JP5329888B2 - 防塵服、及び、クリーンルーム内における帯電防止方法 - Google Patents

Description

本発明は、クリーンルーム用の防塵服、及び、クリーンルーム内における帯電防止方法に関する。

従来より、半導体をはじめとする精密機械の製造は、室内空間が常に高い清浄度に維持されるように構成されたクリーンルームにおいて行われている。作業者がそのようなクリーンルーム内に入室する際には、人体或いは着衣から生じる塵埃の飛散を防止できるように、通常、防塵服が着用される。

また、電子部品や電子機器の製造に際して用いられるクリーンルームにおいては、防塵対策のほかに、静電気対策が必要となる。例えば、導電材料で形成された除電用リストストラップを作業者の手首に直接装着させ、このリストストラップに取り付けられている導電コードを接地（アース接続）して、人体及び防塵服の帯電を防止することなどが行われている。

ところで、高清浄度（例えば、クラス１０００程度）が要求されるクリーンルームにおいては、高性能の空気清浄装置が必要となるほか、使用される防塵服においても高い防塵性能が求められる。このため、高清浄度クリーンルーム用の防塵服には、可能な限り発塵を抑制できるように、各部位において様々な工夫がなされている。

例えば、図２（１）に示すように、袖部２が、内袖３と外袖５とによる二重構造となっており、図２（２）に示すように、内袖３の袖口３ａの上にゴム手袋の裾４を被せ、そのゴム手袋の裾４の上に外袖５の袖口５ａを被せることができるようになっている防塵服１などが知られている。
特開２０００−１７８８１０号公報 特開２００１−１６４４７７号公報 特開２００３−１７１８４４号公報 特開２００４−０３６０４０号公報 特開２００８−１３３５６１号公報

図２に示したような防塵服１を着用する場合、静電気対策として使用される除電用リストストラップを装着することが難しいという問題がある。より具体的には、除電用リストストラップは、作業者の手首に直接装着するとともに、接続されている導電コードを、アース接続できるように防塵服の外側へ出しておく必要があるところ、図２に示したような、袖口が二重構造となっている防塵服１を着する場合には、導電コードを外側へ出すまでの間に、内側の袖口３ａ、手袋の裾４、及び、外側の袖口５ａの間を何度も折り返す必要があり、装着作業が非常に煩雑であるばかりか、袖口３ａ、手袋の裾４、及び、袖口５ａの間に、隙間が形成されてしまう可能性が高く、この隙間が塵の通り道となって、防塵性能が著しく低下してしまうという問題がある。

本発明は、上記のような問題を解決すべくなされたものであって、除電用ストラップの装着が容易で、簡単かつ確実に除電を行うことができる防塵服及び帯電防止方法を提供することを目的とする。

本発明の防塵服は、袖部の先端部が、内袖及び外袖とによる二重構造になっており、内袖の袖口が、平らな形状の織物生地からなる導電部と、伸縮性を有する編物生地からなる伸縮部とによって構成され、導電部と伸縮部は、袖口の周方向へ交互に配置され、内袖の導電部、本体、外袖、及び、袖部における先端部以外の部分が、導電性の高い防塵性織物生地によって構成され、内袖の袖口の内周面における前記導電部の面積が合計で２０ｃｍ^２以上となるように設定され、導電部から外袖まで、或いは、袖部における先端部以外の部分まで、導電性の高い防塵性織物生地によって電気的に接続されていることを特徴としている。

尚、防塵服の構成部分のうち、袖部以外の構成部分について、導電性が高い防塵性織物生地によって構成し、かつ、その構成部分と導電部との間で、導電性の高い防塵性織物生地が連続し、電気的な接続状態が得られるように構成することもできる。

また、本発明に係る帯電防止方法は、上記防塵服の着用後に、内袖を除く袖部のいずれかの部位、或いは、その他の構成部分（導電部との間で、導電性の高い防塵性織物生地が連続し、電気的な接続状態が得られるように構成した部分）に対し、外側から除電用ストラップを巻き付け、当該除電用ストラップに繋がれている導電コードをアース接続することを特徴としている。

本発明の防塵服においては、防塵性能の損なうことなく、着用者の身体及び防塵服を簡単に接地（アース接続）することができ、身体及び防塵服における帯電を好適に防止することができる。また、本発明の防塵服によれば、簡単で確実な帯電防止方法を実現することができる。

以下、添付図面に沿って、本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は、本発明に係る防塵服１の袖部２の切欠斜視図である。図示されているように、この袖部２は、先端部が、内袖３及び外袖５とによる二重構造となっている。

