JP5365553B2 - Liquid ejection head and image forming apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は液体吐出ヘッド及び画像形成装置に関する。 The present invention relates to a liquid discharge head and an image forming apparatus.
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド(液滴吐出ヘッド)からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置(インクジェット記録装置)が知られている。この液体吐出記録方式の画像形成装置は、記録ヘッドからインク滴を、搬送される用紙(紙に限定するものではなく、OHPなどを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称される。)に対して吐出して、画像形成(記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。)を行なうものであり、記録ヘッドが主走査方向に移動しながら液滴を吐出して画像を形成するシリアル型画像形成装置と、記録ヘッドが移動しない状態で液滴を吐出して画像を形成するライン型ヘッドを用いるライン型画像形成装置がある。 As an image forming apparatus such as a printer, a facsimile, a copying machine, a plotter, or a complex machine of these, for example, a liquid discharge recording type image forming using a recording head composed of a liquid discharge head (droplet discharge head) that discharges ink droplets. An apparatus (ink jet recording apparatus) is known. This liquid discharge recording type image forming apparatus means that ink droplets are transported from a recording head (not limited to paper, including OHP, and can be attached to ink droplets and other liquids). Yes, it is also ejected onto a recording medium or a recording medium, recording paper, recording paper, etc.) to form an image (recording, printing, printing, and printing are also used synonymously). And a serial type image forming apparatus that forms an image by ejecting liquid droplets while the recording head moves in the main scanning direction, and a line type head that forms images by ejecting liquid droplets without moving the recording head There are line type image forming apparatuses using
なお、本願において、液体吐出記録方式の「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること(単に液滴を媒体に着弾させること)をも意味する。また、「インク」とは、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、DNA試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。また、「画像」とは平面的なものに限らず、立体的に形成されたものに付与された画像、また立体自体を3次元的に造形して形成された像も含まれる。 In the present application, the “image forming apparatus” of the liquid discharge recording method is an apparatus that forms an image by discharging liquid onto a medium such as paper, thread, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, or the like. In addition, “image formation” means not only giving an image having a meaning such as a character or a figure to a medium but also giving an image having no meaning such as a pattern to the medium (simply It also means that a droplet is landed on a medium). “Ink” is not limited to ink, but is used as a general term for all liquids capable of image formation, such as recording liquid, fixing processing liquid, and liquid. DNA samples, resists, pattern materials, resins and the like are also included. In addition, the “image” is not limited to a planar one, but includes an image given to a three-dimensionally formed image, and an image formed by three-dimensionally modeling a solid itself.
液体吐出ヘッドとしては、例えば液室内の液体であるインクを加圧し圧力を発生するための圧力発生手段としての圧電体、特に圧電層と内部電極を交互に積層した積層型圧電部材に溝加工を施して複数の柱状の圧電素子(圧電素子柱)を形成した圧電アクチュエータを備え、積層型圧電素子のd33またはd31方向の変位で液室に壁面を形成する弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内容積、圧力を変化させて液滴を吐出させるいわゆる圧電型ヘッドが知られている。 As a liquid discharge head, for example, a groove is formed on a piezoelectric body as pressure generating means for generating pressure by applying ink, which is liquid in a liquid chamber, in particular, a laminated piezoelectric member in which piezoelectric layers and internal electrodes are alternately stacked. A piezoelectric actuator having a plurality of columnar piezoelectric elements (piezoelectric element columns) formed thereon, and deforming an elastically deformable diaphragm that forms a wall surface in the liquid chamber by displacement in the d33 or d31 direction of the laminated piezoelectric element; A so-called piezoelectric head that discharges droplets by changing the volume and pressure of a liquid chamber is known.
従来の液体吐出ヘッドやその製造方法に関しては、圧電基板のチャネル加工面と同面にチャネル加工用ブレードを用いて位置合わせ用溝を加工しておき、チャネル基板を作成した後、該チャネル基板の表面から位置合わせ用溝が露出するようにざぐり加工を行い、そのざぐり加工によって露出した位置合わせ用溝を基準位置として、チャネル基板を該基準位置から所定寸法に切断加工するヘッドの製造方法が知られている(特許文献1)。 With respect to a conventional liquid discharge head and a method for manufacturing the same, an alignment groove is processed using a channel processing blade on the same surface as the channel processing surface of the piezoelectric substrate, and after the channel substrate is created, A method of manufacturing a head is known in which spot machining is performed so that the alignment groove is exposed from the surface, and the channel substrate is cut from the reference position to a predetermined dimension using the alignment groove exposed by the spot machining as a reference position. (Patent Document 1).
