JP5355858B2 - Multilayer wiring circuit board - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer wiring circuit board which sufficiently suppresses the occurrence of the breakage or deformation of the wiring circuit board in the course of processing the wiring circuit board to increase the density of the wiring circuit board through thickness reduction. <P>SOLUTION: The multilayer wiring circuit board includes at least two or more polyimide base material layers, and wiring circuit layers each formed at least on one surface of each polyimide base material layer. At least one of the polyimide base material layers is a polyimide resin layer that has a tearing propagation resistance of 100 to 400 mN, and a thermal expansion coefficient of 30&times;10<SP>-6</SP>/K or less. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、多層配線回路基板に関し、詳しくは、小型化、軽量化、高機能化等が要求されている電子情報機器に使用される多層配線回路基板に関する。   The present invention relates to a multilayer wiring circuit board, and more particularly to a multilayer wiring circuit board used in electronic information equipment that is required to be reduced in size, weight, and functionality.

近年、電子情報機器の小型化、軽量化、高機能化等に伴い、基板配線の高密度化が要求されている。また、このように基板配線の高密度化する実用的手段の一つとして配線回路が多層に形成された多層配線回路基板が知られている。そして、例えば、特開平9−92980号公報(特許文献1)には、フレキシブル部分を有する多層配線回路基板が開示されており、このような多層配線回路基板には、ポリイミド樹脂層の片面又は両面に銅箔等の金属箔を設けた銅張積層板が使用されている。   In recent years, with the miniaturization, weight reduction, high functionality, etc. of electronic information equipment, higher density of substrate wiring is required. In addition, a multilayer wiring circuit board in which wiring circuits are formed in multiple layers is known as one of practical means for increasing the density of substrate wiring. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 9-92980 (Patent Document 1) discloses a multilayer wiring circuit board having a flexible portion, and such a multilayer wiring circuit board includes one or both sides of a polyimide resin layer. A copper-clad laminate provided with a metal foil such as copper foil is used.

しかしながら、現在、一般的に使用されている銅張積層板を用いて多層配線回路基板を作製した場合には、基材層であるポリイミド樹脂層を薄くすると搬送時や多層配線回路基板の加工時にポリイミド樹脂層の強度が不足するため、ポリイミド樹脂層を十分に薄くすることが困難であるという問題があり、多層配線回路基板の薄肉化の阻害要因の1つとなっていた。   However, when a multilayer wiring circuit board is manufactured using a copper clad laminate that is currently used in general, if the polyimide resin layer as a base layer is thinned, it is necessary to transport or process the multilayer wiring circuit board. Since the strength of the polyimide resin layer is insufficient, there is a problem that it is difficult to make the polyimide resin layer sufficiently thin, which is one of the factors that hinder the thinning of the multilayer wiring circuit board.

すなわち、従来の多層配線回路基板においては、上記のような銅張積層板を複数層積層することとなるので、多層配線回路基板の合計厚みが厚くなり、そのため、多層配線回路基板の加工工程における破断等の発生を十分に抑制しつつ、多層配線回路基板の薄肉化を図ることは困難であった。
特開平9−92980号公報
That is, in the conventional multilayer wiring circuit board, since the copper-clad laminate as described above is laminated, the total thickness of the multilayer wiring circuit board is increased, and therefore in the processing process of the multilayer wiring circuit board. It has been difficult to reduce the thickness of the multilayer printed circuit board while sufficiently suppressing the occurrence of breakage and the like.
JP-A-9-92980

本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、多層配線回路基板の加工工程における破断や変形の発生を十分に抑制しつつ、薄肉化による高密度化を図ることが可能な多層配線回路基板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and it is possible to increase the density by reducing the thickness while sufficiently suppressing the occurrence of breakage and deformation in the processing step of the multilayer printed circuit board. An object of the present invention is to provide a multilayer wiring circuit board.

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、少なくとも2層以上のポリイミド基材層と、前記ポリイミド基材層の少なくとも片面にそれぞれ形成された配線回路層とを有する多層配線回路基板において、前記ポリイミド基材層を特定の条件を満たすポリイミド樹脂層とすることにより、多層配線回路基板の加工工程における破断や変形の発生を十分に抑制しつつ、薄肉化による高密度化を図ることが可能な多層配線回路基板を得ることができることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have obtained a multilayer having at least two polyimide base layers and a wiring circuit layer formed on at least one side of the polyimide base layer. In a printed circuit board, by making the polyimide base material layer a polyimide resin layer that satisfies a specific condition, it is possible to increase the density by reducing the thickness while sufficiently suppressing the occurrence of breakage and deformation in the processing process of the multilayer printed circuit board. The present inventors have found that a multilayer wiring circuit board capable of achieving the above can be obtained, and have completed the present invention.

すなわち、本発明の多層配線回路基板は、少なくとも2層以上のポリイミド基材層と、前記ポリイミド基材層の少なくとも片面にそれぞれ形成された配線回路層とを有し、少なくとも1層の前記配線回路層が2層の前記ポリイミド基材層の間に配置される多層配線回路基板であって、前記ポリイミド基材層のうちの少なくとも1層が、厚さ26μmで測定される引裂き伝播抵抗が100〜400mNの範囲であり、熱膨張係数が30×10−6/K以下であり、厚さが5〜35μmの範囲であり、かつ下記一般式(1):
(式(1)において、Rは炭素数1〜6の低級アルキル基、フェニル基又はハロゲンを示し、lは存在モル比を示す。)
で表される構造単位を50モル%以上の割合で有するポリイミド樹脂層(A)を主たるポリイミド層として有するポリイミド樹脂層であることを特徴とするものである。
That is, the multilayer wiring circuit board of the present invention includes at least two or more layers of the polyimide substrate layer, wherein possess at least one surface a wiring circuit layers formed of a polyimide base layer, the wiring circuit of at least one layer a multilayer printed circuit board layers Ru disposed between the polyimide base layer of two layers, at least one layer of the polyimide substrate layer, tear propagation resistance 100 is measured by the thickness 26μm It is in the range of 400 mN , the thermal expansion coefficient is 30 × 10 −6 / K or less , the thickness is in the range of 5 to 35 μm, and the following general formula (1):
(In the formula (1), R represents a lower alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen, and l represents an existing molar ratio.)
It is a polyimide resin layer which has as a main polyimide layer the polyimide resin layer (A) which has the structural unit represented by 50 mol% or more .

また、本発明の多層配線回路基板においては、前記ポリイミド基材層が、厚さ26μmで測定される引裂き伝播抵抗が100〜400mNの範囲であり、かつ熱膨張係数が30×10−6/K以下のポリイミド樹脂層であることが好ましい。
In the multilayer printed circuit board of the present invention, the polyimide base material layer has a tear propagation resistance measured at a thickness of 26 μm in the range of 100 to 400 mN and a thermal expansion coefficient of 30 × 10 −6 / K. The following polyimide resin layers are preferable.

さらに、本発明の多層配線回路基板においては、前記ポリイミド樹脂層の厚さが10〜30μmの範囲であることが好ましい。   Furthermore, in the multilayer wiring circuit board of the present invention, it is preferable that the polyimide resin layer has a thickness in the range of 10 to 30 μm.

また、本発明の多層配線回路基板は、前記ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された導体層とを有するフレキシブル積層板を用いて得られたものであることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the multilayer wiring circuit board of this invention is obtained using the flexible laminated board which has the said polyimide resin layer and the conductor layer laminated | stacked on the at least single side | surface of the said polyimide resin layer.

本発明によれば、多層配線回路基板の加工工程における破断や変形の発生を十分に抑制しつつ、薄肉化による高密度化を図ることが可能な多層配線回路基板を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the multilayer wiring circuit board which can aim at the density increase by thinning, fully suppressing generation | occurrence | production of the fracture | rupture and deformation | transformation in the manufacturing process of a multilayer wiring circuit board. .

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments thereof.

先ず、本発明の多層配線回路基板について説明する。すなわち、本発明の多層配線回路基板は、少なくとも2層以上のポリイミド基材層と、前記ポリイミド基材層の少なくとも片面にそれぞれ形成された配線回路層とを有するものである。   First, the multilayer wiring circuit board of the present invention will be described. That is, the multilayer printed circuit board of the present invention has at least two or more polyimide substrate layers and a wired circuit layer formed on at least one surface of the polyimide substrate layer.

