JP5255024B2 - Radial antenna and plasma processing apparatus using the same - Google Patents
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Description
本発明は、ラジアルアンテナ及びそれを用いたプラズマ処理装置に関する。 The present invention relates to a radial antenna and a plasma processing apparatus using the same.
半導体装置の製造において、酸化膜の形成や半導体層の結晶成長、エッチング、またアッシングなどの処理を行うために、プラズマ処理装置が多用されている。これらのプラズマ処理装置の中に、ラジアルアンテナを介してマイクロ波を処理容器内に導入し高密度プラズマを発生させるマイクロ波プラズマ処理装置がある。このマイクロ波プラズマ処理装置はプラズマガスの圧力が比較的低くても安定してプラズマを生成することができるので、用途が広いという特色がある。 In the manufacture of semiconductor devices, plasma processing apparatuses are frequently used to perform processes such as oxide film formation, semiconductor layer crystal growth, etching, and ashing. Among these plasma processing apparatuses, there is a microwave plasma processing apparatus that generates high-density plasma by introducing a microwave into a processing container via a radial antenna. This microwave plasma processing apparatus can generate plasma stably even if the pressure of the plasma gas is relatively low, and thus has a feature that it is widely used.
図7は、このようなマイクロ波プラズマ処理装置に従来から用いられているラジアルアンテナの一例を示す構成図である。ここで、図7(a)はラジアルアンテナの縦断面を示す図、図7(b)は図7(a)におけるVIIb−VIIb′線方向の横断面を示す図である。プラズマ処理装置に従来から用いられているラジアルアンテナ130Aは、図7(a)に示すように、ラジアル導波路133を形成する互いに平行な2枚の導電板131,132と、これらの導電板131,132の周縁を接続するリング部材134とから構成される。導電板132の中央には、マイクロ波発生器(図示せず)からのマイクロ波が導入されるマイクロ波導入口135が開口している。導電板131には、ラジアル導波路133内を伝搬するマイクロ波を処理容器(図示せず)に放射するためのスロット136が、図7(b)に示すように多数形成されている。リング部材134は導電体で形成されている。
FIG. 7 is a configuration diagram showing an example of a radial antenna conventionally used in such a microwave plasma processing apparatus. Here, FIG. 7A is a diagram showing a longitudinal section of the radial antenna, and FIG. 7B is a diagram showing a transverse section in the direction of line VIIb-VIIb ′ in FIG. 7A. As shown in FIG. 7A, a
マイクロ波導入口135から導入されたマイクロ波は、ラジアル導波路133の中央部から周縁部に向かって放射状に伝搬しながら、多数のスロット136から処理容器内に少しずつ放射されてゆく。一方、ラジアル導波路133の周縁部に至ったマイクロ波は、リング部材134に反射されて、ラジアル導波路133の中央部に向かって戻ることになる。マイクロ波は、このようにラジアル導波路133の中央部と周縁部との間を往復伝搬しながら、多数のスロット136から処理容器内に徐々に放射されてゆき、プラズマ生成に利用される。しかし、マイクロ波がラジアル導波路133内で反射を繰り返すうちに複数のモードの定在波が形成されるので、ラジアル導波路133内に複雑な電磁界モードが生成される。このため、ラジアルアンテナ130Aから処理容器への放射は不均一となり、均一なプラズマを生成することができなかった。
The microwave introduced from the
図8は、マイクロ波プラズマ処理装置に従来から用いられているラジアルアンテナの他の例を示す構成図であり、図8(a)は縦断面図、図8(b)はVIIIb−VIIIb′線方向の横断面図である。図8に示すラジアルアンテナ130Bは、図7に示したラジアルアンテナ130Aを改良したものであり、リング部材134の内壁にカーボンを含むセラミックスなどからなる電磁界吸収材139が張り付けてある。この電磁界吸収材139は、ラジアル導波路133の周縁部に至ったマイクロ波の大部分を吸収するので、ラジアル導波路133の中央部へはほとんど反射されない。したがって、ラジアル導波路133内に複雑な電磁界モードはできないので、処理容器への放射が均一となり、プラズマを均一に生成することができる。
8A and 8B are configuration diagrams showing another example of a radial antenna conventionally used in a microwave plasma processing apparatus. FIG. 8A is a longitudinal sectional view, and FIG. 8B is a line VIIIb-VIIIb ′. FIG. A
しかし、図8に示した従来からあるラジアルアンテナ130Bでは、ラジアル導波路133の周縁部で吸収されるマイクロ波をプラズマ生成に利用できないので、プラズマの生成効率が悪いという問題があった。また、電磁界吸収材はマイクロ波吸収によって発熱するので、ラジアル導波路133の周縁部、特にリング部材134が局所的に加熱されて変形してしまうという問題があった。本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、プラズマ生成効率を犠牲にすることなく、また余分な発熱を生じることなく、プラズマの均一性を向上することにある。