また、2つの並列配置された圧電部材のベース部材との接合面に、接合方向に凹状とされた段差部が設けられ、段差部には、圧電部材が並列されることにより互いに対向される対向側面に関連するように、接合面に沿う方向におけるベース部材に対する位置調整の基準としてのアライメントマークが設けられ、圧電部材のうちの少なくとも一方には、圧電部材がベース部材に並列しつつ面当接された状態において、接合面に沿う方向において圧電部材の並列方向との直交方向に位置する外端壁面側で段差部を圧電部材の外方に連通するための開口が外端壁面に形成されているヘッドが知られている(特許文献2)。 In addition, a stepped portion that is concave in the joining direction is provided on the joint surface of the two piezoelectric members arranged in parallel with each other, and the stepped portions are opposed to each other when the piezoelectric members are arranged in parallel. As related to the side surface, an alignment mark is provided as a reference for position adjustment with respect to the base member in the direction along the joint surface, and at least one of the piezoelectric members is in surface contact with the piezoelectric member in parallel with the base member. In this state, the outer end wall surface is formed with an opening for communicating the stepped portion to the outside of the piezoelectric member on the outer end wall surface side located in the direction orthogonal to the parallel direction of the piezoelectric member in the direction along the bonding surface. A known head is known (Patent Document 2).
また、圧電部材を複数の圧電素子柱に分割する分割溝が形成されていない振動板との接合領域に分割溝への接着剤のはみ出しを阻止するためのダミー溝を有するヘッドが知られている(特許文献3)。 There is also known a head having a dummy groove for preventing the adhesive from protruding into the dividing groove in a joining region with the diaphragm in which the dividing groove for dividing the piezoelectric member into a plurality of piezoelectric element columns is not formed. (Patent Document 3).
ところで、画像形成装置において、高画質化に対応するために液滴の小滴化やノズルの高密度化を図り、高速化に対応するため駆動周波数の高周波数化や1ヘッド当たりのノズル数の増加によるライン型ヘッドに代表されるヘッドの長尺化などが行なわれている。 By the way, in an image forming apparatus, in order to cope with high image quality, droplets are reduced and nozzle density is increased, and in order to cope with high speed, the driving frequency is increased and the number of nozzles per head is increased. Increasing the length of heads typified by line-type heads is increasing.
このようにノズルの高密度化など高集積化に対応するためには、滴吐出特性に大きな影響を与える圧電アクチュエータと振動板部材の位置精度を高精度に接合する必要がある。 Thus, in order to cope with high integration such as high density nozzles, it is necessary to join the position accuracy of the piezoelectric actuator and the diaphragm member, which have a great influence on the droplet discharge characteristics, with high accuracy.
この場合、上述したように圧電部材の開口部を設けてアライメント用の溝の検出精度を向上させる構成にあっては、圧電部材を複雑な形状にしなければならないためにコストが高くなり、また、圧電部材と振動板部材とを仮止めするための接着剤の塗布領域を確保するためには圧電部材のサイズが大きくなってしまうといった課題が生じる。 In this case, as described above, in the configuration in which the opening of the piezoelectric member is provided to improve the detection accuracy of the alignment groove, the piezoelectric member has to be in a complicated shape, which increases the cost. In order to secure an application region of an adhesive for temporarily fixing the piezoelectric member and the diaphragm member, there arises a problem that the size of the piezoelectric member becomes large.
さらに、高集積化によって、アライメント用の溝幅が狭くなった場合においても高精度に検出できるようにすることが要求されている。 Furthermore, there is a demand for highly accurate detection even when the width of the alignment groove is narrowed by high integration.
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、小型化を図りながら、位置合わせ時の位置合わせ用溝の検出精度を向上させることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to improve the detection accuracy of the alignment groove at the time of alignment while achieving downsizing.
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
変形可能な振動板部材を変位させて液滴を吐出させる圧電アクチュエータを有する液体吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータは、
ベース部材上に並列に固定された少なくとも2つの圧電部材を有し、
前記2つの圧電部材の両端部には段差加工部が設けられ、
前記圧電部材の一端の段差加工部には、前記振動板部材との位置合わせに用いられる位置合わせ用溝部が設けられ、他端の段差加工部は、前記振動板部材との仮止めに用いられる仮止め用の接着剤塗布領域であり、
隣り合う圧電部材間では、前記位置合わせ用溝部と前記接着剤塗布領域が逆の関係で配置され、かつ、同じ端部側で前記位置合わせ用溝部と前記接着剤塗布領域が前記圧電部材の配列方向で重なっている
構成とした。
In order to solve the above-described problem, a liquid discharge head according to the present invention includes:
A liquid discharge head having a piezoelectric actuator for discharging a droplet by displacing a deformable diaphragm member,
The piezoelectric actuator is
Having at least two piezoelectric members fixed in parallel on the base member;
Stepped portions are provided at both ends of the two piezoelectric members,
The step processed portion at one end of the piezoelectric member is provided with an alignment groove portion used for alignment with the diaphragm member, and the step processed portion at the other end is used for temporary fixing with the diaphragm member. It is an adhesive application area for temporary fixing,
Between the adjacent piezoelectric members, the alignment groove and the adhesive application region are arranged in reverse relation, and the alignment groove and the adhesive application region are arranged on the same end side. The structure overlapped in the direction.
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。 The image forming apparatus according to the present invention includes the liquid discharge head according to the present invention.
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、小型化を図りながら、位置合わせ時の位置合わせ用溝の検出精度を向上させることができる。 According to the liquid ejection head according to the present invention, while achieving the miniaturization, it is possible to improve the detection accuracy of the alignment groove during positioning.
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高品質画像を形成することができる。 According to the image forming apparatus of the present invention, since the liquid ejection head according to the present invention is provided, a high quality image can be formed.
