JP5304170B2 - COLOR FILTER, COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD, AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE USING THE SAME - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a color filter for compensating a defect without increasing processes in compensating the defect included in a spacer formed by stacking a colored layer, and to provide a method of manufacturing the color filter. <P>SOLUTION: The spacer 4 is formed by stacking a colored layer of at least two of three primary colors, a transparent electrode film 5 and an insulating layer 17 also serving for adjustment of the height of the spacer are disposed on the spacer, and the transparent electrode film on the colored layer has a slit 6 for regulating the alignment of liquid crystal. The insulating layer is made of the same material as that of an etching protection film used for forming the slit in the transparent electrode film. The method of manufacturing the color filter includes a process of forming the etching protection film 15 having an insulating layer and an opening by exposure and development to a photoresist layer 10, forming the slit 6, and peeling the etching protection film. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、着色層を積層して形成されたスペーサが有する欠点を補う際に、工程を増やすことなく、欠点を補うにことのできるカラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法、並びに該カラーフィルタを用いた液晶表示装置に関する。   The present invention relates to a color filter for a liquid crystal display device, and in particular, a color filter capable of compensating for a defect without increasing the number of steps when compensating for the defect of a spacer formed by laminating colored layers. The present invention also relates to a method for manufacturing a color filter, and a liquid crystal display device using the color filter.

図1は、着色層を積層して形成したスペーサが設けられ、着色層上の透明電極膜に液晶の配向を規制するスリットが設けられた液晶表示装置用カラーフィルタの一例の断面図である。図1は、着色層が赤色、緑色、青色の順に形成されたカラーフィルタの赤色着色層と緑色着色層の間を拡大した示したものである。   FIG. 1 is a cross-sectional view of an example of a color filter for a liquid crystal display device in which a spacer formed by laminating colored layers is provided, and a transparent electrode film on the colored layer is provided with a slit for regulating the alignment of liquid crystal. FIG. 1 shows an enlarged view of a space between a red colored layer and a green colored layer of a color filter in which the colored layers are formed in the order of red, green, and blue.

図1に示すように、このカラーフィルタ(CF1)は、透明基板(1)上に、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、(3B))、スペーサ(4)、透明電極膜(5)が順次に形成されたものである。スペーサ(4)は、赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)、青色着色層(3B’)を積層して形成されたものである。スリット(6)は、液晶の配向を規制するものであり、透明電極膜(5)へのフォトエッチングによって形成されたものである。   As shown in FIG. 1, this color filter (CF1) is formed on a transparent substrate (1) on a black matrix layer (2), three colored layers (3R, 3G, (3B)), a spacer (4), Transparent electrode films (5) are sequentially formed. The spacer (4) is formed by laminating a red colored layer (3R '), a green colored layer (3G'), and a blue colored layer (3B '). The slit (6) regulates the orientation of the liquid crystal, and is formed by photoetching the transparent electrode film (5).

透明電極膜(5)は、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、3B)、スペーサ(4)が形成された透明基板(1)の全面に一旦設けられるが、次に、3色の着色層(3R、3G、3B)上の透明電極膜(5)には、上記スリット(6)が形成され、また、スペーサ(4)の上部及び側部の透明電極膜(5)は、対向基板(図示せず)との短絡を防ぐために、上記フォトエッチング時に除去されている。   The transparent electrode film (5) is once provided on the entire surface of the transparent substrate (1) on which the black matrix layer (2), the three colored layers (3R, 3G, 3B) and the spacer (4) are formed. In addition, the slit (6) is formed in the transparent electrode film (5) on the three colored layers (3R, 3G, 3B), and the transparent electrode films (on the upper and side portions of the spacer (4) ( 5) is removed during the photoetching to prevent short circuit with the counter substrate (not shown).

従来、液晶パネルの基板間のギャップを保持するスペーサは、スペーサとして適切な弾性特性を有し、液晶に溶出する不純物を含有しない材料を用い、所望する高さに、3色の着色層の形成とは別工程で、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、3B)、透明電極膜(5)が形成された透明基板(1)上に、1層でスペーサを設けていた。
図1に示すスペーサ(4)は、カラーフィルタを製造する際の工程数を削減するために、3色の着色層(3R’、3G’、3B’)で代替えしたものである。
Conventionally, a spacer that holds a gap between substrates of a liquid crystal panel has a suitable elastic property as a spacer, and uses a material that does not contain impurities that are eluted in liquid crystal, and forms a three-color colored layer at a desired height. A spacer is provided in a single layer on the transparent substrate (1) on which the black matrix layer (2), the three colored layers (3R, 3G, 3B) and the transparent electrode film (5) are formed. It was.
The spacer (4) shown in FIG. 1 is replaced with three colored layers (3R ′, 3G ′, 3B ′) in order to reduce the number of steps when manufacturing a color filter.

従って、図1に示すような、着色層を積層して形成されたスペーサ(4)は、その高さを任意に調整することができないといった欠点を有している。積層して形成されたスペーサの高さを調整する手法としては、例えば、3色の着色層(3R、3G、3B)の膜厚を変える手法が挙げられる。しかし、単に同一材料の着色フォトレジストで3色の着色層の膜厚を変えると、得られた3色の着色層の色濃度が変化するといった弊害が発生する。   Therefore, the spacer (4) formed by laminating the colored layers as shown in FIG. 1 has a drawback that the height cannot be arbitrarily adjusted. As a method of adjusting the height of the spacer formed by stacking, for example, a method of changing the film thickness of the three colored layers (3R, 3G, 3B) can be given. However, when the film thickness of the three colored layers is simply changed with colored photoresists of the same material, there is a problem that the color density of the obtained three colored layers changes.

この弊害を除くには、すなわち、着色層の膜厚を変えても、着色層の色濃度を変化させないためには、例えば、着色フォトレジストの顔料濃度を変えることになる。つまり、所望する高さのスペーサを得るために、特定の顔料濃度の着色フォトレジストを調製することになるといった煩雑さが伴う。   In order to eliminate this adverse effect, that is, in order not to change the color density of the colored layer even if the thickness of the colored layer is changed, for example, the pigment concentration of the colored photoresist is changed. In other words, in order to obtain a spacer having a desired height, it is complicated to prepare a colored photoresist having a specific pigment concentration.

また、着色層を積層して形成されたスペーサは、スペーサとして求められる弾性特性を十分には満たすことが出来ないといった欠点を有している。
スペーサは、基板間のギャップを設定しており、パネルに荷重が加わると変形し、荷重が取り除かれると復元する弾性特性が求められている。また、温度による液晶の熱膨張及び熱収縮に追従して変形する特性が求められている。
Moreover, the spacer formed by laminating the colored layers has a drawback that it cannot sufficiently satisfy the elastic characteristics required for the spacer.
The spacer sets a gap between the substrates, and is required to have an elastic characteristic that deforms when a load is applied to the panel and restores when the load is removed. Further, there is a demand for a characteristic that deforms following the thermal expansion and contraction of liquid crystal depending on temperature.

この弾性特性が適切でないと、液晶表示装置の使用時の環境が、例えば、−20℃というような低温の環境下では、液晶セルを構成する部材はすべて収縮しようとする。構成する部材の中では液晶の収縮率が最も大きいため、基板間のギャップを小さくする方向に収縮しようとする。このとき、基板間のギャップが収縮しようとする変化量に対し、フォトスペーサーの変形が追従できなくなると、パネル内部に負圧が生じ、その結果パネル内に真空気泡(低温気泡)が発生することになる。   If this elastic characteristic is not appropriate, all the members constituting the liquid crystal cell tend to contract under the environment where the liquid crystal display device is used, for example, at a low temperature such as −20 ° C. Among the constituent members, the contraction rate of the liquid crystal is the largest, so it tends to shrink in the direction of reducing the gap between the substrates. At this time, if the deformation of the photo spacer cannot follow the amount of change that the gap between the substrates tends to shrink, a negative pressure is generated inside the panel, resulting in the generation of vacuum bubbles (cold bubbles) in the panel. become.

また、図1に示すスペーサ(4)では、3色の着色層(3R’、3G’、3B’)は、液晶に接することになり、着色層からの不純物(イオン、顔料)が液晶に溶出し易く、液晶の配向不良を引き起し表示不良の原因となる。スペーサ(4)の側部は、着色層が光硬化する際に、着色層の表面よりも内部の方が光が届き難く光硬化が弱いため、側部からの溶出の恐れが大きい。   In the spacer (4) shown in FIG. 1, the three colored layers (3R ′, 3G ′, 3B ′) are in contact with the liquid crystal, and impurities (ions, pigments) from the colored layer are eluted into the liquid crystal. This easily causes alignment failure of the liquid crystal and causes display failure. When the colored layer is photocured, the side of the spacer (4) is less likely to reach the inside than the surface of the colored layer, and the photocuring is weak.

図2は、このような、着色層を積層して形成されたスペーサが有する欠点を補う手法として容易に考えられる手法を用いたカラーフィルタの一例の断面図である。図2に示す、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、(3B))、スペーサ(4)が形成された透明基板(1)上の全面に設けられた透明電極膜(5)についてみると、3色の着色層上の透明電極膜(5)には、スリット(6)が形成されており、スペーサ(4)の上部及び側部の透明電極膜(5)は、除去されずに残されている。
また、スペーサ(4)上には、透明電極膜(5)を介してスペーサの高さを任意に高さにするための調整層(7)が設けられている。この調整層(7)は、対向基板との短絡を防ぐための絶縁層を兼ねている。
FIG. 2 is a cross-sectional view of an example of a color filter using a technique that can be easily considered as a technique for compensating for the drawbacks of a spacer formed by laminating colored layers. The transparent electrode film provided on the entire surface of the transparent substrate (1) on which the black matrix layer (2), the three colored layers (3R, 3G, (3B)) and the spacer (4) are formed as shown in FIG. As for (5), slits (6) are formed in the transparent electrode film (5) on the colored layers of three colors, and the transparent electrode films (5) on the upper and side portions of the spacer (4) are Left unremoved.
On the spacer (4), an adjustment layer (7) for arbitrarily increasing the height of the spacer via the transparent electrode film (5) is provided. This adjustment layer (7) also serves as an insulating layer for preventing a short circuit with the counter substrate.

確かに、図2に示すカラーフィルタ(CF2)によれば、スペーサの高さを所望する高さに任意に調整することが可能となり、着色層からの不純物の溶出は改善されたものとなる。しかしながら、このカラーフィルタにては、図1に示すカラーフィルタ(CF1)と比較して、調整層(7)を形成する工程が増えることになる。   Certainly, according to the color filter (CF2) shown in FIG. 2, the height of the spacer can be arbitrarily adjusted to a desired height, and the elution of impurities from the colored layer is improved. However, in this color filter, as compared with the color filter (CF1) shown in FIG. 1, the number of steps for forming the adjustment layer (7) is increased.

