JP5255630B2 - 暖房・換気・空調システムにおける微小電子機械システムベースのスイッチング - Google Patents

暖房・換気・空調システムにおける微小電子機械システムベースのスイッチング Download PDF

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Description

本発明は、概して、暖房・換気・空調(HVAC:Heating−Ventilation−Air−Conditioning)に関し、特に、微小電子機械システムベースの切替素子を実装したHVACシステムに関する。
従来、暖房・換気・空調(HVAC)用のパッケージ型変速駆動装置を完全に機能させるには、中核の電子回路の他に複数の補助動力処理部品が必要であった。主遮断器を設けることで、HVACシステム全体のオンとオフを切り替えて、接続されたモータ負荷を含むHVACシステム全体を故障から保護している。接触器を設けることで、パワーエレクトロニクスを迂回して、電源に直接モータ負荷を接続する。また、ヒューズを設けることで、モータ及びその配線を短絡から保護している。
主遮断器により、その下流側の全ての構成要素について、電源から遮断、保護、及び制御することができる。従来、主遮断器には、一般的な回路遮断器が実装されているが、この回路遮断器は、応答が遅く、大型でノイズが大きい上に、深刻なアーク閃光事故の原因となり得る量の電流も故障中に通過させてしまう。回路遮断器は、ヒューズと同様の保護機能を有する他に、動作又はトリップ後も交換せずにリセットできるという利点がある。しかし、ヒューズと比べて回路遮断器は、短絡事故中、概して応答時間が遅く、回路遮断器の上流側と下流側を選択しにくい複雑な機械系を含む。
電子的トリップ装置を有する遮断器の故障を電子的に検知する方法では、必然的に、ある程度の計算時間を要するので、判定結果が出るまで時間がかかり、故障に対する反応が遅れる。また、トリップを行う判定が為された後、機械系の応答は、機械的慣性が原因で比較的ゆっくりとなる。従って、短絡に応答する際に、回路遮断器を通過して、(通過エネルギとして周知の)比較的大量のエネルギが流れる可能性がある。
ヒューズは、一般に、回路遮断器よりも選択性が高く、短絡状況への対応にばらつきが少ないが、その短絡保護後に交換が必要である。ヒューズは、一連の要素を用いて、所定の過電流で溶融して電流路が開くように設計されている。ヒューズの形状やサイズは様々であるが、パチンと嵌め込んでヒューズを着脱できる、交換が簡単なヒューズホルダに収まるように設計されている。製造業者は、差し込み式の交換を容易に行えるように、ヒューズ及びホルダの寸法を、ヒューズのタイプや規格に忠実に合わせている。
接触器は、命令により電気負荷のオンとオフを切り替えるように設計された電気デバイスである。慣例的に、制御装置には電気機械式接触器が採用されおり、この電気機械式接触器により、自身の遮断容量までの電流の切り替えを行うことができる。電気機械式接触器は、電流を切り替える電力系統にも適用可能である。ただし、電力系統内の故障電流は、概して電気機械式接触器の遮断容量よりも大きい。従って、電力系統用途で電気機械的に接触器を用いる際は、接触器の遮断容量を上回る全ての電流値に対して十分に高速に動作して、接触器が開く前に故障電流を遮断することができる一連の装置でバックアップすることによって、接触器の損傷を防ぐことが望ましい。
電力系統への接触器の適用を容易にするために考案された既存の解決策としては、例えば、真空接触器、真空遮断器、及び気中遮断接触器が挙げられる。残念ながら、真空接触器などの接触器は、接触器の先端が、封止された真空筐体の中に密封されているため、簡単な目視検査に適さない。周知のように、真空接触器は、大型のモータ、変圧器、及びコンデンサの切り替えを行うには十分であるが、特に負荷がオフに切り替わると、過渡過電圧を生じる不都合がある。
また、電気機械式接触器では、概して機械式スイッチが採用されている。機械式スイッチは、比較的低速で切り替わる傾向があるので、予測技法を採用しており、通常は切り替え動作の数十ミリ秒前にゼロ交差の発生を予測し、ゼロ交差においてスイッチが開閉するようにして、アークの発生を抑制している。しかし、予測時間間隔内にも多くの過渡電流が生じ得るので、ゼロ交差の予測には誤差が生じ易い。
低速の機械式スイッチ及び電気機械式スイッチに代わるものとして、高速の切り替え用途には、高速の固体スイッチが採用されている。周知のように、固体スイッチは、電圧又はバイアス制御により、導電状態と非導電状態の間で切り替わる。例えば、固体スイッチに逆バイアスをかけることによって、このスイッチは、非導電状態に移行し得る。ただし、固体スイッチは、非導電状態に切り替わるとき、接点間に物理的間隙が形成されないので、漏れ電流が生じる。更に、固体スイッチを導電状態で動作させると、その内部抵抗による電圧降下が生じる。通常の動作状況において、電圧降下と漏れ電流はいずれも、スイッチの性能及び寿命に影響し得る過剰な熱を発生させる。固体スイッチを回路遮断器用途でに用いることは、固体スイッチが伴う固有の漏れ電流が少なくとも原因の一部となり、実用的ではない。
米国特許出願公開第2002/008149A1号 欧州特許第1643324A号
従って、当該技術分野において、上述の欠点を解消した電流切替回路の保護構成が求められている。
本発明の一実施形態において、負荷モータ、主遮断器微小電子機械システム(MEMS)スイッチ、並びに、これらの負荷モータ及び主遮断器MEMSスイッチ間に電気的に接続して設置された可変周波数駆動装置(VFD)を含むHVACシステムを開示する。
別の実施形態において、負荷モータ、主遮断器微小電子機械システム(MEMS)スイッチ、これらの負荷モータと主遮断器MEMSスイッチとの間に結合された第1のMEMSスイッチ岐路、これらの負荷モータと主遮断器MEMSスイッチの間に結合して、第1のMEMSスイッチ岐路と電気的に並列に配置された第2のMEMSスイッチ岐路、第1のMEMSスイッチ岐路に設置された可変周波数駆動装置(VFD)、第1のMEMSスイッチ岐路上でVFDと電気的に直列に設置された駆動MEMSスイッチ、及び、第2のMEMSスイッチ岐路に設置されたバイパスMEMSスイッチを含むHVACシステムを開示する。
また別の実施形態において、負荷モータ、主遮断器微小電子機械システム(MEMS)スイッチ、これらの負荷モータと主遮断器MEMSスイッチの間に結合された第1のMEMSスイッチ岐路、第1のMEMSスイッチ岐路に設置された駆動MEMSスイッチ、第1のMEMSスイッチ岐路に設置された電源遮断MEMSスイッチ、第1のMEMSスイッチ岐路に設置されて、駆動MEMSスイッチと電源遮断MEMSスイッチの間に電気的に直列に設置された可変周波数駆動装置(VFD)、負荷モータと主遮断器MEMSスイッチの間に結合されて、第1のMEMSスイッチ岐路と電気的に並列に配置された第2のMEMSスイッチ岐路、及び、第2のMEMSスイッチ岐路に設置されたバイパスMEMSスイッチを含むHVACシステムを開示する。
添付図面に対応した以下の詳細な説明により、以上に記載した本発明による特徴、態様、及び利点を更に理解できよう。なお、添付図面において、同様の構成要素には同様の参照符号が付与されている。
本発明の一実施形態に係る例示的なMEMSベースの切替システムのブロック図である。 図1に記載した例示的なMEMSベースの切替システムの模式図である。 本発明の一実施形態に係る、図1に記載したシステムの代替の構成である例示的なMEMSベースの切替システムのブロック図である。 図3の例示的なMEMSベースの切替システムの模式図である。 本発明の実施形態に係るMEMSベースの切替システムを有する例示的HVACシステムの模式図である。 本発明の実施形態に係るMEMSベースの切替システムを有する例示的HVACシステムの代替例の模式図である。
本発明の実施形態において、変速パッケージのHVAC駆動装置は、保護及びバイパス機能に優れたMEMSマイクロスイッチアレイの統合ネットワークを含んでよい。主回路遮断器を限流アレイに置き換え、パッケージ内の他の構成要素全てを保護することもできる。限流機能により、故障通過電流について考慮することなく、他の全ての構成要素の寸法を設定することができる。従って、ヒューズを完全に排除し、接触器を、負荷電流のみを送るために必要なMEMSマイクロスイッチアレイと入れ替えることができる。本明細書に記載のシステムにより、可変周波数HVAC駆動装置における保護及びバイパス機能が得られる。保護することには、モータ負荷及びモータを接続するケーブルを含め、駆動装置内のあらゆる場所で短絡(故障)を排除することが含まれる。バイパス機能により、モータ負荷を直接、電力供給部に接続することができる。一実施形態では、モータ負荷を、MEMSスイッチのネットワーク及び電子式可変周波数駆動装置(VFD)を介して電源に接続する。主遮断器MEMSスイッチを用いて、全てのオンとオフを切り替え、遮断器の下流のあらゆる場所における故障を防止する。また、MEMSスイッチは、電子回路をバイパスさせたり、又は作動させたりする。一実施形態によると、パッケージ内、ケーブル上、又はモータ内のあらゆる場所において、故障に伴うアーク閃光エネルギが数桁分も低減される。一実施形態によると、パッケージ(可変周波数駆動装置)の電子回路部分の電流処理要件が低減される。一実施形態において、制御と保護の連係構造が、複数のMEMSマイクロスイッチアレイ内で機能するため、限流機能と電力切替機能との両方が求められるのは、そのアレイのうちの1つのみである。他のデバイスは全て、「コールド」状態に切り替えられる(切り替えられている間、電圧又は電流は存在しない)。