However, the conventional
このような目的を達成するために、本発明によるラジアルアンテナは、複数のスロットが形成された第1の導電板と、マイクロ波導入口を有し第1の導電板に対向配置された第2の導電板と、第1及び第2の導電板の周縁を接続するリング部材と、第1及び第2の導電板により形成されるラジアル導波路内に平面視放射状に配置されて第1の導電板と第2の導電板との間に延在する複数の導電性仕切り板を備えたことを特徴とする。 In order to achieve such an object, a radial antenna according to the present invention includes a first conductive plate in which a plurality of slots are formed, and a second conductive plate having a microwave inlet and disposed opposite to the first conductive plate. A first conductive plate arranged radially in a plan view in a radial waveguide formed by a conductive plate, a ring member connecting the peripheral edges of the first and second conductive plates, and the first and second conductive plates And a plurality of conductive partition plates extending between the second conductive plate and the second conductive plate.
ラジアル導波路内は放射状に配置された複数の仕切り板によって仕切られているので、少なくとも周方向における定在波の発生を抑制することができ、ラジアル導波路周縁部において反射されたマイクロ波による複雑な電磁界モードの生成を防ぐことができる。このため、ラジアル導波路周縁部に電磁界吸収材を設ける必要がない。よって、ラジアル導波路周縁部において反射されたマイクロ波も、第1の導電板に形成されたスロットから放射され、プラズマ生成に寄与する。また、電磁界吸収材を設ける必要がないので、余分な発熱は生じない。 Since the radial waveguide is partitioned by a plurality of radially arranged partition plates, it is possible to suppress the occurrence of standing waves at least in the circumferential direction, and it is complicated by microwaves reflected at the peripheral edge of the radial waveguide. Generation of an electromagnetic field mode can be prevented. For this reason, it is not necessary to provide an electromagnetic field absorber at the peripheral edge of the radial waveguide. Therefore, the microwave reflected at the peripheral edge portion of the radial waveguide is also emitted from the slot formed in the first conductive plate and contributes to plasma generation. Further, since it is not necessary to provide an electromagnetic field absorber, no extra heat is generated.
ここで、隣り合う仕切り板の間隔を、ラジアル導波路内を伝搬するマイクロ波の略半波長に相当する長さ以上に設定することが望ましい。このように設定することにより、仕切り板に挟まれた領域をマイクロ波が通過しやすくなる。また、隣り合う仕切り板の間隔を、ラジアル導波路内を伝搬するマイクロ波の略1波長に相当する長さ未満に設定するとよい。このように設定することにより、仕切り板に挟まれた領域に複数のモードの定在波が混在することはないので、この領域に複雑な電磁界モードは生成されない。 Here, it is desirable to set the interval between the adjacent partition plates to be equal to or longer than the length corresponding to the substantially half wavelength of the microwave propagating in the radial waveguide. By setting in this way, the microwave easily passes through the region sandwiched between the partition plates. In addition, the interval between the adjacent partition plates may be set to be less than a length corresponding to approximately one wavelength of the microwave propagating in the radial waveguide. By setting in this way, a standing wave of a plurality of modes is not mixed in the region sandwiched between the partition plates, so that a complicated electromagnetic field mode is not generated in this region.
