JP5335248B2 - Method for adjusting chromaticity of light emitting device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for adjusting the chromaticity of a light emitting device capable of minutely adjusting the chromaticity even in an actual production process without changing the proportion of fluorescent particles to a light transmissive resin and without executing polishing. <P>SOLUTION: The method is for adjusting the chromaticity of an LED device 10 provided with a blue LED chip 11 mounted on a substrate 17 and a light transmissive resin 13 including fluorescent particles 12 formed and cured so as to cover the blue LED chip 11. The method includes a chromaticity adjusting step of removing a part of the light transmissive resin 13 including the fluorescent particles 12 so as to reduce the proportion of the fluorescent particles to an excited light in a fluorescent spectrum by dry etching, wet etching or mechanical cutting. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、発光装置の色度調整方法に関するものである。さらに詳しくは、LED(Light Emitting Diode、発光ダイオード)チップなどの発光素子と、それを覆う蛍光体を含む透光性樹脂とを備えた発光装置の色度調整方法に関するものである。   The present invention relates to a method for adjusting chromaticity of a light emitting device. More specifically, the present invention relates to a method for adjusting chromaticity of a light emitting device including a light emitting element such as an LED (Light Emitting Diode) chip and a translucent resin including a phosphor covering the light emitting element.

近年、窒化物半導体を用いた青色発光ダイオードが開発され、発光ダイオードと、発光ダイオードから出力される光の一部を吸収して異なる波長の光を出力する蛍光体とを組み合わせることにより、種々の色調の発光色を有する発光装置の開発が進んでいる。さらに、前記発光装置は、発光効率が高くなってきている。   In recent years, blue light emitting diodes using nitride semiconductors have been developed. By combining light emitting diodes with phosphors that absorb part of the light output from the light emitting diodes and output light of different wavelengths, Development of a light-emitting device having an emission color of a color tone is in progress. Furthermore, the light emitting device has increased luminous efficiency.

そして、前記発光装置は、一般的なインジケータや簡単な照明用光源に留まらず、液晶TVのバックライト、本格的な照明器具などに応用されてきている。   The light emitting device has been applied not only to general indicators and simple illumination light sources but also to backlights of liquid crystal TVs and full-scale lighting fixtures.

しかし、いわゆる既存の液晶TV用バックライトに使われる冷陰極管の色度ばらつきや、蛍光灯や白熱電球などの照明器具(光源)の色度ばらつきは、発光ダイオードと蛍光体とを組み合わせた発光装置の色度ばらつきに比べて非常に小さい。具体的には、発光ダイオードは波長のばらつきが大きく、蛍光体は特性が生産ロット毎に異なる傾向がある。さらに、蛍光体は製造工程での仕込み量も微妙にばらつく傾向がある。そして、そのばらつきは、現行の照明器具などに対して大きいものである。   However, the chromaticity variation of cold cathode tubes used in so-called existing LCD TV backlights and the chromaticity variation of lighting fixtures (light sources) such as fluorescent lamps and incandescent lamps are a combination of light emitting diodes and phosphors. Very small compared to the chromaticity variation of the device. Specifically, light emitting diodes have large wavelength variations, and phosphors tend to have different characteristics for each production lot. Furthermore, phosphors tend to vary slightly in the amount charged in the manufacturing process. The variation is large with respect to current lighting fixtures.

このため、こういった用途に発光ダイオードと蛍光体とを組み合わせた発光装置が入ろうとすると、色度ばらつきの問題を解消しなければならない。   For this reason, if a light-emitting device combining a light-emitting diode and a phosphor is to be used for such applications, the problem of chromaticity variation must be solved.

そこで、従来の発光装置では、例えば、波長変換層の厚さを均一にすること、発光素子を収容する凹部を有する発光素子収容体を備えることなどにより色調の変動(ばらつき)を抑えている(例えば、特許文献2参照)。しかし、従来の発光装置の色度調整方法は、色度の微調整が困難であるという問題点を有している。   Therefore, in the conventional light emitting device, for example, the variation (variation) in the color tone is suppressed by making the thickness of the wavelength conversion layer uniform, or by providing a light emitting element housing having a recess for housing the light emitting element ( For example, see Patent Document 2). However, the conventional chromaticity adjustment method of the light emitting device has a problem that it is difficult to finely adjust the chromaticity.

上記の問題点を解消するために、例えば、特許文献1には、「発光素子と、蛍光体粒子を含み、前記発光素子を覆うように形成して硬化させた透光性樹脂とを備えた発光装置の色度を調整する方法であって、前記透光性樹脂を硬化させた後に、前記透光性樹脂の量を変化させることによって前記透光性樹脂に対する前記蛍光体粒子の比率を変化させて色度を調整する工程を含む発光装置の色度調整方法」が示されている。   In order to solve the above problems, for example, Patent Document 1 includes “a light emitting element and a translucent resin that includes phosphor particles and is formed and cured so as to cover the light emitting element. A method of adjusting chromaticity of a light emitting device, wherein after the light transmissive resin is cured, a ratio of the phosphor particles to the light transmissive resin is changed by changing an amount of the light transmissive resin. The method of adjusting the chromaticity of the light emitting device including the step of adjusting the chromaticity by the above-mentioned method is shown.

具体的には、特許文献1に示されている発光装置110の色度調整方法は、図26に示すように、透光性樹脂113を硬化させた後に、透光性樹脂113に対する蛍光体粒子112の比率(体積比率であっても重量比率であってもよい)を変化させることによって色度を調整するものである。したがって、透光性樹脂113において、蛍光体粒子112を実質的に含んでいない非波長変換層113bが形成されていることは必須ではなく、透光性樹脂層113を発光素子111から離れるほど蛍光体粒子112が少なくなるように形成して、その表面を研磨又は表面に透光性樹脂113を塗布するようにしてもよい。このようにしても、透光性樹脂113に対する蛍光体粒子112の比率を変化させることができ、色度を調整することができる。   Specifically, as shown in FIG. 26, the chromaticity adjustment method of the light emitting device 110 disclosed in Patent Document 1 is such that the phosphor particles for the translucent resin 113 are cured after the translucent resin 113 is cured. The chromaticity is adjusted by changing the ratio of 112 (which may be a volume ratio or a weight ratio). Accordingly, it is not essential that the non-wavelength conversion layer 113 b substantially not including the phosphor particles 112 is formed in the translucent resin 113, and the fluorescence is increased as the translucent resin layer 113 is separated from the light emitting element 111. The body particles 112 may be formed so as to decrease, and the surface thereof may be polished or the translucent resin 113 may be applied to the surface. Even in this case, the ratio of the phosphor particles 112 to the translucent resin 113 can be changed, and the chromaticity can be adjusted.

図27は、特許文献1に示されている発光装置120の色度調整方法について説明している。図27では、LEDパッケージ124に、LEDチップ121を搭載後、蛍光体粒子122を含む透光性樹脂123を入れて硬化させている。その際に、蛍光体粒子122は下部に沈み、上部には蛍光体粒子122をほとんど含まない非波長変換層が形成されるようにする方法が開示されている。   FIG. 27 illustrates a chromaticity adjustment method of the light emitting device 120 disclosed in Patent Document 1. In FIG. 27, after the LED chip 121 is mounted on the LED package 124, a translucent resin 123 including phosphor particles 122 is placed and cured. At that time, a method is disclosed in which the phosphor particles 122 sink to the bottom and a non-wavelength conversion layer containing almost no phosphor particles 122 is formed on the top.

また、特許文献1には、LEDパッケージ124中の2層構造を確実に形成するために、下部が蛍光体を含む波長変換層であり、上部が蛍光体をほとんど含まない非波長変換層であるというように、波長変換層と非波長変換層とを重ねて形成する方法も開示されている。   Further, in Patent Document 1, in order to reliably form a two-layer structure in the LED package 124, the lower part is a wavelength conversion layer containing a phosphor, and the upper part is a non-wavelength conversion layer containing almost no phosphor. Thus, a method of forming a wavelength conversion layer and a non-wavelength conversion layer in an overlapping manner is also disclosed.

そして、前記いずれの方法であっても、その非波長変換層を研磨装置125で削ることにより、発光装置120の色度を調整することができるとしている。   In any of the above methods, the chromaticity of the light emitting device 120 can be adjusted by scraping the non-wavelength conversion layer with the polishing device 125.

すなわち、特許文献1は、「蛍光体粒子122を実質的に含まない非波長変換層を研磨することによって色度を調整し得る」,「透光性樹脂123に対する蛍光体粒子122の比率を変化させることによって色度を調整することができる」という知見に基づくものである。   That is, Patent Document 1 states that “the chromaticity can be adjusted by polishing a non-wavelength conversion layer that does not substantially contain the phosphor particles 122”, “the ratio of the phosphor particles 122 to the translucent resin 123 is changed. It is based on the knowledge that the chromaticity can be adjusted.

さらに、特許文献1では、発光装置120の量産に際して、同時に複数のLEDパッケージ124中の透光性樹脂123を研磨する設備に関しても言及されている。
特開2004−186488号公報(平成16年7月2日公開) 特開2007−188976号公報(平成19年7月26日公開)
Furthermore, Patent Document 1 also refers to equipment for polishing the light-transmitting resin 123 in the plurality of LED packages 124 at the time of mass production of the light emitting device 120.
JP 2004-186488 A (released July 2, 2004) JP 2007-188976 (published July 26, 2007)

しかしながら、特許文献1に示されている発光装置の色度調整方法のような研磨を用いた色度調整方法では、研磨装置を精度よく位置合わせする必要があること、LEDパッケージの研磨を複数同時に行うにはより一層精度が必要になること、前記色度調整方法は全体のスループットが低下しやすい生産方法であること、削った透光性樹脂のくずが発生して他の部分に再付着すること、そしてそれを抑えるためには洗浄工程が必要になるおそれがあること、さらに(特許文献1には記載されていないが)白色蛍光体に用いられるシリコーン系透光性樹脂は柔らかいため研磨での樹脂層の精密な削り作業の精度が悪く、発光装置の色度の微調整が困難になること、などという問題点を有している。   However, in the chromaticity adjustment method using polishing such as the chromaticity adjustment method of the light emitting device disclosed in Patent Document 1, it is necessary to align the polishing device with high accuracy, and a plurality of LED packages are simultaneously polished. More precision is required to perform, the chromaticity adjustment method is a production method in which the overall throughput is likely to be reduced, scraped translucent resin is generated and reattached to other parts In addition, there is a possibility that a cleaning process may be required to suppress this, and furthermore, although the silicone-based translucent resin used for the white phosphor is soft (not described in Patent Document 1), it is polished. However, there is a problem that the precision of the precise cutting operation of the resin layer is poor, and it is difficult to finely adjust the chromaticity of the light emitting device.

