JP5271467B2 - Temporary bonding method using epoxy adhesive film - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bonding method which enables the precise bonding of a fine-shape adhesive surface with the adhesive excellent in heat resistance and solvent resistance and is further applicable for temporary bonding allowing the adhesive surface to be easily peeled off without damage. SOLUTION: The method for bonding by an epoxy adhesive film includes a heating process wherein the film is sandwiched between the two bondable surfaces of object bodies and then subjected to heating or heating and pressing and a subsequent removing process wherein the part of the film not requiring bonding and/or the part of the film melted and forced out of the bonded surfaces are subjected to etching.

Description

本発明はエポキシ接着フィルムを用いた、仮接着も可能である精密な接着方法に関する。  The present invention relates to a precise bonding method using an epoxy adhesive film and capable of temporary bonding.

近年、電子機器の軽薄短小化が進み、プリント基板や半導体チップ等の実装用の接着剤には耐熱性の接着フィルムが用いられている。プリント基板は従来ガラスクロスに樹脂を含浸させたプリプレグ型の接着剤を用いて熱圧着していた。しかし、プリプレグを用いると層間厚を薄くするには限界がある。そこで耐熱性の接着フィルムを用いると、プリント基板は、ガラスクロスを介さないためより薄く形成される。
接着の際に接着面からはみ出した接着剤は、上記のように寸法精度が要求される場合には除去する必要があり、外観上も好ましくない。例えば、特開平11−35892号公報には、フィルム状の接着剤を加熱および加圧して接着して生じる接着面からの接着剤のはみ出しを、耐熱テープを用いて除去するフィルム接着剤による接着方法が提案されている。
In recent years, electronic devices have become lighter, thinner, and smaller, and heat-resistant adhesive films are used as adhesives for mounting printed boards and semiconductor chips. Conventionally, a printed circuit board has been thermocompression bonded using a prepreg type adhesive in which a glass cloth is impregnated with a resin. However, when prepreg is used, there is a limit to reducing the interlayer thickness. Therefore, when a heat-resistant adhesive film is used, the printed board is formed thinner because no glass cloth is interposed.
The adhesive that protrudes from the adhesive surface at the time of bonding needs to be removed when dimensional accuracy is required as described above, which is not preferable in terms of appearance. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 11-35892 discloses an adhesive method using a film adhesive that removes protrusion of an adhesive from an adhesive surface generated by heating and pressurizing a film-like adhesive using a heat-resistant tape. Has been proposed.

一方、一般に仮接着に用いられている粘着性の接着剤は、粘着剤と呼ばれる。これらは比較的低分子量のゴムや樹脂および可塑剤などが配合されており、室温で粘着性を示すものが多い。
特開平6−157995号公報、特開平6−329999号公報および特開平10−204396号公報には、接合時には粘着性を示すが、加熱により硬化する、仮接着と接着が可能な熱硬化性粘着シートが開示されている。このような熱硬化性粘着シートは、加熱により接着するため、加熱を要する部位の仮接着は不可能である。
On the other hand, the adhesive adhesive generally used for temporary adhesion is called an adhesive. These are blended with relatively low molecular weight rubbers, resins, plasticizers, and the like, and often exhibit adhesiveness at room temperature.
JP-A-6-157959, JP-A-6-329999, and JP-A-10-204396 show adhesiveness at the time of bonding, but are cured by heating, and can be temporarily bonded and bonded. A sheet is disclosed. Since such a thermosetting pressure-sensitive adhesive sheet is bonded by heating, temporary bonding of a portion requiring heating is impossible.

この欠点を解消した、加熱により接着力が増大せずに再剥離できる粘着フィルムが特開2000−44896号公報に開示されている。また、特2000−265131号公報には剥離シートを積層した耐熱性の粘着シートが開示されている。
しかし、粘着テープや粘着シートは、仮接着に使用はできるが、低分子量のゴムや樹脂および可塑剤が配合されているため柔らかく、被着体の接着面形状に合わせた微細加工が困難であり、かつ耐溶剤性に劣る。
Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-44896 discloses a pressure-sensitive adhesive film that eliminates this drawback and can be re-peeled without increasing the adhesive force by heating. Japanese Patent Publication No. 2000-265131 discloses a heat-resistant adhesive sheet in which release sheets are laminated.
However, although pressure-sensitive adhesive tapes and pressure-sensitive adhesive sheets can be used for temporary bonding, they are soft because they contain low molecular weight rubber, resin, and plasticizer, and it is difficult to perform microfabrication that matches the shape of the adhesion surface of the adherend. In addition, the solvent resistance is poor.

発明が解決しようとする課題Problems to be solved by the invention

本発明の目的は、微細な形状の接着面を精密に接着でき、接着剤が耐熱性および耐溶剤性に優れる接着方法、さらに接着面が損傷なく容易に剥離するため仮接着として適用できる接着方法を提供することである。  An object of the present invention is to provide a bonding method in which a fine-shaped bonding surface can be precisely bonded, and the adhesive is excellent in heat resistance and solvent resistance. Further, the bonding method can be applied as temporary bonding because the bonding surface easily peels without damage. Is to provide.

課題を解決するための手段Means for solving the problem

本発明は、エポキシ接着フィルムを被着体の二つの接着面間に挟み、加熱または加熱および加圧する加熱工程と、前記加熱工程の後に、エポキシ接着フィルムのうち接着が不要な部分および溶融して接着面からはみ出した部分の少なくとも一方をエッチングする除去工程とを含むエポキシ接着フィルムによる接着方法である。
エッチングで、エポキシ接着フィルムの接着が不要な部分や、はみ出した部分を除去することにより、複雑で微細な接着面形状でも精密な接着を行うことができる。
In the present invention, an epoxy adhesive film is sandwiched between two adhesion surfaces of an adherend, and a heating step of heating or heating and pressurizing, and after the heating step, a portion of the epoxy adhesive film that does not require adhesion and a melt are melted. And a removing step of etching at least one of the portions protruding from the bonding surface.
By removing a portion where the epoxy adhesive film does not need to be bonded or a protruding portion by etching, precise bonding can be performed even with a complicated and fine bonding surface shape.

好ましくは、二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類とを重合させた重量平均分子量70,000以上の高分子量エポキシ重合体を主成分とするエポキシ接着フィルムを用いる。このエポキシ接着フィルムは、強度と伸びが大きく、柔軟性に富むため複雑で微細な形状の接着面と同じ形に加工できる。また耐溶剤性、耐熱性および接着性が良好である。  Preferably, an epoxy adhesive film mainly composed of a high molecular weight epoxy polymer having a weight average molecular weight of 70,000 or more obtained by polymerizing a bifunctional epoxy resin and a bifunctional phenol is used. This epoxy adhesive film has high strength and elongation, and is rich in flexibility, so that it can be processed into the same shape as an adhesive surface having a complicated and fine shape. Moreover, solvent resistance, heat resistance and adhesiveness are good.

以下、本発明を詳細に説明する。
まず、本発明におけるエポキシ接着フィルムを被着体の二つの接着面間に挟み、加熱または加熱および加圧する加熱工程について以下に説明する。
加熱工程においてエポキシ接着フィルムを用いて接着する際の条件は、接着に適した条件であれば良く、加熱温度は60〜300℃が好ましい。60℃未満ではエポキシ接着フィルムが溶融しない虞があり、300℃を超えると分解する虞があるためである。また、加圧は必要に応じてすれば良いが、0〜20MPaが好ましい。20MPaを超えると被着体が破壊する虞がある。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
First, a heating process in which the epoxy adhesive film in the present invention is sandwiched between two adhesive surfaces of an adherend and heated or heated and pressurized will be described below.
The conditions for bonding using an epoxy adhesive film in the heating step may be any conditions suitable for bonding, and the heating temperature is preferably 60 to 300 ° C. If the temperature is lower than 60 ° C, the epoxy adhesive film may not be melted. If the temperature exceeds 300 ° C, the epoxy adhesive film may be decomposed. Moreover, although what is necessary is just to pressurize as needed, 0-20 Mpa is preferable. If it exceeds 20 MPa, the adherend may be destroyed.

被着体はプラスチック、セラミックス、金属などどのようなものであっても良い。プラスチックとしてはポリエステル、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリイミド、ナイロン、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタンなどがある。セラミックスとしては、アルミナ、ジルコニア、窒化ほう素、窒化珪素、炭化珪素、セメント、ソーダ石灰ガラス、石英ガラス、ほう珪酸ガラス、セメント、ほうろうなどがある。金属類はほう素、炭素、マグネシウム、アルミニウム、珪素、チタン、クロム、鉄、ニッケル、銅、ジルコニウム、銀、白金、金、鉛、およびそれらの合金などがある。  The adherend may be any material such as plastic, ceramics, or metal. Examples of the plastic include polyester, polypropylene, polystyrene, polyvinyl chloride, polymethyl methacrylate, polycarbonate, polyimide, nylon, epoxy resin, phenol resin, unsaturated polyester resin, and polyurethane. Examples of the ceramic include alumina, zirconia, boron nitride, silicon nitride, silicon carbide, cement, soda-lime glass, quartz glass, borosilicate glass, cement, and enamel. Metals include boron, carbon, magnesium, aluminum, silicon, titanium, chromium, iron, nickel, copper, zirconium, silver, platinum, gold, lead, and alloys thereof.

