JP5255224B2 - Screen printing mask and method for producing screen printing mask - Google Patents

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本発明は、プリント配線板等を作製する分野で用いられるスクリーン印刷用マスクおよびスクリーン印刷用マスクの作製方法に関し、少なくとも開口部の内壁および被基板接触面に樹脂層を形成してなるスクリーン印刷用マスクおよびその作製方法に関する。   The present invention relates to a screen printing mask and a method for producing a screen printing mask used in the field of producing printed wiring boards and the like, and for screen printing in which a resin layer is formed on at least the inner wall of the opening and the substrate contact surface. The present invention relates to a mask and a manufacturing method thereof.

近年の電子機器の小型化、多機能化に伴い、プリント配線基板の高密度化や配線パターンの微細化が進められており、プリント配線基板への電子部品の高密度実装化が広く行われている。このプリント配線基板への電子部品の高密度実装化においては、プリント配線基板面に電子部品を実装するためにクリーム半田を印刷し、半田端子に電子部品を搭載した後に、リフロー炉で加熱して半田付けを行う。上記クリーム半田の印刷方法としては、スクリーン印刷による工程が広く用いられている。一般的にスクリーン印刷は、パターン状の開口部が形成されたスクリーン印刷用マスクを印刷すべき被印刷基板の上面にセットし、スクリーン印刷用マスクのスキージ面にクリーム半田等のペースト材料を供給してスキージによって掻き寄せることによって、開口部を通してペースト材料をパターン上に転写印刷する方法である。   With recent miniaturization and multi-functionalization of electronic devices, the density of printed wiring boards and the miniaturization of wiring patterns have been promoted, and high-density mounting of electronic components on printed wiring boards has been widely performed. Yes. In high-density mounting of electronic components on this printed circuit board, cream solder is printed to mount the electronic components on the surface of the printed circuit board, and the electronic components are mounted on the solder terminals, and then heated in a reflow furnace. Perform soldering. As the cream solder printing method, a screen printing process is widely used. In general, screen printing is performed by setting a screen printing mask having a pattern-shaped opening formed on the upper surface of a substrate to be printed and supplying paste material such as cream solder to the squeegee surface of the screen printing mask. In this method, the paste material is transferred and printed on the pattern through the opening by scraping with a squeegee.

印刷するパターンが高密度かつ高精細となってくると、被印刷基板との密着性が重要となってくる。一般的に、スクリーン印刷用マスクは金属材料からなり、樹脂材料に比べ弾力性が無い。被印刷基板の表面の平滑性が悪いと、凹凸による密着性不良により滲みが発生する。滲みが発生すると、隣り合うパターン同士でブリッジ短絡等の欠陥が発生する可能性が増し、良好な品質の印刷ができない結果となる。これらの密着性の問題を改善する目的で、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に樹脂層が形成されたスクリーン印刷用マスクが提案されている。これによれば、スクリーン印刷用マスクの被印刷基板に接する面に樹脂層を設けているために、表面平滑性の悪い被印刷基板に対しても密着し、ペースト材料の滲み出しが発生しない(例えば、特許文献1〜5)。しかしながら、スクリーン印刷用マスクの開口部に位置ずれなく樹脂層の開口部を形成することは困難であった。また、スクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に樹脂層を形成しただけでは、ペースト材料のスクリーン印刷用マスクからの抜け性が不十分であるという問題があった。   As the pattern to be printed becomes high density and high definition, the adhesion with the substrate to be printed becomes important. In general, a mask for screen printing is made of a metal material, and has less elasticity than a resin material. If the surface of the substrate to be printed is not smooth, bleeding occurs due to poor adhesion due to unevenness. When bleeding occurs, there is an increased possibility that defects such as a bridge short-circuit will occur between adjacent patterns, and printing with good quality will not be possible. For the purpose of improving these adhesion problems, a screen printing mask in which a resin layer is formed on a printed substrate contact surface of a screen printing mask made of a metal material has been proposed. According to this, since the resin layer is provided on the surface of the screen printing mask in contact with the substrate to be printed, it adheres even to the substrate to be printed with poor surface smoothness, and the paste material does not exude ( For example, Patent Documents 1 to 5). However, it has been difficult to form the opening of the resin layer without displacement in the opening of the screen printing mask. Further, simply forming a resin layer on the printed substrate contact surface of the screen printing mask has a problem that the detachability of the paste material from the screen printing mask is insufficient.

金属材料からなるスクリーン印刷用マスクは、レーザーやエッチング等で形成した開口部の内壁の凹凸が原因となって、ペースト材料のスクリーン印刷用マスクからの抜け性が悪化する。これを解決するために、スクリーン印刷用マスクの開口部の内壁に樹脂層が形成されたスクリーン印刷用マスクが提案されている。これによれば、樹脂液を塗布することによって開口部の内壁に樹脂層が形成され、内壁の凹凸を平滑とすることで、ペースト材料と内壁の摩擦が減少し、ペースト材料の抜け性を向上させている。また、開口部の内壁にペースト材料とのはじき性または潤滑性の良好な化合物(例えば、ポリシロキサン、フッ素樹脂、シリコン樹脂等)を形成することで、ペースト材料の抜け性を向上させている。しかしながら、樹脂層を内壁に形成する手段としては、ディップ法、スプレー法、刷毛塗り、スピンコート等が採用されているが、これらの方法では、開口部の内壁に樹脂層を均一に形成することが困難である。例えば、図16に示すように、樹脂層の突起9、隔壁10または埋まり11等の欠陥が発生することがあり、大きな問題となっている(例えば、特許文献6〜11)。   The screen printing mask made of a metal material deteriorates the ability of the paste material to be removed from the screen printing mask due to the unevenness of the inner wall of the opening formed by laser or etching. In order to solve this problem, a screen printing mask in which a resin layer is formed on the inner wall of the opening of the screen printing mask has been proposed. According to this, the resin layer is formed on the inner wall of the opening by applying the resin liquid, and the unevenness of the inner wall is smoothed, so that the friction between the paste material and the inner wall is reduced and the detachability of the paste material is improved. I am letting. Further, by forming a compound (for example, polysiloxane, fluororesin, silicon resin, etc.) having good repellent or lubricating properties with the paste material on the inner wall of the opening, the detachability of the paste material is improved. However, as a means for forming the resin layer on the inner wall, dipping method, spraying method, brushing, spin coating, etc. are adopted, but in these methods, the resin layer is uniformly formed on the inner wall of the opening. Is difficult. For example, as shown in FIG. 16, defects such as protrusions 9, partition walls 10, or fillings 11 of the resin layer may occur, which is a big problem (for example, Patent Documents 6 to 11).

表面平滑性の悪い被印刷基板に対しても密着し、ペースト材料の滲み出しが発生する問題とペースト材料抜け不良を同時に解決するために、金属材料を使用せず、全て樹脂材料からなるスクリーン印刷用マスクが提案されている(例えば、特許文献12)。これによれば、開口部の内壁の平滑性および撥水性が良好となり、また、被印刷基板との密着性が良好となっている。しかしながら、樹脂材料特有の伸縮が発生することにより、開口部の位置ずれ、開口部の変形等が発生する。よって、ペースト材料を印刷する際にパターンの位置ずれが多発する。また、スキージで押し当てられることによって、スクリーン印刷用マスクに傷が混入する問題が発生していた。
特開平3−57697号公報 特開平9−315026号公報 特開昭54−10011号公報 特開2001−113667号公報 特開2005−144973号公報 実開昭63−37256号公報 特開平1−299088号公報 特開平4−357093号公報 特開平6−219070号公報 特開平8−290686号公報 特開2002−192850号公報 特開平7−81027号公報
Screen printing consisting entirely of resin material without using metal material to solve the problem of paste material oozing out and poor paste material omission at the same time even on printed substrates with poor surface smoothness Masks have been proposed (for example, Patent Document 12). According to this, the smoothness and water repellency of the inner wall of the opening are good, and the adhesion to the substrate to be printed is good. However, when the expansion and contraction peculiar to the resin material occurs, the position of the opening is displaced, the opening is deformed, and the like. Therefore, pattern misalignment frequently occurs when the paste material is printed. In addition, when pressed by a squeegee, there has been a problem that scratches are mixed into the screen printing mask.
JP-A-3-57697 Japanese Patent Laid-Open No. 9-315026 Japanese Patent Laid-Open No. 54-10011 JP 2001-113667 A Japanese Patent Laid-Open No. 2005-1441973 Japanese Utility Model Publication No. 63-37256 JP-A-1-299088 JP-A-4-357093 Japanese Patent Laid-Open No. 6-219070 JP-A-8-290686 JP 2002-192850 A Japanese Patent Laid-Open No. 7-81027

本発明の課題は、高密度かつ高精細なパターンであっても、ペースト材料の滲みや抜け不良のない良好な印刷が可能なスクリーン印刷用マスク、および、突起、隔壁および埋まり等の欠陥のない均一な樹脂層を開口部の内壁に形成でき、スクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に、開口部の位置ずれなく、樹脂層を形成することが可能なスクリーン印刷用マスクの作製方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide a screen printing mask capable of good printing without bleeding or omission of paste material even with a high-density and high-definition pattern, and no defects such as protrusions, partition walls, and embedding. Provided is a method for producing a mask for screen printing, which can form a uniform resin layer on the inner wall of the opening, and can form a resin layer on the printed substrate contact surface of the mask for screen printing without any positional displacement of the opening. It is to be.

本発明者らは検討した結果、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁に第1樹脂層が形成されており、かつ該スクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面の非開口部に第1樹脂層および第2樹脂層が積層して形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスクで上記課題が解決されることを見出した。   As a result of the study, the present inventors have found that the first resin layer is formed on the inner wall of the opening portion of the screen printing mask made of a metal material, and the non-opening portion of the contact surface of the substrate to be printed of the screen printing mask. It has been found that the above problems can be solved by a screen printing mask characterized in that the first resin layer and the second resin layer are laminated.

また、上記第1樹脂層の厚みが0.2〜10μmであり、かつ上記第2樹脂層の厚みが5〜200μmであるスクリーン印刷用マスクで上記課題が解決されることを見出した。   Moreover, it discovered that the said subject was solved with the mask for screen printing whose thickness of the said 1st resin layer is 0.2-10 micrometers and whose thickness of the said 2nd resin layer is 5-200 micrometers.

また、少なくとも開口部および被印刷基板接触面に樹脂層を有する金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの作製方法であって、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクに高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより、開口部の内壁および被印刷基板接触面に第1樹脂層を形成する工程、被印刷基板接触面の第1樹脂層上に第2樹脂層をラミネートによって形成する工程、スキージ面から第2樹脂層除去液を供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法で上記課題が解決されることを見いだした。   A method for producing a screen printing mask made of a metal material having a resin layer at least in an opening and a printed substrate contact surface, the resin dispersed in a highly insulating medium in the screen printing mask made of a metal material A step of forming a first resin layer on the inner wall of the opening and the printed substrate contact surface by electrodepositing the particles, and a step of forming a second resin layer on the first resin layer on the printed substrate contact surface by lamination And a method for producing a mask for screen printing characterized by including a step of removing the second resin layer in the opening by supplying a second resin layer removing liquid from the squeegee surface. .

また、少なくとも開口部および被基板接触面に樹脂層を有する金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの作製方法であって、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に第2樹脂層をラミネートによって形成する工程、スキージ面から第2樹脂層除去液を供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程、高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより、開口部の内壁および被印刷基板接触面の第2樹脂層上に第1樹脂層を形成する工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法で上記課題が解決されることを見いだした。   A method for producing a screen printing mask made of a metal material having a resin layer on at least an opening and a substrate contact surface, wherein the second resin layer is formed on the substrate contact surface of the screen printing mask made of a metal material. The step of forming by laminating, the step of supplying the second resin layer removing liquid from the squeegee surface to remove the second resin layer of the opening, and the electrodeposition by electrodeposition of the resin particles dispersed in the highly insulating medium It has been found that the above problem can be solved by a method for producing a mask for screen printing, which includes a step of forming a first resin layer on the inner wall of the part and the second resin layer on the printed substrate contact surface.