すなわち、前記従来における、スペーサとして適切な弾性特性を有し、液晶に溶出する不純物を含有しない材料を用い、所望する高さに、3色の着色層の形成とは別工程で、透明電極膜が形成された透明基板上に設けていた、1層のスペーサと対比すると、図2に示すスペーサを有するカラーフィルタ(CF2)は優位なものとはいえない。   That is, the transparent electrode film is formed in a separate process from the formation of the three-colored colored layer at a desired height by using a material having an appropriate elastic property as a spacer and containing no impurities that are eluted in the liquid crystal. The color filter (CF2) having the spacer shown in FIG. 2 cannot be said to be superior to the one-layer spacer provided on the transparent substrate on which is formed.

また、特開2002−6132には、着色層を積層して形成されたスペーサが有する欠点を補う他の手法が開示されている。図3は開示されたカラーフィルタの一例の断面図である。図3に示すように、このカラーフィルタ(CF3)は、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、(3B))、スペーサ(4)が形成された透明基板(1)上の全面に透明保護層(8)が設けられ、次に、該透明保護層(8)上の全面に透明電極膜(5)が設けられ、続いて、3色の着色層上方の透明電極膜(5)にスリット(6)が形成され、また、スペーサ(4)上の透明保護層(8)の上部及び側部の透明電極膜(5)が除去されているものである。
この透明保護層(8)は、スペーサ(4)の高さを制御することを可能としている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-6132 discloses another technique that compensates for a defect of a spacer formed by stacking colored layers. FIG. 3 is a cross-sectional view of an example of the disclosed color filter. As shown in FIG. 3, the color filter (CF3) includes a transparent substrate (1) on which a black matrix layer (2), three colored layers (3R, 3G, (3B)), and a spacer (4) are formed. A transparent protective layer (8) is provided on the entire upper surface, and then a transparent electrode film (5) is provided on the entire upper surface of the transparent protective layer (8), followed by a transparent electrode above the three colored layers. The slit (6) is formed in the film (5), and the transparent electrode film (5) on the upper and side portions of the transparent protective layer (8) on the spacer (4) is removed.
This transparent protective layer (8) makes it possible to control the height of the spacer (4).

確かに、図3に示すカラーフィルタ(CF3)によれば、スペーサの高さを所望する高さに任意に調整することが可能となり、着色層からの不純物の溶出は抑制されたものとなる。しかしながら、このカラーフィルタにては、図1に示すカラーフィルタ(CF1)と
比較して、透明保護層(8)を形成する工程が増えることになる。
Certainly, according to the color filter (CF3) shown in FIG. 3, the height of the spacer can be arbitrarily adjusted to a desired height, and the elution of impurities from the colored layer is suppressed. However, in this color filter, the number of steps for forming the transparent protective layer (8) is increased compared to the color filter (CF1) shown in FIG.

すなわち、前記従来における、スペーサとして適切な弾性特性を有し、液晶に溶出する不純物を含有しない材料を用い、所望する高さに、3色の着色層の形成とは別工程で、透明電極膜が形成された透明基板上に設けていた、1層のスペーサと対比すると、図3に示すスペーサを有するカラーフィルタは優位なものとはいえない。
特開2002−6132号公報 特開2001−75103号公報 特許第3255107号公報 特許第3651874号公報
That is, the transparent electrode film is formed in a separate process from the formation of the three-colored colored layer at a desired height by using a material having an appropriate elastic property as a spacer and containing no impurities that are eluted in the liquid crystal. In contrast to the single layer spacer provided on the transparent substrate on which the color filter is formed, the color filter having the spacer shown in FIG. 3 cannot be said to be advantageous.
JP 2002-6132 A JP 2001-75103 A Japanese Patent No. 3255107 Japanese Patent No. 3651874

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、着色層を積層して形成したスペーサが設けられ、着色層上の透明電極膜に液晶の配向を規制するスリットが設けられた液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、着色層を積層して形成されたスペーサが有する欠点を補うに際し、調整層を設ける工程、或いは透明保護層を設ける工程を増やすことなく、欠点を補うにことのできるカラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法を提供することを課題とするものである。
また、上記カラーフィルタを用いた液晶表示装置を提供することを課題とする。
The present invention has been made in order to solve the above-described problem, and a spacer formed by laminating a colored layer is provided, and a slit for regulating the alignment of liquid crystal is provided in the transparent electrode film on the colored layer. In a color filter for a liquid crystal display device, it is possible to compensate for a defect without increasing the step of providing an adjustment layer or the step of providing a transparent protective layer when the defect of a spacer formed by stacking colored layers is compensated. It is an object of the present invention to provide a color filter and a method for manufacturing the color filter.
It is another object of the present invention to provide a liquid crystal display device using the color filter.

本発明は、透明基板上にブラックマトリックス層、3原色の着色層、スペーサ、透明電極膜を備えた液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、該スペーサは、該3原色の内の少なくとも2原色の着色層を積層して形成され、該スペーサ上に透明電極膜及びスペーサの高さの調整を兼ねた絶縁層を有し、かつ、前記スペーサ上の絶縁層は、スペーサ上部から下部までを覆い被せるように形成され、かつ、前記スペーサ上の絶縁層は、透明電極膜にスリットを形成する際に用いるエッチング保護膜と同一材料で形成されるとともに、前記材料がアルカリ可溶性のポジ型感光性樹脂であり、該3原色の着色層上の透明電極膜は、液晶の配向を規制するスリットを有することを特徴とするカラーフィルタである。 The present invention relates to a color filter for a liquid crystal display device comprising a black matrix layer, three primary color layers, a spacer, and a transparent electrode film on a transparent substrate, wherein the spacer is a color layer of at least two primary colors of the three primary colors. The transparent electrode film and the insulating layer that also adjusts the height of the spacer are formed on the spacer , and the insulating layer on the spacer covers the spacer from the top to the bottom. And the insulating layer on the spacer is formed of the same material as the etching protective film used when forming the slit in the transparent electrode film, and the material is an alkali-soluble positive photosensitive resin, The transparent electrode film on the colored layers of the three primary colors is a color filter having a slit for regulating the alignment of liquid crystal.

また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記スペーサは、ブラックマトリックス層上に形成されたことを特徴とするカラーフィルタである。   The present invention also provides the color filter according to the above invention, wherein the spacer is formed on a black matrix layer.

また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記3原色の着色層を積層する層数を変え、高さの異なる2種以上のスペーサを有することを特徴とするカラーフィルタである。   Further, the present invention is the color filter according to the above-described invention, wherein the number of layers for stacking the three primary color layers is changed and two or more kinds of spacers having different heights are provided.

また、本発明は、請求項〜請求項のいずれか1項に記載するカラーフィルタを製造する製造方法であって、少なくとも、
1)ブラックマトリックス層、3色の着色層、スペーサ、透明電極膜が形成された透明基板上に、絶縁層及びエッチング保護膜を形成するためのフォトレジスト層を形成する工程、
2)半透光部にITO膜を用いた多諧調マスクであるフォトマスクを介したフォトレジスト層への露光、現像により、絶縁層、及びスリットの形成に対応した開口部を有するエッチング保護膜を形成する工程、
3)エッチング処理により、透明電極膜にスリットを形成する工程、
4)着色層上方の透明電極膜上のエッチング保護膜を剥離する工程、を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
Further, the present invention is a manufacturing method for manufacturing a color filter according to any one of claims 1 to 3, at least,
1) A step of forming a photoresist layer for forming an insulating layer and an etching protective film on a transparent substrate on which a black matrix layer, three colored layers, a spacer, and a transparent electrode film are formed,
2) An etching protective film having an opening corresponding to the formation of an insulating layer and a slit by exposing and developing the photoresist layer through a photomask which is a multi-tone mask using an ITO film in a semi-transparent portion. Forming step,
3) forming a slit in the transparent electrode film by etching,
4) A step of peeling off the etching protective film on the transparent electrode film above the colored layer.

また、本発明は、請求項に記載するカラーフィルタを製造する製造方法であって、スペーサを構成する3原色の着色層の形成に対応したパターンとして、積層する層数に準じたパターンを有する各3原色用のフォトマスクを用いることを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。 In addition, the present invention is a manufacturing method for manufacturing the color filter according to claim 3 , and has a pattern according to the number of layers to be stacked as a pattern corresponding to the formation of the three primary color layers constituting the spacer. A color filter manufacturing method using a photomask for each of the three primary colors.

また、本発明は、請求項1〜請求項のいずれか1項に記載するカラーフィルタを用いたことを特徴とする液晶表示装置である。 In addition, the present invention is a liquid crystal display device using the color filter according to any one of claims 1 to 3 .

本発明は、透明基板上にブラックマトリックス層、3原色の着色層、スペーサ、透明電極膜を備えた液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、該スペーサは、該3原色の内の少なくとも2原色の着色層を積層して形成され、該スペーサ上に透明電極膜、及びエッチング保護膜と同一材料で形成された、スペーサの高さの調整を兼ねた絶縁層を有し、該3原色の着色層上の透明電極膜は、液晶の配向を規制するスリットを有するので、着色層を積層して形成されたスペーサが有する欠点を補うに際し、工程を増やすことなく、欠点を補うにことのできるカラーフィルタとなる。   The present invention relates to a color filter for a liquid crystal display device comprising a black matrix layer, three primary color layers, a spacer, and a transparent electrode film on a transparent substrate, wherein the spacer is a color layer of at least two primary colors of the three primary colors. On the spacer, and formed of the same material as the transparent electrode film and the etching protective film, and having an insulating layer that also adjusts the height of the spacer, on the colored layer of the three primary colors Since the transparent electrode film has slits that regulate the alignment of the liquid crystal, it becomes a color filter that can compensate for the defects without increasing the number of steps when compensating for the defects of the spacer formed by stacking the colored layers. .

また、スペーサ上の絶縁層は、スペーサ上部から下部までを覆い被せるように形成されているので、液晶への着色層からの不純物の溶出を防ぐことができる。
これにより、液晶の配向の乱れが抑制され、液晶表示装置のコントラストが向上し、表示品位は良好なものとなる。
Further, since the insulating layer on the spacer is formed so as to cover from the upper part to the lower part of the spacer, the elution of impurities from the colored layer to the liquid crystal can be prevented.
Thereby, disorder of the alignment of the liquid crystal is suppressed, the contrast of the liquid crystal display device is improved, and the display quality is improved.

また、本発明は、1)ブラックマトリックス層、3色の着色層、スペーサ、透明電極膜が形成された透明基板上に、絶縁層及びエッチング保護膜を形成するためのフォトレジスト層を形成する工程、2)フォトマスクを介したフォトレジスト層への露光、現像により、絶縁層及びスリットの形成に対応した開口部を有するエッチング保護膜を形成する工程、3)エッチング処理により、透明電極膜にスリットを形成する工程、4)着色層上方の透明電極膜上のエッチング保護膜を剥離する工程を具備するので、着色層を積層して形成されたスペーサが有する欠点を補うに際し、工程を増やすことなく、欠点を補うにことのできるカラーフィルタの製造方法となる。   The present invention also includes 1) a step of forming a photoresist layer for forming an insulating layer and an etching protective film on a transparent substrate on which a black matrix layer, a three-color colored layer, a spacer, and a transparent electrode film are formed. 2) A step of forming an etching protective film having an opening corresponding to the formation of the insulating layer and the slit by exposing and developing the photoresist layer through a photomask, and 3) slitting the transparent electrode film by the etching process. 4) The step of peeling off the etching protective film on the transparent electrode film above the colored layer is provided, so that the number of steps can be increased without making up for the disadvantages of the spacer formed by laminating the colored layer. This is a method of manufacturing a color filter that can compensate for the drawbacks.