図1は、本発明の実施形態に係る、例示的なアークレス微小電気機械システムスイッチ(MEMS)をベースとする切替システム10のブロック図である。現在のところ、MEMSは、一般にミクロン規模の構造であり、例えば、微細加工技術によって、機能の異なる多数の素子、例えば、機械的素子、電気機械的素子、センサ、アクチュエータ、及び電子回路を、共通の基板に組み込むことができる構造を意味するものである。ただし、MEMSデバイスに現在利用できる多くの技法及び構造を、わずか数年後には、ナノテクノロジに基づいたデバイスによって、例えば、100ナノメートル未満の構造で利用できよう。従って、本明細書に例示する実施形態では、MEMSをベースとした切替素子を用いているが、本発明の教示内容は広義に解釈されるべきであり、適用する素子はミクロンサイズの素子に限定されるものではない。
図1では、アークレスのMEMSベースの切替システム10は、MEMSベースの切替回路12及びアーク抑制回路14を含んでいる。このアーク抑制回路14は、これに代えてハイブリッドアークレス制限技術(HALT:Hybrid Arcless Limiting Technology)デバイスとも称され、MEMSベースの切替回路12に動作可能に結合される。実施形態によっては、MEMSベースの切替回路12を、例えば、単一のパッケージ16内で、その全体がアーク抑制回路14と一体に形成してもよい。また別の実施形態として、MEMSベースの切替回路12のうちの特定の部分又は特定の構成要素のみを、アーク抑制回路14と一体に形成してもよい。
図2を参照しながら更に詳細に説明するが、現在考案されている構成において、MEMSベースの切替回路12に、1つ以上のMEMSスイッチを含めることができる。また、アーク抑制回路14には、平衡ダイオードブリッジ及びパルス回路を含めることができる。更に、アーク抑制回路14を、閉状態から開状態へのMEMSスイッチの変化に応答して、MEMSスイッチからの電気エネルギの移動を受け入れることによって、1つ以上のMEMSスイッチの接点間におけるアーク形成の抑制が容易になるように構成することができる。また、アーク形成の抑制を容易にするために、アーク抑制回路14が交流(AC)又は直流(DC)に反応するように構成してもよい。
図2は、図1に例示したアークレスMEMSベース切替システムの模式図18の一実施形態である。図1を参照して説明したように、MEMSベースの切替回路12には、1つ以上のMEMSスイッチを含めることができる。図示の実施形態では、第1のMEMSスイッチ20は、第1接点22と、第2接点24と、第3接点25とを有する。一実施形態では、第1接点22をドレインとして、第2接点24をソースとして、第3接点26をゲートとして構成する。また、図2に示すように、MEMSスイッチ20と並列に電圧スナバ回路33を結合してもよい。この電圧スナバ回路33は、後で更に詳しく説明するように、高速の接点分離中の電圧オーバーシュートを制限するように構成されている。実施形態によっては、スナバ回路33は、スナバ抵抗(図4の78を参照)に直列に結合されたスナバコンデンサ(図4の76を参照)を含む。このスナバコンデンサによる改良によって、MEMSスイッチ20の一連の開動作中の過渡電圧の分配が容易になる。更に、スナバ抵抗により、MEMSスイッチ20の閉動作中にスナバコンデンサによって生成されるあらゆる電流パルスを抑制することができる。また別の実施形態において、電圧スナバ回路33は、金属酸化物バリスタ(MOV)(図示せず)を含む。
本発明の別の実施形態において、第1のMEMSスイッチ20に直列に負荷回路40が結合される。負荷回路40は、電源VBUS44を含んでもよい。また、負荷回路40は、負荷インダクタンス46LLOADを含んでもよく、この負荷インダクタンスLLOAD46は、負荷回路40側で認識される、負荷インダクタンスとバスインダクタンスの複合インダクタンスを表している。負荷回路40は、負荷回路40側で認識される複合負荷抵抗を表す負荷抵抗RLOAD48を含んでもよい。参照符号50は、負荷回路40及び第1のMEMSスイッチ20に流れ得る負荷回路電流ILOADを示す。
また、図1を参照して説明したように、アーク抑制回路14は、平衡ダイオードブリッジを含んでよい。図示の実施形態では、平衡ダイオードブリッジ28は、第1の岐路29及び第2の岐路31を有する。本明細書において、「平衡ダイオードブリッジ」という用語は、第1及び第2両方の岐路29、31の両端での電圧降下がほぼ等しくなるように構成されたダイオードブリッジを意味する。平衡ダイオードブリッジ28の第1の岐路29は、第1のD1ダイオード30及び第2のD2ダイオード32を含んでよく、これらのダイオードは、互いに結合されて第1直列回路を形成する。同様に、平衡ダイオードブリッジ28の第2の岐路31は、第3のD3ダイオード34及び第4のD4ダイオード36を含むことができ、これらのダイオードは、互いに動作結合されて第2直列回路を形成する。
一実施形態において、第1のMEMSスイッチ20は、平衡ダイオードブリッジ28の中間点に並列接続される。平衡ダイオードブリッジの中間点には、第1のダイオード30と第2のダイオード32の間に位置する第1中間点、及び第3のダイオード34と第4のダイオード36の間に位置する第2中間点が含まれてよい。更に、第1のMEMSスイッチ20及び平衡ダイオードブリッジ28を緊密にパッケージ化することにより、平衡ダイオードブリッジ28、特に、MEMSスイッチ20との接続部によって生じる寄生インダクタンスを簡単に最小化できる。また、本発明の一実施形態において、第1のMEMSスイッチ20及び平衡ダイオードブリッジ28の位置関係は、MEMSスイッチ20のターンオフ中にダイオードブリッジ28への負荷電流の移行が進行しているときに、その第1のMEMSスイッチ20と平衡ダイオードブリッジ28の間の固有インダクタンスにより、MEMSスイッチ20のドレイン22とソース24の両端の電圧の数パーセントに満たないdi/dt電圧が発生するように、定められることに留意されたい。これについては後により詳細に説明する。一実施形態において、第1のMEMSスイッチ20は、MEMSスイッチ20とダイオードブリッジ28とを相互接続するインダクタンスを最小化することを目的として、単一のパッケージ38内で一体化されても、又は任意構成として、同一のダイ内で一体化されてもよい。
また、アーク抑制回路14は、平衡ダイオードブリッジ28と動作連係的に結合されるパルス回路52を含んでよい。パルス回路52を、スイッチ条件を検出し、そのスイッチ条件に応じて、MEMSスイッチ20の開動作が開始するように構成してもよい。本明細書において、「スイッチ条件」という用語は、MEMSスイッチ20の現在の動作状態を変化させる引き金となる条件を意味する。例えば、スイッチ条件により、MEMSスイッチ20を第1閉状態からMEMSスイッチ20の第2開状態へ変化させたり、MEMSスイッチ20を第1開状態から第2閉状態へ変化させたりできる。特に限定するものではないが、回路の故障又はスイッチのオン/オフ要求を含む多様なアクションに応じて、スイッチ条件を生起することができる。
パルス回路52は、パルススイッチ54、及びそのパルススイッチ54に直列結合されるパルスコンデンサCPULSE56を含んでよい。また、パルス回路は、パルススイッチ54に直列に結合されたパルスインダクタンスLPULSE58及び第1のダイオードDP60も含んでよい。パルスインダクタンスLPULSE58、ダイオードDP60、パルススイッチ54、及びパルスコンデンサCPULSE56を直列に結合して、パルス回路52の第1の岐路を形成し、この第1の岐路の構成要素を、パルス電流の整形及び時間的調節が容易になるように構成してもよい。参照番号62は、パルス回路52に流れ得るパルス回路電流IPULSEを示す。
本発明の実施形態によると、MEMSスイッチ20は、ほぼゼロに近い電圧であるにも関わらず電流を送りながら、第1閉状態から第2開状態に速やかに(例えば、ピコ秒又はナノ妙のオーダーで)切り替えることができる。このことは、負荷回路40と、MEMSスイッチ20の接点の両端に並列に結合された平衡ダイオードブリッジ28を含むパルス回路52との複合動作により可能である。