本発明のスクリーン印刷用マスクは、全て樹脂材料からなるスクリーン印刷用マスクと異なり、金属材料を主成分としてなるため、保存条件が原因となる樹脂特有の伸縮が発生しない。そのため、開口部の変形等が発生しないので、印刷時の位置ずれが起こらない。また、強い圧力でスキージによって押し当てられても、印刷に影響を及ぼす原因となる傷が発生しないという効果がある。また、開口部の内壁に第1樹脂層が形成されているため、レーザーやエッチング等で生じた開口部の内壁の凹凸が平滑化でき、ペースト材料の抜け性が格段に向上する。さらに、ペースト材料とのはじき性や潤滑性の良好な第1樹脂層を形成することで、同様に、ペースト材料の抜け性が格段に向上する。   The screen printing mask of the present invention is different from the screen printing mask made entirely of a resin material, and has a metal material as a main component, and therefore does not cause expansion and contraction peculiar to a resin due to storage conditions. For this reason, no deformation or the like of the opening portion occurs, so that no positional deviation occurs during printing. In addition, there is an effect that even if pressed by a squeegee with a strong pressure, scratches that cause printing are not generated. Further, since the first resin layer is formed on the inner wall of the opening, the unevenness of the inner wall of the opening caused by laser, etching, or the like can be smoothed, and the detachability of the paste material is significantly improved. Furthermore, by forming the first resin layer having good repellent property and lubricity with the paste material, similarly, the removability of the paste material is remarkably improved.

本発明のスクリーン印刷用マスクは、被印刷基板面に第2樹脂層が形成されていることで、スクリーン印刷用マスクのクッション性が向上し、ペースト材料の滲み出しが発生しない。第1樹脂層を形成する際には、第1樹脂層を開口部の内壁に形成すると同時に、被印刷基板面にも第1樹脂層を形成すると容易である。しかしながら、第1樹脂層を厚くしすぎると、開口部の面積が小さくなってしまい、ペースト材料の転写量が不十分になることがある。第1樹脂層を薄くすると、開口部の内壁の凹凸は平滑化できても、非印刷基板面のクッション性が十分に得られない場合がある。第1樹脂層と第2樹脂層とが積層して形成されていることで、十分なクッション性が発現し、被印刷基板とスクリーン印刷用マスクとの密着性が向上するという効果をもたらす。   In the screen printing mask of the present invention, the second resin layer is formed on the surface of the substrate to be printed, so that the cushioning property of the screen printing mask is improved and the paste material does not ooze out. When forming the first resin layer, it is easy to form the first resin layer on the printed substrate surface at the same time as forming the first resin layer on the inner wall of the opening. However, if the first resin layer is too thick, the area of the opening becomes small, and the transfer amount of the paste material may be insufficient. If the first resin layer is thinned, the unevenness of the inner wall of the opening can be smoothed, but the cushioning property of the non-printed substrate surface may not be sufficiently obtained. Since the first resin layer and the second resin layer are formed by being laminated, sufficient cushioning properties are exhibited, and the adhesion between the substrate to be printed and the screen printing mask is improved.

開口部の内壁に形成されている第1樹脂層の厚みを0.2〜10μmの範囲内にすることで、第1樹脂層を形成したとしても、第1樹脂層形成前のスクリーン印刷用マスクの開口部のサイズや形状の変化を微小とすることができる。また、被基板接触面に第1樹脂層と第2樹脂層とが積層して形成されていることで、クッション性が向上し、ペースト材料の滲み出しが発生しにくくなる。第2樹脂層の厚みを5〜200μmの範囲内とすることで、被印刷基板との十分な密着性を発現させることができる。   Even if the first resin layer is formed by making the thickness of the first resin layer formed on the inner wall of the opening within a range of 0.2 to 10 μm, the mask for screen printing before forming the first resin layer The change in the size and shape of the opening can be made minute. In addition, since the first resin layer and the second resin layer are formed on the substrate contact surface, the cushioning property is improved, and the paste material is less likely to ooze out. By setting the thickness of the second resin layer in the range of 5 to 200 μm, sufficient adhesion with the substrate to be printed can be expressed.

本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法では、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクに、高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより、開口部の内壁に第1樹脂層を形成する工程を含む。高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子は、正または負に帯電している。金属材料からなるスクリーン印刷用マスクは導電性を有しており、表面が同電位である。図5に示したように、スクリーン印刷用マスク1に対向するように電極12を設置し、スクリーン印刷用マスク1を接地して適正なバイアス電圧を印加すると、電界に従って帯電した樹脂粒子13がスクリーン印刷用マスク1方向に電気泳動する。電気泳動によって、スクリーン印刷用マスク1方向に近づいてきた樹脂粒子13は、電位が0に近いところから付着するため、接地したスクリーン印刷用マスク1の表面を覆うようにして樹脂粒子13が付着する。そのため、電着法によって樹脂粒子13を付着させた場合には、第1樹脂層の突起、隔壁および埋まり等の欠陥が生じない。   In the method for producing a screen printing mask according to the present invention, the first resin layer is formed on the inner wall of the opening by electrodepositing resin particles dispersed in a highly insulating medium on the screen printing mask made of a metal material. Forming. The resin particles dispersed in the highly insulating medium are positively or negatively charged. A screen printing mask made of a metal material has conductivity and the surface has the same potential. As shown in FIG. 5, when the electrode 12 is placed so as to face the screen printing mask 1, the screen printing mask 1 is grounded and an appropriate bias voltage is applied, the resin particles 13 charged according to the electric field are screened. Electrophoresis in the direction of the printing mask 1. The resin particles 13 approaching in the direction of the screen printing mask 1 by electrophoresis are attached from a place where the potential is close to 0. Therefore, the resin particles 13 are attached so as to cover the surface of the grounded screen printing mask 1. . Therefore, when the resin particles 13 are attached by the electrodeposition method, defects such as protrusions, partition walls, and filling of the first resin layer do not occur.

本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法では、被印刷基板接触面に第2樹脂層をラミネートによって形成する工程を含む。第2樹脂層をラミネートによって形成することで、樹脂層の膜厚を精度良く均一に形成することができる。また、一旦印刷に用いたスクリーン印刷用マスクにおいて、密着性を更に改善させて再印刷を行う場合や、ペースト材料の転写量を変更する必要が生じた場合などに、新たに金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製し直す必要がない。つまり、第2樹脂層を除去して再形成したり、第2樹脂層を順次付与して膜厚を変えたりすることによって、密着性の改善や転写量の後調整が可能となるという効果を発現する。   The method for producing a mask for screen printing of the present invention includes a step of forming a second resin layer on the printed substrate contact surface by lamination. By forming the second resin layer by lamination, the thickness of the resin layer can be formed accurately and uniformly. In addition, when a screen printing mask once used for printing is reprinted with further improved adhesion, or when it becomes necessary to change the transfer amount of the paste material, a new screen made of a metal material is used. There is no need to recreate the printing mask. In other words, by removing the second resin layer and re-forming it, or by sequentially applying the second resin layer and changing the film thickness, it is possible to improve adhesion and post-adjustment of the transfer amount. To express.

本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法では、スキージ面から第2樹脂層除去液を供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程を含む。この工程を含むことにより、すでに作製された開口部を有するスクリーン印刷用マスクの品質を悪化させることなく、湿式処理によって、簡便にかつ位置ずれなく、第2樹脂層の開口が可能となる。   The method for producing a mask for screen printing of the present invention includes a step of removing the second resin layer in the opening by supplying the second resin layer removing liquid from the squeegee surface. By including this step, the second resin layer can be opened easily and without misalignment by the wet process without deteriorating the quality of the mask for screen printing having the already prepared opening.

本発明のスクリーン印刷用マスクの例を図1および図2に示す。図1は、金属材料からなるスクリーン印刷用マスク1の開口部5の内壁に第1樹脂層2が形成されており、かつこのスクリーン印刷用マスク1の被印刷基板接触面4の非開口部に、第1樹脂層2と第2樹脂層6とがこの順に積層して形成されているスクリーン印刷用マスクである。図2は、金属材料からなるスクリーン印刷用マスク1の開口部5の内壁に第1樹脂層2が形成されており、かつこのスクリーン印刷用マスク1の被基板接触面4の非開口部に、第2樹脂層6と第1樹脂層2とがこの順に積層して形成されているスクリーン印刷用マスクである。被基板接触面4の非開口部における第1樹脂層と第2樹脂層の積層順に関係なく、良好な印刷特性が発現する。第1樹脂層を開口部の内壁および被印刷基板面に形成した後に、第2樹脂層を被印刷基板接触面の非開口部に形成することで、図1のスクリーン印刷用マスクが作製できる。第2樹脂層を被印刷基板接触面に形成した後に、第1樹脂層を開口部の内壁および被印刷基板面の非開口部に形成することで、図2のスクリーン印刷用マスクが作製できる。   Examples of the screen printing mask of the present invention are shown in FIGS. In FIG. 1, a first resin layer 2 is formed on the inner wall of an opening 5 of a screen printing mask 1 made of a metal material, and the non-opening of the printed substrate contact surface 4 of the screen printing mask 1 is shown. The screen printing mask is formed by laminating the first resin layer 2 and the second resin layer 6 in this order. In FIG. 2, the first resin layer 2 is formed on the inner wall of the opening 5 of the screen printing mask 1 made of a metal material, and in the non-opening of the substrate contact surface 4 of the screen printing mask 1, The screen printing mask is formed by laminating the second resin layer 6 and the first resin layer 2 in this order. Regardless of the stacking order of the first resin layer and the second resin layer in the non-opening portion of the substrate contact surface 4, good printing characteristics are exhibited. After the first resin layer is formed on the inner wall of the opening and the printed substrate surface, the second resin layer is formed on the non-opened portion of the printed substrate contact surface, whereby the screen printing mask of FIG. 1 can be manufactured. After forming the second resin layer on the printed substrate contact surface, the first resin layer is formed on the inner wall of the opening and the non-opened portion of the printed substrate surface, whereby the screen printing mask of FIG. 2 can be manufactured.

本発明のスクリーン印刷用マスクは、図17に示すように、スクリーン印刷用マスク1の開口部5の幅L1よりも、第2樹脂層6の開口部5の幅L2を大きくしても良い。また、図18に示すように、スクリーン印刷用マスク1の開口部5の幅L1よりも、第1樹脂層2で覆われた第2樹脂層6の開口部5の幅L3を大きくしてもよい。L2(L3)とL1の差の1/2の値(d)は0〜200μmであるのが好ましく、さらに好ましくは0〜30μmである。dがマイナスの値となり、第2樹脂層6がスクリーン印刷用マスクの開口部5内に突き出すようになると、適正量のペースト材料の転写できなくなる場合や、ペースト材料とスクリーン印刷用マスクの抜け性において十分な効果が得られない場合がある。一方、dが200μmより大きくなると、高精細な転写パターンの形成が困難になるだけでなく、適正量よりも多くのペースト材料が転写する場合がある。   In the screen printing mask of the present invention, the width L2 of the opening 5 of the second resin layer 6 may be larger than the width L1 of the opening 5 of the screen printing mask 1, as shown in FIG. 18, even if the width L3 of the opening 5 of the second resin layer 6 covered with the first resin layer 2 is made larger than the width L1 of the opening 5 of the screen printing mask 1, as shown in FIG. Good. A value (d) which is a half of the difference between L2 (L3) and L1 is preferably 0 to 200 μm, and more preferably 0 to 30 μm. If d is a negative value and the second resin layer 6 protrudes into the opening 5 of the screen printing mask, an appropriate amount of paste material cannot be transferred, or the paste material and the screen printing mask can be removed. In some cases, sufficient effects cannot be obtained. On the other hand, when d is larger than 200 μm, not only is it difficult to form a high-definition transfer pattern, but more paste material than the proper amount may be transferred.

