JP5257282B2 - スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 - Google Patents

Description

本発明は、一対のクランプ部材により両側部を保持した基板にマスクプレートを接触させてスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法に関するものである。

スクリーン印刷機は、ベルトコンベアによって所定位置に搬送した基板を一対のクランプ部材によって基板の両側部をクランプして（挟んで）保持した後、基板にマスクプレートを接触させて半田ペーストや導電性ペースト等のペーストを供給し、マスクプレート上でスキージを摺動させてマスクプレートのパターン孔内にペーストを充填させることによって基板上にペーストを印刷する。

このようなスクリーン印刷機では、パターン孔内へのペーストの充填時に基板とマスクプレートが密着してしまい、ペースト充填後の基板とマスクプレートを離間させる版離れのときに、基板がマスクプレートに引っ張られて基板がクランプ部材から脱落してしまう場合がある。このため従来、クランプ部材に設けたクランプ爪（爪状部材）を基板の上方に張り出させておき、基板とマスクプレートの間にクランプ爪を介在させておくことにより、版離れのときに基板とマスクプレートが分離し易くして、基板の脱落を防止するようにしたものが知られている（特許文献１）。このようなスクリーン印刷機では、複数のクランプ爪の張り出し作動と退避動作は一括して行うことができるようになっている。

特開２００７−１３０９１１号公報

しかしながら、基板とマスクプレートとの間にクランプ爪が介在する箇所では、クランプ爪の厚みによって基板とマスクプレートの間にわずかな隙間が生じ、その隙間の近傍にファインパターンの電極があると、その電極の印刷精度は大幅に低下してしまうことから、張り出した複数のクランプ爪のうちの少なくともひとつがファインパターンの電極の近傍に位置してしまうようなときには、クランプ爪の張り出しを行うことができなかった。このため、版離れのときに基板がクランプ部材から脱落するケースが生じ、作業のやり直し等のために作業効率が低下するという問題点があった。

そこで本発明は、印刷精度を低下させず、版離れのときに基板がクランプ部材から脱落することを防止して作業効率の低下を防ぐことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。

請求項１記載のスクリーン印刷機は、基板の両側部をクランプして基板を保持する一対のクランプ部材と、両クランプ部材に設けられ、基板の上方に張り出した張り出し位置又は張り出し位置から退避した退避位置に位置する複数の爪状部材と、両クランプ部材に保持された基板に形成されたファインパターン電極の前記基板上における位置に応じ、複数の爪状部材のそれぞれを個別に張り出し位置又は退避位置に位置させる爪状部材位置制御手段と、両クランプ部材により保持され、かつ一又は複数の爪状部材が基板の上方に張り出した状態で基板の上面に接触されるマスクプレートと、基板の上面に接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動し、マスクプレートに設けられたパターン孔内にペーストを充填するスキージと、スキージによるマスクプレートのパターン孔内へのペーストの充填が終了した後、基板とマスクプレートを相対的に離間させる版離れ手段とを備えた。

請求項３に記載のスクリーン印刷方法は、一対のクランプ部材により基板の両側部をクランプして保持する工程と、両クランプ部材により保持した基板に形成されたファインパターン電極の前記基板上における位置に応じ、両クランプ部材に設けられた複数の爪状部材のそれぞれを個別に基板の上方に張り出した張り出し位置又は張り出し位置から退避した退避位置に位置させる工程と、両クランプ部材により保持し、かつ一又は複数の爪状部材を基板の上方に張り出させた状態で基板の上面にマスクプレートを接触させる工程と、基板の上面に接触させたマスクプレートにペーストを供給する工程と、ペーストを供給したマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに設けられたパターン孔内にペーストを充填する工程と、スキージによるマスクプレートのパターン孔内へのペーストの充填が終了した後、基板とマスクプレートを相対的に離間させる工程とを含む。

本発明では、両クランプ部材に設けられた複数の爪状部材のそれぞれを、クランプ部材に保持された基板に形成されたファインパターン電極の前記基板上における位置に応じて張り出し位置又は退避位置に位置させるようになっており、基板の端部にファインパターンの電極が配置されているような場合には、張り出し位置に位置させた場合にファインパターンの電極の近傍に位置することとなる爪状部材以外のクランプ爪を基板の上方に張り出させてスクリーン印刷を行うことができる。このため、基板の端部にファインパターンの電極が配置されているときであっても印刷精度を低下させず、版離れのときに基板がクランプ部材から脱落することを防止することができるので、作業のやり直し等による作業効率の低下を防ぐことができる。