被着体の形状は、フィルム状、板状、棒状、球状など、どのようなものであっても良く、接着面には微細加工を施してあっても構わない。  The shape of the adherend may be any shape such as a film shape, a plate shape, a rod shape, or a spherical shape, and the bonding surface may be finely processed.

次に、除去工程について説明する。上述したエポキシ接着フィルムによる加熱工程の後、エポキシ接着フィルムのうち、接着の不要な部分および溶融して接着面からはみ出した部分の少なくとも一方をエッチングして除去する。例えば、形状に微細加工を施してある接着面を接着する際、接着面よりも大きめの形状に裁断した接着フィルムにより加熱工程で接着した後、接着面から予めはみ出していた接着が不要な部分をエッチング液により除去できるため、精密な接着が可能となる。
また、本発明は、加熱工程で接着後、接着が不要な部分である接着面間のエポキシ接着フィルムを、エッチングにより全て除去して接着面間を剥離させることにより、仮接着方法として適用することができる。
Next, the removal process will be described. After the heating step using the epoxy adhesive film described above, at least one of an unnecessary part of the epoxy adhesive film and a part that melts and protrudes from the adhesive surface is removed by etching. For example, when adhering an adhesive surface that has been finely processed in shape, after bonding with a heating process with an adhesive film cut to a shape larger than the adhesive surface, a portion that does not need to stick out in advance from the adhesive surface is removed. Since it can be removed by an etching solution, precise bonding becomes possible.
In addition, the present invention can be applied as a temporary bonding method by removing all of the epoxy adhesive film between the bonding surfaces, which are unnecessary bonding, by etching and peeling the bonding surfaces after bonding in the heating step. Can do.

本発明における除去工程では、アルカリ金属化合物と有機溶媒を含むエッチング液によりエッチングするのが好ましく、有機溶媒は、アミド系溶媒およびアルコール系溶媒の少なくとも一方を含むのがさらに好ましい。また、これら成分の他に必要に応じて適宜化合物を加えてもよい。  In the removing step in the present invention, etching is preferably performed with an etching solution containing an alkali metal compound and an organic solvent, and the organic solvent more preferably contains at least one of an amide solvent and an alcohol solvent. Moreover, you may add a compound suitably other than these components as needed.

本発明におけるエッチング液に使用するアルカリ金属化合物としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウムなどのアルカリ金属化合物でアルコール系溶媒に溶解するものであればどのようなものでもよく、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウムなどの金属、水素化物、水酸化物、ホウ水素化物、アミド、フッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化物、ホウ酸塩、リン酸塩、炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩、有機酸塩、アルコラート、フェノラートなどがある。
アミド系溶媒としては、例えば、ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N,N’,N’−テトラメチル尿素、2−ピロリドン、N−メチル−2−ピロリドン、カルバミド酸エステルなどが使用できる。これらのうちN,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンの使用が、エポキシ樹脂硬化物を膨潤させる効果があり、分解物の溶解性が良好なために特に好ましい。これらの溶媒は、併用することができ、また、ケトン系溶媒、エーテル系溶媒などに代表されるその他の溶媒と併用することもできる。
As the alkali metal compound used in the etching solution in the present invention, any alkali metal compound such as lithium, sodium, potassium, rubidium, and cesium that dissolves in an alcohol solvent may be used. For example, lithium, Metals such as sodium, potassium, rubidium, cesium, hydride, hydroxide, borohydride, amide, fluoride, chloride, bromide, iodide, borate, phosphate, carbonate, sulfate, nitrate , Organic acid salts, alcoholates, phenolates and the like.
Examples of amide solvents include formamide, N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, acetamide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N, N, N ′, N′-tetramethylurea, 2-pyrrolidone, N-methyl-2-pyrrolidone, carbamic acid ester and the like can be used. Of these, the use of N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, and N-methyl-2-pyrrolidone has the effect of swelling the epoxy resin cured product, and the solubility of the decomposition product is particularly good. preferable. These solvents can be used in combination, and can also be used in combination with other solvents represented by ketone solvents, ether solvents and the like.

本発明におけるエッチング液に使用するアルコール系溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、iso−ブタノール、tert−ブタノール、1−ペンタノール、2−ペンタノール、3−ペンタノール、2−メチル−1−ブタノール、iso−ペンチルアルコール、tert−ペンチルアルコール、3−メチル−2−ブタノール、ネオペンチルアルコール、1−ヘキサノール、2−メチル−1−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、2−エチル−1−ブタノール、1−ヘプタノール、2−ヘプタノール、3−ヘプタノール、シクロヘキサノール、1−メチルシクロヘキサノール、2−メチルシクロヘキサノール、3−メチルシクロヘキサノール、4−メチルシクロヘキサノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール(分子量200〜400)、1,2−プロパンジオール、1,3−プロパンジオール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、グリセリン、ジプロピレングリコールなどがある。これらのうちメタノール、エタノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ポリエチレングリコールがアルカリ金属化合物の溶解性が高く、特に好ましい。これらの溶媒は、何種類かを併用することもできる。  Examples of the alcohol solvent used for the etching solution in the present invention include methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, 1-butanol, 2-butanol, iso-butanol, tert-butanol, 1-pentanol, 2 -Pentanol, 3-pentanol, 2-methyl-1-butanol, iso-pentyl alcohol, tert-pentyl alcohol, 3-methyl-2-butanol, neopentyl alcohol, 1-hexanol, 2-methyl-1-pen Tanol, 4-methyl-2-pentanol, 2-ethyl-1-butanol, 1-heptanol, 2-heptanol, 3-heptanol, cyclohexanol, 1-methylcyclohexanol, 2-methylcyclohexanol, 3-methylcyclo Hexanol, -Methylcyclohexanol, ethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, Triethylene glycol, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, tetraethylene glycol, polyethylene glycol (molecular weight 200 to 400), 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,2-butanediol 1,3-butanedio , 1,4-butanediol, 2,3-butanediol, 1,5-pentanediol, glycerin, and dipropylene glycol. Of these, methanol, ethanol, ethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol, tetraethylene glycol, and polyethylene glycol are particularly preferable because of high solubility of alkali metal compounds. Several types of these solvents can be used in combination.

ここで併用できるケトン系溶媒には、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、2−ペンタノン、3−ペンタノン、2−ヘキサノン、メチルイソブチルケトン、2−ヘプタノン、4−ヘプタノン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどがある。  Examples of the ketone solvent that can be used in combination here include acetone, methyl ethyl ketone, 2-pentanone, 3-pentanone, 2-hexanone, methyl isobutyl ketone, 2-heptanone, 4-heptanone, diisobutyl ketone, and cyclohexanone.

また、併用できるエーテル系溶媒には、例えば、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、アニソール、フェネトール、ジオキサン、テトラヒドロフラン、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどがある。  Examples of ether solvents that can be used in combination include dipropyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, anisole, phenetole, dioxane, tetrahydrofuran, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and diethylene glycol diethyl ether.

本発明で使用するエッチング液は、アミド系溶媒に対し、アルコール系溶媒は任意の組成で配合することが可能であり、好ましくはアミド系溶媒50〜99重量%に対し、アルコール系溶媒1〜50重量%の組成である。アミド系溶媒の濃度が50重量%より低いとエポキシ硬化物の膨潤性、分解物の溶解性が低下するため好ましくなく、99重量%より高いと結果的にアルカリ金属化合物の濃度が低下するため、エポキシ樹脂硬化物の分解速度が低下するため好ましくない。  The etching solution used in the present invention can be blended in an arbitrary composition with respect to the amide solvent, and the alcohol solvent is preferably 1 to 50 with respect to 50 to 99% by weight of the amide solvent. It is a composition by weight. If the concentration of the amide solvent is lower than 50% by weight, it is not preferable because the swellability of the epoxy cured product and the solubility of the decomposition product are reduced. This is not preferable because the decomposition rate of the cured epoxy resin decreases.

エッチング液中のアルカリ金属化合物濃度は、どのような濃度でもかまわないが、0.5重量%〜40重量%の範囲が好ましく、0.5重量%未満であると、エポキシ樹脂硬化物の分解速度が低下するため好ましくなく、40重量%を超えるとアルコール系溶媒にアルカリ金属化合物が完全に溶解しないので好ましくない。  The concentration of the alkali metal compound in the etching solution may be any concentration, but it is preferably in the range of 0.5 wt% to 40 wt%, and if it is less than 0.5 wt%, the decomposition rate of the cured epoxy resin product Is not preferable, and if it exceeds 40% by weight, the alkali metal compound is not completely dissolved in the alcohol solvent, which is not preferable.

このようにして得られたエッチング液には、必要に応じて界面活性剤などを適宜添加して使用することができる。  The etching solution thus obtained can be used by appropriately adding a surfactant or the like as necessary.

また、エッチングの際に、エッチング速度を調整するために、エッチング液を溶媒の凝固点以上、沸点以下の任意の温度で使用することができる。  In the etching, the etching solution can be used at an arbitrary temperature not lower than the freezing point of the solvent and not higher than the boiling point in order to adjust the etching rate.