本発明に係わる金属材料からなるスクリーン印刷用マスクとは、スキージ面にペースト材料をのせ、スキージで掻き寄せることでクリーム半田等のペースト材料を被印刷基板上に転写することができるものであれば、いずれの方式で作製したスクリーン印刷用マスクも使用することができる。例えば、ソリッドマスク、サスペンドマスク、または、メタルマスク(エッチング法、レーザー法、アディティブ法、機械加工法)等、いずれのものも使用可能である。材質は、ニッケル、銅、クロム、亜鉛、鉄等を主成分とする金属、あるいは合金、またはステンレス鋼(SUS)等を適用できる。また、スクリーン印刷用マスクの開口パターンについても特に制限はなく、例えば、円形、楕円形、正方形、長方形、菱形、台形等の四角形、六角形および八角形等の多角形、その他、ひょうたん形、ダンベル形等の不定形等が挙げられる。金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの厚みは、通常30〜500μmであり、ペースト材料の転写量によって厚みを決定する。開口パターンの形状が円形の場合、開口部の直径は、一般的な表面実装において、数百μm〜数十mm、高密度実装においては、大きさ50〜300μm、ピッチ間隔50〜500μmである。さらに、スクリーン印刷用マスクの開口部の断面形状はテーパーを有している場合もある。   The mask for screen printing made of a metal material according to the present invention is a mask that can transfer paste material such as cream solder onto a substrate to be printed by placing the paste material on the squeegee surface and scraping it with the squeegee. A screen printing mask produced by either method can also be used. For example, any of a solid mask, a suspend mask, a metal mask (etching method, laser method, additive method, machining method) or the like can be used. As the material, a metal mainly composed of nickel, copper, chromium, zinc, iron or the like, an alloy, stainless steel (SUS), or the like can be applied. Also, there is no particular limitation on the opening pattern of the mask for screen printing, for example, a circle, an ellipse, a square, a rectangle, a diamond, a square such as a trapezoid, a polygon such as a hexagon and an octagon, a gourd, a dumbbell, etc. Examples include irregular shapes such as shapes. The thickness of the screen printing mask made of a metal material is usually 30 to 500 μm, and the thickness is determined by the transfer amount of the paste material. When the shape of the opening pattern is circular, the diameter of the opening is several hundred to several tens of mm in general surface mounting, and the size is 50 to 300 μm and the pitch interval is 50 to 500 μm in high-density mounting. Furthermore, the cross-sectional shape of the opening of the screen printing mask may have a taper.

本発明に係わる第1樹脂層は、スクリーン印刷用マスクとの密着性、化学的強度、機械的強度を有している樹脂であり、使用するペースト材料の溶媒およびスクリーン印刷用マスク用洗浄剤に膨潤しない特性であれば、どのような樹脂を使用しても良い。具体的には、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアセタール、ポリテトラフルオロエチレン、フッ素樹脂、シリコン樹脂、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルブチラール、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース等が挙げられる。ペースト材料や洗浄剤に対する耐久性、機械的強度をもたせるために、紫外線硬化性、電子線硬化性、加熱硬化性等を付与することもできる。第1樹脂層を高絶縁性媒体を用いた電着法で形成する場合には、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂を好適に使用できる。また、ペースト材料の抜け性を良好にするためには、ペースト材料とのはじき性が良く、接触角が大きい樹脂を使用することが好ましい。例えば、ペースト材料に半田ペーストを使用する場合には、ポリテトラフルオロエチレンまたはフッ素樹脂を好適に使用できる。   The first resin layer according to the present invention is a resin having adhesion, chemical strength, and mechanical strength with a screen printing mask, and is used as a solvent for a paste material to be used and a cleaning agent for a screen printing mask. Any resin may be used as long as it does not swell. Specifically, polyimide, polyamide, polyester resin, epoxy resin, polycarbonate, polystyrene, polyethylene, polypropylene, polyacetal, polytetrafluoroethylene, fluororesin, silicone resin, acrylic resin, vinyl acetate resin, vinyl chloride resin, vinylidene chloride resin , Phenol resin, polyvinyl butyral, gelatin, carboxymethyl cellulose and the like. In order to give durability and mechanical strength to the paste material and the cleaning agent, ultraviolet curable properties, electron beam curable properties, heat curable properties, and the like can be imparted. When the first resin layer is formed by an electrodeposition method using a highly insulating medium, an acrylic resin or a vinyl acetate resin can be suitably used. Further, in order to improve the detachability of the paste material, it is preferable to use a resin having a good repelling property with the paste material and a large contact angle. For example, when a solder paste is used as the paste material, polytetrafluoroethylene or fluororesin can be preferably used.

本発明に係わる第1樹脂層の形成方法は、どのような方法でも良く、ディップ法、スプレー法、刷毛塗り、スピンコート、静電塗布法、蒸着法、電着法等が挙げられる。ディップ法、スプレー法では、表面張力によって開口部のエッジ部に塗布液がたまる問題や、開口形状が鋭角であった場合に鋭角部分に塗布液がたまる問題や、塗布液の垂れや乾燥ムラによって膜厚が不均一になる問題等が発生する場合がある。水系の電着法で第1樹脂層を形成する方法では、開口部の内部に混入した空気が抜けにくいという問題が発生する場合がある。また、所定の膜厚を形成するための消費電流が多く、生産性、省エネルギーの点で問題となる場合がある。本発明に係わる第1樹脂層の形成方法としては、高絶縁性媒体を用いた電着法が、第1樹脂層を均一にかつ高い生産性で形成できる点で、特に好適に使用できる。   The method for forming the first resin layer according to the present invention may be any method, and examples thereof include a dipping method, a spray method, a brush coating, a spin coating, an electrostatic coating method, a vapor deposition method, and an electrodeposition method. In the dip method and spray method, there is a problem that the coating liquid accumulates at the edge of the opening due to surface tension, a problem that the coating liquid accumulates at an acute angle portion when the opening shape is acute, or a dripping or uneven drying of the coating liquid. There may be a problem that the film thickness becomes non-uniform. In the method of forming the first resin layer by the water-based electrodeposition method, there may be a problem that air mixed in the opening is difficult to escape. In addition, a large amount of current is consumed to form a predetermined film thickness, which may cause problems in terms of productivity and energy saving. As a method for forming the first resin layer according to the present invention, an electrodeposition method using a highly insulating medium can be used particularly suitably because the first resin layer can be formed uniformly and with high productivity.

高絶縁性媒体を用いた電着法では、第1樹脂層となる樹脂成分を粒子状として高絶縁性媒体中に分散し、電気泳動によって樹脂粒子をスクリーン印刷用マスク上に付着させたのち、熱等によりフィルム化する方法が好適に使用できる。樹脂粒子を電着するには、図5のようにスクリーン印刷用マスク1と電極12の間に適正なバイアス電圧を印加する。例えば、スクリーン印刷用マスクと対向するように並列に並べた電極の間に挿入し、電極の上下から液を供給して電着する横水平搬送の装置(例えば、特開平6−224541号、特開2004−163605号各公報等)や、スクリーン印刷用マスクを略鉛直に保持し液の入った槽内に浸した後、該スクリーン印刷用マスクの両側に略鉛直に対向して配置された電極で、略鉛直に該スクリーン印刷用マスクを固定して電着処理を施す装置(例えば、特開2002−132049号公報)等が、電着装置として使用可能である。   In the electrodeposition method using a highly insulating medium, the resin component to be the first resin layer is dispersed in the highly insulating medium in the form of particles, and the resin particles are adhered on the screen printing mask by electrophoresis. A method of forming a film by heat or the like can be preferably used. In order to electrodeposit resin particles, an appropriate bias voltage is applied between the screen printing mask 1 and the electrode 12 as shown in FIG. For example, a horizontal and horizontal transfer device (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-224541, which is inserted between electrodes arranged in parallel so as to face a screen printing mask and supplies a liquid from above and below the electrodes to perform electrodeposition) No. 2004-163605, etc.), and after the screen printing mask is held almost vertically and immersed in a bath containing liquid, the electrodes are arranged substantially oppositely on both sides of the screen printing mask. Thus, an apparatus (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-132049) that fixes the screen printing mask substantially vertically and performs an electrodeposition process can be used as the electrodeposition apparatus.

第1樹脂層を高絶縁性媒体を用いた電着法で形成する場合には、上述したように、アクリル樹脂や酢酸ビニル樹脂を好適に使用できる。その場合、樹脂を粒子状とし高絶縁性媒体中に分散したものを使用することが好ましい。樹脂粒子とした場合、コールターカウンター法で測定した平均粒径は、第1樹脂層としての厚みの確保、分散状態の維持の観点から、0.05から1.0μmの範囲であることが好ましく、さらには0.1から0.6μmの範囲にあることが好ましい。樹脂粒子の作製方法は、粉砕法または重合法のいずれでもよい。粉砕法は、樹脂粒子成分およびその他所望の添加剤(例えば着色剤)を混合後混練し、得られた混練物を、所望の粒径に微粉砕する方法である。   When the first resin layer is formed by an electrodeposition method using a highly insulating medium, an acrylic resin or a vinyl acetate resin can be suitably used as described above. In that case, it is preferable to use a resin in the form of particles and dispersed in a highly insulating medium. In the case of resin particles, the average particle diameter measured by the Coulter counter method is preferably in the range of 0.05 to 1.0 μm from the viewpoint of securing the thickness as the first resin layer and maintaining the dispersion state, Further, it is preferably in the range of 0.1 to 0.6 μm. The method for producing the resin particles may be either a pulverization method or a polymerization method. The pulverization method is a method in which resin particle components and other desired additives (for example, colorants) are mixed and kneaded, and the obtained kneaded product is pulverized to a desired particle size.

重合法は、高絶縁性媒体に可溶な単量体を重合して高絶縁性媒体に不溶な重合体とすることで得る方法である。重合法で得られた樹脂粒子は、分散剤と芯成分とからなる。分散剤は、高絶縁性媒体中に可溶である分子量1000以上の重合体で、樹脂粒子を高絶縁性媒体中に分散する役割を果たす。芯成分は、高絶縁性媒体に不溶な重合体である。芯成分の例としては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、クロロ酢酸ビニル等の炭素数1から炭素数6までの脂肪族カルボン酸のビニルエステル、安息香酸ビニルエステル、或いはアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸等の炭素数1から6までのアルキルエステル類又はアミド類、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、メチレンビスアクリルアミド、2−ヒドロシキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアネート、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、スチレンおよびその誘導体、ジビニルベンゼン、或いは、N−ビニル−2−ピロリドン、N−ビニルピリジン、N−ビニルイミダゾール、N,N−ジアルキルアミノエチル(メタ)アクリレート等含窒素ビニルモノマー等からなる重合体が挙げられる。例えば、特開昭60−252367号、同61−116364号公報等に記載されている高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を使用することができる。   The polymerization method is a method obtained by polymerizing a monomer that is soluble in a highly insulating medium to form a polymer that is insoluble in the highly insulating medium. The resin particles obtained by the polymerization method are composed of a dispersant and a core component. The dispersant is a polymer having a molecular weight of 1000 or more that is soluble in the highly insulating medium, and serves to disperse the resin particles in the highly insulating medium. The core component is a polymer that is insoluble in a highly insulating medium. Examples of core components include vinyl esters of aliphatic carboxylic acids having 1 to 6 carbon atoms, such as vinyl acetate, vinyl propionate, and vinyl chloroacetate, vinyl esters of benzoic acid, or acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid. Alkyl esters or amides having 1 to 6 carbon atoms such as maleic acid and itaconic acid, ethylene glycol di (meth) acrylate, methylenebisacrylamide, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl ( (Meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxyethyl isocyanate, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, styrene and its derivatives, divinylbenzene, or N-vinyl-2-pyrrolidone, N-Vini Examples thereof include polymers comprising nitrogen-containing vinyl monomers such as rupyridine, N-vinylimidazole, and N, N-dialkylaminoethyl (meth) acrylate. For example, resin particles dispersed in a highly insulating medium described in JP-A Nos. 60-252367 and 61-116364 can be used.

