JP5317399B2 - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5317399B2
JP5317399B2 JP2006216645A JP2006216645A JP5317399B2 JP 5317399 B2 JP5317399 B2 JP 5317399B2 JP 2006216645 A JP2006216645 A JP 2006216645A JP 2006216645 A JP2006216645 A JP 2006216645A JP 5317399 B2 JP5317399 B2 JP 5317399B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
line
electrode
liquid crystal
film
crystal display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006216645A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2007052418A (ja
Inventor
奉 俊 李
炳 宰 安
聖 萬 金
現 皓 姜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of JP2007052418A publication Critical patent/JP2007052418A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5317399B2 publication Critical patent/JP5317399B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136213Storage capacitors associated with the pixel electrode
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136227Through-hole connection of the pixel electrode to the active element through an insulation layer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136286Wiring, e.g. gate line, drain line

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Description

本発明は、液晶表示装置に関する。
液晶表示装置は、共通電極を含む共通電極表示板と、薄膜トランジスターアレーを含む薄膜トランジスター表示板とを含む。共通電極表示板と薄膜トランジスター表示板とは、互いに対向して二つの表示板の間に介在されたシールライン(seal line)によって互いに接合されて、その間に形成された一定な空隙に液晶層が形成される。このように液晶表示装置は、電極が形成されている二枚の表示板(共通電極表示板と薄膜トランジスター表示板)と、その間に挿入されている液晶層とで成り立っている。そして、2枚の電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列させ透過される光の量を調節することで、所定の映像をディスプレイできるように構成されている。液晶表示装置は、非発光素子であるために、薄膜トランジスター基板の後面には光を供給するためのバックライトユニットが配置されている。バックライトで照射された光は、液晶の配列状態によって透過量が調整される。
薄膜トランジスター表示板は、多数個のゲート線、データ線及び画素電極を含む。ゲート線は、行方向に伸びていてゲート信号を伝達して、データ線は、列方向に伸びていてデータ信号を伝達する。画素は、ゲートライン及びデータラインに連結され、スイッチング素子及び維持キャパシタを含む。
ここで、スイッチング素子は、ゲート線とデータ線との交差点に形成され、スイッチング素子はゲート線に連結された制御端子、データ線に連結された入力端子、そして、画素電極に連結された出力端子を持つ三段素子である。スイッチング素子の出力端子には、維持キャパシタ及び液晶キャパシタが連結される。
従来技術による液晶表示装置の場合、画素電極に印加されたデータ電圧を維持するために、維持キャパシタを備えている。維持キャパシタの一端子は、スイッチング素子の出力端子と連結されて、他の端子は前段ゲート線(previous gate line)と連結される。例えば、スイッチング素子の出力端子に接続された画素電極と、前段ゲート線とが絶縁層を介して重畳することにより、維持キャパシタが形成されている。このような連結方式は、前段ゲート方式(previous gate type)という。