エッチング方法として、接着フィルムにより接着している被着体を、エッチング液中に浸漬することが挙げられる。温度によりエッチング速度を高めたり、超音波により振動を与えたりすることもできる。また、スプレーなどによる噴霧や、高圧をかけることもできる。さらに、エポキシ接着フィルムのうちエッチングする個所を選択してエッチングすることもできる。  An etching method includes immersing an adherend adhered by an adhesive film in an etching solution. The etching rate can be increased by temperature, or vibration can be applied by ultrasonic waves. Also, spraying or the like, or high pressure can be applied. Furthermore, it is possible to select and etch the portion to be etched in the epoxy adhesive film.

このような除去工程により、エポキシ接着フィルムの接着面からはみ出した部分を、被着体やエポキシ接着フィルムの接着に必要な部分を破損することなく、除去することができる。ここで、除去工程後に、接着面からのエポキシ接着フィルムのはみ出しの幅を100μm以下とするようにエッチングの進行を調節するのが好ましい。
さらに、本発明を仮接着方法として適用する場合は、上記した接着面からはみ出した部分の除去よりもさらにエッチングを進行させ、接着が不要な部分である接着面間のエポキシ接着フィルムを、エッチングにより全て除去して接着面間を剥離させることができる。
By such a removal process, the part which protruded from the adhesion surface of the epoxy adhesive film can be removed without damaging the part necessary for adhesion of the adherend or the epoxy adhesive film. Here, after the removing step, it is preferable to adjust the progress of etching so that the width of the protrusion of the epoxy adhesive film from the adhesive surface is 100 μm or less.
Further, when the present invention is applied as a temporary bonding method, the etching is further advanced than the removal of the portion protruding from the above-described bonding surface, and the epoxy adhesive film between the bonding surfaces which is not necessary to be bonded is etched. All can be removed and the adhesive surfaces can be separated.

次に、本発明におけるエポキシ接着フィルムについて述べる。
本発明におけるエポキシ接着フィルムは、二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類とを重合させた重量平均分子量70,000以上の高分子量エポキシ重合体を主成分とするのが好ましく、このエポキシ接着フィルムは、200℃以下の熱圧着が可能であり、接着強度、耐熱性および耐溶剤性に優れ、さらに接着面と同形に打ちぬくことが可能であるため、微細加工が可能である。エポキシ接着フィルムには、主成分として高分子量エポキシ重合体の他に、多官能エポキシ樹脂、硬化剤、架橋剤等を必要に応じて適宜含む。
Next, the epoxy adhesive film in the present invention will be described.
The epoxy adhesive film in the present invention is preferably mainly composed of a high molecular weight epoxy polymer having a weight average molecular weight of 70,000 or more obtained by polymerizing a bifunctional epoxy resin and a bifunctional phenol, Thermocompression bonding at 200 ° C. or lower is possible, and it is excellent in adhesive strength, heat resistance and solvent resistance, and can be punched in the same shape as the adhesive surface, so that fine processing is possible. The epoxy adhesive film appropriately contains a polyfunctional epoxy resin, a curing agent, a crosslinking agent and the like as necessary in addition to the high molecular weight epoxy polymer as a main component.

上記のような好ましい高分子量エポキシ重合体について、以下に説明する。たとえば、二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類を二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類の配合比をエポキシ基/フェノール水酸基=1:0.9〜1.1とし、触媒の存在下、溶媒中で加熱して重合させて得られる。  The preferable high molecular weight epoxy polymer as described above will be described below. For example, the mixing ratio of a bifunctional epoxy resin and a bifunctional phenol is set to epoxy group / phenol hydroxyl group = 1: 0.9 to 1.1 in a solvent in the presence of a catalyst. It is obtained by heating and polymerizing.

この高分子量エポキシ重合体の原料となる二官能エポキシ樹脂としては、分子内に2個のエポキシ基を有する化合物であれば制限無く使用することができ、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、二官能フェノール類のジグリシジルエーテル化物、あるいは二官能アルコール類のジグリシジルエーテル化物およびそれらのハロゲン化物、水素添加物などが挙げられる。これらの化合物は2種類以上を併用することができる。
また、本発明に用いる二官能フェノール類としては、分子内に2個のフェノール性水酸基を有する化合物ならば制限無く使用でき、さらに、ハロゲン化された二官能フェノール類であるとフィルムが難燃化でき好ましい。例えば、単環二官能フェノールであるヒドロキノン、レゾルシノール、カテコール、多環二官能フェノールであるビスフェノールA、ビスフェノールF、ナフタレンジオール類、ビフェノール類およびこれらのアルキル置換体などのハロゲン化物、アルキル置換体などが挙げられる。これらの化合物は2種類以上を併用することができる。
The bifunctional epoxy resin used as a raw material for the high molecular weight epoxy polymer can be used without limitation as long as it is a compound having two epoxy groups in the molecule. For example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type Epoxy resin, bisphenol S-type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, aliphatic chain epoxy resin, diglycidyl etherified product of bifunctional phenols, diglycidyl etherified product of difunctional alcohols and their halides, hydrogenation Such as things. Two or more of these compounds can be used in combination.
In addition, as the bifunctional phenols used in the present invention, any compound having two phenolic hydroxyl groups in the molecule can be used without limitation. Further, when the halogenated bifunctional phenols are used, the film becomes flame retardant. This is preferable. For example, hydroquinone, resorcinol, catechol, which are monocyclic bifunctional phenols, bisphenol A, bisphenol F, naphthalenediols, biphenols, which are polycyclic bifunctional phenols, halides such as alkyl substitutions thereof, alkyl substitutions, and the like Can be mentioned. Two or more of these compounds can be used in combination.

二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類の当量比は、
エポキシ基/フェノール性水酸基=1/0.9〜1/1.1
の範囲とすることが好ましい。フェノール性水酸基が0.9未満の場合には、直鎖状に高分子量化せず副反応が起きて架橋し溶媒に溶けなくなり、1.1を超えると高分子量化が進まなくなる。
The equivalent ratio of bifunctional epoxy resin and difunctional phenols is
Epoxy group / phenolic hydroxyl group = 1 / 0.9 to 1 / 1.1
It is preferable to set it as the range. When the phenolic hydroxyl group is less than 0.9, a high molecular weight is not formed in a straight chain, but a side reaction occurs and crosslinks and it does not dissolve in a solvent.

高分子量エポキシ重合体の重合に用いる触媒としては、アルカリ金属化合物またはアルカリ金属元素非含有化合物を単独で、あるいは併用して用いることができる。
アルカリ金属化合物の例としては、ナトリウム、リチウム、カリウムの水酸化物、ハロゲン化物、有機酸塩、アルコラート、フェノラート、水素化物、ホウ水素化物、アミドなどがある。これらの中で、アルカリ金属化合物触媒が、リチウム化合物触媒であると合成終了後の吸着剤による除去が容易であるので好ましい。
As a catalyst used for the polymerization of the high molecular weight epoxy polymer, an alkali metal compound or an alkali metal element-free compound can be used alone or in combination.
Examples of alkali metal compounds include sodium, lithium, potassium hydroxide, halides, organic acid salts, alcoholates, phenolates, hydrides, borohydrides, amides, and the like. Among these, it is preferable that the alkali metal compound catalyst is a lithium compound catalyst because it can be easily removed by the adsorbent after completion of the synthesis.

アルカリ金属元素非含有化合物としては、アルカリ金属元素を含まず、エポキシ基とフェノール性水酸基のエーテル化反応を促進させる触媒能を持つ化合物であれば制限されず、例えばイミダゾール類、アミン類、有機りん化合物などが挙げられる。
イミダゾール類としては、イミダゾール、2−イミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−ウンデシルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、4,5−ジフェニルイミダゾール、2−メチルイミダゾリン、2−フェニルイミダゾリン、2−ウンデシルイミダゾリン、2−ヘプタデシルイミダゾリン、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾリン、2−フェニル−4−メチルイミダゾリン、ベンズイミダゾール、1−シアノエチルイミダゾールなどが挙げられる。
The alkali metal element-free compound is not limited as long as it is a compound that does not contain an alkali metal element and has a catalytic ability to promote the etherification reaction of an epoxy group and a phenolic hydroxyl group. For example, imidazoles, amines, organic phosphorus Compound etc. are mentioned.
Examples of imidazoles include imidazole, 2-imidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-undecylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole. 4,5-diphenylimidazole, 2-methylimidazoline, 2-phenylimidazoline, 2-undecylimidazoline, 2-heptadecylimidazoline, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole 2-ethylimidazoline, 2-phenyl-4-methylimidazoline, benzimidazole, 1-cyanoethylimidazole and the like.

アミン類としては、脂肪族あるいは芳香族の第一級アミン、第二級アミン、第三級アミン、第四級アンモニウム塩及び脂肪族環状アミン類が例示され、これらの化合物として、N,N−ベンジルジメチルアミン、2−(ジメチルアミノメチル)フェノール、2,4,6−トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、テトラメチルグアニジン、トリエタノールアミン、N,N’−ジメチルピペラジン、1,4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ[4,4,0]−5−ノネン、ヘキサメチレンテトラミン、ピリジン、ピコリン、ピペリジン、ピロリジン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジメチルヘキシルアミン、シクロヘキシルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−N−ブチルアミン、ジフェニルアミン、N−メチルアニリン、トリ−N−プロピルアミン、トリ−N−オクチルアミン、トリ−N−ブチルアミン、トリフェニルアミン、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラメチルアンモニウムブロマイド、テトラメチルアンモニウムアイオダイドなどが挙げられる。  Examples of amines include aliphatic or aromatic primary amines, secondary amines, tertiary amines, quaternary ammonium salts, and aliphatic cyclic amines. As these compounds, N, N— Benzyldimethylamine, 2- (dimethylaminomethyl) phenol, 2,4,6-tris (dimethylaminomethyl) phenol, tetramethylguanidine, triethanolamine, N, N′-dimethylpiperazine, 1,4-diazabicyclo [2 , 2,2] octane, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo [4,4,0] -5-nonene, hexamethylenetetramine, pyridine, picoline, piperidine Pyrrolidine, dimethylcyclohexylamine, dimethylhexylamine, cyclohexylamine, diisobuty Amine, di-N-butylamine, diphenylamine, N-methylaniline, tri-N-propylamine, tri-N-octylamine, tri-N-butylamine, triphenylamine, tetramethylammonium chloride, tetramethylammonium bromide, tetra Examples include methylammonium iodide.

