JP5362019B2 - 波の伝搬を用いた検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Description
(a)変換器iの集合体によって(すなわち、変換器の集合体のすべてまたは一部によって)散乱性の媒質中に入射波を発信する複数回の発信(a1)と、各入射波の媒質での反射波を表す信号を当該変換器の集合体によって(すなわち、変換器の集合体のすべてまたは一部によって)捕捉する複数回の受信(a2)と、を含む測定ステップと、
(b)捕捉した信号を処理する処理ステップと、
を含む、波の伝搬を用いた検査方法に関する。
前記各点rkが互いに異なるときに、前記複数組kの反射信号Bk(i, t)のタイミング調整を行い、補正信号B0k(i, t)=Bk(i, t−Gi(rk))(値Gi(rk)は、前記変換器iに信号ek(i, t)=e0(i, t+Gi(rk))を発信させたときに入射波がほぼ前記点rkに集束する遅延。信号e0(i, t)は基準信号であって、前記変換器iに前記基準信号e0(i, t)を発信させたときに入射波がほぼ前記点r0に集束する基準信号)を取得し、
前記信号B0k(i, t)=Bk(i, t−Gi(rk))同士の位相を合わせ(各点rkがr0と同一視されるときは、Gi(rk)=0となり、従ってB0k(i, t)=Bk(i, t)となることに留意されたい)、それらを平均化することによって、平均信号Bf(i, t)(値ckは各々の前記信号B0kの位相合わせを可能にする遅延。Akは重み係数(場合によっては、すべての係数Akが1でありうる))を得る。
−各点rkにそれぞれ集束する入射波から物理的に捕捉される信号。この場合、信号は実際に物理的に反射されたものであり、実際に物理的に点rkに由来するものである。
−各点rkに集束しない入射波から合成された信号。この場合、合成された信号は、点rkから物理的に反射されたものではなく、点rkから物理的に反射されたならば得られたあろう信号を再現したものとなる。
−前記各組kの信号は前記点rkに集束する発信kに対応し、前記各発信kの際に信号ek(i, t)=e0(i, t+Gi(rk))が発信される。
−前記遅延Gi(rk)は、前記変換器iに信号ek(i, t)=e0(i, t+Gi(rk))を発信させるとき、前記媒質が均質であると仮定した場合に前記入射波が前記点rkに集束する遅延である。
−前記基準信号e0(i, t)は、前記媒質が均質であるとみなして決定される。
−前記遅延ckは前記信号B0k(i, t)を前記信号e0(i, t)と比較することによって計算される。
−前記遅延ckは前記各信号B0k(i, t)を互いに比較することによって計算される。
−前記測定ステップ及び前記処理ステップは、同一のアイソプラナティックゾーンZI(r0)に対する複数回にわたる連続した反復jによって行われ、その反復ごとに平均信号Bfj(i, t)が得られ、初回反復1に続く新たな各前記反復jの前記発信(a1)に使用される前記信号e0(i, t)は、ステップj−1で決定された前記平均信号Bfj-1(i, t)の時間反転Bfj-1(i, -t)の推定値をもとに決定される。
−前記時間反転の前記推定値は、前記時間反転Bfj-1(i, -t)の波面をもとに決定される。
−前記初回反復j=1の前記基準信号e0(i, t)は、前記媒質が均質であるとみなして決定される。
−前記遅延Gi(rk)は0であり、前記媒質がランダム運動をする散乱体を含んでいるとき、すべての前記点rkは前記点r0と同一視される。
−前記反射信号Bk(i, t)は、前記測定ステップで行われる前記発信及び前記受信をもとに、合成手法によって形成される。
−前記媒質の相異なる点r0に関連する複数の平均信号Bf(i, t)が決定され、前記複数の平均信号Bf(i, t)が、前記媒質の画像の形成に利用される。
−前記平均信号Bf(i, t)は、前記媒質に固有のパラメータの計算に利用される。
−前記パラメータは前記波の伝搬速度である。
−前記波は、超音波、力学的な波及び電磁波の中から選択される。
−前記波は、超音波、(超音波以外の)力学的な波及び電磁波の中から選択される。
前記変換器iの集合体(3)に前記媒質(1)中に前記入射波を発信させる複数回の発信(a1)と、前記各入射波が前記媒質で反射された反射波を表す前記信号を捕捉する複数回の受信(a2)と、を含む少なくとも1回の測定を前記変換器の集合体(3)に行わせるようにされた制御手段(5)と、
さらに、同一のアイソプラナティックゾーンZI(r0)に属する点rkにそれぞれがほぼ由来する複数組kの反射信号Bk(i, t)であって、前記アイソプラナティックゾーンZI(r0)は前記複数組kの信号に共通し、それ自体は前記媒質の点r0と関連しており、各前記点rkは前記媒質に拘わらず互いに異なることもあれば、前記媒質がランダム運動をする散乱体を含むときは点r0と同一視されることもある、複数組kの反射信号Bk(i, t)を考える処理ステップ(b)を行うようにされた処理手段(5)と、を備え、
前記処理手段(5)は、