大型化、高画素化を追求する液晶表示装置の趨勢において、このような前段ゲート方式によって維持キャパシタを構成する場合、ゲート線にロード(load:負荷)が大きくかかって信号の遅延(delay)が発生して效果的に維持キャパシタを具現しにくい。特に、ASG(Amorphous Silicon Gate)方式で薄膜トランジスター表示板上に直接ドライブICを形成する場合、前段ゲート方式の維持キャパシタによって増加したロードを減らすためには、ドライブICの回路(または配線)を広い面積に形成しなければならない。したがって、薄型化、小型化を追求する液晶表示装置の趨勢を逆行するような問題が発生する。
また、従来においては、データ線周辺の光漏れ現象を防止するために、データ線に対応する共通電極表示板上にブラックマトリックスを形成している。薄膜トランジスター表示板の下部に位置するバックライトから形成された光は、データ線に対して多様な角度で入射してデータ線から大きい角度で反射され、ブラックマトリクスが形成されていない領域にまで到達する場合があり得る。このように反射された光の光漏れ現象を防止するためには、大面積のブラックマトリックスを形成する必要がある。このように、ブラックマトリックスの面積が広くなるによって液晶表示装置の開口率が低くなることで、光漏れ現象を抑制する代わりに輝度が落ちる問題が発生する。
韓国公開特許2001-0021271号
本発明が果たしようとする技術的課題は、ゲート線にかかるロード(load)を減らして開口率を高めながら光漏れ現象を防止できる液晶表示装置を提供しようとすることである。
本発明の技術的課題は、前述した技術的課題に制限されず、言及されなかったさらなる技術的課題は、下記の記載から当業者に明確に理解されるであろう。
前記技術的課題を果たすための本発明の一実施形態による液晶表示装置は、絶縁基板上に互いに離隔して形成されたゲート線と維持電極線と、前記ゲート線及び前記維持電極線と絶縁され形成されて、前記ゲート線と交差するデータ線と、前記ゲート線と前記データ線によって定義される画素ごとに形成された画素電極と、前記ゲート線と前記データ線に連結され前記画素電極に電圧を印加する薄膜トランジスターと、前記データ線と同じ層に形成されて、前記維持電極線と連結されて前記画素電極と共に維持キャパシタの両端子を構成する維持電極を含む。
上記構成によれば、ゲート線22を用いて維持キャパシタを形成せず、画素電極と維持電極とにより維持キャパシタを構成するため、ゲート線にかかるロード(load)を減らすことができる。よって、ゲート線の信号遅延の影響等を受けることなく、維持キャパシタを適切に駆動することができる。また、維持電極は、データ配線と同一層に形成されているため、製造工程を簡略化することができる。
ここで、前記維持電極は、前記データ線と同じ物質でなされたことを特徴とする。維持電極は、データ配線と同一物質で形成されているため、製造工程を簡略化することができる。
また、前記維持電極は、アルミニウム、クロム、モリブデン、タンタル及びチタンでなされたグループで選択された一つ以上の物質で構成された単一膜または多層膜でなされたことを特徴とする。
また、前記維持電極は、クロム下部膜とアルミニウム上部膜またはアルミニウム下部膜とモリブデン上部膜の二重膜、またはモリブデン膜-アルミニウム膜-モリブデン膜の三重膜でなされたことを特徴とする。
また、前記維持電極と前記画素電極との間に介在された保護膜をさらに含むことを特徴とする。維持キャパシタは、保護膜を介して形成されるため、ゲート絶縁膜及び保護膜を介して維持電極が形成される場合よりもキャパシタ容量を大きくすることが可能である。そのため、維持電極の面積を減らしても一定な維持キャパシタを得られる。これにより、液晶表示装置の開口率を高め、かつ液晶表示装置の小型化及び薄型化を図ることができる。
また、前記保護膜は、SiNxでなされたことを特徴とする。
また、前記保護膜は、約2000Å以下の厚さを持つことを特徴とする。保護膜は、約2000Å以下で形成することで、維持キャパシタの面積を小さくしても容量を維持することができる。これにより、液晶表示装置の開口率を高め、かつ液晶表示装置の小型化及び薄型化を図ることができる。
また、前記保護膜は、前記ゲート線、前記維持電極線、前記データ線及び前記維持電極を覆うように形成されて、前記保護膜は、前記維持電極線を露出させる第1 接触孔及び前記維持電極を露出させる第2接触孔を含んで、前記液晶表示装置は、前記第1及び第2接触孔を通じて前記維持電極線と前記維持電極を連結するように前記保護膜上に形成された連結部材をさらに含むことを特徴とする。
また、前記連結部材は、ITOまたはIZOの透明導電体またはアルミニウムの反射性導電体でなされたことを特徴とする。
また、前記データ線と接するように前記データ線に沿って前記画素ごとに形成されたフローティングバーをさらに含むことを特徴とする。
データ線に隣接するように形成されたフローティングバーを用いて、データ線と画素電極の間の空間を阻んで、この空間を通過するバックライト光を遮断することで、光漏れ現象を抑制できる。したがって、データ線上部のブラックマトリックスの面積を減らすことができるので、液晶表示装置の開口率を高めることができる。
また、前記フローティングバーは、前記ゲート線と同じ層に形成されたことを特徴とする。ゲート配線及びフローティングバーが同一層に形成されているため、ゲート配線及びフローティングバー別途に形成する場合と比較して、製造工程を簡略化することができる。