有機リン化合物としては、有機基を有するリン化合物であれば制限されず、一例として、ヘキサメチルリン酸トリアミド、リン酸トリ(ジクロロプロピル)、リン酸トリ(クロロプロピル)、亜リン酸トリフェニル、リン酸トリメチル、フェニルフォスフォン酸、トリフェニルフォスフィン、トリ−N−ブチルフォスフィン、ジフェニルフォスフィンなどが挙げられる。  The organic phosphorus compound is not limited as long as it is a phosphorus compound having an organic group, and examples include hexamethyl phosphate triamide, tri (dichloropropyl) phosphate, tri (chloropropyl) phosphate, triphenyl phosphite, Examples thereof include trimethyl phosphate, phenylphosphonic acid, triphenylphosphine, tri-N-butylphosphine, diphenylphosphine and the like.

これらの触媒の配合量は、併用する場合、二官能エポキシ樹脂1モルに対し、アルカリ金属化合物0.005〜0.20モル、アルカリ金属非含有化合物0.005〜0.20モルの範囲で、かつ、二官能エポキシ樹脂1モルに対し、それらの合計が0.01〜0.30モルの範囲である。単独で用いる場合も0.01〜0.30モルの範囲であると好ましい。0.01モル未満では、高分子量化反応が著しく遅く、0.30モルを超えると、直鎖状に高分子量化しないおそれがある。  The compounding amount of these catalysts, when used in combination, is in the range of 0.005 to 0.20 mol of an alkali metal compound and 0.005 to 0.20 mol of an alkali metal-free compound with respect to 1 mol of the bifunctional epoxy resin. And with respect to 1 mol of bifunctional epoxy resins, those sum total is the range of 0.01-0.30 mol. When used alone, it is preferably in the range of 0.01 to 0.30 mol. If it is less than 0.01 mol, the high molecular weight reaction is remarkably slow, and if it exceeds 0.30 mol, there is a possibility that it will not be linearized.

二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類の重合反応溶媒としては、二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類を溶解できる溶媒ならどのようなものでも良く、アミド系、ケトン系、エーテル系、アルコール系、エステル系などの溶媒がある。これらの溶媒は併用することができる。
例えば、アミド系溶媒としては、例えばホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、アセトアミド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N,N’,N’−テトラメチル尿素などがある。
As a polymerization reaction solvent for the bifunctional epoxy resin and the bifunctional phenol, any solvent that can dissolve the bifunctional epoxy resin and the bifunctional phenol may be used. Amide type, ketone type, ether type, alcohol type, ester There are solvents such as systems. These solvents can be used in combination.
For example, examples of amide solvents include formamide, N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, acetamide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N, N, N ′, N′-tetramethylurea. and so on.

ケトン系溶媒としては、例えば2−ペンタノン、3−ペンタノン、2−ヘキサノン、2−ヘプタノン、4−ヘプタノン、ホロン、メチルシクロヘキサノン、2−ピロリドン、N−メチルピロリドン、カルバミド酸エステル、シクロヘキサノン、アセチルアセトン、ジイソブチルケトン、などがある。
エーテル系溶媒としては、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、アニソール、フェネトール、ジオキサン、テトラヒドロフラン、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテルなどがある。
Examples of the ketone solvent include 2-pentanone, 3-pentanone, 2-hexanone, 2-heptanone, 4-heptanone, phorone, methylcyclohexanone, 2-pyrrolidone, N-methylpyrrolidone, carbamic acid ester, cyclohexanone, acetylacetone, diisobutyl. Such as ketones.
Examples of ether solvents include dipropyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, anisole, phenetole, dioxane, tetrahydrofuran, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, and diethylene glycol diethyl ether.

アルコール系溶媒としては、例えば、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、iso−ブタノール、tert−ブタノール、1−ペンタノール、2−ペンタノール、3−ペンタノール、2−メチル−1−ブタノール、iso−ペンチルアルコール、tert−ペンチルアルコール、3−メチル−2−ブタノール、ネオペンチルアルコール、1−ヘキサノール、2−メチル−1−ペンタノール、4−メチル−2−ペンタノール、2−エチル−1−ブタノール、1−ヘプタノール、2−ヘプタノール、3−ヘプタノール、シクロヘキサノール、1−メチルシクロヘキサノール、2−メチルシクロヘキサノール、3−メチルシクロヘキサノール、4−メチルシクロヘキサノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール(分子量200〜400)、1,2−プロパンジオール、1,3−プロパンジオール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、2,3−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、グリセリン、ジプロピレングリコールなどがある。これらのうちメタノール、エタノール、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、ポリエチレングリコールなどがある。Examples of alcohol solvents include 2-propanol, 1-butanol, 2-butanol, iso-butanol, tert-butanol, 1-pentanol, 2-pentanol, 3-pentanol, and 2-methyl-1-butanol. , Iso-pentyl alcohol, tert-pentyl alcohol, 3-methyl-2-butanol, neopentyl alcohol, 1-hexanol, 2-methyl-1-pentanol, 4-methyl-2-pentanol, 2-ethyl-1 -Butanol, 1-heptanol, 2-heptanol, 3-heptanol, cyclohexanol, 1-methylcyclohexanol, 2-methylcyclohexanol, 3-methylcyclohexanol, 4-methylcyclohexanol, ethylene glycol, ethylene glycol monomethyl Ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol, triethylene glycol monomethyl ether, tri Ethylene glycol monoethyl ether, tetraethylene glycol, polyethylene glycol (molecular weight 200-400), 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,4 -Butanediol, 2,3-butanediol, 1,5-pentanediol, Glycerin, and the like dipropylene glycol. Among these, there are methanol, ethanol, ethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol, tetraethylene glycol, polyethylene glycol and the like.

エステル系溶媒としては、例えばギ酸ブチル、ギ酸イソブチル、ギ酸ペンチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、酢酸ペンチル、3−メトキシブチルアセタート、酢酸sec−ヘキシル、2−エチルブチルアセタート、2−エチルヘキシルアセタート、酢酸シクロヘキシル、酢酸ベンジル、プロピオン酸エチル、プロピオン酸ブチルなどがある。  Examples of the ester solvent include butyl formate, isobutyl formate, pentyl formate, propyl acetate, butyl acetate, pentyl acetate, 3-methoxybutyl acetate, sec-hexyl acetate, 2-ethylbutyl acetate, 2-ethylhexyl acetate, Examples include cyclohexyl acetate, benzyl acetate, ethyl propionate, and butyl propionate.

溶媒を用いた重合反応の際の固形分濃度は、10〜50重量%の範囲であることが好ましく、10重量%未満であると塗布する際の溶液粘度が著しく低くなり、厚み精度を悪化させたりはじきなどを生じたりし、塗工性を悪化させてしまう。50重量%を超えると副反応が多くなり直鎖状に高分子量化しにくくなる。この副反応が多くなる傾向は、固形分濃度が大きい程起こり易いため40重量%以下が好ましく、さらに、30重量%以下であることが好ましい。  The solid content concentration in the polymerization reaction using a solvent is preferably in the range of 10 to 50% by weight, and if it is less than 10% by weight, the solution viscosity at the time of application is remarkably lowered, and the thickness accuracy is deteriorated. This may cause repelling or the like, resulting in poor coatability. If it exceeds 50% by weight, side reactions will increase and it will be difficult to achieve a high molecular weight in a straight chain. The tendency for this side reaction to increase is more likely to occur as the solid content concentration increases, and therefore it is preferably 40% by weight or less, and more preferably 30% by weight or less.

重合反応温度は、60〜150℃であることが好ましく、60℃未満では高分子量化反応が著しく遅く、150℃を超えると副反応が多くなり直鎖状に高分子量化し難くなる。得られた高分子量エポキシ重合体のスチレン換算重量平均分子量は、70,000以上とされ、また、高分子量エポキシ重合体の希薄溶液の還元粘度は、0.60dl/g以上(N,N−ジメチルアセトアミド、25℃)であればさらに好ましい。0.60dl/g未満であると、フィルム形成能が低下する。  The polymerization reaction temperature is preferably 60 to 150 ° C., and if it is less than 60 ° C., the high molecular weight reaction is extremely slow, and if it exceeds 150 ° C., side reactions increase and it is difficult to increase the molecular weight linearly. The obtained high molecular weight epoxy polymer has a styrene equivalent weight average molecular weight of 70,000 or more, and the reduced viscosity of the dilute solution of the high molecular weight epoxy polymer is 0.60 dl / g or more (N, N-dimethyl). Acetamide (25 ° C.) is more preferable. If it is less than 0.60 dl / g, the film-forming ability decreases.