次に、図3を参照しながら説明する。図3は、本発明に係る例示的ソフトスイッチングシステム11のブロック図である。図3に示すように、ソフトスイッチングシステム11は、動作可能に互いに結合される切替回路12、検出回路70、及び制御回路72を含む。検出回路70を、切替回路12に結合して、負荷回路内の交流電源電圧(以下、「電源電圧」と記す)、又は負荷回路内の交流電流(以下、「負荷回路電流」と記す)のゼロ交差の発生を検知するように構成できる。制御回路72を、切替回路12及び検出回路に結合して、更に、交流電源電圧又は交流負荷回路電流の検出されたゼロ交差に反応して、切替回路12内の1つ以上のスイッチのアークレス切替が円滑に行われるように構成することができる。一実施形態において、制御回路72を、切替回路12の少なくとも一部を構成する1つ以上のMEMSスイッチのアークレス切替を円滑に行うように構成してよい。
本発明の実施形態において、ソフトスイッチングシステム11は、例えば、ソフトスイッチング又はポイントオンウェーブ(PoW)スイッチングを実行するように構成する。これにより、切替回路12内の1つ以上のMEMSスイッチが、切替回路12の両端の電圧がゼロ又はゼロ近くである場合に閉じ、切替回路12に流れる電流がゼロ又はゼロ近くである場合に開く。切替回路12の両端の電圧がゼロ又はゼロ近くになった時点でスイッチを閉じれば、1つ以上のMEMSスイッチが閉じるときのその接点間の電界を低く維持することによって、複数のスイッチ全てが同時には閉じない場合であっても、接触前のアーク放電を回避することができる。同様に、切替回路12に流れる電流がゼロ又はゼロ近くになった時点でスイッチを開くことで、切替回路12内の最後に開くスイッチに流れる電流がそのスイッチの設計性能の範囲に収まるように、ソフトスイッチングシステム11を設計することができる。上記で示唆したように、一実施形態では、制御回路72は、切替回路12の1つ以上のMEMSスイッチの開動作及び閉動作を、交流電源電圧又は交流負荷回路電流のゼロ交差の発生に同期させるように構成できる。
次に、図4について説明する。図4は、図3のソフトスイッチングシステム11の一実施形態を示す模式図19である。模式図19に示す実施形態は、切替回路12、検出回路70、及び制御回路72の一例である。
説明の便宜上、図4には切替回路12内に単一のMEMSスイッチ20のみを示したが、切替回路12は、この構成に限らず、例えば、ソフトスイッチングシステム11の電流電圧処理要件に応じて、複数のMEMSスイッチを含んでよい。一実施形態において、切替回路12は、MEMSスイッチの間で電流が分割される並列構成で互いに結合された複数のMEMSスイッチを備えるスイッチモジュールを含んでよい。また別の実施形態において、切替回路12は、MEMSスイッチの間で電圧が分割される直列構成で互いに結合されたMEMSスイッチアレイを含んでよい。更に別の実施形態において、切替回路12は、MEMSスイッチモジュールの間で電圧が分割されると同時に、各モジュール内のMEMSスイッチの間で電流が分割される直列構成で互いに結合されたMEMSスイッチモジュールのアレイを含んでよい。一実施形態において、切替回路12の1つ以上のMEMSスイッチを、単一のパッケージ74内に統合することができる。
MEMSスイッチ20には、例えば、3つの接点を含めることができる。一実施形態において、第1接点をドレイン22として、第2接点をソース24として、第3接点をゲート26として構成する。一実施形態において、制御回路72は、MEMSスイッチ20の電流状態の切り替えを容易にするために、ゲート接点26に結合されている。また、実施形態によっては、MEMSスイッチ20と並列に減衰回路(スナバ回路)33を結合して、MEMSスイッチ20の両端への電圧の出現を遅延させることができる。図示のように、減衰回路33は、例えば、スナバ抵抗78に直列に結合されたスナバコンデンサ76を含む。
また、図4に更に示すように、MEMSスイッチ20を、負荷回路40に直列に結合してもよい。現在考察している構成において、負荷回路40は、電圧源VSOURCE44を備え、典型的な負荷インダクタンスLLOAD46及び負荷抵抗RLOAD48を含んでよい。一実施形態において、電圧源VSOURCE44(AC電圧源とも称される)を、交流電源電圧及び交流負荷電流ILOAD50を生成するように構成することができる。
既に説明したように、検出回路70を、負荷回路40における交流電源電圧又は交流負荷電流ILOAD50のゼロ交差の発生を検出するように構成することができる。電圧検知回路80によって交流電源電圧を検知し、電流検知回路82によって交流負荷電流ILOAD50を検知する。交流電源電圧及び交流負荷電流の検知周期は、例えば、連続的であっても離散的であってもよい。
電源電圧のゼロ交差は、例えば、図示したゼロ電圧比較器84などの比較器を用いて検出される。電圧検知回路80によって検知された電圧及びゼロ電圧基準86を、ゼロ電圧比較器84の入力として採用することができる。これにより、負荷回路40の電源電圧のゼロ交差を表す出力信号88を生成することができる。同様に、負荷電流ILOAD50のゼロ交差も、図示したゼロ電流比較器92などの比較器を用いて検出される。電流検知回路82によって検知された電流及びゼロ電流基準90を、ゼロ電流比較器92への入力として採用することができる。これにより、負荷電流ILOAD50のゼロ交差を表す出力信号94を生成することができる。
その後、制御回路72では、出力信号88及び94を利用して、MEMSスイッチ20(又はMEMSスイッチのアレイ)の現行の動作状態を変化(例えば、開状態から閉状態に変化)させる時点を決定することができる。具体的には、検出された交流負荷電流ILOAD50のゼロ交差に応答して、アークを生じることなくMEMSスイッチ20の開動作を円滑に行って、負荷回路40を遮断又は開路するように制御回路72を構成できる。また、検出された交流電圧源のゼロ交差に応答して、アークを生じることなくMEMSスイッチ20の閉動作を円滑に行って、負荷回路40が完結するように制御回路72を構成することができる。
一実施形態において、制御回路72では、MEMSスイッチ20の現在の動作状態を第2動作状態に切り替えるかどうかを、イネーブル信号96の状態に少なくとも部分的に基づいて決定する。イネーブル信号96は、例えば、接触器の用途における電源オフコマンドの結果として生成される。一実施形態において、イネーブル信号96、並びに出力信号88及び94は、図示したように、デュアルDフリップフロップ98への入力信号として利用される。これらの信号を利用して、イネーブル信号96がアクティブ化(例えば、立ち上がり端でトリガ)された後の最初の電源電圧の零点でMEMSスイッチ20を閉じ、イネーブル信号96が非アクティブ化(例えば、立ち下り端でトリガ)された後の最初の負荷電流の零点でMEMSスイッチ20を開くことができる。図4に例示した模式図19では、イネーブル信号96がアクティブ(特定の実施内容に応じてHIGH又はLOW)で、かつ出力信号88又は94のいずれかが、検知された電圧零点又は電流零点を示すときに毎回、トリガ信号102を生成することができる。一実施形態において、トリガ信号102は、例えば、NORゲート100によって生成される。この後、トリガ信号102は、MEMSゲートドライバ104を通り、ゲート活性化信号106が生成される。このゲート活性化信号106を利用して、MEMSスイッチ20のゲート26(MEMSアレイの場合は複数のゲート)に制御電圧を印加することができる。
既に説明したように、特定の用途に対応した所望の定格電流を得るために、単一のMEMSスイッチを用いる代わりに、複数のMEMSスイッチを並列に動作結合(例えば、スイッチモジュールを形成するように結合)することができる。MEMSスイッチを組み合わせると、負荷回路に連続的に生じ得る過渡過負荷電流レベルに十分に耐えるように設計することができる。例えば、実効値が10アンペアのモータ接触器で、過渡過負荷が6倍の場合、60アンペアの実効値に10秒間耐える十分な数のスイッチを並列に結合する必要がある。ポイントオンウェーブのスイッチングを利用して、電流零点に達してから5マイクロ秒以内でMEMSスイッチを切り替えると、接点の開路時に瞬間的に160ミリアンペアが流れることになる。従って、この用途では、各MEMSスイッチは、160ミリアンペアの「ウォームスイッチング」が可能でなければならず、且つ、60アンペアに耐えるように、十分な数のMEMSスイッチを並列に配置しなければならない。一方、単一のMEMSスイッチの場合、切り替えの瞬間に流れることになる量又はレベルの電流を遮断する必要がある。
図5は、本発明の実施形態に係るMEMSベースの切替システムを有する例示的HVACシステム100の模式図である。図示したシステム100は、二相のシステムである。ただし、本明細書に記載したシステムは、次の図6に記載したような三相システムなど、二相、又は三相以上のシステムであってよいことを理解されたい。