また、前記フローティングバーは、前記データ線の両方に対で形成されたことを特徴とする。
また、前記画素電極は、前記フローティングバーの少なくとも一部と重畳するように形成されたことを特徴とする。画素電極は、フローティングバーの少なくとも一部重畳するように形成し、画素電極とフローティングバーとの間で光が漏れることを防止することで、光漏れ現象をさらに抑制できる。
前記技術的課題を果たすための本発明の他の実施形態による液晶表示装置は、絶縁基板上に互いに離隔して形成されたゲート線と維持電極線と、前記ゲート線及び前記維持電極線と絶縁され形成されて、前記ゲート線と交差するデータ線と、前記ゲート線と前記データ線によって定義される画素ごとに形成された画素電極と、前記ゲート線と前記データ線に連結されて前記画素電極に電圧を印加する薄膜トランジスターと、前記データ線と同じ層に同じ物質で形成されて、前記維持電極線と連結されて前記画素電極と共に維持キャパシタの両端子を構成する維持電極と、前記データ線と接するように前記データ線に沿って前記画素ごとに形成されたフローティングバーを含む。
また、前記維持電極は、アルミニウム、クロム、モリブデン、タンタル及びチタンでなされたグループで選択された一つ以上の物質で構成された単一膜または多層膜でなされたことを特徴とする。
また、前記維持電極は、クロム下部膜とアルミニウム上部膜またはアルミニウム下部膜とモリブデン上部膜の二重膜、またはモリブデン膜-アルミニウム膜-モリブデン膜の三重膜でなされたことを特徴とする。
また、前記維持電極と前記画素電極との間に介在された保護膜をさらに含むことを特徴とする。
また、前記保護膜は、SiNxでなされたことを特徴とする。
また、前記保護膜は、約2000Å以下の厚さを持つことを特徴とする。
また、前記保護膜は、前記ゲート線、前記維持電極線、前記データ線及び前記維持電極を覆うように形成されて、前記保護膜は、前記維持電極線を露出させる第1接触孔及び前記維持電極を露出させる第2接触孔を含んで、前記液晶表示装置は、前記第1及び第2接触孔を通じて前記維持電極線と前記維持電極を連結するように前記保護膜上に形成された連結部材をさらに含むことを特徴とする。
また、前記連結部材は、ITOまたはIZOの透明導電体またはアルミニウムの反射性導電体でなされたことを特徴とする。
また、前記フローティングバーは、前記ゲート線と同じ層に形成されたことを特徴とする。
また、前記フローティングバーは、前記データ線の両方に対で形成されたことを特徴とする。
また、前記画素電極は、前記フローティングバーの少なくとも一部と重畳するように形成されたことを特徴とする。その他実施形態の具体的な事項は、詳細な説明及び図面に含まれている。
本発明による液晶表示装置によれば、別個の維持電極線を用いて維持キャパシタを形成することで、ゲート線にかかるロードを減らすことができる。また、維持電極線と連結された維持電極の面積を減らすことで、同一な維持キャパシタンスを確保すると同時に開口率を高めることができる。また、データ線周辺の光漏れ現象を抑制してデータ線上部のブラックマトリックスの面積を減らすことで、開口率を高めることができる。
本発明の利点及び特徴、そして、それらを果たす方法は、添付される図面と共に詳細に後述されている実施形態などを参照すれば明確になる。しかし、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるのではなく、相違なる多様な形態で具現でき、但し、本実施形態は本発明の開示を完全にして、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供され、本発明は特許請求の範囲によってのみ定義される。明細書全体にかけて同一参照符号は、同一構成要素を指称する。
以下、添付した図面を参考して、本発明の実施形態による液晶表示装置に対して説明する。
本発明の液晶表示装置は、ゲート線とデータ線によって定義される薄膜トランジスターを備える薄膜トランジスター表示板と、薄膜トランジスター表示板と対向し共通電極を備える共通電極表示板と、薄膜トランジスター表示板と共通電極表示板との間に介在されて液晶分子の長軸がこれら表示板に対してほぼ垂直に配向されている液晶層と、を含む。
先に、図1Aないし図1Dを参照して、薄膜トランジスター表示板に対して詳しく説明する。
図1Aは、本発明の一実施形態による液晶表示装置の薄膜トランジスター表示板の配置図で、図1Bは、図1Aの薄膜トランジスター表示板をIb-Ib'線に沿って切開した断面図で、図1Cは、図1Aの薄膜トランジスター表示板をIc-Ic'線に沿って切開した断面図で、図1Dは、図1Aの薄膜トランジスター表示板をId-Id'線に沿って切開した断面図である。
絶縁基板10上に、図1中、横方向にゲート線22が形成されていて、ゲート線22には突起の形態でなされたゲート電極26が形成されている。そして、ゲート線22の端には、他の層または外部からゲート信号を印加されてゲート線22に伝達するゲート先端24が形成されていて、ゲート先端24は、外部回路との連結のために幅が拡張されている。このようなゲート線22、ゲート電極26及びゲート先端24をゲート配線と言う。