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図1ないし図4を参照して説明する。なお、図1は同ヘッドの分解斜視説明図、図2は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向(液室長手方向)に沿う断面説明図、図3及び図4は同ヘッドのノズル配列方向(液室短手方向)に沿う異なる例の断面説明図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. An example of a liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is an exploded perspective view of the head, FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view along a direction (liquid chamber longitudinal direction) orthogonal to the nozzle arrangement direction of the head, and FIGS. 3 and 4 are nozzle arrangement directions of the head. It is sectional explanatory drawing of the different example along (liquid chamber transversal direction).
この液体吐出ヘッドは、SUS基板で形成した流路板(流路基板、液室基板などとも称される。)1と、この流路板1の下面に接合した振動板を形成する振動板部材2と、流路板1の上面に接合したノズル板3とを有し、これらによって液滴(液体の滴)を吐出する複数のノズル4がそれぞれノズル連通路5を介して連通する個別流路としての複数の液室(加圧液室、圧力室、加圧室、流路などとも称される。)6、液室6にインクを供給する供給路を兼ねた流体抵抗部7、この流体抵抗部7を介して液室6と連通する連通部8を形成し、連通部8に振動板部材2に形成した供給口9を介して後述するフレーム部材17に形成した共通液室10からインクを供給する。
The liquid discharge head includes a flow path plate (also referred to as a flow path substrate or a liquid chamber substrate) 1 formed of a SUS substrate and a vibration plate member that forms a vibration plate bonded to the lower surface of the flow path plate 1. 2 and a
流路板1は、流路板1Aと連通板1Bとを接着して構成している。この流路板1は、SUS基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き(プレス)などの機械加工することで、連通路5、加圧液室6、流体抵抗部7などの開口をそれぞれ形成している。
The flow path plate 1 is configured by bonding a
振動板部材2は、第1層2Aと第2層2Bとで形成されて、第1層2Aで薄肉部を形成し、第1層2A及び第2層2Bで厚肉部を形成している。そして、この振動板部材2は、各液室6に対応してその壁面を形成する第1層2Aで形成された各振動領域(ダイアフラム部)2aを有し、この振動領域2aの中に、面外側(液室6と反対面側)に第1層2A及び第2層2Bの厚肉部で形成された島状凸部2bが設けられ、この島状凸部2bに振動領域2aを変形させる駆動手段(アクチュエータ手段、圧力発生手段)としての電気機械変換素子を含む本発明に係る圧電アクチュエータ100を配置している。
The
この圧電アクチュエータ100は、ベース部材13上に接着剤接合した複数(ここでは2つとする)の積層型圧電部材12を有し、圧電部材12にはハーフカットダイシングによって溝31を加工して1つの圧電部材12に対して所要数の圧電柱12A、12Bを所定の間隔で櫛歯状に形成している。なお、圧電部材12の圧電柱12A、12Bは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動圧電柱12A、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動圧電柱12Bとして区別している。そして、駆動圧電柱12Aの上端面(接合面)を振動板部材2の島状凸部2bに接合している。
The
ここで、圧電部材12は、圧電材料層21と内部電極22A、22Bとを交互に積層したものであり、内部電極22A、22Bをそれぞれ端面、即ち圧電部材12の振動板部材2に略垂直な側面(積層方向に沿う面)に引き出して、この側面に形成された端面電極(外部電極)23、24に接続し、端面電極(外部電極)23、24間に電圧を印加することで積層方向の変位を生じる。
Here, the
また、圧電部材12には駆動圧電柱12Aに駆動信号を与えるための可撓性を有する給電部材(配線部材)としてのフレキシブル配線基板であるFPC15が接続されている。FPC15には、図示しないが駆動圧電柱12Aに駆動波形を与えるドライバIC(駆動回路)が搭載され、ホットメルト接着剤16でベース部材13に固定されている。
The
なお、ここでは、上述したように、圧電部材12の圧電柱12A、12Bは、同じものであり、駆動波形を与えて駆動させる圧電柱を駆動圧電柱12A、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電柱を非駆動圧電柱12Bとして、図3に示すように、駆動圧電柱12Aと非駆動圧電柱12Bとを交互に使用するバイピッチ構成としているが、図4に示すように、すべての圧電柱を駆動圧電柱12Aとして使用するノーマルピッチ構成とすることもできる。
Here, as described above, the
ノズル板3は、ニッケル(Ni)の金属プレートから形成したもので、エレクトロフォーミング法(電鋳)で製造している。このノズル板3には各液室6に対応して直径10〜35μmのノズル4を形成し、流路板1に接着剤接合している。そして、このノズル板3の液滴吐出側面(吐出方向の表面:吐出面、又は液室6側と反対の面)には撥水層を設けている。
The
さらに、これらの圧電素子12、ベース部材13及びFPC15などで構成されるアクチュエータ部の外周側には、エポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイトで射出成形により形成したフレーム部材17を接合している。そして、このフレーム部材17には前述した共通液室10を形成し、更に共通液室10に外部から記録液を供給するための供給口を形成し、この供給口19は更に図示しないサブタンクやインクカートリッジなどのインク供給源に接続される。
Further, a
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば押し打ち方式で駆動する場合には、図示しない制御部から記録する画像に応じて駆動用圧電柱12Aに20〜50Vの駆動パルス電圧を選択的に印加することによって、パルス電圧が印加された圧電柱12Aが変位して振動板部材2の振動領域2aをノズル板3方向に変形させ、液室6の容積(体積)変化によって液室6内の液体を加圧することで、ノズル板3のノズル4から液滴が吐出される。そして、液滴の吐出に伴って液室6内の圧力が低下し、このときの液流れの慣性によって液室6内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電柱12Aへの電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板部材2が元の位置に戻って液室6が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室10から液室6内に記録液が充填され、次の駆動パルスの印加に応じて液滴がノズル4から吐出される。