前記各点rkが互いに異なるときに、前記複数組kの反射信号Bk(i, t)のタイミング調整を行い、補正信号B0k(i, t)=Bk(i, t−Gi(rk))(値Gi(rk)は、前記変換器iに信号ek(i, t)=e0(i, t+Gi(rk))を発信させたときに入射波がほぼ前記点rkに集束する遅延。信号e0(i, t)は基準信号であって、前記変換器iに前記基準信号e0(i, t)を発信させたときに入射波がほぼ前記点r0に集束する基準信号)を取得するようにされ、さらに、
前記信号B0k(i, t)=Bk(i, t−Gi(rk))同士の位相を合わせ、それらを平均化することによって、平均信号
−ゾーン平均化 (moyennage de zone):大半の適用例では、媒質は変化せず、ランダムな媒質についての様々な時間的態様を得ることはできない。その場合、ランダムな媒質の様々な空間的態様を利用してゾーン平均化を行うことができる。この空間的態様は、同じ一群の発信に属する様々な発信の入射波を、その一群の発信の標的点r0を囲む「アイソプラナティックゾーン」と呼ばれる小ゾーン内に位置する複数の点に順次集束させることによって得られる。
−整相 (rephasage):特に媒質が変化するときは、同じ一群の発信に属する波fk(x, z, t)とfk'(x, z, t)の位相がずれる。従って、捕捉された信号を、平均化の前に同位相に戻すことが好ましい。
静的な媒質内にあっては、点r0に正確に集束する入射波を用いたときに、(媒質1の同一点r0に対応する)同じ一群の受信において、後方散乱信号の様々なランダムな態様を得ることはできない。
散乱体の異なる2つの態様(すなわち、散乱体の異なる2つのランダムな状態)に対応する同じ一群内の異なる2回の発射に由来する2つの後方散乱信号Bk(x, z, t)とBk'(x, z, t)の間では、コヒーレントな信号Bfk(x, z, t)とBfk'(x, z, t)はほぼ同じであるが、タイミング調整後であっても両者の間には位相差がある可能性がある。これは、例えば、2回の発射の間で媒質が変化するからであり、または、単純に、媒質の不均質性を考えると、2つの異なる点への集束後に2つの後方散乱信号をタイミング調整によって完全に整相することはできないという理由による。
媒質1の各標的点r0に対応するコヒーレントな信号Bf(i, t)が得られると、最初の集束よりも良好な集束度で点r0に集束する新たな発信を形成することが可能になる。この新たな信号は、信号Bf(i, t)を時間的に反転させることによって得ることができる。この場合、e0(i, t)=Bf(i, -t)を、これがr0に集束する信号であることから、基準信号とする。
上述のすべての変形例において、場合により、1つまたは複数の点rkに集束しない入射波を発信することが可能である。その場合、測定ステップで行われる発信及び受信から従来の合成手法によって(例えば、集束しない入射波からの捕捉信号を線形に組み合わせることにより)、反射波Bk(i, t)を、rkに集束する波の発信後にその信号Bk(i, t)が捕捉されたかのように帰納的に形成することが可能である。合成された信号Bk(i, t)は、その後、上に説明したように扱うことができる。
図7,8はそれぞれ、波長よりもはるかに小さい多くの微小散乱体(寒天の粉)を含むゼラチン塊からなる媒質1の、2つのエコー検査画像を示したものである。厚さ3mmの不規則な形状の収差発生媒質が変換器のネットワークと媒質との間に配置されている。この収差発生媒質は超音波ビームに大きな位相変化(>2π)を生じさせる。
波の伝搬速度がわかっていない均質な媒質を考える。本発明の手法によって得られた後方散乱波のコヒーレントな寄与分を利用して、その速度を計算することができる。均質な媒質中では、点r0から生じる後方散乱信号のコヒーレントな部分は次式に対応する。波の伝搬速度cは、平均化された捕捉信号Bf(i, t)を伝搬モデルに基づき解析曲線に対応させることによって推定することができる。この適用法は、層状の不均質な媒質の場合にも容易に拡張することができる。
Claims (16)
- (a)変換器iの集合体(3)によって散乱性の媒質(1)中に入射波を発信する複数回の発信(a1)と、前記各入射波の前記媒質(1)での反射波を表す信号を前記変換器の集合体によって捕捉する複数回の受信(a2)と、を含む測定ステップと、
(b)捕捉した前記信号を処理する処理ステップと、
を含む、波の伝搬を用いた検査方法において、
前記処理ステップで、同一のアイソプラナティックゾーンZI(r0)に属する点rkにそれぞれがほぼ由来する複数組kの反射信号であって、前記アイソプラナティックゾーンZI(r0)は前記複数組kの信号に共通し、それ自体は前記媒質の点r0と関連しており、各前記点rkは前記媒質に拘わらず互いに異なることもあれば、前記媒質がランダム運動をする散乱体を含むときは点r0と同一視されることもある、複数組kの反射信号Bk(i, t)を考え、