そして、本発明においては、このようなポリイミド基材層のうちの少なくとも1層が、引裂き伝播抵抗が100〜400mNの範囲であり、かつ熱膨張係数が30×10−6/K以下のポリイミド樹脂層であることが必要である。このようにポリイミド基材層のうちの少なくとも1層を、上記の条件を満たすような本発明にかかるポリイミド樹脂層とすることにより、多層配線回路基板の加工工程における破断や変形の発生を十分に抑制しつつ、薄肉化による高密度化を図ることが可能となる。すなわち、ポリイミド基材層の引裂き伝播抵抗を100〜400mNの範囲にすることにより、ポリイミド基材層の厚みが薄い場合でも、多層配線回路基板の加工工程等での破断や変形を十分に抑制することが可能となる。また、ポリイミド基材層の熱膨張係数を30×10−6/K以下にすることにより、多層配線回路基板のカール等の変形を制御することが可能となり、また、寸法安定性を向上させることが可能となる。さらに、本発明においては、多層配線回路基板の加工工程における破断や変形の発生を十分に抑制しつつ、更なる薄肉化を図るという観点から、ポリイミド基材層の引裂き伝播抵抗を130〜350mNの範囲とすることが好ましく、また、熱膨張係数を25×10−6/K以下とすることが好ましい。なお、引裂き伝播抵抗及び熱膨張係数は後述する実施例で説明する通りの方法で測定することができる。 In the present invention, at least one of the polyimide base layers is a polyimide resin having a tear propagation resistance in the range of 100 to 400 mN and a thermal expansion coefficient of 30 × 10 −6 / K or less. It needs to be a layer. Thus, by making at least one layer of the polyimide base material layer a polyimide resin layer according to the present invention that satisfies the above-mentioned conditions, the occurrence of breakage and deformation in the processing process of the multilayer wiring circuit board is sufficiently achieved. While suppressing, it becomes possible to achieve high density by thinning. That is, by setting the tear propagation resistance of the polyimide base layer in the range of 100 to 400 mN, even when the thickness of the polyimide base layer is thin, the breakage and deformation in the processing step of the multilayer wiring circuit board are sufficiently suppressed. It becomes possible. In addition, by setting the thermal expansion coefficient of the polyimide base material layer to 30 × 10 −6 / K or less, it becomes possible to control the deformation of the multilayer wiring circuit board, such as curling, and to improve the dimensional stability. Is possible. Furthermore, in the present invention, the tear propagation resistance of the polyimide base layer is 130 to 350 mN from the viewpoint of further reducing the thickness while sufficiently suppressing the occurrence of breakage and deformation in the processing step of the multilayer wiring circuit board. The thermal expansion coefficient is preferably 25 × 10 −6 / K or less. It should be noted that the tear propagation resistance and the thermal expansion coefficient can be measured by the methods described in the examples described later.

また、本発明においては、このようなポリイミド基材層が、引裂き伝播抵抗が100〜400mNの範囲であり、かつ熱膨張係数が30×10−6/K以下のポリイミド樹脂層であることが好ましい。このように、本発明の多層配線回路基板を構成するすべてのポリイミド基材層が、本発明にかかるポリイミド樹脂層であれば多層配線回路基板の更なる薄肉化を図ることができる。また、本発明の多層配線回路基板を構成するポリイミド基材層の数が多いほど、多層配線回路基板の薄肉化を図るという本発明による効果は高くなる傾向にある。 Moreover, in this invention, it is preferable that such a polyimide base material layer is a polyimide resin layer whose tear propagation resistance is in the range of 100 to 400 mN and whose thermal expansion coefficient is 30 × 10 −6 / K or less. . Thus, if all the polyimide base material layers which comprise the multilayer wiring circuit board of this invention are the polyimide resin layers concerning this invention, the multilayer wiring circuit board can be made still thinner. In addition, as the number of polyimide base layers constituting the multilayer wiring circuit board of the present invention increases, the effect of the present invention for reducing the thickness of the multilayer wiring circuit board tends to increase.

本発明にかかるポリイミド樹脂層は、上記のような特定の条件を満たすものであることが必要であるが、このようなポリイミド樹脂層としては、以下説明するようなポリイミド樹脂層(A)を主たるポリイミド層として有するものが挙げられる。なお、本明細書において、主たるポリイミド層とは、ポリイミド樹脂層の全厚みの60%以上の厚みを有する層をいい、好ましくは80%以上、より好ましくは90%以上の厚みを有する層をいう。   Although the polyimide resin layer concerning this invention needs to satisfy | fill the above specific conditions, as such a polyimide resin layer, the polyimide resin layer (A) which is demonstrated below is mainly used. What has as a polyimide layer is mentioned. In this specification, the main polyimide layer means a layer having a thickness of 60% or more of the total thickness of the polyimide resin layer, preferably a layer having a thickness of 80% or more, more preferably 90% or more. .

ここで、ポリイミド樹脂層(A)は、記一般式(1)で表される構造単位を50モル%以上の割合で有するものであることが好ましい。 Here, the polyimide resin layer (A) preferably a structural unit represented by the before following general formula (1) are those having a ratio of more than 50 mol%.

一般式(1)において、Rは炭素数1〜6の低級アルキル基、フェニル基又はハロゲンを示す。また、lはポリイミド樹脂層(A)中の一般式(1)で表される構造単位の存在モル比を示す。さらに、一般式(1)で表される構造単位のより好ましい例としては、下記一般式(2)で表される構造単位が例示される。   In General formula (1), R shows a C1-C6 lower alkyl group, a phenyl group, or a halogen. Moreover, l shows the presence molar ratio of the structural unit represented by General formula (1) in a polyimide resin layer (A). Furthermore, as a more preferable example of the structural unit represented by the general formula (1), a structural unit represented by the following general formula (2) is exemplified.

また、このようなポリイミド樹脂層(A)は、前記一般式(1)で表される構造単位と共に、下記一般式(3)及び(4)で表される構造単位のうちの少なくとも一つの構造単位を一定範囲で含有するものであることがより好ましい。   Such a polyimide resin layer (A) has at least one structure of the structural units represented by the following general formulas (3) and (4) together with the structural unit represented by the general formula (1). It is more preferable that the unit is contained within a certain range.

一般式(3)において、Arは下記一般式(a)及び/又は(b)で表される2価の芳香族基を示す。さらに、下記一般式(a)及び(b)において、Arは下記構造式(c)及び/又は(d)で表される2価の芳香族基を示す。そして、Arの好ましい例としては、下記構造式(e)、(f)及び(g)で表される2価の芳香族基が例示される。また、一般式(4)において、Arは3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテルの2価の残基からなる群から選択される少なくとも1種の基を示す。さらに、一般式(3)及び(4)において、m及びnはそれぞれポリイミド樹脂層(A)中の一般式(3)及び(4)で表される構造単位の存在モル比を示す。 In the general formula (3), Ar 1 represents a divalent aromatic group represented by the following general formula (a) and / or (b). Furthermore, in the following general formulas (a) and (b), Ar 3 represents a divalent aromatic group represented by the following structural formula (c) and / or (d). The preferable examples of Ar 1 represented by the following structural formula (e), is exemplified divalent aromatic group represented by (f) and (g). In the general formula (4), Ar 2 represents at least one group selected from the group consisting of divalent residues of 3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether. Furthermore, in General formula (3) and (4), m and n show the molar ratio of the structural unit represented by General formula (3) and (4) in a polyimide resin layer (A), respectively.

そして、このようなポリイミド樹脂層(A)が前記一般式(1)及び(3)で表される構成単位を含有する場合には、lが0.6〜0.9の範囲、mが0.1〜0.4の範囲であることが好ましい。また、このようなポリイミド樹脂層(A)が前記一般式(1)、(3)及び(4)で表される構成単位を含有する場合には、lが0.6〜0.9の範囲、mが0.1〜0.3の範囲、nが0.01〜0.2の範囲であることが好ましい。   And when such a polyimide resin layer (A) contains the structural unit represented by the said General formula (1) and (3), l is the range of 0.6-0.9, m is 0. Preferably it is in the range of 1 to 0.4. Moreover, when such a polyimide resin layer (A) contains the structural units represented by the general formulas (1), (3) and (4), l is in the range of 0.6 to 0.9. , M is preferably in the range of 0.1 to 0.3, and n is preferably in the range of 0.01 to 0.2.