本発明におけるエポキシ接着フィルムに用いる多官能エポキシ樹脂は、分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物であり、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールFノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ヒダントイン型エポキシ樹脂、イソシアヌレート型エポキシ樹脂、多官能フェノール類のジグリシジルエーテル化物、多官能アルコール類のジグリシジルエーテル化物、およびそれらのハロゲン化物、水素添加物などが使用できる。
これらの化合物は、複数種類を併用することができる。この多官能エポキシ樹脂の高分子量エポキシ重合体に対する配合量は、高分子量エポキシ重合体100重量部に対して、1〜200重量部の範囲が好ましい。
The polyfunctional epoxy resin used for the epoxy adhesive film in the present invention is a compound having two or more epoxy groups in the molecule. For example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol Novolac epoxy resin, cresol novolac epoxy resin, bisphenol A novolac epoxy resin, bisphenol F novolac epoxy resin, alicyclic epoxy resin, aliphatic chain epoxy resin, glycidyl ester epoxy resin, glycidyl amine epoxy resin, Hydantoin type epoxy resins, isocyanurate type epoxy resins, diglycidyl etherified products of polyfunctional phenols, diglycidyl etherified products of polyfunctional alcohols, and their halides, water Such additives can be used.
A plurality of these compounds can be used in combination. The blending amount of the polyfunctional epoxy resin with respect to the high molecular weight epoxy polymer is preferably in the range of 1 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the high molecular weight epoxy polymer.

本発明におけるエポキシ接着フィルムに用いる硬化剤として、多官能フェノール、アミン類、イミダゾール化合物、酸無水物などが例示され、それらを使用できる。
多官能フェノールは、単環二官能フェノールであるヒドロキノン、レゾルシノール、カテコール、多環二官能フェノールであるビスラェノールA、ビスフェノールF、ナフタレンジオール類、ビスフェノール類およびこれらのハロゲン化物、アルキル置換体、さらに、これらのフェノール類とアルデヒド類との重縮合物であるノボラック樹脂、レゾール樹脂などが使用できる。
アミン類は、脂肪族の1級アミン、2級アミン、3級アミン、芳香族の1級アミン、2級アミン、3級アミン、グアニジン類、尿素誘導体など、具体的には、トリエチレンテトラミン、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルエーテル、ジシアンジアミド、トリルビグアニド、グアニル尿素、ジメチル尿素などが挙げられる。
イミダゾール化合物は、アルキル置換イミダゾール、ベンズイミダゾールなどが使用できる。
酸無水物は、無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、ピロメリット酸二無水物、ベイゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などが使用できる。
硬化剤の配合量は、多官能エポキシ樹脂100重量部に対して、1〜70重量部使用することが好ましい。
Examples of the curing agent used for the epoxy adhesive film in the present invention include polyfunctional phenols, amines, imidazole compounds, acid anhydrides, and the like.
Polyfunctional phenols include monocyclic bifunctional phenols hydroquinone, resorcinol, catechol, polycyclic bifunctional phenols bislaenol A, bisphenol F, naphthalenediols, bisphenols and their halides, alkyl-substituted products, Novolak resins and resol resins that are polycondensates of phenols and aldehydes can be used.
Amines include aliphatic primary amines, secondary amines, tertiary amines, aromatic primary amines, secondary amines, tertiary amines, guanidines, urea derivatives, etc., specifically, triethylenetetramine, Examples include diaminodiphenylmethane, diaminodiphenyl ether, dicyandiamide, tolylbiguanide, guanylurea, and dimethylurea.
As the imidazole compound, alkyl-substituted imidazole, benzimidazole and the like can be used.
Examples of the acid anhydride include phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, pyromellitic dianhydride, and bayzophenone tetracarboxylic dianhydride.
The compounding amount of the curing agent is preferably 1 to 70 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyfunctional epoxy resin.

本発明で用いる高分子量エポキシ重合体の合成には、必要に応じて硬化促進剤を用いることができ、例えば、三級アミン、イミダゾール、四級アンモニウム塩などを使用することができる。  In the synthesis of the high molecular weight epoxy polymer used in the present invention, a curing accelerator can be used as necessary, and for example, tertiary amine, imidazole, quaternary ammonium salt and the like can be used.

本発明では、架橋剤として、マスクイソシアネート類を用いてもよい。これは、イソシアネート基を有するイソシアネート類を架橋剤としてそのまま使用すると、アルコール性水酸基との反応性が非常に高いので室温で架橋反応が進行し、エポキシ樹脂溶液のゲル化が起る場合があるので、このイソシアネート基をマスク(ブロック)して用いる。
本発明で好ましく用いるイソシアネート類は、分子内に2個以上のイソシアネート基を有するもので、例えばジイソシアネート類として、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート、ジフェニルエーテルジイソシアネート、ジフェニルプロパンジイソシアネート、ビフェニルジイソシアネート及びこれらの異性体、アルキル置換体、ハロゲン化物、ベンゼン環への水素添加物などが挙げられる。
さらに、3個のイソシアネート基を有するトリイソシアネート類、4個のイソシアネート基を有するテトライソシアネート類などを使用することもでき、これらを併用することもできる。
In the present invention, mask isocyanates may be used as the crosslinking agent. This is because if an isocyanate group having an isocyanate group is used as a crosslinking agent as it is, the reactivity with the alcoholic hydroxyl group is very high, so that the crosslinking reaction proceeds at room temperature and gelation of the epoxy resin solution may occur. The isocyanate group is used as a mask (block).
The isocyanates preferably used in the present invention have two or more isocyanate groups in the molecule. For example, as the diisocyanates, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, phenylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, trimethyl. Hexamethylene diisocyanate, naphthalene diisocyanate, diphenyl ether diisocyanate, diphenylpropane diisocyanate, biphenyl diisocyanate and their isomers, alkyl-substituted products, halides, hydrogenated products to the benzene ring, and the like.
Furthermore, triisocyanates having three isocyanate groups, tetraisocyanates having four isocyanate groups, and the like can be used, and these can be used in combination.

イソシアネート基のブロック(マスク)剤としては、イソシアネート基と反応する活性水素をもつ化合物であれば制限されず、ケトンオキシム類、アルコール類、フェノール類、アミン類などが挙げられる。
ケトンオキシム類としては、アセトンオキシム、メチルエチルケトンオキシム、メチルイソブチルケトンオキシム、シクロヘキサノンオキシムなどがある。
アルコール類としては、メチルアルコール、エチルアルコール、N−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、N−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノールなどの単官能アルコール類、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコールなどの二官能アルコール類などがある。
フェノール類としては、フェノール、クレゾール、キシレノール、トリメチルフェノール、ブチルフェノール、フェニルフェノール、ナフトールなどの単官能フェノール類、ヒドロキノン、レゾルシノール、カテコール、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビフェノール、ナフタレンジオール、ジヒドロキシジフェニルエーテル、ジヒドロキシジフェニルスルホンなどの二官能フェノール類とその異性体及びハロゲン化物、ピロガロール、ヒドロキシヒドロキノン、フロログルシン、フェノールノボラック、クレゾールノボラック、ビスフェノールAノボラック、ナフトールノボラック、レゾールなどの多官能フェノール類などがある。
アミン類としては、N−プロピルアミン、イソプロピルアミン、N−ブチルアミン、イソブチルアミン、ベンジルアミン、トリエチレンジアミンなどがある。
The isocyanate group blocking (masking) agent is not limited as long as it is a compound having active hydrogen that reacts with an isocyanate group, and examples thereof include ketone oximes, alcohols, phenols, and amines.
Examples of ketone oximes include acetone oxime, methyl ethyl ketone oxime, methyl isobutyl ketone oxime, and cyclohexanone oxime.
Examples of alcohols include monofunctional alcohols such as methyl alcohol, ethyl alcohol, N-propyl alcohol, isopropyl alcohol, N-butyl alcohol, isobutyl alcohol, pentanol, hexanol, and cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, butylene glycol, etc. Bifunctional alcohols.
Phenols include monofunctional phenols such as phenol, cresol, xylenol, trimethylphenol, butylphenol, phenylphenol, naphthol, hydroquinone, resorcinol, catechol, bisphenol A, bisphenol F, biphenol, naphthalene diol, dihydroxydiphenyl ether, dihydroxydiphenylsulfone And polyfunctional phenols such as pyrogallol, hydroxyhydroquinone, phloroglucin, phenol novolak, cresol novolak, bisphenol A novolak, naphthol novolak, and resole.
Examples of amines include N-propylamine, isopropylamine, N-butylamine, isobutylamine, benzylamine, and triethylenediamine.

これらのブロック(マスク)剤は、1種類または2種類以上を併用してもかまわない。このマスク(ブロック)剤は、イソシアネート類のイソシアネート基1.0当量に対し、マスク(ブロック)剤の活性水素が0.5〜3.0当量となるように用いることが好ましい。0.5当量未満であると、マスク(ブロック)が不完全となり、高分子量エポキシ重合体がゲル化する可能性が高くなり、3.0当量を超えると、マスク(ブロック)剤が過剰となり、形成したフィルムにマスク(ブロック)剤が残り耐熱性や耐薬品性を低下させるおそれがある。  These blocking (masking) agents may be used alone or in combination of two or more. This mask (block) agent is preferably used so that the active hydrogen of the mask (block) agent is 0.5 to 3.0 equivalents relative to 1.0 equivalent of isocyanate groups of the isocyanates. If it is less than 0.5 equivalent, the mask (block) becomes incomplete, and the possibility that the high molecular weight epoxy polymer gels increases. If it exceeds 3.0 equivalent, the mask (block) agent becomes excessive, There is a risk that the mask (block) agent remains on the formed film and the heat resistance and chemical resistance are lowered.