そして、絶縁基板10上には、図1中、縦方向に画素ごとに分離して形成されたフローティングバー(floating bar)21が形成されている。フローティングバー21は、周囲から電気的にフローティング状態にあり、データ線62の両側に配置されてデータ線62による光漏れ現象を防止する役割をする。これに対しては、後に図3A及び図3Cを参照して詳しく説明する。なお、フローティングバー21はデータ線62と重畳されていないため、寄生容量が発生せず好ましい。
また、絶縁基板10上には、ゲート線22と実質的に平行に横方向に伸びている維持電極線28が形成されている。維持電極線28には、例えば所定の電圧が印加される。
ゲート配線、フローティングバー21及び維持電極線28が同一層に形成されているため、フローティングバー21及び維持電極線28をゲート配線と別途に形成する場合と比較して、製造工程を簡略化することができる。
ゲート配線22、24、26、フローティングバー21及び維持電極線28は、アルミニウム(Al)とアルミニウム合金などアルミニウム系列の金属、銀(Ag)と銀合金など銀系列の金属、銅(Cu)と銅合金など銅系列の金属、モリブデン(Mo)とモリブデン合金などモリブデン系列の金属、クロム(Cr)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)などでなされうる。また、ゲート配線22、24、26、フローティングバー21及び維持電極線28は、物理的性質が異なる二つの導電膜(図示せず)を含む多重膜構造を持つことができる。このうち一つの導電膜は、ゲート配線22、24、26、フローティングバー21及び維持電極線28の信号遅延や電圧降下を減らすように低い比抵抗(resistivity)の金属、例えばアルミニウム系列金属、銀系列金属、銅系列金属などでなされる。これとは違い、他の導電膜は異なる物質、特にITO(indium tin oxide)及びIZO(indium zinc oxide)との接触特性が優れた物質、例えばモリブデン系列金属、クロム、チタン、タンタルなどでなされる。このような組合の良い例としては、クロム下部膜とアルミニウ上部膜及びアルミニウム下部膜とモリブデン上部膜が挙げられる。但し、本発明はここに限定されず、ゲート配線22、24、26、フローティングバー21及び維持電極線28は、多様ないろいろの金属と導電体で作われることができる。
ゲート配線22、24、26、フローティングバー21及び維持電極線28上には、窒化珪素(SiNx)などでなされたゲート絶縁膜30が形成されている。
ゲート絶縁膜30上には、水素化非晶質珪素(hydrogenated amorphous silicon)または多結晶珪素などでなされた半導体層40が形成されている。このような半導体層40は、島形、線形などのように多様な形状を持つことができ、例えば本実施形態のようにデータ線62の下に位置してゲート電極26の上部まで延長された形状を持つ線形で形成できる。また、ゲート電極26の上に島形で形成されうる。線形半導体層40を形成する場合、データ線62と同じパターニングで形成することもでき、あるいは別途のマスクを使ってデータ線とは別のパターニングにすることもできる。
半導体層40の上には、シリサイド(silicide)またはn型不純物が高濃度でドーピングされているn+水素化非晶質珪素などの物質で作られた抵抗性接触層55、56が形成されている。このような抵抗性接触層55、56は、島形、線形などのように多様な形状を持つことができる。例えば、本実施形態のように島形抵抗性接触層55、56の場合、ドレーン電極66及びソース電極65下に位置して、線形の抵抗性接触層の場合、データ線62の下まで延長されて形成されうる。つまり、ドレーン電極66及びソース電極65と、ゲート絶縁膜30との間に位置するように線形の抵抗性接触層が形成されても良い。
抵抗性接触層55、56及びゲート絶縁膜30上には、データ線62及びドレーン電極66が形成されている。データ線62は、長く伸びており、ゲート線22と交差して画素を定義する。データ線62から枝形態で半導体層40の上部まで延長されているソース電極65が形成されている。そして、データ線62の端には、他の層または外部からデータ信号を印加されてデータ線62に伝達するデータ先端68が形成されており、データ先端68は、外部回路との連結のために幅が拡張されている。ドレーン電極66は、ソース電極65と分離されていてゲート電極26を中心にソース電極65と対向するように半導体層40上部に位置する。
ドレーン電極66は、半導体層40上部の棒型パターンと、棒型パターンから延長されて広い面積を持って接触孔76が位置するドレーン電極拡張部を含む。
このようなデータ線62、データ先端68、ソース電極65及びドレーン電極66をデータ配線と言う。
そして、データ配線62、65、66、68と同じ層に同じ物質でなされた維持電極67が形成される。図1Dに示すように、維持電極67は維持電極線28と連結されて、維持キャパシタは、維持電極67を一端子とし、画素電極82を他の端子とし、及びこれらの間に介在された保護膜70で構成される。