以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図4は、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの一実施例の断面図である。図4は、着色層が赤色、緑色、青色の順に形成されたカラーフィルタの赤色着色層と緑色着色層の間を拡大した示したものである。
図4に示すように、このカラーフィルタ(CF4)は、透明基板(1)上に、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、(3B))、スペーサ(4)、透明電極膜(5)が順次に形成されたものである。スペーサ(4)は、赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)、青色着色層(3B’)を積層して形成されたものである。スリット(6)は、液晶の配向を規制するものであり、透明電極膜(5)へのフォトエッチングによって形成されたものである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
FIG. 4 is a cross-sectional view of an embodiment of a color filter for a liquid crystal display device according to the present invention. FIG. 4 shows an enlarged view between the red colored layer and the green colored layer of the color filter in which the colored layers are formed in the order of red, green, and blue.
As shown in FIG. 4, the color filter (CF4) is formed on the transparent substrate (1) on the black matrix layer (2), the three colored layers (3R, 3G, (3B)), the spacer (4), Transparent electrode films (5) are sequentially formed. The spacer (4) is formed by laminating a red colored layer (3R ′), a green colored layer (3G ′), and a blue colored layer (3B ′). The slit (6) regulates the orientation of the liquid crystal, and is formed by photoetching the transparent electrode film (5).

透明電極膜(5)は、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、3B)、スペーサ(4)が形成された透明基板(1)の全面に一旦設けられるが、次に、3色の着色層(3R、3G、3B)上の透明電極膜(5)には、上記スリット(6)が形成され、また、スペーサ(4)の上部には透明電極膜(5)が残されている。   The transparent electrode film (5) is once provided on the entire surface of the transparent substrate (1) on which the black matrix layer (2), the three colored layers (3R, 3G, 3B) and the spacer (4) are formed. In addition, the slit (6) is formed in the transparent electrode film (5) on the three colored layers (3R, 3G, 3B), and the transparent electrode film (5) is formed on the spacer (4). Is left.

スペーサ(4)の上部の透明電極膜(5)上には、絶縁層(17)が設けられている。絶縁層(17)は、スペーサの高さを調整する層であり、また、対向基板との短絡を防ぐために設けられたものである。この絶縁層(17)は、3色の着色層(3R、3G、3B)上の透明電極膜(5)にスリット(6)を形成する際に用いるエッチング保護膜と同一材料で形成されたものである。   An insulating layer (17) is provided on the transparent electrode film (5) above the spacer (4). The insulating layer (17) is a layer for adjusting the height of the spacer, and is provided to prevent a short circuit with the counter substrate. This insulating layer (17) is formed of the same material as the etching protective film used when the slit (6) is formed in the transparent electrode film (5) on the three colored layers (3R, 3G, 3B). It is.

ブラックマトリックス層(2)の厚さ(t1)は、0.5〜3μm、幅(W)は3〜30μm程度である。また、赤色着色層(3R)、緑色着色層(3G)、青色着色層(3B)の厚さ(t2)は、0.5〜3μm程度である。スペーサ(4)を構成する赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)、青色着色層(3B’)の厚さは、3色の着色層(3R、3G、3B)の厚さを凡そ1.8μmで形成した場合に、ブラックマトリックス層(2)上に形成される赤色着色層(3R’)の厚さは0.95μm程度、緑色着色層(3G’)の厚さは0.91μm程度、青色着色層(3B’)の厚さ(t3)は0.88μm程度と順に薄く形成される傾向にある。   The black matrix layer (2) has a thickness (t1) of about 0.5 to 3 μm and a width (W) of about 3 to 30 μm. The thickness (t2) of the red colored layer (3R), the green colored layer (3G), and the blue colored layer (3B) is about 0.5 to 3 μm. The thickness of the red colored layer (3R ′), the green colored layer (3G ′), and the blue colored layer (3B ′) constituting the spacer (4) is the thickness of the three colored layers (3R, 3G, 3B). Is approximately 1.8 μm, the red colored layer (3R ′) formed on the black matrix layer (2) has a thickness of about 0.95 μm, and the green colored layer (3G ′) has a thickness of 0. The thickness (t3) of the blue colored layer (3B ′) is about 0.88 μm and tends to be formed thinly in order.

スリット(6)は円形、楕円形、方形、ストライプなどを用いることができ、用途によって使い分ける。例えば、携帯電話用など小型パネルでは8〜15μm程度の大きさの円形のスリットを設けることが多く、液晶テレビなど小型パネルでは10〜30μm程度のストライプ状のスリットを設けることが多い。前者は斜め視認性よりも正面からの視認性を重視し、後者は斜めから見た時の視認性も重視したものとする場合が多いが、パネルの設計や使用環境によっても変わるためこれに限らない。   The slit (6) can be circular, oval, square, stripe, etc. For example, a small panel such as a cellular phone is often provided with a circular slit having a size of about 8 to 15 μm, and a small panel such as a liquid crystal television is often provided with a striped slit of about 10 to 30 μm. The former emphasizes visibility from the front rather than diagonal visibility, and the latter often emphasizes visibility when viewed from an angle, but this is limited because it depends on the panel design and usage environment. Absent.

絶縁層(17)の厚さ(t4)は、スペーサの高さを調整する量により設定するものであり、0.5〜2μm程度である。フォトリソグフィ法による光学的形成を考慮した、より好ましい絶縁層(17)の厚さは1〜2μmである。
また、液晶表示装置としてのパネルの基板間のギャップは、2〜5μmが本発明に適用できる範囲である。
The thickness (t4) of the insulating layer (17) is set by an amount for adjusting the height of the spacer, and is about 0.5 to 2 μm. In consideration of optical formation by the photolithographic method, a more preferable thickness of the insulating layer (17) is 1 to 2 μm.
Further, the gap between the substrates of the panel as the liquid crystal display device is in the range applicable to the present invention of 2 to 5 μm.

図5(a)〜(d)は、本発明における絶縁層(17)を形成する方法の一例の概略を説明する断面図である。図5(a)は、フォトマスク(20)を介したフォトレジスト層(10)への露光の段階を表したものである。
図5(a)に示すように、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、(3B))、スペーサ(4)、透明電極膜(5)が順次に形成された透明基板(1)上に、フォトレジスト層(10)が形成されている。
FIGS. 5A to 5D are cross-sectional views for explaining an outline of an example of a method for forming the insulating layer (17) in the present invention. FIG. 5A shows the stage of exposure of the photoresist layer (10) through the photomask (20).
As shown in FIG. 5 (a), a black matrix layer (2), a three-color colored layer (3R, 3G, (3B)), a spacer (4), and a transparent electrode film (5) are sequentially formed. A photoresist layer (10) is formed on the substrate (1).

このフォトレジスト層(10)は、絶縁層(17)及びエッチング保護膜(15)を形成するためのフォトレジスト層である。絶縁層(17)及びエッチング保護膜(15)は、同一材料であるフォトレジスト層(10)を用いて形成される。図5(a)は、絶縁層(17)及びエッチング保護膜(15)を形成するフォトレジストとして、ポジ型のフォトレジストが用いられた例である。
フォトレジスト層(10)の厚さは、スペーサ(4)上にてスペーサ(4)の高さを調整する際に求められる厚さであり、通常はエッチング保護膜として適切なエッチング保護膜(15)の膜厚より厚い。
This photoresist layer (10) is a photoresist layer for forming an insulating layer (17) and an etching protective film (15). The insulating layer (17) and the etching protective film (15) are formed using a photoresist layer (10) made of the same material. FIG. 5A shows an example in which a positive photoresist is used as a photoresist for forming the insulating layer (17) and the etching protective film (15).
The thickness of the photoresist layer (10) is a thickness required when adjusting the height of the spacer (4) on the spacer (4), and is usually an etching protective film (15 suitable as an etching protective film). ) Thicker than

図5(a)中、フォトレジスト層(10)の上方には近接露光のギャップ(G)を設けてフォトマスク(20)が、その膜面をフォトレジスト層(10)に対向させて配置されている。図5(a)に示すように、このフォトマスク(20)には、絶縁層(17)の形成に対応した遮光部(21)が設けられ、エッチング保護膜(15)の形成に対応した半透光部(22)が設けられ、また、エッチング保護膜(15)の開口部(16)の形成に対応した透光部(23)が設けられている多階調マスクである。   In FIG. 5A, a proximity exposure gap (G) is provided above the photoresist layer (10), and a photomask (20) is disposed with its film surface facing the photoresist layer (10). ing. As shown in FIG. 5A, the photomask (20) is provided with a light shielding portion (21) corresponding to the formation of the insulating layer (17), and a half corresponding to the formation of the etching protective film (15). The multi-tone mask is provided with a translucent part (22) and a translucent part (23) corresponding to the formation of the opening (16) of the etching protective film (15).

図5(a)に示すように、フォトレジスト層(10)にフォトマスク(20)を介した露光(E)を行って、絶縁層(17)の厚さ(t4)より厚さの低い(t5)エッチング保護膜(15)を、絶縁層(17)の形成と同時に形成する。
図5(a)においては、既に現像処理が完了し、エッチング保護膜(15)が形成された状態のものを点線で示してある。
エッチング保護膜(15)は、エッチングによって透明電極膜(5)にスリット(6)が形成された後には剥離されるが、絶縁層(17)は残されるので、エッチング保護膜(15)の厚さは、その剥離を容易にするために薄い方が好ましい。
As shown in FIG. 5A, the photoresist layer (10) is exposed (E) through a photomask (20), and the thickness is lower than the thickness (t4) of the insulating layer (17) ( t5) An etching protective film (15) is formed simultaneously with the formation of the insulating layer (17).
In FIG. 5A, a state in which the development processing has already been completed and the etching protective film (15) is formed is shown by a dotted line.
The etching protective film (15) is peeled off after the slit (6) is formed in the transparent electrode film (5) by etching, but the insulating layer (17) remains, so the thickness of the etching protective film (15) is reduced. In order to make the peeling easier, the thinner one is preferable.

図5(a)に示すフォトマスク(20)の半透光部(22)は、半透光膜が用いられた例である。半透光膜は、紫外線を減衰させる薄膜、例えば、ITOなどの金属酸化物膜からなるハーフトーン膜、或いは、フォトマスクを製造する際に成膜したクロム膜をフォトエッチングして更に薄膜にしたハーフトーン膜などである。
例えば、エッチング保護膜(15)の開口部(16)の形成が良好になされるように、フォトレジスト層(10)への露光が透光部(23)を介して適正に行われた際に、エッチング保護膜(15)への半透光部(22)を介した露光も適正に行われるように、半透光膜の透過率を設定する。
The semi-transparent portion (22) of the photomask (20) shown in FIG. 5A is an example in which a semi-transparent film is used. A semi-transparent film is a thin film that attenuates ultraviolet rays, for example, a halftone film made of a metal oxide film such as ITO, or a chromium film formed when manufacturing a photomask, and further thinned by photoetching. For example, a halftone film.
For example, when the photoresist layer (10) is properly exposed through the light transmitting portion (23) so that the opening (16) of the etching protective film (15) is well formed. Then, the transmittance of the semi-transparent film is set so that the exposure to the etching protective film (15) through the semi-transparent portion (22) is also appropriately performed.