In the liquid discharge head configured as described above, for example, when driven by a pushing method, a drive pulse voltage of 20 to 50 V is selectively applied to the driving
なお、液体吐出ヘッドは、上記の押し打ち以外にも、引き打ち方式(振動板部材2を引いた状態から開放して復元力で加圧する方式)、引き−押し打ち方式(振動板部材2を中間位置で保持しておき、この位置から引いた後、押出す方式)などの方式で駆動することもできる。
In addition to the above-described punching, the liquid discharge head is not limited to the pulling method (a method in which the vibrating
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第1実施形態について図5及び図6を参照して説明する。なお、図5は同アクチュエータの平面説明図、図6は同じく正面説明図である。
この圧電アクチュエータは、SUS430などのベース部材13上に2本の圧電部材12、12が並列に並べられてアクリル系の嫌気性接着剤で接合固定されている。圧電部材12には、溝31によって複数の圧電柱12a(駆動柱12A、12Bの総称で用いる。)が形成されている。
Next, a first embodiment of a piezoelectric actuator according to the present invention will be described with reference to FIGS. 5 is an explanatory plan view of the actuator, and FIG. 6 is an explanatory front view.
In this piezoelectric actuator, two
そして、これらの圧電部材12の両端には、振動板部材3との接合面側に段差加工部103A、103Bが設けられている。ここで、一端の段差加工部103Aの振動板部材3と対向することになる対向面104には位置合わせ用溝部106が設けられ、他端の段差加工部103Bの振動板部材3と対向することになる対向面107は仮止め用の接着剤(仮接着剤)108を塗布する接着剤塗布領域(以下、「対向面107」を「接着剤塗布領域107」と表記する。)が設けられている。
At both ends of these
さらに、隣り合う圧電部材12、12間では、位置合わせ用溝部106と接着剤塗布領域107が逆の関係で配置され、かつ、同じ端部側で位置合わせ用溝部106と接着剤塗布領域107が圧電部材12、12の配列方向(短手方向)で重なる(圧電部材12の長手方向の位置が重なる。)関係で配置されている。
Further, between the adjacent
なお、 仮接着剤108はアクリル系またはエポキシ系の紫外線硬化型接着剤が好ましいが、アクリル系の瞬間接着剤等を用いてもよい。
The
ここで、比較例について図7及び図8を参照して説明する。
この比較例は、圧電部材12の両端部に設けた段差加工部103A、103に、位置合わせ用溝部106と仮接着剤108を塗布する接着剤塗布領域107を設けたものである。
Here, a comparative example will be described with reference to FIGS.
In this comparative example, an
この比較例のような構成にすると、圧電部材12の長さが長くなってしまってしまい、工程もより複雑になってしまう。
If it is configured as in this comparative example, the length of the
これに対し、上記実施形態では、圧電部材12の1つの端部には位置合わせ用溝部106及び接着剤塗布領域107のいずれかしか設けないので、圧電部材12の長さを比較例よりも短くすることができる。また、仮接着剤塗布領域の面積も比較例と同等以上の面積を確保することができるため、接着剤強度が低下してしまうおそれもない。
On the other hand, in the above embodiment, since only one of the
さらに、位置合わせ用溝部106が形成された段差加工部103Aは、圧電部材12の外側に位置しているため、位置合わせを行うときに、段差加工部103Aに側方から光を照射しやすくなるため、溝部106の光量を多く確保できる。
Furthermore, since the step processed
つまり、比較例では圧電アクチュエータ100と振動板部材2との位置合わせを行うときに、両部材間にギャップを設けて側方からの光を確保しながら位置合わせし、その後加圧、接合する必要があり、両部材を当接させた状態での位置合わせや接合後の位置ずれ量を管理することができないという不都合があった。
That is, in the comparative example, when the
これに対し、上記実施形態では、位置合わせ用溝部106の側方からの光量を多く確保することができるために、圧電アクチュエータ100と振動板部材2との位置合わせを行うときに、当接状態(例えば弱い力で加圧している状態)でアライメントすることが可能となり、最終加圧状態での位置ずれを最小限に抑えることができる。さらに、接合後の位置ずれ量を管理することが可能となることによって、歩留まりが向上する。
On the other hand, in the above embodiment, since a large amount of light from the side of the
一方で接着剤塗布領域107についても比較例同様に側方に開口して設けられているため、紫外線等を側方から照射して硬化させる作業性についても比較例に劣ることはない。
On the other hand, since the
このように、2つの圧電部材の両端部には段差加工部が設けられ、圧電部材の一端の段差加工部には位置合わせ用溝部が設けられ、他端の段差加工部は仮止め用の接着剤塗布領域であり、隣り合う圧電部材間では、位置合わせ用溝部と接着剤塗布領域が逆の関係で配置され、かつ、同じ端部側で位置合わせ用溝部と接着剤塗布領域が圧電部材の配列方向で重なっている構成とすることで、小型化を図りながら、位置合わせ時の位置合わせ用溝の検出精度を向上させることができる。 In this way, stepped portions are provided at both ends of the two piezoelectric members, an alignment groove portion is provided at the stepped portion at one end of the piezoelectric member, and the stepped portion at the other end is bonded for temporary fixing. Between the adjacent piezoelectric members, the alignment groove portion and the adhesive application region are arranged in an opposite relationship, and the alignment groove portion and the adhesive application region are located on the same end side of the piezoelectric member. By adopting a configuration that overlaps in the arrangement direction, it is possible to improve the detection accuracy of the alignment groove at the time of alignment while achieving downsizing.
