JP5312199B2 - Protective member for protecting substrate and method for protecting substrate using the protective member - Google Patents
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Description
本発明は、各種の基板（殊に機能層付きの基板）の保管、搬送または輸送を行うにあた
って、該基板の保護を図るための保護部材に関するものである。また、基板の保管、搬送
または輸送に際し、その保護部材を用いて該基板を保護する方法に関するものである。
The present invention relates to a protective member for protecting various substrates (especially substrates having a functional layer) when they are stored, transported or transported. Further, the present invention relates to a method for protecting the substrate using the protective member when the substrate is stored, transported or transported.
（薄くかつ大サイズの基板用ガラス板）
ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)、ＰＤＰ(Plasma Display Panel)、ＬＥＤ(Light Emi
tting Diode)、ＯＬＥＤ(Organic LED) 、ＦＥＤ(Field Emission Display)、ＳＥＤ(Sur
face-conduction Electron-emitter Display) などのフラットパネル・ディスプレイ（Ｆ
ＰＤ(Flat Panel Display)）に用いられるガラス板（素ガラス板または素板ガラス）は、
現在では、その厚みはたとえば 0.7mmまたはそれ以下というように薄く、そのサイズはた
とえば１５００mm×１８５０mm（Ｇ６サイズ）、１８７０mm×２２００mm（Ｇ７サイズ）
、さらには２８５０mm×３０５０mm（Ｇ１０サイズ）というように大型化している。ただ
し、Ｇ（世代／generation）はおおよその目安であり、同じＧでも厚みやサイズは実際に
は種々様々である。
(Thin and large size glass plate for substrates)
LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), LED (Light Emi
tting Diode), OLED (Organic LED), FED (Field Emission Display), SED (Sur
flat-panel displays (F-face-conduction Electron-emitter Display)
Glass plate (elementary glass plate or elemental glass) used for PD (Flat Panel Display)
At present, the thickness is as thin as 0.7 mm or less, for example, 1500 mm × 1850 mm (G6 size), 1870 mm × 2200 mm (G7 size).
Further, the size is increased to 2850 mm × 3050 mm (G10 size). However, G (generation) is an approximate measure, and the thickness and size of the same G are actually various.
ガラスの比重は 2.5程度であるので、厚みが 0.7mmの場合の１枚当りの重量は、Ｇ６サ
イズで５kg程度、Ｇ７サイズで７kg程度、Ｇ１０サイズでは１５kg程度にもなる。
Since the specific gravity of glass is about 2.5, the weight per sheet when the thickness is 0.7 mm is about 5 kg for the G6 size, about 7 kg for the G7 size, and about 15 kg for the G10 size.
そして、薄くかつ大サイズのガラス板の保管、搬送または輸送を、小ないし中サイズの
ガラス板を前提とした従来のカセット収容方式（箱体や枠体の内壁の部分に形成した溝や
リブで水平姿勢のガラス板を支えたり、そのような内壁の溝やリブで支える方式に加えて
箱体や枠体からバーを延出してそのバーでガラス板を下側からも支えたりする方式）によ
り行ったのでは、撓みや振動によるガラス板損傷のおそれが大きい。他の方式、たとえば
ガラス板を鉛直姿勢または斜傾姿勢で支える方式にあっても、ガラス板が薄くかつ大サイ
ズであるときは、やはり保管、搬送または輸送に際し破損等のトラブルを生ずるおそれが
ある。
Then, storage, transportation or transportation of thin and large glass plates can be carried out using conventional cassette housing systems based on small to medium glass plates (grooves and ribs formed on the inner wall of the box and frame). In addition to supporting the glass plate in a horizontal position or supporting it with grooves and ribs on the inner wall, a method of extending a bar from the box or frame and supporting the glass plate from the bottom with the bar) If done, there is a high risk of glass plate damage due to bending or vibration. Even in other methods, such as a method of supporting the glass plate in a vertical posture or a tilted posture, if the glass plate is thin and large in size, there is a risk of causing problems such as breakage during storage, transportation or transportation. .
（基板用のガラス板を平置き状に積み重ねる方式）
保管、搬送または輸送のために、たとえば厚みが 0.7mmで重量が５kgの大サイズのガラ
ス板を２００枚とか３００枚平置き状に積み重ねようとすれば、全体の重量は１トンとか
１トン半にもなる。この場合、ガラス板に対する負荷は下側に位置するガラス板に対する
ほど大きくなり、特に一番下のガラス板には全ガラス板の重量が加わることになる。
(Method of stacking glass plates for substrates in a flat manner)
For storage, transportation, or transportation, if you try to stack 200 or 300 large glass plates with a thickness of 0.7mm and a weight of 5kg, for example, the total weight is 1 ton or 1 ton and a half. It also becomes. In this case, the load on the glass plate increases as the glass plate located on the lower side increases. In particular, the weight of the entire glass plate is added to the lowermost glass plate.
（基板用のガラス板をトレイに載置したものを多段に配置する方式）
また、保管、搬送または輸送のために、１枚のガラス板をトレイ上に載置して取り扱う
ときは、ガラス板が大サイズであっても上記のような積み重ねによる問題は生じないが、
そのガラス板を載置したトレイを多段に配置して移動、搬送または輸送を行う場合には、
下段のトレイ上に載置したガラス板が跳ね上がって上段のトレイの底にぶつかるおそれが
ある。この問題を避けるためには各段の間に充分の間隔があくようにすればよいが、今度
は多段に配置したときの全体の高さが高くなって占有体積が大になるため、保管、搬送ま
たは輸送の効率がかなり低下することを免れない上、ガラス板には（トレイ側にも）依然
としてばたつきによる衝撃が加わることになる。
(Method of arranging glass plates for substrates placed on a tray in multiple stages)
In addition, when placing and handling a single glass plate on a tray for storage, transportation or transportation, problems such as the above will not occur even if the glass plate is large,
When moving, transporting or transporting trays with glass plates placed in multiple stages,
There is a possibility that the glass plate placed on the lower tray jumps up and hits the bottom of the upper tray. In order to avoid this problem, there should be sufficient space between each stage, but this time the total height when arranged in multiple stages becomes high and the occupied volume becomes large. The efficiency of conveyance or transportation is inevitably lowered, and the glass plate (also on the tray side) is still subjected to an impact due to flapping.
（発泡樹脂シートを介装したガラス板積み重ね梱包方式）
特開２００５−７５３６６号公報（特許文献１）には、複数枚のガラス板を各相互間に
保護シート材を介装して水平姿勢で積層状に収納してなる単位梱包体を備えたガラス板梱
包ユニットが示されている（請求項３）。保護シート材としては、厚み 0.3〜 5.0mm（好
ましくは 0.5〜 2.0mm）、発泡倍率１０〜４０倍（好ましくは２０〜３０倍）の発泡樹脂
シートが好ましいとあり、実施形態においては発泡倍率２０〜２５の発泡ポリエチレンシ
ートを用いて、厚みが 0.7mmで１５００mm×１８５０mmのサイズの液晶ディスプレイ用の
素板ガラスの５〜２０枚程度を積み重ねて単位梱包体とし、その単位梱包体を３０段程度
に積み重ねて外包囲体に嵌め込んで固定している。
(Glass plate stacking packing system with foamed resin sheet)
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-75366 (Patent Document 1) discloses a glass including a unit packaging body in which a plurality of glass plates are stored in a stacked manner in a horizontal posture with a protective sheet material interposed therebetween. A plate packing unit is shown (claim 3). As the protective sheet material, a foamed resin sheet having a thickness of 0.3 to 5.0 mm (preferably 0.5 to 2.0 mm) and a foaming ratio of 10 to 40 times (preferably 20 to 30 times) is preferable. Using a polyethylene foam sheet of ˜25, a unit package is formed by stacking about 5 to 20 sheets of base glass for a liquid crystal display having a thickness of 0.7 mm and a size of 1500 mm × 1850 mm. They are stacked and fitted into the outer enclosure to secure them.
特開２００７−３９０９２号公報（特許文献２）には、箱体の内部収納空間に、複数枚
のガラス板を各相互間に保護シート材を介装して水平姿勢で積層状に収納したガラス板梱
包体において、箱体の内底面に衝撃吸収体を配設したガラス板梱包体が示されている（請
求項１）。保護シート材としては、厚み 0.3〜 5.0mm（好ましくは 0.5〜 2.0mm）、発泡
倍率１０〜４０倍（好ましくは２０〜３０倍）の発泡樹脂シートが好ましいとあり、実施
形態においては発泡倍率２０〜２５の発泡ポリエチレンシートを用いて、厚みが 0.7mmで
１５００mm×１８５０mm（Ｇ６サイズ）の大きさの素板ガラスの５〜２０枚程度を箱体の
収納空間に積み重ね収容してガラス板梱包体となし、そのガラス板梱包体の１０〜５０段
を箱状の外包囲体の内部に下方から順に水平姿勢のまま積み重ねていって梱包ユニットと
している。
In JP 2007-39092 A (Patent Document 2), a glass in which a plurality of glass plates are stored in a stacked manner in a horizontal posture with a protective sheet material interposed between them in an internal storage space of a box. In the plate package, a glass plate package in which an impact absorber is disposed on the inner bottom surface of the box is shown (claim 1). As the protective sheet material, a foamed resin sheet having a thickness of 0.3 to 5.0 mm (preferably 0.5 to 2.0 mm) and a foaming ratio of 10 to 40 times (preferably 20 to 30 times) is preferable. Using a foamed polyethylene sheet of ˜25, about 5 to 20 pieces of raw glass having a thickness of 0.7 mm and a size of 1500 mm × 1850 mm (G6 size) are stacked and accommodated in the storage space of the box, None, 10 to 50 stages of the glass plate package are stacked in a horizontal posture from the bottom inside the box-shaped outer enclosure to form a packaging unit.
特開２００５−７５４８２号公報（特許文献３）には、表面側と裏面側との間でエア流
通を許容する発泡樹脂シートをガラス板の上面に載せた後、バキューム手段により発泡樹
脂シートとガラス板とを重ねた状態で吸着保持して搬送、収納するガラス板梱包方法が示
されている（請求項１）。特開２００８−１１４８６９号公報（特許文献４）にも、ガラ
ス板間に発泡樹脂シートを介在させて積み上げ積層することにつき記載がある（請求項６
）。
In Japanese Patent Laid-Open No. 2005-75482 (Patent Document 3), a foamed resin sheet that allows air flow between the front surface side and the back surface side is placed on the upper surface of a glass plate, and then the foamed resin sheet and the glass are collected by vacuum means. A glass plate packaging method is shown in which a plate is stacked and held by suction and conveyed and stored (claim 1). Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-1114869 (Patent Document 4) also describes stacking and laminating a foamed resin sheet between glass plates (Claim 6).
).
特開２００６−３２７６４０号公報（特許文献５）および特開２００６−３２７６４２
（特許文献６）には、複数基板を積み重ねて構成した積み重ね体を収納するための収納容
器において、基板（カラーフィルターや薄膜トランジスタ等に用いるガラス基板）と合紙
（特に、独立気泡を有する樹脂発泡シート（たとえば発泡ポリエチレンシート）、厚み0.
25〜１mm程度）とを交互に積み重ねた積み重ね体が示されている（特許文献５の請求項８
〜１０および段落００２６、特許文献６の請求項８〜１０および段落００２８）。ここで
「合紙」とは「介装シート」のことである。
JP 2006-327640 A (Patent Document 5) and JP 2006-327642 A
In (Patent Document 6), in a storage container for storing a stack formed by stacking a plurality of substrates, a substrate (a glass substrate used for a color filter, a thin film transistor, etc.) and a slip sheet (particularly, a resin foam having closed cells) Sheet (eg foamed polyethylene sheet), thickness 0.
A stacked body in which 25 to 1 mm) are alternately stacked is shown (claim 8 of Patent Document 5).
10 and paragraph 0026, claims 8 to 10 of patent document 6 and paragraph 0028). Here, “interleaf” means “intermediate sheet”.
