JP5323307B2 - Solar cell electrode paste - Google Patents

Solar cell electrode paste Download PDF

Info

Publication number
JP5323307B2
JP5323307B2 JP2006209802A JP2006209802A JP5323307B2 JP 5323307 B2 JP5323307 B2 JP 5323307B2 JP 2006209802 A JP2006209802 A JP 2006209802A JP 2006209802 A JP2006209802 A JP 2006209802A JP 5323307 B2 JP5323307 B2 JP 5323307B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silver powder
silver
paste
solar cell
crystallite diameter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006209802A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007194581A (en
Inventor
卓哉 今野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EIDP Inc
Original Assignee
EI Du Pont de Nemours and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EI Du Pont de Nemours and Co filed Critical EI Du Pont de Nemours and Co
Priority to JP2006209802A priority Critical patent/JP5323307B2/en
Publication of JP2007194581A publication Critical patent/JP2007194581A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5323307B2 publication Critical patent/JP5323307B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the characteristics of electrodes to be acquired, and accordingly, improve the characteristics of a solar cell by solving the problem of contraction of an applied film or microcracks to be generated in paste baking, with respect to a paste to be used for manufacturing the electrodes in the solar cell. <P>SOLUTION: A conductive paste for the electrodes for the solar battery includes a first silver powder having a crystal grain size of 58 nm or more, a second silver powder having a crystal grain size different from that of the first silver powder, a glass frit and a resin binder. In the conductive paste, it is preferable (1) that the first silver powder is silver prepared by an atomizing method, (2) that the contraction initiating temperature of the first silver powder is not less than 700&deg;C, (3) that the content of the first silver powder is 10-70 wt.% on the basis of the total weight of the silver, and (4) that the first silver powder has a crystal grain size of 58-90 nm and the second silver powder has a crystal grain size of 30-58 nm. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、太陽電池用ペーストに関する。より詳しくは、太陽電池における電極の製造に用いられるペーストに関する。   The present invention relates to a solar cell paste. In more detail, it is related with the paste used for manufacture of the electrode in a solar cell.

太陽電池用電極を作製する際には、反射防止膜が形成された側に、電極が形成される。電極の製造方法としては、銀粉末などの導電性粉末、ガラスフリット、樹脂バインダー、および必要に応じて添加剤を含むペーストを、反射防止層上に塗布して焼成する手法が一般的である。   When producing a solar cell electrode, the electrode is formed on the side where the antireflection film is formed. As a method for producing an electrode, a general method is that a conductive powder such as silver powder, a glass frit, a resin binder, and a paste containing an additive as necessary are applied on the antireflection layer and baked.

太陽電池における発電特性を高めるためには、電極の特性が重要である。例えば、電極の抵抗値を低めることによって、発電効率が高まる。この目的を達成するために、種々の手法が提案されている。   In order to enhance the power generation characteristics in the solar cell, the characteristics of the electrodes are important. For example, the power generation efficiency is increased by lowering the resistance value of the electrode. In order to achieve this object, various techniques have been proposed.

例えば、特許文献1(特開2005−243500号公報)には、充分な導通性を有する電極を作製する技術が開示されている。具体的には、有機バインダーと、溶剤と、ガラスフリットと、導電性粉末と、Ti、Bi、Zn、Y、In及びMoから選ばれる少なくとも1種の金属又はその金属化合物とを含んでなる導電性ペーストにおいて、金属又はその金属化合物は、その平均粒径が0.001μm以上0.1μm未満であり、半導体との高い導通性と優れた接着性を与えることができる導電性ペーストが開示されている。   For example, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2005-243500) discloses a technique for manufacturing an electrode having sufficient electrical conductivity. Specifically, a conductive material comprising an organic binder, a solvent, glass frit, conductive powder, and at least one metal selected from Ti, Bi, Zn, Y, In, and Mo or a metal compound thereof. In the conductive paste, a metal or a metal compound thereof has an average particle size of 0.001 μm or more and less than 0.1 μm, and disclosed is a conductive paste that can provide high electrical conductivity with a semiconductor and excellent adhesiveness. Yes.

特開2005−243500号公報JP-A-2005-243500

しかし、ペーストを焼成する際に、塗膜の収縮により、接触抵抗が増大する問題や、マイクロクラックが発生する問題があった。これらの問題は、太陽電池の特性にも悪影響を及ぼしうる。例えば、太陽電池の面内均一性が低下する問題や、太陽電池の変換効率が低下する問題が生じうる。   However, when the paste is fired, there is a problem that contact resistance increases due to shrinkage of the coating film and a problem that micro cracks are generated. These problems can also adversely affect the characteristics of the solar cell. For example, the problem that the in-plane uniformity of a solar cell falls and the problem that the conversion efficiency of a solar cell falls may arise.

本発明は、ペーストの焼成時に生じるこれらの問題を解決し、得られる電極の特性、ひいては太陽電池の特性を高めることを目的とする。   An object of the present invention is to solve these problems that occur during firing of a paste and to improve the characteristics of the resulting electrode, and thus the characteristics of a solar cell.

本発明は、太陽電池電極用の導電性ペーストに関し、結晶子径が58nm以上である第1銀粉末、この第1銀粉末よりも小さい結晶子径を有する第2銀粉末、ガラスフリット、および樹脂バインダーを含み、前記結晶子径が下記式(Scherrerの式)
D=K・λ/βcosθ
(但し、D:結晶子径
λ:測定X線波長
β:半値幅(ラジアン)
θ:回折角
K:Scherrer定数(0.9)である。)
により計算されることを特徴とする
The present invention relates to a conductive paste for a solar cell electrode, a first silver powder having a crystallite diameter of 58 nm or more, a second silver powder having a crystallite diameter smaller than the first silver powder, a glass frit, and a resin binder only contains the crystallite diameter formula (formula Scherrer)
D = K · λ / βcos θ
(However, D: crystallite diameter
λ: Measurement X-ray wavelength
β: Half width (radian)
θ: Diffraction angle
K: Scherrer constant (0.9). )
It is calculated by .

