JP5272284B2 - 接着シート、半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims description 182
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims description 181
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 121
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 47
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 37
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 37
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 31
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 31
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 27
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 9
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 9
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 8
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 13
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 9
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 9
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 5
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 5
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 5
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 3
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 3
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 3
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N boron trifluoride Chemical compound FB(F)F WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 2
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000378 calcium silicate Substances 0.000 description 2
- 229910052918 calcium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N calcium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Ca+2].[O-][Si]([O-])=O OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 2
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 2
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 2
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 2
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000391 magnesium silicate Substances 0.000 description 2
- 229910052919 magnesium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019792 magnesium silicate Nutrition 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CO1 RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 description 1
- BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-phenylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound N#CCCN1C=CN=C1C1=CC=CC=C1 BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015900 BF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 241000135309 Processus Species 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N aluminum;borate Chemical compound [Al+3].[O-]B([O-])[O-] OJMOMXZKOWKUTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- BGTFCAQCKWKTRL-YDEUACAXSA-N chembl1095986 Chemical compound C1[C@@H](N)[C@@H](O)[C@H](C)O[C@H]1O[C@@H]([C@H]1C(N[C@H](C2=CC(O)=CC(O[C@@H]3[C@H]([C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O3)O)=C2C=2C(O)=CC=C(C=2)[C@@H](NC(=O)[C@@H]2NC(=O)[C@@H]3C=4C=C(C(=C(O)C=4)C)OC=4C(O)=CC=C(C=4)[C@@H](N)C(=O)N[C@@H](C(=O)N3)[C@H](O)C=3C=CC(O4)=CC=3)C(=O)N1)C(O)=O)=O)C(C=C1)=CC=C1OC1=C(O[C@@H]3[C@H]([C@H](O)[C@@H](O)[C@H](CO[C@@H]5[C@H]([C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](C)O5)O)O3)O[C@@H]3[C@H]([C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O3)O[C@@H]3[C@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O3)O)C4=CC2=C1 BGTFCAQCKWKTRL-YDEUACAXSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001739 density measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N edrophonium chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(C)C1=CC=CC(O)=C1 BXKDSDJJOVIHMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000005077 polysulfide Substances 0.000 description 1
- 229920001021 polysulfide Polymers 0.000 description 1
- 150000008117 polysulfides Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002987 primer (paints) Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000518 rheometry Methods 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 230000009974 thixotropic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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- H01L2224/32135—Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
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- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
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また、本発明は、第1の接着剤層及び第2の接着剤層が直接的に又は間接的に積層された構造を有してなる多層接着シートであって、少なくとも第1の接着剤層が前記接着シートからなり、第1の接着剤層のフロー量Aμm、厚さaμm、第2の接着剤層のフロー量Bμm、厚さbμmとが、A×3<Bかつa×2<bの関係を有する多層接着シートに関する。
また、本発明は、ウエハ、接着シート及びダイシングテープを0℃〜80℃で貼り合わせ、回転刃でウエハ、接着シート及びダンシングテープを同時に切断し、接着剤付き半導体チップを得た後、当該接着剤付き半導体チップを凹凸を有する基板又は半導体チップに荷重0.001〜1MPaで接着し、接着剤で凹凸を充てんする工程に使用する前記接着シートに関する。
また、本発明は、ウエハ、接着シート及びダイシングテープを貼り合せた際に、ウエハに接する側が第1の接着剤層であり、ダイシングテープに接する側が第2の接着剤層である前記接着シートに関する。
また、本発明は、ウエハ、前記接着シート及びダイシングテープを0℃〜80℃で貼り合わせ、回転刃でウエハ、接着シート及びダンシングテープを同時に切断し、接着剤付き半導体チップを得た後、当該接着剤付き半導体チップを凹凸を有する基板又は半導体チップに荷重0.001〜1MPaで接着し、接着剤で凹凸を充てんする工程を含む半導体装置の製造方法に関する。
また、本発明は、接着剤付き半導体チップを、凹凸を有する基板又は半導体チップに接着する際に、凹凸を加熱する前記半導体装置の製造方法に関する。
また、本発明は、凹凸を形成する凸部の高さ/幅が1以上である前記半導体装置の製造方法に関する。
また、本発明は、前記接着シートを用いて半導体チップと基板、又は半導体チップと半導体チップとを接着してなる半導体装置に関する。
すなわち、樹脂を厚さ100〜300μmの形状に成形する。これを直径11.3mmの円形に打ち抜いたものを試料とし、100℃において、荷重3.0kgfで5秒間加圧し、加圧前後の試料の厚みから、次式より溶融粘度を算出した。
第1の接着剤層としては、本発明の接着シートを使用することができる。第2の接着剤層としては、特願2005−122447、特願2004−351605、又は特願2004−124118に記載の接着シートなどを用いることができる。
ダイシングテープ又はダイシングテープ一体型接着シートを貼り付ける際にも、上記温度で行うことが好ましい。
(実施例1)
第1の接着剤層