本発明に係わる第1樹脂層は、0.2〜10μmの範囲内の厚みとすることが好ましい。0.2μm未満であると、開口部の内壁の平滑化が不十分であることがある。10μmを超えると、第1樹脂層にひび割れが発生したり、図16に示すような、第1樹脂層の突起9、隔壁10または埋まり11等の欠陥が発生する可能性がある。また、第1樹脂層形成前の金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部のサイズや形状が変化し、良好な印刷ができない問題が発生することがある。   The first resin layer according to the present invention preferably has a thickness in the range of 0.2 to 10 μm. If it is less than 0.2 μm, smoothing of the inner wall of the opening may be insufficient. If the thickness exceeds 10 μm, cracks may occur in the first resin layer, or defects such as protrusions 9, partition walls 10, or burrs 11 of the first resin layer as shown in FIG. 16 may occur. In addition, the size and shape of the opening of the screen printing mask made of the metal material before the first resin layer is formed may change, which may cause a problem that good printing cannot be performed.

本発明に係わる第2樹脂層は、スクリーン印刷用マスクとの密着性、化学的強度、機械的強度を有している樹脂であり、使用するペースト材料の溶媒およびスクリーン印刷用マスク用洗浄剤に膨潤しない特性を有していればどのような樹脂を使用しても良い。また、第1樹脂層と同一の樹脂を使用することもできるが、第1樹脂層はペースト材料の抜け性に寄与し、第2樹脂層は被印刷基板との密着性に寄与するというように、それぞれ機能が異なるので、第1樹脂層と第2樹脂層が異なる樹脂であってもよい。第2樹脂層として使用できる樹脂の具体例として、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアセタール、ポリテトラフルオロエチレン、フッ素樹脂、シリコン樹脂、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルブチラール、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース等が挙げられる。また、ペースト材料やスクリーン印刷用マスク用洗浄剤に対する耐久性、機械的強度をもたせるために、紫外線硬化性、電子線硬化性、加熱硬化性等を付与することもできる。   The second resin layer according to the present invention is a resin having adhesion, chemical strength, and mechanical strength with a screen printing mask, and is used as a solvent for the paste material to be used and a cleaning agent for the screen printing mask. Any resin may be used as long as it does not swell. Also, the same resin as the first resin layer can be used, but the first resin layer contributes to the detachability of the paste material, and the second resin layer contributes to the adhesion to the substrate to be printed. Since the functions are different, the first resin layer and the second resin layer may be different resins. Specific examples of resins that can be used as the second resin layer include polyimide, polyamide, polyester resin, epoxy resin, polycarbonate, polystyrene, polyethylene, polypropylene, polyacetal, polytetrafluoroethylene, fluorine resin, silicon resin, acrylic resin, and vinyl acetate resin. , Vinyl chloride resin, vinylidene chloride resin, phenol resin, polyvinyl butyral, gelatin, carboxymethyl cellulose and the like. Further, in order to provide durability and mechanical strength to the paste material and the screen printing mask cleaning agent, ultraviolet curable properties, electron beam curable properties, heat curable properties, and the like can be imparted.

本発明に係わる第2樹脂層の形成方法は、感光性樹脂層を塗布等の手法で被印刷基板接触面上に形成し、その後、開口部に相当するパターンを有するフォトマスクを重ねて露光を行い現象処理を施すことで、感光性樹脂層に開口部を形成して第2樹脂層とする方法、スクリーン印刷で第2樹脂層を形成する方法、開口部を有する金属材料からなるスクリーン印刷用マスクに、同一パターンの開口部を有する樹脂フィルムを転写し、第2樹脂層を形成する方法等が挙げられる。しかしながら、これらの方法ではスクリーン印刷用マスクの開口部と第2樹脂層の開口部に位置ずれが発生する場合がある。   In the method for forming the second resin layer according to the present invention, a photosensitive resin layer is formed on the printed substrate contact surface by a technique such as coating, and then a photomask having a pattern corresponding to the opening is overlapped for exposure. By performing phenomenon processing, a method of forming an opening in the photosensitive resin layer to form a second resin layer, a method of forming the second resin layer by screen printing, and screen printing made of a metal material having an opening For example, a method of transferring a resin film having openings with the same pattern to a mask to form a second resin layer may be used. However, in these methods, misalignment may occur between the opening of the screen printing mask and the opening of the second resin layer.

別の本発明に係わる第2樹脂層の形成方法として、エッチング法により金属材料に開口部を形成してスクリーン印刷用マスクを作製する際にエッチングレジストとして使用した感光性樹脂層を、剥離せずにそのまま第2樹脂層とする方法、金属材料と開口部を有しない第2樹脂層を積層した後、レーザー法によって第2樹脂層と金属材料とを一括開口する方法、金属材料と第2樹脂層との積層板を用いて、感光性レジストを利用してメタルプレート面の片側からエッチングを行い、その後、第2樹脂層の開口部を除去する方法、第2樹脂層として光分解性樹脂を用いて、スキージ面側から開口部を通して露光後、現像処理を行って、開口部の光分解性樹脂層の除去を行い、残存する光分解性樹脂層を第2樹脂層とする方法等が挙げられる。また、開口部を塞ぐように、ラミネートによって、第2樹脂層及びマスキング層を被印刷基板接触面に設け、次に、スキージ面から第2樹脂層除去液をスプレー等により供給することにより、開口部の第2樹脂層を除去する方法が挙げられる。この第2樹脂層をラミネートで設け、第2樹脂層除去液をスキージ面から開口部を通して供給する方法では、スクリーン印刷用マスクの開口部と第2樹脂層の開口部の位置ずれがなく、また、第2樹脂層部分に損傷があった場合などに、樹脂層部分のみ修正することが可能となるため、第2樹脂層の形成方法において最も好適である。   As another method for forming the second resin layer according to the present invention, the photosensitive resin layer used as an etching resist is not peeled off when an opening is formed in a metal material by an etching method to produce a mask for screen printing. A method of forming a second resin layer as it is, a method of laminating a metal material and a second resin layer having no opening, and then simultaneously opening the second resin layer and the metal material by a laser method, a metal material and a second resin Etching from one side of the metal plate surface using a photosensitive resist using a laminate with a layer, and then removing the opening of the second resin layer, photodegradable resin as the second resin layer And after the exposure through the opening from the squeegee surface side, development processing is performed, the photodegradable resin layer in the opening is removed, and the remaining photodegradable resin layer is used as the second resin layer. It is done. In addition, the second resin layer and the masking layer are provided on the printed substrate contact surface by lamination so as to close the opening, and then the second resin layer removing liquid is supplied from the squeegee surface by spraying or the like. A method of removing the second resin layer of the portion. In the method in which the second resin layer is provided as a laminate and the second resin layer removing liquid is supplied from the squeegee surface through the opening, there is no positional deviation between the opening of the screen printing mask and the opening of the second resin layer. When the second resin layer portion is damaged, it is possible to correct only the resin layer portion, which is most preferable in the method for forming the second resin layer.

スキージ面から第2樹脂層除去液を供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程を含むスクリーン印刷用マスクの作製方法では、第2樹脂層をアルカリ可溶性とすることで、第2樹脂層除去液にアルカリ水溶液を使用できるので好ましい。この場合、酸価が1mgKOH/g以上、より好ましくは10mgKOH/g以上の第2樹脂層を好適に用いることができる。   In the method for producing a mask for screen printing including the step of supplying the second resin layer removing liquid from the squeegee surface and removing the second resin layer in the opening, the second resin layer is made alkali-soluble so that the second resin Since an aqueous alkali solution can be used for the layer removing solution, it is preferable. In this case, the 2nd resin layer whose acid value is 1 mgKOH / g or more, More preferably, 10 mgKOH / g or more can be used conveniently.

本発明に係わる第2樹脂層は、5〜200μmの範囲内の厚みとすることが好ましい。5μm未満であると、十分なクッション性が得られずペースト材料の滲み出しが発生する場合がある。一方、200μmを超えると、第2樹脂層の体積膨張が発生した際に開口部の形状変化が大きくなり、ペースト材料の転写量が変化する問題が発生することがある。   The second resin layer according to the present invention preferably has a thickness in the range of 5 to 200 μm. If it is less than 5 μm, sufficient cushioning properties cannot be obtained, and the paste material may ooze out. On the other hand, when the thickness exceeds 200 μm, the volume change of the second resin layer may cause a large change in the shape of the opening, which may cause a problem that the transfer amount of the paste material changes.

本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法のうち、図1に例示したように、金属材料からなるスクリーン印刷用マスク1の開口部5の内壁に第1樹脂層2が形成されており、かつこのスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面4の非開口部に第1樹脂層2と第2樹脂層6がこの順に積層して形成されているスクリーン印刷用マスクの作製方法を、工程順に、図3〜9を用いて詳説する。まず、金属材料からなるスクリーン印刷用マスク1(図3)のスキージ面3に保護シート7を貼り付ける(図4)。次に、樹脂粒子13が分散されている高絶縁性媒体中において、被印刷基板接触面4に対向するように電極12を設置する(図5)。次に、スクリーン印刷用マスク1および電極12の間に適正な電位差を生じさせ、樹脂粒子13をスクリーン印刷用マスク1の方向へ電気泳動させ、開口部5の内壁および被印刷基板接触面4に樹脂粒子13を付着させる。次に、スクリーン印刷用マスク1を高絶縁性媒体中から取り出し、高絶縁性媒体を蒸発させる。次いで、電着法によって付着した樹脂粒子13、加熱等によってフィルム化させて、第1樹脂層2を形成する(図6)。続いて、保護シート7を除去する(図7)。加熱、紫外線照射、電子線照射等によって、第1樹脂層2を硬化させても良い。次に、開口部5を塞ぐように、ラミネートによって、第2樹脂層6及びマスキング層14を被印刷基板接触面4に設ける(図8)。その後、スキージ面3から第2樹脂層除去液をスプレー等により供給することにより、開口部5の第2樹脂層を除去する(図9)。次に、第2樹脂層除去液を水洗で除去し、冷風で乾燥させた後、マスキング層14を除去する。加熱、紫外線照射、電子線照射によって、第2樹脂層6を硬化させてもよい。このようにして、図1に例示したスクリーン印刷用マスクを作製することできる。   In the method for producing a screen printing mask according to the present invention, as illustrated in FIG. 1, the first resin layer 2 is formed on the inner wall of the opening 5 of the screen printing mask 1 made of a metal material. A method for producing a screen printing mask in which the first resin layer 2 and the second resin layer 6 are laminated in this order on the non-opening portion of the printed substrate contact surface 4 of the screen printing mask is illustrated in the order of steps. 3-9 will be used to explain in detail. First, a protective sheet 7 is attached to the squeegee surface 3 of the screen printing mask 1 (FIG. 3) made of a metal material (FIG. 4). Next, the electrode 12 is installed in the highly insulating medium in which the resin particles 13 are dispersed so as to face the printed substrate contact surface 4 (FIG. 5). Next, an appropriate potential difference is generated between the screen printing mask 1 and the electrode 12, and the resin particles 13 are electrophoresed in the direction of the screen printing mask 1, so that the inner wall of the opening 5 and the printed substrate contact surface 4 are moved. Resin particles 13 are adhered. Next, the screen printing mask 1 is taken out from the highly insulating medium, and the highly insulating medium is evaporated. Next, the resin particles 13 attached by the electrodeposition method are formed into a film by heating or the like to form the first resin layer 2 (FIG. 6). Subsequently, the protective sheet 7 is removed (FIG. 7). The first resin layer 2 may be cured by heating, ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, or the like. Next, the second resin layer 6 and the masking layer 14 are provided on the printed substrate contact surface 4 by lamination so as to close the opening 5 (FIG. 8). Thereafter, the second resin layer removing liquid is supplied from the squeegee surface 3 by spraying or the like, thereby removing the second resin layer in the opening 5 (FIG. 9). Next, the second resin layer removing liquid is removed by washing with water and dried with cold air, and then the masking layer 14 is removed. The second resin layer 6 may be cured by heating, ultraviolet irradiation, or electron beam irradiation. In this way, the screen printing mask illustrated in FIG. 1 can be manufactured.