前記各点rkが互いに異なるときに、前記複数組kの反射信号Bk(i, t)のタイミング調整を行い、補正された信号B0k(i, t)=Bk(i, t−Gi(rk))(値Gi(rk)は、前記変換器iに信号ek(i, t)=e0(i, t+Gi(rk))を発信させたときに入射波がほぼ前記点rkに集束する遅延。信号e0(i, t)は基準信号であって、前記変換器iに前記基準信号e0(i, t)を発信させたときに入射波がほぼ前記点r0に集束する基準信号)を取得し、
前記信号B0k(i, t)=Bk(i, t−Gi(rk))同士の位相を合わせ、それらを平均化することによって、平均信号
- 前記各組kの信号は前記点rkに集束する発信kに対応し、前記各発信kの際に信号ek(i, t)=e0(i, t+Gi(rk))が発信される、請求項1に記載の方法。
- 前記遅延Gi(rk)は、前記変換器iに信号ek(i, t)=e0(i, t+Gi(rk))を発信させるとき、前記媒質が均質であると仮定した場合に前記入射波が前記点rkに集束する遅延である、請求項1に記載の方法。
- 前記基準信号e0(i, t)は、前記媒質が均質であるとみなして決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記遅延ckは前記信号B0k(i, t)を前記信号e0(i, t)と比較することによって計算される、請求項1に記載の方法。
- 前記遅延ckは前記各信号B0k(i, t)を互いに比較することによって計算される、請求項1に記載の方法。
- 前記測定ステップ及び前記処理ステップは、同一のアイソプラナティックゾーンZI(r0)に対する複数回にわたる連続した反復jによって行われ、その反復ごとに平均信号Bfj(i, t)が得られ、初回反復1に続く新たな各前記反復jの前記発信(a1)に使用される前記信号e0(i, t)は、ステップj−1で決定された前記平均信号Bfj-1(i, t)の時間反転Bfj-1(i, -t)の推定値をもとに決定される、請求項2に記載の方法。
- 前記時間反転の前記推定値は、前記時間反転Bfj-1(i, -t)の波面をもとに決定される、請求項7に記載の方法。
- 前記初回反復j=1の前記基準信号e0(i, t)は、前記媒質が均質であるとみなして決定される、請求項7に記載の方法。
- 前記遅延Gi(rk)は0であり、前記媒質がランダム運動をする散乱体を含んでいるとき、すべての前記点rkは前記点r0と同一視される、請求項1に記載の方法。
- 前記反射信号Bk(i, t)は、前記測定ステップで行われる前記発信及び前記受信をもとに、合成手法によって形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記媒質の相異なる点r0に関連する複数の平均信号Bf(i, t)が決定され、前記複数の平均信号Bf(i, t)が、前記媒質の画像の形成に利用される、請求項1に記載の方法。
- 前記平均信号Bf(i, t)は、前記媒質に固有のパラメータの計算に利用される、請求項1に記載の方法。
- 前記パラメータは前記波の伝搬速度である、請求項13に記載の方法。
- 前記波は、超音波、力学的な波及び電磁波の中から選択される、請求項1に記載の方法。
- 請求項1から15のいずれか1項に記載の検査方法を実施するための装置であって、
散乱性の媒質(1)中に入射波を発信し、前記入射波が前記媒質(1)で反射された反射波を表す信号を捕捉するようにされた変換器iの集合体(3)と、
前記変換器iの集合体(3)に前記媒質(1)中に前記入射波を発信させる複数回の発信(a1)と、前記各入射波が前記媒質で反射された反射波を表す前記信号を捕捉する複数回の受信(a2)と、を含む少なくとも1回の測定を前記変換器の集合体(3)に行わせるようにされた制御手段(5)と、
さらに、同一のアイソプラナティックゾーンZI(r0)に属する点rkにそれぞれがほぼ由来する複数組kの反射信号Bk(i, t)であって、前記アイソプラナティックゾーンZI(r0)は前記複数組kの信号に共通し、それ自体は前記媒質の点r0と関連しており、各前記点rkは前記媒質に拘わらず互いに異なることもあれば、前記媒質がランダム運動をする散乱体を含むときは点r0と同一視されることもある、複数組kの反射信号Bk(i, t)を考える処理ステップ(b)を行うようにされた処理手段(5)と、を備え、
前記処理手段(5)は、
前記各点rkが互いに異なるときに、前記複数組kの反射信号Bk(i, t)のタイミング調整を行い、補正信号B0k(i, t)=Bk(i, t−Gi(rk))(値Gi(rk)は、前記変換器iに信号ek(i, t)=e0(i, t+Gi(rk))を発信させたときに入射波がほぼ前記点rkに集束する遅延。信号e0(i, t)は基準信号であって、前記変換器iに前記基準信号e0(i, t)を発信させたときに入射波がほぼ前記点r0に集束する基準信号)を取得するようにされ、さらに、
前記信号B0k(i, t)=Bk(i, t−Gi(rk))同士の位相を合わせ、それらを平均化することによって、平均信号
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