上記の導電性ペーストにおいて、第1銀粉末は以下の特性を有することが好ましい。(1)第1銀粉末は、アトマイズ法により作製された銀であることが好ましい。(2)第1銀粉末の収縮開始温度が700℃以上であることが好ましい。(3)第1銀粉末の含有量は、銀の総重量に基づいて10〜70wt%であることが好ましい。(4)第1銀粉末の結晶子径は58〜90nmであり、第2銀粉末の結晶子径は30〜58nmであることが好ましい。
本発明は、上記太陽電池電極用の導電ペーストを用いた太陽電池電極の製造方法を包含する。この方法は、
結晶子径が58nm以上である第1銀粉末、前記第1銀粉末よりも小さい結晶子径を有する第2銀粉末、ガラスフリット、および樹脂バインダーを含むペーストを太陽電池基板に適用する工程と、
次いで、前記ペーストを焼成する工程
を含み、前記結晶子径が下記式(Scherrerの式)
D=K・λ/βcosθ
(但し、D:結晶子径
λ:測定X線波長
β:半値幅(ラジアン)
θ:回折角
K:Scherrer定数(0.9)である。)
により計算されることを特徴とする
In the conductive paste, the first silver powder preferably has the following characteristics. (1) The first silver powder is preferably silver produced by an atomizing method. (2) The shrinkage start temperature of the first silver powder is preferably 700 ° C. or higher. (3) It is preferable that content of 1st silver powder is 10-70 wt% based on the total weight of silver. (4) The crystallite diameter of the first silver powder is preferably 58 to 90 nm, and the crystallite diameter of the second silver powder is preferably 30 to 58 nm.
This invention includes the manufacturing method of the solar cell electrode using the said electrically conductive paste for solar cell electrodes. This method
Applying a paste containing a first silver powder having a crystallite diameter of 58 nm or more, a second silver powder having a crystallite diameter smaller than the first silver powder, a glass frit, and a resin binder to a solar cell substrate;
Then, look including the step of firing said paste, said crystallite size is the following formula (Formula Scherrer)
D = K · λ / βcos θ
(However, D: crystallite diameter
λ: Measurement X-ray wavelength
β: Half width (radian)
θ: Diffraction angle
K: Scherrer constant (0.9). )
It is calculated by .

接触抵抗の増大やマイクロクラックの発生が抑制される。これにより、得られる太陽電池の特性を高めることができる。   Increase in contact resistance and generation of microcracks are suppressed. Thereby, the characteristic of the solar cell obtained can be improved.

導電性粉末としてペースト中に含まれる銀として、特定の結晶子径を有する銀を用いることによって、接触抵抗の増大やマイクロクラックの発生を抑制することが可能であることが見出された。本発明は、かような知見に基づく。   It has been found that the use of silver having a specific crystallite diameter as the silver contained in the paste as the conductive powder can suppress an increase in contact resistance and the occurrence of microcracks. The present invention is based on such knowledge.

本発明は、結晶子径が58nm以上である第1銀粉末と、この銀粉末と結晶子径の異なる第2銀粉末、ガラスフリット、および樹脂バインダーを含む、太陽電池電極用導電性ペーストに関する。   The present invention relates to a conductive paste for solar cell electrodes, comprising a first silver powder having a crystallite diameter of 58 nm or more, a second silver powder having a crystallite diameter different from that of the silver powder, a glass frit, and a resin binder.

本発明の導電性ペーストは、太陽電池セルの表側電極の形成に用いられるものである。   The electrically conductive paste of this invention is used for formation of the front side electrode of a photovoltaic cell.

以下に本発明の導電性ペーストの各成分について説明する。   Below, each component of the electrically conductive paste of this invention is demonstrated.

1.導電性金属
本発明の導電性ペーストで使用できる導電性金属として、銀(Ag)粒子を挙げることができ、これが好ましい。
1. Conductive metal Examples of the conductive metal that can be used in the conductive paste of the present invention include silver (Ag) particles, which is preferable.

本発明の銀粒子は、所定範囲の結晶子径を有するものである。結晶子径の異なる2種類の銀粒子を導電性金属として用いることが最も好ましい。   The silver particles of the present invention have a crystallite diameter in a predetermined range. Most preferably, two types of silver particles having different crystallite diameters are used as the conductive metal.

本明細書において結晶子径とは、Ag粉末のX線回折測定において、Agの111反射のピーク(2θ:約38.1°付近のピーク)の半値幅から下式(Scherrerの式)によって計算される値である。結晶子径が大きいほど結晶性がよいと推定される。
D=K・λ/βcosθ
但し、D:結晶子径
λ:測定X線波長
β:半値幅(ラジアン)
θ:回折角
K:Scherrer定数(0.9)
In this specification, the crystallite size is calculated by the following formula (Scherrer formula) from the half-value width of the Ag reflection peak (2θ: peak at about 38.1 °) in the X-ray diffraction measurement of Ag powder. Is the value to be It is estimated that the larger the crystallite size, the better the crystallinity.
D = K · λ / βcos θ
Where D: crystallite diameter λ: measured X-ray wavelength β: half width (radian)
θ: Diffraction angle K: Scherrer constant (0.9)

本発明で規定される結晶子径は、λ(測定X線波長)として、Cu=1.54056Åを用いた場合の値である。結晶子径の測定装置については特に限定されず、市販の装置を用いることができる。本願においては、測定装置によって結晶子径に有意差が生じる場合には、マックサイエンス社製、X線回折装置、MXP18VAHFで測定された値を採用する。   The crystallite diameter defined in the present invention is a value when Cu = 1.54056 = is used as λ (measurement X-ray wavelength). The crystallite diameter measuring device is not particularly limited, and a commercially available device can be used. In the present application, when a significant difference occurs in the crystallite diameter by the measuring device, a value measured by Mac Science, X-ray diffractometer, MXP18VAHF is adopted.

