JP5299009B2 - 外部共振器型波長可変レーザ及びその製造方法 - Google Patents
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実施の形態1
図1Aは、実施の形態1にかかる外部共振器型波長可変レーザの上面図である。図1Aに示すように、この外部共振器型波長可変レーザは、PC−SOA101と、レンズ104、エタロンフィルタ105と液晶波長可変ミラーである外部ミラー106で構成される。PC−SOA101にはSOA102とPC103により構成され、導波路108が形成されている。
実施の形態2にかかる外部共振器型波長可変レーザは、曲線導波路108b及び直線導波路108cでのコア層の組成波長が、レーザ発振波長よりも短いことが特徴である。具体的には、図1Aに示す曲線導波路108b及び直線導波路108cでのコア層の組成波長は、レーザ発振波長である1.55μmよりも短い、1.28μmである。その他の構成については、実施の形態1と同様であるので、説明を省略する。
図8は、実施の形態3にかかる外部共振器型波長可変レーザのPC-SOA301の上面図である。本構成では、図8に示すように、PC303を含むPC−SOA301には、SOA導波路108a、曲線導波路108b、直線導波路308cからなる導波路308が形成されている。直線導波路308cの外部ミラー側端面110から30μmまでの区間でのコア層の組成波長は1.20μmに、それ以外の区間でのコア層の組成波長は1.30μmとなっている。その他の構成は、図1Aと同様であるので、説明を省略する。
図9Aは、実施の形態4にかかる外部共振器型波長可変レーザのPC−SOA401の上面図である。本構成では、図9Aに示すように、PC403を含むPC−SOA401には、SOA導波路108a、曲線導波路408b、直線導波路408cからなる導波路408が形成されている。その他の構成は、図1Aと同様であるので、説明を省略する。
上述の実施の形態1〜5では、レンズ104、エタロンフィルタ105、外部ミラー106を配置する構成としているが、本発明は、少なくとも上述のPC−SOAと、外部ミラー106を有する、他の外部共振器型波長可変レーザで用いることが出来る。
104 レンズ 105 エタロンフィルタ 106 外部ミラー
108 導波路
108a SOA導波路 108b 曲線導波路 108c 直線導波路
110 外部ミラー側端面 111 光出射側端面
112 SOA電極 113 PC電極
114 無反射コート 115 低反射コート
201 InP基板 202 活性層 203 半導体層
204 InPクラッド層 205 FeドープInP層
206 半導体層
308 導波路 308c 直線導波路
408 導波路 408b 曲線導波路 408c 直線導波路
701 PC-SOA 702 SOA 703 PC
704 レンズ 705 エタロンフィルタ 706 外部ミラー
708 導波路 708b 曲線部分 710 外部ミラー側端面
712 SOA電極 713 PC電極
Claims (14)
- 半導体光増幅器と、
前記半導体光増幅器と同一の半導体基板上に形成され、前記半導体光増幅器により生成された光の位相を調整する位相調整器と、
前記位相調整器から出射された光を反射する外部ミラーとを備え、
前記位相調整器は、
前記半導体光増幅器と光学的に結合され、曲線状に形成された第1の半導体導波路と、
前記第1の半導体導波路と光学的に結合され、前記第1の半導体導波路と光が出射される当該位相調整器の端面との間に直線状に形成され、当該位相調整器の前記端面に近づくに従い光閉じ込め率が低くなる第2の半導体導波路と、
前記第2の半導体導波路上にのみ形成された電極とを備える外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第1の半導体導波路及び前記第2の半導体導波路の組成波長は、レーザ発振波長より短いことを特徴とする、
請求項1に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - レーザ発振波長と、前記第1の半導体導波路及び前記第2の半導体導波路の組成波長との波長差は、エネルギー換算で100meV以上250meV以下であることを特徴とする、
請求項2に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - レーザ発振波長は実質的に1.55μmであり、
前記第1の半導体導波路及び前記第2の半導体導波路の組成波長は実質的に1.28μmであることを特徴とする、
請求項2または3に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第2の半導体導波路は、前記第1の半導体導波路側と、前記位相調整器の端面側とでは組成波長が異なることを特徴とする、
請求項2または3に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - レーザ発振波長は実質的に1.55μmであり、
前記第1の半導体導波路と、前記第1の半導体導波路側における前記第2の半導体導波路の組成波長は実質的に1.30μmであり、
前記位相調整器の端面側における前記第2の半導体導波路の組成波長は実質的に1.20μmであることを特徴とする、
請求項5に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第1の半導体導波路及び前記第2の半導体導波路は前記位相調整器の端面に近づくに従い、連続的に厚みが薄くなり、かつ組成波長が短くなることを特徴とする、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第1の半導体導波路及び前記第2の半導体導波路の幅は、0.5μm以上2.0μm以下であることを特徴とする、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第1の半導体導波路及び前記第2の半導体導波路の幅は、実質的に1.6μmであることを特徴とする、
請求項8に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第2の半導体導波路は前記位相調整器の端面に近づくに従い、連続的に幅が細くなることを特徴とする、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第2の半導体導波路の最大幅は1.6μmであり、最小幅は0.5μmであることを特徴とする、
請求項10に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第2の半導体導波路は前記位相調整器の端面と直交しないことを特徴とする、
請求項1乃至11のいずれか一項に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 前記第1の半導体導波路及び前記第2の半導体導波路は単層の半導体層からなることを特徴とする、
請求項1乃至12のいずれか一項に記載の外部共振器型波長可変レーザ。 - 半導体光増幅器と、前記半導体光増幅器により生成された光の位相を調整する位相調整器を前記半導体光増幅器と同一の半導体基板上に形成する工程と、
前記位相調整器から出射された光を反射する外部ミラーを配置する工程を備え、
前記位相調整器を形成する工程は、
曲線状の第1の半導体導波路を前記半導体光増幅器と光学的に結合させて形成する工程と、
光が出射される当該位相調整器の端面に近づくに従い光閉じ込め率が低くなる直線状の第2の半導体導波路を、前記第1の半導体導波路と当該位相調整器の前記端面との間に、前記第1の半導体光導波路と光学的に結合させて形成する工程と、
前記第2の半導体導波路上にのみ電極を形成する工程とを備える外部共振器型波長可変レーザの製造方法。
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