存する応答信号(47)を読出すステップと、
を含み、
前記直交成分制御ループ(44)は、駆動質量体(16)の直交成分補償電極(38)に接続され、前記駆動質量体(16)は、前記検出質量体(18)と作用結合され、
検査信号(42)の処理方向(45)に関連して、応答信号(47)の読出しが、検査信号(42)の給電箇所(48)と、可動質量体構造部(12)のフィードバック箇所(49)と、の間、かつ、フィードバック箇所(49)の前で行われるようにしたことを特徴とする方法。 - 前記応答信号(47)のパワースペクトルの主要部分が、角速度情報(30)に対する出力フィルタ(51)の帯域幅の上方に存在している、請求項5記載の方法。
- 応答信号(47)のパワースペクトルの主要部分が、直交成分制御ループ(44)の帯域幅の上方に存在している、請求項5記載の方法。
- 前記検査信号(42)の周波数(ωT)が、直交成分制御ループ(44)の制御時定数の逆数値よりも小さい、請求項5から7いずれか1項記載の方法。
- 前記検査信号(42)は、正弦波状の経過特性を有している、請求項5から8いずれか1項記載の方法。
- 前記検査信号(42)は、直交成分制御ループ(44)の逆の作動点依存性に相応して調整される、請求項5から9いずれか1項記載の方法。
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