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第2実施形態について図9及び図10を参照して説明する。なお、図9は同アクチュエータの平面説明図、図10は同じく正面説明図である。
ここでは、ベース部材13上の2本の圧電部材12、12は、長手方向にずらし量Xだけずれた状態で接着接合している。
Next, a second embodiment of the piezoelectric actuator according to the present invention will be described with reference to FIGS. 9 is an explanatory plan view of the actuator, and FIG. 10 is an explanatory front view.
Here, the two
接着剤塗布領域107は、前述のとおり、仮接合強度を確保するためにある程度の面積を必要とする。これに対し、位置合わせ用溝部106を形成する段差加工部103Aは、溝部106が形成できる長さであればよいので、接着剤塗布領域に揃えて形成すると圧電部材の全長が必要以上に長くなってしまう。圧電部材はコストの高い部品であり、また体積にほぼ比例してコストが上昇するため、このような構成をとることでずらし量X分だけ圧電部材を短くすることができ、コストダウンを図ることができる。
As described above, the
また、位置合わせ用溝部106を圧電部材12の長手方向端部のエッジ傍に配置することができるようになるため、位置合わせを行なうときに位置合わせ用溝部106を検出するための照明を溝部106に容易に近づけることができるようになり、位置検出精度を上げることもできる。
Further, since the
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第3実施形態について図11及び図12を参照して説明する。なお、図11は同アクチュエータの平面説明図、図12は同じく正面説明図である。
ここでは、圧電部材12の段差加工部103Bの接着剤塗布領域107には接着剤逃がし用溝部109が形成されている。
Next, a third embodiment of the piezoelectric actuator according to the present invention will be described with reference to FIGS. 11 is an explanatory plan view of the actuator, and FIG. 12 is an explanatory front view.
Here, an
この接着剤逃がし用溝部109により余剰な仮接着剤108の流れ出しが防止され、また溝部109内に侵入した仮接着剤108を硬化させる(例えば紫外硬化型であれば、図11の図面上下方向から紫外光を照射し、接着剤逃がし用溝部109内に紫外光を導入すればよい。)ことによってアンカー効果を得ることができる。これにより、仮接着剤108の塗布量の制御が容易になり、また仮接着剤108の接合強度の向上を図れる。
The adhesive releasing
この場合、接着剤逃がし用溝部109は位置合わせ用溝部106と圧電部材長手方向における位置を同じにすることで、共通の溝加工工程で加工ができ、工程を簡略化することができる。
In this case, the adhesive escaping
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの振動板部材との接合方法について図13を参照して説明する。なお、図13は同接合方法の説明に供する一部を拡大した拡大図とともに示す平面説明図である。
ここでは、前記第1実施形態に係る圧電アクチュエータで説明すると、振動板部材2(前述したようにニッケル電鋳品やSUS/樹脂フィルム積層品)との位置合わせ工程において、振動板部材2に設けられた長穴120に対して、位置合わせ用溝部106(106A、106Bで両側を区別して表記する。)を位置合わせする。
Next, a method of joining the piezoelectric actuator according to the present invention to the diaphragm member will be described with reference to FIG. In addition, FIG. 13 is a plane explanatory view shown with an enlarged view of a part enlarged for explaining the joining method.