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めユニットの一部の斜視図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるタッチパネルの画面の一例を示す図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板位置決めユニットの一部の斜視図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図

図１、図２及び図３において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基台２、基台２上に設けられて印刷対象物である基板ＰＢの搬送及び所定の作業位置への位置決めを行う基板位置決めユニット３、基板位置決めユニット３の上方に設けられたマスクプレート４、シリンジ５、スキージ６及びカメラユニット７を備えている。以下、説明の便宜
上、基板位置決めユニット３による基板ＰＢの搬送方向（図１の紙面左右方向）をＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向（図１の紙面上下方向）をＹ軸方向、上下方向（図２の紙面上下方向）をＺ軸方向とする。

図２及び図３において、基板位置決めユニット３は、基台２に対してＹ軸方向に移動するＹテーブル１１ａ、Ｙテーブル１１ａに対してＸ軸方向に移動するＸテーブル１１ｂ、Ｘテーブル１１ｂに対してＺ軸回りに回転するθテーブル１１ｃ及びθテーブル１１ｃの上面に固定されたベーステーブル１１ｄを備えて成る水平面内位置決め部１１と、水平面内位置決め部１１のベーステーブル１１ｄに対して昇降する第１昇降テーブル１２ａ、第１昇降テーブル１２ａに対して昇降する第２昇降テーブル１２ｂ、第２昇降テーブル１２ｂの上面に設けられた下受けユニット１２ｃを備えて成る上下方向位置決め部１２、上下方向位置決め部１２の第１昇降テーブル１２ａに取り付けられて基板ＰＢをＸ軸方向に搬送し、その基板ＰＢを所定の作業位置に位置決めする一対のベルトコンベアから成る位置決めコンベア１３、位置決めコンベア１３の上方でＹ軸方向に開閉作動し、位置決めコンベア１３上の基板ＰＢのＹ軸方向の両側部を基板ＰＢの側方からクランプして（挟んで）保持する一対のクランプ部材（クランパ）１４を備えて成る。

図１及び図２において、基板位置決めユニット３を構成する位置決めコンベア１３のＸ軸方向の両側位置には、スクリーン印刷機１の外部（図１及び図２の紙面左側）から投入された基板ＰＢを搬送（搬入）して位置決めコンベア１３に受け渡す搬入コンベア１５と、位置決めコンベア１３から受け渡された基板ＰＢをスクリーン印刷機１の外部に搬送（搬出）する搬出コンベア１６が設けられている。

図１、図２及び図３において、マスクプレート４は四辺を枠部材４ｗによって支持されており、枠部材４ｗによって囲まれた矩形のマスク領域内には、基板ＰＢ上に設けられた複数の電極ＤＴに対応する複数のパターン孔４ａが設けられている。

図１及び図２において、基台２上にはＸＹロボット１７が設けられている。このＸＹロボット１７は、基板位置決めユニット３の上方をＹ軸方向に延びて設けられた一対のＹ軸ステージ１７ａと、Ｘ軸方向に延びて設けられ、一対のＹ軸ステージ１７ａに両端が支持されてＹ軸方向に移動自在なＸ軸ステージ１７ｂと、Ｘ軸ステージ１７ｂ上をＸ軸方向に移動自在に設けられたカメラ支持ステージ１７ｃから成っている。図３において、カメラユニット７はＸＹロボット１７のカメラ支持ステージ１７ｃに取り付けられており、撮像視野を下方に向けた第１カメラ７ａと撮像視野を上方に向けた第２カメラ７ｂを備えている。

図３において、スキージ６は、Ｙ軸方向に移動自在に設けられた移動ビーム１８（図２も参照）にＹ軸方向に対向して２つ設けられている。各スキージ６はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、移動ビーム１８に取り付けられたスキージ昇降シリンダ６ａの作動によって移動ビーム１８に対して昇降する。