銀粒子には、結晶子径が58nm以上の第1銀粉末と、この第1銀粉末と結晶子径の異なる第2銀粉末を用いる。第1銀粉末の結晶子径は58〜90nmであることが好ましく、前記第2銀粉末の結晶子径は30〜58nm、好ましくは35〜50nm、より好ましくは40〜45nmである。これらの範囲の結晶子径を有する銀粉末を組み合わせて使用することで、焼成後に得られる銀電極の接触抵抗の増大やマイクロクラックの発生が抑制できる。   As the silver particles, a first silver powder having a crystallite diameter of 58 nm or more and a second silver powder having a crystallite diameter different from that of the first silver powder are used. The crystallite diameter of the first silver powder is preferably 58 to 90 nm, and the crystallite diameter of the second silver powder is 30 to 58 nm, preferably 35 to 50 nm, more preferably 40 to 45 nm. By using a combination of silver powders having crystallite sizes in these ranges, it is possible to suppress an increase in contact resistance of the silver electrode obtained after firing and the occurrence of microcracks.

第1銀粉末の含有量は、銀の総重量に基づいて10〜70wt%であることが好ましい。より好ましくは、20〜55重量%、さらに好ましくは25〜45重量%である。第1銀粉末のような結晶子径の大きな銀粒子は、結晶抑制効果が高いと考えられる。一方で、高い導電率を得るためには、焼結性を高めて低抵抗の導体を得ることが好ましい。これらのバランスをとる上で、上記範囲が好ましいと考えられる。つまり、第1銀粉末が少なすぎると焼結過剰になり、第1銀粉末が多すぎると焼結不足になるおそれがある。第1銀粉末と第2銀粉末を合わせた総含有量は、導電性ペーストの重量に基づいて60〜90重量%であることが好ましい。   The content of the first silver powder is preferably 10 to 70 wt% based on the total weight of silver. More preferably, it is 20-55 weight%, More preferably, it is 25-45 weight%. Silver particles having a large crystallite size such as the first silver powder are considered to have a high crystal suppression effect. On the other hand, in order to obtain high electrical conductivity, it is preferable to obtain a low resistance conductor by increasing sinterability. The above range is considered preferable in order to balance these. That is, if the first silver powder is too small, the sintering may be excessive, and if the first silver powder is too large, the sintering may be insufficient. The total content of the first silver powder and the second silver powder is preferably 60 to 90% by weight based on the weight of the conductive paste.

第1銀粉末は収縮開始温度(焼結開始温度とも称する)が700℃以上であることが好ましい。低温で焼結が開始してしまう場合、収縮により過剰な残留応力が発生して、発電特性が低下するおそれがある。   The first silver powder preferably has a shrinkage start temperature (also referred to as a sintering start temperature) of 700 ° C. or higher. When sintering starts at a low temperature, excessive residual stress is generated due to shrinkage, which may reduce power generation characteristics.

銀粒子はアトマイズ法によって形成されることが好ましい。アトマイズ法により銀粒子を形成することで、本発明の特定の範囲の結晶子径を有する銀粒子を効率よく得ることができる。   The silver particles are preferably formed by an atomizing method. By forming silver particles by the atomization method, silver particles having a crystallite diameter in a specific range of the present invention can be efficiently obtained.

銀粒子の粒径は、一般的な導電性ペーストとして使用される場合、技術的な効果の見地からは、特に限定されないが、粒径は銀の焼結特性に影響を与える(例えば、粒径の大きな銀粒子は粒径の小さな銀粒子よりもゆっくりした速度で焼結される。)ので、本発明の目的のためには、特定の粒径を有することが好ましい。更に、銀粒子は導電性ペーストを塗布するための方法(例えばスクリーン印刷)に適した粒径を有することも必要である。   When used as a general conductive paste, the particle size of the silver particles is not particularly limited from the viewpoint of technical effects, but the particle size affects the sintering characteristics of silver (for example, the particle size Large silver particles are sintered at a slower rate than silver particles having a small particle size.) For the purposes of the present invention, it is preferable to have a specific particle size. Furthermore, the silver particles must have a particle size suitable for a method (for example, screen printing) for applying the conductive paste.

上記の要件を満たすために、本発明の銀粒子は、平均粒径で0.1〜14μm、好ましくは1.0〜8.0μmである。このような粒径を有する銀粒子を用いることで、導電性ペーストの塗布に適するペーストを形成できる。より具体的には、第1銀粉末の平均粒径は、好ましくは3.5〜14.0μm、より好ましくは4.0〜10.0μm、さらに好ましくは4.5〜8.0μmである。第2銀粉末の平均粒径は、好ましくは0.1〜3.5μm、より好ましくは0.5〜3.0μm、さらに好ましくは1.0〜2.5μmである。平均粒径は、例えば、株式会社堀場製作所社製、LA−920による測定値で、平均粒径(50%点)として算出される。   In order to satisfy the above requirements, the silver particles of the present invention have an average particle size of 0.1 to 14 μm, preferably 1.0 to 8.0 μm. By using silver particles having such a particle size, a paste suitable for application of a conductive paste can be formed. More specifically, the average particle diameter of the first silver powder is preferably 3.5 to 14.0 μm, more preferably 4.0 to 10.0 μm, and still more preferably 4.5 to 8.0 μm. The average particle size of the second silver powder is preferably 0.1 to 3.5 μm, more preferably 0.5 to 3.0 μm, and still more preferably 1.0 to 2.5 μm. The average particle diameter is, for example, a value measured by LA-920 manufactured by Horiba, Ltd., and is calculated as an average particle diameter (50% point).

銀は通常高純度(99+%)であることが好ましい。しかし、電極パターンの電気的な要求により、純度の低い物質も使用することができる。   Silver is usually preferably of high purity (99 +%). However, a substance with low purity can also be used due to the electrical requirements of the electrode pattern.