また、内袖３の袖口３ａは、導電部６，６と、伸縮部７，７とによって構成されている。これらのうち、伸縮部７，７は、伸縮性を有する編物生地によって構成され、導電部６，６は、平らな形状の生地（襞、フラップ、凹凸等が形成されていない状態の平滑な生地）であって、導電性が高い（表面抵抗が小さい、具体的には、１０^６〜１０^７Ω）防塵性織物生地によって構成されている。尚、内袖３の本体３ｂ、外袖５、及び、袖部２における先端部以外の部分、即ち、上腕部８（着用者の上腕に相当する部分）、並びに、肘部９（着用者の肘周りの部分）なども、導電部６と同様に、導電性が高い防塵性織物生地によって構成されている。

導電部６，６は、内袖３の本体３ｂに対し、物理的に接触した状態で縫着されており、内袖３の本体３ｂは、肘部９と外袖５の境界部分に対し、物理的に接触した状態で縫着されている。そして、上述の通り、これらの部位はいずれも導電性が高い防塵性織物生地によって構成されているため、導電部６，６は、内袖３の本体３ｂ、外袖５、肘部９、及び、上腕部８等と、電気的に接続された状態となっている。

尚、内袖３の袖口３ａは、幅寸法（本体３ｂとの縫着部分から開口端縁までの寸法）が５ｃｍ、直径が約５．７ｃｍに設定されている。導電部６，６と伸縮部７，７は、周方向へ交互に配置され、隣接する導電部６と伸縮部７とは、相互にしっかりと縫着固定されている。また、袖口３ａの内周面の面積は９０ｃｍ^２で、袖口３ａの内周面における導電部６，６と伸縮部７，７の面積の割合は４：５（導電部６，６の面積比率は約４４．４％）となっている。つまり、袖口３ａの内周面のうち、導電部６，６の面積は合計で４０ｃｍ^２、伸縮部７，７の面積は合計で５０ｃｍ^２となっている。

本発明の防塵服１は、上記のような構成に係るものであるところ、この防塵服１の着用者の身体及び防塵服１を簡単に接地（アース接続）することができ、身体及び防塵服１における帯電を防止することができる。この点について具体的に説明すると、この防塵服１を着用しようとする者が、図１に示す内袖３の袖口３ａに手を通すと、伸縮部７，７の伸縮力により、袖口３ａの内周面が、着用者の手首（皮膚）に対して密着する。

上述の通り、導電部６，６は、内袖３の本体３ｂ、外袖５、肘部９、及び、上腕部８等と電気的に接続された状態となっているため、着用者の手首と袖口３ａの内周面とが接触すると、袖口３ａの内周面を構成する導電部６，６を介して、着用者の身体と、内袖３の本体３ｂ、外袖５、肘部９、及び、上腕部８等が電気的に接続された状態となり、導電部６、及び、内袖３の本体３ｂ等を構成する防塵性織物生地の表面抵抗の範囲で通電することになる。従って、着用者が、この防塵服１を着用した後、図１に示すように、袖部２におけるいずれかの部位（内袖３を除く。）、即ち、外袖５、上腕部８、或いは、肘部９に対し、外側から除電用リストストラップ１０を巻き付けて固定し、除電用リストストラップ１０に繋がれている導電コード１１をアース端子等に接続することにより、着用者の身体及び防塵服１を簡単に接地することができ、好適に帯電を防止することができる。

尚、本実施形態においては、導電部６，６が、平らな形状の生地で形成されているため、着用者の手首に対して面接触することになり、手首と導電部６，６との間において、安定した接触状態、通電状態を確保することができる。

また、防塵服１の構成部分のうち、袖部２以外の構成部分（例えば、前身頃、後身頃、腰回部、ズボンの膝上部分、膝下部分等）についても、導電性が高い防塵性織物生地によって構成し、かつ、それらの構成部分と袖口３ａの導電部６との間で、導電性が高い防塵性織物生地が連続し、電気的な接続状態が得られるように構成することもできる。この場合、例えば、除電用リストストラップの代わりに、除電用アンクルストラップを膝下部分（足首部分）の防塵服１の生地素材の上に巻き付けて固定し、繋がれている導電コードをアース端子等に接続することにより、着用者の身体及び防塵服１を簡単に接地することができる。

本発明の発明者が行った試験の結果、本発明に係る防塵服は、十分な帯電防止性能を有していることが実証された。以下、発明者が行った試験の結果を、本発明の実施例として説明する。

まず、「本発明を実施するための最良の形態」として説明した図１の防塵服１（伸縮部７以外の殆どの部分が、導電性の高い防塵性織物生地によって構成され、袖口３ａの導電部６からズボンの裾までの間で、導電性の高い防塵性織物生地が連続し、電気的な接続状態が得られるように構成された防塵服１）を用意するとともに、一端側の外周面に、所定幅（１２ｃｍ幅）にわたって銅箔を巻き付けた塩化ビニール製のパイプ（着用者の「手」に見立てたもの）、抵抗計、除電用リストストラップ、リストストラップ用の導電コード（１ＭΩ抵抗）、絶縁テープを用意した。そして、防塵服１の内袖３（図１参照）内に塩化ビニール製のパイプを通し、巻き付けた銅箔の幅方向中央部分に袖口３ａを被せ、袖口３ａの内周面全体を銅箔に密着させ（袖口３ａの内周面における導電部６の銅箔に対する接触面積：４０ｃｍ^２）、更に、図１と同様に、防塵服１の肘部９付近に、用意した除電用リストストラップ１０を巻き付けた。