図４（ａ），（ｂ）において、各クランプ部材１４の上面には、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向（基板ＰＢの幅方向であり、Ｙ軸方向）に延びたスライド溝１４ａが設けられている。これら２つのスライド溝１４ａにはスライダ２１（図４（ａ）の拡大図参照）がＹ軸方向にスライド自在に設けられており、各スライダ２１の上面にはＹ軸方向に延びた薄板状の爪状部材であるクランプ爪２２が締結具２３によって取り付けられている。

スライダ２１に取り付けられたクランプ爪２２は、クランプ部材１４同士が対向する側（以下、内側と称する）の端部をクランプ部材１４の上面から基板ＰＢの上方に張り出さ
せない退避位置（図４（ａ）に示す位置）と、内側の端部を基板ＰＢの上方に張り出させる張り出し位置（図４（ｂ）に示す位置）との間で移動自在になっている。

図４（ａ），（ｂ）において、各スライダ２１は、そのスライダ２１が設けられているクランプ部材１４の下方に設置されたエアシリンダ２４の作動によってＹ軸方向、すなわちクランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向に移動（スライド）し、両クランプ爪２２のそれぞれは、２つのエアシリンダ２４を各個独立して作動させることにより、個別に張り出し位置若しくは退避位置に位置させることができるようになっている。

このスクリーン印刷機１において、基板ＰＢの搬送を行う基板搬送路としての搬入コンベア１５、位置決めコンベア１３及び搬出コンベア１６の各動作は、制御装置３０（図５）が図示しない基板搬送路作動機構３１（図５）の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構３２（図５）の作動制御を行うことによってなされる。

各クランプ部材１４に対する２つのクランプ爪２２の個別の位置切り替え動作（張り出し位置と退避位置との間の移動動作）は、制御装置３０が上述の一対のエアシリンダ２４等から成るクランプ爪移動機構３３（図５）の作動制御を行うことによってなされる。

基台２に対するＹテーブル１１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル１１ａに対するＸテーブル１１ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル１１ｂに対するθテーブル１１ｃの（すなわちベーステーブル１１ｄの）Ｚ軸回りの回転、ベーステーブル１１ｄに対する第１昇降テーブル１２ａの昇降、第１昇降テーブル１２ａに対する第２昇降テーブル１２ｂの（すなわち下受けユニット１２ｃの）昇降の各動作は、制御装置３０がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘ（図２及び図３参照）等のアクチュエータ等から成る基板位置決めユニット作動機構３４（図５）の作動制御を行うことによってなされる。

ＸＹロボット１７を構成するＸ軸ステージ１７ｂのＹ軸方向への移動動作及びカメラユニット７が取り付けられたカメラ支持ステージ１７ｃのＸ軸方向への移動動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータから成るＸＹロボット作動機構３５（図５）の作動制御を行うことによってなされる。

図３において、シリンジ５は、図示しない移動機構によってマスクプレート４の上方を水平面内で移動自在に設けられており、内部に貯蔵した半田ペーストや導電性ペースト等のペーストを下方に吐出する。このシリンジ５の移動動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジ移動機構３６（図５）の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ５によるペーストの吐出動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト吐出機構３７（図５）の作動制御を行うことによってなされる。

スキージ６を保持する移動ビーム１８のＹ軸方向への移動動作は、制御装置３０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージ移動機構３８（図５）の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ６の移動ビーム１８に対する昇降動作は、制御装置３０が前述のスキージ昇降シリンダ６ａの作動制御を行うことによってなされる。

カメラユニット７を構成する第１カメラ７ａは、このスクリーン印刷機１が備える制御装置３０に制御されて、基板位置決めユニット３によって作業位置に位置決めされた基板ＰＢの基板位置検出マーク（図示せず）の撮像を行い、第２カメラ７ｂは、制御装置３０に制御されて、マスクプレート４に設けられたマスク位置検出マーク（図示せず）の撮像を行う。第１カメラ７ａの撮像によって得られた画像データと第２カメラ７ｂの撮像によ
って得られた画像データはともに制御装置３０に入力される（図５）。