2.ガラスフリット
本発明の導電性ペーストは、無機バインダーとしてのガラスフリットを含むことが好ましい。本発明で使用可能なガラスバインダーは、導電性ペーストが600〜800℃で焼成され、適切に焼結および湿潤され、更に適切にシリコン基体へ接着が行われるように、450〜550℃の軟化点を有するガラスフリットである。軟化点が450℃よりも低いと焼結が進んで、本発明の効果を十分に得ることができないことがある。一方、軟化点が550℃よりも高いと、焼成時に十分な溶融流動が起こらないため、十分な接着強度が発現せず、かつ銀の液相焼結を促すこともできない場合がある。
2. Glass frit It is preferable that the electrically conductive paste of this invention contains the glass frit as an inorganic binder. The glass binder that can be used in the present invention has a softening point of 450 to 550 ° C. so that the conductive paste is fired at 600 to 800 ° C., appropriately sintered and wetted, and more appropriately bonded to the silicon substrate. A glass frit having If the softening point is lower than 450 ° C., sintering proceeds and the effects of the present invention may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the softening point is higher than 550 ° C., sufficient melt flow does not occur at the time of firing, so that sufficient adhesive strength may not be exhibited and liquid phase sintering of silver may not be promoted.

ここで、「軟化点」とは、ASTM C338−57の繊維伸び法(fiber elongation method)により得られる軟化点である。   Here, the “softening point” is a softening point obtained by the fiber elongation method of ASTM C338-57.

ガラスフリットの化学組成は本発明では重要ではないので、電子材料用の導電性ペーストに用いられるガラスフリットであれば使用することができる。例えば、鉛ボロシリケートガラスなどを好適に使用できる。鉛シリケートガラスおよび鉛ボロシリケートガラスは、軟化点の範囲およびガラス溶着性の両方の見地から、本発明において優れた材料である。加えて、ジンクボロシリケート等の無鉛ガラスも使用することができる。   Since the chemical composition of the glass frit is not important in the present invention, any glass frit used in a conductive paste for electronic materials can be used. For example, lead borosilicate glass can be suitably used. Lead silicate glass and lead borosilicate glass are excellent materials in the present invention from the viewpoint of both the softening point range and glass weldability. In addition, lead-free glass such as zinc borosilicate can also be used.

ガラスフリットの含有量は、本発明の目的を達成できる量であれば特に限定されないが、導電性ペーストの重量に基づいて0.5〜10.0重量%、好ましくは1.0〜3.0重量%である。   The content of the glass frit is not particularly limited as long as the object of the present invention can be achieved, but is 0.5 to 10.0% by weight, preferably 1.0 to 3.0% based on the weight of the conductive paste. % By weight.

ガラスフリットの量が0.5重量%よりも少ないと、接着強度が不十分となる場合がある。ガラスフリットの量が10.0重量%を超えると、ガラス浮きなどにより、後の工程であるはんだ付けに支障をきたす場合がある。   If the amount of glass frit is less than 0.5% by weight, the adhesive strength may be insufficient. If the amount of the glass frit exceeds 10.0% by weight, it may hinder soldering, which is a subsequent process, due to glass floating or the like.

3.樹脂バインダー
本発明の導電性ペーストは、樹脂バインダーを含む。本明細書において「樹脂バインダー」は、ポリマーとシンナーの混合物を含む概念である。従って、樹脂バインダー中には、有機液体(シンナーとも称される)が含まれていてもよい。本発明では、有機液体が含まれている樹脂バインダーが好ましく、粘度が高い場合に、必要に応じて別途、有機液体を粘度調整剤として追加することができる。
3. Resin Binder The conductive paste of the present invention contains a resin binder. In the present specification, the “resin binder” is a concept including a mixture of a polymer and a thinner. Therefore, the resin binder may contain an organic liquid (also called thinner). In the present invention, a resin binder containing an organic liquid is preferable, and when the viscosity is high, the organic liquid can be separately added as a viscosity modifier as necessary.

本発明では、任意の樹脂バインダーを使用することができる。本発明では、樹脂(ポリメタクリレートなど)またはエチルセルロースの、パイン油溶液またはエチレングリコールモノブチルエーテルモノアセテート溶液、エチルセルロースのテルピネオール溶液などを挙げることができる。本発明では、エチルセルロースのテルピネオール溶液(エチルセルロース含量=5重量%〜50重量%)を使用することが好ましい。なお、本発明では、ポリマーを含まない溶媒、例えば水または有機液体を粘度調節剤として使用することができる。使用しうる有機液体には、例えば、アルコール;アルコールのエステル(例えばアセテートまたはプロピオネート);テルペン(例えばパイン油、テルピネオールなど)を挙げることができる。   In the present invention, any resin binder can be used. In the present invention, a pine oil solution, an ethylene glycol monobutyl ether monoacetate solution, a terpineol solution of ethyl cellulose, or the like of a resin (polymethacrylate or the like) or ethyl cellulose can be used. In the present invention, it is preferable to use a terpineol solution of ethyl cellulose (ethyl cellulose content = 5 wt% to 50 wt%). In the present invention, a polymer-free solvent, such as water or an organic liquid, can be used as a viscosity modifier. Organic liquids that can be used include, for example, alcohols; esters of alcohols (eg acetate or propionate); terpenes (eg pine oil, terpineol etc.).

樹脂バインダーの含有量は、好ましくは、導電性ペーストの重量に基づいて5〜50重量%である。   The content of the resin binder is preferably 5 to 50% by weight based on the weight of the conductive paste.

4.添加剤
本発明の導電性ペーストには、濃化剤(シックナー)および/または安定化剤および/またはその他の一般的添加剤を加えてもよいし、または加えなくてもよい。添加剤を加える場合、増粘剤(濃化剤)、安定化剤などを添加することができる。あるいは、その他の一般的な添加剤として、分散剤、粘度調整剤などを添加することもできる。添加剤の量は、最終的に求められる導電性ペーストの特性に依存して決定される。添加剤の量は当業者によって適宜決定することができる。なお、添加剤は複数種類を添加してもよい。
4). Additives The conductive paste of the present invention may or may not contain thickeners and / or stabilizers and / or other common additives. When adding an additive, a thickener (thickening agent), a stabilizer, etc. can be added. Or a dispersing agent, a viscosity modifier, etc. can also be added as another general additive. The amount of the additive is determined depending on the properties of the finally obtained conductive paste. The amount of the additive can be appropriately determined by those skilled in the art. A plurality of additives may be added.