図5(b)は、露光の現像処理が行われた段階を表したものである。図5(b)に示すように、フォトマスク(20)として多階調マスクを用いたことにより、絶縁層(17)の厚さ(t4)は保たれ、エッチング保護膜(15)の厚さ(t5)はエッチング保護膜(15)として適切な厚さが得られ、また、エッチング保護膜(15)の開口部(16)は良好に形成されている。   FIG. 5B shows a stage where exposure development processing is performed. As shown in FIG. 5B, by using a multi-tone mask as the photomask (20), the thickness (t4) of the insulating layer (17) is maintained, and the thickness of the etching protective film (15). (T5) has an appropriate thickness as the etching protective film (15), and the opening (16) of the etching protective film (15) is well formed.

図5(c)は、透明電極膜(5)へのエッチング処理が行われた段階を、また、図5(d)は、エッチング保護膜(15)の剥離が行われた段階を表したものである。図5(c)、(d)に示すように、透明電極膜(5)にはスリット(6)が良好に形成され、絶縁層(17)の厚さ(t4)は保たれた状態でエッチング保護膜(15)が剥離されている。   FIG. 5 (c) shows the stage where the transparent electrode film (5) is etched, and FIG. 5 (d) shows the stage where the etching protective film (15) is peeled off. It is. As shown in FIGS. 5 (c) and 5 (d), the transparent electrode film (5) is etched with the slit (6) well formed and the thickness (t4) of the insulating layer (17) maintained. The protective film (15) is peeled off.

尚、図5は、絶縁層(17)及びエッチング保護膜(15)の形成に用いるフォトレジストとして、ポジ型のフォトレジストを例にしたものであるが、絶縁層(17)及びエッチング保護膜(15)の形成に用いる同一材料としてのフォトレジストとしては、ネガ型のフォトレジストも好適に用いることができる。   5 shows a positive photoresist as an example of the photoresist used for forming the insulating layer (17) and the etching protective film (15). However, the insulating layer (17) and the etching protective film ( As the photoresist as the same material used for the formation of 15), a negative photoresist can also be suitably used.

また、上記の一実施例においては、スペーサ(4)を構成する赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)、青色着色層(3B’)は、3色の着色層(3R、3G、3B)の形成と同時に形成されるものであるが、パターンとしては独立した形態である。スペーサ(4)を構成する赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)、青色着色層(3B’)は、パターンとして独立した形態に限定されるものではなく、例えば、赤色着色層(3R)と赤色着色層(3R’)が連続した、つまり、赤色着色層(3R)が延長されて赤色着色層(3R’)となるといった形態でもよい。   Moreover, in said one Example, the red colored layer (3R '), the green colored layer (3G'), and the blue colored layer (3B ') constituting the spacer (4) are the three colored layers (3R, It is formed simultaneously with the formation of 3G and 3B), but is an independent form as a pattern. The red colored layer (3R ′), the green colored layer (3G ′), and the blue colored layer (3B ′) constituting the spacer (4) are not limited to independent forms as a pattern. For example, the red colored layer (3R) and the red colored layer (3R ′) may be continuous, that is, the red colored layer (3R) may be extended to become the red colored layer (3R ′).

また、上記の一実施例においては、赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)、青色着色層(3B’)の各底面積は、同一のものとしているが、下層から上層に向かって着色層の底面積を小さくすると、実作業におけるアライメントずれを防ぐ効果がある。   In the above embodiment, the bottom areas of the red colored layer (3R ′), the green colored layer (3G ′), and the blue colored layer (3B ′) are the same, but from the lower layer to the upper layer. When the bottom area of the colored layer is reduced, there is an effect of preventing misalignment in actual work.

スペーサの形状、すなわち、スペーサを基板と平行な面で切断した場合の横断面の形状は、特に限定されないが、円、楕円、角が丸い多角形、四角形、長方形などが好ましい。また、積層によりスペーサを形成する場合においても、スペーサの形状は、特に制限されないが、円、楕円、角が丸い多角形、四角形や長方形などが好ましく、これらを任意に積層し、スペーサを形成してよい。
また、スペーサは、着色層間の全ブラックマトリックス層上に上記形状で形成しても良いが、カラーフィルタ基板とTFT基板を貼り合わせる工程での弾性を確保するために、赤色着色層、緑色着色層、青色着色層を一組とする着色層あたり一個形成することが望ましい。
The shape of the spacer, that is, the shape of the cross section when the spacer is cut along a plane parallel to the substrate is not particularly limited, but a circle, an ellipse, a polygon with rounded corners, a rectangle, a rectangle, and the like are preferable. In the case where the spacer is formed by lamination, the shape of the spacer is not particularly limited, but a circle, an ellipse, a polygon with rounded corners, a quadrangle, a rectangle, or the like is preferable, and these are arbitrarily laminated to form the spacer. It's okay.
The spacer may be formed in the above shape on the entire black matrix layer between the colored layers, but in order to ensure elasticity in the process of bonding the color filter substrate and the TFT substrate, the red colored layer, the green colored layer In addition, it is desirable to form one per colored layer including a blue colored layer.

表1は、図4に示すカラーフィルタ(CF4)を構成するブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、(3B))、及び絶縁層(17)の厚さを設定し、スペーサの高さの調整を具体的に試みた結果を表したものである。
表1に示すように、条件1に比較して、絶縁層(17)を設けた際には、条件2〜条件4に表わされるように、スペーサの高さ全体には、スペーサ(4)の厚さに、高さを調整する絶縁層(17)の厚さ(t15)がそのまま加算されるといった著しい効果が得られている。
Table 1 sets the thicknesses of the black matrix layer (2), the three color layers (3R, 3G, (3B)), and the insulating layer (17) constituting the color filter (CF4) shown in FIG. This shows the result of a specific attempt to adjust the height of the spacer.
As shown in Table 1, when the insulating layer (17) is provided as compared with the condition 1, as shown in the conditions 2 to 4, the entire height of the spacer includes the spacer (4). A significant effect is obtained in that the thickness (t15) of the insulating layer (17) for adjusting the height is added to the thickness as it is.

つまり、絶縁層(17)の厚さ(t15)を調整するすることにより、スペーサとして機能する全体(スペーサ(4)と絶縁層(17))の高さを任意の高さにすることが可能である。
尚、図6は、表1に示す厚さの各部位を表したものである。
That is, by adjusting the thickness (t15) of the insulating layer (17), the height of the whole functioning as the spacer (the spacer (4) and the insulating layer (17)) can be arbitrarily set. It is.
FIG. 6 shows each part of the thickness shown in Table 1.

Figure 0005304170
Figure 0005304170

Figure 0005304170
また、表2は、着色層の構成を2層とした際の結果を表したものである。表2に示すように、条件11に比較して、絶縁層(17)を設けた際には、条件12に表わされるように、スペーサの高さ全体には、スペーサ(4)の厚さに、高さを調整する絶縁層(17)の厚さ(t15)がそのまま加算されるといった著しい効果が得られている。
すなわち、表1に示す結果と、表2に示す結果とを合わせると、スペーサとして機能する全体(スペーサ(4)及び絶縁層(17))の高さは、例えば、1.8μm〜4.5μmといった広範囲の間で任意の高さにすることが可能である。
Figure 0005304170
Table 2 shows the results when the colored layer has two layers. As shown in Table 2, when the insulating layer (17) is provided in comparison with the condition 11, as shown in the condition 12, the entire height of the spacer is equal to the thickness of the spacer (4). A remarkable effect is obtained in that the thickness (t15) of the insulating layer (17) for adjusting the height is added as it is.
That is, when the results shown in Table 1 and the results shown in Table 2 are combined, the total height (spacer (4) and insulating layer (17)) functioning as a spacer is, for example, 1.8 μm to 4.5 μm. It is possible to set the height arbitrarily within a wide range.

透明基板上にブラックマトリックス層や着色層を形成する方法としては顔料分散法レジストを用いたフォトリソグラフィ法が主流となっている。有機顔料などの色材を分散した着色感光性樹脂(着色フォトレジスト)の塗布層をフォトリソグラフィ法によってパターニングすることにより着色層を画素状に形成する方法である。   As a method of forming a black matrix layer or a colored layer on a transparent substrate, a photolithography method using a pigment dispersion method resist has become the mainstream. In this method, a colored layer is formed in a pixel shape by patterning a coating layer of a colored photosensitive resin (colored photoresist) in which a coloring material such as an organic pigment is dispersed by a photolithography method.

ブラックマトリックス層は、黒色樹脂を用いて形成されている。液晶表示装置のコントラストを向上させるために着色層間に形成する細い遮光パターンである。ブラックマトリックス層を形成する方法としては、黒色非感光性樹脂を用いフォトリソグラフィ法によって保護レジストを形成しエッチングによってマトリックス状に形成する方法、或いは黒色感光性樹脂(黒色フォトレジスト)を用いフォトリソグラフィ法によってマトリックス状に形成する方法がある。黒色の色材としては、カーボンブラックや酸化チタン等を用いることができる。   The black matrix layer is formed using a black resin. It is a thin light-shielding pattern formed between colored layers in order to improve the contrast of a liquid crystal display device. As a method of forming the black matrix layer, a method of forming a protective resist by a photolithography method using a black non-photosensitive resin and forming a matrix by etching, or a photolithography method using a black photosensitive resin (black photoresist) There is a method of forming a matrix. As the black color material, carbon black, titanium oxide, or the like can be used.

ブラックマトリックス層及び着色層の形成に用いる黒色感光性樹脂及び着色感光性樹脂は、例えば、樹脂バインダに顔料を分散剤を用いて分散させ、この分散液にモノマー、開始剤、増感剤、溶剤などを添加して調製される。
本実施の形態においては、ブラックマトリックス層及び着色層の形成に用いる黒色感光性樹脂及び着色感光性樹脂は、樹脂バインダと開始剤を主成分として、樹脂バインダが光重合、又は熱重合、或いは光重合及び熱重合を経て、三次元架橋される。
The black photosensitive resin and the colored photosensitive resin used for forming the black matrix layer and the colored layer are, for example, a pigment dispersed in a resin binder using a dispersant, and a monomer, an initiator, a sensitizer, a solvent in the dispersion. Etc. are added.
In the present embodiment, the black photosensitive resin and the colored photosensitive resin used for forming the black matrix layer and the colored layer are mainly composed of a resin binder and an initiator, and the resin binder is photopolymerized, thermally polymerized, or photopolymerized. It undergoes three-dimensional crosslinking through polymerization and thermal polymerization.