高分子量エポキシ重合体に対するイソシアネート類の配合量は、高分子量エポキシ重合体のアルコール性水酸基当量1に対し、イソシアネート基当量0.1〜2の範囲であることが好ましい。0.1未満であると、架橋し難く、2を超えるとフィルム中にイソシアネート類が残り、耐熱性、耐薬品性を低下させるおそれがある。  It is preferable that the compounding quantity of isocyanate with respect to high molecular weight epoxy polymer is the range of isocyanate group equivalent 0.1-2 with respect to alcoholic hydroxyl group equivalent 1 of high molecular weight epoxy polymer. If it is less than 0.1, crosslinking is difficult, and if it exceeds 2, isocyanates remain in the film, which may reduce heat resistance and chemical resistance.

本発明におけるエポキシ接着フィルムには、必要に応じて、難燃剤を配合することもでき、難燃剤には、テトラブロモビスフェノールA、デカブロモジフェニルエーテル、臭素化エポキシ樹脂、臭素化フェノール樹脂などの臭素化合物を使用することができる。また、リン酸エステルなどのリン含有化合物、メラミン類などの窒素含有化合物も使用することができる。  The epoxy adhesive film of the present invention can be blended with a flame retardant as necessary, and the flame retardant includes bromine compounds such as tetrabromobisphenol A, decabromodiphenyl ether, brominated epoxy resin, brominated phenol resin, and the like. Can be used. Further, phosphorus-containing compounds such as phosphate esters and nitrogen-containing compounds such as melamines can also be used.

以上のエポキシ接着フィルムの成分である、高分子量エポキシ重合体、多官能エポキシ樹脂、硬化剤、架橋剤等を、溶媒に溶解ないし分散させてワニスとする。混合方法は、ワニスが均一に混合分散されればよく、特に限定されるものではない。例えば、らいかい機、ビーズミル、パールミル、ボールミル、ホモミキサー、メカニカルスターラーなどの機器を用いることができる。混合分散温度は、用いた溶媒の凝固点以上で、且つ沸点以下の温度範囲であればよい。混合分散する材料の投入順序はいずれの順でもよい。  A component of the above epoxy adhesive film, a high molecular weight epoxy polymer, a polyfunctional epoxy resin, a curing agent, a crosslinking agent, and the like are dissolved or dispersed in a solvent to obtain a varnish. The mixing method is not particularly limited as long as the varnish is uniformly mixed and dispersed. For example, equipment such as a raking machine, a bead mill, a pearl mill, a ball mill, a homomixer, and a mechanical stirrer can be used. The mixing and dispersing temperature may be a temperature range not lower than the freezing point of the solvent used and not higher than the boiling point. The order of adding the materials to be mixed and dispersed may be any order.

前記のワニスを塗布する支持体として、ワニスに用いる溶媒に溶解しないものが好ましく、例えば、ポリイミドフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムなどのプラスチックフィルムが使用でき、さらに、この支持体として金属箔を用い、塗布する面を粗化面とすることもできる。
このワニスを塗布した後に、溶媒を除去する。溶媒の除去は、溶媒抽出、真空乾燥、加熱乾燥など種々の方法を用いることができるが、加熱による乾燥が好ましい。その温度は、使用するワニスの組成あるいは支持体の分解温度よりも低い温度で行う。この溶媒除去により、支持体上に塗付されたワニスは、Bステージ(半硬化)状態に形成されて、本発明におけるエポキシ接着フィルムが得られる。その厚みは一般的には200μm以下とするのが好ましい。
As the support on which the varnish is applied, one that does not dissolve in the solvent used for the varnish is preferable. For example, a plastic film such as a polyimide film, a polyester film, a polyethylene film, or a polypropylene film can be used. The surface to be coated can be a roughened surface.
After applying this varnish, the solvent is removed. Various methods such as solvent extraction, vacuum drying, and heat drying can be used to remove the solvent, but drying by heating is preferable. The temperature is lower than the composition of the varnish used or the decomposition temperature of the support. By this solvent removal, the varnish applied on the support is formed in a B-stage (semi-cured) state, and the epoxy adhesive film in the present invention is obtained. In general, the thickness is preferably 200 μm or less.

上記の二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類とを重合させた重量平均分子量70,000以上の高分子量エポキシ重合体を主成分とするエポキシ接着フィルムは、複雑な接着面の形に合わせて精密に打ち抜き加工することができる。これにより、はみ出しを防ぐために接着面よりも小さめに接着フィルムを加工することによる被着体との接触不足を避けることができる。
また、エポキシ接着フィルムを、接着面の形状におおむね合わせて裁断し、加熱工程を経た後の除去工程ではみ出した部分や不要な部分をエッチングして除去もでき、この場合、上記以外のエポキシ接着フィルムも使用できる。
An epoxy adhesive film mainly composed of a high molecular weight epoxy polymer having a weight average molecular weight of 70,000 or more obtained by polymerizing the above bifunctional epoxy resin and a bifunctional phenol is precisely matched to the shape of a complicated adhesive surface. Can be stamped. Thereby, inadequate contact with a to-be-adhered body by processing an adhesive film smaller than an adhesive surface in order to prevent a protrusion can be avoided.
In addition, the epoxy adhesive film can be cut roughly in accordance with the shape of the adhesive surface, and the protruding part and unnecessary part can be removed by etching after the heating process. Film can also be used.

以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
(実施例1)
二官能エポキシ樹脂として、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量:172)を用い、二官能フェノール類として、ビスフェノールA(水酸基当量:114)を用い、エポキシ基/フェノール性水酸基=1/1.02となるように配合し、触媒として水酸化リチウムをエポキシ樹脂1モルに対して0.05モルの存在下に、溶媒としてN,N−ジメチルアセトアミドを用い、溶液の固形分濃度が30重量%となるように配合を調整し、120℃で10時間、その溶媒中で加熱して重合させて得たフィルム形成能を有するゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)法によるスチレン換算重量平均分子量が200,000の高分子量エポキシ重合体を得た。
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited to this.
Example 1
Bisphenol A type epoxy resin (epoxy equivalent: 172) is used as the bifunctional epoxy resin, bisphenol A (hydroxyl group equivalent: 114) is used as the bifunctional phenol, and epoxy group / phenolic hydroxyl group = 1 / 1.02. In the presence of 0.05 mol of lithium hydroxide as a catalyst with respect to 1 mol of epoxy resin and N, N-dimethylacetamide as a solvent, the solid content concentration of the solution becomes 30% by weight. The weight average molecular weight in terms of styrene by gel permeation chromatography (GPC) method having a film-forming ability obtained by polymerizing by heating at 120 ° C. for 10 hours in the solvent was as high as 200,000. A molecular weight epoxy polymer was obtained.

この高分子量エポキシ重合体に、2個以上のイソシアネート基を有するイソシアネート類として、イソホロンジイソシアネートを用い、そのイソシアネート基1.0当量に対し、マスク剤として、フェノールノボラック樹脂を2.5当量用い、高分子量エポキシ重合体のアルコール性水酸基1当量に対し、イソシアネート基0.5当量となるように配合した。  In this high molecular weight epoxy polymer, isophorone diisocyanate is used as an isocyanate having two or more isocyanate groups, and 2.5 equivalents of phenol novolac resin is used as a masking agent for 1.0 equivalent of the isocyanate groups. It mix | blended so that it might become 0.5 equivalent of isocyanate groups with respect to 1 equivalent of alcoholic hydroxyl groups of a molecular weight epoxy polymer.

高分子量エポキシ重合体100重量部に対し、多官能エポキシ樹脂として、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量:195)を60重量部、硬化剤としてフェノールノボラック樹脂(水酸基当量:106)を20重量部配合した。  60 parts by weight of cresol novolac type epoxy resin (epoxy equivalent: 195) as a polyfunctional epoxy resin and 20 parts by weight of phenol novolac resin (hydroxyl equivalent: 106) as a curing agent are added to 100 parts by weight of a high molecular weight epoxy polymer. did.

このワニスを、厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムに塗布し、乾燥器中で、150℃、5分の条件で乾燥し、厚さ10μmのエポキシ接着フィルムを得た。  This varnish was applied to a polyethylene terephthalate film having a thickness of 50 μm and dried in a drier at 150 ° C. for 5 minutes to obtain an epoxy adhesive film having a thickness of 10 μm.