Here, the piezoelectric actuator according to the first embodiment will be described. In the alignment step with the vibration plate member 2 (nickel electroformed product or SUS / resin film laminate as described above), the
このときX方向(チャンネルピッチ方向:ノズル配列方向)は、溝部106のエッジを検出し、長穴120の所望の位置にくるよう調整実施する。Y方向(チャンネルピッチと垂直な方向:圧電部材配列方向)は、圧電部材12のエッジを検出し、長穴120に対して所望の位置にくるように調整を実施する。
At this time, in the X direction (channel pitch direction: nozzle arrangement direction), the edge of the
ここで、前記比較例に係る圧電アクチュエータについて説明すると、図14に示すように、X、Y方向において、溝部106A、106Bの中心、圧電部材12、12間中心位置を長穴120のそれぞれ中心位置にくるよう位置合わせを実施している。
Here, the piezoelectric actuator according to the comparative example will be described. As shown in FIG. 14, in the X and Y directions, the centers of the
この比較例の場合、X方向の位置合わせにおいて、位置合わせ用の溝加工時に発生するチッピング等の影響を受けやすい領域121が検出領域となるために、検出ばらつきが大きくなり、結果として位置ずれを生じるという不都合がある。
In the case of this comparative example, in the alignment in the X direction, since the
これに対し、本発明に係る圧電アクチュエータでは、検出する溝部106のエッジ長さAを長くすることで、検出するばらつきを小さくすることができる。また、高集積アクチュエータの場合は、位置合わせ用の溝部106の幅も狭くなるため、検出ばらつきを小さくするためには、高倍率のカメラを用いる必要があるが、高倍率カメラを用いるときには検出するエリアも小さくなるため、図13、図14で示される長穴の長さも制限される。このように、長さの制限された長穴においては、限られた長さの中で溝エッジ長さAを長く確保できる図13のような構成が特に好ましい。
On the other hand, in the piezoelectric actuator according to the present invention, the detection variation can be reduced by increasing the edge length A of the
次に、本発明に係る圧電アクチュエータの第4実施形態について図15及び図16を参照して説明する。なお、図15は同アクチュエータの平面説明図、図16は同じく正面説明図である。
ここでは、接着剤逃がし用溝部109の形状を位置合わせ用溝部106とは異なる形状としている。なお、溝加工の加工性を考慮して、位置合わせ用溝部106が隣接する接着剤塗布領域107まで延長されて形成されていてもよいし、逆に接着剤逃がし用溝部109が隣接する対向面104まで延長されて形成されていてもよい。
Next, a fourth embodiment of the piezoelectric actuator according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 15 is an explanatory plan view of the actuator, and FIG. 16 is an explanatory front view.
Here, the shape of the
位置合わせ用溝部106と接着剤逃がし用溝部109とに要求される構成(幅、深さなど)、工程(加工速度など)は当然ながら異なり、両者を同一加工工程では形成できない場合がある。具体的には、位置合わせ用溝部106は前述したチッピングの発生をできるだけ抑えるために低速で加工を行なう必要がある。また、エッジ検出のコントラストを確保するために、ある程度の深さも必要となる。一方で、接着剤逃がし用溝部109には、接着剤を保持する体積をかせぐために、深さよりもむしろ幅もしくは本数が必要となる。本数を複数加工するためには、加工時間が長くなることも考慮し、加工速度も高速にする必要が生じる。
Needless to say, the configuration (width, depth, etc.) and process (processing speed, etc.) required for the
したがって、両方の溝部は独立して設けることが好ましく、これにより、接着剤の流れ出しの抑制と接合位置精度の確保の確実な両立が可能となる。また、両方の溝を配列された他の圧電部材にまで延長することにより、溝加工を一括して形成でき、工程を簡略化することもできる。 Therefore, it is preferable that both the groove portions are provided independently, and this makes it possible to surely achieve both the suppression of the flow of the adhesive and the securing of the joining position accuracy. Further, by extending both grooves to other arranged piezoelectric members, groove processing can be formed in a lump and the process can be simplified.
上述した液体吐出ヘッドでは本発明に係る圧電アクチュエータを圧電アクチュエータ100として備えるので、滴吐出特性のバラツキが低減する。
Since the liquid discharge head described above includes the piezoelectric actuator according to the present invention as the
なお、上述した液体吐出ヘッドとこの液体吐出ヘッドに液体を供給するタンクを一体化することでヘッド一体型液体カートリッジ(カートリッジ一体型ヘッド)を得ることができる。 Note that a head-integrated liquid cartridge (cartridge-integrated head) can be obtained by integrating the above-described liquid discharge head and a tank that supplies liquid to the liquid discharge head.
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図17及び図18を参照して説明する。なお、図17は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図18は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。
Next, an example of the image forming apparatus according to the present invention including the liquid ejection head according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 17 is a schematic configuration diagram for explaining the overall configuration of the mechanism portion of the apparatus, and FIG. 18 is a plan view for explaining a main portion of the mechanism portion.