ブラックマトリックス層及び着色層の樹脂バインダを三次元架橋させることによって、パネル組み立て工程における荷重によりブラックマトリックス層及び着色層の厚みが減じるのを抑制することができる。
光重合に適合する樹脂バインダとしては、例えば、アクリレート樹脂、熱重合に適合する樹脂バインダとしては、例えば、エポキシ樹脂、光重合及び熱重合に適合する樹脂バインダとしては、例えば、エポキシアクリレート樹脂があげられる。
By three-dimensionally crosslinking the resin binder of the black matrix layer and the colored layer, it is possible to suppress the thickness of the black matrix layer and the colored layer from being reduced by the load in the panel assembling process.
Examples of resin binders suitable for photopolymerization include acrylate resins, examples of resin binders suitable for thermal polymerization include epoxy resins, and examples of resin binders suitable for photopolymerization and thermal polymerization include epoxy acrylate resins. It is done.

絶縁層の材料に用いる感光性樹脂(フォトレジスト)としては、例えば、アルカリ可溶性樹脂、光重合性モノマー、光重合開始剤を主成分とする感光性樹脂を用いることができる。ポジ型の樹脂材料として、ノボラック樹脂を用いても良い。例えば、市販のポジ型の樹脂材料として、ローム・アンド・ハース(株)のLC100またはLC120、あるいは、AZエレクトニックマテリアルズ(株)のAZMir701を用いて、本発明に係わる0.5〜2μm高さ(厚さ)の絶縁層に形成することができる。
アルカリ可溶性樹脂としては、アクリル酸を含む(メタ)アクリル系樹脂、マレイン酸系樹脂、ロジン系樹脂、ノボラック樹脂などがあげられる。
As the photosensitive resin (photoresist) used for the material of the insulating layer, for example, a photosensitive resin mainly composed of an alkali-soluble resin, a photopolymerizable monomer, and a photopolymerization initiator can be used. A novolac resin may be used as the positive resin material. For example, as a commercially available positive-type resin material, LC100 or LC120 manufactured by Rohm and Haas Co., Ltd., or AZMir701 manufactured by AZ Electric Materials Co., Ltd. is used. (Thickness) insulating layer.
Examples of the alkali-soluble resin include (meth) acrylic resins containing maleic acid, maleic resins, rosin resins, and novolac resins.

重合性モノマーとしては、例えば、以下に示すようなモノマーを混合して、又は単独で使用することができる。例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート等の水酸基を含むモノマーや、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類、あるいは、ペンタエリストールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリストールヘキサ(メタ)アクリレート、トリシクロデカニル(メタ)アクリレート、ジペンタエリストールヘキサ(メタ)アクリレートのカプロラクトン付加物のヘキサ(メタ)アクリレート、メラミン(メタ)アクリレートなどがあげられる。   As the polymerizable monomer, for example, the following monomers can be mixed or used alone. For example, monomers containing a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, Triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) ) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate , (Meth) acrylic esters such as dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, or pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, tricyclodecanyl Examples include (meth) acrylates, hexa (meth) acrylates of caprolactone adducts of dipentaerystol hexa (meth) acrylate, and melamine (meth) acrylates.

前記重合性モノマーの一部が、カルボキシル基含有多官能性単量体を含む重合性モノマーであることは、好ましい。例えば、ペンタエリスリトール又はその誘導体であっても良い。これらモノマーは、他の樹脂固形分を増やさずに現像性などのフォトリソグラフィ適性を保持したまま、さらには、フォトスペーサの弾性復元率を保持したまま、重合性モノマーの混合比率を高めることができる。   It is preferable that a part of the polymerizable monomer is a polymerizable monomer containing a carboxyl group-containing polyfunctional monomer. For example, pentaerythritol or a derivative thereof may be used. These monomers can increase the mixing ratio of the polymerizable monomers while maintaining the photolithographic suitability such as developability without increasing the other resin solids, and further maintaining the elastic recovery rate of the photo spacer. .

また、光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、2,2’−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p’−ビスジメ
チルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類、ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2−クロロチオサンソン、2,4−ジエチルチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、2−イソプロピルチオキサンソン等の硫黄化合物、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類、2,4−トリクロロメチル−(4’−メトキシフェニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(4’−メトキシナフチル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン等のトリアジン類、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物等α−アミノケトン系光重合開始剤である2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニルト2]−モルフオリノプロパン−1−オン(イルガキュア907:チバスペシャリティーケミカルズ社製:商品名)、2−ベンジル−2−ジメチルアミノート(4−モルフオリノフェニルトブノン−1(イルガキュア369:チバスペシャリティーケミカルズ社製:商品名)などがあげられる。α−アミノケトン系光重合開始剤は、スペーサに腰の強さ、すなわち、スペーサ自体の単位面積当たりの機械的強度を与えるものである。
Examples of the photopolymerization initiator include acetophenones such as acetophenone, 2,2′-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, and p-tert-butylacetophenone. Benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bisdimethylaminobenzophenone, benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyldimethyl ketal, thioxanthone, Sulfur compounds such as 2-chlorothiosanson, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2- Anthraquinones such as tilanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 2,4-trichloromethyl- (4′-methoxyphenyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl Triazines such as-(4'-methoxynaphthyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl- (piperonyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl- (4'-methoxystyryl) -6-triazine , Organic peroxides such as azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide, thiol compounds such as 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, etc. α-aminoketone photopolymerization Initiator 2-methyl-1 [4 (Methylthio) phenylto2] -morpholinopropan-1-one (Irgacure 907: manufactured by Ciba Specialty Chemicals: trade name), 2-benzyl-2-dimethylaminoate (4-morpholinophenyltobunon-1) (Irgacure 369: Ciba Specialty Chemicals, Inc .: trade name), etc. The α-aminoketone photopolymerization initiator gives the spacer strength of the waist, that is, mechanical strength per unit area of the spacer itself. Is.

40”クラスサイズの液晶表示装置の表示面内で、フォトリソグラフィ法で形成するスペーサの高さのバラツキは、小さい場合で±0.05μm、大きい場合で±0.2μmの範囲内にある。小さいバラツキを前提としたときでも、パネル作製時の変形量は、最低でも0.16μm必要である(+0.1μm高さのスペーサと−0.1μm高さのスペーサとのバラツキを、貼り合わせ時の荷重とスペーサの変形で吸収する必要がある)。バラツキが大きい場合、0.2μm以上の変形量が必要である。   Within the display surface of a 40 "class size liquid crystal display device, the variation in the height of the spacer formed by photolithography is within a range of ± 0.05 μm when small and ± 0.2 μm when large. Even when variation is assumed, the amount of deformation at the time of manufacturing the panel must be at least 0.16 μm (the variation between the spacer having a height of +0.1 μm and the spacer having a height of −0.1 μm is (It is necessary to absorb the load and the deformation of the spacer.) If the variation is large, a deformation amount of 0.2 μm or more is required.

なお、有機顔料を添加した着色層だけでは、堅く弾性にかけるため、有機顔料を含まない絶縁層を用いてスペーサの弾性を確保することが望ましい。絶縁層を設けることでスペーサ高さ方向の液晶セル化工程での、およそ0.2μm変形量のマージンを吸収することができる。   In addition, since only the colored layer to which the organic pigment is added is rigidly elastic, it is desirable to secure the elasticity of the spacer by using an insulating layer that does not contain the organic pigment. By providing the insulating layer, it is possible to absorb a margin of about 0.2 μm deformation amount in the liquid crystal cell forming step in the spacer height direction.

赤色着色層には、例えば、色材として、C.I.PigmentRed7、14、41、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、81:4、146、168、177、178、179、184、185、187、200、202、208、210、246、254、255、264、270、272、279等の赤色顔料を用いることができ、黄色顔料や橙色顔料を併用することもできる。   For the red colored layer, for example, C.I. I. PigmentRed 7, 14, 41, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 81: 4, 146, 168, 177, 178, 179, 184, 185, 187, Red pigments such as 200, 202, 208, 210, 246, 254, 255, 264, 270, 272, and 279 can be used, and a yellow pigment and an orange pigment can also be used in combination.

黄色顔料としては、C.I.PigmentYellow 1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、126、127、128、129、138、139、147、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、187、188、193、194、199、198、213、214等が挙げられる。   Examples of yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104 , 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180 181,182,187,188,193,194,199,198,213,214, and the like.

橙色顔料としては、C.I.PigmentOrange36、43、51、55、5
9、61、71、73等が挙げられる。
Examples of the orange pigment include C.I. I. Pigment Orange 36, 43, 51, 55, 5
9, 61, 71, 73 and the like.

赤色着色層が、これら顔料のなかでジケトピロロピロール系赤色顔料、アントラキノン系赤色顔料のうち1種類以上を含む場合には、任意のRthを得ることが容易になるため、好ましい。
なぜなら、ジケトピロロピロール系赤色顔料は、その微細化処理を工夫することにより、Rthを正負のどちらにすることも可能であり、その絶対値もある程度制御可能であり、また、アントラキノン系赤色顔料は、微細化処理に関わらず0に近いRthを得やすいためである。
When the red colored layer contains one or more of diketopyrrolopyrrole red pigment and anthraquinone red pigment among these pigments, it is easy to obtain any Rth, which is preferable.
This is because the diketopyrrolopyrrole red pigment can be made either positive or negative by devising the finer treatment, its absolute value can be controlled to some extent, and the anthraquinone red pigment This is because it is easy to obtain Rth close to 0 regardless of the miniaturization process.

その使用量は、顔料の合計重量を基準として、ジケトピロロピロール系赤色顔料を10〜90重量%、アントラキノン系赤色顔料を5〜70重量%とすることが、着色層の色相や明度、膜厚、コントラスト等の点から好ましく、特に、コントラストに着目した場合、ジケトピロロピロール系赤色顔料を25〜75重量%、アントラキノン系赤色顔料を30〜60重量%とすることがより好ましい。   The amount used is 10 to 90% by weight of the diketopyrrolopyrrole red pigment and 5 to 70% by weight of the anthraquinone red pigment based on the total weight of the pigment. It is preferable from the viewpoints of thickness, contrast, and the like. In particular, when focusing on the contrast, it is more preferable that the diketopyrrolopyrrole red pigment is 25 to 75% by weight and the anthraquinone red pigment is 30 to 60% by weight.

緑色着色層には、例えば、C.I.PigmentGreen7、10、36、37、58等の緑色顔料を用いることができ、黄色顔料を併用することもできる。黄色顔料としては、赤色着色層に用いる顔料として挙げたものと同様のものが使用可能である。   Examples of the green colored layer include C.I. I. Green pigments such as Pigment Green 7, 10, 36, 37, and 58 can be used, and a yellow pigment can be used in combination. As the yellow pigment, the same pigments as those mentioned for the pigment used in the red colored layer can be used.

青色着色層には、例えば、C.I.PigmentBlue15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64等の青色顔料を用いることができ、紫色顔料を併用することもできる。紫色顔料としては、C.I.PigmentViolet1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50等が挙げられる。   For the blue colored layer, for example, C.I. I. Blue pigments such as Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, and 64 can be used, and a purple pigment can be used in combination. Examples of purple pigments include C.I. I. PigmentViolet 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 42, 50 and the like.