前記一般式(1)で表される構造単位は主に低熱膨張性と高耐熱性等の性質を向上させ、前記一般式(3)で表される構造単位は主に強靭性や接着性等の性質を向上させるものと推察されるが、相乗効果や分子量の影響があるため必ずしも定かではない。また、前記一般式(3)の構造単位の存在モル比mを増やすことにより、ポリイミド樹脂層の強靭性等が向上する傾向にある。さらに、一般式(4)の構造単位は、ポリイミド樹脂層の低熱膨張性と強靭性のバランスを調整するために有効である。   The structural unit represented by the general formula (1) mainly improves properties such as low thermal expansion and high heat resistance, and the structural unit represented by the general formula (3) mainly includes toughness and adhesiveness. It is presumed that this property is improved, but it is not necessarily clear because of the synergistic effect and the influence of molecular weight. Moreover, there exists a tendency for the toughness etc. of a polyimide resin layer to improve by increasing the existing molar ratio m of the structural unit of the said General formula (3). Furthermore, the structural unit of the general formula (4) is effective for adjusting the balance between low thermal expansion and toughness of the polyimide resin layer.

このようなポリイミド樹脂層(A)を構成するポリイミド樹脂は、好ましくは重量平均分子量が15万〜80万、より好ましくは20万〜80万の範囲にあるポリイミド前駆体樹脂をイミド化して得られるものである。重量平均分子量の値が15万未満では、ポリイミド樹脂層(フィルム)の引き裂き伝播抵抗が弱くなる傾向があり、他方、80万を超えると均一なポリイミド樹脂層の形成が困難となる恐れがある。なお、重量平均分子量はGPC法によってポリスチレン換算の値を求めることができる。また、ポリイミド前駆体樹脂をイミド化して得られるポリイミド樹脂の重量平均分子量も、ポリイミド前駆体樹脂状態で測定されるものとほぼ等しいため、ポリイミド前駆体樹脂の重量平均分子量をもってポリイミド樹脂の重量平均分子量とみなすことができる。   The polyimide resin constituting such a polyimide resin layer (A) is preferably obtained by imidizing a polyimide precursor resin having a weight average molecular weight of 150,000 to 800,000, more preferably 200,000 to 800,000. Is. If the value of the weight average molecular weight is less than 150,000, the tear propagation resistance of the polyimide resin layer (film) tends to be weak, whereas if it exceeds 800,000, it may be difficult to form a uniform polyimide resin layer. In addition, the weight average molecular weight can obtain | require the value of polystyrene conversion by GPC method. Moreover, since the weight average molecular weight of the polyimide resin obtained by imidizing the polyimide precursor resin is almost the same as that measured in the polyimide precursor resin state, the weight average molecular weight of the polyimide resin is equal to the weight average molecular weight of the polyimide precursor resin. Can be considered.

本発明にかかるポリイミド樹脂層は、1層からなるものであってもよいが、ポリイミド樹脂層(A)を主たる層として、配線回路層や導体層との接着性等を改良するための他のポリイミド樹脂層を有してもよい。このようなポリイミド樹脂層の合計の厚さは、好ましくは5〜40μm、より好ましくは5〜35μm、更により好ましくは10〜30μm、特に好ましくは10〜25μmの範囲である。また、ポリイミド樹脂層の全体厚みに対するポリイミド樹脂層(A)の厚み比率は上記の通りであり、このような範囲にすることで、特に引裂き強さと屈曲性のバランスに優れたフレキシブル積層板とすることができる。   The polyimide resin layer according to the present invention may be composed of a single layer, but the polyimide resin layer (A) as a main layer is another layer for improving adhesiveness with a wiring circuit layer or a conductor layer. You may have a polyimide resin layer. The total thickness of such polyimide resin layers is preferably in the range of 5 to 40 μm, more preferably 5 to 35 μm, still more preferably 10 to 30 μm, and particularly preferably 10 to 25 μm. Moreover, the thickness ratio of the polyimide resin layer (A) with respect to the total thickness of the polyimide resin layer is as described above, and by setting it in such a range, a flexible laminate having an excellent balance between tear strength and flexibility is obtained. be able to.

また、本発明にかかるポリイミド樹脂層は、上述したように複数層によって形成することもできる。ポリイミド樹脂層(A)及びポリイミド樹脂層(A)以外の他のポリイミド樹脂層を構成するポリイミド樹脂は、原料のジアミンと酸無水物とを溶媒の存在下で重合し、ポリイミド前駆体樹脂とした後、熱処理によりイミド化することによって製造することができる。溶媒は、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、n-メチルピロリジノン、2-ブタノン、ジグライム、キシレン等が挙げられ、1種若しくは2種以上併用して使用することもできる。   Moreover, the polyimide resin layer concerning this invention can also be formed by multiple layers as mentioned above. A polyimide resin constituting the polyimide resin layer (A) and other polyimide resin layers other than the polyimide resin layer (A) is obtained by polymerizing raw material diamine and acid anhydride in the presence of a solvent to obtain a polyimide precursor resin. Thereafter, it can be produced by imidization by heat treatment. Examples of the solvent include dimethylacetamide, dimethylformamide, n-methylpyrrolidinone, 2-butanone, diglyme, xylene and the like, and they can be used alone or in combination of two or more.

他のポリイミド樹脂層を構成するポリイミド樹脂原料となるジアミンとしては、一般式:HN−Ar−NHによって表される化合物が挙げられ、Arとしては下記式(5)に列挙されている構造式で表される芳香族ジアミン残基が例示される。 Examples of the diamine which is a polyimide resin raw material constituting another polyimide resin layer include compounds represented by the general formula: H 2 N—Ar 4 —NH 2 , and Ar 4 is listed in the following formula (5). An aromatic diamine residue represented by the structural formula is exemplified.

これらのジアミンの中でも、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(4,4’−DAPE)、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン(BAPP)が好適なものとして例示される。   Among these diamines, 4,4′-diaminodiphenyl ether (4,4′-DAPE), 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R), 1,3-bis (3-aminophenoxy) ) Benzene (APB) and 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane (BAPP) are preferred examples.

また、他のポリイミド樹脂層を構成するポリイミド樹脂原料となる酸無水物としては、一般式:O(OC)Ar(CO)Oによって表される化合物が挙げられ、Arとしては下記式(6)に列挙されている構造式で表される芳香族酸二無水物残基が例示される。 The acid anhydride comprising the polyimide resin material which constitutes the other of the polyimide resin layer, the general formula: O (OC) 2 Ar 5 (CO) a compound represented by the 2 O and the like, following the Ar 5 Illustrative are the aromatic dianhydride residues represented by the structural formula listed in formula (6).

これらの酸無水物の中でも、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)が好適なものとして例示される。   Among these acid anhydrides, pyromellitic dianhydride (PMDA), 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3,3 ′, 4,4′-benzophenone Preferred examples include tetracarboxylic dianhydride (BTDA) and 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride (DSDA).

なお、前記ジアミンと前記酸無水物との組合せによっては、前記一般式(1)、(3)又は(4)で表される構造単位を与える場合があるが、この場合は、他のポリイミド樹脂層を構成するポリイミド樹脂原料とはしない。   In addition, depending on the combination of the diamine and the acid anhydride, the structural unit represented by the general formula (1), (3) or (4) may be given. It is not a polyimide resin raw material that constitutes the layer.

また、前記ポリイミド樹脂層(A)を構成するポリイミド樹脂原料となるジアミン及び酸無水物の組合せとしては、前記一般式(1)、(3)及び(4)の説明から理解されるが、ジアミンとしてはTPE−R、APB、4,4’−DAPE等があり、酸無水物としてはPMDAがある。そして、ポリイミド樹脂層(A)を構成するポリイミド樹脂原料となるジアミン及び酸無水物としては、前記一般式(1)で表される構造単位を50モル%以上の割合で有するものが得られる限り、2以上のジアミン及び酸無水物を使用してもよく、他のジアミンを使用してもよい。   Moreover, as a combination of the diamine and the acid anhydride which are the polyimide resin raw materials constituting the polyimide resin layer (A), it is understood from the explanation of the general formulas (1), (3) and (4). There are TPE-R, APB, 4,4′-DAPE, and the acid anhydride is PMDA. And as a diamine used as the polyimide resin raw material which comprises a polyimide resin layer (A), and an acid anhydride, what has the structural unit represented by the said General formula (1) in the ratio of 50 mol% or more is obtained. Two or more diamines and acid anhydrides may be used, and other diamines may be used.