This image forming apparatus is a serial type image forming apparatus, and a
このキャリッジ233には、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドユニットからなる記録ヘッド234を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
The
記録ヘッド234は、それぞれ2つのノズル列を有する液体吐出ヘッド234a、234bを1つのベース部材に取り付けて構成したもので、一方のヘッド234aの一方のノズル列はブラック(K)の液滴を、他方のノズル列はシアン(C)の液滴を、他方のヘッド234bの一方のノズル列はマゼンタ(M)の液滴を、他方のノズル列はイエロー(Y)の液滴を、それぞれ吐出する。なお、ここでは2ヘッド構成で4色の液滴を吐出する構成としているが、各色毎の液体吐出ヘッドを備えることもできる。
The
また、キャリッジ233には、記録ヘッド234のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのサブタンク235a、235b(区別しないときは「サブタンク235」という。)を搭載している。このサブタンク235には各色の供給チューブ236を介して、供給ユニット224によって各色のインクカートリッジ210から各色のインクが補充供給される。
The
一方、給紙トレイ202の用紙積載部(圧板)241上に積載した用紙242を給紙するための給紙部として、用紙積載部241から用紙242を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙コロ)243及び給紙コロ243に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド244を備え、この分離パッド244は給紙コロ243側に付勢されている。
On the other hand, as a paper feed unit for feeding the
そして、この給紙部から給紙された用紙242を記録ヘッド234の下方側に送り込むために、用紙242を案内するガイド部材245と、カウンタローラ246と、搬送ガイド部材247と、先端加圧コロ249を有する押さえ部材248とを備えるとともに、給送された用紙242を静電吸着して記録ヘッド234に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト251を備えている。
In order to feed the
この搬送ベルト251は、無端状ベルトであり、搬送ローラ252とテンションローラ253との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。また、この搬送ベルト251の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ256を備えている。この帯電ローラ256は、搬送ベルト251の表層に接触し、搬送ベルト251の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト251は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ252が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。
The
さらに、記録ヘッド234で記録された用紙242を排紙するための排紙部として、搬送ベルト251から用紙242を分離するための分離爪261と、排紙ローラ262及び排紙コロ263とを備え、排紙ローラ262の下方に排紙トレイ203を備えている。
Further, as a paper discharge unit for discharging the
また、装置本体の背面部には両面ユニット271が着脱自在に装着されている。この両面ユニット271は搬送ベルト251の逆方向回転で戻される用紙242を取り込んで反転させて再度カウンタローラ246と搬送ベルト251との間に給紙する。また、この両面ユニット271の上面は手差しトレイ272としている。
A double-
さらに、キャリッジ233の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド234のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構281を配置している。この維持回復機構281には、記録ヘッド234の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材(以下「キャップ」という。)282a、282b(区別しないときは「キャップ282」という。)と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード283と、増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け284などを備えている。
Further, a maintenance /
また、キャリッジ233の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘したインクを排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け288を配置し、この空吐出受け288には記録ヘッド234のノズル列方向に沿った開口部289などを備えている。
In addition, in the non-printing area on the other side of the
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ202から用紙242が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙242はガイド245で案内され、搬送ベルト251とカウンタローラ246との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド237で案内されて先端加圧コロ249で搬送ベルト251に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。
In this image forming apparatus configured as described above, the
このとき、帯電ローラ256に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト251が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト251上に用紙242が給送されると、用紙242が搬送ベルト251に吸着され、搬送ベルト251の周回移動によって用紙242が副走査方向に搬送される。
At this time, a positive output and a negative output are alternately applied to the charging
そこで、キャリッジ233を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド234を駆動することにより、停止している用紙242にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙242を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙242の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙242を排紙トレイ203に排紙する。
Therefore, by driving the
このように、この画像形成装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、滴吐出特性のバラツキが少なく、高画質画像を形成することができる。 As described above, since the image forming apparatus includes the liquid discharge head according to the present invention, there is little variation in the droplet discharge characteristics, and a high-quality image can be formed.
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の他の例について図19を参照して説明する。なお、図19は同装置の機構部全体の概略構成図である。
この画像形成装置は、ライン型画像形成装置であり、装置本体401の内部に画像形成部402等を有し、装置本体401の下方側に多数枚の記録媒体(用紙)403を積載可能な給紙トレイ404を備え、この給紙トレイ404から給紙される用紙403を取り込み、搬送機構405によって用紙403を搬送しながら画像形成部402によって所要の画像を記録した後、装置本体401の側方に装着された排紙トレイ406に用紙403を排紙する。
Next, another example of the image forming apparatus according to the present invention including the liquid ejection head according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 19 is a schematic configuration diagram of the entire mechanism unit of the apparatus.
This image forming apparatus is a line type image forming apparatus, has an
また、装置本体401に対して着脱可能な両面ユニット407を備え、両面印刷を行うときには、一面(表面)印刷終了後、搬送機構405によって用紙403を逆方向に搬送しながら両面ユニット407内に取り込み、反転させて他面(裏面)を印刷可能面として再度搬送機構405に送り込み、他面(裏面)印刷終了後排紙トレイ406に用紙403を排紙する。
Also, a
ここで、画像形成部402は、例えばブラック(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の各色の液滴を吐出する、フルライン型の4個の本発明に係る液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド411k、411c、411m、411y(色を区別しないときには「記録ヘッド411」という。)を備え、各記録ヘッド411は液滴を吐出するノズルを形成したノズル面を下方に向けてヘッドホルダ413に装着している。
Here, the
また、各記録ヘッド411に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構412k、412c、412m、412y(色を区別しないときには「維持回復機構412」という。)を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド411と維持回復機構412とを相対的に移動させて、記録ヘッド411のノズル面に維持回復機構412を構成するキャッピング部材などを対向させる。
In addition, a maintenance /
なお、ここでは、記録ヘッド411は、用紙搬送方向上流側から、ブランク、シアン、マゼンタ、イエローの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。また、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で設けた1又は複数のヘッドを用いることもできるし、ヘッドとこのヘッドにインクを供給する液体カートリッジを一体とすることも別体とすることもできる。 Here, the recording head 411 is arranged to eject droplets of each color in the order of blank, cyan, magenta, and yellow from the upstream side in the paper conveyance direction, but the arrangement and the number of colors are not limited to this. Further, as the line type head, one or a plurality of heads provided with a plurality of nozzle rows for discharging droplets of each color at a predetermined interval can be used, or a head and a liquid cartridge for supplying ink to the head are integrated. Or a separate body.