次に、図６〜図１１を用いてスクリーン印刷機１の動作について説明する。スクリーン印刷機１の制御装置３０は、スクリーン印刷機１が外部（搬入コンベア１５の上流側）から基板ＰＢが投入されたことを図示しない検知手段により検知したら、搬入コンベア１５を作動させてその基板ＰＢを受け取り、位置決めコンベア１３に受け渡す（図６（ａ）中に示す矢印Ａ。基板搬入工程）。そして、図示しない検知手段により、位置決めコンベア１３が搬送する基板ＰＢが所定の作業位置に到達したことを検知したら、位置決めコンベア１３の作動を停止させて位置決めを行う（図６（ｂ）。基板位置決め工程）。

制御装置３０は、基板ＰＢの作業位置への位置決めを行ったら、基板位置決めユニット３が備える上下方向位置決め部１２の第２昇降テーブル１２ｂを第１昇降テーブル１２ａに対して上昇させ（図７（ａ）中に示す矢印Ｂ１）、下受けユニット１２ｃが基板ＰＢの下面に接触したら第２昇降テーブル１２ｂの上昇を停止させる。そして、クランプ部材１４を作動させ、位置決めコンベア１３上の基板ＰＢの両側部をクランプして保持する（図７（ａ）中に示す矢印Ｃ１。基板保持工程）。

制御装置３０は、クランプ部材１４により基板ＰＢをクランプして保持したら、再び第２昇降テーブル１２ｂを第１昇降テーブル１２ａに対して上昇させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、下受けユニット１２ｃで基板ＰＢを押し上げる。これにより基板ＰＢは両端をクランプ部材１４に対して摺動させながら上昇し（位置決めコンベア１３からは上方に離間する）、基板ＰＢの上面が両クランプ部材１４の上面とほぼ同じ高さになったところで停止される（図７（ｂ））。

制御装置３０は上記基板ＰＢのクランプ部材１４に対する高さ調整が終了したら、このスクリーン印刷機１のオペレータＯＰ（図１）による操作入力に応じてクランプ爪移動機構３３の作動制御を行い、各クランプ部材１４に設けられた複数のクランプ爪２２のうち、オペレータＯＰによって張り出しが選択されたものを個別に退避位置から張り出し位置に移動させて（図７（ｃ）中に示す矢印Ｄ１）、基板ＰＢの上方に張り出させる（図７（ｃ）。クランプ爪張り出し工程）。

クランプ爪２２の張り出し選択は、オペレータＯＰが、スクリーン印刷機１に設けられたタッチパネル３９（図１及び図５）から、各爪部２２について張り出させるか張り出させないかの選択操作を行うことによってなされる。例えば、図８に示すようなタッチパネル３９の画面において、オペレータＯＰは各クランプ爪２２について張り出すか（オン）、張り出さないか（オフ）の選択をオンボタン４１ａ，４２ａ又はオフボタン４１ｂ，４２ｂのタッチ操作によって行い、制御装置３０は、タッチパネル３９を通じたオペレータＯＰの操作入力に基づいてクランプ爪移動機構３３の作動制御を行い、オペレータＯＰが張り出しの選択を行ったクランプ爪２２のみを基板ＰＢの上方に張り出させる。なお、このタッチパネル３９の画像に、現在クランプしている基板ＰＢの画像が映し出されるようにし、その画像を見ながらオペレータＯＰが上記選択操作を行うことができるようにしてもよい。

ここで、オペレータＯＰは、クランプ部材１４により保持された基板ＰＢの端部にファインパターンの電極ＤＴが配置されており、張り出したクランプ爪２２のうちの一方がそのファインパターンの電極ＤＴの近傍に位置してしまうと判断したときには、ファインパターンの電極ＤＴの近傍に位置してしまうことになるクランプ爪２２は張り出し位置に位置させず、ファインパターンの電極ＤＴの近傍に位置しないクランプ爪２２のみが張り出し位置に位置するような選択操作を行う。これは、基板ＰＢとマスクプレート４との間にクランプ爪２２が介在する箇所では、クランプ爪２２の厚みによって基板ＰＢとマスクプ
レート４の密着が妨げられて、基板ＰＢとマスクプレート４の間にわずかな隙間が生じるが、ファインパターンの電極ＤＴの近傍でこのような隙間が生じると、そのファインパターンの電極ＤＴにおける印刷精度が大幅に低下する結果となるからである。