さらに、ポリイミド樹脂の分子量は、原料のジアミンと酸無水物のモル比を変化させることで主に制御可能である。また、モル比は通常1:1である。なお、ポリイミド樹脂層(A)を構成するポリイミド樹脂は、その前駆体(溶液)を、イミド化することにより得られる。そして、他のポリイミド樹脂層として良接着性のポリイミド樹脂層を使用する場合には、このような他のポリイミド樹脂層を、配線回路層となる銅箔等の導体層と接するように設け、ポリイミド樹脂層(A)は他のポリイミド樹脂層と接するように設けることが好ましい。   Furthermore, the molecular weight of the polyimide resin can be mainly controlled by changing the molar ratio of the raw material diamine and acid anhydride. The molar ratio is usually 1: 1. In addition, the polyimide resin which comprises a polyimide resin layer (A) is obtained by imidating the precursor (solution). When a highly adhesive polyimide resin layer is used as the other polyimide resin layer, such other polyimide resin layer is provided so as to be in contact with a conductor layer such as a copper foil serving as a wiring circuit layer. The resin layer (A) is preferably provided so as to be in contact with another polyimide resin layer.

本発明にかかるポリイミド樹脂層は、任意の支持基材上に上記ポリイミドの前駆体樹脂溶液を塗工し、乾燥、熱処理して、その後、ポリイミドフィルムを支持基材から剥離してポリイミド樹脂層としてもよく、また、フレキシブル積層板の配線回路層となる銅箔等の導体層上に直接上記ポリイミドの前駆体樹脂溶液を塗工し、乾燥、熱処理してフレキシブル積層板としてもよい。本発明の多層配線回路基板への適用のしやすさを考慮すると、本発明では後者が有利である。なお、ポリイミドフィルムのみを予め製造した場合には、後に、ポリイミドフィルムに銅箔等の導体層を設ける必要があるが、この方法としては公知の方法を適用することができる。例えば、ポリイミドフィルムと銅箔等の金属箔とを加熱圧着するいわゆるラミネート法が一般的であるが、この場合には、エポキシ樹脂等の接着層を用いずにポリイミド系の接着性樹脂を介在させることがよい。   The polyimide resin layer according to the present invention is a polyimide resin layer formed by coating the polyimide precursor resin solution on an arbitrary supporting substrate, drying and heat-treating, and then peeling the polyimide film from the supporting substrate. Alternatively, the polyimide precursor resin solution may be directly coated on a conductor layer such as a copper foil to be a wiring circuit layer of the flexible laminate, and dried and heat-treated to obtain a flexible laminate. Considering the ease of application of the present invention to a multilayer wiring circuit board, the latter is advantageous in the present invention. In addition, when only a polyimide film is manufactured in advance, it is necessary to provide a conductor layer such as a copper foil later on the polyimide film, and a known method can be applied as this method. For example, a so-called laminating method in which a polyimide film and a metal foil such as a copper foil are heat-bonded is generally used. In this case, a polyimide-based adhesive resin is interposed without using an adhesive layer such as an epoxy resin. It is good.

本発明にかかる配線回路層は、以上説明したようなポリイミド基材層の少なくとも片面にそれぞれ形成されたものである。そして、このような配線回路層は、金属箔等の導体層に公知の回路形成処理を施すことにより形成される。   The wiring circuit layer according to the present invention is formed on at least one side of the polyimide base layer as described above. Such a wiring circuit layer is formed by subjecting a conductor layer such as a metal foil to a known circuit formation process.

このような金属箔の種類としては、銅、アルミニウム、鉄、銀、パラジウム、ニッケル、クロム、モリブデン、タングステン、亜鉛及びそれらの合金等の導電性金属を挙げることができ、これらの中でもステンレス、銅箔又は銅を90%以上含む合金銅箔が好ましい。金属箔の厚みは、10〜18μmの範囲にあることが好ましい。金属箔の厚みが10μm未満では、原料となる金属の入手が困難な他、積層体製造時のハンドリング性が悪化し、積層体製造時にしわなどが生じやすくなり好ましくない。一方、金属箔の厚みが18μmを超えると、回路加工において良好な微細配線が形成しにくく、また必要に応じて行う後の化学エッチングを考慮すると生産性も劣るものとなる。   Examples of such metal foils include conductive metals such as copper, aluminum, iron, silver, palladium, nickel, chromium, molybdenum, tungsten, zinc, and alloys thereof. Among these, stainless steel, copper An alloy copper foil containing 90% or more of foil or copper is preferable. The thickness of the metal foil is preferably in the range of 10 to 18 μm. When the thickness of the metal foil is less than 10 μm, it is not preferable because it is difficult to obtain a metal as a raw material, handling properties at the time of manufacturing the laminated body are deteriorated, and wrinkles are easily generated at the manufacturing of the laminated body. On the other hand, when the thickness of the metal foil exceeds 18 μm, it is difficult to form good fine wiring in circuit processing, and productivity is inferior in view of chemical etching performed as necessary.

なお、近年ファインパターン等に対する要求から、更に銅箔の厚みを薄くすることが望まれているが、このような要求を満たすために、一旦、フレキシブル銅張積層板とした後、銅箔面を均一にエッチング液により化学研磨して薄肉化することもでき、また、銅箔の代わりに、キャリア、剥離層、極薄銅箔からなるいわゆるキャリア付極薄銅箔を使用し、その極薄銅箔上へ前記ポリイミド樹脂を形成し、キャリアを除去して薄肉銅箔層を形成してもよい。   In recent years, it has been desired to further reduce the thickness of the copper foil due to the demand for fine patterns, etc., but in order to satisfy such a demand, after making the flexible copper clad laminate, It can also be thinned by chemical polishing uniformly with an etchant, and instead of copper foil, a so-called ultra-thin copper foil with a carrier consisting of a carrier, a release layer, and an ultra-thin copper foil is used. The polyimide resin may be formed on the foil, and the carrier may be removed to form a thin copper foil layer.

本発明の多層配線回路基板は、以上説明したようなポリイミド基材層及び配線回路層をそれぞれ複数有するものであるが、前記ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された導体層とを有するフレキシブル積層板を用いて得られたものであることが好ましい。   The multilayer wiring circuit board of the present invention has a plurality of polyimide base material layers and wiring circuit layers as described above, and the polyimide resin layer and a conductor layer laminated on at least one side of the polyimide resin layer. It is preferable that it is obtained using the flexible laminated board which has.

このようなフレキシブル積層板は、前記ポリイミド樹脂層の片面のみに金属箔を有している片面フレキシブル積層板であってもよく、前記ポリイミド樹脂層の両面に金属箔を有している両面フレキシブル積層板であってもよい。また、両面フレキシブル積層板とするためには、片面フレキシブル積層板を製造した後に、新たな銅箔やキャリア付極薄銅箔を準備し、加熱圧着することで製造することができる。なお、キャリア付極薄銅箔を用いることで、絶縁層の両面に極薄銅箔を有するフレキシブル積層板を製造することができる。   Such a flexible laminate may be a single-sided flexible laminate having a metal foil only on one side of the polyimide resin layer, and a double-sided flexible laminate having a metal foil on both sides of the polyimide resin layer. It may be a plate. Moreover, in order to set it as a double-sided flexible laminated board, after manufacturing a single-sided flexible laminated board, it can manufacture by preparing new copper foil and the ultra-thin copper foil with a carrier, and heat-pressing. In addition, the flexible laminated board which has ultra-thin copper foil on both surfaces of an insulating layer can be manufactured by using ultra-thin copper foil with a carrier.

次に、前記フレキシブル積層板を使用して本発明の多層配線回路基板を製造する方法について、図面を参照しながら説明する。   Next, a method for producing the multilayer wiring circuit board of the present invention using the flexible laminate will be described with reference to the drawings.