[加熱二程] このエポキシ接着フィルムを25mm角に切断し、被着体であるSUS304(厚さ10mm)とSiウエハ(厚さ2mm)の間に挟んだ。SUS304とSiウエハの接着面の形状は20mm角で中央に直径3mmの円が2個、および幅1mm長さ10mmの長方形の穴があいている。エポキシ接着フィルムを挟んだ後、170℃、0.5MPaの条件で熱プレスを15分間行った。熱プレスによる接着後のサンプルの引張接着強さは53MPaであった。  [Heat Heating] This epoxy adhesive film was cut into 25 mm square and sandwiched between SUS304 (thickness 10 mm) as an adherend and Si wafer (thickness 2 mm). The shape of the bonding surface of SUS304 and Si wafer is 20 mm square, with two circles with a diameter of 3 mm in the center and a rectangular hole with a width of 1 mm and a length of 10 mm. After sandwiching the epoxy adhesive film, hot pressing was performed at 170 ° C. and 0.5 MPa for 15 minutes. The tensile bond strength of the sample after bonding by hot pressing was 53 MPa.

[除去工程] エッチング液として、水酸化ナトリウム4重量%、N−メチル−2−ピロリドン96重量%の混合溶液を調整した。
上記加熱工程後のサンプルを、120℃の上記エッチング液に2時間浸漬した。接着の不要な部分である接着面の穴の部分および接着面の周りのエポキシ接着フィルムは溶解した。熱プレスにより溶融して接着面の縁からはみ出した後エッチングされた残りの幅(接着面の縁からはみ出しているエポキシ接着フィルムの幅)は80μmであった。エッチング後のサンプルの接着強さはエッチング前と同じ値であった。
[Removal Step] A mixed solution of 4% by weight of sodium hydroxide and 96% by weight of N-methyl-2-pyrrolidone was prepared as an etching solution.
The sample after the heating step was immersed in the etching solution at 120 ° C. for 2 hours. The hole portion of the bonding surface, which is an unnecessary portion of bonding, and the epoxy adhesive film around the bonding surface were dissolved. The remaining width (the width of the epoxy adhesive film protruding from the edge of the bonding surface) after being melted by hot pressing and protruding from the edge of the bonding surface was 80 μm. The adhesion strength of the sample after the etching was the same value as before the etching.

このサンプルをN,N−ジメチルアセトアミド中に24時間浸漬したが、接着部位の外観に変化はなく、引張接着強さは浸漬前と同じ値であった。
さらにこのサンプルを120℃のエッチング液に浸漬したところ、10時間後にはSUS304からSiウエハが剥離した。SUS304とSiウエハの接着面のエポキシ接着フィルムは全て溶解していた。
This sample was immersed in N, N-dimethylacetamide for 24 hours, but there was no change in the appearance of the bonded site, and the tensile bond strength was the same value as before the immersion.
Further, when this sample was immersed in an etching solution at 120 ° C., the Si wafer was peeled from SUS304 after 10 hours. All the epoxy adhesive films on the bonding surface of SUS304 and Si wafer were dissolved.

(実施例2)
高分子量エポキシ重合体の合成の際、触媒としてナトリウムメトキシドをエポキシ樹脂1モルに対して0.04モルおよびイミダゾール0.05モルを添加し、溶媒としてシクロヘキサノンを使用した以外は、実施例1と同様にしてゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)法によるスチレン換算重量平均分子量が70,000の高分子量エポキシ重合体を得た。
(Example 2)
When synthesizing a high molecular weight epoxy polymer, sodium methoxide as a catalyst was added in an amount of 0.04 mol and 0.05 mol of imidazole with respect to 1 mol of the epoxy resin, and cyclohexanone was used as a solvent. Similarly, a high molecular weight epoxy polymer having a styrene conversion weight average molecular weight of 70,000 was obtained by gel permeation chromatography (GPC).

この高分子量エポキシ重合体を、実施例1と同様にワニス配合を行い、厚さ50μmのポリイミドフィルムに塗布した後、乾燥機中で150℃5分の条件で乾燥し、厚さ20μmのエポキシ接着フィルムを得た。  This high molecular weight epoxy polymer was varnished in the same manner as in Example 1 and applied to a polyimide film having a thickness of 50 μm, and then dried in a dryer at 150 ° C. for 5 minutes to give an epoxy adhesive having a thickness of 20 μm. A film was obtained.

被着体を厚さ30mmの42アロイと厚さ20mmのポリエチレンテレフタレートとした以外は実施例1と同様にして接着を行った。熱プレスによる接着後のサンプルの引張接着強さは55MPaであった。このサンプルを120℃の実施例1と同様の組成のエッチング液に2時間浸漬した。接着面にある穴および接着面の周りのエポキシ接着フィルムは溶解した。接着面の縁からはみ出しているエポキシ接着フィルムの幅は60μmであった。エッチング後のサンプルの接着強さはエッチング前と同じ値であった。このサンプルをN,N−ジメチルアセトアミド中に24時間浸漬したが、接着部位の外観に変化はなく、引張接着強さは浸漬前と同じ値であった。  Adhesion was performed in the same manner as in Example 1 except that the adherend was 42 alloy having a thickness of 30 mm and polyethylene terephthalate having a thickness of 20 mm. The tensile bond strength of the sample after bonding by hot pressing was 55 MPa. This sample was immersed in an etching solution having the same composition as in Example 1 at 120 ° C. for 2 hours. The hole in the adhesive surface and the epoxy adhesive film around the adhesive surface dissolved. The width of the epoxy adhesive film protruding from the edge of the adhesive surface was 60 μm. The adhesion strength of the sample after the etching was the same value as before the etching. This sample was immersed in N, N-dimethylacetamide for 24 hours, but there was no change in the appearance of the bonded site, and the tensile bond strength was the same value as before the immersion.

さらにこのサンプルをさらに120℃の実施例1と同様の組成のエッチング液に浸漬したところ、10時間後には42アロイがポリエチレンテレフタレートから剥離した。42アロイとポリエチレンテレフタレートの接着面のエポキシ接着フィルムは全て溶解していた。  Furthermore, when this sample was further immersed in an etching solution having the same composition as in Example 1 at 120 ° C., 42 alloys were peeled from polyethylene terephthalate after 10 hours. All of the epoxy adhesive films on the bonded surface of 42 alloy and polyethylene terephthalate were dissolved.

(実施例3)
実施例1で得られたエポキシ接着フィルムを、被着体として厚さ35μmの銅箔とSUS304とした以外は実施例1と同様にして接着を行った。熱プレスによる接着後のサンプルの引張接着強さは61MPaであった。このサンプルを120℃の実施例1と同様の組成のエッチング液に3時間浸漬した。接着面にある穴および接着面の周りにある余分なエポキシ接着フィルムは溶解した。接着面の縁からはみ出しているエポキシ接着フィルムの幅は70μmであった。エッチング後のサンプルの接着強さはエッチング前と同じ値であった。このサンプルをN,N−ジメチルアセトアミド中に24時間浸漬したが、接着部位の外観に変化はなく、引張接着強さは浸漬前と同じ値であった。
(Example 3)
Adhesion was performed in the same manner as in Example 1 except that the epoxy adhesive film obtained in Example 1 was replaced with a 35 μm thick copper foil and SUS304 as the adherend. The tensile bond strength of the sample after bonding by hot pressing was 61 MPa. This sample was immersed in an etching solution having the same composition as in Example 1 at 120 ° C. for 3 hours. The holes in the adhesive surface and the excess epoxy adhesive film around the adhesive surface dissolved. The width of the epoxy adhesive film protruding from the edge of the adhesive surface was 70 μm. The adhesion strength of the sample after the etching was the same value as before the etching. This sample was immersed in N, N-dimethylacetamide for 24 hours, but there was no change in the appearance of the bonded site, and the tensile bond strength was the same value as before the immersion.

さらにこのサンプルをさらに120℃の実施例1と同様の組成のエッチング液に浸漬したところ、12時間後には銅箔がSUS304から剥離した。両方の接着面のエポキシ接着フィルムはすべて溶解していた。  Furthermore, when this sample was further immersed in an etching solution having the same composition as in Example 1 at 120 ° C., the copper foil peeled off from SUS304 after 12 hours. All epoxy adhesive films on both adhesive surfaces were dissolved.

(実施例4)
実施例1の高分子量エポキシ重合体の原料である二官能フェノール類として、テトラブロモフェノールA(水酸基等量:227)を用いた以外は実施例1と同様にして、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)法によるスチレン換算重量平均分子量が200,000の高分子量エポキシ重合体を得た。この高分子量エポキシ重合体を実施例1と同様にワニス配合を行い、実施例1と同様にしてエポキシ接着フィルムを得た。このエポキシ接着フィルムを用いて、実施例1と同様にして接着を行った。
熱プレスによる接着後のサンプルの引張接着強さは45MPaであった。このサンプルを120℃の実施例1と同様の組成のエッチング液に1時間浸漬した。接着面にある穴の部分および接着面の周りにある余分なエポキシ接着フィルムは溶解した。接着面の縁からはみ出しているエポキシ接着フィルムの幅は50μmであった。エッチング後のサンプルの引張接着強さはエッチング前と同じ値であった。このサンプルをN,N−ジメチルアセトアミド中に24時間浸漬したが、接着部位の外観に変化はなく、引張接着強さは浸漬前と同じ値であった。
Example 4
Gel permeation chromatography (GPC) in the same manner as in Example 1 except that tetrabromophenol A (hydroxyl equivalent: 227) was used as a bifunctional phenol as a raw material for the high molecular weight epoxy polymer of Example 1. A high molecular weight epoxy polymer having a styrene-converted weight average molecular weight of 200,000 was obtained. This high molecular weight epoxy polymer was varnished in the same manner as in Example 1, and an epoxy adhesive film was obtained in the same manner as in Example 1. Using this epoxy adhesive film, adhesion was performed in the same manner as in Example 1.
The tensile bond strength of the sample after bonding by hot pressing was 45 MPa. This sample was immersed in an etching solution having the same composition as in Example 1 at 120 ° C. for 1 hour. The portion of the hole in the adhesive surface and the excess epoxy adhesive film around the adhesive surface dissolved. The width of the epoxy adhesive film protruding from the edge of the adhesive surface was 50 μm. The tensile bond strength of the sample after the etching was the same value as before the etching. This sample was immersed in N, N-dimethylacetamide for 24 hours, but there was no change in the appearance of the bonded site, and the tensile bond strength was the same value as before the immersion.