青色着色層が、これら顔料のなかで金属フタロシアニン系青色顔料と、ジオキサジン系紫色顔料のうち1種類以上を含む場合には、0に近い位相差を得ることが容易になる。その使用量は、顔料の合計重量を基準として、金属フタロシアニン系青色顔料を40〜100重量%、ジオキサジン系紫色顔料を1〜50重量%とすることが、着色層の色相や明度、膜厚等の点から好ましく、さらに、金属フタロシアニン系青色顔料を50〜98重量%、ジオキサジン系紫色顔料を2〜25重量%とすることがより好ましい。
上記において金属フタロシアニン系青色顔料としてはC.I.PigmentBlue15:6、ジオキサジン系紫色顔料としてはC.I.PigmentViolet23が、優れた耐光性、耐熱性、透明性、および着色力等の点から好適である。
When the blue colored layer contains at least one of a metal phthalocyanine blue pigment and a dioxazine purple pigment among these pigments, it is easy to obtain a phase difference close to zero. The amount used is 40 to 100% by weight of the metal phthalocyanine blue pigment and 1 to 50% by weight of the dioxazine violet pigment based on the total weight of the pigment. From the above point, it is preferable that the metal phthalocyanine blue pigment is 50 to 98% by weight, and the dioxazine purple pigment is 2 to 25% by weight.
In the above, examples of the metal phthalocyanine blue pigment include C.I. I. Pigment Blue 15: 6, and dioxazine-based purple pigments include C.I. I. PigmentViolet 23 is preferable in terms of excellent light resistance, heat resistance, transparency, coloring power, and the like.

絶縁層を構成する樹脂には、必要に応じて、着色剤を添加しても良い。着色剤としては、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、さらには、紫外線吸収剤、分散剤、レベリング剤等の種々の添加剤を添加してもよい。絶縁層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、四酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。この中でも、特にカーボンブラックは遮光性が優れており、特に好ましい。絶縁層に遮光性と絶縁性が要求される際には、酸化アルミニウム、酸化チタン、酸化鉄等の絶縁性無機化合物微粒子や表面に樹脂を被覆したカーボンブラックを用いても良い。   If necessary, a colorant may be added to the resin constituting the insulating layer. As the colorant, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used, and various additives such as an ultraviolet absorber, a dispersant, and a leveling agent may be added. When light shielding properties are required for the insulating layer, in addition to light shielding agents such as metal oxide powders such as carbon black, titanium oxide, and iron tetroxide, metal sulfide powders, and metal powders, red, blue, green, etc. A mixture of pigments or the like can be used. Among these, carbon black is particularly preferable because of its excellent light shielding properties. When the insulating layer is required to have light shielding properties and insulating properties, fine particles of insulating inorganic compounds such as aluminum oxide, titanium oxide, and iron oxide, and carbon black with a resin coated on the surface may be used.

絶縁層を形成する方法としては、未硬化の樹脂を基板上に塗布し、乾燥した後に、パターニングを行う方法が、精度良く絶縁層を形成できる点から好ましく用いられる。未硬化の樹脂を塗布する方法としては、ディップ法、ロールコーター法、スピナー法、ダイコーティング法、ワイヤバーコーティング法などが好適に用いられ、この後、オーブンやホットプレートを用いて予備乾燥(プレベーク)を行う。プレベーク条件は、使用する樹脂、溶媒、樹脂塗布量により異なるが、通常60〜200℃で1〜60分加熱することが好ましい。   As a method for forming the insulating layer, a method of patterning after applying an uncured resin on the substrate and drying it is preferably used from the viewpoint that the insulating layer can be formed with high accuracy. As a method for applying the uncured resin, a dip method, a roll coater method, a spinner method, a die coating method, a wire bar coating method, etc. are preferably used, and then pre-dried (prebaked using an oven or a hot plate). )I do. Although prebaking conditions change with resin to be used, a solvent, and resin application quantity, it is preferable to heat at 60-200 degreeC normally for 1 to 60 minutes.

このようにして得られた樹脂被膜は、そのまま又は酸素遮断膜を形成した後に、露光及び現像を行う。例えば、ポジ型のフォトレジストを用いた場合、フォトレジスト層から100μmの距離に、積層に対応する位置に配置された遮光部、及び着色層上のエッチング保護膜に対応する位置に配置された半透光部を有する多階調マスクを配置してプロキシミティアライナにより2kWの超高圧水銀ランプを用いて紫外線を10秒間照射する。   The resin film thus obtained is exposed and developed as it is or after an oxygen barrier film is formed. For example, when a positive type photoresist is used, a light-shielding portion arranged at a position corresponding to the stack and a position corresponding to the etching protection film on the colored layer at a distance of 100 μm from the photoresist layer. A multi-tone mask having a light-transmitting portion is arranged and irradiated with ultraviolet rays for 10 seconds by a proximity aligner using a 2 kW ultra-high pressure mercury lamp.

次いで、0.05wt%水酸化カリウム水溶液中に1分間浸漬してアルカリ現像し、フォトレジストの可溶化部分のみを除去し、スペーサ上の絶縁層および着色層上の液晶配向用のスリットを設けるためのエッチング保護膜を形成する。次に、塩酸・塩化第二鉄混合水溶液にて透明電極をエッチングし液晶配向用のスリットを形成する。更に不要となった着色層上の保護膜を10%水酸化ナトリウム水溶液にて剥離する。このとき、スペーサ上の絶縁膜はマスクの遮光部により感光されていないため剥離せずに残るが、着色層上のエッチング保護膜はマスクの半透光部により感光されているため、濃度の高いアルカリ水溶液により剥離される。   Next, it is immersed in a 0.05 wt% potassium hydroxide aqueous solution for 1 minute to perform alkali development, to remove only the solubilized portion of the photoresist, and to provide an insulating layer on the spacer and a slit for liquid crystal alignment on the colored layer. An etching protective film is formed. Next, the transparent electrode is etched with a hydrochloric acid / ferric chloride mixed aqueous solution to form slits for liquid crystal alignment. Further, the protective film on the colored layer that has become unnecessary is peeled off with a 10% aqueous sodium hydroxide solution. At this time, the insulating film on the spacer remains without being peeled off because it is not exposed to the light shielding portion of the mask, but the etching protective film on the colored layer is exposed to the semi-transparent portion of the mask, so that the concentration is high. Stripped with an aqueous alkali solution.

上記多階調マスクに用いられる露光光の透過度の調整方法としては従来公知のものを用いることができる。このような多階調マスクとしては、露光光を実質的に遮光する遮光膜と、露光光を所望の透過率で透過する半透光膜とを有し、光を透過する透光部と光を透過しない遮光部と、透過する光の量を調整した半透光部とを有することにより階調を出すハーフトーンマスク法があり、半透光部にはITO膜や酸化クロム膜などを用いる事ができる。   As a method for adjusting the transmittance of exposure light used for the multi-tone mask, a conventionally known method can be used. Such a multi-tone mask has a light-shielding film that substantially shields the exposure light and a semi-transparent film that transmits the exposure light at a desired transmittance. There is a halftone mask method that produces gradation by having a light-shielding portion that does not transmit light and a semi-transparent portion that adjusts the amount of transmitted light, and an ITO film, a chromium oxide film, or the like is used for the semi-transparent portion I can do things.

着色層上のエッチング保護膜を剥離後、必要に応じて、加熱乾燥(硬膜)する。硬膜条件は、通常150〜300℃で1〜60分加熱するのが一般的である。
以上のプロセスにより、透明基板上に絶縁層が形成される。1回のパターニングで十分な高さを得られることが困難である場合には、複数層の樹脂層を積層することも可能である。
After peeling off the etching protective film on the colored layer, if necessary, it is heat-dried (hardened). As for the hardening conditions, heating is usually performed at 150 to 300 ° C. for 1 to 60 minutes.
Through the above process, an insulating layer is formed on the transparent substrate. When it is difficult to obtain a sufficient height by one patterning, a plurality of resin layers can be laminated.

さて、表3は、図4に示す一実施例のカラーフィルタ(CF4)と、比較例としての図1に示すカラーフィルタ(CF1)の弾性特性を具体的に測定し、評価した結果を表したものである。カラーフィルタ(CF4)の絶縁層(17)は、顔料を含有しないポジ型のフォトレジストを用いて形成されたものである。カラーフィルタ(CF4)及びカラーフィルタ(CF1)のスペーサの高さは、共に3.5μmとした。   Table 3 shows the results of concrete measurement and evaluation of the elastic characteristics of the color filter (CF4) of one example shown in FIG. 4 and the color filter (CF1) shown in FIG. 1 as a comparative example. Is. The insulating layer (17) of the color filter (CF4) is formed using a positive photoresist that does not contain a pigment. The spacer heights of the color filter (CF4) and the color filter (CF1) were both 3.5 μm.

表3に示すように、比較例の弾性復元率が80%であるのに対し、絶縁層(17)を設けた一実施例の弾性復元率が84%であり、弾性復元率は向上した結果が得られている。   As shown in Table 3, the elastic recovery rate of the comparative example is 80%, whereas the elastic recovery rate of one example provided with the insulating layer (17) is 84%, and the elastic recovery rate is improved. Is obtained.

Figure 0005304170
弾性特性の評価方法は、以下の通りである。
[スペーサの弾性測定]
弾性特性を微小膜硬度計HM2000(フィッシャー・インストルメンツ社製)によって評価する。弾性特性は、50μm×50μmの平坦圧子を用い、2.2mN/secの速度で20mNの荷重を負荷し、5秒間保持した後、2.2mN/secの速度で0.4mNまで荷重を除去したときの総変形量、塑性変形量を測定する。総変形量、塑性変形量、弾性復元率は、以下の式で表される値である。まとめたものを表3に示した。なお、スペーサの大きさは、平面視で径およそ16μmの円形状とする。
A:スペーサの初期高さ
B:所定荷重を付加時における高さ
C:所定荷重を付加した後、荷重を除去した後の高さ
総変形量:A−Bで表される変形量。
塑性変形量:A−Cで表される変形量
弾性復元率:[(C−B)/(A−B)]×100で表される変形率
また、弾性特性の評価として、真空気泡(低温気泡)の発生について測定を行った。
上記比較例としてのカラーフィルタ(CF1)にては低温気泡が発生したが、一実施例のカラーフィルタ(CF4)では低温気泡の発生はみられないといった結果が得られている。
Figure 0005304170
The evaluation method of the elastic property is as follows.
[Measurement of spacer elasticity]
The elastic characteristics are evaluated by a micro film hardness meter HM2000 (Fischer Instruments). The elastic characteristics were obtained by using a flat indenter of 50 μm × 50 μm, applying a load of 20 mN at a speed of 2.2 mN / sec, holding it for 5 seconds, and then removing the load to 0.4 mN at a speed of 2.2 mN / sec. Measure the total deformation amount and plastic deformation amount. The total deformation amount, the plastic deformation amount, and the elastic recovery rate are values represented by the following expressions. The summary is shown in Table 3. Note that the size of the spacer is a circular shape having a diameter of about 16 μm in plan view.
A: Initial height of the spacer B: Height when a predetermined load is applied C: Total height deformation amount after applying the predetermined load and then removing the load: Deformation amount represented by AB.
Plastic deformation amount: Deformation amount represented by A-C Elastic recovery rate: Deformation rate represented by [(C−B) / (A−B)] × 100 Further, as an evaluation of elastic properties, vacuum bubbles (low temperature The generation of bubbles was measured.
In the color filter (CF1) as the comparative example, low temperature bubbles were generated, but in the color filter (CF4) of one example, the generation of low temperature bubbles was not observed.