特開２００５−２７５２４８号公報（特許文献７）には、カラーフィルタ基板を複数枚
積層させるに際し、隣り合うカラーフィルタ基板の間にクッション性を有するシートを介
在させるようにした積層体が示されている。ここで、クッション性を有するシートの好ま
しい例は、独立気泡を有する発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン、発泡ポリウレタン
などの発泡樹脂シートである。カラーフィルタ基板については、ガラス基板上にブラック
マトリックス、Ｒ、Ｇ、Ｂの着色層、透明導電膜層およびスペーサに加えて、さらに保護
層（水溶性樹脂）を設けたものを用いている。
Japanese Patent Laying-Open No. 2005-275248 (Patent Document 7) shows a laminate in which a sheet having cushioning properties is interposed between adjacent color filter substrates when a plurality of color filter substrates are laminated. Yes. Here, a preferred example of the sheet having cushioning properties is a foamed resin sheet such as foamed polyethylene, foamed polypropylene, and foamed polyurethane having closed cells. As the color filter substrate, a glass substrate provided with a protective layer (water-soluble resin) in addition to a black matrix, a colored layer of R, G, and B, a transparent conductive film layer and a spacer is used.
特開２００５−１３４４１６号公報（特許文献８）には、カラーフィルタ基板を積層さ
せるに際し、隣り合うカラーフィルタ基板の間に離間体を介在させるようにした積層体が
示されている。また、特開２００５−１３４４２３号公報（特許文献９）には、その着色
層側の面および裏側の面にそれぞれ保護層を設けたカラーフィルタ基板を複数枚積層させ
るに際し、隣り合うカラーフィルタ基板の間に離間体を介在させるようにした積層体が示
されている。同様に、特開２００５−１３４４１９号公報（特許文献１０）には、その着
色層側の面に保護層を設けたカラーフィルタ基板を複数枚積層させるに際し、隣り合うカ
ラーフィルタ基板の間に離間体を介在させるようにした積層体が示されている。ここで、
離間体の代表例は、紙（殊に中性紙）や樹脂フィルム（ポリエチレン、ポリプロピレン、
ポリエチレンテレフタレート、ポリビニルアルコール、セルロース、殊にポリエチレンフ
ィルム）である。
Japanese Patent Laying-Open No. 2005-134416 (Patent Document 8) discloses a laminate in which a spacing member is interposed between adjacent color filter substrates when the color filter substrates are laminated. Japanese Patent Laid-Open No. 2005-134423 (Patent Document 9) discloses that when a plurality of color filter substrates each provided with a protective layer are laminated on the colored layer side surface and the back side surface, A laminated body is shown in which a spacing member is interposed therebetween. Similarly, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-134419 (Patent Document 10) discloses a separation body between adjacent color filter substrates when a plurality of color filter substrates provided with a protective layer on the colored layer side surface are laminated. The laminated body which made it interpose was shown. here,
Representative examples of spacers are paper (particularly neutral paper) and resin films (polyethylene, polypropylene,
Polyethylene terephthalate, polyvinyl alcohol, cellulose, especially polyethylene film).
上述のように、特許文献１〜６には、ガラス板を平置き状に積み重ねるに際し、各ガラ
ス板間に保護シート材として「発泡樹脂シート」を介装することにつき記載がある。ただ
し、これらの特許文献１〜６には、その保護シート材として「発泡樹脂シートのラミネー
ト品」を用いることについては何の記載も示唆もない。また、これらの特許文献１〜６に
おける「ガラス板」とは「素板ガラス」のことであり、これらの特許文献にあっては「機
能層を有するガラス基板」に適用することついては言及がない。
As described above, Patent Documents 1 to 6 describe that a “foamed resin sheet” is interposed between the glass plates as a protective sheet material when the glass plates are stacked flat. However, in these Patent Documents 1 to 6, there is no description or suggestion about using a “laminated product of foamed resin sheet” as the protective sheet material. In addition, the “glass plate” in these Patent Documents 1 to 6 refers to “substrate glass”, and in these Patent Documents, there is no mention of application to “a glass substrate having a functional layer”.
また、上述のように、特許文献７〜１０には、カラーフィルタ基板を平置き状に積み重
ねるに際し、各カラーフィルタ基板間にクッション性を有するシートまたは離間体として
「発泡樹脂シート、紙、樹脂フィルム」を介装することにつき記載がある。
In addition, as described above, in Patent Documents 7 to 10, when the color filter substrates are stacked in a flat state, a sheet having a cushioning property or a spacing member between the color filter substrates is referred to as “foamed resin sheet, paper, resin film”. "Is included.
（支持部材に設けたパッド上にガラス板を受ける方式）
特開２００５−７５４３３号公報（特許文献１１）には、四角柱状の支持部材（図１に
よれば２つの側壁に固定したものと後壁から張り出したもの）上に板ガラスの少なくとも
１箇所を負圧保持する「表面支持部」（気密性の弾性材料、実施例においてはシリコンゴ
ムのパッドを使用）を設けた板ガラスの梱包体が示されている。ただし、上下の桟格子間
で板ガラスを挟み込んで支持しているわけではない。なお、この特許文献１１の段落００
５９には、「板ガラスだけの板状体以外にも製膜板ガラス等の複合板状構成体や有機物と
ガラス板の積層構造物に対しても適用することが可能なものである。」との記載が見られ
る。
(Method to receive a glass plate on the pad provided on the support member)
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-75433 (Patent Document 11) discloses that at least one plate glass is negatively placed on a square columnar support member (one fixed to two side walls and one projecting from a rear wall according to FIG. 1). Shown is a sheet glass package provided with a “surface support” (airtight elastic material, using a silicone rubber pad in the examples) for holding pressure. However, the plate glass is not sandwiched and supported between the upper and lower bars. In addition, paragraph 00 of this patent document 11
59, “It can be applied not only to a plate-like body made only of plate glass but also to a composite plate-like structure such as a film-formed plate glass or a laminated structure of an organic substance and a glass plate.” The description can be seen.
（トレイ方式における平積みガラス板の保管搬送方式）
特開昭６２−１８０８３６号公報（特許文献１２）には、滑り止め手段（緩衝材）を備
えたトレイ上に複数枚のガラス板を平積みすると共にずれ防止手段によりそれを一体化し
て、搬送、保管に供する方法が示されており、第２図には桟格子状のトレイの例が示され
ている。ただし、平積みガラス板同士の間に緩衝材を介装しているわけではない。
(Storage and transport method for flat glass plates in the tray method)
In JP-A-62-180836 (Patent Document 12), a plurality of glass plates are stacked on a tray provided with anti-slip means (buffer material) and integrated with a slip prevention means for transport. A method for storage is shown, and FIG. 2 shows an example of a grid-like tray. However, the cushioning material is not interposed between the flat stacked glass plates.
（ガラス板を載せたトレイの積み重ね方式）
１枚のガラス板を水平状態で収納したトレイを多段に積み重ねる方式については、多数
の出願がなされている。たとえば、特開平１０−２８７３８２号（特許文献１３）には、
１枚のガラス基板をトレイの格子状に構成された部分に水平状態で載置して収納するトレ
イが示されている。そのほかにも、特開２００５−１０４４７５号公報（特許文献１４）
をはじめとして多数の出願がなされている。トレイの積み上げ数については、たとえば特
許文献１４の実施例においては、ガラス板基板が収納された６０個のトレイを上下方向に
積み重ねている。
(Stacking method of trays with glass plates)
Many applications have been made for a method of stacking a plurality of trays each storing a single glass plate in a horizontal state. For example, JP-A-10-287382 (Patent Document 13)
A tray is shown in which a single glass substrate is placed and stored in a horizontal state on a portion of the tray configured in a lattice shape. In addition, JP-A-2005-104475 (Patent Document 14)
And many other applications have been filed. Regarding the number of stacked trays, for example, in the embodiment of Patent Document 14, 60 trays each storing a glass plate substrate are stacked in the vertical direction.
（発泡樹脂シートを介装したガラス板積み重ね方式の問題点）
上記の特許文献１〜６のように、多数枚のガラス板（素板ガラス）を各相互間に保護シ
ート材としての発泡樹脂シートを介装して水平姿勢で積層状に収納する方式は、ガラス板
間の空間を最小限にすることができるので保管・搬送の点で有利である。しかしながら、
この方式は、発泡樹脂シートとの直接接触に基く素板ガラス表面の機械的損傷のおそれが
ある。しかも、素板ガラス表面に発泡樹脂シート由来の汚染物（樹脂中の低重合度物、シ
ートへの成形時の添加物など）が転写付着することを免れないので、後の工程で洗浄を行
わなければならないという不利がある。
(Problems of stacking glass plates with foamed resin sheets)
As in the above Patent Documents 1 to 6, a method of storing a large number of glass plates (elementary glass) in a stacked manner in a horizontal posture with a foamed resin sheet as a protective sheet material interposed between them is glass. Since the space between the plates can be minimized, it is advantageous in terms of storage and conveyance. However,
This method may cause mechanical damage to the surface of the base glass based on direct contact with the foamed resin sheet. In addition, contaminants derived from the foamed resin sheet (low polymerization degree in the resin, additives during molding into the sheet, etc.) are unavoidably transferred onto the surface of the base glass, so cleaning must be performed in a later step. There is a disadvantage of having to.
そして、この方式は、特に機能層付き基板の保管・搬送には適していないという限界が
ある。というのは、ガラス板等の基板の表面に形成してある機能層に発泡樹脂シートが接
触した状態で保管・搬送に供した場合には、機能層が許容を越えるダメージ（機械的損傷
、発泡樹脂シートに起因する汚染）を受けることを免れないからである。
This method has a limit that it is not particularly suitable for storage and transport of a substrate with a functional layer. This is because if the foamed resin sheet is in contact with the functional layer formed on the surface of a substrate such as a glass plate and stored and transported, the functional layer will be damaged beyond its tolerance (mechanical damage, foaming). This is because it is unavoidable to receive contamination caused by the resin sheet.
上記の特許文献７〜１０のように、カラーフィルタ基板を平置き状に積み重ねるに際し
、各カラーフィルタ基板間にクッション性を有するシートまたは離間体として「発泡樹脂
シート、紙、樹脂フィルム」を介装する方式も、カラーフィルタ基板間の空間を最小限に
することができるので保管・搬送の点で有利である。しかしながら、この方式は、クッシ
ョン性シートまたは離間体として紙を用いる場合には、カラーフィルタ面の機械的損傷や
紙粉の付着のおそれがある。発泡樹脂シートや樹脂フィルムを用いる場合には、カラーフ
ィルタ面との直接接触に基く発泡樹脂シートや樹脂フィルム由来の汚染物（樹脂中の低重
合度物、成形時の添加物など）が転写付着することを免れないという不利がある。
When the color filter substrates are stacked in a flat manner as described in Patent Documents 7 to 10, “foamed resin sheet, paper, resin film” is interposed as a sheet having a cushioning property or a spacer between the color filter substrates. This method is advantageous in terms of storage and conveyance because the space between the color filter substrates can be minimized. However, this method may cause mechanical damage to the color filter surface or adhesion of paper dust when paper is used as the cushioning sheet or the spacer. When using a foamed resin sheet or resin film, contaminants derived from the foamed resin sheet or resin film based on direct contact with the color filter surface (low polymerization degree in the resin, additives during molding, etc.) are transferred and adhered. There is a disadvantage that it is inevitable to do.
（支持部材に設けたパッド上にガラス板を受ける方式の問題点）
特許文献１１の方式は、四角柱状の支持部材上に板ガラスの少なくとも１箇所を負圧保
持する表面支持部（気密性の弾性材料、実施例においてはシリコンゴムのパッドを使用）
を設けているものである。この方式は板ガラスを吸引固定しているため輸送中に生ずる振
動に耐えうるものであるが、機構・構造が極端に複雑になることを免れず、しかも梱包体
に占める空間の割合が多いため輸送効率の点で不利となる。
(Problem of receiving a glass plate on a pad provided on a support member)
The method of Patent Document 11 is a surface support portion that holds at least one portion of a plate glass under a negative pressure on a square columnar support member (uses an airtight elastic material, in the embodiment, a silicon rubber pad).
Is provided. This method can withstand vibrations that occur during transportation because the plate glass is fixed by suction. However, the mechanism and structure are unavoidably complicated, and the percentage of space in the package is large. It is disadvantageous in terms of efficiency.