本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法のうち、図2に例示したように、金属材料からなるスクリーン印刷用マスク1の開口部5の内壁に第1樹脂層2が形成されており、かつこのスクリーン印刷用マスクの被基板接触面4の非開口部に第2樹脂層6と第1樹脂層2がこの順に積層して形成されているスクリーン印刷用マスクの作製方法を、工程順に、図3および図10〜15を用いて詳説する。まず、金属材料からなるスクリーン印刷用マスク1(図3)の被基板接触面4に、開口部5を塞ぐようにラミネートによって第2樹脂層6及びマスキング層14を設ける(図10)。次に、スキージ面3から第2樹脂層除去液をスプレー等により供給することにより、開口部5の第2樹脂層を除去する(図11)。次いで、第2樹脂層除去液を水洗で除去し、冷風で乾燥させた後、マスキング層14を除去する(図12)。加熱、紫外線照射、電子線照射等によって、第2樹脂層を硬化させてもよい。続いて、スキージ面3に保護シート7を貼り付ける(図13)。次に、樹脂粒子13が分散されている高絶縁性媒体中にて、被印刷基板接触面4に対向するように電極12を設置する(図14)。次いで、スクリーン印刷用マスク1および電極12の間に適正な電位差を生じさせ、樹脂粒子13をスクリーン印刷用マスク1の方向へ電気泳動させ、開口部5の内壁および被印刷基板接触面4上の第2樹脂層6上に樹脂粒子13を付着させる。続いて、スクリーン印刷用マスク1を光絶縁性媒体中から取り出し、高絶縁性媒体を蒸発させる。その後、電着法によって付着した樹脂粒子13を、加熱等によってフィルム化させて、第1樹脂層2を形成する(図15)。続いて、保護シート7を除去する。加熱、紫外線照射、電子線照射等によって、第1樹脂層2を硬化させても良い。このようにして、図2に例示したスクリーン印刷用マスクが作製できる。   In the screen printing mask manufacturing method of the present invention, as illustrated in FIG. 2, the first resin layer 2 is formed on the inner wall of the opening 5 of the screen printing mask 1 made of a metal material. A method for producing a screen printing mask in which the second resin layer 6 and the first resin layer 2 are laminated in this order in the non-opening portion of the substrate contact surface 4 of the screen printing mask is shown in FIG. And it explains in full detail using FIGS. First, the second resin layer 6 and the masking layer 14 are provided on the substrate contact surface 4 of the screen printing mask 1 (FIG. 3) made of a metal material by lamination so as to close the opening 5 (FIG. 10). Next, the second resin layer removing liquid is supplied from the squeegee surface 3 by spraying or the like, thereby removing the second resin layer in the opening 5 (FIG. 11). Next, the second resin layer removing liquid is removed by washing with water and dried with cold air, and then the masking layer 14 is removed (FIG. 12). The second resin layer may be cured by heating, ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, or the like. Then, the protective sheet 7 is affixed on the squeegee surface 3 (FIG. 13). Next, the electrode 12 is placed so as to face the printed substrate contact surface 4 in a highly insulating medium in which the resin particles 13 are dispersed (FIG. 14). Next, an appropriate potential difference is generated between the screen printing mask 1 and the electrode 12, and the resin particles 13 are electrophoresed in the direction of the screen printing mask 1, and on the inner wall of the opening 5 and the printed substrate contact surface 4. Resin particles 13 are adhered on the second resin layer 6. Subsequently, the screen printing mask 1 is taken out from the photo-insulating medium, and the highly insulating medium is evaporated. Thereafter, the resin particles 13 attached by the electrodeposition method are formed into a film by heating or the like to form the first resin layer 2 (FIG. 15). Subsequently, the protective sheet 7 is removed. The first resin layer 2 may be cured by heating, ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, or the like. In this manner, the screen printing mask illustrated in FIG. 2 can be manufactured.

本発明に係わる高絶縁性媒体としては、直鎖状もしくは分枝状の脂肪族炭化水素、脂環族炭化水素、芳香族炭化水素、およびこれらのハロゲン置換体が挙げられる。例として、オクタン、イソオクタン、デカン、イソデカン、デカリン、ノナン、ドデカン、イソドデカン、シクロヘキサン、シクロオクタン、シクロデカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等が挙げられる。商品名として、アイソパーE、アイソパーG、アイソパーH、アイソパーL(EXXON社)、IPソルベント1620(出光興産株式会社)等がある。これらの高絶縁性媒体は、単独または混合して用いることができる。   Examples of the highly insulating medium according to the present invention include linear or branched aliphatic hydrocarbons, alicyclic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons, and halogen-substituted products thereof. Examples include octane, isooctane, decane, isodecane, decalin, nonane, dodecane, isododecane, cyclohexane, cyclooctane, cyclodecane, benzene, toluene, xylene, mesitylene and the like. As product names, there are Isopar E, Isopar G, Isopar H, Isopar L (EXXON), IP Solvent 1620 (Idemitsu Kosan Co., Ltd.), and the like. These highly insulating media can be used alone or in combination.

本発明に係わる樹脂粒子は、電着することによって第1樹脂層を形成するものである。樹脂粒子を正または負の荷電粒子とせしめ、適正な電界を印加しながら、樹脂粒子を電着する。そのため、樹脂粒子が分散された液に適当な電荷制御剤を添加することによって、樹脂粒子に電荷を付与する。電荷制御剤としては、例えば、特開平6−51567号公報等に示される化合物、またはホモゲノールL18(商品名、花王株式会社製)等のポリカルボン酸型高分子界面活性剤を用いることが可能である。また、電着特性に悪影響を及ぼさない範囲で着色剤等の添加剤を含有させることもできる。   The resin particles according to the present invention form a first resin layer by electrodeposition. The resin particles are made positive or negative charged particles, and the resin particles are electrodeposited while applying an appropriate electric field. Therefore, an electric charge is imparted to the resin particles by adding an appropriate charge control agent to the liquid in which the resin particles are dispersed. As the charge control agent, for example, a compound shown in JP-A-6-51567 or a polycarboxylic acid type polymer surfactant such as homogenol L18 (trade name, manufactured by Kao Corporation) can be used. is there. Further, an additive such as a colorant may be contained within a range that does not adversely affect the electrodeposition characteristics.

本発明に用いることができる保護シートとは、スクリーン印刷用マスクに貼り付けることが可能であり、樹脂粒子を分散する高絶縁性媒体に触れることがあっても溶解せず、電着処理および樹脂粒子の定着処理による加熱、加圧、光、水等の処理にさらされた後においても、容易にスクリーン印刷用マスクから剥離でき、剥離した後でも粘着物がスクリーン印刷用マスクに残存しないものであれば、いずれのものでも良い。例えば、エレップマスキングN−380(商品名、日東電工株式会社)、ペイントエース720A(商品名、日東電工株式会社)、SPV−K100(商品名、日東電工株式会社)、スコッチメッキ用マスキングテープ851A(商品名、住友3M株式会社)、スコッチ耐熱マスキングテープ214−3MNE(商品名、住友3M株式会社)、マスキングテープNO2311(商品名、ニチバン株式会社)等が挙げられるがこれに限定されるものではない。また、保護シートはアルカリ水溶液に溶解する性質を持っていてもよい。   The protective sheet that can be used in the present invention can be attached to a screen printing mask and does not dissolve even if it touches a highly insulating medium in which resin particles are dispersed. Even after being exposed to heat, pressure, light, water, etc. due to particle fixing treatment, it can be easily peeled off from the screen printing mask, and even after peeling, no adhesive remains on the screen printing mask. Any one is acceptable. For example, ELEP Masking N-380 (trade name, Nitto Denko Corporation), Paint Ace 720A (trade name, Nitto Denko Corporation), SPV-K100 (trade name, Nitto Denko Corporation), Scotch plating masking tape 851A (Trade name, Sumitomo 3M Co., Ltd.), Scotch heat resistant masking tape 214-3MNE (trade name, Sumitomo 3M Co., Ltd.), masking tape NO2311 (trade name, Nichiban Co., Ltd.), etc. Absent. Further, the protective sheet may have a property of being dissolved in an alkaline aqueous solution.

アルカリ可溶性の保護シートの成分としては、カルボン酸基、カルボン酸アミド基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、スルホンアミド基、スルホンイミド基、ホスホン酸基を有する単量体を重合してなる共重合体、及びフェノール樹脂、キシレン樹脂等が挙げられる。カルボン酸基を有する単量体の共重合体としては、スチレンとマレイン酸モノエステルとの共重合体、アクリル酸あるいはメタクリル酸とそれらのアルキルエステル、アリールエステルまたはアラルキルエステルとの二元以上の共重合体が挙げられる。また、酢酸ビニルまたは安息香酸ビニルとクロトン酸との共重合体が挙げられる。フェノール樹脂中特に好ましいものは、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、あるいはp−クレゾールとホルムアルデヒドまたはアセトアルデヒドとを酸性条件下で縮合させたノボラック樹脂を挙げることができる。また、これらに、可塑剤、着色剤等を含有させてもよい。これらの成分を、キャリアフィルムの上に積層し、シート状にすることによって、ラミネーター等によって貼り付けが容易となる。キャリアフィルムとしては例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリビニルアルコール等が挙げられる。また、回路基板製造用のネガ型ドライフィルムフォトレジストもアルカリ可溶性の保護シートとして適用できる。具体的には、例えばデュポンMRCドライフィルム株式会社のリストン(商品名)、日立化成工業株式会社のフォテック(商品名)、旭化成エレクトロニクス株式会社のサンフォート(商品名)等を使用することができる。   The components of the alkali-soluble protective sheet include a copolymer formed by polymerizing monomers having a carboxylic acid group, a carboxylic acid amide group, a phenolic hydroxyl group, a sulfonic acid group, a sulfonamide group, a sulfonimide group, and a phosphonic acid group. A coalescence, a phenol resin, a xylene resin, etc. are mentioned. Copolymers of monomers having carboxylic acid groups include copolymers of styrene and maleic acid monoesters, and copolymers of two or more of acrylic acid or methacrylic acid and their alkyl esters, aryl esters or aralkyl esters. A polymer is mentioned. In addition, a copolymer of vinyl acetate or vinyl benzoate and crotonic acid can be used. Particularly preferred among the phenol resins are novolak resins obtained by condensing phenol, o-cresol, m-cresol, or p-cresol with formaldehyde or acetaldehyde under acidic conditions. Moreover, you may make these contain a plasticizer, a coloring agent, etc. By laminating these components on a carrier film to form a sheet, it becomes easy to attach using a laminator or the like. Examples of the carrier film include polypropylene, polyethylene, polyester, and polyvinyl alcohol. A negative dry film photoresist for manufacturing a circuit board can also be used as an alkali-soluble protective sheet. Specifically, for example, Liston (trade name) of DuPont MRC Dry Film Co., Ltd., Fotec (trade name) of Hitachi Chemical Co., Ltd., Sunfort (trade name) of Asahi Kasei Electronics Co., Ltd. can be used.

アルカリ可溶性の保護シートを使用した場合に樹脂シートをアルカリ水溶液によって除去する方法は、スプレーまたはディップ等の方法が適用できる。アルカリ水溶液としては、例えば、ケイ酸アルカリ金属塩、アルカリ金属水酸化物、リン酸および炭酸アルカリ金属塩、リン酸および炭酸アンモニウム塩等の無機塩基性化合物の水溶液、エタノールアミン類、エチレンジアミン、プロパンジアミン類、トリエチレンテトラミン、モルホリン等の有機塩基性化合物等を水に希釈したものが挙げられる。   When an alkali-soluble protective sheet is used, a method such as spraying or dipping can be applied as a method of removing the resin sheet with an alkaline aqueous solution. Examples of the alkaline aqueous solution include aqueous solutions of inorganic basic compounds such as alkali metal silicates, alkali metal hydroxides, phosphoric acid and alkali metal carbonates, phosphoric acid and ammonium carbonates, ethanolamines, ethylenediamine, and propanediamine. And organic basic compounds such as triethylenetetramine and morpholine diluted in water.