さらに、図28(a)に示すような、カップを持たないLEDパッケージ131を備え、蛍光体粒子が透光性樹脂中に比較的均一に拡散しているような発光装置130に、研磨を用いた色度調整方法を適用した場合には、透光性樹脂を研磨することにより、図28(b)に示すような、LEDパッケージ132を備えた発光装置130となる。そして、LEDチップから上方に放射された光Aは、蛍光体粒子、すなわち蛍光体発光成分が減少しているので、色度が低下する。一方、LEDチップからLEDパッケージの側面に放射される光Bは、蛍光体粒子、すなわち蛍光体発光成分が変化していないので、色度が維持される。つまり、LEDチップから放射された光の方向による色度の差が大きくなるという問題が発生してしまう。   Further, polishing is applied to a light emitting device 130 that includes an LED package 131 having no cup as shown in FIG. 28A and in which phosphor particles diffuse relatively uniformly in the translucent resin. When the conventional chromaticity adjustment method is applied, the light-emitting device 130 including the LED package 132 as shown in FIG. 28B is obtained by polishing the translucent resin. And the light A radiated | emitted upwards from the LED chip has a reduced chromaticity because phosphor particles, that is, phosphor light-emitting components are reduced. On the other hand, the light B radiated from the LED chip to the side surface of the LED package maintains the chromaticity because the phosphor particles, that is, the phosphor light-emitting components are not changed. That is, there arises a problem that a difference in chromaticity depending on the direction of light emitted from the LED chip becomes large.

特許文献1に示されている発光装置の色度調整方法では、非波長変換層、すなわち蛍光体粒子をほとんど含まない層を形成することで前記の問題を解消しようとしている。しかし、実際の生産工程でのLEDパッケージは、透光性樹脂中の蛍光体粒子を浮遊させておくこともあり、その場合には非波長変換層、すなわち蛍光体粒子をほとんど含まない層を形成することができず、特許文献1に示されている発光装置の色度調整方法を用いることができないという問題点を有している。   In the chromaticity adjustment method of a light emitting device disclosed in Patent Document 1, the above problem is attempted to be solved by forming a non-wavelength conversion layer, that is, a layer that hardly contains phosphor particles. However, the LED package in the actual production process may leave the phosphor particles in the translucent resin floating, and in that case, a non-wavelength conversion layer, that is, a layer containing almost no phosphor particles is formed. Therefore, there is a problem that the chromaticity adjustment method of the light emitting device disclosed in Patent Document 1 cannot be used.

さらに、特許文献1に示されている発光装置の色度調整方法は、透光性樹脂に対する蛍光体粒子の比率を変化させなければ色度を調整することができないという問題点を有している。   Furthermore, the chromaticity adjustment method of the light emitting device disclosed in Patent Document 1 has a problem that the chromaticity cannot be adjusted unless the ratio of the phosphor particles to the translucent resin is changed. .

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、透光性樹脂に対する蛍光体粒子の比率を変化させずに、かつ、研磨を行わずに、実際の生産工程でも色度の微調整を簡単に行うことができる発光装置の色度調整方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and its purpose is to change the ratio of the phosphor particles to the translucent resin and to perform an actual production process without performing polishing. However, it is an object of the present invention to provide a chromaticity adjustment method for a light-emitting device capable of easily performing fine adjustment of chromaticity.

本発明の発光装置の色度調整方法は、上記課題を解決するために、基板上に搭載した発光素子と、前記発光素子を覆うように形成して硬化させた蛍光体粒子を含む透光性樹脂とを備えた発光装置の色度調整方法であって、機械的切断により、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含み、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂に機械的切断により除去するための塊を設けておくことを特徴としている。 Chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention, in order to solve the above problems, translucent including a light emitting element mounted on the base plate, the phosphor particles formed and cured so as to cover the light emitting element A method for adjusting the chromaticity of a light-emitting device comprising a fluorescent resin, wherein the light-transmitting resin includes the phosphor particles so as to reduce a ratio of a phosphor-emitting component to excitation light of an emission spectrum by mechanical cutting And a chromaticity adjusting step for removing a part of the light-transmitting resin, wherein the translucent resin containing the phosphor particles is provided with a lump for removal by mechanical cutting.

上記の発明によれば、機械的切断により、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含んでいるので、蛍光体粒子の量を減少させることができる。そして、蛍光体粒子の減少量を調整することにより、発光装置から放射される光の色度を簡単に調整することができる。その結果、本発明の発光装置の色度調整方法は、透光性樹脂に対する蛍光体粒子の比率を変化させずに色度調整を行うので、蛍光体粒子が透光性樹脂全体に拡散した状態であっても、簡単に色度調整を行うことが可能となる。さらに、本発明の発光装置の色度調整方法は、研磨を行わずに色度調整を行うので、透光性樹脂のくずが発生して他の部分に再付着するなどの不都合が生じない。   According to the above invention, the chromaticity adjustment step of removing a part of the translucent resin including the phosphor particles so as to reduce the ratio of the phosphor light-emitting component to the excitation light of the emission spectrum by mechanical cutting. Therefore, the amount of phosphor particles can be reduced. And the chromaticity of the light radiated | emitted from a light-emitting device can be easily adjusted by adjusting the reduction | decrease amount of fluorescent substance particle. As a result, since the chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention performs chromaticity adjustment without changing the ratio of the phosphor particles to the translucent resin, the phosphor particles are diffused throughout the translucent resin. Even so, it is possible to easily adjust the chromaticity. Furthermore, since the chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention performs chromaticity adjustment without polishing, there is no inconvenience such as generation of waste of the translucent resin and reattachment to other portions.

さらに、あらかじめ、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂を除去しやすいような状態にしておくことができ、前記透光性樹脂を機械的切断により除去する量をより一層制御することができる。   In addition, the translucent resin including the phosphor particles can be easily removed, and the amount of the translucent resin removed by mechanical cutting can be further controlled. .

また、本発明の発光装置の色度調整方法は、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を、機械的切断により空間的に分離しておくことが好ましい。また、本発明の発光装置の色度調整方法は、機械的切断により空間的に分離された前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の切断面同士が、平行でないことが好ましい。   In the chromaticity adjustment method for a light emitting device of the present invention, it is preferable that a part of the translucent resin including the phosphor particles is spatially separated by mechanical cutting. In the chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention, it is preferable that the cut surfaces of the translucent resin including the phosphor particles spatially separated by mechanical cutting are not parallel to each other.

これにより、本発明の発光装置の色度調整方法は、前記発光装置から放射される光の一部を前記切断面の隙間から外界に放射することができ、色度をより一層微調整することができる。   Thereby, the chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention can radiate a part of the light emitted from the light emitting device to the outside through the gap of the cut surface, and further finely adjust the chromaticity. Can do.

また、本発明の発光装置の色度調整方法は、前記色度調整工程では、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂を硬化させた後に、前記発光装置から放射される光の色度を測定し、該色度と目標とする色度とのズレを調整するように、機械的切断により、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去することが好ましい。 Further, in the chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention, in the chromaticity adjustment step, after curing the translucent resin containing the phosphor particles, the chromaticity of light emitted from the light emitting device is adjusted. measured, so as to adjust the deviation of the chromaticity to the chromaticity and the target, the aircraft械的cutting, it is preferable to remove a portion of the transparent resin containing the phosphor particles.

これにより、本発明の発光装置の色度調整方法は、色度をより一層微調整することができる。   Thereby, the chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention can further finely adjust the chromaticity.

本発明の発光装置の色度調整方法は、以上のように、基板上に搭載した発光素子と、前記発光素子を覆うように形成して硬化させた蛍光体粒子を含む透光性樹脂とを備えた発光装置の色度調整方法であって、機械的切断により、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含み、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂に機械的切断により除去するための塊を設けておくことを特徴とする方法である。 Chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention, as described above, and the transparent resin containing a light emitting element mounted on the base plate, the phosphor particles formed and cured so as to cover the light emitting element A method for adjusting the chromaticity of a light emitting device comprising: a part of the translucent resin containing the phosphor particles so as to reduce the ratio of the phosphor light emitting component to the excitation light of the emission spectrum by mechanical cutting And a chromaticity adjusting step for removing the particles, and the translucent resin containing the phosphor particles is provided with a lump for removal by mechanical cutting.

それゆえ、透光性樹脂に対する蛍光体粒子の比率を変化させずに、かつ、研磨を行わずに、実際の生産工程でも色度の微調整を簡単に行うことができる発光装置の色度調整方法を提供するという効果を奏する。   Therefore, it is possible to easily adjust the chromaticity of the light-emitting device without changing the ratio of the phosphor particles to the translucent resin and without performing polishing, even in the actual production process. There is an effect of providing a method.

(I)本発明の発光装置の色度調整方法
本発明の発光装置の色度調整方法は、基板上に搭載した発光素子と、前記発光素子を覆うように形成して硬化させた蛍光体粒子を含む透光性樹脂とを備えた発光装置の色度調整方法であって、ドライエッチング、ウェットエッチングまたは機械的切断により、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含む方法である。
(I) Chromaticity adjustment method of light emitting device of the present invention The chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention comprises a light emitting element mounted on a substrate and phosphor particles formed and cured so as to cover the light emitting element. A method for adjusting the chromaticity of a light-emitting device comprising a translucent resin containing, wherein the ratio of the phosphor light-emitting component to the excitation light of the emission spectrum is reduced by dry etching, wet etching or mechanical cutting, It is a method including a chromaticity adjustment step of removing a part of the translucent resin containing phosphor particles.

本発明の発光素子として、青色LEDチップを用いて説明しているが、特に限定されない。   The light emitting element of the present invention is described using a blue LED chip, but is not particularly limited.

本発明の蛍光体粒子としては、窒化物系半導体を発光層とする半導体LEDチップから発光された光を励起させて発光できるセリウムで付活されたイットリウム・アルミニウム酸化物系蛍光物質をベースとしたもの、窒化物系蛍光体及びCa−Al−Si−O−N系オキシ窒化物ガラス蛍光体などの種々の蛍光物質を用いることができる。   The phosphor particles of the present invention are based on a cerium-activated yttrium / aluminum oxide phosphor capable of emitting light by exciting light emitted from a semiconductor LED chip having a nitride semiconductor as a light emitting layer. Various fluorescent materials such as those, nitride-based phosphors, and Ca—Al—Si—O—N-based oxynitride glass phosphors can be used.

本発明の透光性樹脂としては、封止樹脂として用いられるものであれば、特に限定されない。   The translucent resin of the present invention is not particularly limited as long as it is used as a sealing resin.