図９（ａ）は、基板ＰＢの上面にファインパターンの電極ＤＴから成るファインパターン電極群ＦＰが設けられているが、２つのクランプ爪２２を張り出し位置に位置させた場合であってもいずれのクランプ爪２２もそのファインパターン電極群ＦＰの近傍に位置することとならないことから、２つのクランプ爪２２をともに基板ＰＢの上方に張り出させた場合の例を示している。一方、図９（ｂ）は、基板ＰＢの端部にファインパターン電極群ＦＰが配置されており、２つのクランプ爪２２を張り出し位置に位置させた場合には、その一方のクランプ爪２２がファインパターン電極群ＦＰの近傍に位置することとなるために、ファインパターン電極群ＦＰの近傍に位置することとならないクランプ爪２２のみを張り出し位置に位置させ、ファインパターン電極群ＦＰの近傍に位置することとなるクランプ爪２２は退避位置に位置させたままとして基板ＰＢの上方に張り出させないようにした場合の例を示している。

制御装置３０は、クランプ爪２２を基板ＰＢの上方に張り出させたら、ＸＹロボット１７のＸ軸ステージ１７ｂ及びカメラ支持ステージ１７ｃを作動させてカメラユニット７を基板ＰＢとマスクプレート４の間の領域に移動させ、第１カメラ７ａにより基板ＰＢに設けられた基板位置検出マークの撮像を行わせるとともに、第２カメラ７ｂによりマスクプレート４に設けられたマスク位置検出マークの撮像を行わせる。そして、得られた基板位置検出マークの画像データから基板ＰＢの位置を把握するとともに、得られたマスク位置検出マークの画像データからマスクプレート４の位置を把握する。

制御装置３０は、基板ＰＢの位置とマスクプレート４の位置を把握したら、基板位置決めユニット３が備える水平面内位置決め部１１の作動制御を行って基板ＰＢを水平面内方向に移動させ、基板ＰＢとマスクプレート４が上下方向に対向するように水平方向位置合わせを行う。そして、基板ＰＢとマスクプレート４の水平方向位置合わせが終わったら、制御装置３０は、基板位置決めユニット３が備える上下方向位置決め部１２の第１昇降テーブル１２ａをベーステーブル１１ｄに対して上昇させ（図１０（ａ）中に示す矢印Ｂ３）、基板ＰＢの被印刷面である上面をマスクプレート４に下方から接触させる（図１０（ａ）。マスクプレート接触工程）。これによりマスクプレート４のパターン孔４ａと基板ＰＢ上の電極ＤＴとが上下方向に合致した状態となる。

制御装置３０は、基板ＰＢをマスクプレート４に接触させたら、シリンジ５をマスクプレート４の上方に移動させてマスクプレート４の上面にペーストＰＴを供給させた後（図１０（ａ）。ペースト供給工程）、一方のスキージ６を下降させてそのスキージ６の下縁をマスクプレート４の上面に当接させる。そして、そのマスクプレート４に当接させたスキージ６をＹ軸方向に移動させ（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、ペーストＰＴをスキージ６によってかき寄せてマスクプレート４のパターン孔４ａ内に充填させる（ペースト充填工程）。このペースト充填工程では、ペーストＰＴを図１０（ｂ）中に示す矢印Ｅ１と反対の方向にかき寄せるときには、図１０（ｂ）の左側のスキージ６を上昇させてマスクプレート４から離間させるとともに、右側のスキージ６をマスクプレート４の上面に当接させて、スキージ６を矢印Ｅ１と反対の方向に移動させる（図１０（ｃ）中に示す矢印Ｅ２）。

制御装置３０は、マスクプレート４のパターン孔４ａ内にペーストＰＴを充填させたら、第１昇降テーブル１２ａをベーステーブル１１ｄに対して下降させ、マスクプレート４を基板ＰＢから離間させる（図１１（ａ）中に示す矢印Ｂ４）。これにより版離れが行われ（版離れ工程）、ペーストＰＴが基板ＰＢの電極ＤＴ上に印刷される。

なお、基板ＰＢとマスクプレート４はペースト充填工程において互いに密着するが、基板ＰＢの上方にはクランプ部材１４からクランプ爪２２が張り出されており、そのクランプ爪２２は基板ＰＢとマスクプレート４の間に介在した状態となっているので、版離れのときに基板ＰＢとマスクプレート４が分離し易く、基板ＰＢがクランプ部材１４から脱落しにくい。