給紙トレイ404の用紙403は、給紙コロ(半月コロ)421と図示しない分離パッドによって1枚ずつ分離され装置本体401内に給紙され、搬送ガイド部材423のガイド面423aに沿ってレジストローラ425と搬送ベルト433との間に送り込まれ、所定のタイミングでガイド部材426を介して搬送機構405の搬送ベルト433に送り込まれる。
The
また、搬送ガイド部材423には両面ユニット407から送り出される用紙403を案内するガイド面423bも形成されている。更に、両面印刷時に搬送機構405から戻される用紙403を両面ユニット407に案内するガイド部材427も配置している。
In addition, the
搬送機構405は、駆動ローラである搬送ローラ431と従動ローラ432との間に掛け渡した無端状の搬送ベルト433と、この搬送ベルト433を帯電させるための帯電ローラ434と、画像形成部402に対向する部分で搬送ベルト433の平面性を維持するプラテン部材435と、搬送ベルト433から送り出す用紙403を搬送ローラ431側に押し付ける押さえコロ436と、その他図示しないが、搬送ベルト433に付着したインクを除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなるクリーニングローラなどを有している。
The
この搬送機構405の下流側には、画像が記録された用紙403を排紙トレイ406に送り出すための排紙ローラ438及び拍車439を備えている。
On the downstream side of the
このように構成した画像形成装置において、搬送ベルト433は矢示方向に周回移動し、高電位の印加電圧が印加される帯電ローラ434と接触することで帯電され、この高電位に帯電した搬送ベルト433上に用紙403が給送されると、用紙403は搬送ベルト433に静電的に吸着される。このようにして、搬送ベルト433に強力に吸着した用紙403は反りや凹凸が校正され、高度に平らな面が形成される。
In the image forming apparatus configured as described above, the
そして、搬送ベルト433を周回させて用紙403を移動させ、記録ヘッド411から液滴を吐出することで、用紙403上に所要の画像が形成され、画像が記録された用紙403は排紙ローラ438によって排紙トレイ406に排紙される。
Then, the
このように、この画像形成装置においては、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、滴吐出特性のバラツキが少なく、高速で、高画質画像を形成することができる。 As described above, since the image forming apparatus includes the liquid discharge head according to the present invention, there is little variation in the droplet discharge characteristics, and a high-quality image can be formed at high speed.
なお、上記実施形態では本発明をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ/ファックス/コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、狭義のインク以外の液体や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。 In the above embodiment, the present invention has been described with reference to an example in which the present invention is applied to an image forming apparatus having a printer configuration. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention may be applied to an image forming apparatus such as a printer / fax / copier multifunction machine. it can. Further, the present invention can be applied to an image forming apparatus using a liquid other than the narrowly defined ink, a fixing processing liquid, or the like.
1 流路板(流路基板)
2 振動板部材
3 ノズル板
4 ノズル
6 液室
10 共通液室
12 圧電部材
12A 駆動柱
12B 非駆動柱
12a 圧電柱
13 ベース部材
103A、103B 段差加工部
104 対向面
106 位置合わせ用溝部
107 接着剤塗布領域(対向面)
108 仮接着剤
109 接着剤逃がし用溝部
233 キャリッジ
234a、234b 記録ヘッド
411k、411c、411m、411y 記録ヘッド
1 Channel plate (channel substrate)
2
108
233
Claims (5)
前記圧電アクチュエータは、
ベース部材上に並列に固定された少なくとも2つの圧電部材を有し、
前記2つの圧電部材の両端部には段差加工部が設けられ、
前記圧電部材の一端の段差加工部には、前記振動板部材との位置合わせに用いられる位置合わせ用溝部が設けられ、他端の段差加工部は、前記振動板部材との仮止めに用いられる仮止め用の接着剤塗布領域であり、
隣り合う圧電部材間では、前記位置合わせ用溝部と前記接着剤塗布領域が逆の関係で配置され、かつ、同じ端部側で前記位置合わせ用溝部と前記接着剤塗布領域が前記圧電部材の配列方向で重なっている
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。 A liquid discharge head having a piezoelectric actuator for discharging a droplet by displacing a deformable diaphragm member,
The piezoelectric actuator is
Having at least two piezoelectric members fixed in parallel on the base member;
Stepped portions are provided at both ends of the two piezoelectric members,
The step processed portion at one end of the piezoelectric member is provided with an alignment groove portion used for alignment with the diaphragm member, and the step processed portion at the other end is used for temporary fixing with the diaphragm member. It is an adhesive application area for temporary fixing,
Between the adjacent piezoelectric members, the alignment groove and the adhesive application region are arranged in reverse relation, and the alignment groove and the adhesive application region are arranged on the same end side. A liquid discharge head characterized by overlapping in a direction.
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