（トレイ方式における平積みガラス板の保管搬送方式との関連）
特許文献１２には格子状のトレイの例が示されているが、この方式は平積みガラス板同
士の間に緩衝材を介装しているわけではないので、本発明とは直接の関係を有しない。
(Relationship with the storage and transfer method of flat glass plates in the tray method)
Although an example of a grid-like tray is shown in Patent Document 12, since this method does not necessarily include a buffer material between flat glass plates, it has a direct relationship with the present invention. I don't have it.
（ガラス板を載せたトレイの積み重ね方式）
特許文献１３、１４の方式は、１枚のガラス板を水平状態で収納したトレイを積み重ね
る方式にかかるものであるが、ガラス板の汚染防止については特別の考慮が払われている
わけではない。この方式は、特に機能層付き基板の保管・搬送には適していない。
(Stacking method of trays with glass plates)
Although the methods of Patent Documents 13 and 14 are related to a method of stacking trays in which a single glass plate is stored in a horizontal state, no special consideration has been given to preventing contamination of the glass plate. This method is not particularly suitable for storing and transporting a substrate with a functional layer.
（発明の目的）
本発明は、このような背景下において、基板の保管、搬送または輸送を行うにあたり、
該基板が素板である場合のみならず機能層付き基板であっても、その保護（機械的損傷の
防止および汚染防止）を効果的に図ることのできる保護部材を提供することを目的とする
ものである。また、該保護部材を「基板の平置き積み重ね方式」や「基板を載せたトレイ
の積み重ね方式」をはじめとする種々の方式に適用するようにした基板の保護方法を提供
することを目的とするものである。
(Object of invention)
The present invention, in such a background, when storing, transporting or transporting a substrate,
An object of the present invention is to provide a protective member that can effectively protect (prevent mechanical damage and prevent contamination) not only when the substrate is a base plate but also with a functional layer. Is. It is another object of the present invention to provide a substrate protection method in which the protection member is applied to various methods including a “substrate flat stacking method” and a “tray stacking method of substrates”. Is.
本発明の基板保護用の保護部材は、
基板(B) の保管、搬送または輸送を行うにあたりその基板面に接触させる使い方をして
該基板(B) の保護を図るための保護部材(A) であって、該保護部材(A) が、
・エチレン系重合体発泡シート(a1)の少なくとも片面に、
・メタロセン触媒を用いて重合することにより得られた高密度グレードのエチレン系重
合体の薄膜(a2)がラミネートされた、
・(a2)/(a1) または(a2)/(a1)/(a2)の層構成を有する複合シート(a) からなること、
を特徴とするものである。
The protective member for protecting a substrate of the present invention is
A protective member (A) for protecting the substrate (B) by contacting the substrate surface when storing, transporting or transporting the substrate (B), the protective member (A) being ,
-On at least one side of the ethylene polymer foam sheet (a1),
-A high-density grade ethylene polymer thin film (a2) obtained by polymerization using a metallocene catalyst was laminated,
The composite sheet (a) having a layer structure of (a2) / (a1) or (a2) / (a1) / (a2),
It is characterized by.
本発明の基板の保護方法の１つは、
基板(B) の多数枚を平置き状に積み重ねた状態で保管、搬送または輸送を行うにあたり
、
隣接する上下の基板(B), (B)間に請求項１の複合シート(a) からなる保護部材(A) を介
装して「../B/A/B/A/B/A/.. 」の積み重ね状態にすること、
を特徴とするものである。
One of the substrate protection methods of the present invention is:
When storing, transporting or transporting a large number of substrates (B) stacked in a flat state,
A protective member (A) composed of the composite sheet (a) according to claim 1 is interposed between adjacent upper and lower substrates (B) and (B), “../B/A/B/A/B/A / .. "
It is characterized by.
本発明の基板の保護方法の他の１つは、
トレイ(T) 上に基板(B) を載置した単位載置体[B/T] を多段に積み重ね配置することに
より「../[B/T]/[B/T]/[B/T]/.. 」の多段体とした状態で保管、搬送または輸送を行うに
あたり、
中間各段の単位載置体[B/T] におけるトレイ(T) の基板支承部の上面側および下面側の
双方の必要部に請求項１の複合シート(a) からなる保護部材(A) を配置して単位載置体[B
/A/T/A] とすることにより「../[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/.. 」の多段体とすると
共に、
隣接する上段の単位載置体[B/A/T/A] の下側に位置する保護部材(A) と下段の単位載置
体[B/A/T/A] の上側に位置する層基板(B) との間に隙間を生じないようにしたこと、
を特徴とするものである。
Another method for protecting a substrate of the present invention is as follows:
By placing unit mounting bodies [B / T] on which a substrate (B) is placed on a tray (T) in a multi-stage stack, “../[B/T]/[B/T]/[B/ T] / .. "when storing, transporting or transporting in a multi-stage state
Protective member (A) comprising the composite sheet (a) according to claim 1 on both the upper surface side and the lower surface side of the substrate support portion of the tray (T) in the unit mounting body [B / T] at each intermediate stage. Place the unit mounting body [B
/ A / T / A] is a multi-stage of "../[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/ .." With body,
Protective member (A) located on the lower side of the adjacent upper unit mounting body [B / A / T / A] and layer located on the upper side of the lower unit mounting body [B / A / T / A] Not to create a gap with the substrate (B),
It is characterized by.
本発明の保護部材(A) を用いることにより、従来のように保護部材として発泡ポリエチ
レンシートのような発泡樹脂シートを介装してガラス基板（素板）の保護を図る場合に比
し、基板（素板）に対する機械的損傷が防止されることはもとより、発泡樹脂シートに起
因する汚染物質の基板（素板）への転写付着が効果的に防止されるので、搬送、輸送先に
おける洗浄処理等の付加処理を簡易に済ませたり、そのような付加処理自体を省略したり
することができる。
By using the protective member (A) of the present invention, the substrate can be compared with the conventional case in which a foamed resin sheet such as a foamed polyethylene sheet is interposed as the protective member to protect the glass substrate (base plate). In addition to preventing mechanical damage to the (substrate), transfer of contaminants due to the foamed resin sheet to the substrate (substrate) is effectively prevented. It is possible to simplify the additional processing such as, or to omit such additional processing itself.
特に、基板が繊細な機能層を有する機能層付き基板であるときは、保護部材として発泡
ポリエチレンシートのような発泡樹脂シートを用いると、発泡樹脂シートを得るときのポ
リマー中の低重合度物や触媒あるいは発泡樹脂シートを成形するに際して使用した添加剤
（成形助剤や帯電防止剤等）に由来する溶出成分や揮発成分が基板面に転写することによ
る基板の汚染が顕著になるので、たとえそのような発泡樹脂シートを保護部材として使用
することを試みたとしても保護の目的をほとんど達成することができないところ、本発明
に従ってメタロセン触媒を用いて重合することにより得られた高密度グレードのエチレン
系重合体の薄膜(a2)がエチレン系重合体発泡シート(a1)の少なくとも片面にラミネートさ
れた特定の層構成を有する複合シート(a) からなる特定の保護部材(A) を用いれば、機能
層に対する汚染物質の転写付着が有効に防止されるというすぐれた効果が奏される。
In particular, when the substrate is a substrate with a functional layer having a delicate functional layer, when a foamed resin sheet such as a foamed polyethylene sheet is used as a protective member, Since the elution component and the volatile component derived from the additive (molding aid, antistatic agent, etc.) used in molding the catalyst or the foamed resin sheet are transferred to the substrate surface, the contamination of the substrate becomes remarkable. Even if an attempt is made to use such a foamed resin sheet as a protective member, the purpose of protection can hardly be achieved, and a high-density grade ethylene system obtained by polymerization using a metallocene catalyst according to the present invention A composite film having a specific layer structure in which a polymer thin film (a2) is laminated on at least one surface of an ethylene-based polymer foam sheet (a1). The use of specific protection member made of bets (a) (A), is excellent effect that the transfer adhesion of contaminants can be effectively prevented is achieved for the functional layer.
また、本発明の保護部材(A) を用いることにより、従来のようにクッション性を有する
シートまたは離間体として「発泡樹脂シート、紙、樹脂フィルム」を介装してカラーフィ
ルタ基板の保護を図る場合に比し、カラーフィルタ面との直接接触に基く発泡樹脂シート
や樹脂フィルム由来の汚染物（樹脂中の低重合度物、成形時の添加物など）の転写付着を
効果的に防止できる。
Further, by using the protective member (A) of the present invention, the color filter substrate can be protected by interposing “foamed resin sheet, paper, resin film” as a cushioning sheet or spacer as in the past. As compared with the case, it is possible to effectively prevent the transfer adhesion of the foamed resin sheet or the contaminant derived from the resin film (low polymerization degree in the resin, additive during molding, etc.) based on the direct contact with the color filter surface.
そして、本発明に従って特定の層構成を有する複合シート(a) からなる保護部材(A) を
「基板の平置き積み重ね方式」や「基板を載せたトレイの積み重ね方式」に適用する使い
方をすれば、上記のように保護部材(A) に起因する転写汚染が有効に防止されるのみなら
ず、次のような効果、すなわち、
・保管、搬送または輸送時の省スペース化が極限にまで図られと共に、基板以外の部材
による重量増が極限にまで小さくなるので、スペースおよび重量の点で保管、搬送または
輸送時の効率が従来に比し格段に向上すること、
・そのクッション性、強度、耐加重性、硬さと弾力性とのバランスが良好であり、かつ
基板のずれ方向の動きを抑制するようになるので、基板の搬送や輸送に際し衝撃・振動が
加わったり傾いたりすることがあったときでも、基板の損傷を有効に防止できること、
・トレイ方式においては、保護部材(A) の介在によりトレイの基板支承部と基板との直
接接触がなくなるようにしてある上、上段の単位載置体と下段の単位載置体との間に隙間
を生じないようにしてあるため、取り扱い中に基板がばたついてトレイにぶつかるおそれ
がなく、トレイに起因する発塵も防止できること、
・複合シート(a) からなる保護部材(A) の繰り返し使用も可能になること、
などの効果も奏される。
Then, according to the present invention, if the protective member (A) composed of the composite sheet (a) having a specific layer structure is applied to the “substrate flat stacking method” or the “tray stacking method on the substrate”, As described above, not only the transfer contamination due to the protective member (A) is effectively prevented, but also the following effects:
・ Space saving at the time of storage, transportation or transportation is made to the limit, and the weight increase due to the members other than the substrate is reduced to the limit, so the efficiency at the time of storage, transportation or transportation is conventional in terms of space and weight Greatly improved compared to
・ It has a good balance between cushioning, strength, load resistance, hardness and elasticity, and suppresses movement in the direction of board displacement, which may cause shock and vibration during board transportation and transportation. The board can be effectively prevented from being damaged even when tilted.
-In the tray system, there is no direct contact between the substrate support part of the tray and the substrate due to the intervention of the protective member (A), and there is no gap between the upper unit mounting body and the lower unit mounting body. Since there is no gap, there is no risk of the board flapping during handling and hitting the tray, and dust generation due to the tray can be prevented.
-The protective member (A) made of the composite sheet (a) can be used repeatedly,
Effects such as are also produced.
以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.
（基板(B) ）
本発明の保護部材(A) は、基板(B) の保管、搬送または輸送を行うにあたって該基板(B
) の保護を図るための部材であるが、その保護対象としての基板(B) としては、ＬＣＤ、
ＰＤＰ、ＬＥＤ、ＯＬＥＤ、ＦＥＤ、ＳＥＤなどのフラットパネル・ディスプレイ（ＦＰ
Ｄ）の製造のためのガラス板、セラミックス板、シリコン板、プラスチックス板をはじめ
とするリジッドな板体（特にガラス板）である素板そのものを用いることができる。また
、ステンレススチール箔等の金属薄板、各種高分子フィルムのように、曲面形成、巻き取
り、巻き戻し、折り曲げなどが可能なフレキシブル基板も用いることができる。
(Substrate (B))
The protective member (A) of the present invention is used for storing, transporting or transporting the substrate (B).