図1は、本発明の多層配線回路基板を製造する方法の好適な一実施形態を示す工程概略図である。そして、本発明の多層配線回路基板は、例えば、両面フレキシブル積層板を用いて配線基板を作製する工程(配線基板作製工程)と、前記配線基板に片面フレキシブル積層板を積層する工程(積層工程)と、前記配線基板の配線回路と前記片面フレキシブル積層板の銅箔とを導通させる工程(導通工程)と、前記片面フレキシブル積層板の銅箔に回路形成処理を施して配線回路とした後に前記配線回路上に保護層を形成する工程(外層形成工程)とを含む方法により作製することができる。なお、図1(a)は配線基板作製工程に対応し、図1(b)は積層工程に対応し、図1(c)は導通工程に対応し、図1(d)は外層形成工程に対応する。   FIG. 1 is a process schematic diagram showing a preferred embodiment of a method for producing a multilayer wiring circuit board of the present invention. And the multilayer wiring circuit board of this invention is a process (lamination process) which laminates | stacks a single-sided flexible laminated board on the said wiring board, for example, the process of producing a wiring board using a double-sided flexible laminated board (wiring board preparation process). And a step of conducting the wiring circuit of the wiring board and the copper foil of the single-sided flexible laminate (conducting step), and forming the wiring circuit by subjecting the copper foil of the single-sided flexible laminate to a wiring circuit. And a step of forming a protective layer on the circuit (outer layer forming step). 1A corresponds to a wiring board manufacturing process, FIG. 1B corresponds to a lamination process, FIG. 1C corresponds to a conduction process, and FIG. 1D corresponds to an outer layer formation process. Correspond.

配線基板作製工程においては、先ず、前記ポリイミド樹脂層(ポリイミド基材層1)の両面に銅箔を有する両面フレキシブル積層板を準備する。その後、両面フレキシブル積層板の所定の位置にビアホール3を形成する。ビアホールの形成する方法は公知の手法を適用することができるが、レーザーにより開口する方法が好ましい。そして、ビアホール3の形成部に両面フレキシブル積層板の銅箔同士を導通させるため、導電性物質を充填する。このように導電性物質を充填する方法としては、ビアホール形成後、無電解メッキ及び電解メッキを行い、メッキ銅でビアホール内を充填する方法を適用できる。また、公知の導電性ペーストを適用してもよい。   In the wiring board manufacturing step, first, a double-sided flexible laminate having copper foil on both sides of the polyimide resin layer (polyimide substrate layer 1) is prepared. Thereafter, via holes 3 are formed at predetermined positions of the double-sided flexible laminate. A known method can be applied as a method for forming the via hole, but a method of opening with a laser is preferable. And in order to make the copper foil of a double-sided flexible laminated board conduct | electrically_connect in the formation part of the via hole 3, it fills with an electroconductive substance. As a method of filling the conductive material in this manner, a method of filling the via hole with plated copper by performing electroless plating and electrolytic plating after forming the via hole can be applied. Further, a known conductive paste may be applied.

配線基板作製工程においては、次に、前記両面フレキシブル積層板の銅箔に回路形成処理を施して配線基板10を作製する。回路形成処理の方法としては、公知の方法を適宜採用することができる。このようにして、図1(a)に示すような、ポリイミド基材層1と、ポリイミド基材層1の両面に形成された配線回路2’とを有する配線基板10を作製することができる。なお、図1(a)に示す配線基板10においては、ポリイミド基材層1の両面に形成された配線回路2’同士がビアホール3内を充填されたメッキ銅により導通している。   In the wiring board manufacturing step, next, a circuit forming process is performed on the copper foil of the double-sided flexible laminate to manufacture the wiring board 10. As a method of the circuit formation process, a known method can be appropriately employed. In this way, a wiring substrate 10 having a polyimide base layer 1 and a wiring circuit 2 ′ formed on both surfaces of the polyimide base layer 1 as shown in FIG. In the wiring board 10 shown in FIG. 1A, the wiring circuits 2 ′ formed on both surfaces of the polyimide base layer 1 are electrically connected to each other by the plated copper filled in the via hole 3.

積層工程においては、先ず、前記ポリイミド樹脂層(ポリイミド基材層5)の片面に銅箔6を有する片面フレキシブル積層板11を準備する。このような片面フレキシブル積層板11は、配線基板10の両側に設けられるため、少なくとも2つ準備する。そして、図1(b)に示すように、フレキシブル積層板11の銅箔6がそれぞれ外側になるように、配線基板10と2つの片面フレキシブル積層板11とを対向させ、接着剤4を介して積層する。   In the lamination step, first, a single-sided flexible laminate 11 having a copper foil 6 on one side of the polyimide resin layer (polyimide substrate layer 5) is prepared. Since such single-sided flexible laminates 11 are provided on both sides of the wiring board 10, at least two are prepared. And as shown in FIG.1 (b), the wiring board 10 and the two single-sided flexible laminated boards 11 are made to oppose so that the copper foil 6 of the flexible laminated board 11 may respectively become an outer side, Laminate.

接着剤4としては、特に限定されるものではないが、耐熱性が高く、寸法変化のないものが望ましく、エポキシ樹脂系接着剤、ポリイミド樹脂系接着剤、シロキサン変性ポリイミド樹脂系接着剤、及びアクリル系接着剤が例示され、好ましくはフィルム状の接着フィルムが適用される。   The adhesive 4 is not particularly limited, but is preferably one having high heat resistance and no dimensional change, such as an epoxy resin adhesive, a polyimide resin adhesive, a siloxane-modified polyimide resin adhesive, and an acrylic. A system adhesive is illustrated, Preferably a film-like adhesive film is applied.

また、このように積層する方法は、特に限定されるものではなく、通常のプレスやラミネーター等の積層装置を使用する方法を採用することができる。また、積層条件は、温度150〜180℃、圧力2〜4MPa、保持時間60〜90分の範囲とすることが望ましい。なお、図1には図示していないが、配線基板10の両側に必要に応じて、カバーレイフィルムが設けられていてもよい。このようなカバーレイフィルムとしては、ポリイミドフィルムにエポキシ樹脂系接着剤又はアクリル樹脂系接着剤が設けられたカバーレイフィルムが好ましく使用される。   Moreover, the method of laminating in this way is not particularly limited, and a method of using a laminating apparatus such as a normal press or laminator can be employed. Moreover, as for lamination | stacking conditions, it is desirable to set it as the range of the temperature of 150-180 degreeC, the pressure of 2-4 MPa, and the holding time of 60-90 minutes. Although not shown in FIG. 1, cover lay films may be provided on both sides of the wiring board 10 as necessary. As such a coverlay film, a coverlay film in which an epoxy resin adhesive or an acrylic resin adhesive is provided on a polyimide film is preferably used.

導通工程においては、先ず、配線基板10に積層された片面フレキシブル積層板11の所定の位置にビアホール3を形成する。そして、ビアホール3の形成部に配線基板10の配線回路2’と片面フレキシブル積層板11の銅箔6とを導通させるため、導電性物質を充填する。ビアホールの形成する方法、及び導電性物質を充填する方法としては、前記説明した通りの方法を採用することができる。このようにして、図1(c)に示すように、ビアホール3により、配線基板10の配線回路2’と片面フレキシブル積層板11の銅箔6とを導通させることができる。   In the conduction step, first, the via hole 3 is formed at a predetermined position of the single-sided flexible laminated plate 11 laminated on the wiring board 10. Then, in order to make the wiring circuit 2 ′ of the wiring substrate 10 and the copper foil 6 of the single-sided flexible laminate 11 conductive in the formation portion of the via hole 3, a conductive substance is filled. As the method for forming the via hole and the method for filling the conductive material, the method as described above can be adopted. In this way, as shown in FIG. 1C, the wiring circuit 2 ′ of the wiring substrate 10 and the copper foil 6 of the single-sided flexible laminate 11 can be made conductive by the via hole 3.