制御装置３０は、基板ＰＢへのペーストＰＴの印刷が終了したら、クランプ爪２２を退避位置に移動させて（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）、基板ＰＢの上方に張り出させていたクランプ爪２２をクランプ部材１４内に退避させる（図１１（ｂ）。クランプ爪退避工程）。そして、クランプ部材１４を作動させて基板ＰＢのクランプを解除したうえで（図１１（ｃ）中に示す矢印Ｃ２）、第２昇降テーブル１２ｂを第１昇降テーブル１２ａに対して下降させ（図１１（ｃ）中に示す矢印Ｂ５）、基板ＰＢを位置決めコンベア１３上に降ろす。そして、基板位置決めユニット３が備える水平面内位置決め部１１を作動させ、搬出コンベア１６に対する位置決めコンベア１３の位置調整を行ったうえで、位置決めコンベア１３と搬出コンベア１６を作動させ、位置決めコンベア１３上の基板ＰＢを搬出コンベア１６に受け渡してそのままスクリーン印刷機１の外部に搬出する（基板搬出工程）。

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの両側部をクランプして保持する一対のクランプ部材１４と、両クランプ部材１４に設けられ、基板ＰＢの上方に張り出した張り出し位置又は張り出し位置から退避した退避位置に位置する複数の爪状部材としてのクランプ爪２２と、両クランプ部材１４に保持された基板ＰＢの電極ＤＴの配置に応じ、複数のクランプ爪２２のそれぞれを個別に張り出し位置又は退避位置に位置させる爪状部材位置制御手段としてのタッチパネル３９及び制御装置３０と、両クランプ部材１４により保持され、かつ一又は複数のクランプ爪２２が基板ＰＢの上方に張り出した状態で基板ＰＢの上面に接触されるマスクプレート４と、基板ＰＢの上面に接触されたマスクプレート４にペーストＰＴを供給するペースト供給手段としてのシリンジ５と、シリンジ５によりペーストＰＴが供給されたマスクプレート４に対して摺動し、マスクプレート４に設けられたパターン孔４ａ内にペーストＰＴを充填するスキージ６と、スキージ６によるマスクプレート４のパターン孔４ａ内へのペーストＰＴの充填が終了した後、基板ＰＢとマスクプレート４を相対的に離間させる版離れ手段としての基板位置決めユニット３及び制御装置３０を備えたものとなっている。

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法は、一対のクランプ部材１４により基板ＰＢの両側部をクランプして保持する工程（基板保持工程）と、両クランプ部材１４により保持した基板ＰＢの電極ＤＴの配置に応じ、両クランプ部材１４に設けられた複数のクランプ爪２２のそれぞれを個別に基板ＰＢの上方に張り出した張り出し位置又は張り出し位置から退避した退避位置に位置させる工程（クランプ爪張り出し工程）と、両クランプ部材１４により保持し、かつ一又は複数のクランプ爪２２が基板ＰＢの上方に張り出した状態で基板ＰＢの上面にマスクプレート４を接触させる工程（マスクプレート接触工程）と、基板ＰＢの上面に接触されたマスクプレート４にペーストＰＴを供給する工程（ペースト供給工程）と、ペーストＰＴが供給されたマスクプレート４に対してスキージ６を摺動させ、マスクプレート４に設けられたパターン孔４ａ内にペーストＰＴを充填する工程（ペースト充填工程）と、スキージ６によるマスクプレート４のパターン孔４ａ内へのペーストＰＴの充填が終了した後、基板ＰＢとマスクプレート４を相対的に離間させる工程（版離れ工程）を含むものとなっている。

本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷方法で）では、両クランプ部材１４に設けられた複数のクランプ爪２２のそれぞれを、クランプ部材１４に保持され
た基板ＰＢの電極ＤＴの配置に応じて張り出し位置又は退避位置に位置させるようになっており、基板ＰＢの端部にファインパターンの電極ＤＴが配置されているような場合には、張り出し位置に位置させた場合にファインパターンの電極ＤＴの近傍に位置することとなるクランプ爪２２以外のクランプ爪２２を基板ＰＢの上方に張り出させてスクリーン印刷を行うことができる。このため、基板ＰＢの端部にファインパターンの電極ＤＴが配置されているときであっても印刷精度を低下させず、版離れのときに基板ＰＢがクランプ部材１４から脱落することを防止することができるので、作業のやり直し等による作業効率の低下を防ぐことができる。

