JP5303054B2 - 金属充填装置 - Google Patents
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Description
前記被処理物を保持する保持部と、
内部空間を有し、一端が前記保持部と対向して設けられる筒状部材と、
前記筒状部材の内部空間内に進退自在に嵌入された押付部材と、
前記筒状部材及び前記保持部と前記押付部材とを、前記保持部に保持された被処理物と前記押付部材とが相互に接近,離反する方向に、相対的に移動させるとともに、接近時に、前記保持部に保持された前記被処理物に対して前記押付部材を押し当て可能に移動させる押付機構と、
前記保持部及び筒状部材のうち少なくとも一方を、他方に対し接近、離反する方向に移動させる移動機構とを備え、
前記保持部に保持された被処理物又は前記保持部と、前記筒状部材及び前記押付部材とによって気密状の処理室が形成され、
更に、前記処理室内を減圧する減圧機構と、
前記処理室内に溶融金属を供給する溶融金属供給機構と、
前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧機構とを備えるとともに、
前記処理室は、前記押付部材の進退位置によってその容積が変化するように構成されている。
2 処理室
3 減圧機構
4 溶融金属供給機構
5 押付機構
6 押付部
7 加圧ガス供給機構
8 溶融金属回収機構
15 制御装置
16 昇降機構
C ハウジング
H 保持台
K 半導体ウェハ
P ピストン
Claims (6)
- 被処理物表面の、該表面に開口するように形成された微小空間内に、該被処理物上に供給した溶融金属を充填する金属充填装置であって、
前記被処理物を保持する保持部と、
内部空間を有し、一端が前記保持部と対向して設けられる筒状部材と、
前記筒状部材の内部空間内に進退自在に嵌入された押付部材と、
前記筒状部材及び前記保持部と前記押付部材とを、前記保持部に保持された被処理物と前記押付部材とが相互に接近,離反する方向に、相対的に移動させるとともに、接近時に、前記保持部に保持された前記被処理物に対して前記押付部材を押し当て可能に移動させる押付機構と、
前記保持部及び筒状部材のうち少なくとも一方を、他方に対し接近、離反する方向に移動させる移動機構とを備え、
前記保持部に保持された被処理物又は前記保持部と、前記筒状部材及び前記押付部材とによって気密状の処理室が形成され、
更に、前記処理室内を減圧する減圧機構と、
前記処理室内に溶融金属を供給する溶融金属供給機構と、
前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧機構とを備えるとともに、
前記処理室は、前記押付部材の進退位置によってその容積が変化するように構成されていることを特徴とする金属充填装置。 - 前記加圧機構は、前記処理室内に加圧気体を供給する加圧気体供給機構であることを特徴とする請求項1記載の金属充填装置。
- 前記溶融金属供給機構は、前記処理室内を溶融金属で完全に満たすように、該処理室内に溶融金属を供給するように構成され、前記押付機構は、前記加圧機構としても機能するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の金属充填装置。
- 前記溶融金属供給機構は、前記処理室内を溶融金属で完全に満たすように、該処理室内に溶融金属を加圧供給するように構成され、前記加圧機構としても機能するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の金属充填装置。
- 一端が前記筒状部材の内壁面に開口した通気路を備えるとともに、一端が前記筒状部材の内壁面に開口した供給路を備えており、
前記減圧機構は、前記通気路を介して処理室内の気体を排気し、該処理室内を減圧するように構成され、
前記溶融金属供給機構は、前記供給路を介して処理室内に溶融金属を供給するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至4記載のいずれかの金属充填装置。 - 一端が前記押付部材の前記保持部に対向する面に開口するように該押付部材に形成された通気路を備えるとともに、一端が押付部材の前記対向する面に開口するように該押付部材に形成された供給路を備えており、
前記減圧機構は、前記通気路を介して処理室内の気体を排気し、該処理室内を減圧するように構成され、
前記溶融金属供給機構は、前記供給路を介して処理室内に溶融金属を供給するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至4記載のいずれかの金属充填装置。
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