保護シートをスクリーン印刷用マスクに貼り付ける方法は、貼り付け面にむらや波打ちを生じさせることなく、空気やゴミを混入することがなければ、何れの方法であっても良い。例えば、プリント基板用の熱ゴムロールを圧力で押し当てて熱圧着する装置(ラミネーター)を用いる。   The method of attaching the protective sheet to the screen printing mask may be any method as long as air and dust are not mixed without causing unevenness or undulation on the attachment surface. For example, an apparatus (laminator) that presses a hot rubber roll for a printed circuit board with pressure to perform thermocompression bonding is used.

本発明に係わる第2樹脂層除去液としては、第2樹脂層を溶解または分散可能な液であり、使用する第2樹脂層の組成に見合った液を使用する。第2樹脂層除去液によって、開口部の第2樹脂層を除去し、開口部に第2樹脂層の存在しない領域を形成する。第2樹脂層除去液は、マスキング層を溶解しない液を使用する。また、スクリーン印刷用マスクに対しても、溶解や膨潤、形状変化等を起こさせない液を使用する。具体的には、アルカリ水溶液、酸水溶液等の水系樹脂層除去液、ケトン類、アルコール類、グリコール類等の溶剤系樹脂層除去液が挙げられる。特に、アルカリ水溶液が有用に使用される。例えば、ケイ酸アルカリ金属塩、アルカリ金属水酸化物、リン酸又は炭酸アルカリ金属塩、リン酸又は炭酸アンモニウム塩等の無機塩基性化合物の水溶液、エタノールアミン、エチレンジアミン、プロパンジアミン、トリエチレンテトラミン、モルホリン等の有機塩基性化合物の水溶液を使用することができる。これら水溶液は、第2樹脂層に対する溶解性を制御することを目的として、濃度、温度、スプレー圧、処理時間等を調整する必要がある。   As a 2nd resin layer removal liquid concerning this invention, it is a liquid which can melt | dissolve or disperse | distribute a 2nd resin layer, and uses the liquid suitable for the composition of the 2nd resin layer to be used. The second resin layer removing liquid removes the second resin layer in the opening, thereby forming a region where the second resin layer does not exist in the opening. As the second resin layer removing liquid, a liquid that does not dissolve the masking layer is used. Also, a liquid that does not cause dissolution, swelling, shape change, or the like is used for the screen printing mask. Specific examples include aqueous resin layer removing liquids such as alkaline aqueous solutions and acid aqueous solutions, and solvent-based resin layer removing liquids such as ketones, alcohols, and glycols. In particular, an alkaline aqueous solution is usefully used. For example, alkali metal silicates, alkali metal hydroxides, phosphoric acid or alkali metal carbonates, aqueous solutions of inorganic basic compounds such as phosphoric acid or ammonium carbonate, ethanolamine, ethylenediamine, propanediamine, triethylenetetramine, morpholine An aqueous solution of an organic basic compound such as can be used. These aqueous solutions need to be adjusted in concentration, temperature, spray pressure, treatment time, etc. for the purpose of controlling solubility in the second resin layer.

本発明に用いることができるマスキング層としては、使用する第2樹脂層除去液に対して不溶性であり、ラミネート可能であればいかなるものでもよい。使用する第2樹脂層と溶解性の異なる樹脂や金属等を使用することができる。具体的には、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアセタール、ポリテトラフルオロエチレン、フッ素樹脂、シリコン樹脂、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルブチラール、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース等が挙げられる。第2樹脂層との溶解性に差を与えるために、マスキング層の酸価を、第2樹脂層の酸価の十分の一以下、好ましくは百分の一以下とすることもできる。汎用性の点から、ポリエステル、ポリエチレンを好適に使用できる。金属としては、銅、ニッケル、ステンレス鋼(SUS)、アルミニウム等を使用できる。   As the masking layer that can be used in the present invention, any masking layer may be used as long as it is insoluble in the second resin layer removing liquid to be used and can be laminated. Resins and metals having different solubility from the second resin layer to be used can be used. Specifically, polyimide, polyamide, polyester resin, epoxy resin, polycarbonate, polystyrene, polyethylene, polypropylene, polyacetal, polytetrafluoroethylene, fluororesin, silicone resin, acrylic resin, vinyl acetate resin, vinyl chloride resin, vinylidene chloride resin , Phenol resin, polyvinyl butyral, gelatin, carboxymethyl cellulose and the like. In order to give a difference in solubility with the second resin layer, the acid value of the masking layer can be set to 1/10 or less, preferably 1/100 or less, of the acid value of the second resin layer. From the viewpoint of versatility, polyester and polyethylene can be preferably used. As the metal, copper, nickel, stainless steel (SUS), aluminum or the like can be used.

金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被基板接触面に開口部を塞ぐようにラミネートによって第2樹脂層及びマスキング層を設ける方法としては、貼り付け面にむらや波打ちを生じさせることなく、空気やゴミを混入することがなければ、何れの方法であっても良い。例えば、プリント基板用の熱ゴムロールを圧力で押し当てて熱圧着する装置(ラミネーター)を用いる。第2樹脂層とマスキング層を同時に貼り付けてもよいし、第2樹脂層を貼り付けた後にマスキング層を貼り付けてもよい。   As a method of providing the second resin layer and the masking layer by laminating so as to block the opening on the substrate contact surface of the screen printing mask made of a metal material, air or corrugation is not generated on the attachment surface without causing unevenness or undulation. Any method may be used as long as dust is not mixed. For example, an apparatus (laminator) that presses a hot rubber roll for a printed circuit board with pressure to perform thermocompression bonding is used. The second resin layer and the masking layer may be attached at the same time, or the masking layer may be attached after the second resin layer is attached.

本発明に係わるスキージ面から第2樹脂層除去液を供給する方法としては、ディップ方式、パドル方式、スプレー方式、ブラッシング、スクレーピング等があるが、高圧スプレー方式が第2樹脂層除去には最も適している。その場合の処理条件(温度、スプレー圧、時間)は、処理温度は10〜50℃、より好ましくは15〜40℃、さらに好ましくは15〜35℃である。また、スプレー圧は0.05〜0.5MPaとするのが好ましく、さらに好ましくは0.1〜0.3MPaである。   As a method for supplying the second resin layer removal liquid from the squeegee surface according to the present invention, there are a dipping method, a paddle method, a spray method, brushing, scraping, etc., but a high pressure spray method is most suitable for removing the second resin layer. ing. In this case, the processing conditions (temperature, spray pressure, time) are 10 to 50 ° C., more preferably 15 to 40 ° C., and further preferably 15 to 35 ° C. The spray pressure is preferably 0.05 to 0.5 MPa, more preferably 0.1 to 0.3 MPa.

以下実施例によって本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. However, the present invention is not limited to these examples.

実施例1
樹脂粒子の合成
攪拌機、温度計、還流冷却管を備えた4ツ口フラスコ内に、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)720質量部、ドデシルメタクリレート475.2質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート4.8質量部を入れ窒素置換した後、80℃に加熱し、2,2′−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)4.8質量部を添加した。温度を80℃のままに保ち、7時間反応させた。次に、65℃に温度を下げ、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)240質量部、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート5.7質量部、1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセ−7−エン0.06質量部を添加し、温度を65℃のままに保ち、3時間反応させ、濃度33.5質量%の分散剤溶液を得た。
Example 1
In a four-necked flask equipped with a resin particle synthesis stirrer, thermometer, and reflux condenser, 720 parts by mass of IP1620 (trade name, manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), 475.2 parts by mass of dodecyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate After adding 4.8 parts by mass and replacing with nitrogen, the mixture was heated to 80 ° C., and 4.8 parts by mass of 2,2′-azobis (2-methylbutyronitrile) was added. The temperature was kept at 80 ° C. and reacted for 7 hours. Next, the temperature is lowered to 65 ° C., 240 parts by mass of IP1620 (trade name, manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), 5.7 parts by mass of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate, 1,8-diazabicyclo [5.4.0] undece. 0.06 parts by mass of -7-ene was added, the temperature was kept at 65 ° C., and the mixture was reacted for 3 hours to obtain a dispersant solution having a concentration of 33.5% by mass.

次に、攪拌機、温度計、還流冷却管を備えた4ツ口フラスコ内に、上記で合成した分散剤溶液40質量部、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)516質量部、メチルアクリレート20質量部、メチルメタクリレート1質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート8質量部、2−ジメチルアミノエチルメタクリレート4質量部、2−(O−[1′−メチルプロピリデンアミノ]カルボキシアミノ)エチルメタクリレート15質量部を入れ窒素置換した後、70℃に加熱し、2,2′−アゾビス(4−メトキシ−2,4―ジメチルバレロニトリル)を0.4質量部添加した。温度を70℃のままに保ち、8時間反応させ、樹脂粒子を得た。得られた樹脂粒子の合成物において、固形分1質量部に対して0.02質量部の電荷制御剤(オクタデシルビニルエーテル/無水マレイン酸共重合体;質量組成比 3/1、無水マレイン酸加水分解率 45質量%、質量平均分子量 1.3万)を添加して、樹脂粒子に正電荷を付与した後、固形分濃度が1質量%になるようにIP1620(商品名、出光興産株式会社製)で希釈し、高絶縁性媒体中に分散した樹脂粒子を作製した。   Next, in a four-necked flask equipped with a stirrer, a thermometer, and a reflux condenser, 40 parts by mass of the dispersant solution synthesized above, 516 parts by mass of IP1620 (trade name, manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.), methyl acrylate 20 Parts by weight, 1 part by weight of methyl methacrylate, 8 parts by weight of 2-hydroxyethyl methacrylate, 4 parts by weight of 2-dimethylaminoethyl methacrylate, 15 parts by weight of 2- (O- [1'-methylpropylideneamino] carboxyamino) ethyl methacrylate The mixture was purged with nitrogen, heated to 70 ° C., and 0.4 part by mass of 2,2′-azobis (4-methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile) was added. The temperature was kept at 70 ° C. and reacted for 8 hours to obtain resin particles. In the resultant resin particle composite, 0.02 parts by mass of charge control agent (octadecyl vinyl ether / maleic anhydride copolymer; mass composition ratio 3/1, maleic anhydride hydrolysis with respect to 1 part by mass of solid content IP1620 (trade name, manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.) so that the solid content concentration becomes 1% by mass after adding a positive charge to the resin particles. The resin particles were diluted with, and dispersed in a highly insulating medium.

金属材料からなるスクリーン印刷用マスクへの第1樹脂層の形成
厚さ80μmのステンレス板(SUS304)にYAGレーザーで多数の開口部(円形、直径200μm)を形成し、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製した。次に、市販のネガ型ドライフィルムフォトレジスト(商品名:サンフォートAQ2575、旭化成エレクトロニクス株式会社製)を、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクのスキージ面に、ラミネーターを用いて、80℃、0.1MPaの圧力で貼り付け、ドライフィルムフォトレジスト層とポリエチレンテレフタレート層とからなる保護シートを形成した。次いで、図5に示す構造を有する電着装置を用いて、バイアス電圧30Vの条件で、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁および被印刷基板接触面に、上記で作製した高絶縁性媒体中に分散した樹脂粒子を電着した。次いで、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)を冷風で乾燥させた後、80℃、3分の加熱条件で樹脂粒子をフィルム化して定着させ、第1樹脂層を形成した。第1樹脂層の厚みを測定したところ、0.1μmであった。次に、保護シートとして使用したネガ型ドライフィルムフォトレジストのポリエチレンテレフタレート層を手で剥がしたのち、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)を用いて、スプレー圧0.1MPaの条件下、ドライフィルムフォトレジスト層を溶出除去した。続いて、水洗後、水分を冷風で除去し、180℃、2時間の条件下にさらして、第1樹脂層を加熱硬化させた。
Formation of the first resin layer on a screen printing mask made of a metal material A large number of openings (circular, diameter 200 μm) are formed on a stainless steel plate (SUS304) with a thickness of 80 μm using a YAG laser, and the screen printing is made of a metal material. A mask was prepared. Next, a commercially available negative-type dry film photoresist (trade name: Sunfort AQ2575, manufactured by Asahi Kasei Electronics Co., Ltd.) is applied to a squeegee surface of a screen printing mask made of a metal material at 80 ° C., 0. Affixed at a pressure of 1 MPa to form a protective sheet composed of a dry film photoresist layer and a polyethylene terephthalate layer. Next, using the electrodeposition apparatus having the structure shown in FIG. 5, the high insulation produced as described above was formed on the inner wall of the opening of the screen printing mask made of a metal material and the contact surface of the substrate to be printed under the condition of a bias voltage of 30V. The resin particles dispersed in the conductive medium were electrodeposited. Subsequently, IP1620 (trade name, manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.) was dried with cold air, and then the resin particles were formed into a film and fixed under a heating condition of 80 ° C. for 3 minutes to form a first resin layer. It was 0.1 micrometer when the thickness of the 1st resin layer was measured. Next, the polyethylene terephthalate layer of the negative dry film photoresist used as a protective sheet was peeled off by hand, and then dried using a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution (30 ° C.) under a spray pressure of 0.1 MPa. The film photoresist layer was eluted and removed. Subsequently, after washing with water, the moisture was removed with cold air, and the first resin layer was cured by heating under conditions of 180 ° C. for 2 hours.