さらにこのサンプルをさらに120℃の実施例1と同様の組成のエッチング液に浸漬したところ、6時間後にはSiウエハがSUS304から剥離した。SiウエハとSUS304の接着面のエポキシ接着フィルムはすべて溶解していた。  Furthermore, when this sample was further immersed in an etching solution having the same composition as in Example 1 at 120 ° C., the Si wafer was peeled off from SUS304 after 6 hours. All the epoxy adhesive films on the bonding surface of the Si wafer and SUS304 were dissolved.

以上の実施例における評価方法の詳細を以下に示す。
ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)に使用したカラムは、TSK gel G6000+G5000+G4000+G3000+G2000(東ソー(株)製品名)であり、溶離液にはN,N―ジメチルアセトアミドを使用し、試料濃度は2重量%とした。
スチレン換算重量平均分子量は、予め様々な分子量のスチレンを用いて分子量と溶出時間の関係を求めた後、サンプルの溶出時間から分子量を算出してスチレン換算重量平均分子量とした。
引張強さの測定は、(株)東洋ボールドウィン製テンシロンを用い、引張速度は5mm/minとした。
また、接着面の縁からはみ出したエポキシ接着フィルムの幅は、断面写真から読み取った。
Details of the evaluation methods in the above examples are shown below.
The column used for gel permeation chromatography (GPC) is TSK gel G6000 + G5000 + G4000 + G3000 + G2000 (product name of Tosoh Corporation), and N, N-dimethylacetamide is used as the eluent. The concentration was 2% by weight.
The styrene-converted weight average molecular weight was obtained by calculating the molecular weight from the elution time of the sample after obtaining the relationship between the molecular weight and elution time in advance using styrene of various molecular weights.
The tensile strength was measured using Tensilon manufactured by Toyo Baldwin Co., Ltd., and the tensile speed was 5 mm / min.
Moreover, the width | variety of the epoxy adhesive film protruded from the edge of the adhesive surface was read from the cross-sectional photograph.

発明の効果Effect of the invention

本発明のエポキシ接着フィルムによる接着方法によれば、エポキシ接着フィルムが耐熱性および耐溶剤性に優れるため、微細な形状の接着面を精密に接着させることが可能となった。また、エッチング液に長時間接触させることにより、接着面間が損傷なく容易に剥離するため、仮接着としての適用が可能である。  According to the bonding method using the epoxy adhesive film of the present invention, since the epoxy adhesive film is excellent in heat resistance and solvent resistance, it becomes possible to precisely bond the adhesive surface having a fine shape. In addition, by contacting with the etching solution for a long time, the bonding surfaces can be easily separated without being damaged, and thus can be applied as temporary bonding.

Claims (6)

エポキシ接着フィルムを被着体の二つの接着面間に挟み、加熱または加熱および加圧する接着工程と、前記二つの接着面間のエポキシ接着フィルムをエッチングにより全て除去して前記接着面間を剥離させる除去工程とを含み、
前記エポキシ接着フィルムは、ナトリウムメトキシドおよびイミダゾールを触媒として二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類とを重合させた重量平均分子量70,000以上の高分子量エポキシ重合体を主成分とし、さらに架橋剤、多官能エポキシ樹脂及び硬化剤を含むエポキシ接着フィルムであって、前記二官能エポキシ樹脂はビスフェノールA型エポキシ樹脂、前記二官能フェノール類はビスフェノールAであり、前記架橋剤はフェノールノボラック樹脂でイソシアネート基をマスクしたイソホロンジイソシアネート、前記多官能エポキシ樹脂はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、前記硬化剤はフェノールノボラック樹脂であることを特徴とするエポキシ接着フィルムによる接着方法。
Sandwiching the epoxy adhesive film between two bonded surfaces of the adherend, and bonding step of applying heat or heat and pressure, to separate between the adhesive surface of the epoxy adhesive film between the two adhesive surfaces and all the etching removal A removal step,
The epoxy adhesive film is mainly composed of a high molecular weight epoxy polymer having a weight average molecular weight of 70,000 or more obtained by polymerizing a bifunctional epoxy resin and a bifunctional phenol using sodium methoxide and imidazole as a catalyst, and a crosslinking agent. An epoxy adhesive film comprising a polyfunctional epoxy resin and a curing agent, wherein the bifunctional epoxy resin is a bisphenol A type epoxy resin, the bifunctional phenols are bisphenol A, and the crosslinking agent is a phenol novolac resin having an isocyanate group. masked isophorone diisocyanate, the multifunctional epoxy resin is a cresol novolak type epoxy resin, the temporary bonding method according epoxy adhesive film, wherein the curing agent is a phenolic novolak resin.
前記接着工程と前記除去工程の間に、エポキシ接着フィルムのうち仮接着が不要な部分および溶融して接着面からはみ出した部分の少なくとも一方を、被着体またはエポキシ接着フィルムの仮接着に必要な部分を破損することなくエッチングする、はみ出し除去工程をさらに有する請求項1記載のエポキシ接着フィルムによる仮接着方法。Between the bonding step and the removing step, at least one of the portion of the epoxy adhesive film that does not require temporary bonding and the portion that melts and protrudes from the bonding surface is necessary for temporary bonding of the adherend or the epoxy bonding film. The temporary adhesion method using an epoxy adhesive film according to claim 1, further comprising a protrusion removal step of etching without damaging the portion.
前記除去工程において、アルカリ金属化合物と有機溶媒を含むエッチング液によりエッチングする請求項1または2記載のエポキシ接着フィルムによる接着方法。
The temporary adhesion method using an epoxy adhesive film according to claim 1 or 2 , wherein in the removing step, etching is performed with an etching solution containing an alkali metal compound and an organic solvent.
エッチング液における有機溶媒は、アミド系およびアルコール系の少なくとも一方を含む請求項記載のエポキシ接着フィルムによる接着方法。
The temporary adhesion method using an epoxy adhesive film according to claim 3 , wherein the organic solvent in the etching solution contains at least one of an amide type and an alcohol type.
はみ出し除去工程後に、接着面からのエポキシ接着フィルムのはみ出しの幅が100μm以下である請求項記載のエポキシ接着フィルムによる接着方法。
OverhangThe width of the protrusion of the epoxy adhesive film from the adhesive surface after the removing step is 100 μm or less.2According to the described epoxy adhesive filmProvisionalBonding method.
二官能エポキシ樹脂と二官能フェノール類とをエポキシ基/フェノール性水酸基=1/0.9〜1/1.1の当量比で重合させた請求項1〜のいずれか記載のエポキシ接着フィルムによる接着方法。 The epoxy adhesive film according to any one of claims 1 to 5, wherein a bifunctional epoxy resin and a bifunctional phenol are polymerized at an equivalent ratio of epoxy group / phenolic hydroxyl group = 1 / 0.9 to 1 / 1.1. Temporary bonding method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8563397B2 (en) * 2008-07-09 2013-10-22 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP6409487B2 (en) * 2014-10-15 2018-10-24 三菱ケミカル株式会社 Epoxy resin and production method thereof, epoxy resin-containing composition and cured product

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3636334B2 (en) * 1995-06-01 2005-04-06 日立化成工業株式会社 Manufacturing method of multilayer printed wiring board
JP3624967B2 (en) * 1995-06-01 2005-03-02 日立化成工業株式会社 Manufacturing method of multilayer printed wiring board
JP3624966B2 (en) * 1995-06-01 2005-03-02 日立化成工業株式会社 Multilayer printed wiring board manufacturing method and etching solution used in the manufacturing method
JPH0992981A (en) * 1995-09-27 1997-04-04 Hitachi Chem Co Ltd Multilayer printed circuit board and its manufacture
JP4143876B2 (en) * 1998-10-06 2008-09-03 日立化成工業株式会社 Etching solution management method for cured epoxy resin and etching method for cured epoxy resin using the management method
JP2000129021A (en) * 1998-10-22 2000-05-09 Hitachi Chem Co Ltd Processing method for cured epoxy resin
JP2000138463A (en) * 1998-11-02 2000-05-16 Hitachi Chem Co Ltd Production of multilayer printed wiring board
JP2000143844A (en) * 1998-11-13 2000-05-26 Hitachi Chem Co Ltd Etching process for epoxy resin cured product
JP2000143847A (en) * 1998-11-13 2000-05-26 Hitachi Chem Co Ltd Etching method for cured epoxy resin
JP2000151117A (en) * 1998-11-13 2000-05-30 Hitachi Chem Co Ltd Manufacture of multilayer printed wiring board
JP2000151120A (en) * 1998-11-13 2000-05-30 Hitachi Chem Co Ltd Manufacture of multilayer printed wiring board

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