本発明の導電性ペーストは、以下に説明するように、所定範囲の粘度を有することが好ましい。導電性ペーストに適切な粘度を粘度を付与するために、必要に応じて増粘剤(濃化剤)を添加することができる。増粘剤の例としては、例えば、上述したものを挙げることができる。増粘剤などの添加量は最終的な導電性ペーストの粘度に依存して変化するが、当業者により適宜決定することができる。   The conductive paste of the present invention preferably has a predetermined range of viscosity as described below. In order to impart an appropriate viscosity to the conductive paste, a thickener (thickening agent) can be added as necessary. As an example of a thickener, what was mentioned above can be mentioned, for example. The amount of the thickener added varies depending on the viscosity of the final conductive paste, but can be appropriately determined by those skilled in the art.

本発明の導電性ペーストは、上述の各成分を三本ロール練り機で混合することにより都合よく製造される。本発明の導電性ペーストは、好ましくはスクリーン印刷で太陽電池の裏面の所望の部位に塗布されるが、このような印刷で塗布される場合、所定の範囲の粘度を有することが好ましい。本発明の導電性ペーストの粘度は、ブルックフィールドHBT粘度計で#14スピンドルを用い、ユーティリティカップを使用して、10rpmおよび25℃で測定した場合に、50〜300PaSであることが好ましい。   The electrically conductive paste of this invention is conveniently manufactured by mixing each above-mentioned component with a 3 roll kneader. The conductive paste of the present invention is preferably applied to a desired site on the back surface of the solar cell by screen printing, but when applied by such printing, it preferably has a predetermined range of viscosity. The viscosity of the conductive paste of the present invention is preferably 50 to 300 PaS when measured at 10 rpm and 25 ° C. using a utility cup using a # 14 spindle with a Brookfield HBT viscometer.

上述したように、本発明の導電性を有するペーストは、太陽電池の受光面側における銀を主成分とする電極を形成するために用いられる。すなわち、本発明のペーストは、太陽電池セルの受光面側に印刷して乾燥される。別途、太陽電池セルの裏面側にも、アルミや銀などからなる裏面電極が形成される。これらの電極は、同時に焼成されることが好ましい。   As described above, the conductive paste of the present invention is used to form an electrode mainly composed of silver on the light-receiving surface side of the solar cell. That is, the paste of the present invention is printed on the light receiving surface side of the solar battery cell and dried. Separately, a back electrode made of aluminum or silver is also formed on the back surface side of the solar battery cell. These electrodes are preferably fired simultaneously.

以下に、本発明の導電性ペーストを使用して太陽電池セルを作成する例を、図1を参照して説明する。   Below, the example which produces a photovoltaic cell using the electrically conductive paste of this invention is demonstrated with reference to FIG.

まず、Si基板102を準備する。この基板の裏面側に、半田接続用の導電性ペースト104をスクリーン印刷により塗布し、乾燥する(図1(a))。この導電性ペーストは、従来のもの、例えば、銀粒子、ガラス粒子、および樹脂バインダーを含む銀導電性ペーストを用いることができる。次に、太陽電池用裏面電極用アルミペースト(太陽電池用であれば特に限定されないが、例えばPV333、PV322(本件特許出願人)106などをスクリーン印刷などにより塗布し、乾燥する(図1(b))。各ペーストの乾燥温度は、180℃以下であることが好ましい。また、裏面の各電極の膜厚は、乾燥後膜厚で、アルミペーストが20〜40μm、銀導電性ペーストが15〜30μmであることが好ましい。また、アルミペーストと銀導電性ペーストの重なり部分は、約0.5mm〜約2.5mmであることが好ましい。   First, the Si substrate 102 is prepared. A conductive paste 104 for solder connection is applied to the back side of the substrate by screen printing and dried (FIG. 1A). As this conductive paste, a conventional one, for example, a silver conductive paste containing silver particles, glass particles, and a resin binder can be used. Next, an aluminum paste for a back electrode for a solar cell (which is not particularly limited as long as it is for a solar cell, for example, PV333, PV322 (the present applicant)) is applied by screen printing or the like and dried (FIG. 1 (b The drying temperature of each paste is preferably 180 ° C. or less, and the film thickness of each electrode on the back surface is the film thickness after drying, 20 to 40 μm for aluminum paste, and 15 to 20 for silver conductive paste. The overlap portion of the aluminum paste and the silver conductive paste is preferably about 0.5 mm to about 2.5 mm.

次に、Si基板の受光側表面(表面)上に、本発明による導電性ペースト108をスクリーン印刷などにより塗布し、乾燥する(図1(c))。得られた基板を、赤外線焼成炉で例えば約600℃〜約900℃の温度で、約2〜15分アルミペーストと銀導電性ペーストを同時焼成し、目的の太陽電池セルを得ることができる(図1(d))。   Next, the conductive paste 108 according to the present invention is applied on the light-receiving side surface (surface) of the Si substrate by screen printing or the like and dried (FIG. 1C). The obtained substrate is co-fired with an aluminum paste and a silver conductive paste for about 2 to 15 minutes at a temperature of, for example, about 600 ° C. to about 900 ° C. in an infrared baking furnace, thereby obtaining a target solar battery cell ( FIG. 1 (d)).

本発明の導電性ペーストを用いて得られる太陽電池セルは、図1(d)に示されるように、基板(例えばSi基板)102の受光面(表面)側に本発明の導電性ペーストから形成された電極110を有し、裏面側にAlを主成分とするAl電極(第1電極)112およびAgを主成分とする銀電極(第2電極)114を有する。   A solar battery cell obtained using the conductive paste of the present invention is formed from the conductive paste of the present invention on the light-receiving surface (front surface) side of a substrate (for example, Si substrate) 102 as shown in FIG. And an Al electrode (first electrode) 112 mainly composed of Al and a silver electrode (second electrode) 114 mainly composed of Ag on the back side.