例示の実施形態において、システム100は、2分岐並列回路150に直列に結合された負荷モータ105を含む。従来のHVACシステムにおいて、ヒューズは、負荷モータ105と2分岐並列回路150の間に直列に挿入されることは理解されよう。従来、ヒューズは、負荷モータ及び個々のケーブルを短絡から保護するために設けられている。本明細書に記載するように、MEMSベースのスイッチによりヒューズが不要になる。
例示の実施形態において、第1の岐路151は、可変周波数駆動装置(VFD)115に直列に駆動MEMSスイッチ110を含む。第2の岐路152は、バイパスMEMSスイッチ120を含む。既に説明したように、第1及び第2の岐路151、152は、並列回路150を形成する。説明したように、例示の実施形態において、駆動MEMSスイッチ110及びVFD115は、電気的に互いに直列である。駆動MEMSスイッチ110とVFD115の直列配列は、バイパスMEMSスイッチ120と電気的に並列である。
一実施形態において、VFD115は、負荷モータ105を可変速制御する電子デバイスである。HVAC用途でのVFD115は、中核の電子回路の他に、複数の補助動力処理部品を含むことで完全に機能する。従来、VFD115と同様の可変周波数駆動装置は、かなり高い確率で、可変周波数駆動装置の下流で生じる故障による故障電流に曝される。VFD115の下流側の故障について故障電流が抑制される分、VFD115の動作要求水準を低くすることができる。
並列回路150の上流側において、並列回路150に更に主遮断器MEMSスイッチ125が結合される。主遮断器MEMSスイッチ125は、負荷モータ105及びVFD115を含め、下流側の全ての構成要素についての、電源遮断、保護、及び制御機能を有する。主遮断器MEMSスイッチ125は、更に、切替機能を有し、電流を制限することもできる。
主遮断器MEMSスイッチ125は、ターンオフ及び電流制限を行うHALT、及びターンオンを行うパルス支援ターンオン(PATO)などを含んでよい。一実施形態では、主遮断器MEMSスイッチ125は、HVACシステム100内のいずれの場所であっても故障が検出されると必ず、積極的に限流を行い、全ての電流を遮断する。一実施形態では、故障の場所によっては、その故障を隔離するために、他のMEMS構成要素(例えば、駆動MEMSスイッチ110及びバイパスMEMSスイッチ120など)を再構成する。このように故障を隔離すると、主遮断器MEMSスイッチ125を再び素早く閉じることができる。これらの事象の全シーケンスは、1/2サイクルで完了する。
別の実施形態においても、再構成動作(常態からバイパス、又はバイパスから常態への再構成動作)に関して、前述の機能は同様である。一実施形態において、主遮断器MEMSスイッチ125は、構成要素(例えば、駆動MEMSスイッチ110及びバイパスMEMSスイッチ120)を再構成する一方、1/2サイクルの間、電力を遮断する。その結果、電力は、1/2サイクル後に復元される。
上述したように、本発明の実施形態では、駆動、バイパス、及び主遮断器MEMSスイッチ110、120、125を実装することにより、従来の接触器が不要になることを理解されたい。また、ここでは、駆動、バイパス、及び主遮断器MEMSスイッチ110、120、125は、単一のスイッチとして図示及び説明されていることも理解されたい。また別の実施形態において、駆動、バイパス、及び主遮断器MEMSスイッチ110、120、125は、スイッチのMEMSアレイであり得ることは理解されよう。
上述したように、実施形態において、駆動、バイパス、及び主遮断器MEMSスイッチ110、120、125のそれぞれに個別に制御回路72を含めることができるので、MEMSスイッチ110、120、125を個別に、本明細書に記載したようなスイッチ条件に従って制御することができる。例えば、負荷モータ105及びVFD115を損傷する可能性がある短絡状態がスイッチ条件の1つとなっている制御回路72を、主遮断器MEMSスイッチ125に含めることができる。
本発明の実施形態において、制御回路72を、更に、主遮断器MEMSスイッチ125を通るものなど、HVACシステムの電流路に流れる電流に関するパラメータを測定し、測定したパラメータを、スイッチ条件に対応するパラメータ、例えば、電流の量及び過電流の発生時間などと比較するように構成することができる。短絡を示唆する瞬間的な電流の大幅な増加が見られる電流のパラメータに応答して、制御回路72は、主遮断器MEMSスイッチ125を開いて、主遮断器MEMSスイッチ125からHALTデバイス14(図1に最もよく示す)に短絡エネルギを送ることで、電流路に流れる電流を円滑に遮断する信号を生成する。また、所定の期間における短絡に至らない大きさの電流の増加などのパラメータは、規定の時限的過電流故障を示し得るものであり、このパラメータにも応答して、制御回路72は、同様に、主遮断器MEMSスイッチ125を開いて電流を遮断する信号を生成する。
本発明の実施形態において、主遮断器MEMSスイッチ125は、前述したHALTアーク抑制回路14、電圧スナバ回路33、及びソフトスイッチングシステム11(本明細書において、ソフトスイッチング回路とも称される)のうちの少なくとも1つを更に含んでよい。明らかなように、HALTアーク抑制回路14、電圧スナバ回路33、及びソフトスイッチングシステム11を、別個の回路としても、制御回路72内に組み込んでもよい。明らかなように、駆動及びバイパスMEMSスイッチ110、120は、HALTアーク抑制回路14などの自己保護が必要になるほどには高い電流に曝されない。このように、駆動及びバイパスMEMSスイッチ110、120(又はマイクロスイッチアレイ)が、HALT、又はPATOなどの他の保護を必要とせずに動作可能なのは、これらの機能が主遮断器MEMSスイッチ125によるからである。従って、駆動及びバイパスMEMSスイッチ110、120は、コールドスイッチングが可能であり、概して、高い耐性電流(通過電流としても知られる)に曝されることもないため、極めて簡便になる。ただし、駆動及びバイパスMEMSスイッチは、HALTアーク抑制回路14、電圧スナバ回路33、及びソフトスイッチングシステム11のうちの少なくとも1つを更に含んでもよいことも理解されたい。
また、駆動及びバイパスMEMSスイッチは、次に説明するように、VFDを駆動又はバイパスするために、統合コントローラ回路72を含んでよい。
本発明の実施形態において、駆動及びバイパスMEMSスイッチ110、120を用いることで、VFDのバイパスが可能である。VFD115を利用する場合、駆動MEMSスイッチ110を閉じるとVFD115が作動するように、制御回路を実装する。VFD115に固有の個別の電子回路を組み込むことで、所望の用途に応じて駆動周波数を変更することもできる。上述したようにVFD115を利用する場合、バイパスMEMSスイッチ120の制御回路72は、バイパスMEMSスイッチ120を開くように実装される。これにより、第2の岐路152に電流が流れなくなる。同様に、電力系統から直接負荷モータ105を通電することが必要な場合は、駆動MEMSスイッチ110を開くと共に、バイパスMEMSスイッチ120を閉じる。明らかなように、負荷モータ105を全速で動作させる必要がある場合は、上述のようにVFD115を稼働させる必要はない。
本発明の実施形態において、例えば、スイッチ条件のトリップパラメータに基づいてトリップ−時間曲線を設定するなど、制御回路72の機能として時間基準の決定を更に含むことができる。制御回路72は、電圧及び電流の測定、各MEMSスイッチのプログラム又は調整、各MEMSスイッチの閉動作/再閉動作論理の制御を行い、主遮断器MEMSスイッチ125の場合は、例えば、コールドスイッチング、すなわちアーク放電を生じることなく切り替えを行うHALTデバイス14と協働する。制御回路72の電力引き込みは最小限で、この電力はライン入力によって供給可能なので、追加の外部電力供給部を設ける必要はない。本明細書に記載した制御回路72及びMEMSスイッチは、交流(AC)又は直流(DC)のいずれかで用いられるように構成される。
図6は、本発明の実施形態に係るMEMSベースの切替システムを有する、代替的なHVACシステム200を例示する模式図である。図示のシステム200は三相のシステムである。ただし、既に説明したように、本明細書に記載したシステムは、二相、又は三相以上のシステムであってよいことを理解されたい。
例示の実施形態において、システム200は、2分岐並列回路250に直列に結合された負荷モータ205を含む。従来のHVACシステムでは、周知のように、負荷モータ205と2分岐並列回路250の間に直列にヒューズが組み込まれる。上述したように、MEMSベースのスイッチにより、ヒューズを利用する必要がなくなる。