データ配線62、65、66、68及び維持電極67は、アルミニウム、クロム、モリブデン、タンタル及びチタンでなされたグループで選択された一つ以上の物質で構成された単一膜または多層膜でなされうる。例えば、データ配線62、65、66、68と維持電極67は、クロム、モリブデン系列の金属、タンタル及びチタンなど耐火性金属でなされることが望ましく、耐火性金属などの下部膜(図示せず)とその上に位置した低抵抗物質上部膜(図示せず)でなされた多層膜構造を持つことができる。多層膜構造の例としては、前に説明したクロム下部膜とアルミニウム上部膜またはアルミニウム下部膜とモリブデン上部膜の二重膜の外にもモリブデン膜-アルミニウム膜-モリブデン膜の三重膜が挙げられる。
維持電極67は、データ配線62、65、66、68と同一層及び同一の物質で形成されているため、製造工程を簡略化することができる。
ソース電極65は半導体層40と少なくとも一部分が重畳されて、ドレーン電極66はゲート電極26を中心にソース電極65と対向し、半導体層40と少なくとも一部分が重畳される。ここで、抵抗性接触層55、56は、半導体層40及びソース電極65と、半導体層40及びドレーン電極66と、の間に介在されており、これらの間に接触抵抗を低めてくれる役割をする。
データ配線62、65、66、68、維持電極67及び露出した半導体層40上には、絶縁膜でなされた保護膜70が形成されている。ここで、保護膜70は、窒化珪素または酸化珪素でなされた無機物、平坦化特性が優秀で感光性(photosensitivity)を持つ有機物、またはプラズマ化学気相蒸着(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)で形成されるa-Si:C:O、a-Si:O:Fなどの低誘電率絶縁物質などでなされる。また、保護膜70を有機物質で形成する場合には、ソース電極65とドレーン電極66の間の半導体層40が現れた部分に保護膜70の有機物質が接触することを防止するために、窒化珪素(SiNx)または酸化珪素(SiO2)でなされた下部無機膜と上部有機膜の二重膜構造を持つことができる。
保護膜70には、維持電極67、ドレーン電極66及びデータ先端68を各々露出する接触孔(contact hole)72、76、78が形成されており、保護膜70及びゲート絶縁膜30には維持電極線28及びゲート先端24を各々露出する接触孔71、74が形成されている。
保護膜70上には、接触孔76を通じてドレーン電極66と電気的に連結され画素の模様に沿って画素電極82が形成されている。データ電圧が印加された画素電極82は、上部表示板の共通電極と共に電気場を生成することで、画素電極82と共通電極の間の液晶層の液晶分子の配列を決める。
また、保護膜70上には、接触孔74、78を通じて各々ゲート先端24とデータ先端68とにそれぞれ連結されている補助ゲート先端86及び補助データ先端88が形成されている。また、保護膜70には、維持電極線28及び維持電極67を各々露出する接触孔71、72が形成されており、保護膜70上にこれら接触孔71、72を通じて維持電極線28と維持電極67とを互いに連結する連結部材83が形成されている。ここで、画素電極82、補助ゲート先端86、補助データ先端88、及び連結部材83は、ITOまたはIZOなどの透明導電体またはアルミニウムなどの反射性導電体でなされる。補助ゲート線及びデータ先端86、88は、ゲート先端24及びデータ先端68と外部装置とを接合する役割をする。
画素電極82、補助ゲート線及びデータ先端86、88及び保護膜70上には、液晶層を配向できる配向膜(図示せず)が塗布されうる。
図1A及び図1Dを参照すれば、本発明の液晶表示装置は、ゲート線22とは別個に維持電極線28を使って維持キャパシタを形成することで、ゲート線22にかかるロード(load)を減らしうる。なお、従来の前段ゲート方式では、現在の画素内の薄膜トランジスターが、その画素の前段ゲート線と接続されているため、前段ゲート線からの負荷がかかってしまい、維持キャパシタを適切に駆動するのが困難である。
また、維持電極67と画素電極82を両端子で使って、その間に介在された保護膜70を誘電膜で使った維持キャパシタの場合、維持電極67の面積を減らしても、保護膜70の厚さを減らすことで、一定な維持キャパシタンスを具現できる。維持キャパシタの容量Cstは次の式(1)で表される。
Cst = ε × ( A / d) ・・・(1)
を満足する。ここで、Cstは維持キャパシタンスで、εは保護膜(すなわち、誘電膜)の誘電定数で、dは保護膜の厚さで、Aは維持電極の面積である。
例えば、ゲート絶縁膜30で約4000-4500Å以下厚さのSiNxを使って、保護膜70で約2000Å以下厚さのSiNxを使う場合、保護膜70の厚さはゲート絶縁膜30の厚さの1/2以下であり薄く形成される。したがって、維持キャパシタの誘電膜としてゲート絶縁膜30を使うより保護膜70を使うことで、維持電極67の面積を1/2以下に減らしても一定な維持キャパシタを得られる。したがって、液晶表示装置の開口率を高めることができる。また、維持電極67の面積を小さくし、さらに保護膜70を薄く形成するため、液晶表示装置の小型化及び薄型化を図ることができる。