また、仕切り板のそれぞれの平面形状は、直線状をしていてもよいし、リング部材に近い側がリング部材の内周と同一方向に湾曲していてもよい。また、仕切り板は放射状に配置されるが、第1の導電板に形成されるスロットを避けて配置されていることが望ましい。このように仕切り板を配置すれば、各スロットによる放射が仕切り板よって妨げられることはない。また、マイクロ波導入口は、第2の導電板の中央に形成されていることが望ましい。このマイクロ波導入口へは、同軸線路でマイクロ波を導入してもよいし、円筒導波管で導入してもよい。また、本発明のプラズマ処理装置は、プラズマが生成される容器内にマイクロ波を供給するアンテナ手段として、上述したラジアルアンテナを用いることを特徴とする。 Each planar shape of the partition plate may be linear, or the side close to the ring member may be curved in the same direction as the inner periphery of the ring member. In addition, the partition plates are arranged radially, but it is desirable to arrange them so as to avoid the slots formed in the first conductive plate. If the partition plate is arranged in this way, radiation by each slot is not hindered by the partition plate. Moreover, it is desirable that the microwave inlet is formed at the center of the second conductive plate. The microwave may be introduced into the microwave introduction port by a coaxial line or may be introduced by a cylindrical waveguide. The plasma processing apparatus of the present invention is characterized in that the above-described radial antenna is used as an antenna means for supplying microwaves into a vessel in which plasma is generated.
また、本発明のプラズマ処理装置は、処理容器の側壁上面とアンテナ手段との間にできる空間を塞ぐシールド手段を、その内面から処理容器の側壁内面までの距離が、上記空間におけるマイクロ波の波長の略N/2倍(Nは自然数)となるように配置する。このシールド手段を配置する位置は、上記空間を構成する部材の比誘電率を考慮して決定される。これにより、処理容器の側壁内面の位置が上記空間に形成される定在波の節に当たるので、処理容器の側壁内面の位置における電位が零となり、この位置で異常放電は生じない。 In the plasma processing apparatus of the present invention, the shielding means for closing the space formed between the upper surface of the side wall of the processing container and the antenna means has a distance from the inner surface to the inner surface of the side wall of the processing container. Is arranged to be approximately N / 2 times (N is a natural number). The position where this shield means is arranged is determined in consideration of the relative permittivity of the members constituting the space. As a result, the position of the inner surface of the side wall of the processing container hits the node of the standing wave formed in the space, so that the potential at the position of the inner surface of the side wall of the processing container becomes zero, and no abnormal discharge occurs at this position.
このプラズマ処理装置は、処理容器とアンテナ手段との間に配置された誘電体板と、処理容器の側壁上面及び誘電体板の接合部に介在して接合部を密閉するリング状のシール手段とを更に備え、このシール手段が、シールド手段の内面から上記空間におけるマイクロ波の波長のM/2倍(MはN以下の自然数)に相当する長さを隔てた位置の近傍に配置されるようにしてもよい。ここで「近傍」とは、略(2M+1)/4倍の位置を避ける位置であればよく、M/2倍の位置に配置されることが好ましい。この位置における定在波による電磁界は弱いので、この電磁界によるシール手段の損傷を抑制することがでる。 The plasma processing apparatus includes a dielectric plate disposed between the processing vessel and the antenna unit, and a ring-shaped sealing unit that seals the junction between the upper surface of the sidewall of the processing vessel and the junction of the dielectric plate. The sealing means is arranged in the vicinity of a position separated from the inner surface of the shielding means by a length corresponding to M / 2 times the wavelength of the microwave in the space (M is a natural number equal to or less than N). It may be. Here, the “neighborhood” may be a position that avoids a position of approximately (2M + 1) / 4 times, and is preferably arranged at a position of M / 2 times. Since the electromagnetic field due to the standing wave at this position is weak, it is possible to suppress damage to the sealing means due to this electromagnetic field.
本発明では、ラジアル導波路内が、放射状に配置された複数の仕切り板によって仕切られているので、ラジアル導波路周縁部において反射されたマイクロ波による複雑な電磁界モードの生成を防ぐことができる。このため、ラジアル導波路周縁部に電磁界吸収材を設けなくても処理容器への放射が均一となり、プラズマを均一に生成することができる。電磁界吸収材を設けないのであれば、ラジアル導波路周縁部において反射されたマイクロ波をプラズマ生成に利用できるので、効率よくプラズマを生成できる。また、余分な発熱が生じることもない。このように本発明では、プラズマ生成効率を犠牲にすることなく、また余分な発熱を生じることなく、プラズマの均一性を向上することができる。 In the present invention, since the inside of the radial waveguide is partitioned by a plurality of radially arranged partition plates, it is possible to prevent the generation of complex electromagnetic field modes due to the microwaves reflected at the peripheral edge of the radial waveguide. . For this reason, even if an electromagnetic field absorber is not provided at the peripheral portion of the radial waveguide, radiation to the processing container becomes uniform, and plasma can be generated uniformly. If the electromagnetic field absorbing material is not provided, the microwave reflected at the peripheral edge of the radial waveguide can be used for plasma generation, so that plasma can be generated efficiently. Further, no excessive heat generation occurs. As described above, in the present invention, plasma uniformity can be improved without sacrificing plasma generation efficiency and without generating excessive heat.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。ここでは、本発明によるラジアルアンテナを用いたプラズマ処理装置をエッチング装置に適用した場合を例に説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態であるエッチング装置の構成を示す図である。この図1には、一部構成について断面構造が示されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Here, a case where a plasma processing apparatus using a radial antenna according to the present invention is applied to an etching apparatus will be described as an example.
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of an etching apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a cross-sectional structure of a partial configuration.
図1に示したエッチング装置は、上部が開口した円筒形状の処理容器11を有している。この処理容器11は、アルミニウムなどの導電部材で形成されている。処理容器11の底部には、真空ポンプ(図示せず)に連通する排気口14が設けられており、処理容器11内部を所望の真空度にすることができる。また、処理容器11の側壁には、処理容器11内にArなどのプラズマガスを導入するためのプラズマガス供給ノズル15と、エッチングガスを導入するための処理ガス供給ノズル16とが上下に設けられている。これらのノズル15,16は石英パイプなどで構成されている。
The etching apparatus shown in FIG. 1 has a
処理容器11内には、エッチング対象の基板(被処理体)21が上面に載置される載置台22が収容され、処理容器11の底部に絶縁板24を介して固設された支持台23上に固定されている。この載置台22はまた、マッチングボックス25を介してバイアス用の高周波電源26に接続されている。処理容器11の上部開口には、平板状に成形された誘電板13が水平に配置されている。この誘電板13には、厚さ20〜30mm程度の石英ガラス又は(Al2O3又はAlNなどの)セラミックなどが用いられる。処理容器11と誘電板13との接合部はOリングなどのシール部材12を介在させており、これにより処理容器11内部の気密性を確保している。
In the
また、誘電板13上部にはラジアルアンテナ30が放射面(後述する導電板31)を下にして配設されている。このラジアルアンテナ30は、誘電板13を介して処理容器11内にマイクロ波MWを供給するアンテナ手段である。誘電板13は、ラジアルアンテナ30の放射面に対向配置され、この放射面全域を覆うことにより、処理容器11内で生成されるプラズマからラジアルアンテナ30を保護する。また、誘電板13およびラジアルアンテナ30の周囲はシールド材17によって覆われている。
A
ラジアルアンテナ30は、上記放射面を構成する第1の導電板31と、この導電板31に対して上方位置に対向配置された第2の導電板32と、導電板31,32の周縁を接続するリング部材34と、2枚の導電板31,32により形成されるラジアル導波路33内に配置された複数の仕切り板37とから構成される。このような構成のラジアルアンテナ30は、内部に複数の仕切り板37が配置された円筒形状をしている。導電板31,32、リング部材34及び仕切り板37は、銅又はアルミニウムなどの導電体により形成される。なお、図8に示した従来のラジアルアンテナ130Bと異なり、リング部材34の内壁に電磁界吸収材は取り付けられていない。
The
導電板32の中央には、マイクロ波MWが導入されるマイクロ波導入口35が開口している。また、放射面を構成する導電板31には、スロット36が多数形成されている。ラジアルアンテナ30の中央部には、同軸線路41が接続されている。この同軸線路41の外部導体41Aは導体板32のマイクロ波導入口35に接続されている。また、同軸線路41の中心導体41Bの先端は円錐状に成形され、この円錐の底部が導体板31の中心に接続されている。
A
このようにラジアルアンテナ30に接続された同軸線路41は、矩形・同軸変換器42及び矩形導波管43を介して、マイクロ波発生器45に接続されている。このマイクロ波発生器45は、例えば2.45GHzのマイクロ波MWを発生するものである。なお、マイクロ波MWの周波数は1GHz〜10数GHzの範囲内であればよい。また、矩形導波管43の途中にインピーダンスのマッチングを行うマッチング回路44を設けることにより、電力の使用効率を向上させることができる。なお、マイクロ波発生器45からラジアルアンテナ30のマイクロ波導入口35までの間を、円筒導波管で接続してもよい。
The
図2は、ラジアルアンテナ30の断面図であり、図1におけるII−II′線方向の断面を示している。導電板31に形成されるスロット36は、図2に示すように同心円状に多数形成される。径方向におけるスロット36間のピッチは、ラジアル導波路33内におけるマイクロ波MWの波長λg に基づいて設定される。いわゆる放射型のアンテナを実現する場合には、上記ピッチをλg に相当する長さ程度に設定する。また、いわゆるリーク型のアンテナを実現する場合には、上記ピッチをλg /20〜λg /30に相当する長さ程度に設定する。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the
ラジアル導波路33の周縁に近い領域には、スロット36を避けて、8個の仕切り板37が配置されている。各仕切り板37の平面形状は直線状をしており、ラジアル導波路33の中心Cを中心とする平面視放射状に等配されている。各仕切り板37の一端はリング部材34に接続されている。これらの仕切り板37は図1に示すようにリング部材34と同じ高さを有して導電板31,32間に延在しており、図2に示すようにラジアル導波路33の周縁に近い領域を8つに仕切っている。なお、上述したようにスロット36を避けて仕切り板37を配置することにより、スロット36から設計どおりの電界を放射できる。
In the region near the periphery of the
各仕切り板37の厚みは1〜3mm程度である。図2に示す仕切り板37の厚みは、内周部と外周部とで一定であるが、異なっていてもよい。例えば、外周部が内周部より厚く形成されていてもよい。また、図2に示すリング部材34は円形をしているが、隣り合う仕切り板37間を直線で構成し多角形をなしてもかまわない。
The thickness of each
図3は、隣り合う仕切り板37の間隔設定を説明するための図である。マイクロ波導入口35が導電板32の中央に設けられているので、隣り合う仕切り板37A,37Bの間隔を、ラジアル導波路33内におけるマイクロ波MWの伝搬方向と直交する方向における仕切り板37A,37B表面間の距離、と定義する。この場合、隣り合う仕切り板37A,37Bの間隔を、およそL1=λg /2以上、L2=λg 未満に設定することが望ましい。L1=λg /2よりも小さくなると、マイクロ波MWが通過しにくくなる。また、L2=λg 未満とすることにより、仕切り板37A,37Bにより挟まれた領域に複数のモードの定在波が混在することを妨げることができる。なお、ラジアル導波路33内に、セラミックなどの比誘電率が1より大きい誘電体材料からなる遅延部材(図示せず)を配置するようにしてもよい。
FIG. 3 is a view for explaining the interval setting between
次に、図1に示したエッチング装置の動作を説明する。基板21を載置台22の上面に載置した状態で、処理容器11内を例えば0.01〜10Pa程度の真空度にする。次に、この真空度を維持しつつ、プラズマガス供給ノズル15からプラズマガスとしてArを供給し、処理ガス供給ノズル16からCF4などのエッチングガスを流量制御して供給する。処理容器11内にプラズマガス及びエッチングガスが供給された状態で、マイクロ波発生器45からのマイクロ波MWを矩形導波管43、矩形・同軸変換器42及び同軸線路41を介してラジアルアンテナ30に供給する。
Next, the operation of the etching apparatus shown in FIG. 1 will be described. With the
ラジアルアンテナ30に供給されたマイクロ波MWは、導電板31,32により形成されるラジアル導波路33内を中央部から放射状に広がってゆく。ここで、隣り合う仕切り板37の間隔がおよそL1=λg /2以上に設定されているので、マイクロ波MWは仕切り板37により仕切られた領域を容易に伝搬することができる。
The microwave MW supplied to the
ラジアル導波路33の周縁部となるリング部材34の内壁には、図8に示した従来例のような電磁界吸収材が取り付けられていないので、ラジアル導波路33の周縁部に至ったマイクロ波MWはそこで全反射され、ラジアル導波路33の中央部に向かう。マイクロ波MWは、このようにラジアル導波路33の中央部と周縁部との間を往復伝搬しつつ、多数のスロット36から少しずつ放射されてゆく。したがって、このラジアルアンテナ30では、ラジアル導波路33の中央部から周縁部に向かうマイクロ波MWのみでなく、周縁部で反射されたマイクロ波もスロット36から放射されることになる。
Since the electromagnetic field absorbing material as in the conventional example shown in FIG. 8 is not attached to the inner wall of the
ラジアルアンテナ30から放射されたマイクロ波MWは、誘電板13を透過して、処理容器11内に導入される。このマイクロ波MWは、処理容器11内に電界を形成してArを電離させることにより、処理対象の基板11の上部空間S1にプラズマを生成する。このエッチング装置では、載置台22に負電位がバイアスされているので、生成されたプラズマからイオンが引き出されて、基板21に対してエッチング処理が行われる。
The microwave MW radiated from the
このラジアルアンテナ30では、上述したようにラジアル導波路33の周縁部で反射されたマイクロ波MWもスロット36から放射される。したがって、周縁部で反射されたマイクロ波MWもプラズマ生成に利用することができるので、図7に示した従来例と同様に効率よくプラズマを生成することができる。また、ラジアル導波路33内において仕切り板37により仕切られた領域では、ラジアル導波路33の周縁部に向かうマイクロ波MWと、反射されて中央部に向かうマイクロ波MWとにより定在波が形成される。しかし、隣り合う仕切り板37の間隔がおよそL2=λg 未満に設定されているので、この領域に複数のモードの定在波が混在することはない。このため、この領域に複雑な電磁界モードは生成されない。したがって、このラジアルアンテナ30では、図8に示した従来例と同様に均一な放射が可能であるので、プラズマを均一に生成することができる。
In the
また、このラジアルアンテナ30では、上述したようにリング部材34の内壁に電磁界吸収材が取り付けられていないので、リング部材34が加熱されて変形してしまうことはない。このように、ラジアルアンテナ30を用いることにより、プラズマ生成効率を犠牲にすることなく、また余分な発熱を生じることなく、プラズマの均一性を向上することができる。
Moreover, in this
なお、図2では平面形状が直線状の仕切り板37を放射状に配置した例を示したが、図4に示すように、リング部材34に近い側がその内周と同一方向に湾曲しているような平面形状をした仕切り板39を放射状に配置した構造であってもよい。また、ここでは8個の仕切り板37が放射状に配置された例を示したが、仕切り板37の個数は8個に限定されず、リング部材34の内周長をλg で除した数程度であればよい。
2 shows an example in which the
(第2の実施の形態)
図5は、図1,図2に示したラジアルアンテナ30よりも開口面積が大きいラジアルアンテナの構成例を示す断面図であり、図2に相当する断面が示されている。また、図6は、隣り合う仕切り板の間隔設定を説明するための図である。図5,図6において、図2,図3と同一部分を同一符号をもって示し、適宜その説明を省略する。開口面積が大きいラジアルアンテナ30Aを構成するとき、図6に示すように隣り合う仕切り板37A,37Bの間隔L2がL2≧λg となってしまう場合がある。このような場合には、仕切り板37A,37Bの間隔L2がL2≧λg となる領域の一部に、新たに仕切り板38を配置すればよい。このとき、仕切り板37A,37Bと仕切り板38との間隔を、およそL3≧λg /2、L4<λg に設定する。
(Second Embodiment)
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a configuration example of a radial antenna having an opening area larger than that of the
さらに開口面積が大きいラジアルアンテナを構成する場合には、隣り合う仕切り板の間に上述した条件にしたがって次々と新たに仕切り板を配置するようにすればよい。これにより、図1,図2に示したラジアルアンテナ30と同様に、均一なプラズマを効率よく生成することができると共に、リング部材34の熱変形を防止することができる。以上では本発明によるラジアルアンテナを用いたプラズマ処理装置をエッチング装置に適用した場合を例に説明したが、例えばプラズマCVD装置などの他のプラズマ処理装置に適用してもよいことは言うまでもない。
When a radial antenna having a larger opening area is configured, new partition plates may be arranged one after another according to the above-described conditions between adjacent partition plates. As a result, similar to the
(第3の実施の形態)
図9は、本発明の第3の実施の形態であるエッチング装置の構成を示す図である。この図において、図1と同一部分を同一符号をもって示し、適宜その説明を省略する。また、図10は、図9において点線で囲まれた部分Xを拡大して示す拡大断面図である。ただし、説明の都合上、誘電板13とラジアルアンテナ30と間隔を誇張して示してある。図9に示すエッチング装置では、リング状のシールド材17の内面から処理容器11Aの側壁内面までの距離Dが、処理容器11Aの側壁上面とラジアルアンテナ30との間にできる空間(図10において梨子地模様を付した領域であり、誘電板13を含む)18におけるマイクロ波MWの波長λg のおよそN/2倍(Nは自然数)に相当する長さに設定されている。ここで、シールド材17を配置する位置は、空間18を構成する部材、例えば誘電板13の比誘電率を考慮して決定される。
(Third embodiment)
FIG. 9 is a diagram showing a configuration of an etching apparatus according to the third embodiment of the present invention. In this figure, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted as appropriate. FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing an enlarged portion X surrounded by a dotted line in FIG. However, for convenience of explanation, the distance between the
また、処理容器11Aの側壁上面及び誘電体板13の接合部に介在して接合部を密閉するリング状のシール部材12は、シールド材17の内面からM×λg /2(MはN以下の自然数)に相当する長さを隔てた位置の近傍に配置されている。このとき、シール部材12は、シールド材17の内面からおよそ(2M+1)λg /4の位置を避ける位置に配置されればよく、M×λg /2倍の位置に配置されることが好ましい。シール部材12を配置する位置についても、空間18を構成する部材の比誘電率を考慮して決定される。ラジアルアンテナ30から誘電板13を介して処理容器11A内に導入されたマイクロ波MWの中には、プラズマ生成に寄与せず処理容器11A内で乱反射を繰り返すものがあり、その一部は処理容器11Aの側壁上面とラジアルアンテナ30との間にできる空間18に進入する。この空間18に進入したマイクロ波MWはシールド材17によって反射されので、空間18では図10に示すような定在波が形成される。
Further, the ring-shaped
従来のエッチング装置では、距離Dが任意に設定されていたので、例えば距離Dがおよそλg /4又は3λg /4となる場合もある。この場合には処理容器の側壁内面の位置が、空間18に形成される定在波の腹に当たるため、処理容器の側壁内面の位置における電位が大きくなり、この位置で異常放電が生じることがあった。この異常放電は処理容器の側壁に損傷を与えるので、このとき発生する微小な塵が処理容器内の汚染の原因となるという問題があった。一方、Oリングなどのシール部材が、シールド材の内面からおよそλg /4又は3λg /4隔てた位置に配置されると、定在波の強い電磁界によりシール部材が損傷を受けて、シール部材の寿命が短くなるという問題があった。
In the conventional etching apparatus, since the distance D is arbitrarily set, for example, the distance D may be approximately λg / 4 or 3λg / 4. In this case, since the position of the inner surface of the side wall of the processing container hits the antinode of the standing wave formed in the
しかし、図9に示したエッチング装置では、距離DがおよそN×λg /2に設定されているので、処理容器11Aの側壁内面の位置が空間18に形成される定在波の節に当たる。このため、処理容器11Aの側壁内面の位置の電位が零となるので、この位置で異常放電は生じない。したがって、異常放電による処理容器11A内の汚染を抑制することができる。また、シール部材12は、シールド材17の内面からM×λg /2隔てた位置の近傍に配置されている。この位置の電磁界は弱いので、この電磁界によるシール部材12の損傷を抑制することができ、シール部材12の寿命を長くすることができる。
However, in the etching apparatus shown in FIG. 9, since the distance D is set to approximately N × λg / 2, the position of the inner surface of the side wall of the
この実施の形態では、本発明によるプラズマ処理装置をエッチング装置に適用した場合を例に説明したが、例えばプラズマCVD装置などの他のプラズマ処理装置に適用してもよいことは言うまでもない。また、本発明はマイクロ波プラズマ処理装置のみでなく、例えばECR(electron cyclotron resonance)プラズマ処理装置にも適用することができる。 In this embodiment, the case where the plasma processing apparatus according to the present invention is applied to an etching apparatus has been described as an example, but it goes without saying that the present invention may be applied to another plasma processing apparatus such as a plasma CVD apparatus. Further, the present invention can be applied not only to a microwave plasma processing apparatus but also to, for example, an ECR (electron cyclotron resonance) plasma processing apparatus.
また、本発明では、処理容器の側壁上面とアンテナ手段との間にできる空間を塞ぐシールド手段を、その内面から処理容器の側壁内面までの距離が、上記空間におけるマイクロ波の波長の略N/2倍(Nは自然数)となるように配置する。これにより、処理容器の側壁内面の位置が上記空間に形成される定在波の節に当たるので、この位置の電位が零となり異常放電は生じない。 In the present invention, the shielding means for closing the space formed between the upper surface of the side wall of the processing container and the antenna means is such that the distance from the inner surface to the inner surface of the side wall of the processing container is approximately N / of the wavelength of the microwave in the space. It arrange | positions so that it may be 2 times (N is a natural number). Thereby, the position of the inner surface of the side wall of the processing container hits the node of the standing wave formed in the space, so that the potential at this position becomes zero and no abnormal discharge occurs.
11…処理容器、21…被処理体、22…載置台、30、30A…ラジアルアンテナ、31,32…導電板、33…ラジアル導波路、34…リング部材、35…マイクロ波導入口、36…スロット、37,37A,37B,38,39…仕切り板、L1〜L4…間隔、MW…マイクロ波、λg …波長。
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記第1及び第2の導電板により形成されるラジアル導波路内に平面視放射状に配置され、前記第1の導電板と前記第2の導電板との間に延在する導電性の仕切り板を複数備え、
前記マイクロ波導入口を通って前記第1の導電板に接続された中心導体と、前記マイクロ波導入口において前記第2の導電板に接続された外部導体とからなる同軸線路をさらに備え、
前記仕切り板は、前記第1の導電板及び前記第2の導電板の両者と線接触して前記ラジアル導波路内の空間を電気的に仕切ることを特徴とするラジアルアンテナ。 A first conductive plate in which a plurality of slots are formed; a second conductive plate having a microwave inlet and disposed opposite to the first conductive plate; and peripheral edges of the first and second conductive plates. In a radial antenna having a ring member to be connected,
A conductive partition plate disposed radially in a planar view in a radial waveguide formed by the first and second conductive plates and extending between the first conductive plate and the second conductive plate With multiple
A coaxial line comprising a central conductor connected to the first conductive plate through the microwave inlet and an outer conductor connected to the second conductive plate at the microwave inlet;
The radial antenna, wherein the partition plate is in line contact with both the first conductive plate and the second conductive plate to electrically partition the space in the radial waveguide.
隣り合う前記仕切り板の間隔は、前記ラジアル導波路内を伝搬するマイクロ波の略半波長に相当する長さ以上であることを特徴とするラジアルアンテナ。 The radial antenna according to claim 1, wherein
A radial antenna, wherein an interval between adjacent partition plates is equal to or longer than a length corresponding to a substantially half wavelength of a microwave propagating in the radial waveguide.
隣り合う前記仕切り板の間隔は、前記マイクロ波の略1波長に相当する長さ未満であることを特徴とするラジアルアンテナ。 The radial antenna according to claim 1 or 2,
The radial antenna according to claim 1, wherein an interval between the adjacent partition plates is less than a length corresponding to substantially one wavelength of the microwave.
前記仕切り板のそれぞれの平面形状は、直線状をしていることを特徴とするラジアルアンテナ。 The radial antenna according to any one of claims 1 to 3,
Each of the planar shapes of the partition plates is a linear shape.
前記仕切り板は、前記スロットを避けて配置されていることを特徴とするラジアルアンテナ。 In the radial antenna of any one of Claims 1-4,
The radial antenna according to claim 1, wherein the partition plate is disposed so as to avoid the slot.
前記マイクロ波導入口は、前記第2の導電板の中央に形成されていることを特徴とするラジアルアンテナ。 In the radial antenna of any one of Claims 1-5,
The radial antenna is characterized in that the microwave introduction port is formed at the center of the second conductive plate.
前記アンテナ手段は、請求項1〜6いずれか1項記載のラジアルアンテナであることを特徴とするプラズマ処理装置。 In a plasma processing apparatus comprising: a mounting table disposed in an airtight processing container for mounting an object to be processed; and an antenna unit disposed above the mounting table and supplying microwaves to the processing container. ,
The plasma processing apparatus according to claim 1, wherein the antenna means is a radial antenna according to claim 1.
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