1.導電性ペーストの調製
(実施例1)
結晶子径59.8nmの第1銀粉末、および結晶子径43.5nmの第2銀粉末、Si・B・Pb・O系ガラスフリット、および焼結補助材料を含む混合物を準備した。この混合物に、樹脂バインダーとして、エチルセルロースを20wt%含むテルピネオール溶液を加えた。さらに、粘度を調整するために、シンナーとしてテルピネオールを加えた。各成分の含有量は、表1に示すとおりである。すなわち、結晶子径が58nm以上である第1銀粉末が8.4wt%、結晶子径が43.5nmである第2銀粉末が75.6wt%、ガラスフリットが1.6wt%、樹脂バインダーが10.0wt%、粘度調整のために加えられたテルピネオールが0.9wt%、および焼結補助材料が3.5質量%である。
1. Preparation of conductive paste (Example 1)
A mixture containing a first silver powder having a crystallite diameter of 59.8 nm, a second silver powder having a crystallite diameter of 43.5 nm, a Si / B / Pb / O-based glass frit, and a sintering auxiliary material was prepared. To this mixture, a terpineol solution containing 20 wt% ethyl cellulose was added as a resin binder. Furthermore, in order to adjust the viscosity, terpineol was added as a thinner. The content of each component is as shown in Table 1. That is, the first silver powder having a crystallite diameter of 58 nm or more is 8.4 wt%, the second silver powder having a crystallite diameter of 43.5 nm is 75.6 wt%, the glass frit is 1.6 wt%, and the resin binder is 10.0 wt%, terpineol added for viscosity adjustment is 0.9 wt%, and the sintering auxiliary material is 3.5 wt%.

この混合物を万能混合機で予備混合した後、三本ロール混練機で混練し、太陽電池電極用ペーストを得た。使用した材料の粒径、含有量、特徴などは表1に示した。   This mixture was premixed with a universal mixer and then kneaded with a three-roll kneader to obtain a solar cell electrode paste. Table 1 shows the particle size, content, and characteristics of the materials used.

(実施例2、比較例1〜2)
使用する銀粉末の種類および使用量を表1に示す量に変更した以外は、実施例1と同様にして、太陽電池電極用ペーストを得た。
(Example 2, Comparative Examples 1-2)
A solar cell electrode paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the type and amount of silver powder used were changed to those shown in Table 1.

Figure 0005323307
Figure 0005323307

2.太陽電池セルの作製
得られた4種類のペーストを用いて、太陽電池セルを作製した。まず、Si基板を準備した。このSi基板の裏面側に、半田接続用の導電性ペースト(銀ペースト)をスクリーン印刷により塗布し、乾燥した。次いで、乾燥した銀ペーストと一部重なるように裏面電極用アルミペースト(PV333(本件特許出願人による)をスクリーン印刷により塗布し、乾燥した。各ペーストの乾燥温度は、120℃とした。また、裏面の各電極の膜厚は、乾燥後膜厚で、アルミペーストが35μm、銀ペーストが20μmとなるように塗布した。
2. Production of Solar Cell A solar cell was produced using the four types of pastes obtained. First, a Si substrate was prepared. A conductive paste (silver paste) for solder connection was applied to the back side of the Si substrate by screen printing and dried. Next, an aluminum paste for back electrode (PV333 (by the present applicant)) was applied by screen printing so as to partially overlap with the dried silver paste, and dried. The drying temperature of each paste was 120 ° C. The thickness of each electrode on the back surface was applied after drying so that the aluminum paste was 35 μm and the silver paste was 20 μm.

さらに本発明のペーストを、受光側表面(表面)上にスクリーン印刷により塗布し、乾燥した。印刷機はプライス社製、マスクは8インチ×10インチフレームのステンレスワイヤー250メッシュのものを使用した。パターンは100ミクロン幅のフィンガーラインと2mm幅のバスバーで構成される1.5インチ角の評価用パターンであり、膜厚は焼成後で13μmとした。   Furthermore, the paste of this invention was apply | coated by screen printing on the light-receiving side surface (surface), and it dried. The printing machine was manufactured by Price, and the mask used was an 8 inch x 10 inch frame stainless steel wire 250 mesh. The pattern was a 1.5 inch square evaluation pattern composed of 100 micron wide finger lines and 2 mm wide bus bars, and the film thickness was 13 μm after firing.

次に、得られた基板を、赤外線焼成炉でピーク温度約730℃で、IN−OUT約5分の条件で、塗布されたペーストを同時焼成し、目的の太陽電池セルを得た。   Next, the applied paste was simultaneously fired on the obtained substrate in an infrared firing furnace at a peak temperature of about 730 ° C. and an IN-OUT of about 5 minutes, thereby obtaining a target solar battery cell.

本発明の導電性ペーストを用いて得られる太陽電池セルは、図1に示されるように、基板(例えばSi基板)102の受光面(表面)側にAg電極110を有し、裏面側にAlを主成分とするAl電極(第1電極)112およびAgを主成分とする銀電極(第2電極)114を有する。   As shown in FIG. 1, a solar battery cell obtained using the conductive paste of the present invention has an Ag electrode 110 on the light-receiving surface (front surface) side of a substrate (for example, Si substrate) 102 and Al on the back surface side. An Al electrode (first electrode) 112 mainly containing Ag and a silver electrode (second electrode) 114 mainly containing Ag.