[低温衝撃試験]
液晶パネルを−20℃下に3時間放置し、低温下にて直径11mm重さ5gの金属球を10cmの高さからパネルに垂直に5回落下させ、液晶パネル内部に気泡が発生するか否かを確認する。
[Low temperature impact test]
Whether the liquid crystal panel is allowed to stand at −20 ° C. for 3 hours, and a metal sphere having a diameter of 11 mm and a weight of 5 g is dropped from the height of 10 cm to the panel five times at a low temperature. To check.

また、図7は、請求項3に係わるカラーフィルタの一例を示す断面図である。
図7に示すように、このカラーフィルタ(CF7)は、透明基板(1)上に、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、(3B))、スペーサ(4)、透明電極膜(5)、絶縁層(17)が順次に形成されたものである。
スペーサ(4)は、赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)、青色着色層(3R’)を積層して形成されたものである。スリット(6)は、液晶の配向を規制するものであり、透明電極膜(5)へのフォトエッチングによって形成されたものである。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of a color filter according to a third aspect.
As shown in FIG. 7, the color filter (CF7) is formed on the transparent substrate (1), on the black matrix layer (2), the three colored layers (3R, 3G, (3B)), the spacer (4), A transparent electrode film (5) and an insulating layer (17) are sequentially formed.
The spacer (4) is formed by laminating a red colored layer (3R ′), a green colored layer (3G ′), and a blue colored layer (3R ′). The slit (6) regulates the orientation of the liquid crystal, and is formed by photoetching the transparent electrode film (5).

スペーサ(4)上の絶縁層(17)は、スペーサ上部から下部までを覆い被せるように形成されている。このカラーフィルタ(CF7)は、前記図5において、フォトマスク(20)上の絶縁層(17)の形成に対応した遮光部(21)の大きさを調整することにより容易に得ることができる。図7に示すように、絶縁層(17)がスペーサ上部から下部までを覆い被せるように設けられていることによって、液晶への着色層からの不純物の溶出を防ぐことができる。
これにより、液晶の配向の乱れが抑制され、液晶表示装置のコントラストが向上し、表示品位は良好なものとなる。
The insulating layer (17) on the spacer (4) is formed so as to cover from the upper part to the lower part of the spacer. The color filter (CF7) can be easily obtained by adjusting the size of the light shielding portion (21) corresponding to the formation of the insulating layer (17) on the photomask (20) in FIG. As shown in FIG. 7, since the insulating layer (17) is provided so as to cover the upper part to the lower part of the spacer, the elution of impurities from the colored layer to the liquid crystal can be prevented.
Thereby, disorder of the alignment of the liquid crystal is suppressed, the contrast of the liquid crystal display device is improved, and the display quality is improved.

図7に示すカラーフィルタ(CF7)を用いた液晶表示装置と、比較例としての図1に示すカラーフィルタ(CF1)を用いた液晶表示装置のコントラストを実際に測定した結果、カラーフィルタ(CF1)を用いた液晶表示装置のコントラストは、1500:1であったが、カラーフィルタ(CF7)を用いた液晶表示装置のコントラストは、2000:1へと向上したものとなった。   As a result of actually measuring the contrast between the liquid crystal display device using the color filter (CF7) shown in FIG. 7 and the liquid crystal display device using the color filter (CF1) shown in FIG. 1 as a comparative example, the color filter (CF1) The contrast of the liquid crystal display device using the color filter was 1500: 1, but the contrast of the liquid crystal display device using the color filter (CF7) was improved to 2000: 1.

液晶表示装置のコントラストの評価方法は、以下の通りである。
[コントラスト測定方法]
カラーフィルタ及び対向TFT基板にポリイミドの配向膜を800Åで形成し、ODF法(One Drop Fill)にて液晶を滴下、シール材を塗布し真空中で貼り合わせ液晶を充填する。その後、張り合わせた基板を120℃で1時間焼成しシール材を硬化させ、液晶パネルを作成する。
液晶パネルのコントラストは(白表示時の輝度)/(黒表示時の輝度)で表される数値である。
測定機にはトプコン(社)製:輝度計BM−5Aを使用し、測定は暗室で行う。
液晶パネルに電圧を印加し、全白表示にした際の輝度と電圧を解き全黒表示にした際の輝度を正面から測定し、パネルコントラストを算出する。
The method for evaluating the contrast of the liquid crystal display device is as follows.
[Contrast measurement method]
An alignment film of polyimide is formed with 800 mm on the color filter and the counter TFT substrate, and a liquid crystal is dropped by an ODF method (One Drop Fill), a sealing material is applied, and the liquid crystal is bonded in a vacuum and filled with the liquid crystal. Thereafter, the bonded substrates are baked at 120 ° C. for 1 hour to cure the sealing material, thereby creating a liquid crystal panel.
The contrast of the liquid crystal panel is a numerical value represented by (luminance when displaying white) / (luminance when displaying black).
Topcon (made by Topcon): luminance meter BM-5A is used for the measuring machine, and the measurement is performed in a dark room.
A voltage is applied to the liquid crystal panel, and the brightness and voltage when displaying all white are solved to measure the brightness when displaying all black, and the panel contrast is calculated.

また、請求項4に係わるカラーフィルタは、3原色の着色層を積層して形成されたスペーサが、ブラックマトリックス層上に形成されたことを特徴としている。スペーサをブラックマトリックス層上に形成することにより、着色層上にスペーサを形成する場合と比較し、表示領域の開口率を高くすることができ、また、液晶の配向不良による表示不良を防ぐことができる。   The color filter according to claim 4 is characterized in that a spacer formed by laminating colored layers of three primary colors is formed on the black matrix layer. By forming the spacer on the black matrix layer, it is possible to increase the aperture ratio of the display region as compared with the case of forming the spacer on the colored layer, and to prevent display defects due to poor alignment of the liquid crystal. it can.

また、図8は、請求項5に係わるカラーフィルタの一例を示す断面図である。
このカラーフィルタは、3原色の着色層を積層する層数を変え、高さの異なる2種のスペーサを有している。図8に示すように、このカラーフィルタ(CF8)は、透明基板(1)上に、ブラックマトリックス層(2)、3色の着色層(3R、3G、(3B))、スペーサ(4)、第二スペーサ(14)、透明電極膜(5)、絶縁層(17)が順次に形成されたものである。
FIG. 8 is a sectional view showing an example of a color filter according to claim 5.
This color filter has two types of spacers having different heights by changing the number of layers of the three primary color layers. As shown in FIG. 8, this color filter (CF8) is formed on a transparent substrate (1), a black matrix layer (2), three colored layers (3R, 3G, (3B)), a spacer (4), A second spacer (14), a transparent electrode film (5), and an insulating layer (17) are sequentially formed.

スペーサ(4)は、赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)、青色着色層(3R’)の3層を積層して形成されたものであり、符号(t21)で示す高さを有している。また、第二スペーサ(14)は、赤色着色層(3R’)、緑色着色層(3G’)の2層を積層して形成されたものであり、高さは、スペーサ(4)の高さより低い符号(t22)で示す高さを有している(t21>t22)。スリット(6)は、液晶の配向を規制するものであり、透明電極膜(5)へのフォトエッチングによって形成されたものである。   The spacer (4) is formed by laminating three layers of a red colored layer (3R ′), a green colored layer (3G ′), and a blue colored layer (3R ′). Have The second spacer (14) is formed by laminating two layers of a red colored layer (3R ′) and a green colored layer (3G ′), and the height is higher than the height of the spacer (4). It has a height indicated by a low code (t22) (t21> t22). The slit (6) regulates the orientation of the liquid crystal, and is formed by photoetching the transparent electrode film (5).

カラーフィルタと対向基板を貼り合わせて液晶パネルとするパネル組み立て工程では、周辺部にシール部を設け、カラーフィルタと対向基板のギャップを平行にして、上下定盤間に荷重を加えシール部及びスペーサを圧着し貼り合わせるが、この際に加わる荷重によってスペーサが変形するので、変形した状態で基板間のギャップが設定されることになる。この際、局部的に過剰な荷重を受けると、基板間のギャップが縮小して色ムラを発生させることがある。   In the process of assembling the liquid crystal panel by attaching the color filter and the counter substrate to each other, a seal portion is provided at the periphery, the gap between the color filter and the counter substrate is made parallel, a load is applied between the upper and lower surface plates, and the seal portion and spacer The spacers are deformed by the load applied at this time, so that the gap between the substrates is set in the deformed state. At this time, if an excessive load is locally applied, the gap between the substrates may be reduced to cause color unevenness.

このような局部的に過剰な荷重に対応して、2種のスペーサを有する液晶表示装置用カラーフィルタが提案されている。図8に示すカラーフィルタは、その一例である。2種のスペーサは、スペーサ(4)と第二スペーサ(14)である。
スペーサ(4)は、パネル組み立て時の荷重による変形、及び前記低温気泡に対応したスペーサである。また、第二スペーサ(14)は、局部的に過剰な荷重を受けた時に、スペーサ(4)の破壊を防ぎ、基板間のギャップを保つスペーサである。
A color filter for a liquid crystal display device having two types of spacers has been proposed to cope with such a locally excessive load. The color filter shown in FIG. 8 is an example. The two types of spacers are a spacer (4) and a second spacer (14).
The spacer (4) is a spacer corresponding to deformation caused by a load during panel assembly and the low-temperature bubbles. The second spacer (14) is a spacer that prevents the spacer (4) from being broken and maintains a gap between the substrates when receiving an excessive load locally.

図8に示すカラーフィルタ(CF8)のスペーサ(4)及び第二スペーサ(14)は、例えば、3種のフォトマスク、すなわち、赤色着色層(3R)、及びスペーサ(4)の赤色着色層(3R’)と第二スペーサ(14)の赤色着色層(3R’)の形成に対応したパターンを有する赤色用フォトマスクと、緑色着色層(3G)、及びスペーサ(4)の緑色着色層(3G’)と第二スペーサ(14)の緑色着色層(3G’)の形成に対応したパターンを有する緑色用フォトマスクと、青色着色層(3B)、及びスペーサ(4)の青色着色層(3B’)の形成に対応したパターンを有する青色用フォトマスクとを用いることによって形成することができる。   The spacer (4) and the second spacer (14) of the color filter (CF8) shown in FIG. 8 are, for example, three types of photomasks, that is, a red colored layer (3R) and a red colored layer (3) of the spacer (4). 3R ′) and a red photomask having a pattern corresponding to the formation of the red colored layer (3R ′) of the second spacer (14), the green colored layer (3G), and the green colored layer (3G) of the spacer (4) ') And a green photomask having a pattern corresponding to the formation of the green colored layer (3G') of the second spacer (14), the blue colored layer (3B), and the blue colored layer (3B 'of the spacer (4)) ) And a blue photomask having a pattern corresponding to the formation.