エポキシ樹脂としてYDCN−703(東都化成(株)製商品名、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量210)55重量部;フェノール樹脂としてミレックスXLC−LL(三井化学(株)製商品名、フェノール樹脂)45重量部;シランカップリング剤としてA−1160(日本ユニカー(株)製商品名)0.7重量部、A−189(日本ユニカー(株)製商品名)0.7部;シリカフィラー(粒子)としてアドマファインS0−C2(株式会社アドマテック製商品名、比重(真密度):2.2g/cm3、嵩密度0.7g/cm3、平均粒径0.5μm、比表面積6.0m2/g)100重量部;からなる組成物に、シクロヘキサノンを加えて攪拌混合し、更にビーズミルを用いて90分混練した。
エポキシ樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量160、東都化成株式会社製商品名YDF−8170Cを使用)30重量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量210、東都化成株式会社製商品名YDCN−703を使用)10重量部;エポキシ樹脂の硬化剤としてフェノールノボラック樹脂(大日本インキ化学工業株式会社製商品名プライオーフェンLF2882を使用)27重量部;エポキシ基含有アクリル系共重合体としてエポキシ基含有アクリルゴム(ゲル パーミエーション クロマトグラフィーによる重量平均分子量80万、グリシジルメタクリレート3重量%、Tgは−7℃、ナガセケムテックス株式会社製商品名HTR−860P−3を使用)15重量部;硬化促進剤としてイミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業株式会社製商品名キュアゾール2PZ−CNを使用)0.1重量部;シリカフィラー(株式会社アドマテック製商品名アドマファインS0−C2(比重(真密度):2.2g/cm3、嵩密度0.7g/cm3、平均粒径0.5μm、比表面積6.0m2/gを使用)60重量部;シランカップリング剤(日本ユニカー株式会社製商品名A−189を使用)0.25重量部及び(日本ユニカー株式会社製商品名A−1160を使用)0.5重量部;からなる組成物に、シクロヘキサノンを加えて撹拌混合し、接着剤ワニスを得た。
第1、第2の接着剤層を60℃でラミネートし、第1及び第2の接着剤層を有する多層接着シートを作製した。
配合を表1の実施例2、3に示すように変更した以外は、実施例1と同様の工程を経て接着シートを作製した。なお、実施例2では、さらにシリカフィラーR972(日本アエロジル(株)製、比重(真密度):2.1g/cm3、嵩密度0.05g/cm3、平均粒径0.016〜0.03μm、比表面積130m2/g)を用いた。
配合を表1の比較例1〜3に示すように変更した以外は、実施例1と同様の工程を経て接着シートを作製した。
実施例1〜3及び比較例1〜3で得られた多層接着シートを用いて以下に示す評価項目について評価を行った。なお、接着シートは、ウエハ又は半導体チップに接する側が第1の接着剤層、基板に接する側が第2の接着剤層となるように使用した。
120℃のホットプレート上で、半導体チップ(5mm角)を金めっき基板(銅箔付フレキ基板電解金めっき(Ni:5μm、Au:0.3μm))上に接着シートを用いて接着し、130℃、30min+170℃で1時間キュアした。この試料について85℃/85%RH、48時間吸湿後の260℃での剪断強度を測定した。
ホットロールラミネータ(60℃、0.3m/分、0.3MPa)で幅10mmの接着シートとウエハを貼り合わせ、その後、接着シートをTOYOBALWIN製UTM−4−100型テンシロンを用いて、25℃の雰囲気中で、90°の角度で、50mm/分の引張り速度で剥がしたときの90°ピール強度を求めた。90°ピール強度が30N/m以上の場合はラミネート性良好(○)、90°ピール強度が30N/m未満の場合はラミネート性不良(×)とした。
接着シートとPETフィルムを1×2cmの短冊状に打ち抜いたサンプルについて、熱圧着試験装置(テスター産業(株)製)を用いて熱板温度100℃、圧力1MPaで18秒間プレスした後、サンプルの端部からはみだした樹脂の長さを光学顕微鏡で測定し、これをフロー量とした。
接着シート、ダイシングテープの付いた半導体ウエハに、ダイシングカッターを用いてダイシング、さらに洗浄、乾燥を行い接着シート付き半導体チップを得た。その際、半導体チップの側面のクラックの最大高さと樹脂のばりの長さを測定し、それらが、30μm以下の場合は○、30μm超の場合は×とした。
接着剤付き半導体チップと、厚み25μmのポリイミドフィルムを基材に用いた高さ50μm、幅40μm、アスペクト比1.25の凹凸を有する配線基板を0.1MPa、1s、160℃の条件で貼り合せた半導体装置サンプル(片面にはんだボールを形成)を作製し、充てん性、耐熱性を調べた。充てん性の評価は、チップの断面を研磨し、光学顕微鏡で配線基板の凹凸付近などを観察し、直径5μm以上の空隙の有無を調査することにより行った。直径5μm以上の空隙のないものを○、あるものを×とした。耐熱性の評価方法には、耐リフロークラック性と耐温度サイクル試験を適用した。
(5)で作製したサンプルの断面を観察し、凸部と半導体チップ間の最小距離を測定した。凸部と半導体チップが接触しているもの及び距離が5μm未満のものを×、5μmから20μmのものを○と判定した。
上記の評価結果を表1に示す。
また、ダイシング時の半導体チップ飛びも無く、ピックアップ性も良好である。
A1 半導体チップ
b’ 第1の接着剤層
b 接着シート
a 第2の接着剤層
b1 接着剤
c 多層接着シート
1 ダイシングテープ
2 ワイヤ
3 基板
4 配線
x 最大幅
y 最大高さ
Claims (7)
- 第1の接着剤層及び第2の接着剤層が直接的に又は間接的に積層された構造を有してなる多層接着シートであって、
少なくとも第1の接着剤層が、100℃における溶融粘度が1×10 4 〜1×10 8 Pa・sである樹脂70〜95体積%、嵩密度/真密度が0.2〜0.7である平均粒径0.1〜5μmの粒子5〜30体積%、及び嵩密度/真密度が0.2未満である平均粒径0.1μm未満の粒子0〜5体積%を含む接着シートからなり、
前記樹脂が、架橋性官能基を含む重量平均分子量が10万以上でTgが−50〜50℃である高分子量成分と、エポキシ樹脂を主成分とする熱硬化性成分とを含有し、
前記粒子が無機粒子を含有し、