例示の実施形態において、第1の岐路251は、VFD215に直列に駆動MEMSスイッチ210を含む。この第1の岐路は、駆動MEMSスイッチ210及びVFD215に直列に電源遮断MEMSスイッチ230を更に含む。例示の実施形態において、電源遮断MEMSスイッチ230は、後に詳述するバイパス動作中に、VFD215を完全に遮断するために組み込まれる。
第2の岐路252は、バイパスMEMSスイッチ220を含む。上述したように、第1及び第2の岐路251、252は並列回路250を構成する。既に説明したように、例示の実施形態において、駆動MEMSスイッチ210及びVFD215は、電気的に互いに直列である。駆動MEMSスイッチ210及びVFD215の直列配列は、バイパスMEMSスイッチ220に電気的に並列である。
本発明の実施形態において、VFD215は、例えば、負荷モータ205を可変速制御する電子デバイスである。HVACの用途でのVFD215は、中核の電子部品の他に、いくつかの補助動力処理部品を含むことで、完全に機能する。上述したように、VFD215の下流側の故障による故障電流が抑制される分、VFD215の動作要求水準を低くすることができる。
主遮断器MEMSスイッチ225は、並列回路250の上流側で並列回路250に更に結合される。主遮断器MEMSスイッチ225は、負荷モータ205及びVFD215を含め、下流側の全ての構成要素に対して電源遮断、保護、及び制御機能を有する。主遮断器MEMSスイッチ225により、電流を切り替え、限流を行うことができる。
主遮断器MEMSスイッチ225は、ターンオフ及び限流を行うHALTと、ターンオンを行うパルス支援ターンオン(PATO)などを含んでよい。HALT及びPATOについて、ここで更に説明する。一実施形態において、主遮断器MEMSスイッチ225は、HVACシステム200内のいずれの場所であっても故障が検出されたときには必ず、積極的に限流を行い、全電流を遮断する。一実施形態において、故障の場所によっては、故障を隔離するために、他のMEMS構成要素(例えば、駆動、バイパス、及び電源遮断MEMSスイッチ210、220、230など)が再構成される。このように故障を隔離すると、主遮断器MEMSスイッチ225を再び素早く閉じることができる。これらの事象の全シーケンスは、1/2サイクルで完了する。
別の実施形態においても、再設定動作(常態からバイパス、又はバイパスから常態への再設定動作)に関して、上述した機能は同様である。一実施形態において、主遮断器MEMSスイッチ225は、構成要素(例えば、駆動及びバイパスMEMSスイッチ210、220)が再設定されている1/2サイクルのあいだ、電力を遮断する。その後、電力は1/2サイクル後に復帰する。
上述したように、駆動、バイパス、電源遮断、及び主遮断器MEMSスイッチ210、220、230、225のそれぞれに制御回路72を含めることができるので、MEMSスイッチ210、220、230、225をそれぞれを、本明細書に記載したスイッチ条件に従って独立的に制御することができる。例えば、負荷モータ105及びVFD215を損傷する恐れのある短絡状態がスイッチ条件の1つとなっている制御回路72を、主遮断器MEMSスイッチ225に含めることができる。
本発明の実施形態において、制御回路72を、主遮断器MEMSスイッチ225を通るものなど、HVACシステムの電流路に流れる電流に関するパラメータを測定し、その測定したパラメータを、スイッチ条件に対応するパラメータ、例えば、電流の量及び過電流の発生時刻などと比較するように更に構成することができる。短絡を示唆する瞬間的な電流の大幅な増加が見られる電流のパラメータに応答して、制御回路72は、主遮断器MEMSスイッチ225を開いて、主遮断器MEMSスイッチ225からHALTデバイス14(図1に最もよく示す)に短絡エネルギを送ることで、電流路に流れる電流を円滑に遮断する信号を生成する。また、所定の期間における短絡に至らない大きさの電流の増加などのパラメータは、規定の時限的過電流故障を示し得るものであり、このパラメータにも応答して、制御回路72は、同様に、主遮断器MEMSスイッチ225を開いて電流を遮断する信号を生成する。
本発明の実施形態において、主遮断器MEMSスイッチ225に、前述したHALTアーク抑制回路14、電圧スナバ回路33、及びソフトスイッチングシステム11(本明細書においてソフトスイッチング回路とも称される)のうちの少なくとも1つを更に含めることができる。明らかなように、HALTアーク抑制回路14、電圧スナバ回路33、及びソフトスイッチングシステム11を、それぞれ別個の回路としても、制御回路72内に組み込んでもよい。明らかなように、駆動、バイパス、及び電源遮断のMEMSスイッチ210、220、230は、HALTアーク抑制回路14などの自己保護が必要なほどの高い電流に曝されない。このように、駆動、バイパス、及び電源遮断MEMSスイッチ210、220、230(又はマイクロスイッチアレイ)が、HALT、又はPATOなどの他の自己保護を必要とせずに動作可能なのは、主遮断器MEMSスイッチ225がこれらの機能を有しているからである。このように、駆動、バイパス、及び電源遮断MEMSスイッチ210、220、230は、コールド状態で切り替えられ、概して、高い耐性電流(通過電流としても知られる)に曝されることもないため、極めて簡便なものとなる。なお、例示の実施形態において、駆動及びバイパスMEMSスイッチは、HALTアーク抑制回路14、電圧スナバ回路33、及びソフトスイッチングシステム11のうちの少なくとも1つを更に含んでもよい。
一実施形態において、VFD215のバイパスは、駆動、バイパス、及び電源遮断MEMSスイッチ210、220、230を用いて行われる。VFD215を利用する場合、制御回路72では、駆動MEMSスイッチ210を閉じることでVFD215が作動する。所望の用途に応じて駆動周波数を変更できるよう、VFD215に別個独立に電子回路を組み込むことができる。上述したようにVFD215を利用する場合、バイパスMEMSスイッチ220の制御回路72により、バイパスMEMSスイッチ220を開く。これにより、第2の岐路252に電流が流れなくなる。同様に、電源系統から直接負荷モータ205を通電することが必要な場合は、駆動MEMSスイッチ210を開くと共に、バイパスMEMSスイッチ220を閉じる。明らかなように、負荷モータ205を全速で動作させることが必要な場合は、前述した実装方式でVFD215を稼働させる必要はないことは理解されよう。
別の実施形態において、バイパスMEMSスイッチを上述したように閉じ、VFD215の電力を完全に遮断することができる。更に、駆動MEMSスイッチ210を開くこともできる。また更に、電源遮断MEMSスイッチ230を開くことで、VFD215を完全に遮断する。上述したように、個々の制御回路72は、スイッチ条件(すなわち、バイパスMEMSスイッチ220の閉動作、駆動MEMSスイッチ210及び電源遮断MEMSスイッチ230の開動作など)をトリガするように実装される。
実施形態において、制御回路72の機能として、例えば、スイッチ条件のトリップパラメータに基づいてトリップ−時間曲線を設定するなど、時間基準の決定を更に含めることができる。制御回路72は、電圧及び電流の測定、各MEMSスイッチのプログラム又は調整、各MEMSスイッチの閉動作/再閉動作論理の制御を行い、主遮断器MEMSスイッチ225の場合は、例えば、コールドスイッチング、すなわちアーク放電を生じることなく切り替えを行うHALTデバイス14と協働する。制御回路の電力引き込みは最小限で、この電力はライン入力で供給できるため、追加の外部電力源を設ける必要はない。本明細書に記載した制御回路72及びMEMSスイッチは、交流(AC)又は直流(DC)のいずれかに用いられるように構成される。
上述した内容から明らかなように、本明細書に記載したHVACシステムの実施形態では、主回路遮断器、接触器を含め、従来のHVAC構成要素が全て不要となる。これらの機能は、MEMSスイッチ及びマイクロスイッチアレイによって行われる。これらのスイッチ及びアレイにより、信頼性が高まり、騒音が小さくなり、コンパクトで軽量になった、同等の故障中保護機能及びバイパス機能が実現する。
実施形態を例示しながら本発明を説明してきたが、当業者には明らかなように、これらの実施形態の構成要素に様々な改変及び等価の措置を加えても、本発明に係る実施形態として認められる。また、個々の条件又は材料に合わせて修正を加えても、これらは本発明に係る実施形態として認められる。従って、例示した実施形態は、本発明の実施に最適又は本発明の実施を企図したものとして記載されているが、上記のような形態も全て、本発明の実施形態である。添付図面及び詳細な説明では、特定の用語を用いて本発明の実施形態を例示しているが、これらの用語は広義においてあくまでも説明目的で用いられているものであって、本発明の開示内容を限定するものではない。「第1」「第2」などの序数は、それぞれの構成要素を区別するために付与されているものであり、順番や重要度を示すものではない。また、構成要素を単数名詞で記載している場合は、その数量を限定するのではなく、1つ以上その事項が存在する可能性を示唆するものである。