外層形成工程においては、図1(d)に示すように、片面フレキシブル積層板11の銅箔6に回路形成処理を施して配線回路6’とした後に配線回路6’上に保護層としてカバーレイフィルム7を積層する。回路形成処理の方法としては、公知の方法を適宜採用することができる。また、カバーレイフィルム7としては、ポリイミドフィルムにエポキシ樹脂系接着剤又はアクリル樹脂系接着剤が設けられたカバーレイフィルムが好ましく使用される。   In the outer layer forming step, as shown in FIG. 1 (d), the copper foil 6 of the single-sided flexible laminate 11 is subjected to a circuit forming process to form a wiring circuit 6 ', and then a cover layer as a protective layer on the wiring circuit 6'. The film 7 is laminated. As a method of the circuit formation process, a known method can be appropriately employed. As the cover lay film 7, a cover lay film in which an epoxy resin adhesive or an acrylic resin adhesive is provided on a polyimide film is preferably used.

以上説明したような配線基板作製工程、積層工程、導通工程、及び外層形成工程を含む方法により、本発明の多層配線回路基板12を製造することができる。また、このような本発明の多層配線回路基板を製造する方法においては、4層の配線回路層を有する多層配線回路基板の製造する方法を例に挙げて説明したが、更に多層化を行うことで、例えば、6層や8層の配線回路層を有する多層配線回路基板とすることもできる。なお、この場合においては、カバーレイフィルム7は最外層の配線回路層を保護するためだけに使用することが好ましい。   The multilayer wiring circuit board 12 of the present invention can be manufactured by the method including the wiring board manufacturing process, the laminating process, the conduction process, and the outer layer forming process as described above. Further, in the method of manufacturing the multilayer wiring circuit board of the present invention, the method of manufacturing the multilayer wiring circuit board having four wiring circuit layers has been described as an example. Thus, for example, a multilayer wiring circuit board having six or eight wiring circuit layers can be provided. In this case, the coverlay film 7 is preferably used only for protecting the outermost wiring circuit layer.

また、上記実施形態では、繰り返し屈曲させることが可能なヒンジ部位を有さない多層配線回路基板を例に挙げて説明したが、多層配線回路基板の一部に単層又は複数層のフレキシブル配線基板からなるヒンジ部位を有する多層配線回路基板(多層ヒンジ基板)としてもよい。   In the above embodiment, the multilayer wiring circuit board having no hinge portion that can be repeatedly bent has been described as an example. However, a single-layer or multiple-layer flexible wiring board is formed as a part of the multilayer wiring circuit board. It is good also as a multilayer wiring circuit board (multilayer hinge board | substrate) which has the hinge part which consists of.

図2は、ヒンジ部位を有する多層配線回路基板(多層ヒンジ基板)のヒンジ部位周辺部を示す模式断面図である。図2に示す多層配線回路基板は、ポリイミド基材層1と、ポリイミド基材層1の片面に形成された配線回路2’と、配線回路2’上に積層されたカバーレイフィルム7とを有する片面フレキシブル配線基板13、並びにポリイミド基材層1と、ポリイミド基材層1の両面に形成された配線回路2’と、配線回路2’上に積層されたカバーレイフィルム7とを有する両面フレキシブル配線基板14を有するものである。また、図2に示す多層配線回路基板おいては、ヒンジ部位においてこれらのフレキシブル配線基板同士の間に空間部が形成されるようにして、ヒンジ部位以外の部分においてこれらのフレキシブル配線基板が接着剤4により接合されている。   FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a periphery of a hinge part of a multilayer wiring circuit board (multilayer hinge board) having a hinge part. The multilayer printed circuit board shown in FIG. 2 has a polyimide base layer 1, a wiring circuit 2 ′ formed on one side of the polyimide base layer 1, and a coverlay film 7 laminated on the wiring circuit 2 ′. Double-sided flexible wiring having single-sided flexible wiring board 13, polyimide base material layer 1, wiring circuit 2 'formed on both surfaces of polyimide base material layer 1, and coverlay film 7 laminated on wiring circuit 2' A substrate 14 is provided. In the multilayer wiring circuit board shown in FIG. 2, a space is formed between the flexible wiring boards at the hinge part, and the flexible wiring board is bonded to the adhesive at a part other than the hinge part. 4 is joined.

以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、ポリイミド樹脂層の引裂き伝播抵抗及び熱膨張係数(CTE)はそれぞれ以下の方法により測定した。また、このような測定においては、実施例で用いるフレキシブル積層板から銅箔をエッチング除去して得られるポリイミドフィルムを用いた。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example. In addition, the tear propagation resistance and thermal expansion coefficient (CTE) of the polyimide resin layer were measured by the following methods, respectively. Moreover, in such a measurement, the polyimide film obtained by carrying out the etching removal of the copper foil from the flexible laminated board used in the Example was used.

(i)引裂き伝播抵抗の測定
ポリイミドフィルム(63.5mm×50mm)を準備し、このポリイミドフィルムに長さ12.7mmの切り込みを入れたものを試験片として、東洋精機製の軽荷重引き裂き試験機を用いて測定した。
(I) Measurement of tear propagation resistance A polyimide film (63.5 mm x 50 mm) was prepared, and a 12.7 mm length cut was made into this polyimide film, and a light load tear tester made by Toyo Seiki It measured using.

(ii)熱膨張係数(CTE)の測定
ポリイミドフィルム(3mm×15mm)を試験片として、熱機械分析(TMA)装置を用いて、5gの荷重を加えながら一定の昇温速度で30℃から260℃の温度範囲で引張り試験を行った。そして、温度に対するポリイミドフィルムの伸び量から熱膨張係数を算出した。
(Ii) Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE) Using a polyimide film (3 mm × 15 mm) as a test piece, a thermomechanical analysis (TMA) apparatus was used, and a constant heating rate was applied from 30 ° C. to 260 ° C. while applying a 5 g load. A tensile test was conducted in the temperature range of ° C. And the thermal expansion coefficient was computed from the amount of elongation of the polyimide film with respect to temperature.

(合成例1)
本発明の多層配線回路基板を製造するために使用するフレキシブル積層板のポリイミド樹脂層を製造するために、以下のようにしてポリイミド前駆体aを作製した。すなわち、先ず、窒素気流下で、ジアミン成分として4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルビフェニルジアミン(m−TB)69g、1,3-ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)29g及び3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(3,4’−DAPE)15gを500mlのセパラブルフラスコの中で攪拌しながら溶剤N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)250〜300g程度に溶解させた。次いで、テトラカルボン酸成分として、ピロメリット酸二無水物(PMDA)110gを加えた。その後、溶液を室温で4時間攪拌を続けて重合反応を行い、ポリイミド前駆体樹脂aの黄褐色の粘稠な溶液を得た。得られたポリイミド前駆体樹脂溶液の25℃での粘度は43000mPa・sであり、重量平均分子量(Mw)は20万であった。なお、粘度は恒温水槽付のコーンプレート式粘度計(トキメック社製)を用いて測定し、重量平均分子量(Mw)はGPCを用いて測定した。
(Synthesis Example 1)
In order to produce the polyimide resin layer of the flexible laminate used for producing the multilayer wiring circuit board of the present invention, a polyimide precursor a was produced as follows. That is, first, under a nitrogen stream, 69 g of 4,4′-diamino-2,2′-dimethylbiphenyldiamine (m-TB), 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R) as a diamine component. ) 29 g and 3,4'-diaminodiphenyl ether (3,4'-DAPE) 15 g were dissolved in about 250 to 300 g of the solvent N, N-dimethylacetamide (DMAc) while stirring in a 500 ml separable flask. Next, 110 g of pyromellitic dianhydride (PMDA) was added as a tetracarboxylic acid component. Thereafter, the solution was stirred at room temperature for 4 hours to carry out a polymerization reaction to obtain a yellowish brown viscous solution of polyimide precursor resin a. The viscosity of the obtained polyimide precursor resin solution at 25 ° C. was 43,000 mPa · s, and the weight average molecular weight (Mw) was 200,000. The viscosity was measured using a cone plate viscometer (manufactured by Tokimec Co., Ltd.) equipped with a thermostatic water tank, and the weight average molecular weight (Mw) was measured using GPC.

(合成例2)
本発明の多層配線回路基板を製造するために使用するフレキシブル積層板のポリイミド樹脂層を製造するために、以下のようにしてポリイミド前駆体bを作製した。すなわち、先ず、窒素気流下で、ジアミン成分として、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン(BAPP)87g、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルビフェニルジアミン(m−TB)3g、及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(4,4’−DAPE)2gを500mlのセパラブルフラスコの中で攪拌しながら溶剤DMAc250〜300g程度に溶解させた。次いで、テトラカルボン酸成分として、ピロメリット酸二無水物(PMDA)46gを加えた。その後、溶液を室温で4時間攪拌を続けて重合反応を行い、ポリイミド前駆体樹脂bの黄褐色の粘稠な溶液を得た。得られたポリイミド前駆体樹脂溶液の25℃での粘度は15000mPa・sであり、重量平均分子量(Mw)は17万であった。
(Synthesis Example 2)
In order to produce the polyimide resin layer of the flexible laminate used for producing the multilayer wiring circuit board of the present invention, a polyimide precursor b was produced as follows. That is, first, under a nitrogen stream, as a diamine component, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane (BAPP) 87 g, 4,4′-diamino-2,2′-dimethylbiphenyldiamine (m-TB) 3) and 2 g of 4,4′-diaminodiphenyl ether (4,4′-DAPE) were dissolved in about 250 to 300 g of solvent DMAc while stirring in a 500 ml separable flask. Next, 46 g of pyromellitic dianhydride (PMDA) was added as a tetracarboxylic acid component. Thereafter, the solution was continuously stirred at room temperature for 4 hours to carry out a polymerization reaction, thereby obtaining a yellowish brown viscous solution of polyimide precursor resin b. The viscosity of the obtained polyimide precursor resin solution at 25 ° C. was 15000 mPa · s, and the weight average molecular weight (Mw) was 170,000.

(製造例1)
先ず、厚さ12μmの電解銅箔上に合成例1で得られたポリイミド前駆体樹脂aの溶液を、硬化後の厚みが24.4μmの厚みになるようにアプリケータを用いて均一に塗布し、70〜130℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。その後、乾燥膜上に合成例2で得られたポリイミド前駆体樹脂bの溶液を硬化後の厚みが1.6μmの厚みになるように均一に塗布し、130℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。そして、50〜130℃で2〜60分間乾燥した後、更に130℃、160℃、200℃、230℃、280℃、320℃、360℃で各2〜30分間の段階的な熱処理を行い、銅箔上にポリイミド層を形成し、ポリイミド前駆体樹脂aを原料とする層(a)とポリイミド前駆体樹脂bを原料とする層(b)との2層からなる合計厚み26μmのポリイミド樹脂層が銅箔上に形成されたフレキシブル積層板用積層体を得た。銅箔上の各ポリイミド樹脂層の厚みは、a/bの順に、24.4μm/1.6μmであった。その後、過酸化水素/硫酸系のエッチング液を用いて銅箔をエッチングにて8μmまで薄くし、片面フレキシブル積層板を得た。なお、得られたフレキシブル積層板から銅箔をエッチング除去して得られるポリイミドフィルムを用いて、ポリイミド樹脂層の引裂き伝播抵抗及び熱膨張係数を測定したところ、引裂き伝播抵抗は180mNであり、熱膨張係数は21×10−6/Kであった。
(Production Example 1)
First, the solution of the polyimide precursor resin a obtained in Synthesis Example 1 is uniformly applied on an electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm using an applicator so that the thickness after curing is 24.4 μm. The solvent was removed by heating and drying at 70 to 130 ° C. Thereafter, the solution of the polyimide precursor resin b obtained in Synthesis Example 2 was uniformly applied onto the dried film so that the thickness after curing was 1.6 μm, and the solvent was removed by heating at 130 ° C. . And after drying for 2 to 60 minutes at 50 to 130 ° C., further performing stepwise heat treatment for 2 to 30 minutes each at 130 ° C., 160 ° C., 200 ° C., 230 ° C., 280 ° C., 320 ° C., 360 ° C., A polyimide layer having a total thickness of 26 μm is formed by forming a polyimide layer on a copper foil, and comprising two layers of a layer (a) using the polyimide precursor resin a as a raw material and a layer (b) using the polyimide precursor resin b as a raw material. Obtained the laminated body for flexible laminated boards formed on copper foil. The thickness of each polyimide resin layer on the copper foil was 24.4 μm / 1.6 μm in the order of a / b. Thereafter, the copper foil was thinned to 8 μm by etching using a hydrogen peroxide / sulfuric acid based etching solution to obtain a single-sided flexible laminate. When the tear propagation resistance and thermal expansion coefficient of the polyimide resin layer were measured using a polyimide film obtained by etching away the copper foil from the obtained flexible laminate, the tear propagation resistance was 180 mN, and the thermal expansion The coefficient was 21 × 10 −6 / K.

(製造例2)
先ず、厚さ12μmの電解銅箔上に、合成例2で得られたポリイミド前駆体樹脂bの溶液を硬化後の厚みが1.6μmの厚みになるように均一に塗布し、70〜130℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。次に、合成例1で得られたポリイミド前駆体樹脂aの溶液を、硬化後の厚みが22.8μmの厚みになるようにアプリケータを用いて均一に塗布し、70〜130℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。更に、合成例2で得られたポリイミド前駆体樹脂bの溶液を硬化後の厚みが1.6μmの厚みになるように均一に塗布し、130℃で加熱乾燥し溶剤を除去した。そして、50〜130℃で2〜60分間乾燥した後、更に130℃、160℃、200℃、230℃、280℃、320℃、360℃で各2〜30分間の段階的な熱処理を行い、銅箔上にポリイミド層を形成し、ポリイミド前駆体樹脂aを原料とする層(a)とポリイミド前駆体樹脂bを原料とする層(b)との3層からなる合計厚み26μmのポリイミド樹脂層が銅箔上に形成されたフレキシブル積層板用積層体を得た。銅箔上の各ポリイミド樹脂層の厚みは、b/a/bの順に、1.6μm/22.8μm/1.6μmであった。次に、得られたフレキシブル積層板用積層体のポリイミド樹脂層と厚さ12μmの電解銅箔とを、ラミネーターを用いて加熱圧着し、その後、過酸化水素/硫酸系のエッチング液を用いて銅箔をエッチングにて8μmまで薄くし、両面フレキシブル積層板を得た。なお、得られたフレキシブル積層板から銅箔をエッチング除去して得られるポリイミドフィルムを用いて、ポリイミド樹脂層の引裂き伝播抵抗及び熱膨張係数を測定したところ、引裂き伝播抵抗は175mNであり、熱膨張係数は21×10−6/Kであった。
(Production Example 2)
First, a solution of the polyimide precursor resin b obtained in Synthesis Example 2 is uniformly applied onto an electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm so that the thickness after curing is 1.6 μm, and is 70 to 130 ° C. And dried by heating to remove the solvent. Next, the polyimide precursor resin a solution obtained in Synthesis Example 1 is uniformly applied using an applicator so that the thickness after curing is 22.8 μm, and is heated and dried at 70 to 130 ° C. The solvent was removed. Furthermore, the solution of the polyimide precursor resin b obtained in Synthesis Example 2 was uniformly applied so that the thickness after curing was 1.6 μm, and dried by heating at 130 ° C. to remove the solvent. And after drying for 2 to 60 minutes at 50 to 130 ° C., further performing stepwise heat treatment for 2 to 30 minutes each at 130 ° C., 160 ° C., 200 ° C., 230 ° C., 280 ° C., 320 ° C., 360 ° C., A polyimide resin layer having a total thickness of 26 μm is formed by forming a polyimide layer on a copper foil, and comprising three layers of a layer (a) using the polyimide precursor resin a as a raw material and a layer (b) using the polyimide precursor resin b as a raw material. Obtained the laminated body for flexible laminated boards formed on copper foil. The thickness of each polyimide resin layer on the copper foil was 1.6 μm / 22.8 μm / 1.6 μm in the order of b / a / b. Next, the polyimide resin layer of the obtained laminate for a flexible laminate and an electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm are heat-pressed using a laminator, and then copper is added using a hydrogen peroxide / sulfuric acid-based etching solution. The foil was thinned to 8 μm by etching to obtain a double-sided flexible laminate. When the tear propagation resistance and thermal expansion coefficient of the polyimide resin layer were measured using a polyimide film obtained by etching away the copper foil from the obtained flexible laminate, the tear propagation resistance was 175 mN, and the thermal expansion The coefficient was 21 × 10 −6 / K.

(実施例1)
製造例2で得られた両面フレキシブル積層板を準備し、所定の位置にビアホール3を形成した後、通常の無電解メッキと電解メッキによりメッキ銅でビアホールを充填し、両面フレキシブル積層板の銅箔同士を導通させた。その後、両面フレキシブル積層板の銅箔に回路形成処理を施して、任意の配線回路2’を形成して図1(a)に示すようなポリイミド基材層の両面に配線回路2’を有する配線基板10を得た。
Example 1
After preparing the double-sided flexible laminate obtained in Production Example 2 and forming the via hole 3 at a predetermined position, the via hole is filled with plated copper by ordinary electroless plating and electrolytic plating, and the copper foil of the double-sided flexible laminate is obtained. Conducted each other. Thereafter, the copper foil of the double-sided flexible laminate is subjected to a circuit formation process to form an arbitrary wiring circuit 2 ′, and wiring having wiring circuits 2 ′ on both sides of the polyimide base layer as shown in FIG. A substrate 10 was obtained.

次に、製造例1で得られた片面フレキシブル積層板11を2つ準備し、フレキシブル積層板11の銅箔6がそれぞれ外側になるように、配線基板10と2つの片面フレキシブル積層板11とを対向させ、接着剤4を介して積層した(図1(b)参照)。なお、このときの積層条件は、温度を160℃、圧力を3MPa、保持時間を60分とした。   Next, two single-sided flexible laminates 11 obtained in Production Example 1 are prepared, and the wiring board 10 and the two single-sided flexible laminates 11 are arranged so that the copper foils 6 of the flexible laminates 11 are respectively outside. It was made to oppose and it laminated | stacked through the adhesive agent 4 (refer FIG.1 (b)). Note that the lamination conditions at this time were a temperature of 160 ° C., a pressure of 3 MPa, and a holding time of 60 minutes.

次に、配線基板10に積層された片面フレキシブル積層板11の所定の位置にビアホール3を形成し、上記と同様にしてビアホールを充填し、配線基板10の配線回路2’と片面フレキシブル積層板11の銅箔6とを導通させた(図1(c)参照)。   Next, the via hole 3 is formed at a predetermined position of the single-sided flexible laminate 11 laminated on the wiring substrate 10 and filled with the via hole in the same manner as described above, and the wiring circuit 2 ′ and the single-sided flexible laminate 11 of the wiring substrate 10 are filled. The copper foil 6 was made conductive (see FIG. 1C).

次いで、片面フレキシブル積層板11の銅箔6に回路形成処理を施して、任意の配線回路6’を形成し、最後に回路保護のためのカバーレイフィルム7を積層し、4層の配線回路層を有する本発明の多層配線回路基板12を得た(図1(d)参照)。   Next, the copper foil 6 of the single-sided flexible laminate 11 is subjected to a circuit formation process to form an arbitrary wiring circuit 6 ', and finally a coverlay film 7 for circuit protection is laminated to form four wiring circuit layers. A multilayer wiring circuit board 12 of the present invention having the above was obtained (see FIG. 1 (d)).

以上説明したように、本発明によれば、多層配線回路基板の加工工程における破断や変形の発生を十分に抑制しつつ、薄肉化による高密度化を図ることが可能な多層配線回路基板を提供することが可能となる。   As described above, according to the present invention, there is provided a multilayer wiring circuit board capable of achieving high density by thinning while sufficiently suppressing the occurrence of breakage and deformation in the processing process of the multilayer wiring circuit board. It becomes possible to do.

したがって、本発明の多層配線回路基板は、小型化、軽量化、高機能化等が要求されている電子情報機器に使用される多層配線回路基板として有用である。   Therefore, the multilayer wiring circuit board of the present invention is useful as a multilayer wiring circuit board used for electronic information equipment that is required to be reduced in size, weight, and functionality.

本発明の多層配線回路基板を製造する方法の好適な一実施形態を示す工程概略図である(図1(a)は配線基板作製工程に対応し、図1(b)は積層工程に対応し、図1(c)は導通工程に対応し、図1(d)は外層形成工程に対応する。)。FIG. 1 is a process schematic diagram showing a preferred embodiment of a method for producing a multilayer wiring circuit board of the present invention (FIG. 1A corresponds to a wiring board manufacturing process, and FIG. 1B corresponds to a lamination process. FIG. 1C corresponds to the conduction process, and FIG. 1D corresponds to the outer layer formation process. 本発明の多層配線回路基板の好適な一実施形態であるヒンジ部位を有する多層配線回路基板(多層ヒンジ基板)のヒンジ部位周辺部を示す模式断面図である。1 is a schematic cross-sectional view showing a peripheral portion of a hinge part of a multilayer wiring circuit board (multilayer hinge board) having a hinge part which is a preferred embodiment of the multilayer wiring circuit board of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…ポリイミド基材層、2’…配線回路、3…ビアホール、4…接着剤、5…ポリイミド基材層、6…銅箔、6’…配線回路、7…カバーレイフィルム、10…配線基板、11…片面フレキシブル積層板、12…多層配線回路基板、13…片面フレキシブル配線基板、14…両面フレキシブル配線基板。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Polyimide base material layer, 2 '... Wiring circuit, 3 ... Via hole, 4 ... Adhesive, 5 ... Polyimide base material layer, 6 ... Copper foil, 6' ... Wiring circuit, 7 ... Coverlay film, 10 ... Wiring board DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Single-sided flexible laminated board, 12 ... Multi-layer wiring circuit board, 13 ... Single-sided flexible wiring board, 14 ... Double-sided flexible wiring board.

Claims (4)

少なくとも2層以上のポリイミド基材層と、前記ポリイミド基材層の少なくとも片面にそれぞれ形成された配線回路層とを有し、少なくとも1層の前記配線回路層が2層の前記ポリイミド基材層の間に配置される多層配線回路基板であって、前記ポリイミド基材層のうちの少なくとも1層が、厚さ26μmで測定される引裂き伝播抵抗が100〜400mNの範囲であり、熱膨張係数が30×10−6/K以下であり、厚さが5〜35μmの範囲であり、かつ下記一般式(1):
(式(1)において、Rは炭素数1〜6の低級アルキル基、フェニル基又はハロゲンを示し、lは存在モル比を示す。)
で表される構造単位を50モル%以上の割合で有するポリイミド樹脂層(A)を主たるポリイミド層として有するポリイミド樹脂層であることを特徴とする多層配線回路基板。
And at least two layers of polyimide substrate layer, wherein possess at least one surface a wiring circuit layers formed of a polyimide base layer, the wiring circuit layers at least one layer of two layers of the polyimide substrate layer a multilayer printed circuit board that will be placed between the at least one layer of the polyimide substrate layer is in the range propagation resistance of 100~400mN tear as measured at a thickness of 26 .mu.m, the thermal expansion coefficient of 30 × 10 −6 / K or less , the thickness is in the range of 5 to 35 μm, and the following general formula (1):
(In the formula (1), R represents a lower alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a phenyl group or a halogen, and l represents an existing molar ratio.)
A multilayer wiring circuit board comprising a polyimide resin layer (A) having a structural unit represented by 50% by mole or more as a main polyimide layer .
前記ポリイミド基材層が、厚さ26μmで測定される引裂き伝播抵抗が100〜400mNの範囲であり、かつ熱膨張係数が30×10−6/K以下のポリイミド樹脂層であることを特徴とする請求項1に記載の多層配線回路基板。 The polyimide base material layer is a polyimide resin layer having a tear propagation resistance measured in a thickness of 26 μm in a range of 100 to 400 mN and a thermal expansion coefficient of 30 × 10 −6 / K or less. The multilayer wiring circuit board according to claim 1. 前記ポリイミド樹脂層の厚さが10〜30μmの範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載の多層配線回路基板。   The multilayer wiring circuit board according to claim 1, wherein the polyimide resin layer has a thickness in a range of 10 to 30 μm. 前記ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された導体層とを有するフレキシブル積層板を用いて得られたものであることを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれか一項に記載の多層配線回路基板。   It is obtained using the flexible laminated board which has the said polyimide resin layer and the conductor layer laminated | stacked on the at least single side | surface of the said polyimide resin layer, The any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. A multilayer printed circuit board according to Item.
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