JP5263783B2 - 光学特性測定装置及び測定方法 - Google Patents
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試料からの散乱光を計測するための光学特性測定装置に関して、その代表的な構造及び評価結果等について説明する。図1は、実施の形態1の代表的な構成を模式的に示す断面図である。
本実施の形態2も実施の形態1と同様、双楕円型光学系の構造の一方の楕円体面鏡を回転させる構成を備え、回転される楕円体面鏡の焦点に集光する散乱光を検出する構成を備えている。本実施の形態2では、回転される楕円体面鏡E2を図8のような形状にした。実施の形態2では、楕円体面鏡E2の厚さを一定に保つのではなくて図8に示すように場所により変化させることを特徴としている。楕円体面鏡E2の所定の領域に、厚さを徐々に減少させた領域を設けている。
本実施の形態3は、実施の形態1と同様、双楕円型光学系の構造の一方の楕円体面鏡を回転させる構成を備え、回転される楕円体面鏡の焦点に集光する散乱光を検出する構成を備えている。図10は、本実施の形態3を示す図である。実施の形態1では、回転される楕円体面鏡の焦点に直接検出器を配置したが、本実施の形態3では、焦点F2には検出器を配置せずに、焦点を外した位置に広角レンズ4等の集光用の光学素子を配置して、光学素子を介して検出器2に入射させることを特徴とする。
本実施の形態4も実施の形態1と同様、双楕円型光学系の構造の一方の楕円体面鏡を回転させる構成を備え、回転される楕円体面鏡の焦点に集光される散乱光を検出する構成を備えている。実施の形態4では、実施の形態1の装置において、散乱の異方性を測定できるようにするために、検出器の前面に、さらに光学素子を設けて検出器の受光する検出角度を小さく制限することを特徴としている。
実施の形態1から4においては、従来の光学測定で用いられている公知の試料台や試料ホルダーを用いることができる。実施の形態5は、本発明の実施にあたり試料としてマイクロ光学素子を測定する際に特に適する試料ホルダーを提供するものである。
2、検出器
3、反射鏡
4、広角レンズ
5、アパーチャー
6、フィールドストップ
Claims (11)
- 光入射面を規定する楕円体面鏡及び測定面を規定する楕円体面鏡からなる双楕円型光学系と、前記測定面を規定する楕円体面鏡を360度以上回転させる機構と、前記双楕円型光学系の共通焦点に配置された被測定物からの散乱光のうち、前記測定面上の散乱光を積分的に検出する検出器とを備えることを特徴とする、被測定物の全球散乱を測定する光学特性測定装置。
- 前記双楕円型光学系は、第1の楕円体面鏡及び第2の楕円体面鏡の各々の焦点の1つを共通焦点にして結合して、3つの焦点を一軸上に有する光学系であることを特徴とする請求項1記載の光学特性測定装置。
- 光入射側の前記第1の楕円体面鏡の焦点に、反射板を備え、
前記共通焦点に被測定物を配置し、
前記第2の楕円体面鏡の焦点に前記検出器を配置し、
前記第2の楕円体面鏡及び前記検出器を、前記一軸の周りに回転させて、被測定物の全球散乱を測定することを特徴とする請求項2記載の光学特性測定装置。 - 前記検出器は、被測定物から散乱されて前記第2の楕円体面鏡により集光される光を検出できる検出角度を有することを、特徴とする請求項3記載の光学特性測定装置。
- 前記第2の楕円体面鏡は、厚さが所定の領域で他より薄い形状であることを特徴とする請求項3記載の光学特性測定装置。
- 光入射側の前記第1の楕円体面鏡の焦点に、反射板を備え、
前記共通焦点に被測定物を配置し、
前記第2の楕円体面鏡の焦点を外した位置に、集光用の光学素子と前記検出器を配置し、
前記第2の楕円体面鏡、前記光学素子及び前記検出器を、前記一軸の周りに回転させて被測定物の全球散乱を測定することを特徴とする請求項2記載の光学特性測定装置。 - 前記光学素子は、広角レンズであることを特徴とする請求項6記載の光学特性測定装置。
- 前記検出器は、前記第2の楕円体面鏡により焦点に集光されて前記集光用の光学素子により集光される光を検出することを特徴とする請求項6記載の光学特性測定装置。
- 双楕円型光学系の一方の楕円体面鏡を回転させ、回転される楕円体面鏡の焦点に集光する、光入射面に対して回転した測定面上の散乱光を積分的に検出して被測定物の全球散乱を測定することを特徴とする光学特性測定方法。
- 前記検出は、前記回転される楕円体面鏡の焦点に設けた検出器により検出することを特徴とする請求項9記載の光学特性測定方法。
- 前記検出は、前記回転される楕円体面鏡の焦点を外した位置に設けた集光用の光学素子と検出器により検出することを特徴とする請求項9記載の光学特性測定方法。
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