Claims (9)

  1. 負荷モータと、
    主遮断器微小電子機械システム(MEMS)スイッチと、
    前記負荷モータ及び前記主遮断器MEMSスイッチ間に電気的に結合して設置された可変周波数駆動装置(VFD)と、
    前記負荷モータ及び前記VFD間に電気的に結合して設置された駆動MEMSスイッチと、
    前記VFD及び前記駆動MEMSスイッチに電気的に並列であるバイパスMEMSスイッチと、
    前記主遮断器MEMSスイッチ、前記駆動MEMSスイッチおよび前記バイパスMEMSスイッチを制御する制御回路と、
    を含み、
    前記駆動MEMSスイッチおよび前記バイパスMEMSスイッチの再構成を行う場合には、前記制御回路が、1/2サイクルの間、前記主遮断器MEMSスイッチを開いて、その間に前記再構成を行う、
    HVACシステム。
  2. 前記VFDを駆動する閉状態、及び前記VFDをバイパスする開状態の少なくとも一方を含むスイッチ条件をトリガとして、前記駆動MEMSスイッチが動作するよう構成された、請求項に記載のシステム。
  3. 前記駆動MEMSスイッチ及び前記VFDが、電気的に直列である、請求項に記載のシステム。
  4. 前記VFDをバイパスする閉状態、及びVFDを駆動する開状態の少なくとも一方を含むスイッチ条件をトリガとして、前記バイパスMEMSスイッチが動作するよう構成された、請求項に記載のシステム。
  5. 前記VFDが、前記駆動MEMSスイッチと電源遮断MEMSスイッチの間に設置された、請求項に記載のシステム。
  6. 前記駆動MEMSスイッチ及び前記電源遮断MEMSスイッチが開状態になるようにトリガし、前記VFDを電気的に遮断するように構成された、請求項に記載のシステム。
  7. 前記主遮断器MEMSスイッチと電気的に連通して設置され、前記主遮断器MEMSをトリガするスイッチ条件に応答して、前記主遮断器MEMSスイッチから電気エネルギの流れを受け取るハイブリッドアークレス制限技術(HALT)アーク抑制回路を更に含む、請求項1に記載のシステム。
  8. 前記主遮断器MEMSスイッチに電気的に結合された電圧スナバ回路を更に含む、請求項1に記載のシステム。
  9. 前記主遮断器MEMSスイッチの状態変化を同期させるソフトスイッチング回路を更に含む、請求項1に記載のシステム。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11107712B2 (en) 2013-12-26 2021-08-31 Kateeva, Inc. Techniques for thermal treatment of electronic devices
US11338319B2 (en) 2014-04-30 2022-05-24 Kateeva, Inc. Gas cushion apparatus and techniques for substrate coating
US11489119B2 (en) 2014-01-21 2022-11-01 Kateeva, Inc. Apparatus and techniques for electronic device encapsulation
US11633968B2 (en) 2008-06-13 2023-04-25 Kateeva, Inc. Low-particle gas enclosure systems and methods
US11975546B2 (en) 2008-06-13 2024-05-07 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US12018857B2 (en) 2020-12-17 2024-06-25 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9076607B2 (en) * 2007-01-10 2015-07-07 General Electric Company System with circuitry for suppressing arc formation in micro-electromechanical system based switch
US7589942B2 (en) * 2007-06-15 2009-09-15 General Electric Company MEMS based motor starter with motor failure detection
US8094034B2 (en) 2007-09-18 2012-01-10 Georgia Tech Research Corporation Detecting actuation of electrical devices using electrical noise over a power line
US7974052B2 (en) 2008-04-25 2011-07-05 Cray Inc. Method and apparatus for switched electrostatic discharge protection
US8886489B2 (en) * 2009-05-12 2014-11-11 Georgia Tech Research Corporation Motion detecting method and device
US9766277B2 (en) 2009-09-25 2017-09-19 Belkin International, Inc. Self-calibrating contactless power consumption sensing
CN101726073B (zh) * 2009-09-30 2012-08-22 广东美的电器股份有限公司 一种变频空调器的控制方法
US8054589B2 (en) * 2009-12-16 2011-11-08 General Electric Company Switch structure and associated circuit
CN102947716B (zh) 2010-04-26 2015-05-06 贝尔金国际股份有限公司 电气事件检测装置以及对电力使用进行检测和分类的方法
US9291694B2 (en) 2010-07-02 2016-03-22 Belkin International, Inc. System and method for monitoring electrical power usage in an electrical power infrastructure of a building
NZ704116A (en) 2010-07-02 2016-04-29 Belkin International Inc Magnetic field sensing device and method of providing a magnetic field sensing device
US8570713B2 (en) 2011-06-29 2013-10-29 General Electric Company Electrical distribution system including micro electro-mechanical switch (MEMS) devices
US20130235494A1 (en) * 2011-09-06 2013-09-12 Kent Jeffrey Holce Integrated Bypass Apparatus, System, and/or Method for Variable-Frequency Drives
US9287062B2 (en) * 2012-05-02 2016-03-15 National Instruments Corporation Magnetic switching system
CN102927655B (zh) * 2012-11-07 2015-05-13 华为技术有限公司 变频空调的控制方法、装置及变频空调
US10641810B2 (en) 2014-09-04 2020-05-05 University Of Washington Detecting user-driven operating states of electronic devices from a single sensing point
WO2016172168A1 (en) * 2015-04-20 2016-10-27 Fluid Handling Llc Switch controlled motor operated devices