金属材料からなるスクリーン印刷用マスクへの第2樹脂層の形成
表1に示す成分よりなる塗布液をマスキング層(厚み25μm、材質ポリエステル)に塗布し、乾燥することで、厚み3μmの第2樹脂層を作製した。次に、上記で作製した第1樹脂層が形成された金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に、第2樹脂層とマスキング層を、ラミネーターを用いて100℃、0.1MPaの条件にて熱圧着した。
Formation of Second Resin Layer on Screen Printing Mask Made of Metal Material A coating solution comprising the components shown in Table 1 is applied to a masking layer (thickness 25 μm, material polyester) and dried to give a second resin 3 μm thick. A layer was made. Next, the second resin layer and the masking layer are placed on the printing substrate contact surface of the screen printing mask made of the metal material formed with the first resin layer, using a laminator at 100 ° C. and 0.1 MPa. Thermocompression bonding was performed under the following conditions.

Figure 0005255224
Figure 0005255224

次いで、第2樹脂層除去液として1質量%の炭酸ナトリウム水溶液を用いて、スクリーン印刷用マスクのスキージ面側から、シャワースプレー(スプレー圧0.1MPa)を当てて、開口部の第2樹脂層を溶解除去した。水洗後、水分を冷風にて乾燥させた。マスキング層を除去し、次に、吸引密着機構を有する焼付用高圧水銀灯光源装置(商品名:ユニレックURM300、ウシオ電機株式会社製)を用いて、500秒間紫外線を照射した。さらに、120℃のオーブン中で30分間加熱し、第2樹脂層の硬化処理を施した。以上のようにして、図1に例示した金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁に第1樹脂層が形成してあり、かつこのスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面の非開口部に第1樹脂層と第2樹脂層がこの順に積層して形成されているスクリーン印刷用マスクを作製した。第2樹脂層の開口部を光学顕微鏡で観察したところ、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部との位置ずれは無かった。また、図17で示したdは0μmであった。   Next, using a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution as the second resin layer removing liquid, shower spray (spray pressure 0.1 MPa) is applied from the squeegee surface side of the screen printing mask, and the second resin layer in the opening portion. Was dissolved and removed. After washing with water, the water was dried with cold air. The masking layer was removed, and then irradiated with ultraviolet rays for 500 seconds using a high pressure mercury lamp light source device for baking (trade name: UNIREC URM300, manufactured by USHIO INC.) Having a suction adhesion mechanism. Furthermore, the second resin layer was cured by heating in an oven at 120 ° C. for 30 minutes. As described above, the first resin layer is formed on the inner wall of the opening of the screen printing mask made of the metal material illustrated in FIG. 1, and the non-opening of the contact surface of the substrate to be printed of this screen printing mask A screen printing mask having a first resin layer and a second resin layer laminated in this order on the part was produced. When the opening of the second resin layer was observed with an optical microscope, there was no displacement from the opening of the screen printing mask made of a metal material. Further, d shown in FIG. 17 was 0 μm.

実施例2〜10
第1樹脂層の厚み、バイアス電圧、第2樹脂層の厚みを表2のように変えた以外は、実施例1と同様にして、実施例2〜10のスクリーン印刷用マスクを作製した。実施例2〜10のスクリーン印刷用マスクにおいて、第2樹脂層の開口部を光学顕微鏡で観察したところ、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部との位置ずれは無かった。また、図17で示したdを表2に示した。
Examples 2-10
Screen printing masks of Examples 2 to 10 were produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the first resin layer, the bias voltage, and the thickness of the second resin layer were changed as shown in Table 2. In the screen printing masks of Examples 2 to 10, when the opening of the second resin layer was observed with an optical microscope, there was no positional deviation from the opening of the screen printing mask made of a metal material. Further, d shown in FIG. 17 is shown in Table 2.

Figure 0005255224
Figure 0005255224

実施例11
金属材料からなるスクリーン印刷用マスクへの第2樹脂層の形成
厚さ80μmのステンレス板(SUS304)にYAGレーザーで多数の開口部(円形、直径200μm)を形成し、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製した。表1に示す成分からなる塗布液をマスキング層(厚み25μm、材質ポリエステル)に塗布し、乾燥することで、厚み3μmの第2樹脂層を作製した。金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に、第2樹脂層とマスキング層を、ラミネーターを用いて100℃、0.1MPaの条件にて熱圧着した。
Example 11
Formation of second resin layer on screen printing mask made of metal material A large number of openings (circular, diameter 200 μm) are formed with a YAG laser on an 80 μm thick stainless steel plate (SUS304) for screen printing made of metal material A mask was prepared. A coating solution comprising the components shown in Table 1 was applied to a masking layer (thickness 25 μm, material polyester) and dried to prepare a second resin layer having a thickness of 3 μm. The second resin layer and the masking layer were thermocompression bonded to the printed substrate contact surface of the screen printing mask made of a metal material using a laminator at 100 ° C. and 0.1 MPa.

次に、第2樹脂層除去液として1質量%の炭酸ナトリウム水溶液を用いて、スクリーン印刷用マスクのスキージ面側からシャワースプレー(スプレー圧0.1MPa)を当てて、開口部の第2樹脂層を溶解除去した。水洗後、水分を冷風にて乾燥させた。マスキング層を除去した後、吸引密着機構を有する焼付用高圧水銀灯光源装置(ユニレックURM300、ウシオ電機株式会社製)を用いて、500秒間紫外線を照射した。さらに、120℃のオーブン中で30分間加熱し、第2樹脂層の硬化処理を施した。第2樹脂層の開口部を光学顕微鏡で観察したところ、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部との位置ずれは無かった。   Next, using a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution as the second resin layer removing liquid, shower spray (spray pressure 0.1 MPa) is applied from the squeegee surface side of the screen printing mask, and the second resin layer in the opening portion. Was dissolved and removed. After washing with water, the water was dried with cold air. After removing the masking layer, ultraviolet rays were irradiated for 500 seconds using a high pressure mercury lamp light source device for baking (Unirec URM300, manufactured by USHIO INC.) Having a suction adhesion mechanism. Furthermore, the second resin layer was cured by heating in an oven at 120 ° C. for 30 minutes. When the opening of the second resin layer was observed with an optical microscope, there was no displacement from the opening of the screen printing mask made of a metal material.

金属材料からなるスクリーン印刷用マスクへの第1樹脂層の形成
上記で作製した第2樹脂層を形成してある金属材料からなるスクリーン印刷用マスクのスキージ面に、市販のネガ型ドライフィルムフォトレジスト(商品名:サンフォートAQ2575、旭化成エレクトロニクス株式会社製)を、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクのスキージ面に、ラミネーターを用いて、80℃、0.1MPaの圧力で貼り付け、ドライフィルムフォトレジスト層とポリエチレンテレフタレート層とからなる保護シートを形成した。次いで、図5に示す構造を有する電着装置を用いて、スクリーン印刷用マスクの開口部の内壁および被印刷基板接触面上の第2樹脂層上に、実施例1で作製した高絶縁性媒体中に分散した樹脂粒子をバイアス電圧30Vの条件で電着した。次いで、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)を冷風で乾燥させた後、80℃、3分の条件で樹脂粒子をフィルム化させて、第1樹脂層を形成した。第1樹脂層の厚みを測定したところ、0.1μmであった。次に、保護シートとして使用したネガ型ドライフィルムフォトレジストのポリエチレンテレフタレート層を手で剥がした後、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)にてスプレー圧0.1MPaの条件下、ドライフィルムフォトレジスト層を溶出除去した。続いて、水洗後、水分を冷風で除去し、180℃、2時間の条件下にさらして、第1樹脂層を加熱硬化させた。これにより、図2に例示した金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁に第1樹脂層が形成してあり、かつこのスクリーン印刷用マスクの被基板接触面の非開口部に第2樹脂層と第1樹脂層がこの順に積層して形成されているスクリーン印刷用マスクを作製した。図18に示したdを測定したところ、0μmであった。
Formation of first resin layer on screen printing mask made of metal material Commercially available negative dry film photoresist on the squeegee surface of the screen printing mask made of metal material on which the second resin layer prepared above is formed (Product name: Sunfort AQ2575, manufactured by Asahi Kasei Electronics Co., Ltd.) is applied to a squeegee surface of a mask for screen printing made of a metal material using a laminator at a pressure of 80 ° C. and 0.1 MPa, and a dry film photoresist. A protective sheet comprising a layer and a polyethylene terephthalate layer was formed. Next, using the electrodeposition apparatus having the structure shown in FIG. 5, the highly insulating medium produced in Example 1 was formed on the inner wall of the opening of the screen printing mask and the second resin layer on the printed substrate contact surface. The resin particles dispersed therein were electrodeposited under the condition of a bias voltage of 30V. Subsequently, IP1620 (trade name, manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.) was dried with cold air, and then the resin particles were formed into a film under conditions of 80 ° C. for 3 minutes to form a first resin layer. It was 0.1 micrometer when the thickness of the 1st resin layer was measured. Next, the polyethylene terephthalate layer of the negative type dry film photoresist used as a protective sheet was peeled off by hand, and then dry film photo was applied with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution (30 ° C.) under a spray pressure of 0.1 MPa. The resist layer was eluted and removed. Subsequently, after washing with water, the moisture was removed with cold air, and the first resin layer was cured by heating under conditions of 180 ° C. for 2 hours. Thereby, the first resin layer is formed on the inner wall of the opening portion of the screen printing mask made of the metal material illustrated in FIG. 2, and the second resin layer is formed on the non-opening portion of the contact surface of the substrate for the screen printing mask. A screen printing mask in which the resin layer and the first resin layer were laminated in this order was produced. When d shown in FIG. 18 was measured, it was 0 μm.

実施例12〜20
第1樹脂層の厚み、バイアス電圧、第2樹脂層の厚みを表3のように変えた以外は、実施例11と同様にして、実施例12〜20のスクリーン印刷用マスクを作製した。実施例12〜20のスクリーン印刷用マスクにおいて、第2樹脂層の開口部を光学顕微鏡で観察したところ、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部との位置ずれは無かった。また、図18で示したdを表3に示した。
Examples 12-20
Screen printing masks of Examples 12 to 20 were produced in the same manner as Example 11 except that the thickness of the first resin layer, the bias voltage, and the thickness of the second resin layer were changed as shown in Table 3. In the screen printing masks of Examples 12 to 20, when the opening of the second resin layer was observed with an optical microscope, there was no positional deviation from the opening of the screen printing mask made of a metal material. Further, d shown in FIG. 18 is shown in Table 3.