この状態で、抵抗計の一方の電極を銅箔に接続固定し、他方の電極を除電用リストストラップに接続固定し、両電極間の点間抵抗を１０回にわたって測定した。その結果は、次の通りである。
最小値： １．６７Ｅ＋０６Ω
最大値： １．７８Ｅ＋０６Ω
平均値： １．７３Ｅ＋０６Ω

次に、袖口３ａの内周面に対して絶縁テープを部分的に貼り付け、導電部６の一部をマスクして、袖口３ａの内周面における導電部６の面積を本来の半分に縮小し（接触面積：２０ｃｍ^２）、銅箔−除電用リストストラップ間の点間抵抗を１０回にわたって測定した。その結果は、次の通りである。
最小値： １．８０Ｅ＋０６Ω
最大値： ２．０１Ｅ＋０６Ω
平均値： １．８６Ｅ＋０６Ω

次に、前回導電部６をマスクした絶縁テープを剥がし、除電用リストストラップ側の電極と、除電用リストストラップの間に、１ＭΩの抵抗が入ったリストストラップ用の導電コードを介在させ、この状態で点間抵抗を１０回にわたって測定した。その結果は、次の通りである。
最小値： ２．７３Ｅ＋０６Ω
最大値： ２．８０Ｅ＋０６Ω
平均値： ２．７６Ｅ＋０６Ω

次に、絶縁テープによる導電部６の５０％マスクを再び実施し、除電用リストストラップ側の電極と、除電用リストストラップの間に、１ＭΩの抵抗が入ったリストストラップ用の導電コードを介在させた状態で、点間抵抗を１０回にわたって測定した。その結果は、次の通りである。
最小値： ２．８５Ｅ＋０６Ω
最大値： ３．１１Ｅ＋０６Ω
平均値： ２．９６Ｅ＋０６Ω

以上の実験結果から、防塵服着用者の身体と防塵服、除電用リストストラップが電気的に接続されていることが立証され、仮に導電部の５０％が手首と接触できない不具合が生じても、抵抗値は大きく変化しないことが判った。その結果、本発明に係る防塵服が、十分な帯電防止性能を有していることが実証された。

本発明に係る防塵服１の袖部２の構造を示す一部切欠斜視図。 従来の防塵服１の袖部２の構造を示す断面図。

符号の説明

１：防塵服、
２：袖部、
３：内袖、
３ａ：袖口、
３ｂ：本体、
４：ゴム手袋の裾、
５：外袖、
６：導電部、
７：伸縮部、
８：上腕部、
９：肘部、
１０：除電用リストストラップ、
１１：導電コード

Claims (4)

1. 袖部の先端部が、内袖及び外袖とによる二重構造になっており、
   前記内袖の袖口は、平らな形状の織物生地からなる導電部と、伸縮性を有する編物生地からなる伸縮部とによって構成され、
   前記導電部と前記伸縮部は、前記袖口の周方向へ交互に配置され、
   前記内袖の導電部、本体、外袖、及び、袖部における先端部以外の部分が、導電性の高い防塵性織物生地によって構成され、
   前記内袖の袖口の内周面における前記導電部の面積が合計で２０ｃｍ^２以上となるように設定され、
   前記導電部から前記外袖まで、或いは、袖部における先端部以外の部分まで、前記導電性の高い防塵性織物生地によって電気的に接続されていることを特徴とする防塵服。
2. 前記防塵服の構成部分のうち、袖部以外の構成部分についても、導電性が高い防塵性織物生地によって構成し、かつ、その構成部分と前記導電部との間で、導電性の高い防塵性織物生地が連続し、電気的な接続状態が得られるように構成したことを特徴とする、請求項１に記載の防塵服。
3. 請求項１に記載の防塵服の着用後に、前記内袖を除く袖部のいずれかの部位に対し、外側から除電用ストラップを巻き付け、当該除電用ストラップに繋がれている導電コードをアース接続することを特徴とする、クリーンルーム内における帯電防止方法。
4. 請求項２に記載の防塵服の着用後に、当該防塵服の構成部分のうち、前記導電部との間で、導電性の高い防塵性織物生地が連続し、電気的な接続状態が得られるようにした構成部分に対し、外側から除電用ストラップを巻き付け、当該除電用ストラップに繋がれている導電コードをアース接続することを特徴とする、クリーンルーム内における帯電防止方法。

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