US10083811B2 (en) 2015-10-22 2018-09-25 General Electric Company Auxiliary circuit for micro-electromechanical system relay circuit
US10068733B2 (en) 2015-10-22 2018-09-04 General Electric Company Micro-electromechanical system relay circuit
US10236675B2 (en) 2016-07-26 2019-03-19 Schweitzer Engineering Laboratories, Inc. Fault detection and protection during steady state using traveling waves
WO2018140902A1 (en) 2017-01-27 2018-08-02 Franklin Electric Co., Inc. Motor drive system including removable bypass circuit and/or cooling features

Family Cites Families (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3496409A (en) * 1966-10-11 1970-02-17 Ohio Brass Co Spark gap and discharge control apparatus
JPS5321731A (en) * 1976-08-13 1978-02-28 Hitachi Ltd Inverter device
US4384289A (en) * 1981-01-23 1983-05-17 General Electric Company Transponder unit for measuring temperature and current on live transmission lines
DE3130277A1 (de) 1981-07-31 1983-02-17 Vacuumschmelze Gmbh, 6450 Hanau Magnetkern aus weichmagnetischem material fuer einen stromsensor mit einem magnetfeldabhaengigen halbleiterelement zur erfassung von gleich- und wechselstroemen
GB2123627A (en) 1982-04-08 1984-02-01 David Alan Dolbey Jones Electrical circuit interruption
US4827272A (en) * 1984-06-04 1989-05-02 Davis Murray W Overhead power line clamp and antenna
GB8603781D0 (en) 1986-02-15 1986-03-19 Pilkington Brothers Plc Current probe
US4723187A (en) * 1986-11-10 1988-02-02 General Electric Company Current commutation circuit
US4847780A (en) * 1987-08-21 1989-07-11 Tennessee Valley Public Power Association Current measuring apparatus
US5374792A (en) * 1993-01-04 1994-12-20 General Electric Company Micromechanical moving structures including multiple contact switching system
US5430597A (en) * 1993-01-04 1995-07-04 General Electric Company Current interrupting device using micromechanical components
US5513061A (en) * 1993-12-09 1996-04-30 Long Island Lighting Company Apparatus and method for distributing electrical power
US5426360A (en) * 1994-02-17 1995-06-20 Niagara Mohawk Power Corporation Secondary electrical power line parameter monitoring apparatus and system
US5502374A (en) * 1994-09-02 1996-03-26 Veris Industries, Inc. Current sensors
US5973896A (en) * 1995-05-26 1999-10-26 David C. Nemir Shock and arc protection device for an electrical distribution system
US5699222A (en) 1995-11-14 1997-12-16 Eaton Corporation Apparatus and method for programming and reviewing a plurality of parameters of electrical switching device
US5889643A (en) * 1997-09-29 1999-03-30 Eaton Corporation Apparatus for detecting arcing faults and ground faults in multiwire branch electric power circuits
US5943223A (en) * 1997-10-15 1999-08-24 Reliance Electric Industrial Company Electric switches for reducing on-state power loss
US6054659A (en) * 1998-03-09 2000-04-25 General Motors Corporation Integrated electrostatically-actuated micromachined all-metal micro-relays
AU3079499A (en) 1998-03-11 1999-09-27 North American Power Products, Inc. Electrical power metering system
AUPP472498A0 (en) 1998-07-17 1998-08-13 Honeywell Limited An electrical supply measurement and management system
DE19846639A1 (de) * 1998-10-09 2000-04-27 Abb Research Ltd Neue elektrische Schalteinrichtung
DE19850397A1 (de) 1998-11-02 2000-05-11 Abb Research Ltd Elektrische Fehlerstromschutz-Schalteinrichtung
ES2263465T3 (es) * 1999-03-30 2006-12-16 SIEMENS ENERGY & AUTOMATION, INC. Metodo, sistema y aparato, para un controlador logico programable.
DE19927762A1 (de) 1999-06-17 2001-01-04 Abb Research Ltd Neue elektrische Schalteinrichtung zum Überstromschutz
FR2802360B1 (fr) * 1999-12-14 2002-03-01 Legrand Sa Procede et dispositif d'alimentation electrique d'une charge par un variateur a au moins un interrupteur commande
US6481635B2 (en) * 2000-07-21 2002-11-19 Gun Valley Temperature Controls Llc Environmental control method
US6611411B2 (en) * 2001-04-06 2003-08-26 General Electric Company Trip signal verifying method and apparatus