Figure 0005255224
Figure 0005255224

スクリーン印刷用マスクの印刷試験
実施例1〜20のスクリーン印刷用マスクを利用して、スキージによって、ペースト材料としてクリーム半田を使用し、プリント配線板へ繰り返しスクリーン印刷した。実施例2〜8および実施例12〜18のスクリーン印刷用マスクでは、200回の繰り返しであってもクリーム半田の抜け不良が発生せず、良好な形状の半田端子パターンの形成ができた。実施例1、9、10、11、19、20のスクリーン印刷用マスクでは、100回繰り返しまでは良好であったが、101〜120回目の間で、一部ペースト材料の抜け不良および滲みが発生し始めた。
Screen printing mask printing test Using the screen printing masks of Examples 1 to 20, cream solder was used as a paste material with a squeegee, and screen printing was repeated on a printed wiring board. In the screen printing masks of Examples 2 to 8 and Examples 12 to 18, no defects in cream solder occurred even after 200 repetitions, and a solder terminal pattern having a good shape could be formed. The screen printing masks of Examples 1, 9, 10, 11, 19, and 20 were good up to 100 repetitions, but some paste material omissions and bleeding occurred between 101 and 120th. Began to do.

(比較例1)
厚さ80μmのステンレス板(SUS304)にYAGレーザーで多数の開口部(円形、直径200μm)を形成し、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製した。次に、ラミネーターを用いて、市販のネガ型ドライフィルムフォトレジスト(商品名:サンフォートAQ2575、旭化成エレクトロニクス株式会社製)を、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクのスキージ面に、ラミネーターを用いて、80℃、0.1MPaの圧力で貼り付け、ドライフィルムフォトレジスト層とポリエチレンテレフタレート層とからなる保護シートを形成した。次いで、図5に示す構造を有する電着装置を用いて、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の内壁および被印刷基板接触面に、上記で作製した高絶縁性媒体中に分散した樹脂粒子を電着した。次いで、IP1620(商品名、出光興産株式会社製)を冷風で乾燥させた後、80℃3分の条件で樹脂粒子をフィルム化させた。フィルム状となった第1樹脂層の厚みを測定したところ、4μmであった。次に、ネガ型ドライフィルムフォトレジストのポリエチレンテレフタレート層を手で剥がしたのち、1質量部の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)にてスプレー圧0.1MPaの条件下、ドライフィルムフォトレジスト層を溶出除去した。続いて、水洗後、水分を冷風で除去し、180℃、2時間の条件下にさらし、第1樹脂層を加熱硬化させた。これにより、開口部および被印刷基板接触面に第1樹脂層が形成されているが、被印刷基板接触面に第2樹脂層は形成されていない比較例1のスクリーン印刷用マスクが得られた。
(Comparative Example 1)
A large number of openings (circular, diameter 200 μm) were formed on a stainless steel plate (SUS304) having a thickness of 80 μm with a YAG laser, and a screen printing mask made of a metal material was produced. Next, using a laminator, a commercially available negative-type dry film photoresist (trade name: Sunfort AQ2575, manufactured by Asahi Kasei Electronics Co., Ltd.) is used on the squeegee surface of a mask for screen printing made of a metal material, using a laminator, The protective sheet which consists of a dry film photoresist layer and a polyethylene terephthalate layer was affixed on 80 degreeC and the pressure of 0.1 Mpa. Next, using the electrodeposition apparatus having the structure shown in FIG. 5, the resin dispersed in the highly insulating medium produced above on the inner wall of the opening of the screen printing mask made of a metal material and the contact surface of the substrate to be printed The particles were electrodeposited. Subsequently, IP1620 (trade name, manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd.) was dried with cold air, and then the resin particles were formed into a film under conditions of 80 ° C. for 3 minutes. It was 4 micrometers when the thickness of the 1st resin layer used as the film form was measured. Next, after removing the polyethylene terephthalate layer of the negative dry film photoresist by hand, the dry film photoresist layer is eluted and removed with 1 mass part of sodium carbonate aqueous solution (30 ° C.) under a spray pressure of 0.1 MPa. did. Subsequently, after washing with water, the water was removed with cold air, and exposed to conditions of 180 ° C. for 2 hours to heat and cure the first resin layer. Thereby, although the 1st resin layer was formed in the opening part and the to-be-printed substrate contact surface, the mask for screen printing of the comparative example 1 by which the 2nd resin layer was not formed in the to-be-printed substrate contact surface was obtained. .

比較例1のスクリーン印刷用マスクを利用して、スキージによって、ペースト材料としてクリーム半田を、プリント配線板へ繰り返しスクリーン印刷したところ、ペースト材料の抜け性は良好であったが、繰り返し30回目からペースト材料の滲みが発生し始めた。   Using the screen printing mask of Comparative Example 1, cream solder as a paste material was repeatedly screen-printed on a printed wiring board with a squeegee. Material bleeding began to occur.

(比較例2)
表2に示す成分からなる塗布液をマスキング層(厚み25μm、材質ポリエステル)に塗布し、乾燥することで、厚み10μmの第2樹脂層を作製した。次に、厚さ80μmのステンレス板(SUS304)にYAGレーザーで多数の開口部(円形、直径200μm)を形成し、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクを作製した。次に、被印刷基板接触面に、第2樹脂層をラミネーターを用いて熱圧着した。次いで、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)の第2樹脂層除去液を用いて、スクリーン印刷用マスクのスキージ面側よりシャワースプレーを当てて、開口部の第2樹脂層を溶解除去した。水洗後、水洗水を冷風にて乾燥させた後、マスキング層を除去した。続いて、吸引密着機構を有する焼付用高圧水銀灯光源装置(ユニレックURM300、ウシオ電機株式会社製)を用いて、500秒間紫外線を照射した。さらに、120℃のオーブン中で30分間加熱し、第2樹脂層の硬化処理を施した。第2樹脂層の開口部を光学顕微鏡で観察したところ、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部との位置ずれは無かった。第2樹脂層の開口部と金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの開口部の大きさは同一であった。これにより、被印刷基板接触面に第2樹脂層が形成されているが、開口部および被印刷基板接触面に第1樹脂層が形成されていない比較例2のスクリーン印刷用マスクを作製した。
(Comparative Example 2)
A coating solution comprising the components shown in Table 2 was applied to a masking layer (thickness 25 μm, material polyester) and dried to prepare a second resin layer having a thickness of 10 μm. Next, a large number of openings (circular, diameter: 200 μm) were formed on a stainless steel plate (SUS304) having a thickness of 80 μm with a YAG laser, thereby producing a screen printing mask made of a metal material. Next, the second resin layer was thermocompression bonded to the printed substrate contact surface using a laminator. Next, shower spray was applied from the squeegee surface side of the screen printing mask using a second resin layer removing liquid of 1% by mass aqueous sodium carbonate (30 ° C.) to dissolve and remove the second resin layer in the opening. . After washing with water, the washing water was dried with cold air, and then the masking layer was removed. Subsequently, ultraviolet rays were irradiated for 500 seconds using a baking high-pressure mercury lamp light source device (Unirec URM300, manufactured by USHIO INC.) Having a suction adhesion mechanism. Furthermore, the second resin layer was cured by heating in an oven at 120 ° C. for 30 minutes. When the opening of the second resin layer was observed with an optical microscope, there was no displacement from the opening of the screen printing mask made of a metal material. The size of the opening of the second resin layer and the opening of the screen printing mask made of a metal material were the same. Thereby, although the 2nd resin layer was formed in the to-be-printed substrate contact surface, the screen printing mask of the comparative example 2 by which the 1st resin layer was not formed in the opening part and the to-be-printed substrate contact surface was produced.

比較例2のスクリーン印刷用マスクを利用して、スキージによって、ペースト材料としてクリーム半田を繰り返しスクリーン印刷したところ、ペースト材料の滲みは発生しなかったが、繰り返し30回目からペースト材料の抜け不良が発生し始めた。   When the screen solder was repeatedly screen-printed as paste material using a screen printing mask of Comparative Example 2 with a squeegee, no bleeding of the paste material occurred. Began to do.

本発明のスクリーン印刷用マスクおよびスクリーン印刷用マスクの作製方法は、広くスクリーン印刷の用途に適用可能であり、例えば、ペースト材料としては、導電性材料、絶縁性材料、色材、封止材料、接着材料、レジスト材料、処理薬剤等を、スクリーン印刷によって任意の被印刷基板上にパターン形成を行う用途に適用できる。   The screen printing mask and the method for producing the screen printing mask of the present invention are widely applicable to screen printing applications. For example, as a paste material, a conductive material, an insulating material, a color material, a sealing material, An adhesive material, a resist material, a processing agent, and the like can be applied to a use for forming a pattern on an arbitrary substrate to be printed by screen printing.

本発明のスクリーン印刷用マスクの断面図。Sectional drawing of the mask for screen printing of this invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの断面図。Sectional drawing of the mask for screen printing of this invention. 金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの断面図。Sectional drawing of the mask for screen printing which consists of metal materials. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 電着装置の概念図。The conceptual diagram of an electrodeposition apparatus. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 電着装置の概念図。The conceptual diagram of an electrodeposition apparatus. 本発明のスクリーン印刷用マスクの作製方法の一工程図。FIG. 6 is a process diagram of a method for manufacturing a screen printing mask of the present invention. 樹脂層の突起、隔壁、埋まりの概念図。The conceptual diagram of the protrusion of a resin layer, a partition, and filling. 本発明のスクリーン印刷用マスクの開口部の断面図。Sectional drawing of the opening part of the mask for screen printing of this invention. 本発明のスクリーン印刷用マスクの開口部の断面図。Sectional drawing of the opening part of the mask for screen printing of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 スクリーン印刷用マスク
2 第1樹脂層
3 スキージ面
4 被印刷基板接触面
5 開口部
6 第2樹脂層
7 保護シート
9 樹脂層の突起
10 隔壁
11 埋まり
12 電極
13 樹脂粒子
14 マスキング層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Screen printing mask 2 1st resin layer 3 Squeegee surface 4 Printed substrate contact surface 5 Opening 6 Second resin layer 7 Protective sheet 9 Protrusion of resin layer 10 Partition 11 Filled 12 Electrode 13 Resin particle 14 Masking layer

Claims (2)

少なくとも開口部および被印刷基板接触面に樹脂層を有する金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの作製方法であって、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクに高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより、開口部の内壁および被印刷基板接触面に第1樹脂層を形成する工程、被印刷基板接触面の第1樹脂層上に第2樹脂層及びマスキング層をラミネートによって形成する工程、スキージ面から第2樹脂層除去液を供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法。A method for producing a screen printing mask made of a metal material having a resin layer at least in an opening and a printed substrate contact surface, wherein the resin particles dispersed in a highly insulating medium are applied to the screen printing mask made of a metal material. A step of forming a first resin layer on the inner wall of the opening and the printed substrate contact surface by electrodeposition, and a second resin layer and a masking layer are formed on the first resin layer on the printed substrate contact surface by lamination. A method for producing a mask for screen printing, comprising a step of supplying a second resin layer removing liquid from a squeegee surface and removing the second resin layer in the opening. 少なくとも開口部および被基板接触面に樹脂層を有する金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの作製方法であって、金属材料からなるスクリーン印刷用マスクの被印刷基板接触面に第2樹脂層及びマスキング層をラミネートによって形成する工程、スキージ面から第2樹脂層除去液を供給して開口部の第2樹脂層を除去する工程、高絶縁性媒体中に分散された樹脂粒子を電着することにより、開口部の内壁および被印刷基板接触面の第2樹脂層上に第1樹脂層を形成する工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷用マスクの作製方法。A method for producing a screen printing mask made of a metal material having a resin layer at least in an opening and a substrate contact surface, wherein the second resin layer and the masking layer are formed on the substrate contact surface of the screen printing mask made of a metal material. Forming a layer by laminating, supplying a second resin layer removing liquid from the squeegee surface to remove the second resin layer in the opening, and electrodepositing the resin particles dispersed in the highly insulating medium, A method for producing a mask for screen printing, comprising a step of forming a first resin layer on an inner wall of an opening and a second resin layer on a printed substrate contact surface.
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