) Is a member for protecting the substrate, but the substrate (B) as the protection target is an LCD,
Flat panel displays such as PDP, LED, OLED, FED, SED (FP
A base plate itself which is a rigid plate body (particularly a glass plate) including a glass plate, a ceramic plate, a silicon plate and a plastic plate for the production of D) can be used. In addition, a flexible substrate capable of forming a curved surface, winding, rewinding, folding, etc., such as a metal thin plate such as stainless steel foil and various polymer films can also be used.
しかしながら、本発明は、その保管、搬送または輸送に際してダメージを受け易く、従
来においては対処が容易でなかった機能層付き基板（素板の少なくとも片面に機能層を有
する基板）にも対しても充分に適用できるので、基板(B) としてそのような機能層付き基
板を用いる場合が特に重要である。
However, the present invention is sufficient for a substrate with a functional layer (a substrate having a functional layer on at least one side of a base plate) that has been easily damaged during storage, transportation or transportation, and which has not been easily dealt with in the past. Therefore, it is particularly important to use such a substrate with a functional layer as the substrate (B).
ここで「機能層」としては、上記の素板上に成層される透明導電膜、金属薄膜、配向膜
、液晶層、カラーフィルタ、誘電体層、有機ＥＬ層、有機半導体、金属ナノ粒子層をはじ
めとする多種多様の層があげられる。機能層は、単層であっても多層であってもよく、ま
た連続層であっても断続層であってもよい。「機能層」の「層」とは、基板上に何らかの
機能を付与した「もの」という意味である。
Here, as the “functional layer”, a transparent conductive film, a metal thin film, an alignment film, a liquid crystal layer, a color filter, a dielectric layer, an organic EL layer, an organic semiconductor, and a metal nanoparticle layer formed on the above-described base plate are used. There are a wide variety of layers, including the beginning. The functional layer may be a single layer or a multilayer, and may be a continuous layer or an intermittent layer. The “layer” of the “functional layer” means “thing” provided with some function on the substrate.
基板(B) の厚みやサイズについては特に制約はないが、リジッドな基板であるガラス基
板の場合を例にとると、本発明においては、厚みが 0.7mmとかそれ以下で、サイズがＧ６
とかＧ７以上である大サイズの基板に対しても充分に適用できるので、基板(B) としてそ
のような薄くかつ大サイズの基板を用いる場合が特に重要である。ただし、それよりも厚
みが厚い基板やそれよりもサイズが小さい基板であっても、本発明の保護部材により保護
を図ることができる。
There are no particular restrictions on the thickness and size of the substrate (B), but taking the case of a glass substrate as a rigid substrate as an example, in the present invention, the thickness is 0.7 mm or less and the size is G6.
It is particularly important to use such a thin and large-sized substrate as the substrate (B) because it can be sufficiently applied to a large-sized substrate having G7 or more. However, even a substrate having a larger thickness or a substrate having a smaller size can be protected by the protective member of the present invention.
（保護部材(A) ）
保護部材(A) は、上記の基板(B) の保管、搬送または輸送を行うにあたって該基板(B)
の保護を図るための部材である。この保護部材(A) は、以下に項を分けて述べるように、
エチレン系重合体発泡シート(a1)の少なくとも片面に、メタロセン触媒を用いて重合する
ことにより得られた高密度グレードのエチレン系重合体の薄膜(a2)がラミネートされた、
(a2)/(a1) または(a2)/(a1)/(a2)の層構成を有する複合シート(a) からなる。
(Protective member (A))
The protective member (A) is used for storing, transporting or transporting the substrate (B).
It is a member for aiming at protection. This protective member (A) is divided into the following items,
On at least one side of the ethylene polymer foam sheet (a1), a high-density grade ethylene polymer thin film (a2) obtained by polymerization using a metallocene catalyst was laminated,
The composite sheet (a) has a layer structure of (a2) / (a1) or (a2) / (a1) / (a2).
（エチレン系重合体発泡シート(a1)）
エチレン系重合体発泡シート(a1)におけるエチレン系重合体としては、エチレンの単独
重合体のほか、エチレンと他のコモノマーとの共重合体も用いることができる。後者の場
合のコモノマーの例は、炭素数が３以上のα−オレフィン、ビニルエステル、ビニルエー
テル、アクリル系モノマー、スチレン系モノマーなどである。エチレンとコモノマーとの
共重合割合は、エチレンリッチである限りにおいて種々に設定できるが、通常はコモノマ
ーの共重合割合は２０モル％程度までとすることが多い。
(Ethylene polymer foam sheet (a1))
As the ethylene polymer in the ethylene polymer foam sheet (a1), in addition to an ethylene homopolymer, a copolymer of ethylene and another comonomer can also be used. Examples of the comonomer in the latter case include α-olefins having 3 or more carbon atoms, vinyl esters, vinyl ethers, acrylic monomers, styrene monomers, and the like. The copolymerization ratio of ethylene and comonomer can be variously set as long as it is rich in ethylene, but usually the copolymerization ratio of comonomer is often up to about 20 mol%.
このエチレン系重合体は、低密度品、リニア低密度品、中密度品、高密度品のいずれで
あってもよい。エチレン系重合体を得るときの重合触媒も任意であり、たとえばチーグラ
ー触媒（チーグラー・ナッタ触媒）、フィリップス触媒、錯体クロム触媒、メタロセン触
媒などが用いられる。
The ethylene polymer may be a low density product, a linear low density product, a medium density product, or a high density product. The polymerization catalyst for obtaining the ethylene-based polymer is also arbitrary. For example, a Ziegler catalyst (Ziegler-Natta catalyst), a Philips catalyst, a complex chromium catalyst, a metallocene catalyst, or the like is used.
上記のエチレン系重合体発泡シート(a1)の発泡構造は、独立気泡、独立気泡と連続気泡
とが混在したもの、連続気泡のいずれであってもよいが、独立気泡であることが特に好ま
しく、独立気泡と連続気泡とが混在した場合でも独立気泡が主であることが好ましい。エ
チレン系重合体発泡シート(a1)の発泡倍率は、基板(B) の保護（特に基板(B) の機能層の
保護）の観点から１０〜８０倍程度が好ましい。より好ましい範囲は２０〜５０倍である
。
The foam structure of the ethylene polymer foam sheet (a1) may be closed cells, a mixture of closed cells and open cells, or open cells, but is particularly preferably closed cells, Even when closed cells and open cells are mixed, closed cells are preferred. The expansion ratio of the ethylene polymer foamed sheet (a1) is preferably about 10 to 80 times from the viewpoint of protecting the substrate (B) (particularly protecting the functional layer of the substrate (B)). A more preferable range is 20 to 50 times.
エチレン系重合体発泡シート(a1)の厚みは、マイクロメーターによる測定で、 0.2〜１
０mm程度、殊に 0.3〜５mm程度、なかんずく 0.5〜３mm程度とすることが好ましい。厚み
が余りに薄いときは緩衝性が不足し、一方厚みが余りに厚いときは、複合シート(a) の厚
みが必要以上に厚くなるので、基板(B) の保管、搬送または輸送時の占有スペースの点で
不利となるからである。
The thickness of the ethylene polymer foam sheet (a1) is 0.2 to 1 as measured by a micrometer.
It is preferably about 0 mm, especially about 0.3 to 5 mm, especially about 0.5 to 3 mm. When the thickness is too thin, the cushioning property is insufficient.On the other hand, when the thickness is too thick, the composite sheet (a) becomes thicker than necessary.Therefore, the occupied space when storing, transporting or transporting the substrate (B) is increased. This is a disadvantage.
（高密度グレードのエチレン系重合体の薄膜(a2)）
薄膜(a2)を形成するエチレン系重合体としては、メタロセン触媒を用いて重合すること
により得られた高密度グレードのエチレン系重合体が用いられ、特に、JIS K7112 法によ
り測定した密度が９４０kg/m3 以上でかつＧＰＣ法により測定した重量平均分子量Ｍw と
数平均分子量Ｍn との比Ｍw ／Ｍn が３〜６（殊に 3.2〜 5.8）のエチレン系重合体が好
適である。この高密度グレードのエチレン系重合体を製膜した薄膜(a2)を用いて後述のよ
うにして得た複合シート(a) は、腰があり、必要な耐熱性を有し、適度の緩衝性があり、
皺が発生しにくく、かつ基板(B) と接触しても該基板(B) への転写汚染（複合シート(a)
を構成する樹脂中の低重合度物や該シート成形時の添加物などに起因する転写汚染）が無
視しうるほどの極小になる。
(High-density grade ethylene polymer thin film (a2))
As the ethylene polymer forming the thin film (a2), a high-density grade ethylene polymer obtained by polymerization using a metallocene catalyst is used, and in particular, the density measured by the JIS K7112 method is 940 kg / An ethylene polymer having a ratio M w / M n of 3 to 6 (particularly 3.2 to 5.8) of m 3 or more and a weight average molecular weight M w and a number average molecular weight M n measured by GPC method is preferable. The composite sheet (a) obtained as described below using the thin film (a2) formed from the high-density grade ethylene polymer film has low stiffness, necessary heat resistance, and moderate buffering properties. There is
Fouling is difficult to occur, and transfer contamination to the substrate (B) even when in contact with the substrate (B) (composite sheet (a)
(Transfer contamination due to low polymerization degree in the resin constituting the resin and additives at the time of forming the sheet) is negligibly small.
薄膜(a2)を形成するエチレン系重合体としては、エチレンの単独重合体のほか、エチレ
ンと他のコモノマーとの共重合体も用いることができる。後者の共重合体におけるコモノ
マーの代表例は、１−ブテン、１−ヘキセン、１−オクテンをはじめとする炭素数が３以
上（たとえば３〜１８程度まで）のα−オレフィンであり、そのときのα−オレフィンの
共重合割合はたとえば２０モル％程度までとすることが多い。
As the ethylene polymer forming the thin film (a2), a copolymer of ethylene and another comonomer can be used in addition to an ethylene homopolymer. Typical examples of the comonomer in the latter copolymer are α-olefins having 3 or more carbon atoms (for example, up to about 3 to 18) including 1-butene, 1-hexene and 1-octene. The copolymerization ratio of α-olefin is often up to about 20 mol%, for example.
触媒について述べれば、たとえば従来のチーグラー触媒（チーグラー・ナッタ触媒）を
用いて重合して得たエチレン系重合体から製膜した薄膜は、たとえ高密度グレードのもの
であっても、低重合度物やシート成形時の添加物などに起因する転写汚染の点で、本発明
のようにメタロセン触媒を用いて重合した場合ほどのすぐれた効果は期待しがたい。なお
、メタロセン触媒を用いて重合してもＭw ／Ｍn が３〜６の範囲外になる場合、たとえば
Ｍw ／Ｍn 比が３未満の場合は、分子量分布が狭くなるため、Ｍw ／Ｍn が３〜６の場合
に比しては製膜性（成形性）の点では不利になる傾向があるので、Ｍw ／Ｍn が３〜６（
殊に 3.2〜 5.8）のものを用いる方が望ましい。
Regarding the catalyst, for example, a thin film formed from an ethylene polymer obtained by polymerization using a conventional Ziegler catalyst (Ziegler-Natta catalyst) has a low polymerization degree even if it is of a high-density grade. From the viewpoint of transfer contamination caused by additives during sheet molding and the like, it is difficult to expect an excellent effect as in the case of polymerization using a metallocene catalyst as in the present invention. In addition, when M w / M n is outside the range of 3 to 6 even after polymerization using a metallocene catalyst, for example, when the M w / M n ratio is less than 3, the molecular weight distribution becomes narrow, so that M w As compared with the case where / M n is 3 to 6, there is a tendency that the film forming property (moldability) is disadvantageous, so that M w / M n is 3 to 6 (
In particular, it is desirable to use the ones of 3.2 to 5.8).
密度について述べれば、薄膜(a2)を形成するエチレン系重合体は、上記のように高密度
グレードであることが要求される。一般にどのような密度のものを「高密度」ポリエチレ
ンというかについては文献によって若干の相違があるが、本発明においては、「JIS K711
2 法により測定した密度が９４０kg/m3 以上」であるエチレン系重合体を「高密度グレー
ド」と定義することにする（上限については特に限定はないが、９７０kg/m3 程度までで
ある）。
As for the density, the ethylene polymer forming the thin film (a2) is required to be a high-density grade as described above. In general, there is a slight difference in the density of what is called “high density” polyethylene depending on the literature, but in the present invention, “JIS K711
2 An ethylene polymer having a density measured by the method of 940 kg / m 3 or more is defined as a “high density grade” (the upper limit is not particularly limited, but it is up to about 970 kg / m 3 ). .
薄膜(a2)を形成するエチレン系重合体が高密度グレードであることは、低密度ないし中
密度グレードに比し、耐熱性（高い）、引張強さ（強い）、伸び（伸びにくい）、加工性
（加工しやすい）などの点で、本発明の基板保護の目的にとって有利である。
The high density grade of the ethylene polymer that forms the thin film (a2) means that it has higher heat resistance (high), tensile strength (strong), elongation (hard to stretch), and processing than low density to medium density grades. This is advantageous for the purpose of protecting the substrate of the present invention in terms of properties (easily processed).
上記のエチレン系重合体の薄膜(a2)の厚みは、５〜２００μm 程度、通常は１０〜１０
０μm 程度、特に２０〜８０μm 程度とするのが適当である。厚みが極端に薄いときは強
度不足となるおそれがある。一方、厚みを必要以上に厚くするメリットはない。
The thickness of the ethylene polymer thin film (a2) is about 5 to 200 μm, usually 10 to 10 μm.
It is appropriate that the thickness is about 0 μm, particularly about 20 to 80 μm. When the thickness is extremely thin, the strength may be insufficient. On the other hand, there is no merit of increasing the thickness more than necessary.
製膜に際しては、安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、滑剤、可塑剤、帯電防止剤など
の添加剤を添加しない無添加グレードの状態か、あるいはそれらの添加剤の添加量を著し
く制限した低添加グレードの状態で、製膜に供することが望ましい。製膜法としては、イ
ンフレーション成形法、Ｔ−ダイ成形法をはじめとする種々の成形法が採用される。
During film formation, the additive is in a non-addition grade where additives such as stabilizers, antioxidants, UV absorbers, lubricants, plasticizers, antistatic agents, etc. are not added, or the amount of these additives added is significantly limited. It is desirable to use for film formation in the state of a low addition grade. As a film forming method, various forming methods such as an inflation forming method and a T-die forming method are adopted.
（複合シート(a) ）
上記のエチレン系重合体発泡シート(a1)の少なくとも片面に上記の高密度グレードのエ
チレン系重合体の薄膜(a2)をラミネートすることにより、(a2)/(a1) または(a2)/(a1)/(a
2)の層構成を有する複合シート(a) （本発明の保護部材(A) ）が得られる。
(Composite sheet (a))
By laminating the above-mentioned high-density grade ethylene-based polymer thin film (a2) on at least one side of the above-mentioned ethylene-based polymer foamed sheet (a1), (a2) / (a1) or (a2) / (a1 ) / (a
A composite sheet (a) (protective member (A) of the present invention) having the layer structure of 2) is obtained.
このときのラミネートは、熱融着により行うことが特に好ましい。前者の発泡シート(a
1)も後者の薄膜(a2)も共にエチレン系重合体でできているので、熱融着によるラミネート
が可能である。なお、接着剤を用いるラミネート法を採用することも可能であるが、接着
剤に起因する溶出成分や揮発成分が基板(B) 面に転写付着するおそれを確実に避けるため
には、熱融着法によるラミネートが最適である。
The lamination at this time is particularly preferably performed by heat sealing. The former foam sheet (a
Since both 1) and the latter thin film (a2) are made of an ethylene polymer, lamination by heat fusion is possible. It is also possible to adopt a laminating method using an adhesive, but in order to ensure that there is no risk of the elution component or volatile component due to the adhesive being transferred and adhered to the substrate (B) surface, heat fusion is used. Lamination by the method is optimal.
このようにして得られた複合シート(a) の層構成は、(a2)/(a1) または(a2)/(a1)/(a2)
とされる。(a1)層を小分けして(a1/a1) のような複層にしたり、(a2)層を小分けして(a2/
a2) のような複層にした場合も、(a1)層や(a2)層と称することにする。ただし、そのよう
に各層を小分けすること自体は、性能上の支障とはならないが、製造コストの点では不利
になる。
The layer structure of the composite sheet (a) thus obtained is (a2) / (a1) or (a2) / (a1) / (a2)
It is said. Divide the (a1) layer into multiple layers like (a1 / a1), or subdivide the (a2) layer (a2 /
Even in the case of multiple layers such as a2), they are referred to as the (a1) layer and the (a2) layer. However, subdividing each layer as such does not hinder performance, but is disadvantageous in terms of manufacturing cost.
前者の(a2)/(a1) の層構成と後者の(a2)/(a1)/(a2)の層構成とを対比すると、後者の層
構成の方がより好ましい。というのは、後者の方がカールなどのシートの歪み（反りや波
打ち）を生じがたい上、表裏どちらの面を上または下にしても薄膜(a2)が表面にあらわれ
るので使用時に表裏を間違えることがなく、使い勝手の点でも好ましいからである。そし
て、後者の方が、エチレン系重合体発泡シート(a1)に起因する溶出成分や揮発成分などの
汚染成分の基板(B) への転写付着がより確実に防止されるからである。
When comparing the former (a2) / (a1) layer configuration with the latter (a2) / (a1) / (a2) layer configuration, the latter layer configuration is more preferable. This is because the latter is less prone to curl and other sheet distortion (warping and undulation), and the thin film (a2) appears on the surface regardless of which side is up or down. This is because it is preferable in terms of usability. The latter is because the transfer adhesion of contaminating components such as elution components and volatile components due to the ethylene polymer foam sheet (a1) to the substrate (B) is more reliably prevented.
上記の複合シート(a) は、その表裏の一方または双方の表面がフラットであっても差し
支えない。しかしながら、上記の複合シート(a) はエンボス加工されていることが特に好
ましい。エンボス加工することにより、複合シート(a) の曲げ剛性や取り扱い時の皺寄り
防止性の点で好ましいものとすることができる。エンボス加工を施すことは、基板(B) と
の間の接触面積を減ずることができるので、基板(B) 上に複合シート(a) を設置したり、
その複合シート(a) の上から基板(B) を載置したり、基板(B) から複合シート(a) を除去
したりするときの摩擦帯電の抑制の点でかなり有利となり、両者間の位置関係のずれが効
果的に防止できる。また、エンボスパターンを工夫すれば、基板(B) から複合シート(a)
を取り去るときのエア抜けを一段と円滑にすることができる。
The composite sheet (a) may be flat on one or both of the front and back surfaces. However, the composite sheet (a) is particularly preferably embossed. By embossing, the composite sheet (a) can be made preferable in terms of bending rigidity and prevention of wrinkling during handling. Since embossing can reduce the contact area with the substrate (B), the composite sheet (a) can be installed on the substrate (B),
When the substrate (B) is placed on the composite sheet (a) or the composite sheet (a) is removed from the substrate (B), it is considerably advantageous in terms of suppressing triboelectric charging. The positional relationship can be effectively prevented from shifting. Also, if the emboss pattern is devised, the composite sheet (a) from the substrate (B)
Air removal when removing the air can be further smoothed.
一般にフラットなシートにエンボス加工を施せば、シートの一方の面および他方の面に
は山部（凸部）と谷部（凹部）とが形成される。このときのパターンは、どちらかの面か
ら見た場合の凸部が、格子状、波線状、直線状、折れ線状、散在模様状（個々の模様の形
状は種々）、渦巻き状、同心円状、皺状、これらが混在したものなど、種々に設計するこ
とができる。
In general, when embossing is applied to a flat sheet, peaks (convex portions) and valleys (concave portions) are formed on one surface and the other surface of the sheet. As for the pattern at this time, the convex part when it sees from either side is a lattice shape, a wavy line shape, a straight line shape, a polygonal line shape, a scattered pattern shape (the shape of each pattern is various), a spiral shape, a concentric shape, Various designs can be made, such as a bowl shape or a mixture of these.
また、エンボスパターンは次のように分類することもできる。
１．シートの一方の面と他方の面とで凹凸が一致しているパターン（シートの切断端面
視において、どちらの面から見ても凸部−凸部同士、凹部−凹部同士が対向しているパタ
ーン）
２．シートの一方の面と他方の面とで凹凸が逆になっているパターン（シートの切断端
面視において、一方の面から見て凸部、凹部の箇所が、他方の面の対向部から見ればこの
順に凹部、凸部となっているパターン）
３．一方の面はフラットで、他方の面のみに凹凸のパターンが付与されている場合
The emboss pattern can also be classified as follows.
1. A pattern in which concaves and convexes are matched on one surface and the other surface of the sheet (a pattern in which convex portions-convex portions and concave portions-concave portions face each other when viewed from either side in the cut end view of the sheet) )
2. A pattern in which the unevenness is reversed on one side and the other side of the sheet (in the cut end view of the sheet, when the convex part and the concave part are seen from one side, it is seen from the opposite part of the other side. (Pattern that is concave and convex in this order)
3. When one surface is flat and only the other surface has an uneven pattern
そして、別の観点から見ると、エンボスパターンは、シートの一方の面および他方の面
から見たときに谷部が独立しているか連続しているかにより、次のように分類することも
できる。
イ．山部が格子状、渦巻き状、同心円状等の閉じられた連峰となっており、その山部以
外の部分が谷部となっているパターン（谷部が連峰状の山部によって閉じ込められている
パターン）
ロ．山部が独立峰となっていて、谷部が連続しているパターン（連続した谷部が複合シ
ート(a) の端辺にまで及んでいるパターン）
From another viewpoint, the emboss pattern can be classified as follows depending on whether the valleys are independent or continuous when viewed from one side and the other side of the sheet.
A. A pattern in which the peak is a closed mountain peak, such as a lattice, spiral, concentric circle, etc., and the part other than the peak is a valley (the valley is confined by a mountain peak pattern)
B. A pattern in which the peaks are independent peaks and the valleys are continuous (a pattern in which the continuous valleys extend to the edge of the composite sheet (a))
本発明において複合シート(a) としてエンボス加工を施したものを用いるときは、その
エンボスパターンに特に限定はないものの、エンボスパターンに基く基板との接触面積、
エンボスの凹部におけるエアの役割（エアクッション性やエア抜け性）などを考慮して、
エンボスパターンとして上記の１、２、３や上記のイ、ロのパターンのどれに設定するか
、あるいはそのパターンの大小や粗密をどのように設定するかについても考慮を払い、ま
た基板(B) と複合シート(a) との帯電列上の関係にも留意して、最適の設計をすべきであ
る。
When using the embossed as the composite sheet (a) in the present invention, the embossed pattern is not particularly limited, but the contact area with the substrate based on the embossed pattern,
Considering the role of air in the embossed recess (air cushioning and air release), etc.
Pay attention to whether the embossed pattern is set to the above 1, 2, 3 or the above a, b, or how to set the size or density of the pattern, and the board (B) The optimum design should be made while paying attention to the relationship between the composite sheet and the composite sheet (a).
エンボス加工におけるエンボスパターン（形、微細さ、凹凸の深さなど）は、複合シー
ト(a) 全体にわたって同一でもよいが、基板(B) の隅部や辺部を支える領域Ｉと基板(B)
のそれ以外の領域IIというように複数の領域に分けて各領域でのパターンを変化させるこ
とも好ましい。たとえば、基板(B) １枚の自重の分布や積み重ね基板(B) の積算自重の分
布を考慮して、領域Ｉのパターンと領域IIのパターンとを最適なものに設定することもで
きる。
The embossing pattern (shape, fineness, depth of unevenness, etc.) in embossing may be the same throughout the composite sheet (a), but the region I and the substrate (B) that support the corners and sides of the substrate (B)
It is also preferable to change the pattern in each region by dividing it into a plurality of regions, such as other regions II. For example, in consideration of the distribution of the weight of one substrate (B) and the distribution of the accumulated weight of the stacked substrates (B), the pattern of the region I and the pattern of the region II can be set to be optimum.
基板(B) を平置き状に積み重ねるような使い方をする場合には、下段にいくほど基板(B
) に加わる荷重が大になることを考慮して、下段側から上段側にいくにつれて複合シート
(a) のエンボスパターンを漸進的または段階的に変えていくようにしたり、複合シート(a
) を構成する(a1)や(a2)の厚みを変えていったりすることもできる。
When using the board (B) in a stack, the board (B
), The composite sheet increases from the lower side to the upper side.
The embossed pattern in (a) can be changed gradually or stepwise, or the composite sheet (a
) May be changed in thickness (a1) or (a2).
基板(B) 保護に使用するときの複合シート(a) の面積は、基板(B) の面積と同一でもよ
く、基板(B) の面積より広くしてもよく、基板(B) の面積よりやや狭くしてもよい。基板
(B) の縦横のうちの一方については複合シート(a) を同寸法とし、基板(B) の縦横のうち
の他方については複合シート(a) の方が若干はみ出るようにするなど、種々のバリエーシ
ョンが可能である。
The area of the composite sheet (a) when used for protecting the board (B) may be the same as the area of the board (B), wider than the area of the board (B), or more than the area of the board (B). It may be slightly narrower. substrate
The composite sheet (a) has the same dimensions for one of the vertical and horizontal sides of (B), and the composite sheet (a) slightly protrudes for the other of the vertical and horizontal sides of the substrate (B). Variations are possible.
複合シート(a) は、たとえばこれを基板(B) の輸送に用いた場合、１回の輸送で使い捨
てにしてもよく、複数回の輸送に繰り返し使用してもよい。
For example, when the composite sheet (a) is used for transportation of the substrate (B), it may be disposable by one transportation or may be repeatedly used for a plurality of transportations.
（基板の保護）
上記の複合シート(a) からなる保護部材(A) を用いての基板(B) の保護は、この複合シ
ート(a) を基板(B) に接触させる使い方をする限りは任意であり、斜傾した状態や立垂し
た状態で基板(B) を取り扱う場合であっても適用できる。フレキシブル基板にあっては、
該基板を巻回するときに適用したり、該基板の裁断品に適用したりすることもできる。し
かしながら、保護の対象としてガラス基板の如きリジッドな基板（特に薄くかつ大サイズ
の基板、なかんずく機能層付きの基板）を念頭に置いている後述の基板の保護方法１、２
の使い方が重要であるので、以下においてはそれらの保護方法１、２を代表的な態様とし
て詳述することにする。
(Protection of the board)
The protection of the substrate (B) using the protective member (A) made of the composite sheet (a) is optional as long as the composite sheet (a) is brought into contact with the substrate (B). This is applicable even when the substrate (B) is handled in an inclined state or a suspended state. For flexible substrates,
It can be applied when the substrate is wound, or can be applied to a cut product of the substrate. However, the following substrate protection methods 1 and 2 are intended for protection, with a rigid substrate such as a glass substrate (particularly a thin and large substrate, especially a substrate with a functional layer) in mind.
Therefore, in the following, the protection methods 1 and 2 will be described in detail as representative aspects.
（基板の保護方法１／基板の平置き積み重ね方式）
本発明の基板の保護方法１は、基板(B) の多数枚を平置き状に積み重ねた状態で保管、
搬送または輸送を行うにあたり、隣接する上下の基板(B), (B)間に上記の複合シート(a)
からなる保護部材(A) を介装して「../B/A/B/A/B/A/.. 」の積み重ね状態にすること、を
特徴とするものである。
(Protection method for board 1 / Platinum stacking system)
The substrate protection method 1 of the present invention is stored in a state in which a large number of substrates (B) are stacked in a flat state.
When carrying or transporting, the above composite sheet (a) is placed between adjacent upper and lower substrates (B) and (B).
It is characterized in that a stacked state of “../B/A/B/A/B/A/ ..” is provided via a protective member (A) made of
この保護方法１においては、上下の基板(B), (B)間に複合シート(a) からなる保護部材
(A) が介装された「../B/A/B/A/B/A/.. 」の積み重ね物が、適当な箱体や枠体内に収容さ
れた形で取り扱うのが通常である（その積み重ね物を一旦トレイ上に形成してから、適当
な箱体や枠体内に収容することもできる）。最下段の基板(B) の下には適当なクッション
材を置き、最上段の基板(B) の上にも適当なクッション材を置くことが多い。このときの
クッション材は複合シート(a) であってもよい。
In this protection method 1, a protective member comprising a composite sheet (a) between upper and lower substrates (B) and (B).
It is normal to handle a stack of “../B/A/B/A/B/A/ ..” with (A) in a form housed in a suitable box or frame. Yes (the stack can be formed once on the tray and then housed in a suitable box or frame). In many cases, an appropriate cushioning material is placed under the lowermost board (B), and an appropriate cushioning material is also placed on the uppermost board (B). The cushion material at this time may be a composite sheet (a).
基板(B) の平置き状の積み重ね枚数に制限はないが、たとえば、数１０枚から数１００
枚とすることが多い。下段に位置する基板(B) ほどそれに加わる荷重は大きくなり、最下
段の基板(B) には全段の積算荷重が加わることになるが、本発明の基板の保護方法１によ
れば、Ｇ５やＧ６サイズはもとよりＧ１０サイズやそれ以上というような基板（薄くかつ
大サイズの基板）を数１０枚から数１００枚積み重ねた場合でも、充分に輸送に耐えうる
ことを確認している。
There is no limitation on the number of flatly stacked substrates (B), but for example, several tens to several hundreds.
Often with sheets. The lower the substrate (B), the greater the load applied to it, and the lowermost substrate (B) is subjected to the total load of all stages. According to the substrate protection method 1 of the present invention, G5 It has been confirmed that even when several tens to several hundreds of G10 size or larger G10 size substrates (thin and large size substrates) are stacked, they can sufficiently withstand transportation.
この保護方法１は、隣接する上下の基板(B), (B)間に上記の複合シート(a) からなる保
護部材(A) が接触状態で介装してあるにもかかわらず、基板(B) の損傷および汚染が有効
に防止されるというメリットがあり、しかも、各段間の間隙が最小限になるので、保管、
搬送または輸送時の効率の点でも好ましいものである。
In this protection method 1, the protective member (A) made of the composite sheet (a) is interposed between the adjacent upper and lower substrates (B) and (B) in spite of being in contact with the substrate ( B) can be effectively prevented from being damaged and contaminated, and the gap between each stage is minimized, so storage,
This is also preferable from the viewpoint of efficiency during transportation or transportation.
（基板の保護方法２／基板を載せたトレイの積み重ね方式）
本発明の基板の保護方法２は、
トレイ(T) 上に基板(B) を載置した単位載置体[B/T] を多段に積み重ね配置することに
より「../[B/T]/[B/T]/[B/T]/.. 」の多段体とした状態で保管、搬送または輸送を行うに
あたり、
中間各段の単位載置体[B/T] におけるトレイ(T) の基板支承部の上面側および下面側の
双方の必要部に上記の複合シート(a) からなる保護部材(A) を配置して単位載置体[B/A/T
/A] とすることにより「../[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/.. 」の多段体とすると共に
、
隣接する上段の単位載置体[B/A/T/A] の下側に位置する保護部材(A) と下段の単位載置
体[B/A/T/A] の上側に位置する層基板(B) との間に隙間を生じないようにしたこと、
を特徴とするものである。（なお、最下段の下や最上段の上については、適当なクッショ
ン材を設けることができる。）
(Substrate protection method 2 / Tray stacking method)
The substrate protecting method 2 of the present invention comprises:
By placing unit mounting bodies [B / T] on which a substrate (B) is placed on a tray (T) in a multi-stage stack, “../[B/T]/[B/T]/[B/ T] / .. "when storing, transporting or transporting in a multi-stage state
The protective member (A) made of the above composite sheet (a) is arranged on both the upper surface side and the lower surface side of the substrate support portion of the tray (T) in the unit mounting body [B / T] at each intermediate stage. Unit mounting body [B / A / T
/ A] to make a multistage body of "../[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/ .." ,
Protective member (A) located on the lower side of the adjacent upper unit mounting body [B / A / T / A] and layer located on the upper side of the lower unit mounting body [B / A / T / A] Not to create a gap with the substrate (B),
It is characterized by. (In addition, an appropriate cushion material can be provided below the lowermost stage or above the uppermost stage.)
ここで「トレイ」とは「浅底の盆」のことであり、トレイ(C) の代表例は桟格子型のト
レイである。桟格子の例としては、周枠を除く桟が一方向に向かう平行形のものや、周枠
を除く桟が一方向およびそれと異なる方向に向かう直交または斜交型の碁盤目形のものが
あげられる。トレイ(C) は「平底を有する盆」であってもよいが、上記の桟格子型の方が
軽量化の点で有利である。
Here, the “tray” means “shallow tray”, and a typical example of the tray (C) is a grid-type tray. Examples of the crosspieces include a parallel type in which the crosspieces excluding the peripheral frame are directed in one direction, and an orthogonal or oblique grid pattern in which the crosspieces excluding the peripheral frame are directed in one direction and different directions. It is done. The tray (C) may be a “basin having a flat bottom”, but the above-mentioned bar type is more advantageous in terms of weight reduction.
トレイ(C) の基板支承部（周枠間をつなぐ桟のみでもよく、桟および周枠でもよい）に
対して複合シート(a) （保護部材(A) ）を配置するに際しては、その基板支承部と基板(B
) とが接触する部分に複合シート(a) を貼付したり巻き付けたりするなどの手段により設
ければよいが、桟の間隔が狭いときには基板(B) のほぼ全体の面積大の複合シート(a) を
基板支承部と基板(B) との間に載置するようにしてもよい。
When placing the composite sheet (a) (protective member (A)) on the substrate support part of the tray (C) (only the cross connecting between the peripheral frames or the cross frame and the peripheral frame), the substrate support And board (B
The composite sheet (a) may be attached to or wrapped around the part where it is in contact with the substrate (B) .However, when the distance between the crosspieces is narrow, the composite sheet (a ) May be placed between the substrate support and the substrate (B).
この保護方法２にあっては、隣接する上段の単位載置体[B/A/T/A] の保護部材(A) と下
段の単位載置体[B/A/T/A] の基板(B) との間に隙間を生じないようにしてあるので、搬送
や輸送時に基板(B) の浮き上がりやばたつきが効果的に解消され、基板(B) のダメージや
トレイ自体に起因する発塵を有効に防止することができる。また、各段の基板(B) 間の間
隙を最小限にすることができるので、保管、搬送または輸送時の効率の点でも好ましいも
のとなる。
In this protection method 2, the protective member (A) of the adjacent upper unit mounting body [B / A / T / A] and the substrate of the lower unit mounting body [B / A / T / A] Since there is no gap between (B) and the substrate (B) during transportation and transportation, the floating and flapping of the substrate (B) can be effectively eliminated, and dust generated due to damage to the substrate (B) and the tray itself Can be effectively prevented. In addition, since the gap between the substrates (B) at each stage can be minimized, it is preferable in terms of efficiency during storage, transportation, or transportation.
次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。 The following examples further illustrate the invention.
実施例１
図１は、本発明の基板保護用の保護部材(A) である複合シート(a) の層構成の一例を模
式的に示した切断端面図である。
Example 1
FIG. 1 is a cut end view schematically showing an example of a layer structure of a composite sheet (a) which is a protective member (A) for protecting a substrate of the present invention.
（複合シート(a) の準備）
エチレン系重合体発泡シート(a1)として、発泡倍率が３０倍でかつ厚みが１mm（増田理
化工業株式会社製のマイクロメータ「Ｍ１１０−２５」を用いて測定）の独立気泡型の低
密度ポリエチレン発泡シートを準備した。
(Preparation of composite sheet (a))
As the ethylene polymer foam sheet (a1), a closed cell type low density polyethylene foam having an expansion ratio of 30 times and a thickness of 1 mm (measured using a micrometer “M110-25” manufactured by Masuda Rika Kogyo Co., Ltd.) A sheet was prepared.
メタロセン触媒を用いて重合することにより得られた、JIS K7112 法により測定した密
度が９４１kg/m3 でかつＧＰＣ法により測定した重量平均分子量Ｍw （7.7 ×104 ）と数
平均分子量Ｍn （1.6 ×104 ）との比であるＭw ／Ｍn 比が約５の高密度グレードのエチ
レン系重合体を準備し、これを溶融成形することにより、厚み５０μm の高密度グレード
のエチレン系重合体の薄膜(a2)を得た。
The weight average molecular weight M w (7.7 × 10 4 ) and the number average molecular weight M n (measured by GPC method) obtained by polymerization using a metallocene catalyst and having a density measured by the JIS K7112 method of 941 kg / m 3 1.6 × 10 4 ), a high-density grade ethylene polymer having a M w / M n ratio of about 5 is prepared and melt-molded to obtain a high-density grade ethylene-based polymer having a thickness of 50 μm. A combined thin film (a2) was obtained.
次に、ラミネート装置を用いて、上記のエチレン系重合体発泡シート(a1)の両面に上記
の高密度グレードのエチレン系重合体の薄膜(a2)を熱融着法によりラミネートすると共に
、そのまま１対のエンボスロール間を通してエンボス加工を行った。これにより、図１に
模式的な切断端面図を示したような(a2)/(a1)/(a2)の層構成を有するエンボス加工された
厚み約 1.1mm（増田理化工業株式会社製のマイクロメーター「Ｍ１１０−２５」を用いて
測定）の複合シート(a) を得た。
Next, using the laminating apparatus, the above-mentioned high-density grade ethylene polymer thin film (a2) is laminated on both sides of the above-mentioned ethylene polymer foam sheet (a1) by the heat-sealing method, and 1 Embossing was performed between the pair of embossing rolls. As a result, an embossed thickness of about 1.1 mm (micrometer manufactured by Masuda Rika Kogyo Co., Ltd.) having a layer configuration of (a2) / (a1) / (a2) as shown in the schematic cut end view of FIG. A composite sheet (a) of the “measured using a meter“ M110-25 ”” was obtained.
（機能層付き基板(B) の準備）
機能層付き基板(B) として、厚み 0.7mmのガラス板の片面に機能層としてのカラーフィ
ルタ膜を形成したものを準備した。この機能層付き基板(B) のサイズはＧ４ないしＧ 4.5
サイズ（７３０mm×９２０mm）であり、１枚当りの重量は約 1.1kgである。
(Preparation of substrate with functional layer (B))
A substrate with a functional layer (B) was prepared by forming a color filter film as a functional layer on one side of a 0.7 mm thick glass plate. The size of the substrate with functional layer (B) is G4 to G4.5.
The size is 730mm x 920mm and the weight per sheet is about 1.1kg.
［予備的な輸送試験］
大型のケースに次のようにして機能層付き基板(B) を収容した。すなわち、まずベース
パレット上に上記の複合シート(a) を１枚敷いてから、まず最下段の機能層付き基板(B)
を置くと共にその上から上記の複合シート(a) を置き、続いて機能層を設けていない同寸
法のガラス板（素板ガラス）と上記の複合シート(a) とを平置き状に交互に積み重ねてい
って、合計６０枚の基板（最下段のみ機能層付き基板(B) ）を積み上げた。次に、その積
み上げ物の上に所定数のアルミニウム板（比重は約 2.8）を置いて荷重調節を行った。こ
れにより、最下段の機能層付き基板(B) には自身を含めて基板(B) 換算で３００枚分の荷
重がかかるようにした。なお、最下段のみ機能層付き基板(B) を用い、他は機能層を設け
ていないガラス板を用いると共に、荷重調節にアルミニウム板を用いたのは、試験費用を
抑えるためである。
[Preliminary transport test]
The substrate with the functional layer (B) was accommodated in a large case as follows. That is, first lay one composite sheet (a) on the base pallet, then first the substrate with the functional layer at the bottom (B)
And the above composite sheet (a) is placed on top of it, and then the same size glass plate (element glass) without functional layers and the above composite sheet (a) are stacked alternately in a flat position. Therefore, a total of 60 substrates (the substrate with the functional layer (B) at the bottom level only) were stacked. Next, the load was adjusted by placing a predetermined number of aluminum plates (specific gravity about 2.8) on the stack. As a result, the substrate (B) with the functional layer in the lowermost stage was loaded with a load of 300 sheets in terms of the substrate (B) including itself. The reason why the substrate (B) with a functional layer is used only at the bottom and a glass plate without a functional layer is used at the other stage and an aluminum plate is used for load adjustment is to suppress the test cost.
このようにして準備した基板(B) 入りのケースを、後述の比較例１〜３の基板(B) 入り
のケースと共にトラックに積載し、合計で３００キロメートルの輸送試験を行った。実施
例１も比較例１〜３も同じ輸送条件となる。
The case containing the substrate (B) thus prepared was loaded on a truck together with the case containing the substrate (B) of Comparative Examples 1 to 3 described later, and a transportation test of 300 km in total was conducted. Example 1 and Comparative Examples 1 to 3 have the same transportation conditions.
−比較例１−
(a2)/(a1)/(a2)の層構成を有するエンボス加工された複合シート(a) に代えて、その複
合シート(a) の製造に用いた厚み１mmのエチレン系重合体発泡シート(a1)のみを用いた場
合について、実施例１と同様の輸送試験を行った。
-Comparative Example 1-
Instead of the embossed composite sheet (a) having a layer structure of (a2) / (a1) / (a2), an ethylene polymer foam sheet (thickness 1 mm) used for producing the composite sheet (a) ( For the case where only a1) was used, the same transportation test as in Example 1 was conducted.
−比較例２−
上記の複合シート(a) の製造に用いた厚み１mmのエチレン系重合体発泡シート(a1)の両
側に、市販の高密度ポリエチレン（チーグラー触媒を用いてエチレンを重合して得られた
もの）の厚み５０μm のフィルム（薄膜(a3)とする）を熱融着法によりラミネートすると
共に、実施例１の場合と同様にしてエンボス加工を行い、(a3)/(a1)/(a3)の層構成を有す
るエンボス加工された厚み約 1.1mmの複合シートを得た。そして、この複合シートを用い
て、実施例１と同様の輸送試験を行った。
-Comparative Example 2-
Commercially available high-density polyethylene (obtained by polymerizing ethylene using a Ziegler catalyst) on both sides of a 1 mm thick ethylene polymer foam sheet (a1) used for the production of the composite sheet (a). A 50 μm-thick film (thin film (a3)) is laminated by heat fusion and embossed in the same manner as in Example 1 to form a layer structure of (a3) / (a1) / (a3) An embossed composite sheet having a thickness of about 1.1 mm was obtained. And the same transportation test as Example 1 was done using this composite sheet.
−比較例３−
上記の複合シート(a) の製造に用いた厚み１mmのエチレン系重合体発泡シート(a1)の両
側に、市販のリニア低密度ポリエチレンの厚み５０μm のフィルム（薄膜(a4)とする）を
熱融着法によりラミネートすると共に、実施例１の場合と同様にしてエンボス加工を行い
、(a4)/(a1)/(a4)の層構成を有するエンボス加工された厚み約 1.1mmの複合シートを得た
。そして、この複合シートを用いて、実施例１と同様の輸送試験を行った。
-Comparative Example 3-
On the both sides of the 1 mm thick ethylene polymer foam sheet (a1) used for the production of the composite sheet (a), a commercial linear low density polyethylene film (thin film (a4)) having a thickness of 50 μm is heat-melted. In addition to laminating by the deposition method, embossing is performed in the same manner as in Example 1 to obtain an embossed composite sheet having a layer structure of (a4) / (a1) / (a4) and a thickness of about 1.1 mm. It was. And the same transportation test as Example 1 was done using this composite sheet.
−評価方法と評価結果−
輸送試験の評価は、最下段の機能層付き基板(B) の機能層側の表面の状態を（イ）グリ
ーンランプ下での目視観察および（ロ）顕微鏡を用いての観察により調べ、汚染（発泡シ
ート(a1)や薄膜(a2, a3, a4)からの溶出分または揮発分に基く転写物）の度合いと損傷（
機能層の機械的なダメージ）の度合いを判断することにより行った。上記の実施例１およ
び比較例１〜３についての試験結果を表１に示す。
-Evaluation method and evaluation results-
In the evaluation of the transport test, the state of the surface of the functional layer side of the substrate (B) with the functional layer at the bottom is examined by (a) visual observation under a green lamp and (b) observation using a microscope. Degree and damage (transcript based on elution or volatile matter from foam sheet (a1) and thin film (a2, a3, a4))
This was done by judging the degree of mechanical damage of the functional layer. The test results for Example 1 and Comparative Examples 1 to 3 are shown in Table 1.
評価は、輸送に供する前の機能層側の表面状態を「基準」として、１０名の評価者によ
る評価点数を合計すると共にその合計点を１０で除して平均点数とした。各評価者の評価
については、 0.5、 1.5、 2.5というような中間点も許容した。
０：汚染または損傷が全く認められない（「基準」との差が認められない）。
１：汚染または損傷がかすかに認められる。
２：わずかの汚染または損傷が認められる。
The evaluation was performed by summing up the evaluation scores by 10 evaluators and dividing the total score by 10 with the surface condition on the functional layer side before being used for transportation as a “reference”. For each evaluator's evaluation, intermediate points such as 0.5, 1.5, and 2.5 were allowed.
0: No contamination or damage is observed (no difference from “standard”).
1: Slight contamination or damage is observed.
2: Slight contamination or damage is observed.
[表１]
介装シート 最下段の基板(B) の機能層の状態
の層構成 汚染の度合い 損傷の度合い
実施例１ (a2)/(a1)/(a2) 0.1 0.2
比較例１ (a1) 1.5 0.9
比較例２ (a3)/(a1)/(a3) 1.1 0.4
比較例３ (a4)/(a1)/(a4) 1.0 0.6
[Table 1]
State of the functional layer on the bottom substrate (B) of the intervening sheet
Layer structure Degree of contamination Degree of damage
Example 1 (a2) / (a1) / (a2) 0.1 0.2
Comparative Example 1 (a1) 1.5 0.9
Comparative Example 2 (a3) / (a1) / (a3) 1.1 0.4
Comparative Example 3 (a4) / (a1) / (a4) 1.0 0.6
表１の結果から、機能層付き基板(B) を平置き状に積み重ねて搬送や輸送を行うに際し
、比較例１のように機能層付き基板(B) 間に発泡シート(a1)を介装させるだけでは、機能
層付き基板(B) の積み重ね段数を多くすることができないであろうことがわかる。また、
比較例２のように(a3)/(a1)/(a3)の層構成の複合シート、比較例３のように(a4)/(a1)/(a
4)の層構成の複合シートを機能層付き基板(B) 間に介装させる場合にも、実施例１のよう
には機能層付き基板(B) の積み重ね段数を多くすることはできないであろうことがわかる
。
From the results in Table 1, when carrying and transporting the functional layer-equipped substrate (B) in a flat position, the foam sheet (a1) is interposed between the functional layer-provided substrates (B) as in Comparative Example 1. It can be seen that the number of stacked layers of the substrate with functional layer (B) cannot be increased only by making it. Also,
A composite sheet having a layer configuration of (a3) / (a1) / (a3) as in Comparative Example 2, and (a4) / (a1) / (a
Even when the composite sheet having the layer structure 4) is interposed between the functional layer-equipped substrates (B), the number of stacked layers of the functional layer-equipped substrates (B) cannot be increased as in the first embodiment. I understand that I'm deaf.
これに対し、実施例１のように(a2)/(a1)/(a2)の層構成を有する複合シート(a) を介装
させた場合には、機能層付き基板(B) を少なくとも３００枚分積み重ねた状態での輸送が
可能になることがわかる。
On the other hand, when the composite sheet (a) having the layer structure of (a2) / (a1) / (a2) is interposed as in Example 1, the substrate with functional layer (B) is at least 300. It can be seen that it is possible to transport in a stacked state.
実施例２
［大サイズの基板(B) の輸送試験］
１つのケースに次のようにして実施例１に準じて基板(B) を収容した。すなわち、ケー
スの内側の底面側に敷いた第１クッション材上に実施例１の(a2)/(a1)/(a2)の層構成の複
合シート(a) を１枚敷くと共に、その上からＧ６サイズ（１５００mm×１８５０mm、厚み
0.7mm、１枚当りの重量は約 2.7kg）の基板(B) と複合シート(a) とを平置き状に交互に
積み重ねていって、合計３０枚の基板(B) を積み上げた。次に、その積み上げ物の上に所
定数のアルミニウム板（比重は約 2.8）を置いて荷重調節を行った。これにより、最下段
の機能層付き基板(B) には自身を含めて基板(B) 換算で３００枚分の荷重がかかるように
した。ついで、アルミニウム板の上から第２クッション材を置き、最後に全体を囲むよう
に蓋をした。なお、基板(B) を積み上げに際しては、最下段、下から１０段目、下から２
０段目の３枚の基板(B) としてはＩＴＯ層付き基板(B) を用い、残りの２７枚の基板(B)
については素板ガラスを用いた。
Example 2
[Transport test of large substrate (B)]
In one case, the substrate (B) was accommodated according to Example 1 as follows. That is, on the first cushion material laid on the bottom surface inside the case, the composite sheet (a) having the layer structure of (a2) / (a1) / (a2) of Example 1 is laid, and from above G6 size (1500mm x 1850mm, thickness
The substrate (B) and the composite sheet (a) having a thickness of 0.7 mm and a weight of about 2.7 kg were alternately stacked in a flat manner, and a total of 30 substrates (B) were stacked. Next, the load was adjusted by placing a predetermined number of aluminum plates (specific gravity about 2.8) on the stack. As a result, the substrate (B) with the functional layer in the lowermost stage was loaded with a load of 300 sheets in terms of the substrate (B) including itself. Then, a second cushion material was placed on the aluminum plate, and finally a lid was placed so as to surround the whole. When stacking the board (B), the bottom, the 10th from the bottom, 2 from the bottom
As the third stage (B) of the 0th stage, the board with ITO layer (B) is used, and the remaining 27 boards (B).
About the glass plate was used.
トレーラーの荷台にこのケースを、上下２段積みで前後方向に６列に積載して（ケース
数は計１２個）、約３００キロメートルの距離のトラック輸送を行った後、最下段、下か
ら１０段目、下から２０段目に用いた機能層（ＩＴＯ層）付き基板(B) の機能層側の表面
を検査したが、機能層付き基板(B) の機能層に複合シート(a) が直接接触しているにもか
かわらず、３枚とも異常は認められなかった（判定は「合格」であった）。
This case is loaded on the trailer platform in two rows, and stacked in six rows in the front-rear direction (the number of cases is 12 in total). After transporting the truck for a distance of about 300 km, the bottom step, 10 from the bottom The surface of the functional layer side of the substrate (B) with the functional layer (ITO layer) used in the 20th step from the bottom was inspected, and the composite sheet (a) was found on the functional layer of the substrate (B) with the functional layer. Despite being in direct contact, no abnormality was observed in all three sheets (determination was “pass”).
先の実施例１およびこの実施例２のような平置き積み上げ方式による輸送方法は、各基
板間の間隔が極小になる輸送効率の良い輸送方法であるが、そのような効率的な輸送方法
が機能層付き基板(B) についても可能となること、しかも３００枚の機能層付き基板(B)
の積み重ね輸送が可能になることが実証されたことの意義は大きいものである。
The transport method using the flat stacking method as in the first embodiment and the second embodiment is a transport method with good transport efficiency in which the distance between the substrates is minimized, but such an efficient transport method is It is possible for the substrate with functional layers (B), and 300 substrates with functional layers (B)
Significantly, it has been proved that it is possible to transport a number of cars.
実施例３
［トレイ方式の輸送試験］
図２は、トレイ方式による基板(B) の載置方式におけるトレイ(T) の一例を簡略的に示
した平面図である。
図３は、図２のトレイ(T) を白抜き矢印の方向から見たときの桟格子(c2)の説明図であ
る。
図４は、各段のトレイ(T) （その桟格子(c2)には複合シート(a) を設置）に基板(B) を
載置したものを多段に積み重ねた状態を示した説明図である。
Example 3
[Tray transport test]
FIG. 2 is a plan view schematically showing an example of the tray (T) in the mounting method of the substrate (B) by the tray method.
FIG. 3 is an explanatory diagram of the crosspiece (c2) when the tray (T) of FIG. 2 is viewed from the direction of the white arrow.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state in which the trays (T) at each stage (the composite sheet (a) is installed on the grid (c2)) and the substrate (B) placed thereon are stacked in multiple stages. is there.
トレイ(C) は、図２のように、周枠(c1)と桟格子(c2)とからなる。この実施例３におい
ては、図３のように、桟格子(c2)として、アルミニウム製の桟(c2-1)の上下にそれと同巾
の発泡成形体(c2-2), (c2-2)をそれぞれ固定したものを用いている。そして、１つのトレ
イ(C) の桟格子(c2)上に１枚の基板(B) を載置したものが、多段に積み重ねられる。
As shown in FIG. 2, the tray (C) includes a peripheral frame (c1) and a grid (c2). In the third embodiment, as shown in FIG. 3, foam bars (c2-2), (c2-2) having the same width as the crosspieces (c2) above and below the aluminum crosspieces (c2-1). These are fixed ones. And what put one board | substrate (B) on the grid | lattice (c2) of one tray (C) is stacked in multiple stages.
この実施例３にあっては、それぞれの桟格子(c2)（(c2-1)/(c2-2)/(c2-1)からなる）の
上下の面に複合シート(a) が貼付設置され、その複合シート(a) を介して桟格子(c2)上に
基板(B) が載置される。その際には、下段の桟格子(c2)上に複合シート(a) を介して載置
した基板(B) の上面と、上段の桟格子(c2)に巻かれた複合シート(a) の下面との間には、
隙間があかないように設計される。
In Example 3, the composite sheet (a) is attached to the upper and lower surfaces of each bar grid (c2) (consisting of (c2-1) / (c2-2) / (c2-1)). Then, the substrate (B) is placed on the cross grating (c2) through the composite sheet (a). At that time, the upper surface of the substrate (B) placed on the lower grid (c2) via the composite sheet (a) and the composite sheet (a) wound around the upper grid (c2) Between the lower surface,
Designed so that there is no gap.
複合シート(a) として、実施例１で用いた図１の(a2)/(a1)/(a2)の層構成を有するエン
ボス加工されたものを用い、基板(B) としてＧ６サイズ（厚みは 0.7mm）のものを機能層
付き基板（実施例２と同じくガラス板の片面に機能層としてのＩＴＯ膜を形成したもの）
を用い、トレイ(C) の積み重ね段数は３０段として、約３００キロメートルの距離のトラ
ック輸送を行った後、機能層付き基板(B) の機能層側の表面を１枚１枚検査したが、全数
とも異常は認められなかった（判定は「合格」であった）。
As the composite sheet (a), an embossed one having the layer structure of (a2) / (a1) / (a2) in FIG. 1 used in Example 1 is used, and G6 size (thickness is as the substrate (B)). 0.7mm) substrate with a functional layer (as in Example 2, an ITO film as a functional layer formed on one side of a glass plate)
The number of stacked trays (C) is 30 and the truck is transported for a distance of about 300 km. Then, the surface on the functional layer side of the substrate with functional layer (B) is inspected one by one. No abnormalities were found in any of the numbers (judgment was “pass”).
本発明に従って上記特定の保護シート(a) を保護部材(A) として用いることにより、各
種の基板（殊に機能層付きの基板）の保管、搬送または輸送を行うにあたり、その基板が
薄く大サイズの基板である場合を含め、確実に該基板の保護を図ることができる。
By using the specific protective sheet (a) as the protective member (A) according to the present invention, the substrate is thin and large in size when storing, transporting or transporting various substrates (particularly substrates with functional layers). The substrate can be reliably protected including the case of the substrate.
(A) …保護部材、
(a) …複合シート、
(a1)…エチレン系重合体発泡シート、
(a2)…高密度グレードのエチレン系重合体の薄膜、
(B) …基板、
(C) …トレイ、
(c1)…周枠、
(c2)…桟格子、
(c2-1)…アルミニウム製の桟、(c2-2)…発泡成形体
(A) ... protective member,
(a)… composite sheet,
(a1) ... ethylene polymer foam sheet,
(a2) ... High-density grade ethylene polymer thin film,
(B)… Board,
(C)… Tray,
(c1) ...
(c2) ... Plate,
(c2-1) ... Aluminum bar, (c2-2) ... Foam molded body
Claims (7)
該基板(B) の保護を図るための保護部材(A) であって、該保護部材(A) が、
・エチレン系重合体発泡シート(a1)の少なくとも片面に、
・メタロセン触媒を用いて重合することにより得られた高密度グレードのエチレン系重
合体の薄膜(a2)がラミネートされた、
・(a2)/(a1) または(a2)/(a1)/(a2)の層構成を有する複合シート(a) からなること、
を特徴とする基板保護用の保護部材。 A protective member (A) for protecting the substrate (B) by contacting the substrate surface when storing, transporting or transporting the substrate (B), the protective member (A) being ,
-On at least one side of the ethylene polymer foam sheet (a1),
-A high-density grade ethylene polymer thin film (a2) obtained by polymerization using a metallocene catalyst was laminated,
The composite sheet (a) having a layer structure of (a2) / (a1) or (a2) / (a1) / (a2),
A protective member for protecting a substrate characterized by the above.
て重合することにより得られた、JIS K7112 法により測定した密度が９４０kg/m3 以上で
かつＧＰＣ法により測定した重量平均分子量Ｍw と数平均分子量Ｍn との比Ｍw ／Ｍn が
３〜６のエチレン系重合体である請求項１記載の基板保護用の保護部材。 The density measured by the JIS K7112 method obtained by polymerizing the high-density grade ethylene polymer constituting the thin film (a2) using a metallocene catalyst is 940 kg / m 3 or more and measured by the GPC method. 2. The protective member for protecting a substrate according to claim 1, which is an ethylene polymer having a ratio M w / M n of 3 to 6 of the weight average molecular weight M w and the number average molecular weight M n .
薄膜(a2)とのラミネートが熱融着によりなされている請求項１記載の基板保護用の保護部
材。 The protective member for protecting a substrate according to claim 1, wherein the ethylene polymer foam sheet (a1) and the high-density grade ethylene polymer thin film (a2) are laminated by heat-sealing.
の基板保護用の保護部材。 The protective member for protecting a substrate according to claim 1, wherein the substrate (B) is a substrate with a functional layer having a functional layer on at least one surface.
部材。 The protective member for protecting a substrate according to claim 1, wherein the composite sheet (a) is embossed.
、
隣接する上下の基板(B), (B)間に請求項１の複合シート(a) からなる保護部材(A) を介
装して「../B/A/B/A/B/A/.. 」の積み重ね状態にすること、
を特徴とする基板の保護方法。 When storing, transporting or transporting a large number of substrates (B) stacked in a flat state,
A protective member (A) composed of the composite sheet (a) according to claim 1 is interposed between adjacent upper and lower substrates (B) and (B), “../B/A/B/A/B/A / .. "
A method for protecting a substrate.
より「../[B/T]/[B/T]/[B/T]/.. 」の多段体とした状態で保管、搬送または輸送を行うに
あたり、
中間各段の単位載置体[B/T] におけるトレイ(T) の基板支承部の上面側および下面側の
双方の必要部に請求項１の複合シート(a) からなる保護部材(A) を配置して単位載置体[B
/A/T/A] とすることにより「../[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/.. 」の多段体とすると
共に、
隣接する上段の単位載置体[B/A/T/A] の下側に位置する保護部材(A) と下段の単位載置
体[B/A/T/A] の上側に位置する基板(B) との間に隙間を生じないようにしたこと、
を特徴とする基板の保護方法。 By placing unit mounting bodies [B / T] on which a substrate (B) is placed on a tray (T) in a multi-stage stack, “../[B/T]/[B/T]/[B/ T] / .. "when storing, transporting or transporting in a multi-stage state
Protective member (A) comprising the composite sheet (a) according to claim 1 on both the upper surface side and the lower surface side of the substrate support portion of the tray (T) in the unit mounting body [B / T] at each intermediate stage. Place the unit mounting body [B
/ A / T / A] is a multi-stage of "../[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/[B/A/T/A]/ .." With body,
Protective member (A) located on the lower side of the upper unit mounting body [B / A / T / A] and the substrate located on the upper side of the lower unit mounting body [B / A / T / A] (B) that no gap was created between
A method for protecting a substrate.
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