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、クランプ爪２２は各クランプ部材１４にひとつずつ設けられるようになっていたが、これは一例であり、各クランプ部材１４に設けられるクランプ爪２２の数は特に限定されない。各クランプ部材１４に設けられるクランプ爪２２の数が２つ以上である場合、ファインパターンの電極ＤＴの近傍に位置させることなく張り出させることができるクランプ爪２２の数、すなわち、基板ＰＢとマスクプレート４の間に介在させることができるクランプ爪２２の数は上述の実施の形態の場合よりも増大するので、版離れのときに、基板ＰＢとマスクプレート４をより容易に離間させることができるようになる。

印刷精度を低下させず、版離れのときに基板がクランプ部材から脱落することを防止して作業効率の低下を防ぐことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。

１ スクリーン印刷機
３ 基板位置決めユニット（版離れ手段）
４ マスクプレート
４ａ パターン孔
５ シリンジ（ペースト供給手段）
６ スキージ
１４ クランプ部材
２２ クランプ爪（爪状部材）
３０ 制御装置（爪状部材位置制御手段、版離れ手段）
３９ タッチパネル（爪状部材位置制御手段）
ＰＢ 基板
ＤＴ 電極
ＰＴ ペースト

Claims (4)

1. 基板の両側部をクランプして基板を保持する一対のクランプ部材と、
   両クランプ部材に設けられ、基板の上方に張り出した張り出し位置又は張り出し位置から退避した退避位置に位置する複数の爪状部材と、
   両クランプ部材に保持された基板に形成されたファインパターン電極の前記基板上における位置に応じ、複数の爪状部材のそれぞれを個別に張り出し位置又は退避位置に位置させる爪状部材位置制御手段と、
   両クランプ部材により保持され、かつ一又は複数の爪状部材が基板の上方に張り出した状態で基板の上面に接触されるマスクプレートと、
   基板の上面に接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、
   ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動し、マスクプレートに設けられたパターン孔内にペーストを充填するスキージと、
   スキージによるマスクプレートのパターン孔内へのペーストの充填が終了した後、基板とマスクプレートを相対的に離間させる版離れ手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
2. 前記爪状部材位置制御手段は、前記爪状部材を前記張り出し位置に位置させた場合に前記爪状部材が前記基板に形成された前記ファインパターン電極の近傍に位置する場合、前記爪状部材を前記退避位置に位置させ、
   前記爪状部材を前記張り出し位置に位置させた場合に前記爪状部材が前記基板に形成された前記ファインパターン電極の近傍に位置しない場合、前記爪状部材を前記張り出し位置に位置させることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
3. 一対のクランプ部材により基板の両側部をクランプして保持する工程と、
   両クランプ部材により保持した基板に形成されたファインパターン電極の前記基板上における位置に応じ、両クランプ部材に設けられた複数の爪状部材のそれぞれを個別に基板の上方に張り出した張り出し位置又は張り出し位置から退避した退避位置に位置させる工程と、
   両クランプ部材により保持し、かつ一又は複数の爪状部材を基板の上方に張り出させた状態で基板の上面にマスクプレートを接触させる工程と、
   基板の上面に接触させたマスクプレートにペーストを供給する工程と、
   ペーストを供給したマスクプレートに対してスキージを摺動させ、マスクプレートに設けられたパターン孔内にペーストを充填する工程と、
   スキージによるマスクプレートのパターン孔内へのペーストの充填が終了した後、基板とマスクプレートを相対的に離間させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
4. 前記位置させる工程において、前記爪状部材を前記張り出し位置に位置させた場合に前記爪状部材が前記基板に形成された前記ファインパターン電極の近傍に位置する場合、前記爪状部材を前記退避位置に位置させ、
   前記爪状部材を前記張り出し位置に位置させた場合に前記爪状部材が前記基板に形成された前記ファインパターン電極の近傍に位置しない場合、前記爪状部材を前記張り出し位置に位置させる請求項３に記載のスクリーン印刷方法。

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