厚さaμmの第1の接着剤層及び厚さbμmの第2の接着剤層のそれぞれとポリエチレンテレフタレートフィルムとを積層したサンプルを、温度100℃、圧力1MPaで18秒間プレスした後、サンプルの端部からはみだした接着剤の長さを、それぞれフロー量A及びフロー量Bとした場合、第1の接着剤層のフロー量Aμm、厚さaμm、第2の接着剤層のフロー量Bμm、厚さbμmとが、A×3<Bかつa×2<bの関係を有する多層接着シート。 - ウエハ、多層接着シート及びダイシングテープを0℃〜80℃で貼り合わせ、回転刃でウエハ、多層接着シート及びダンシングテープを同時に切断し、接着剤付き半導体チップを得た後、当該接着剤付き半導体チップを凹凸を有する基板又は半導体チップに荷重0.001〜1MPaで接着し、接着剤で凹凸を充てんする工程に使用する請求項1記載の多層接着シート。
- ウエハ、多層接着シート及びダイシングテープを貼り合せた際に、ウエハに接する側が第1の接着剤層であり、ダイシングテープに接する側が第2の接着剤層である請求項1又は2記載の多層接着シート。
- ウエハ、請求項1〜3のいずれかに記載の多層接着シート及びダイシングテープを0℃〜80℃で貼り合わせ、回転刃でウエハ、多層接着シート及びダンシングテープを同時に切断し、接着剤付き半導体チップを得た後、当該接着剤付き半導体チップを凹凸を有する基板又は半導体チップに荷重0.001〜1MPaで接着し、接着剤で凹凸を充てんする工程を含む半導体装置の製造方法。
- 接着剤付き半導体チップを、凹凸を有する基板又は半導体チップに接着する際に、凹凸を加熱する請求項4記載の半導体装置の製造方法。
- 凹凸を形成する凸部の高さ/幅が1以上である請求項4又は5記載の半導体装置の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の多層接着シートを用いて半導体チップと基板、又は半導体チップと半導体チップとを接着してなる半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006014267A JP5272284B2 (ja) | 2005-10-06 | 2006-01-23 | 接着シート、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005293511 | 2005-10-06 | ||
JP2005293511 | 2005-10-06 | ||
JP2006014267A JP5272284B2 (ja) | 2005-10-06 | 2006-01-23 | 接着シート、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007126622A JP2007126622A (ja) | 2007-05-24 |
JP5272284B2 true JP5272284B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=38149535
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006014267A Expired - Fee Related JP5272284B2 (ja) | 2005-10-06 | 2006-01-23 | 接着シート、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5272284B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5532575B2 (ja) * | 2007-10-22 | 2014-06-25 | 日立化成株式会社 | 接着シート |
TW201043674A (en) | 2009-04-17 | 2010-12-16 | Furukawa Electric Co Ltd | Adhesive thin film and wafer processing tape |
JP5437111B2 (ja) | 2010-03-01 | 2014-03-12 | 日東電工株式会社 | ダイボンドフィルム、ダイシング・ダイボンドフィルム及び半導体装置 |
WO2014047471A1 (en) | 2012-09-20 | 2014-03-27 | Silego Technology, Inc. | Extremely thin package |
JP6040737B2 (ja) * | 2012-12-05 | 2016-12-07 | 住友ベークライト株式会社 | 接着フィルム、電子部品の製造方法、および電子部品 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4258984B2 (ja) * | 2001-03-15 | 2009-04-30 | 日立化成工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4719992B2 (ja) * | 2001-03-19 | 2011-07-06 | 日立化成工業株式会社 | 接着剤組成物およびその用途 |
JP5236134B2 (ja) * | 2001-01-26 | 2013-07-17 | 日立化成株式会社 | 接着剤組成物、接着部材、半導体搭載用支持部材及び半導体装置等 |
JP3912223B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2007-05-09 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
KR101215728B1 (ko) * | 2003-06-06 | 2012-12-26 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 반도체 장치의 제조방법 |
-
2006
- 2006-01-23 JP JP2006014267A patent/JP5272284B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007126622A (ja) | 2007-05-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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