EP1255268A1 (de) 2001-04-30 2002-11-06 Abb Research Ltd. Mikrorelaisschaltung zum Ausschalten oder Einschalten von Wechselströmen
WO2002101952A1 (en) * 2001-06-12 2002-12-19 Main.Net Communications Ltd. Coupling circuits for power line communications
US6993417B2 (en) * 2001-09-10 2006-01-31 Osann Jr Robert System for energy sensing analysis and feedback
US20030212473A1 (en) * 2002-02-25 2003-11-13 General Electric Company Processing system for a power distribution system
US6940363B2 (en) * 2002-12-17 2005-09-06 Intel Corporation Switch architecture using MEMS switches and solid state switches in parallel
US7598628B2 (en) * 2002-12-20 2009-10-06 Siemens Building Technologies, Inc. Automated bypass method and apparatus
WO2004100336A1 (en) * 2003-05-02 2004-11-18 Abb Inc. Intelligence automatic bypass for a motor control device fault
JP4385659B2 (ja) * 2003-06-17 2009-12-16 ソニー株式会社 充電回路およびそれを用いた充電装置
US7225037B2 (en) 2003-09-03 2007-05-29 Unitronics (1989) (R″G) Ltd. System and method for implementing logic control in programmable controllers in distributed control systems
US7664573B2 (en) 2003-09-26 2010-02-16 Siemens Industry, Inc. Integrated building environment data system
JP3861871B2 (ja) 2003-11-26 2006-12-27 サンケン電気株式会社 スイッチング電源装置
US7253615B2 (en) * 2004-05-05 2007-08-07 General Electric Company Microelectromechanical system sensor and method for using
US7112951B2 (en) 2004-06-07 2006-09-26 General Electric Company MEMS based current sensor using magnetic-to-mechanical conversion and reference components
US7252543B2 (en) * 2004-12-08 2007-08-07 General Electric Company Methods and systems for measuring system loads and sub-metering electric power distribution
FR2880984B1 (fr) 2005-01-18 2007-02-23 Schneider Electric Ind Sas Dispositif de commutation avec limiteur electronique de courant
WO2006078944A2 (en) 2005-01-19 2006-07-27 Power Measurement Ltd. Sensor apparatus
US20060202933A1 (en) 2005-02-25 2006-09-14 Pasch Nicholas F Picture element using microelectromechanical switch
FR2883658B1 (fr) 2005-03-22 2009-04-24 Schneider Electric Ind Sas Dispositif de commutation d'un circuit electrique a ouverture sequentielle
US7200502B2 (en) * 2005-03-30 2007-04-03 Rockwell Automation Technologies, Inc. Dual connection power line parameter analysis method and system
US20070013357A1 (en) 2005-07-12 2007-01-18 Delta Electronics, Inc. Inverter apparatus with built-in programmable logic-controller
US7276991B2 (en) * 2005-09-09 2007-10-02 Innovative Micro Technology Multiple switch MEMS structure and method of manufacture
CN2857065Y (zh) 2005-12-15 2007-01-10 汉士达企业股份有限公司 具电力频率载波的可程控器
US20070173960A1 (en) 2006-01-23 2007-07-26 Shalabh Kumar Compact modular programmable logic controller
US7859277B2 (en) * 2006-04-24 2010-12-28 Verigy (Singapore) Pte. Ltd. Apparatus, systems and methods for processing signals between a tester and a plurality of devices under test at high temperatures and with single touchdown of a probe array
US7764041B2 (en) * 2007-01-22 2010-07-27 Johnson Controls Technology Company System and method to extend synchronous operation of an active converter in a variable speed drive

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11633968B2 (en) 2008-06-13 2023-04-25 Kateeva, Inc. Low-particle gas enclosure systems and methods
US11975546B2 (en) 2008-06-13 2024-05-07 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system
US11107712B2 (en) 2013-12-26 2021-08-31 Kateeva, Inc. Techniques for thermal treatment of electronic devices
US11489119B2 (en) 2014-01-21 2022-11-01 Kateeva, Inc. Apparatus and techniques for electronic device encapsulation
US11338319B2 (en) 2014-04-30 2022-05-24 Kateeva, Inc. Gas cushion apparatus and techniques for substrate coating
US12018857B2 (en) 2020-12-17 2024-06-25 Kateeva, Inc. Gas enclosure assembly and system

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