カラーフィルタに形成されるスペーサ(4)と第二スペーサ(14)の数の比は、特に限定されないが、〔1:2〕〜〔2:1〕程度である。   The ratio of the number of spacers (4) and second spacers (14) formed in the color filter is not particularly limited, but is about [1: 2] to [2: 1].

さて、上述した内容は、フォトマスクを介したフォトレジスト層への露光、現像といったフォトリソグラフィ法により、カラーフィルタの透明基板上に、本発明における絶縁層を直接に形成したカラーフィルタである。
本発明は又、工程が増えることになるが、着色層を積層して形成されたスペーサが有する
欠点を補うに際し、絶縁層を転写法によって絶縁層を形成してもよい。
What has been described above is a color filter in which the insulating layer according to the present invention is directly formed on a transparent substrate of a color filter by a photolithography method such as exposure and development of a photoresist layer through a photomask.
In the present invention, although the number of steps is increased, the insulating layer may be formed by a transfer method in order to compensate for the drawbacks of the spacer formed by laminating the colored layers.

すなわち、予め、基材上に感光性を付与した樹脂層を形成した転写基板を準備し、これを必要に応じ熱や圧力を加えつつ基板の上に重ね合わせ、露光・現像し、しかる後に基材を剥離して絶縁層を基板上に形成する方法、若しくは、予めフォトリソグラフィ等にて転写基板上に絶縁層を形成しておき、これを透明基板と重ね、転写基板に熱や圧力を加えて絶縁層を転写する方法である。   That is, a transfer substrate having a resin layer with photosensitivity formed on a base material is prepared in advance, and this is overlaid on the substrate while applying heat and pressure as necessary, exposed and developed, and thereafter A method in which the insulating layer is formed on the substrate by peeling the material, or an insulating layer is formed on the transfer substrate in advance by photolithography or the like, and this is overlapped with the transparent substrate, and heat or pressure is applied to the transfer substrate. In this method, the insulating layer is transferred.

絶縁層には、絶縁層の弾性などの特性に影響を与えない範囲で、フィラーや色材を添加してもよい。フィラーとは、樹脂、及びその溶剤、及び現像液に対して不溶性の性質を有する無機及び有機の粒子を指している。
無機粒子としては、シリカ、硫酸バリウム、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、タルクなどの体質顔料、及び白、黒、赤、青、緑などの着色顔料、及びアルミナ、ジルコニア、マグネシア、ベリリア、ムライト、コージライトなどのセラミックス粉末、及びガラス−セラミックス複合粉末などが用いられる。体質顔料の内、バライト、硫酸バリウム、炭酸バリウム、炭酸カルシウム、シリカおよびタルクは着色がなく、絶縁層を透明にできるので、特に好ましい。
A filler or a colorant may be added to the insulating layer within a range that does not affect properties such as elasticity of the insulating layer. The filler refers to inorganic and organic particles that are insoluble in the resin, its solvent, and developer.
Inorganic particles include extender pigments such as silica, barium sulfate, barium carbonate, calcium carbonate and talc, and colored pigments such as white, black, red, blue and green, and alumina, zirconia, magnesia, beryllia, mullite, cordierite. Ceramic powder such as, glass-ceramic composite powder, and the like are used. Of the extender pigments, barite, barium sulfate, barium carbonate, calcium carbonate, silica, and talc are particularly preferable because they are not colored and the insulating layer can be made transparent.

また、絶縁層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、チタンブラック(TiNxOy:ただし、0≦x<1.5、0.1<y<1.8)、酸化マンガン、四酸化鉄、などの金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉を用いることができる。この中でも、カーボンブラックは遮光性に優れており、特に好ましい。絶縁層に遮光性と絶縁性が要求される際には、酸化アルミニウム、チタンブラック、酸化鉄などの絶縁性無機粒子や表面に樹脂を被覆したカーボンブラックを用いてもよい。
フィラーの粒径は平均1次粒子径が5〜40nmが好ましく、より好ましくは6〜35nm、さらに好ましくは8〜30nmである。
Further, when the insulating layer is required to have light shielding properties, carbon black, titanium black (TiNxOy: where 0 ≦ x <1.5, 0.1 <y <1.8), manganese oxide, iron tetroxide , Etc., metal oxide powder, metal sulfide powder, and metal powder can be used. Among these, carbon black is particularly preferable because of its excellent light shielding properties. When the insulating layer is required to have light shielding properties and insulating properties, insulating inorganic particles such as aluminum oxide, titanium black, and iron oxide, or carbon black whose surface is coated with a resin may be used.
The average primary particle diameter of the filler is preferably 5 to 40 nm, more preferably 6 to 35 nm, and still more preferably 8 to 30 nm.

着色層を積層して形成されたスペーサ、透明電極膜にスリットが形成されたカラーフィルタの一例の断面図である。It is sectional drawing of an example of the color filter in which the slit formed in the spacer formed by laminating | stacking a colored layer and a transparent electrode film. 着色層を積層して形成されたスペーサが有する欠点を補うカラーフィルタの一例の断面図である。It is sectional drawing of an example of the color filter which compensates the fault which the spacer formed by laminating | stacking a colored layer has. 着色層を積層して形成されたスペーサが有する欠点を補うカラーフィルタの他の例の断面図である。It is sectional drawing of the other example of the color filter which compensates the fault which the spacer formed by laminating | stacking a colored layer has. 本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの一実施例の断面図である。It is sectional drawing of one Example of the color filter for liquid crystal display devices by this invention. (a)〜(d)は、本発明に絶縁層を形成する方法の一例を説明する断面図である。(A)-(d) is sectional drawing explaining an example of the method of forming an insulating layer in this invention. 表1に示す厚さの各部位を表したものである。Each part of the thickness shown in Table 1 is represented. 請求項3に係わるカラーフィルタの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the color filter concerning Claim 3. 請求項5に係わるカラーフィルタの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the color filter concerning Claim 5.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・透明基板
2・・・ブラックマトリックス層
3R・・・赤色着色層
3G・・・緑色着色層
3B・・・青色着色層
3R’、3G’、3B’・・・スペーサを構成する3色の着色層
4・・・スペーサ
5・・・透明電極膜
6・・・スリット
7・・・調整層
8・・・透明保護層
10・・・フォトレジスト層
14・・・第二スペーサ
15・・・エッチング保護膜
16・・・開口部
17・・・絶縁層
20・・・フォトマスク
21・・・遮光部
22・・・半透光部
23・・・透光部
CF1〜CF8・・・カラーフィルタ
E・・・露光
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transparent substrate 2 ... Black matrix layer 3R ... Red colored layer 3G ... Green colored layer 3B ... Blue colored layer 3R ', 3G', 3B '... 3 which comprises a spacer Colored colored layer 4 ... spacer 5 ... transparent electrode film 6 ... slit 7 ... adjustment layer 8 ... transparent protective layer 10 ... photoresist layer 14 ... second spacer 15 .. Etching protective film 16... Opening 17... Insulating layer 20... Photomask 21. Color filter E ... Exposure

Claims (6)

透明基板上にブラックマトリックス層、3原色の着色層、スペーサ、透明電極膜を備えた液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、該スペーサは、該3原色の内の少なくとも2原色の着色層を積層して形成され、該スペーサ上に透明電極膜及びスペーサの高さの調整を兼ねた絶縁層を有し、
かつ、前記スペーサ上の絶縁層は、スペーサ上部から下部までを覆い被せるように形成され、
かつ、前記スペーサ上の絶縁層は、透明電極膜にスリットを形成する際に用いるエッチング保護膜と同一材料で形成されるとともに、前記材料がアルカリ可溶性のポジ型感光性樹脂であり、
該3原色の着色層上の透明電極膜は、液晶の配向を規制するスリットを有することを特徴とするカラーフィルタ。
In a color filter for a liquid crystal display device comprising a black matrix layer, three primary color layers, a spacer, and a transparent electrode film on a transparent substrate, the spacer is formed by laminating at least two primary color layers of the three primary colors. Formed and having an insulating layer also serving as adjustment of the height of the transparent electrode film and the spacer on the spacer,
And the insulating layer on the spacer is formed so as to cover from the upper part to the lower part of the spacer,
And the insulating layer on the spacer is formed of the same material as the etching protective film used when forming the slit in the transparent electrode film, and the material is an alkali-soluble positive photosensitive resin,
The transparent electrode film on the colored layers of the three primary colors has a slit for regulating the alignment of liquid crystal.
前記スペーサは、ブラックマトリックス層上に形成されたことを特徴とする請求項記載のカラーフィルタ。 The spacer, the color filter according to claim 1, characterized in that it is formed on the black matrix layer. 前記3原色の着色層を積層する層数を変え、高さの異なる2種以上のスペーサを有することを特徴とする請求項1又は2記載のカラーフィルタ。 Changing the number of stacked layers of the colored layers of the three primary colors, according to claim 1 or 2 color filter according to characterized in that it has two or more spacers of different heights. 請求項〜請求項のいずれか1項に記載するカラーフィルタを製造する製造方法であって、少なくとも、
1)ブラックマトリックス層、3色の着色層、スペーサ、透明電極膜が形成された透明基板上に、絶縁層及びエッチング保護膜を形成するためのフォトレジスト層を形成する工程、
2)半透光部にITO膜を用いた多諧調マスクであるフォトマスクを介したフォトレジスト層への露光、現像により、絶縁層、及びスリットの形成に対応した開口部を有するエッチング保護膜を形成する工程、
3)エッチング処理により、透明電極膜にスリットを形成する工程、
4)着色層上方の透明電極膜上のエッチング保護膜を剥離する工程、を具備することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
A method of manufacturing a color filter according to any one of claims 1 to 3, at least,
1) A step of forming a photoresist layer for forming an insulating layer and an etching protective film on a transparent substrate on which a black matrix layer, three colored layers, a spacer, and a transparent electrode film are formed,
2) An etching protective film having an opening corresponding to the formation of an insulating layer and a slit by exposing and developing the photoresist layer through a photomask which is a multi-tone mask using an ITO film in a semi-transparent portion. Forming step,
3) forming a slit in the transparent electrode film by etching,
4) A step of peeling off the etching protective film on the transparent electrode film above the colored layer.
請求項に記載するカラーフィルタを製造する製造方法であって、スペーサを構成する
3原色の着色層の形成に対応したパターンとして、積層する層数に準じたパターンを有する各3原色用のフォトマスクを用いることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
4. A manufacturing method for manufacturing a color filter according to claim 3 , wherein each of the three primary colors has a pattern corresponding to the number of layers to be laminated as a pattern corresponding to the formation of the colored layers of the three primary colors constituting the spacer. A method for producing a color filter, comprising using a mask.
請求項1〜請求項のいずれか1項に記載するカラーフィルタを用いたことを特徴とする液晶表示装置。 The liquid crystal display device characterized by using the color filter according to any one of claims 1 to 3.
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