以下、図2ないし図3Cを参照して、本発明の一実施形態による液晶表示装置用共通電極表示板及びこれを含む液晶表示装置に対して説明する。図2は、本発明の一実施形態による液晶表示装置用共通電極表示板の配置図である。図3Aは、図1Aの薄膜トランジスター表示板と図2の共通電極表示板を含む液晶表示装置の配置図である。図3Bは、図3Aの液晶表示装置をIIIb-IIIb'線に沿って切開した断面図で、図3Cは、図3Aの液晶表示装置をIIIc-IIIc'線に沿って切開した断面図である。
図2ないし図3Bを参照すれば、ガラスなどの透明な絶縁物質でなされた絶縁基板96上には、光漏れを防止するためのブラックマトリックス94と、画素に順次的に配列されている赤色、緑色、青色の色フィルター98とが形成されている。色フィルター98上には、ITO(indium tin oxide)またはIZO(indium zinc oxide)などの透明な導電物質でなされた共通電極90が形成されている。共通電極90上には、液晶分子を配向する配向膜(図示せず)が塗布されうる。
図3Bに図示したように、このような構造の薄膜トランジスター表示板200と、共通電極表示板100とを整列して結合して、その間に液晶層300を形成して垂直配向すれば本発明の一実施形態による液晶表示装置の基本構造がなされる。
液晶層300に含まれている液晶分子は、画素電極82と共通電極90との間に電界が印加されない状態で、その方向子が薄膜トランジスター表示板100と共通電極表示板200に対して垂直を成すように配向されていて、負の誘電率異方性を有する。薄膜トランジスター表示板100と共通電極表示板200とは、画素電極82が色フィルター98と対応して正確に重畳されるように整列される。
液晶表示装置はこのような基本構造に偏光板、バックライトなどの要素を配してなされる。この時、偏光板(図示せず)は基本構造の両側に各々一つずつ配され、その透過軸はゲート線22に対して平行して残り一つはここに垂直を成すように配する。
図3A及び図3Cを参照すれば、絶縁基板10上には、データ線62の両側にフローティングバー21が形成されている。前に説明したように、フローティングバー21は、データ線62の近くに発生する光漏れ現象を防止する役割をする。一般的に、データ線62周囲の液晶分子は、画素電極82及び共通電極90により制御できず、光漏れ現象が発生する。特に、データ線62と画素電極82との間の空間を通過したバックライト光によって光漏れ現象がさらに深刻になる。その上に、バックライト光は、このような空間を多様な角度で入射して通過するので、光漏れ現象を防止するためには広い面積のブラックマトリックスを必要とする。しかし、本発明の液晶表示装置によれば、データ線62の両側の絶縁基板10上に形成されたフローティングバー21を用いてデータ線62と画素電極82の間の空間を阻んで、この空間を通過するバックライト光を遮断することで、光漏れ現象を抑制できる。したがって、データ線62上部のブラックマトリックス94の面積を減らすことができるので、液晶表示装置の開口率を高めることができる。また、画素電極82が、フローティングバー21の少なくとも一部重畳するように形成することで、画素電極82とフローティングバー21との間で光が漏れることを防止することで、光漏れ現象をさらに抑制できる。
以上、添部した図面を参考にして、本発明の実施形態を説明したが、当業者であれば、本発明がその技術的思想や必須な特徴を変更しなくても他の具体的な形態で実施されることを理解できるであろう。それ故に、前述した実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的でないと理解しなければならない。
本発明の液晶表示装置は、ゲート線にかかるロード(load)を減らして開口率を高めながら光漏れ現象を防止できる液晶表示装置に適用されうる。
本発明の一実施形態による液晶表示装置の薄膜トランジスター表示板の配置図である。 図1Aの薄膜トランジスター表示板をIb-Ib'線に沿って切開した断面図である。 図1Aの薄膜トランジスター表示板をIc-Ic'線に沿って切開した断面図である。 図1Aの薄膜トランジスター表示板をId-Id'線に沿って切開した断面図である。 本発明の一実施形態による液晶表示装置用共通電極表示板の配置図である。 図1Aの薄膜トランジスター表示板と図2の共通電極表示板を含む液晶表示装置の配置図である。 図3Aの液晶表示装置をIIIb-IIIb'線に沿って切開した断面図である。 図3Aの液晶表示装置をIIIc-IIIc'線に沿って切開した断面図である。
符号の説明
10:絶縁基板 21:フローティングバー
22:ゲート線 24:ゲート先端
26:ゲート電極 28:維持電極線
40:半導体層 55,56:抵抗性接触層
62:データ線 65:ソース電極
66:ドレーン電極 67:維持電極
71,72,74,76,78:接触孔 82:画素電極
83:連結部材 86:補助ゲート先端
88:補助データ先端 90:共通電極
94:ブラックマトリックス 96:絶縁基板
98:色フィルター 100:薄膜トランジスター表示板
200:共通電極表示板 300:液晶層

Claims (10)

  1. 絶縁基板上に互いに離隔して形成されたゲート線と維持電極線と、
    前記ゲート線及び前記維持電極線と絶縁され形成されて、前記ゲート線と交差するデータ線と、
    前記ゲート線と前記データ線によって定義される画素ごとに形成された画素電極と、
    前記データ線と同じ層に形成されて、前記維持電極線と連結されて前記画素電極と共に維持キャパシタの両端子を構成する維持電極と、
    前記データ線と接するように前記データ線に沿って前記画素ごとに形成されたフローティングバーと、
    前記ゲート線及び前記維持電極線上に形成されたゲート絶縁膜と、
    前記ゲート線と前記データ線に連結されて前記画素電極に電圧を印加する薄膜トランジスタと、
    前記ゲート線、前記維持電極線、前記データ線及び前記維持電極を覆うように形成され、前記維持電極と前記画素電極との間に介在されており、前記維持電極線を露出させる第1 接触孔及び前記維持電極を露出させる第2接触孔を有する保護膜と、
    前記第1及び第2接触孔を通じて前記維持電極線と前記維持電極を連結するように前記保護膜上に形成された連結部材と、を含み
    前記データ線は前記ゲート絶縁膜上に形成されることを含むことを特徴とする液晶表示装置。
  2. 前記維持電極は、前記データ線と同じ物質でなされたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 前記維持電極は、アルミニウム、クロム、モリブデン、タンタル及びチタンでなされたグループで選択された一つ以上の物質で構成された単一膜または多層膜でなされたことを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶表示装置。
  4. 前記維持電極は、クロム下部膜とアルミニウム上部膜またはアルミニウム下部膜とモリブデン上部膜の二重膜、またはモリブデン膜-アルミニウム膜-モリブデン膜の三重膜でなされたことを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶表示装置。
  5. 前記保護膜は、SiNxでなされたことを特徴とする請求項に記載の液晶表示装置。
  6. 前記保護膜は、約2000Å以下の厚さを持つことを特徴とする請求項に記載の液晶表示装置。
  7. 前記連結部材は、ITOまたはIZOの透明導電体またはアルミニウムの反射性導電体でなされたことを特徴とする請求項に記載の液晶表示装置。
  8. 前記フローティングバーは、前記ゲート線と同じ層に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  9. 前記フローティングバーは、前記データ線の両方に対で形成されたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
  10. 前記画素電極は、前記フローティングバーの少なくとも一部と重畳するように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
JP2006216645A 2005-08-16 2006-08-09 液晶表示装置 Expired - Fee Related JP5317399B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050074836A KR101171056B1 (ko) 2005-08-16 2005-08-16 액정 표시 장치
KR10-2005-0074836 2005-08-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007052418A JP2007052418A (ja) 2007-03-01
JP5317399B2 true JP5317399B2 (ja) 2013-10-16

Family

ID=37767021

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006216645A Expired - Fee Related JP5317399B2 (ja) 2005-08-16 2006-08-09 液晶表示装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7973865B2 (ja)
JP (1) JP5317399B2 (ja)
KR (1) KR101171056B1 (ja)
CN (1) CN1932624B (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI360682B (en) * 2007-06-08 2012-03-21 Wintek Corp Multi-domain liquid crystal display and array subs
TWI375102B (en) * 2008-06-26 2012-10-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Pixel structure
KR101502361B1 (ko) 2008-08-06 2015-03-16 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치
CN101710586B (zh) * 2009-01-09 2011-12-28 深超光电(深圳)有限公司 提高开口率的储存电容及其制作方法
CN101799603B (zh) * 2009-02-11 2015-12-02 北京京东方光电科技有限公司 Tft-lcd阵列基板及其制造方法
CN101819361B (zh) * 2009-02-26 2012-11-21 北京京东方光电科技有限公司 Tft-lcd阵列基板及其制造方法
CN102651401B (zh) 2011-12-31 2015-03-18 京东方科技集团股份有限公司 一种薄膜晶体管、阵列基板及其制造方法和显示器件
CN103489881B (zh) * 2011-12-31 2016-10-05 京东方科技集团股份有限公司 一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法和显示器件
CN103151305B (zh) * 2013-02-28 2015-06-03 京东方科技集团股份有限公司 一种薄膜晶体管阵列基板、制备方法以及显示装置
CN204422935U (zh) 2015-03-12 2015-06-24 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板和显示装置
CN105093752A (zh) * 2015-08-18 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1096949A (ja) * 1996-09-24 1998-04-14 Toshiba Electron Eng Corp アクティブマトリクス型液晶表示装置
JP3234168B2 (ja) * 1997-05-20 2001-12-04 株式会社アドバンスト・ディスプレイ Tftアレイ基板の製造方法
JPH1184416A (ja) * 1997-09-08 1999-03-26 Sony Corp 液晶表示素子
KR100312753B1 (ko) 1998-10-13 2002-04-06 윤종용 광시야각액정표시장치
JP4897995B2 (ja) 1999-11-05 2012-03-14 三星電子株式会社 液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板
JP5408829B2 (ja) * 1999-12-28 2014-02-05 ゲットナー・ファンデーション・エルエルシー アクティブマトリックス基板の製造方法
TW594156B (en) * 2002-01-04 2004-06-21 Fujitsu Display Tech Substrate for display device and display device equipped therewith
KR100870016B1 (ko) * 2002-08-21 2008-11-21 삼성전자주식회사 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 이를 포함하는 액정 표시장치
TW544942B (en) * 2002-09-30 2003-08-01 Hannstar Display Corp Thin film transistor array substrate
KR100905017B1 (ko) * 2002-12-27 2009-06-30 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자 및 그 제조방법
KR100961945B1 (ko) * 2003-03-26 2010-06-08 삼성전자주식회사 액정 표시 장치 및 그에 사용되는 표시판
KR101006434B1 (ko) * 2003-06-26 2011-01-06 삼성전자주식회사 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는 액정 표시장치의 수리 방법
KR100556702B1 (ko) * 2003-10-14 2006-03-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 표시 소자용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US7973865B2 (en) 2011-07-05
JP2007052418A (ja) 2007-03-01
CN1932624A (zh) 2007-03-21
KR101171056B1 (ko) 2012-08-03
CN1932624B (zh) 2010-06-16
KR20070020675A (ko) 2007-02-22
US20070040951A1 (en) 2007-02-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5317399B2 (ja) 液晶表示装置
JP5328117B2 (ja) 液晶表示装置
KR101216688B1 (ko) 박막 트랜지스터 기판 및 이를 포함하는 액정 표시 장치
JP5190625B2 (ja) 液晶表示装置及びその不良画素修復方法
US9780177B2 (en) Thin film transistor array panel including angled drain regions
KR102007833B1 (ko) 프린지 필드 스위칭 모드 액정표시장치용 어레이 기판
KR20140047649A (ko) 액정 표시 장치
US20120206684A1 (en) Liquid crystal display and manufacturing method thereof
KR101163622B1 (ko) 박막 트랜지스터 표시판
CN104280957B (zh) 液晶显示器
US20080121893A1 (en) Display panel
KR20080008858A (ko) 박막 트랜지스터 표시판
US7817214B2 (en) Liquid crystal display device
US8330917B2 (en) Thin film transistor substrate and liquid crystal display having the same
KR20140119395A (ko) 액정 표시 장치
KR20080051536A (ko) 액정 표시 장치
US20050098781A1 (en) Thin film array panel
KR101398641B1 (ko) 액정 표시 장치
KR20060132264A (ko) 액정 표시 장치 및 그의 불량 화소 복구 방법
KR102109678B1 (ko) 액정 표시 장치
KR20070076298A (ko) 액정 표시 장치
KR20070080349A (ko) 액정 표시 장치
KR20070080107A (ko) 빛샘 방지를 위한 액정 표시 장치
US20210132456A1 (en) Display device
KR20050026300A (ko) 박막 트랜지스터 표시판 및 이를 포함하는 표시 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090619

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100525

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111012

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111025

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120612

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120731

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20121213

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130322

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130409

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130520

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130611

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130709

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees