JP5312137B2 - 末端変性多官能ビニル芳香族共重合体及びレジスト組成物 - Google Patents
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Description
で表されるカテコール系化合物由来の末端基を有し、数平均分子量が500〜10,000であり、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、キシレン、テトラヒドロフラン、エタノール又はイソプロパノールに可溶であることを特徴とする多官能ビニル芳香族共重合体である。
多官能芳香族共重合体の分子量及び分子量分布測定はGPC(東ソー製、HLC−8120GPC)を使用し、溶媒にテトラヒドロフラン、流量1.0ml/min、カラム温度38℃、単分散ポリスチレンによる検量線を用いて行った。
日本電子製JNM−LA600型核磁気共鳴分光装置を用い、13C−NMR及び1H−NMR分析により決定した。溶媒としてクロロホルム−d1を使用し、テトラメチルシランの共鳴線を内部標準として使用した。
3)末端基の解析
末端基の算出は、上記のGPC測定より得られる数平均分子量と1H−NMR測定と元素分析の結果より得られるモノマー総量に対する末端基を導入するために使用した誘導体量とから、多官能ビニル芳香族共重合体1分子中に含まれる末端基数を算出した。
乾燥後の厚さが20μmになるように、ガラス基板に多官能ビニル芳香族共重合体溶液を均一に塗布し、ホットプレートを用いて90分で30分間加熱し、乾燥させた。ガラス基板とともに得られた樹脂膜はTMA(熱機械分析装置)にセットし、窒素気流下、昇温速度10℃/分で220℃まで昇温し、更に220℃で20分間加熱処理することにより残存する溶媒を除去するとともに多官能ビニル芳香族共重合体を硬化した。ガラス基板を室温まで放冷した後、TMA測定装置中の試料に分析用プローブを接触させ、窒素気流下、昇温速度10℃/分で30℃から360℃までスキャン測定を行い、接線法で軟化温度を求めた。
得られたパターンの形状は、走査型電子顕微鏡を用いて観察した。更に,現像後のシリコーンウエハーを130℃の高温で5分間ベークし,パターンの劣化の状態を同様に走査型電子顕微鏡により観察し、目視にて
◎:加熱前後のパターン形状の変化全くなし
○:矩形は維持しているが、加熱前後のパターン形状に若干の変化が見られる
×:加熱後、熱垂れのためパターン劣化
と評価した。
25℃の各種有機溶媒(アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、キシレン、テトラヒドロフラン、エタノール及びイソプロパノール)100mlに対し、共重合体1gを加え、マグネチックスターラーを用いて30分攪拌した後に目視で溶解性を確認した。完全に溶解した場合を可溶性とした。また、アルカリ水溶液への溶解試験としては、共重合体1.0gをエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート15gに溶かして溶液とし、スピンコート法によりシリコーンウエハー上に成膜した。膜厚は乾燥後の膜厚で約1μmとなるような回転数で塗布した。80℃で20分間プリベークを行った。この共重合体薄膜に対し、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液(花王株式会社製、クリーンスルーKS−5020)を用いて25秒間現像を行い、残存膜厚を測定した。残存膜厚がゼロであった場合を可溶性とし溶解性を確認した。
ジビニルベンゼン1.701モル(242.3mL)、エチルビニルベンゼン0.399モル(56.8mL)、アセナフチレン0.900モル(137.0g)、カテコール3.15モル(346.8g)、酢酸ブチル400.0mL、トルエン800.0mLを3.0Lの反応器内に投入し、60℃で50ミリモルの三フッ化ホウ素のジエチルエーテル錯体を添加し、60℃で1時間、90℃で3時間反応させた。重合反応をメタノールで停止させた後、室温で反応混合液を大量のヘキサンに投入し、重合体を析出させた。得られた重合体をメタノールに溶解させ、少量の塩酸を溶解させた大量の水中に投入して重合体を析出させた、水洗、濾別、乾燥、秤量して、共重合体A 311.12gを得た。
共重合体Aはメタノール、エタノール、THF、アセトン、メチルエチルケトンなどの有機溶剤に可溶であった。また、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの水溶液にも可溶であり、アルカリ可溶性を有していた。ゲルの生成は認められなかった。
ジビニルベンゼン2.098モル(298.8mL)、エチルビニルベンゼン0.492モル(70.1mL)、スチレン0.410モル(47.0mL)、カテコール3.15モル(346.8g)、酢酸ブチル400.0mL、トルエン800.0mLを3.0Lの反応器内に投入し、50℃で50ミリモルの三フッ化ホウ素のジエチルエーテル錯体を添加し、50℃で3時間、90℃で3時間反応させた。重合反応をメタノールで停止させた後、室温で反応混合液を大量のヘキサンに投入し、重合体を析出させた。得られた重合体をメタノールに溶解させ、少量の塩酸を溶解させた大量の水中に投入して重合体を析出させた、水洗、濾別、乾燥、秤量して、共重合体B 393.78gを得た。
共重合体Bはメタノール、エタノール、THF、アセトン、メチルエチルケトンなどの有機溶剤に可溶であった。また、2.38%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの水溶液にも可溶であり、アルカリ可溶性を有していた。ゲルの生成は認められなかった。
ジビニルベンゼン2.098モル(298.8mL)、エチルビニルベンゼン0.492モル(70.1mL)、スチレン0.410モル(47.0mL)、フェノール3.15モル(346.8g)、酢酸ブチル400.0mL、トルエン800.0mLを3.0Lの反応器内に投入し、50℃で50ミリモルの三フッ化ホウ素のジエチルエーテル錯体を添加し、50℃で3時間、90℃で3時間反応させた。重合反応をメタノールで停止させた後、室温で反応混合液を大量のヘキサンに投入し、重合体を析出させた。得られた重合体をメタノールに溶解させ、少量の塩酸を溶解させた大量の水中に投入して重合体を析出させた、水洗、濾別、乾燥、秤量して、共重合体C 339.45gを得た。
共重合体Cはメタノール、エタノール、THF、アセトン、メチルエチルケトンといった有機溶剤に可溶であった。しかし、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いた場合、残膜率は80%であり、更に強い15.0%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を使用した場合でも30%の残膜率であり、パターン形成が可能なアルカリ可溶性は示さなかった。一方、ゲルの生成は認められなかった。
合成例1で得られた共重合体A2.3g、アセトン15mlを50mlフラスコに仕込み、溶解させた。これにジt−ブチルジカーボネート1.09g(0.005mol)、無水炭酸カリウム0.76g(0.0055mol)を加え、50℃で15時間攪拌を行った。得られた反応液から塩類を除去した後、500mlの0.1%塩酸に投入し、生じた沈澱物を濾過した。50℃で真空乾燥後、得られた固形分をTHF15mlに溶解させ、不溶解成分を除去後、500mlの0.1%塩酸に投入し、生じた沈澱を濾過した(再沈操作)。この再沈操作を2回繰り返した後、乾燥し、2.68gのt−ブチルオキシカルボニルオキシ基を導入した共重合体(共重合体D)を得た。共重合体Dは、Mn=1010であり、t−ブチルオキシカルボニルオキシ基/フェノール性水酸基の比率は、24/76であった。
合成例2で得られた共重合体Bを使用したこと以外は、実施例5と同様の方法によりt−ブチルオキシカルボニルオキシ基を導入した共重合体(共重合体E)を得た。得られた重合体は、Mn=1430であり、t−ブチルオキシカルボニルオキシ基/フェノール性水酸基の比率は、29/71であった。
合成例3で得られた共重合体Cを使用したこと以外は、実施例5と同様の方法によりt−ブチルオキシカルボニルオキシ基を導入した共重合体(共重合体F)を得た。得られた重合体は、Mn=1360であり、t−ブチルオキシカルボニルオキシ基/フェノール性水酸基の比率は、25/75であった。
実施例1〜2及び比較例1で得られた共重合体D〜Fと、下記式(PAG1〜4)で示される酸発生剤と、下記式(DRI1)又は(DRI2)で示される溶解阻止剤を表1に示す組成で溶媒に溶解し、これを0.2μmのテフロン(登録商標)製フィルターで濾過することにより、ポジ型レジスト組成物溶液を調製した。
DGLM:ジエチレングリコールジメチルエーテル
NMP:2−メチルピロリジノン
Claims (6)
- ジビニル芳香族化合物由来の構造単位(a)及びモノビニル芳香族化合物由来の構造単位(b)を含む共重合体であって、その末端に平均して1分子あたり1個以上の下記式(1)
で表されるカテコール系化合物由来の末端基を有し、ジビニル芳香族化合物由来の構造単位(a)及びモノビニル芳香族化合物由来の構造単位(b)の存在モル分率をそれぞれa及びbとしたとき、a/(a+b)=0.4〜0.95を満足し、末端ビニル基が全構造単位の0.5〜20モル%であり、数平均分子量が500〜10,000であり、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、キシレン、テトラヒドロフラン、エタノール又はイソプロパノールに可溶であることを特徴とする多官能ビニル芳香族共重合体。 - ジビニル芳香族化合物由来の構造単位(a)及びモノビニル芳香族化合物由来の構造単位(b)の存在モル分率をそれぞれa及びbとしたとき、a/(a+b)=0.50〜0.90、及び末端ビニル基が全構造単位の1〜10モル%であることを満足し、且つ酸不安定基が炭素数3〜10のアルキル基、炭素数3〜30のトリアルキルシリル基、−CH 2 C(=O)O−R 3 (R 3 は炭素数1〜10のアルキル基を表す)で表されるアルキルオキシカルボニルメチル基、又は−C(=O)O−R 3 (R 3 は炭素数1〜10のアルキル基を表す)で表されるアルキルオキシカルボニル基である請求項1に記載の多官能ビニル芳香族共重合体。
- モノビニル芳香族化合物由来の構造単位(b)を与えるモノビニル芳香族化合物が、スチレン、エチルビニルベンゼン、ビニルナフタレン、核置換ビニルナフタレン、ビニルビフェニル、核置換ビニルビフェニル、アセナフチレン、核置換アセナフチレン、ビニルアントラセン、核置換ビニルアントラセンからなる群から選ばれるモノビニル芳香族化合物である請求項1又は2に記載の多官能ビニル芳香族共重合体。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の多官能ビニル芳香族共重合体を含有することを特徴とするレジスト組成物。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の多官能ビニル芳香族共重合体と酸発生剤を含有してなることを特徴とする化学増幅ポジ型レジスト組成物。
- 更に、溶解阻止剤が含有された請求項5に記載の化学増幅ポジ型レジスト組成物。
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