本発明に用いられるエッチングは、ドライエッチングまたはウェットエッチングが挙げられる。また、ドライエッチングとしては、等方性エッチングまたは異方性エッチングが挙げられる。等方性エッチングとは、対象物の全ての方向に一様な速度で進むエッチングをいう。また、異方性エッチングとは、対象物の特定の方向に速度が速いエッチングをいう。つまり、異方性エッチングでは、対象物の特定の方向にのみ優先的にエッチングが進むことになる。   The etching used in the present invention includes dry etching or wet etching. Examples of dry etching include isotropic etching and anisotropic etching. Isotropic etching refers to etching that proceeds at a uniform rate in all directions of an object. Also, anisotropic etching refers to etching that is fast in a specific direction of an object. That is, in anisotropic etching, etching proceeds preferentially only in a specific direction of the object.

なお、蛍光体粒子が透光性樹脂中に均等に拡散されていて、かつ発光素子から放射される光が全ての方向に対して均等に放射されていれば、除去した蛍光体粒子の量(体積)と除去されなかった蛍光体粒子の発光強度とがほぼ比例する。   In addition, if the phosphor particles are evenly diffused in the translucent resin and the light emitted from the light emitting element is evenly emitted in all directions, the amount of the removed phosphor particles ( The volume) and the emission intensity of the phosphor particles that have not been removed are approximately proportional.

参考の形態1〕
本発明の一参考形態について図1ないし図14に基づいて説明すれば、以下の通りである。
[ Reference form 1]
It will be described on the basis An reference embodiment in FIGS. 1 to 14 of the present invention is as follows.

参考の形態1では、蛍光体粒子および透光性樹脂の除去にドライエッチングを用いる。ドライエッチングとしては、例えば、等方性エッチングや異方性の反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching/RIE)を使用する。 In Reference Form 1, dry etching is used to remove phosphor particles and translucent resin. As dry etching, for example, isotropic etching or anisotropic reactive ion etching (Reactive Ion Etching / RIE) is used.

ドライエッチング装置として、プラズマエッチング装置を使用した場合には、プラズマイオンの異方性は弱いため、プラズマイオンが透光性樹脂の側面に回り込み、プラズマイオンが透光性樹脂の側面もエッチングする。これにより、蛍光体粒子および透光性樹脂の全体が除去される。ドライエッチングを用いて蛍光体粒子および透光性樹脂を除去することにより、研磨を用いて透光性樹脂を除去する場合と比べて、放射角度による色度のばらつきを緩和することができる。さらに、ドライエッチングを用いて蛍光体粒子および透光性樹脂を除去することにより、研磨を用いて透光性樹脂を除去する場合と比べて、ダストが出ない。   When a plasma etching apparatus is used as the dry etching apparatus, since the anisotropy of plasma ions is weak, the plasma ions wrap around the side surface of the translucent resin and the plasma ions also etch the side surfaces of the translucent resin. Thereby, the whole fluorescent substance particle and translucent resin are removed. By removing the phosphor particles and the translucent resin using dry etching, variation in chromaticity due to the radiation angle can be reduced as compared with the case where the translucent resin is removed using polishing. Furthermore, dust is not generated by removing the phosphor particles and the translucent resin using dry etching, compared to the case where the translucent resin is removed using polishing.

以下に、図1〜14に基づいて具体的に説明する。   Below, it demonstrates concretely based on FIGS.

参考例1〕
図1は、LEDデバイス10を示す断面図である。LEDパッケージ14内部に、青色LEDチップ11が搭載され、蛍光体粒子12を含む透光性樹脂13で封止されている。青色LEDチップ11から放射された青色光の一部は、蛍光体粒子12の隙間を通って、外部に放射される。青色LEDチップ11から放射された青色光のうちの残りは、蛍光体粒子12に衝突し、ほとんどは蛍光体粒子12により一旦吸収され、その後に、例えば緑色、黄色、赤色などの蛍光体粒子12の特性に応じた光に変換され、外部に放射される。
[ Reference Example 1]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the LED device 10. A blue LED chip 11 is mounted inside the LED package 14 and sealed with a translucent resin 13 including phosphor particles 12. Part of the blue light emitted from the blue LED chip 11 is emitted to the outside through the gap between the phosphor particles 12. The remainder of the blue light emitted from the blue LED chip 11 collides with the phosphor particles 12, most of which is once absorbed by the phosphor particles 12, and then, for example, phosphor particles 12 such as green, yellow, and red. It is converted into light according to the characteristics of and is emitted to the outside.

その結果、LEDパッケージ14の外部からは、青色光と、蛍光体粒子12で変換された光とが一体となって見え、ある特定の色として認識される。   As a result, from the outside of the LED package 14, the blue light and the light converted by the phosphor particles 12 are seen as one body and recognized as a specific color.

LEDデバイス10の製造方法は、LEDパッケージ14に、まず青色LEDチップ11を、樹脂、Agペースト、AuZnなどの低融点の共晶金属でダイボンドする。その後に、青色LEDチップ11の電極と、LEDパッケージ14の基板17上の配線部16とを、Au線またはAl線などのワイヤー15を用いて接続(ワイヤボンド)する。   In the manufacturing method of the LED device 10, first, the blue LED chip 11 is die-bonded to the LED package 14 with a low-melting eutectic metal such as resin, Ag paste, or AuZn. Thereafter, the electrode of the blue LED chip 11 and the wiring portion 16 on the substrate 17 of the LED package 14 are connected (wire bonded) using a wire 15 such as an Au wire or an Al wire.

その後に、蛍光体粒子12を透光性樹脂13に混合し、その混合物をLEDパッケージ14の内部に流し込む。その後に、高温雰囲気下で透光性樹脂13の硬化を行う。   Thereafter, the phosphor particles 12 are mixed with the translucent resin 13, and the mixture is poured into the LED package 14. Thereafter, the translucent resin 13 is cured in a high temperature atmosphere.

そして、LEDデバイス10において色度を計測して、目標の色度とのズレを算出する。そして、そのズレ量に応じて、ドライエッチングの時間を調整する。   Then, the chromaticity is measured in the LED device 10, and a deviation from the target chromaticity is calculated. Then, the dry etching time is adjusted according to the amount of deviation.

図2(a)は、ドライエッチング装置として、プラズマエッチング装置20を使用した場合のドライエッチング装置を示す断面図である。   FIG. 2A is a cross-sectional view showing a dry etching apparatus when a plasma etching apparatus 20 is used as the dry etching apparatus.

エッチングガスとしては、アルゴン(Ar)系、フッ素(F)系、塩素(Cl)系などのガスを用いることができる。具体的には、Ar、CF、CHF、SF、Clなどのガスを用いることができる。エッチングガスを流しながら、RF発信器22から対向する電極21に高周波電流を流し、前記エッチングガスをプラズマ化する。 As an etching gas, an argon (Ar) -based, fluorine (F) -based, chlorine (Cl) -based gas, or the like can be used. Specifically, a gas such as Ar, CF 4 , CHF 3 , SF 6 , or Cl 2 can be used. While flowing the etching gas, a high-frequency current is passed from the RF transmitter 22 to the opposing electrode 21 to turn the etching gas into plasma.

プラズマ化により生成したプラズマイオンが対向する電極21の内部電位で加速され、LEDパッケージ14中の蛍光体粒子12を含む透光性樹脂13と反応し、エッチングを行う。削られた蛍光体粒子12および透光性樹脂13(蛍光体粒子12を含む透光性樹脂13)は、非常に細かな粒子となり、多くは排気されるので、LEDパッケージ14へのダストの再付着は生じない。   Plasma ions generated by the plasma process are accelerated by the internal potential of the opposing electrode 21, react with the translucent resin 13 including the phosphor particles 12 in the LED package 14, and perform etching. The shaved phosphor particles 12 and the translucent resin 13 (the translucent resin 13 including the phosphor particles 12) become very fine particles, and many of them are exhausted, so that the dust on the LED package 14 is recycled. Adhesion does not occur.

プラズマエッチング装置を使用した場合には、プラズマイオンの異方性は弱いため、等方性エッチングを行い、後述のように、透光性樹脂13の側面もエッチングすることができ、好都合である。   When a plasma etching apparatus is used, since the anisotropy of plasma ions is weak, isotropic etching can be performed and the side surface of the translucent resin 13 can be etched as will be described later.

図2(b)は、ドライエッチング装置として、プラズマエッチング装置20を使用した場合の他のドライエッチング装置を示す断面図である。図2(b)では、例えば、異方性が強くなるが、CF、CHF、Arガスを用いた異方性の反応性イオンエッチング(RIE)も用いることができる。 FIG. 2B is a cross-sectional view showing another dry etching apparatus when the plasma etching apparatus 20 is used as the dry etching apparatus. In FIG. 2B, for example, anisotropy becomes strong, but anisotropic reactive ion etching (RIE) using CF 4 , CHF 3 , and Ar gas can also be used.

図3は、エッチング終了後のLEDデバイス30を示す断面図である。図1に示されているエッチング前のLEDデバイス10と比較すると、LEDパッケージ14が、LEDパッケージ34になっている。   FIG. 3 is a cross-sectional view showing the LED device 30 after completion of etching. Compared to the LED device 10 before etching shown in FIG. 1, the LED package 14 is an LED package 34.

プラズマエッチングは異方性が弱いため、蛍光体粒子12を含む透光性樹脂13の側面もエッチングされている。これにより、透光性樹脂13内に含まれる蛍光体粒子12が減り、LEDパッケージ34全体として、色温度の高い方にシフトを起こす。   Since the plasma etching has weak anisotropy, the side surface of the translucent resin 13 including the phosphor particles 12 is also etched. As a result, the phosphor particles 12 contained in the translucent resin 13 are reduced, and the LED package 34 as a whole is shifted toward the higher color temperature.

図4は、LEDパッケージ14におけるエッチング時間と、色温度との関係を示すグラフである。もちろん、ガス流量、ガス圧力などのパラメータで、この関係は変わるが、エッチング時間に応じて色温度が変えられることについては変わりない。   FIG. 4 is a graph showing the relationship between the etching time and the color temperature in the LED package 14. Of course, this relationship changes depending on parameters such as gas flow rate and gas pressure, but the color temperature can be changed according to the etching time.

なお、色度は、2次元のパラメータであり、色度と色度の制御パラメータとの相関関係を表現しにくいため、図4などにおいて色温度を使用して表現している。色温度は、黒体輻射の温度軌跡で、色度座標上で、1次元の特性曲線として示される。ただし、本参考例も含めて、本発明は、色温度曲線上でしか色度を変化させることができないわけではなく、その曲線から外れた色度位置へも制御可能である。また、以下の実施例または参考例においても、色度の調整パラメータ、手法との相関を、色度ではなく、色温度を用いて示す。 Note that the chromaticity is a two-dimensional parameter, and it is difficult to express the correlation between the chromaticity and the chromaticity control parameter. The color temperature is a temperature locus of black body radiation and is shown as a one-dimensional characteristic curve on the chromaticity coordinates. However, including the present reference example, the present invention can not only change the chromaticity on the color temperature curve, but can also control to a chromaticity position outside the curve. Also in the following examples or reference examples , the correlation with chromaticity adjustment parameters and methods is shown using color temperature instead of chromaticity.

ここで、図25は、色度と色温度との関係を示したグラフである(全体図および拡大図、全体図はCIE 1931色度図、国際照明委員会(CIE)によって1931年に定義された色の規格)。具体的には、図25(a)は、xy色度図を示し、図25(b)は、xy色度図上における黒体軌跡と等色温度線、等偏差線を示す。   Here, FIG. 25 is a graph showing the relationship between chromaticity and color temperature (overall view and enlarged view, overall view is defined in 1931 by the CIE 1931 chromaticity diagram, International Illumination Commission (CIE)). Color standard). Specifically, FIG. 25A shows an xy chromaticity diagram, and FIG. 25B shows a black body locus, a color matching temperature line, and an equal deviation line on the xy chromaticity diagram.

図5(a)・(b),図6(a)・(b),図7(a)・(b)は、図1に示されているLEDパッケージ14に変えて、LEDパッケージ41,44,47を含んだLEDデバイス40,43,46を示す断面図である。そして、図5(a)に示されているLEDパッケージ41はエッチング前のものであり、図5(b)に示されているLEDパッケージ42はエッチング後のものである。また図6(a)に示されているLEDパッケージ44はエッチング前のものであり、図6(b)に示されているLEDパッケージ45はエッチング後のものである。また、図7(a)に示されているLEDパッケージ47はエッチング前のものであり、図7(b)に示されているLEDパッケージ48はエッチング後のものである。   5 (a), 5 (b), 6 (a), (b), 7 (a), (b) are replaced with the LED package 14 shown in FIG. , 47 is a cross-sectional view showing LED devices 40, 43, 46 including 47. The LED package 41 shown in FIG. 5A is before etching, and the LED package 42 shown in FIG. 5B is after etching. Further, the LED package 44 shown in FIG. 6A is the one before the etching, and the LED package 45 shown in FIG. 6B is the one after the etching. Further, the LED package 47 shown in FIG. 7A is the one before etching, and the LED package 48 shown in FIG. 7B is the one after etching.

そして、図5(a)・(b),図6(a)・(b),図7(a)・(b)に示されているLEDパッケージ41,44,47を含んだLEDデバイス40,43,46においても、図1〜4に示した方法と同様の方法で色度の調整を図ることができる。   And LED device 40 containing LED package 41,44,47 shown by Fig.5 (a) * (b), FIG.6 (a) * (b), FIG.7 (a) * (b), Also in 43 and 46, the chromaticity can be adjusted by a method similar to the method shown in FIGS.

参考例2〕
図8は、図2に示したプラズマエッチング装置20に、エッチングの進行状況を確認する励起光源51・光検出器52を付与したプラズマエッチング装置50を示す断面図である。
[ Reference Example 2]
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a plasma etching apparatus 50 in which an excitation light source 51 and a photodetector 52 for confirming the progress of etching are added to the plasma etching apparatus 20 shown in FIG.

具体的には、励起光源51からLEDパッケージに、蛍光体粒子を励起させることができる青色光または近紫外光を照射し、蛍光体粒子から放射される光を光検出器52で分析し、エッチングの進行状況をモニタする。なお、蛍光体粒子から放射される励起光の強度をモニタする方式が一般的である。   Specifically, the LED package is irradiated with blue light or near-ultraviolet light that can excite phosphor particles from the excitation light source 51, and the light emitted from the phosphor particles is analyzed by the photodetector 52 and etched. Monitor the progress of. A method for monitoring the intensity of excitation light emitted from the phosphor particles is generally used.

図8に示したプラズマエッチング装置50のその他の構成は、図2に示したプラズマエッチング装置20と同様である。   The other configuration of the plasma etching apparatus 50 shown in FIG. 8 is the same as that of the plasma etching apparatus 20 shown in FIG.

参考例3〕
生産工程で大量に流通させるには、LEDデバイスにおいて色度を計測して、目標の色度とのズレを算出し、そのズレ量に応じてドライエッチングの時間を調整する必要がある。
[ Reference Example 3]
In order to distribute a large amount in the production process, it is necessary to measure the chromaticity in the LED device, calculate the deviation from the target chromaticity, and adjust the dry etching time according to the deviation.

しかし、そのような方法では、バッチ数が増えてしまうおそれがある。そこで、エッチングする蛍光体粒子および透光性樹脂の上に、メタルマスクを置き、そのメタルマスクの開口率でエッチング量を制御する。これにより、ドライエッチングの時間を調整することができる。   However, such a method may increase the number of batches. Therefore, a metal mask is placed on the phosphor particles to be etched and the translucent resin, and the etching amount is controlled by the aperture ratio of the metal mask. Thereby, the time of dry etching can be adjusted.

メタルマスクの開口率とは、封止樹脂として用いられている透光性樹脂の表面が完全に開口した場合を100%として算出した開口面積の割合を示す。開口とは、図9(b),図10(b)に示すように、円、四角形状などを複数、規則的に配列することである。   The opening ratio of the metal mask refers to the ratio of the opening area calculated assuming that the surface of the translucent resin used as the sealing resin is completely opened as 100%. The opening means regularly arranging a plurality of circles, squares, etc., as shown in FIGS. 9B and 10B.

開口率が高いほど、エッチングによる色度のシフトを大きくすることができ、逆に開口率が低いほど、エッチングによる色度のシフトを小さくすることができる。開口率の異なるメタルマスクを複数準備しておくことにより、一つのドライエッチング条件で、複数の色度調整が可能となり、バッチ数が減るなど効果的である。   The higher the aperture ratio, the greater the chromaticity shift due to etching, and the lower the aperture ratio, the smaller the chromaticity shift due to etching. By preparing a plurality of metal masks having different aperture ratios, it is possible to adjust a plurality of chromaticities under one dry etching condition, which is effective in reducing the number of batches.

図9(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図9(b)は、メタルマスクを前記LEDパッケージに重ねた模式図であり、図9(c)は、エッチング中の状態(プラズマイオン56が開口部57を透過し、プラズマイオン56がマスク58で遮蔽される状態)を示す断面図であり、図9(d)は、エッチングが終了した状態を示す断面図である。   FIG. 9A is a cross-sectional view showing a target LED package, FIG. 9B is a schematic view in which a metal mask is overlaid on the LED package, and FIG. FIG. 9D is a cross-sectional view showing a state (a state in which the plasma ions 56 are transmitted through the opening 57 and the plasma ions 56 are shielded by the mask 58), and FIG. 9D is a cross-sectional view showing a state in which the etching is finished. .

プラズマイオンの異方性が弱いため、エッチング形状には凹凸が形成される。エッチング後のLEDパッケージを細かく見ると、凹凸部分で色度の違いが発生する。しかし、実際の使用状態では、これらの光がまとまって見えるため、凹凸部分で色度の違いは認識されない。開口およびマスクの幅または大きさは、LEDチップの発光輝度、配光特性や各LEDチップの配置、蛍光体粒子の発光特性や添加量、透光性樹脂の形状や厚みなどに依存し、その仕様に応じて、適宜調整する。   Since the anisotropy of plasma ions is weak, irregularities are formed in the etched shape. When the LED package after etching is viewed in detail, a difference in chromaticity occurs at the uneven portion. However, in an actual use state, since these lights appear to be gathered, a difference in chromaticity is not recognized in the uneven portion. The width or size of the opening and the mask depends on the light emission luminance of the LED chip, the light distribution characteristic, the arrangement of each LED chip, the light emission characteristic and addition amount of the phosphor particles, the shape and thickness of the translucent resin, etc. Adjust appropriately according to the specifications.

図10(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図10(b)は、メタルマスクを前記LEDパッケージに重ねた模式図であり、図10(c)は、エッチング中の状態(プラズマイオン56が開口部57を透過し、プラズマイオン56がマスク58で遮蔽される状態)を示す断面図であり、図10(d)は、エッチングが終了した状態を示す断面図である。図10(a)〜(d)は、図9(a)〜(d)よりも開口率の大きいメタルマスクを使った場合である。   10A is a cross-sectional view showing a target LED package, FIG. 10B is a schematic view in which a metal mask is overlaid on the LED package, and FIG. FIG. 10D is a cross-sectional view showing a state (a state in which the plasma ions 56 are transmitted through the opening 57 and the plasma ions 56 are shielded by the mask 58), and FIG. 10D is a cross-sectional view showing a state in which etching is completed. . FIGS. 10A to 10D show a case where a metal mask having a larger aperture ratio than that of FIGS. 9A to 9D is used.

図11は、マスクの開口率と、エッチング時間と、色温度との関係を示すグラフである。もちろん、ガス流量、ガス圧力などのパラメータで、この関係は変わるが、エッチング時間に応じて色温度が変えられることについては変わりない。   FIG. 11 is a graph showing the relationship between the aperture ratio of the mask, the etching time, and the color temperature. Of course, this relationship changes depending on parameters such as gas flow rate and gas pressure, but the color temperature can be changed according to the etching time.

参考例では、透光性樹脂の側面はエッチングされない例で示したが、この例では、側面方向の色度むらを考慮しない例、例えば、透光性樹脂の表面の面積に対して透光性樹脂の厚みが非常に薄い場合に好適である。 In this reference example, the side surface of the translucent resin is shown as an example in which the side surface of the translucent resin is not etched. However, in this example, the non-uniformity of the chromaticity in the side surface direction is not considered. This is suitable when the thickness of the conductive resin is very thin.

参考例4〕
前記参考例3で使ったメタルマスクに代わって、フォトプロセスを使ったフォトレジストマスクを使った方法である。
[ Reference Example 4]
In place of the metal mask used in Reference Example 3, a photoresist mask using a photo process is used.

図12(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図12(b)は、レジストを塗布して、フォトプロセスで、パターニングした状態を示す断面図であり、図12(c)は、エッチングが終了した状態を示す断面図である。   12A is a cross-sectional view showing a target LED package, and FIG. 12B is a cross-sectional view showing a state in which a resist is applied and patterned by a photo process, and FIG. ) Is a cross-sectional view showing a state in which etching is completed.

また、図13(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図13(b)は、レジストを塗布して、フォトプロセスで、パターニングした状態を示す断面図であり、図13(c)は、エッチングが終了した状態を示す断面図である。図13(a)〜(c)は、図12(a)〜(c)よりも開口率の大きいパターンでフォトレジストマスクを形成した場合である。   FIG. 13A is a cross-sectional view showing a target LED package, and FIG. 13B is a cross-sectional view showing a state in which a resist is applied and patterned by a photo process. (C) is sectional drawing which shows the state which etching complete | finished. FIGS. 13A to 13C show a case where a photoresist mask is formed with a pattern having a larger aperture ratio than that of FIGS. 12A to 12C.

図14は、マスクの開口率と、エッチング時間と、色温度との関係を示すグラフである。もちろん、ガス流量、ガス圧力などのパラメータで、この関係は変わるが、エッチング時間に応じて色温度が変えられることについては変わりない。   FIG. 14 is a graph showing the relationship between the aperture ratio of the mask, the etching time, and the color temperature. Of course, this relationship changes depending on parameters such as gas flow rate and gas pressure, but the color temperature can be changed according to the etching time.

参考例では、透光性樹脂の側面はエッチングされない例で示したが、この例では、側面方向の色度むらを考慮しない例、例えば、透光性樹脂の表面の面積に対して透光性樹脂の厚みが非常に薄い場合に好適である。また、透光性樹脂の側面にフォトレジストマスクを設けなければ、この限りではない。 In this reference example, the side surface of the translucent resin is shown as an example in which the side surface of the translucent resin is not etched. However, in this example, the non-uniformity of the chromaticity in the side surface direction is not considered. This is suitable when the thickness of the conductive resin is very thin. Further, this is not a limitation unless a photoresist mask is provided on the side surface of the translucent resin.

参考の形態2〕
本発明の他の参考の形態について図15ないし図19に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本参考の形態において説明すること以外の構成は、前記参考の形態1と同じである。また、説明の便宜上、前記参考の形態1の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
[ Reference form 2]
If described with reference to FIGS. 15 through 19 for the other reference embodiment of the present invention is as follows. Note that configurations other than what is explained in the present reference is the same as Embodiment 1. of Reference. For ease of explanation, members having the same functions as the members shown in the reference embodiment 1 of the drawings, the same reference numerals, and description thereof is omitted.

参考の形態2では、前記参考の形態1のドライエッチングに代えて、ウェットエッチングを用いている。 In this reference embodiment 2, in place of the dry etching of the first of the reference, by wet etching.

参考例5〕
ウェットエッチングは、基本的には、ドライエッチングと同じ考え方で、エッチング液を使って、透光性樹脂を溶解し、透光性樹脂内の蛍光体粒子の量を減らすことを目的とする。
[ Reference Example 5]
Wet etching is basically based on the same concept as dry etching and aims to reduce the amount of phosphor particles in the translucent resin by using an etchant to dissolve the translucent resin.

図15(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図15(b)は、エッチング中の状態(LEDデバイス61全体をエッチング槽62中のエッチング液63に漬ける状態)を示す断面図であり、図15(c)は、エッチングが終了した状態を示す断面図である。   FIG. 15A is a cross-sectional view showing a target LED package, and FIG. 15B shows a state during etching (a state in which the entire LED device 61 is immersed in an etching solution 63 in an etching bath 62). FIG. 15C is a cross-sectional view showing a state in which etching has been completed.

エッチング液63は、LEDパッケージ61全体に接触するため、LEDパッケージ61の側面もエッチングされる。これにより、エッチング後のLEDパッケージ64となる。その結果、透光性樹脂内に含まれる蛍光体粒子が減り、LEDデバイス60全体として、色温度の高い方にシフトを起こす。   Since the etching solution 63 contacts the entire LED package 61, the side surface of the LED package 61 is also etched. Thereby, the LED package 64 after etching is obtained. As a result, the phosphor particles contained in the translucent resin are reduced, and the LED device 60 as a whole shifts toward the higher color temperature.

図16は、エッチング時間と、色温度との関係を示すグラフである。もちろん、エッチング液の液温、エッチング液の濃度などのパラメータで、この関係は変わるが、エッチング時間に応じて色温度が変えられることについては変わりない。   FIG. 16 is a graph showing the relationship between etching time and color temperature. Of course, this relationship changes depending on parameters such as the temperature of the etching solution and the concentration of the etching solution, but the color temperature can be changed according to the etching time.

なお、溶融した透光性樹脂は、エッチング液中に拡散する。また、蛍光体粒子は、エッチング液中に浮遊または沈降するが、エッチング後の洗浄工程で洗い流され、LEDパッケージの表面にはほとんど残存しない。   Note that the molten translucent resin diffuses into the etching solution. Further, the phosphor particles float or settle in the etching solution, but are washed away in the cleaning process after etching, and hardly remain on the surface of the LED package.

参考例6〕
生産工程で大量に流通させるには、LEDデバイスにおいて色度を計測して、目標の色度とのズレを算出し、そのズレ量に応じてウェットエッチングの時間を調整する必要がある。
[ Reference Example 6]
In order to distribute a large amount in the production process, it is necessary to measure the chromaticity in the LED device, calculate the deviation from the target chromaticity, and adjust the wet etching time according to the deviation.

しかし、そのような方法では、バッチ数が増えてしまうおそれがある。そこで、エッチングする透光性樹脂の上に、フォトプロセスを使ったフォトレジストマスクを置き、そのフォトレジストマスクの開口率でエッチング量を制御する。これにより、ウェットエッチングの時間を調整することができる。   However, such a method may increase the number of batches. Therefore, a photoresist mask using a photo process is placed on the transparent resin to be etched, and the etching amount is controlled by the aperture ratio of the photoresist mask. Thereby, the time of wet etching can be adjusted.

開口率が高いほど、エッチングによる色度のシフトを大きくすることができ、逆に開口率が低いほど、エッチングによる色度のシフトを小さくすることができる。開口率の異なるフォトレジストマスクを複数準備しておくことにより、一つのウェットエッチング条件で、複数の色度調整が可能となり、バッチ数が減るなど効果的である。   The higher the aperture ratio, the greater the chromaticity shift due to etching, and the lower the aperture ratio, the smaller the chromaticity shift due to etching. By preparing a plurality of photoresist masks having different opening ratios, it is possible to adjust a plurality of chromaticities under one wet etching condition, which is effective in reducing the number of batches.

図17(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図17(b)は、レジストを塗布して、フォトプロセスで、パターニングした状態を示す断面図であり、図17(c)は、エッチングが終了した状態を示す断面図である。   17A is a cross-sectional view showing a target LED package, and FIG. 17B is a cross-sectional view showing a state in which a resist is applied and patterned by a photo process, and FIG. ) Is a cross-sectional view showing a state in which etching is completed.

また、図18(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図18(b)は、レジストを塗布して、フォトプロセスで、パターニングした状態を示す断面図であり、図18(c)は、エッチングが終了した状態を示す断面図である。図18(a)〜(c)は、図17(a)〜(c)よりも開口率の大きいパターンでマスクを形成した場合である。   FIG. 18A is a cross-sectional view showing a target LED package, and FIG. 18B is a cross-sectional view showing a state in which a resist is applied and patterned by a photo process. (C) is sectional drawing which shows the state which etching complete | finished. FIGS. 18A to 18C show the case where the mask is formed with a pattern having a larger aperture ratio than that of FIGS. 17A to 17C.

図19は、マスクの開口率と、エッチング時間と、色温度との関係を示すグラフである。もちろん、エッチング液の液温、エッチング液の濃度などのパラメータで、この関係は変わるが、エッチング時間に応じて色温度が変えられることについては変わりない。   FIG. 19 is a graph showing the relationship between the aperture ratio of the mask, the etching time, and the color temperature. Of course, this relationship changes depending on parameters such as the temperature of the etching solution and the concentration of the etching solution, but the color temperature can be changed according to the etching time.

〔実施の形態3〕
本発明の他の実施の形態について図22ないし図24に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、本実施の形態において説明すること以外の構成は、前記参考の形態1と同じである。また、説明の便宜上、前記参考の形態1の図面に示した部材と同一の機能を有する部材については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
[Embodiment 3]
The following will describe another embodiment of the present invention with reference to FIGS. Note that the configuration other than those described in the present embodiment is the same as Embodiment 1. of Reference. For ease of explanation, members having the same functions as the members shown in the reference embodiment 1 of the drawings, the same reference numerals, and description thereof is omitted.

本実施の形態3では、前記参考の形態1のドライエッチングに代えて、機械的切断を用いている。 In the third embodiment, in place of the dry etching of the first of the reference, using a mechanical cutting.

〔参考例7〕
図20(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図20(b)は、蛍光体粒子および透光性樹脂を切断する状態(LEDパッケージ71の周辺部を、切断冶具72を用いて、略垂直に切断し、これにより、直接的に、透光性樹脂に含まれる蛍光体量を減らす状態)を示す断面図であり、図20(c)は、切断除去が終了した状態(LEDパッケージ73)を示す断面図である。なお、LEDパッケージ71の片方のみを切断、LEDパッケージ71の全体を切断など種々のバリエーションが可能である。図20(d)は、透光性樹脂の残存面積に対する色温度の変化を示すグラフである。
[Reference Example 7]
FIG. 20A is a cross-sectional view showing a target LED package, and FIG. 20B shows a state in which the phosphor particles and the translucent resin are cut (the peripheral portion of the LED package 71 is cut with a cutting jig 72. FIG. 20C is a cross-sectional view showing a state in which the amount of the phosphor contained in the light-transmitting resin is directly reduced), and FIG. It is sectional drawing which shows a state (LED package 73). Various variations such as cutting only one of the LED packages 71 and cutting the entire LED package 71 are possible. FIG. 20D is a graph showing changes in color temperature with respect to the remaining area of the translucent resin.

本参考例では、略直方体状に形成したLEDパッケージ71の側面を、該側面に平行に切断するので、切断した透光性樹脂の体積を表面の面積に変換することができ、表面形状のモニタで容易に管理できる。   In this reference example, the side surface of the LED package 71 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape is cut in parallel to the side surface, so that the volume of the cut translucent resin can be converted into the surface area, and the surface shape monitor Can be easily managed.

なお、残存面積とは、切断後の透光性樹脂における表面の面積を示す。また、面積比率とは、切断前の透光性樹脂における表面の面積に対する切断後の透光性樹脂における表面の面積を示す。もちろん、透光性樹脂内の蛍光体粒子の濃度、透光性樹脂内のLEDチップの数、透光性樹脂のトータル面積などのパラメータで、この関係は変わるが、透光性樹脂面積に応じて色温度が変えられることについては変わりない。   In addition, a remaining area shows the surface area in translucent resin after a cutting | disconnection. Moreover, an area ratio shows the surface area in the translucent resin after a cutting | disconnection with respect to the area of the surface in the translucent resin before a cutting | disconnection. Of course, this relationship varies depending on parameters such as the concentration of phosphor particles in the translucent resin, the number of LED chips in the translucent resin, and the total area of the translucent resin, but depending on the translucent resin area. The color temperature can be changed.

〔参考例8〕
蛍光体粒子は比重が大きいので、特許文献1にも記載されているように、透光性樹脂中で沈み気味になる。よって、透光性樹脂の上層部における蛍光体粒子の濃度は、(特許文献1に記載されている非波長変換層ほどではないが、)透光性樹脂の下層部における蛍光体粒子の濃度よりも低い。したがって、透光性樹脂の機械的切断を行う際に、上層部付近のみを切断すれば、上層部に含まれている蛍光体粒子数が少ないため、色度の微調整をすることができる。
[Reference Example 8]
Since the specific gravity of the phosphor particles is large, as described in Patent Document 1, the phosphor particles sink in the translucent resin. Therefore, the concentration of the phosphor particles in the upper layer portion of the translucent resin is less than that of the phosphor particle in the lower layer portion of the translucent resin (although not as high as the non-wavelength conversion layer described in Patent Document 1). Is also low. Therefore, when performing mechanical cutting of the translucent resin, if only the vicinity of the upper layer part is cut, the number of phosphor particles contained in the upper layer part is small, so that the chromaticity can be finely adjusted.

図21(a)は、対象とするLEDパッケージを示す断面図であり、図21(b)は、蛍光体粒子および透光性樹脂を切断する状態(LEDパッケージ71の周辺部の上層部付近を、切断冶具72を用いて、切断し、これにより、直接的に、透光性樹脂に含まれる蛍光体量を減らす状態)を示す断面図であり、図21(c)は、切断除去が終了した状態(LEDパッケージ74)を示す断面図である。なお、LEDパッケージ71の端部のみでなく、中央部付近を掻き取ることでも、同様の効果を奏する。   FIG. 21A is a cross-sectional view showing a target LED package, and FIG. 21B shows a state in which the phosphor particles and the translucent resin are cut (the vicinity of the upper layer portion of the peripheral portion of the LED package 71). FIG. 21C is a cross-sectional view showing a state in which the cutting tool 72 is used for cutting, thereby directly reducing the amount of phosphor contained in the translucent resin. FIG. It is sectional drawing which shows the state (LED package 74) which carried out. The same effect can be obtained by scraping not only the end portion of the LED package 71 but also the vicinity of the central portion.

〔実施例9〕
図22(a)〜(c)に示すように、蛍光体粒子および透光性樹脂に、あらかじめ、切断するためのランド部を用意しておく。1つのランド部を切断したら、どれだけの色度シフトが起こるかは、蛍光体の比率、ランド部の面積などで調整できる。これにより、透光性樹脂硬化後の測定で求められた色度シフト量に対して、迅速に色度の調整ができるようになる。
Example 9
As shown in FIGS. 22A to 22C, land portions for cutting are prepared in advance in the phosphor particles and the translucent resin. How much chromaticity shift occurs when one land portion is cut can be adjusted by the ratio of the phosphor, the area of the land portion, and the like. Thereby, the chromaticity can be quickly adjusted with respect to the chromaticity shift amount obtained by the measurement after the translucent resin is cured.

図22(a)は、LEDデバイス80中における、切断するランド部82を設けたLEDパッケージ81の上面図であり(4箇所に切断できるランド部を構成した)、図22(b)は、1つのランド部82を除去したLEDパッケージ81の上面図であり、図22(c)は、さらに1つのランド部82を除去したLEDパッケージ81の上面図である。図23は、除去したランド部の数に対する色温度の変化を示すグラフである。もちろん、ランド部の透光性樹脂内における蛍光体粒子の濃度、透光性樹脂内のLEDチップの数、透光性樹脂のトータル面積などのパラメータで、この関係は変わるが、除去したランド部の数に応じて色温度が変えられることについては変わりない。   FIG. 22A is a top view of the LED package 81 provided with a land portion 82 to be cut in the LED device 80 (a land portion that can be cut into four places is configured), and FIG. FIG. 22C is a top view of the LED package 81 with one land portion 82 removed, and FIG. 22C is a top view of the LED package 81 with one land portion 82 removed. FIG. 23 is a graph showing a change in color temperature with respect to the number of removed land portions. Of course, this relationship changes depending on parameters such as the concentration of the phosphor particles in the translucent resin in the land portion, the number of LED chips in the translucent resin, and the total area of the translucent resin, but the land portion removed It does not change that the color temperature can be changed according to the number of colors.

〔実施例10〕
図24(a)〜(e)に示すように、あらかじめ、ランド部92に、切れ目94,95,96を入れておけば、そこが界面になる。しかし、対向する界面が平行のままだと、対向する透光性樹脂のうち外側の透光性樹脂に光が再入射して、色度の変化が小さくなるかまたは変わらなくなる。そこで、透光性樹脂に切れ目を入れる際に、切れ目の片方または両方の面を、透光性樹脂の底面に対して垂直ではない状態(図24(d)または図24(e)に示される状態)にする。そうすることで、外側の透光性樹脂に光が再入射することが減り、LEDパッケージ91全体を青色側にシフトさせやすくなる。
Example 10
As shown in FIGS. 24A to 24E, if cuts 94, 95, and 96 are made in advance in the land portion 92, this becomes an interface. However, if the opposing interfaces remain parallel, light re-enters the outer translucent resin among the opposing translucent resins, and the change in chromaticity is reduced or not changed. Therefore, when a cut is made in the translucent resin, one or both surfaces of the cut are not perpendicular to the bottom surface of the translucent resin (shown in FIG. 24D or FIG. 24E). State). By doing so, light is less incident on the outer translucent resin, and the entire LED package 91 is easily shifted to the blue side.

図24(a)は、LEDデバイス90中における、切断するランド部92を設けたLEDパッケージ91の上面図である(4箇所に切断できるランド部を構成した)。図24(b)は、切断するランド部92を設けたLEDパッケージ91の断面図である。図24(c)は、1つのランド部92に、切れ目94を入れた状態を示す断面図である。この状態では、新たに形成された対向する界面が平行になるため、外側の界面に到達した光は、内側に反射して戻る成分、対向する透光性樹脂のうち外側の透光性樹脂に再入射する成分、界面の隙間から外界に放射される成分に分かれる。しかし、外界に放射される成分が少ないため、実際には、色度の変化は僅かである。図24(d)は、1つのランド部に、対向する透光性樹脂のうち片方の透光性樹脂を斜めに切断した切れ目95を入れた状態を示す断面図である。この状態では、対向する透光性樹脂のうち外側の透光性樹脂に再入射する成分が減り、蛍光体粒子量を減らした場合に相当する。図24(e)は、1つのランド部に、対向する透光性樹脂のうち両方の透光性樹脂を斜めに切断した切れ目96を入れた状態を示す断面図である。この状態では、内側に反射して戻る成分も減り、蛍光体粒子量をさらに減らした場合に相当する。   FIG. 24A is a top view of the LED package 91 provided with a land portion 92 to be cut in the LED device 90 (a land portion that can be cut into four locations is configured). FIG. 24B is a cross-sectional view of the LED package 91 provided with a land portion 92 to be cut. FIG. 24C is a cross-sectional view showing a state in which a cut 94 is made in one land portion 92. In this state, since the newly formed facing interface is parallel, the light that has reached the outside interface reflects to the inside and returns to the outside translucent resin among the facing translucent resins. It is divided into re-incident components and components radiated to the outside through the gaps at the interface. However, since there are few components radiated | emitted to the external field, actually the change of chromaticity is slight. FIG. 24D is a cross-sectional view showing a state in which a cut 95 obtained by obliquely cutting one of the translucent resins among the opposed translucent resins is formed in one land portion. In this state, it corresponds to the case where the amount of the phosphor particles is reduced by reducing the amount of the component that re-enters the outer translucent resin among the translucent resins facing each other. FIG. 24E is a cross-sectional view showing a state in which a cut 96 is formed by obliquely cutting both light-transmitting resins among the light-transmitting resins facing each other in one land portion. In this state, the component reflected and returned inward is reduced, which corresponds to a case where the amount of phosphor particles is further reduced.

(II)その他
このように、上記の発光装置の色度調整方法は、基板上に搭載した発光素子と、前記発光素子を覆うように形成して硬化させた蛍光体粒子を含む透光性樹脂とを備えた発光装置において、蛍光体粒子を含む透光性樹脂の体積を変化させることで色度を調整する工程を含むという構成であってもよい。
(II) Others As described above , the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above includes a light emitting element mounted on a substrate and a translucent resin including phosphor particles formed and cured so as to cover the light emitting element. In the light emitting device including the above, a configuration may be included that includes a step of adjusting chromaticity by changing the volume of the translucent resin including the phosphor particles.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程が、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂を硬化させた後に、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の体積を減らすことにより、色度を調整する工程であるという構成であってもよい。 Further, in the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above , after the step of adjusting the chromaticity cures the translucent resin including the phosphor particles, the volume of the translucent resin including the phosphor particles. The configuration may be a step of adjusting the chromaticity by reducing the chromaticity.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程が、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂を硬化させた後に、特性を測定し、目標とする色度とのズレを、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の一部をドライエッチングすることにより、蛍光体粒子を含む透光性樹脂の体積を減らして色度を調整する工程であるという構成であってもよい。 Further, in the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above , the step of adjusting the chromaticity measures characteristics after curing the translucent resin containing the phosphor particles, and sets the target chromaticity. The shift is a process of adjusting the chromaticity by reducing the volume of the translucent resin containing the phosphor particles by dry-etching a part of the translucent resin containing the phosphor particles. Also good.

これにより、上記の発光装置の色度調整方法は、色度をより一層微調整することができる。Thereby, the chromaticity adjustment method for the light emitting device can finely adjust the chromaticity.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、基板上に搭載した発光素子と、前記発光素子を覆うように形成して硬化させた蛍光体粒子を含む透光性樹脂とを備えた発光装置の色度調整方法であって、ドライエッチングより、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含み、前記色度調整工程でのドライエッチングが、準備された開口率の異なる複数のマスクから所望のエッチング量に合わせて選択された上記マスクを用いて行われることを特徴としている。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device, light emitting device including a light-transmitting resin containing a light emitting element mounted on the substrate, the phosphor particles formed and cured so as to cover the light emitting element A chromaticity adjustment method for removing a part of the translucent resin including the phosphor particles so as to lower a ratio of a phosphor emission component to excitation light of an emission spectrum by dry etching. And dry etching in the chromaticity adjustment step is performed using the mask selected according to a desired etching amount from a plurality of prepared masks having different aperture ratios.

上記の方法によれば、ドライエッチングにより、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含んでいるので、蛍光体粒子の量を減少させることができる。そして、蛍光体粒子の減少量を調整することにより、発光装置から放射される光の色度を簡単に調整することができる。その結果、上記の発光装置の色度調整方法は、透光性樹脂に対する蛍光体粒子の比率を変化させずに色度調整を行うので、蛍光体粒子が透光性樹脂全体に拡散した状態であっても、簡単に色度調整を行うことが可能となる。さらに、上記の発光装置の色度調整方法は、研磨を行わずに色度調整を行うので、透光性樹脂のくずが発生して他の部分に再付着するなどの不都合が生じない。According to the above method, the chromaticity adjustment step of removing a part of the translucent resin including the phosphor particles so as to reduce the ratio of the phosphor light-emitting component to the excitation light of the emission spectrum by dry etching. As a result, the amount of phosphor particles can be reduced. And the chromaticity of the light radiated | emitted from a light-emitting device can be easily adjusted by adjusting the reduction | decrease amount of fluorescent substance particle. As a result, the chromaticity adjustment method of the light emitting device performs chromaticity adjustment without changing the ratio of the phosphor particles to the translucent resin, so that the phosphor particles are diffused throughout the translucent resin. Even if it exists, it becomes possible to adjust chromaticity easily. Furthermore, since the chromaticity adjustment method of the light emitting device performs chromaticity adjustment without polishing, there is no inconvenience such as generation of waste of translucent resin and reattachment to other portions.

さらに、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂をドライエッチングにより除去する量をより一層制御することができる。Furthermore, the amount of the translucent resin containing the phosphor particles removed by dry etching can be further controlled.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程で用いるドライエッチングに用いるガスが、アルゴン(Ar)系、フッ素(F)系、塩素(Cl)系であるという構成であってもよい。 The configuration of the chromaticity adjusting method of the light emitting device, a gas for dry etching used in the step of adjusting the chromaticity, argon (Ar) type, fluorine (F) based, chlorine (Cl) system It may be.

これにより、上記の発光装置の色度調整方法は、ドライエッチングをより一層効果的にすることができる。Thereby, the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above can make dry etching even more effective.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程で用いるドライエッチングが、蛍光体粒子を含む透光性樹脂の上面以外の面もエッチングすることにより体積を減らすという構成であってもよい。 Further, in the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above, the dry etching used in the step of adjusting the chromaticity reduces the volume by etching the surface other than the upper surface of the translucent resin including the phosphor particles. It may be.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程で用いるドライエッチングの際に、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の体積を減らす量を制御するために、マスクを用いるという構成であってもよい。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting apparatus, when the dry etching used in the step of adjusting the chromaticity, in order to control the amount of reducing the volume of the light-transmitting resin containing the phosphor particles, the mask The structure of using may be used.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程で用いるドライエッチングの際に、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の体積を減らす量を制御するために用いるマスクが、金属マスクであるという構成であってもよい。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device is that a mask used for dry etching used in the step of adjusting the chromaticity, in order to control the amount of reducing the volume of the light-transmitting resin containing the phosphor particles However, the structure may be a metal mask.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程で用いるドライエッチングの際に、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の体積を減らす量を制御するために用いるマスクが、レジストであるという構成であってもよい。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device is that a mask used for dry etching used in the step of adjusting the chromaticity, in order to control the amount of reducing the volume of the light-transmitting resin containing the phosphor particles However, the configuration may be a resist.

これにより、上記の発光装置の色度調整方法は、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂をドライエッチングにより除去する量をより一層制御することができる。Thereby, the chromaticity adjustment method of said light-emitting device can control further the quantity which removes the said translucent resin containing the said fluorescent substance particle by dry etching.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程で用いるドライエッチングの際に用いるマスクにおいて、調整すべき色度に応じてマスクの開口率を変えたものを使い分けるという構成であってもよい。 Further, the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above is to use properly the mask used in the dry etching used in the step of adjusting the chromaticity, with the aperture ratio of the mask changed according to the chromaticity to be adjusted. It may be a configuration.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度調整工程でのドライエッチングが、等方性エッチングであることが好ましい。In the chromaticity adjustment method of the light emitting device, the dry etching in the chromaticity adjustment step is preferably isotropic etching.

これにより、上記の発光装置の色度調整方法は、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の表面だけでなく、側面もドライエッチングすることができる。その結果、上記の発光装置の色度調整方法では、「垂直方向(表面方向)に放射される光は蛍光体粒子との衝突確率が減少し、青色側にシフトするものの、側面方向に放射される光は蛍光体粒子との衝突確率が減少しておらず、蛍光体発光が主になり、垂直方向に比べて黄色側の光になる」という問題をより一層解消することが可能となる。  Thereby, the chromaticity adjustment method of the light-emitting device can dry-etch not only the surface of the translucent resin containing the phosphor particles but also the side surfaces. As a result, in the above chromaticity adjustment method of the light emitting device, “the light emitted in the vertical direction (surface direction) is emitted in the lateral direction, although the probability of collision with the phosphor particles decreases and shifts to the blue side. The probability that the light collides with the phosphor particles is not reduced, and the phosphor emission is mainly performed, and the problem that the light becomes yellow light compared to the vertical direction can be further solved.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程が、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂を硬化させた後に、特性を測定し、目標とする色度とのズレを、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の一部を溶液で溶解することにより、蛍光体粒子を含む透光性樹脂の体積を減らして色度を調整する工程であるという構成であってもよい。 Further, in the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above , the step of adjusting the chromaticity measures characteristics after curing the translucent resin containing the phosphor particles, and sets the target chromaticity. The shift is a step of adjusting the chromaticity by reducing the volume of the translucent resin containing the phosphor particles by dissolving a part of the translucent resin containing the phosphor particles in a solution. May be.

これにより、上記の発光装置の色度調整方法は、色度をより一層微調整することができる。Thereby, the chromaticity adjustment method for the light emitting device can finely adjust the chromaticity.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、基板上に搭載した発光素子と、前記発光素子を覆うように形成して硬化させた蛍光体粒子を含む透光性樹脂とを備えた発光装置の色度調整方法であって、ウェットエッチングにより、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含み、前記色度調整工程でのウェットエッチングが、準備された開口率の異なる複数のマスクから所望のエッチング量に合わせて選択された上記マスクを用いて行われることを特徴としている。Further, the chromaticity adjustment method of the light emitting device includes a light emitting device mounted on a substrate and a light transmitting device including a phosphor particle formed and cured so as to cover the light emitting device. A chromaticity adjustment method for removing a part of the translucent resin including the phosphor particles so as to reduce a ratio of a phosphor emission component to excitation light of an emission spectrum by wet etching. And wet etching in the chromaticity adjustment step is performed using the mask selected according to a desired etching amount from a plurality of prepared masks having different aperture ratios.

上記の方法によれば、ウェットエッチングにより、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含んでいるので、蛍光体粒子の量を減少させることができる。そして、蛍光体粒子の減少量を調整することにより、発光装置から放射される光の色度を簡単に調整することができる。その結果、上記の発光装置の色度調整方法は、透光性樹脂に対する蛍光体粒子の比率を変化させずに色度調整を行うので、蛍光体粒子が透光性樹脂全体に拡散した状態であっても、簡単に色度調整を行うことが可能となる。さらに、上記の発光装置の色度調整方法は、研磨を行わずに色度調整を行うので、透光性樹脂のくずが発生して他の部分に再付着するなどの不都合が生じない。  According to the above method, the chromaticity adjustment step of removing a part of the translucent resin including the phosphor particles so as to reduce the ratio of the phosphor light-emitting component to the excitation light of the emission spectrum by wet etching. As a result, the amount of phosphor particles can be reduced. And the chromaticity of the light radiated | emitted from a light-emitting device can be easily adjusted by adjusting the reduction | decrease amount of fluorescent substance particle. As a result, the chromaticity adjustment method of the light emitting device performs chromaticity adjustment without changing the ratio of the phosphor particles to the translucent resin, so that the phosphor particles are diffused throughout the translucent resin. Even if it exists, it becomes possible to adjust chromaticity easily. Furthermore, since the chromaticity adjustment method of the light emitting device performs chromaticity adjustment without polishing, there is no inconvenience such as generation of waste of translucent resin and reattachment to other portions.

さらに、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂をウェットエッチングにより除去する量をより一層制御することができる。  Furthermore, the amount of the translucent resin containing the phosphor particles removed by wet etching can be further controlled.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程で用いるウェットエッチングの際に、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の体積を減らす量を制御するために用いるマスクが、レジストであるという構成であってもよい。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device, a mask to be used in the wet etching used in the step of adjusting the chromaticity, in order to control the amount of reducing the volume of the light-transmitting resin containing the phosphor particles However, the configuration may be a resist.

これにより、上記の発光装置の色度調整方法は、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂をウェットエッチングにより除去する量をより一層制御することができる。Thereby, the chromaticity adjustment method of said light-emitting device can control further the quantity which removes the said translucent resin containing the said fluorescent substance particle by wet etching.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程で用いるウェットエッチングの際に用いるマスクにおいて、調整すべき色度に応じてマスクの開口率を変えたものを使い分けるという構成であってもよい。 Further, the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above is to properly use a mask used in wet etching used in the step of adjusting the chromaticity, in which the aperture ratio of the mask is changed according to the chromaticity to be adjusted. It may be a configuration.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程が、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂を硬化させた後に、特性を測定し、目標とする色度とのズレを、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の一部を機械的な方法で除去して色度を調整する工程であるという構成であってもよい。 Further, in the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above , the step of adjusting the chromaticity measures characteristics after curing the translucent resin containing the phosphor particles, and sets the target chromaticity. The configuration may be a step of adjusting the chromaticity by removing a part of the translucent resin including the phosphor particles by a mechanical method.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を透光性樹脂の一部を機械的な方法で除去して色度を調整する工程で、目標とする色度のズレの大きさによって、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂を基板まで除去するか、または、基板と接着している部分を残して除去するか、などを調整する工程であるという構成であってもよい。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device, the step of adjusting the chromaticity of the chromaticity by removing a part of the translucent resin by a mechanical method, the chromaticity of the target deviation size The structure may be a step of adjusting whether the translucent resin containing the phosphor particles is removed up to the substrate, or removed while leaving a portion bonded to the substrate. .

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を透光性樹脂の一部を機械的な方法で除去して色度を調整する方法であって、あらかじめ、除去しやすいように、蛍光体粒子を含む透光性樹脂の塊を設けておくという構成であってもよい。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device, a method of adjusting the chromaticity of the chromaticity part of the translucent resin is removed by a mechanical method, in advance, so as to facilitate removal A configuration in which a lump of translucent resin containing phosphor particles is provided may be used.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を調整する工程が、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂を硬化させた後に、特性を測定し、目標とする色度とのズレを、前記蛍光体粒子を含む透光性樹脂の一部を機械的な方法で空間的に分離して色度を調整する工程であるという構成であってもよい。 Further, in the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above , the step of adjusting the chromaticity measures characteristics after curing the translucent resin containing the phosphor particles, and sets the target chromaticity. The shift may be a step of adjusting the chromaticity by spatially separating a part of the translucent resin containing the phosphor particles by a mechanical method.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度調整工程での機械的切断により、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂が、前記基板に接触している部分まで除去されることが好ましい。また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度調整工程での機械的切断により、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂が、前記基板に接触している部分を残すように除去されてもよい。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device, the mechanical cutting in the chromaticity adjusting process, the transparent resin containing the phosphor particles are removed to the portion in contact with the substrate It is preferable. Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device, the mechanical cutting in the chromaticity adjusting process, as the transparent resin containing the phosphor particles, leaving a portion in contact with the said substrate It may be removed.

これにより、上記の発光装置の色度調整方法は、前記発光装置から放射される光の色度と、目標とする色度とのズレの大きさによって、機械的切断の位置を調整することができる。 Thereby, the chromaticity adjustment method of the light emitting device described above can adjust the position of mechanical cutting according to the amount of deviation between the chromaticity of light emitted from the light emitting device and the target chromaticity. it can.

また、上記の発光装置の色度調整方法は、前記色度を透光性樹脂の一部を機械的な方法で空間的に分離して色度を調整する工程で、空間的に分離する面と面とが平行でないという構成であってもよい。 Further, chromaticity adjustment method of the light emitting device, the step of adjusting the chromaticity spatially separated by mechanical methods a part of the chromaticity of the light-transmitting resin, for spatially separating surface The configuration may be such that the surface and the surface are not parallel.

なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope shown in the claims, and can be obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Embodiments are also included in the technical scope of the present invention.

本発明の発光装置の色度調整方法は、実際の生産工程でも色度の微調整を簡単に行うことができるので、放出される光の輝度および色度の調整が必要な発光装置に適用することができる。具体的には、一般的なインジケータや簡単な照明用光源に留まらず、液晶TVのバックライト、本格的な照明器具など広範囲な電気電子機械産業において利用することが可能である。特に、TV用のバックライト、照明用のLEDモジュールは、本発明を適用するのに最適である。また、電車の車内灯、街路灯等にも本発明を適用することが可能である。   Since the chromaticity adjustment method of the light emitting device of the present invention can easily perform fine adjustment of chromaticity even in an actual production process, it is applied to a light emitting device that requires adjustment of luminance and chromaticity of emitted light. be able to. Specifically, the present invention is not limited to general indicators and simple light sources for illumination, but can be used in a wide range of electrical and electronic machinery industries such as backlights for liquid crystal TVs and full-scale lighting fixtures. In particular, a backlight for TV and an LED module for illumination are optimal for applying the present invention. Further, the present invention can also be applied to train interior lights, street lights, and the like.

本発明における発光装置の色度調整方法についての実施の一形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one Embodiment about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)・(b)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図である。(A) * (b) is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. 本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. 本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示すグラフである。It is a graph which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)・(b)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図である。(A) * (b) is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)・(b)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図である。(A) * (b) is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)・(b)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図である。(A) * (b) is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. 本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)・(c)・(d)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図であり、(b)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す模式図である。(A) * (c) * (d) is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention, (b) is chromaticity adjustment of the light-emitting device in this invention. It is a schematic diagram which shows one form of the reference about a method. (a)・(c)・(d)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図であり、(b)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す模式図である。(A) * (c) * (d) is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention, (b) is chromaticity adjustment of the light-emitting device in this invention. It is a schematic diagram which shows one form of the reference about a method. 本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示すグラフである。It is a graph which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)〜(c)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図である。(A)-(c) is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)〜(c)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示す断面図である。(A)-(c) is sectional drawing which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. 本発明における発光装置の色度調整方法についての参考の一形態を示すグラフである。It is a graph which shows one form of reference about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)〜(c)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての他の参考形態を示す断面図である。(A)-(c) is sectional drawing which shows the other reference form about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. 本発明における発光装置の色度調整方法についての他の参考形態を示すグラフである。It is a graph which shows the other reference form about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)〜(c)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての他の参考形態を示す断面図である。(A)-(c) is sectional drawing which shows the other reference form about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)〜(c)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての他の参考形態を示す断面図である。(A)-(c) is sectional drawing which shows the other reference form about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. 本発明における発光装置の色度調整方法についての他の参考形態を示すグラフである。It is a graph which shows the other reference form about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)〜(c)は、発光装置の色度調整方法についての参考例を示す断面図であり、(d)は、発光装置の色度調整方法についての参考例を示すグラフである。(A)-(c) is sectional drawing which shows the reference example about the chromaticity adjustment method of a light-emitting device, (d) is a graph which shows the reference example about the chromaticity adjustment method of a light-emitting device. (a)〜(c)は、本発明における発光装置の色度調整方法についてのさらに他の参考例を示す断面図である。(A)-(c) is sectional drawing which shows the other reference example about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)〜(c)は、本発明における発光装置の色度調整方法についての実施例を示す上面図である。(A) ~ (c) is a top view showing an example of a chromaticity adjustment method of a semiconductor device according to the present invention. 本発明における発光装置の色度調整方法についてのさらに他の実施形態を示すグラフである。It is a graph which shows other embodiment about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. (a)は、本発明における発光装置の色度調整方法についてのさらに他の実施形態を示す上面図であり、(b)〜(e)は、本発明における発光装置の色度調整方法についてのさらに他の実施形態を示す断面図である。(A) is a top view which shows other embodiment about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention, (b)-(e) is about the chromaticity adjustment method of the light-emitting device in this invention. It is sectional drawing which shows other embodiment. (a)・(b)は、色度と色温度との関係を示したグラフである。(A) * (b) is the graph which showed the relationship between chromaticity and color temperature. 従来の発光装置の色度調整方法を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the chromaticity adjustment method of the conventional light-emitting device. (a)・(b)は、従来の発光装置の色度調整方法を示す断面図である。(A) * (b) is sectional drawing which shows the chromaticity adjustment method of the conventional light-emitting device. (a)・(b)は、従来の発光装置の色度調整方法を示す断面図である。(A) * (b) is sectional drawing which shows the chromaticity adjustment method of the conventional light-emitting device.

10 LEDデバイス(発光装置)
11 青色LEDチップ(発光素子)
12 蛍光体粒子
13 透光性樹脂
14 LEDパッケージ
15 ワイヤー
16 配線部
17 基板
20 プラズマエッチング装置(ドライエッチング装置)
21 電極
22 RF発信器
30 LEDデバイス(発光装置)
34 LEDパッケージ
50 プラズマエッチング装置(ドライエッチング装置)
51 励起光源
52 光検出器
56 プラズマイオン
57 開口部
58 マスク
60 LEDデバイス(発光装置)
61 LEDパッケージ
62 エッチング槽(ウェットエッチング槽)
63 エッチング液(ウェットエッチング液)
64 LEDパッケージ
70 LEDデバイス(発光装置)
71 LEDパッケージ
72 切断冶具
73 LEDパッケージ
74 LEDパッケージ
80 LEDデバイス(発光装置)
81 LEDパッケージ
82 ランド部(塊)
90 LEDデバイス(発光装置)
91 LEDパッケージ
92 ランド部(塊)
93 基板
94 切れ目(切断面)
95 切れ目(切断面)
96 切れ目(切断面)
10 LED device (light emitting device)
11 Blue LED chip (light emitting device)
12 Phosphor Particles 13 Translucent Resin 14 LED Package 15 Wire 16 Wiring Portion 17 Substrate 20 Plasma Etching Device (Dry Etching Device)
21 Electrode 22 RF transmitter 30 LED device (light emitting device)
34 LED package 50 Plasma etching equipment (dry etching equipment)
51 Excitation Light Source 52 Photodetector 56 Plasma Ion 57 Aperture 58 Mask 60 LED Device (Light Emitting Device)
61 LED package 62 Etching tank (wet etching tank)
63 Etching solution (wet etching solution)
64 LED package 70 LED device (light emitting device)
71 LED package 72 Cutting jig 73 LED package 74 LED package 80 LED device (light emitting device)
81 LED package 82 Land (lumps)
90 LED device (light emitting device)
91 LED package 92 Land (lumps)
93 Substrate 94 Cut (cut surface)
95 Cut (cut surface)
96 Cut (cut surface)

Claims (4)

基板上に搭載した発光素子と、前記発光素子を覆うように形成して硬化させた蛍光体粒子を含む透光性樹脂とを備えた発光装置の色度調整方法であって、
機械的切断により、発光スペクトルの励起光に対する蛍光体発光成分の割合を下げるように、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去する色度調整工程を含み、
前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂に機械的切断により除去するための塊を設けておくことを特徴とする発光装置の色度調整方法。
A method for adjusting chromaticity of a light emitting device comprising: a light emitting element mounted on a substrate; and a translucent resin containing phosphor particles formed and cured so as to cover the light emitting element,
Including a chromaticity adjustment step of removing a part of the translucent resin including the phosphor particles so as to reduce the ratio of the phosphor emission component to the excitation light of the emission spectrum by mechanical cutting,
A method for adjusting chromaticity of a light-emitting device, characterized in that a lump for removal by mechanical cutting is provided in the translucent resin containing the phosphor particles.
前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を、機械的切断により空間的に分離しておくことを特徴とする請求項に記載の発光装置の色度調整方法。 2. The method for adjusting chromaticity of a light emitting device according to claim 1 , wherein a part of the translucent resin containing the phosphor particles is spatially separated by mechanical cutting. 機械的切断により空間的に分離された前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の切断面同士が、平行でないことを特徴とする請求項に記載の発光装置の色度調整方法。 The chromaticity adjustment method for a light-emitting device according to claim 2 , wherein cut surfaces of the translucent resin including the phosphor particles spatially separated by mechanical cutting are not parallel to each other. 前記色度調整工程では、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂を硬化させた後に、前記発光装置から放射される光の色度を測定し、該色度と目標とする色度とのズレを調整するように、機械的切断により、前記蛍光体粒子を含む前記透光性樹脂の一部を除去することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光装置の色度調整方法。 In the chromaticity adjustment step, after curing the translucent resin containing the phosphor particles, the chromaticity of light emitted from the light emitting device is measured, and the chromaticity and the target chromaticity are determined. so as to adjust the deviation by machine械的cutting emitting device according to claim 1, wherein removing a portion of the transparent resin containing the phosphor particles Chromaticity adjustment method.
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