3.セルの評価
得られた太陽電池セル基板の電気特性(I−V特性)の評価をセルテスターによりおこなった。セルテスターはNPC社製の機器(NCT−M−150AA)を使用した。
得られる特性値は、Eff:変換効率(%)、FF:フィルファクター(%)、Voc:開放電圧(mV)、Jsc:短絡電流(mA・cm2)、Rs:直列抵抗(Ω・cm)、Rsh:シャント抵抗(Ω・cm)である。Rs以外の特性値は高いほうが太陽電池としての発電性能に優れる。結果を表2に示す。表2に示す各電気特性の数値は、5枚の太陽電池セル基板サンプルの測定値の平均であり、比較例1の各数値を100.0とした場合の相対値である。
3. Evaluation of Cell The electric characteristics (IV characteristics) of the obtained solar cell substrate were evaluated by a cell tester. The cell tester used was a device (NCT-M-150AA) manufactured by NPC.
The obtained characteristic values are: Eff: conversion efficiency (%), FF: fill factor (%), Voc: open circuit voltage (mV), Jsc: short circuit current (mA · cm 2), Rs: series resistance (Ω · cm 2 ) , Rsh: Shunt resistance (Ω · cm 2 ). The higher the characteristic value other than Rs, the better the power generation performance as a solar cell. The results are shown in Table 2. The numerical value of each electrical characteristic shown in Table 2 is an average of the measured values of the five solar cell substrate samples, and is a relative value when each numerical value of Comparative Example 1 is 100.0.

Figure 0005323307
Figure 0005323307

上記示したように、本発明で規定する所定の結晶子径を有する2種類の銀粉末を併用することによって、得られる太陽電池の特性が向上する。   As described above, the characteristics of the obtained solar cell are improved by using two kinds of silver powder having a predetermined crystallite diameter defined in the present invention in combination.

(実施例3)
銀粉末中の第1銀粉末の適正含有量を見積もるための試験を行った。第1銀粉末(A)として結晶子径59.8nm(収縮開始温度740℃)を用い、第2銀粉末(B)として結晶子径43.5nm(収縮開始温度670℃)を用いた。第1銀粉末と第2銀粉末の組成比を下記表のように変化させ、実施例1および2と同様の手順で導電性ペーストおよび太陽電池セル基板を調製した。得られた太陽電池の変換効率(Eff)を測定した。結果を表3にあわせて示した。また、表3の結果を図2にグラフで表した。
(Example 3)
A test for estimating an appropriate content of the first silver powder in the silver powder was conducted. As the first silver powder (A), a crystallite diameter of 59.8 nm (shrinkage start temperature 740 ° C.) was used, and as the second silver powder (B), a crystallite diameter of 43.5 nm (shrinkage start temperature 670 ° C.) was used. The composition ratio of the first silver powder and the second silver powder was changed as shown in Table 3 below, and a conductive paste and a solar cell substrate were prepared in the same procedure as in Examples 1 and 2. The conversion efficiency (Eff) of the obtained solar cell was measured. The results are shown in Table 3. Moreover, the result of Table 3 was represented with the graph in FIG.

Figure 0005323307
Figure 0005323307

上記の結果から、第1銀粉末の適正含有量は、銀の総重量に基づいて10〜70重量%であると見積もることができた。   From the above results, it was possible to estimate that the proper content of the first silver powder was 10 to 70% by weight based on the total weight of silver.

本発明は、太陽電池に適用可能である。   The present invention is applicable to solar cells.

(a)〜(d)は、本発明の導電性ペーストを使用して太陽電池セルを製造する際の製造工程を説明するための図である。(A)-(d) is a figure for demonstrating the manufacturing process at the time of manufacturing a photovoltaic cell using the electrically conductive paste of this invention. 第1銀粉末および第2銀粉末の最適含有量を見積もるために、これらの含量を変化させた場合の太陽電池の電気特性を測定したときのグラフである。In order to estimate the optimal content of 1st silver powder and 2nd silver powder, it is a graph when the electrical property of the solar cell at the time of changing these content is measured.

符号の説明Explanation of symbols

102 Si基板
102 裏面Ag電極用導電性ペースト組成物
106 裏面Al電極用ペースト組成物
108 受光面側電極用導電性ペースト組成物
110 受光面側Ag電極
112 裏面Al電極
114 裏面Ag電極
102 Si substrate 102 Back surface Ag electrode conductive paste composition 106 Back surface Al electrode paste composition 108 Light receiving surface side electrode conductive paste composition 110 Light receiving surface side Ag electrode 112 Back surface Al electrode 114 Back surface Ag electrode

Claims (5)

結晶子径が58〜90nmである第1銀粉末、
前記第1銀粉末よりも小さい結晶子径を有する第2銀粉末であって、前記第2銀粉末の結晶子径は30〜58nmである第2銀粉末
ガラスフリット、および
樹脂バインダー
を含み、
前記銀粉末の平均粒径が0.1〜14μmであり、
前記結晶子径が下記式(Scherrerの式)
D=K・λ/βcosθ
(但し、D:結晶子径
λ:測定X線波長
β:半値幅(ラジアン)
θ:回折角
K:Scherrer定数(0.9)である。)
により計算されることを特徴とする、太陽電池電極用ペースト。
A first silver powder having a crystallite diameter of 58 to 90 nm,
A second silver powder having a smaller crystallite diameter than the first silver powder , wherein the second silver powder has a crystallite diameter of 30 to 58 nm ,
Including glass frit, and resin binder,
The silver powder has an average particle size of 0.1 to 14 μm,
The crystallite diameter is the following formula (Scherrer formula)
D = K · λ / βcos θ
(However, D: Crystallite diameter λ: Measurement X-ray wavelength β: Half width (radian)
θ: diffraction angle K: Scherrer constant (0.9). )
A paste for solar cell electrode, characterized by being calculated by:
前記第1銀粉末は、アトマイズ法により作製された銀である、請求項1に記載のペースト。   The paste according to claim 1, wherein the first silver powder is silver produced by an atomizing method. 前記第1銀粉末の収縮開始温度が700℃以上である、請求項1に記載のペースト。   The paste according to claim 1, wherein the shrinkage start temperature of the first silver powder is 700 ° C or higher. 前記第1銀粉末の含有量は、銀の総重量に基づいて10〜70wt%である、請求項1に記載のペースト。   The paste according to claim 1, wherein the content of the first silver powder is 10 to 70 wt% based on the total weight of silver. 太陽電池電極の製造方法であって、
結晶子径が58〜90nmである第1銀粉末、前記第1銀粉末よりも小さい結晶子径を有する第2銀粉末であって、前記第2銀粉末の結晶子径は30〜58nmである第2銀粉末、ガラスフリット、および樹脂バインダーを含むペーストを太陽電池基板に適用する工程と、
次いで、前記ペーストを焼成する工程
を含み、
前記銀粉末の平均粒径が0.1〜14μmであり、
前記結晶子径が下記式(Scherrerの式)
D=K・λ/βcosθ
(但し、D:結晶子径
λ:測定X線波長
β:半値幅(ラジアン)
θ:回折角
K:Scherrer定数(0.9)である。)
により計算されることを特徴とする方法。
A method for producing a solar cell electrode, comprising:
The first silver powder crystallite size of 58 to 90 nm, a second silver powder having a small crystallite diameter than the first silver powder, crystallite size of the second silver powder with 30~58nm Applying a paste containing a second silver powder , a glass frit, and a resin binder to a solar cell substrate;
Then, the step of firing the paste,
The silver powder has an average particle size of 0.1 to 14 μm,
The crystallite diameter is the following formula (Scherrer formula)
D = K · λ / βcos θ
(However, D: Crystallite diameter λ: Measurement X-ray wavelength β: Half width (radian)
θ: diffraction angle K: Scherrer constant (0.9). )
A method characterized by being calculated by:
JP2006209802A 2005-12-21 2006-08-01 Solar cell electrode paste Expired - Fee Related JP5323307B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006209802A JP5323307B2 (en) 2005-12-21 2006-08-01 Solar cell electrode paste

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005368857 2005-12-21
JP2005368857 2005-12-21
JP2006209802A JP5323307B2 (en) 2005-12-21 2006-08-01 Solar cell electrode paste

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007194581A JP2007194581A (en) 2007-08-02
JP5323307B2 true JP5323307B2 (en) 2013-10-23

Family

ID=38450002

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006209802A Expired - Fee Related JP5323307B2 (en) 2005-12-21 2006-08-01 Solar cell electrode paste

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5323307B2 (en)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007220856A (en) * 2006-02-16 2007-08-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Multilayer ceramic substrate
CN101512778B (en) * 2006-08-31 2012-05-09 信越半导体股份有限公司 Semiconductor substrate, electrode forming method, and method for manufacturing solar battery
JP2009146578A (en) * 2007-12-11 2009-07-02 Noritake Co Ltd Solar cell and solar cell aluminum paste
DE112010004746T5 (en) 2009-12-09 2013-03-07 The Yokohama Rubber Co., Ltd. PASTE FOR SOLAR CELL ELECTRODES AND SOLAR CELL
KR101428131B1 (en) * 2010-10-28 2014-08-07 엘지이노텍 주식회사 Conductive paste composite
KR101896740B1 (en) * 2011-09-09 2018-09-07 헤레우스 프레셔스 메탈즈 노스 아메리카 콘쇼호켄 엘엘씨 Silver solar cell contacts
WO2013130516A1 (en) * 2012-02-27 2013-09-06 E. I. Du Pont De Nemours And Company Silver paste and use thereof in the production of solar cells
JP5772755B2 (en) 2012-08-02 2015-09-02 信越化学工業株式会社 Paste composition for solar cell electrode
WO2015015833A1 (en) * 2013-07-29 2015-02-05 株式会社村田製作所 Internal electrode paste
KR101633192B1 (en) * 2014-12-22 2016-06-24 오씨아이 주식회사 Front electrode of solar cell and method for manufacturing the same
JP7334076B2 (en) 2019-06-27 2023-08-28 Dowaエレクトロニクス株式会社 Silver powder and its manufacturing method

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2716630B2 (en) * 1992-10-13 1998-02-18 キヤノン株式会社 Current collecting electrode of photovoltaic element and method of manufacturing the same
JP4639395B2 (en) * 2001-08-09 2011-02-23 Dowaエレクトロニクス株式会社 Method for producing silver particles
JP2003133567A (en) * 2001-10-24 2003-05-09 Kyocera Corp Method of manufacturing solar cell and electrode material used in the same solar cell
JP3767514B2 (en) * 2002-04-26 2006-04-19 株式会社村田製作所 Conductive paste
JP4109520B2 (en) * 2002-09-12 2008-07-02 三井金属鉱業株式会社 Low cohesive silver powder, method for producing the low cohesive silver powder, and conductive paste using the low cohesive silver powder
JP2004134656A (en) * 2002-10-11 2004-04-30 Sharp Corp Solar cell fabricating method and solar cell fabricated thereby
JP2004146521A (en) * 2002-10-23 2004-05-20 Sharp Corp Paste for silver electrode and solar battery cell using it
JP4126215B2 (en) * 2002-10-23 2008-07-30 シャープ株式会社 Method for manufacturing solar battery cell

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007194581A (en) 2007-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5323307B2 (en) Solar cell electrode paste
KR100868621B1 (en) Paste for solar cell electrode, solar cell electrode manufacturing method, and solar cell
JP2007194580A (en) Paste for solar cell electrode
KR101028331B1 (en) Paste for solar cell electrode and solar cell
KR100798255B1 (en) Electroconductive thick film composition, electrode, and solar cell formed therefrom
KR101121865B1 (en) Electrode paste for solar cell and solar cell electrode using the paste
JP5591716B2 (en) Conductive ink having organometallic modifier
KR100890866B1 (en) Electroconductive thick film compositions, electrodes, and semiconductor devices formed therefrom
TWI489492B (en) Ag paste composition for forming electrode and preparation method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090731

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110715

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110720

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111017

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120525

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120730

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20121130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130326

RD13 Notification of appointment of power of sub attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433

Effective date: 20130327

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20130327

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20130416

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130618

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130717

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees