JP5252678B2 - オリゴマープローブアレイ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また、本発明の他の目的は、SN比が向上したオリゴマープローブアレイの製造方法を提供することにある。
官能基150はカップリングし得る限り特定の制限がない。官能基140としてはヒドロキシル(hydroxyl)基、アルデヒド(aldehyde)基、カルボキシル(carboxyl)基、アミノ(amino)基、アミド(amide)基、チオール(thiol)基、ハロ(halo)基またはスルホン酸(sulfonate)基などを例にあげることができる。
また、オリゴマープローブ160のインサイチュー(in−situ)合成が実行される前にプローブセルアクティブ領域120、220、320に提供されていているリンカー140には保存目的のための保護基が付着されることもある。
保護基は付着している位置が化学反応が行われるのを遮断する「基」を指称し、脱保護は保護基が付着位置から分離除去され前記位置が化学反応に参加できるようにすることを指称する。例をあげれば、リンカー140に結合されている官能基150に酸分解(acid labile)性または光分解(photo labile)性保護基を付着させて、官能基150を保護し、インサイチュー(in−situ)フォトリソグラフィ合成のためのモノマーや合成−オリゴマープローブ160とプローブセルアクティブ領域120、220、320とのカップリング前に除去して、官能基150を露出させることができる。
例をあげれば−Si(OMe)3、−SiMe(OMe)2、−SiMeCl2、−SiMe(OEt)2、−SiCl3、−Si(OEt)3基等を含み得る。
官能基150を含み、シロキサン結合を生成し得るシリコン基を含む物質としてはN−(3−(トリエトキシシリル)−プロピル)−4−ヒドロキシブチルアミド(N−(3−(triethoxysilyl)−propyl)−4−hydroxybutyramide)、N,N−ビス(ヒドロキシエーテル)アミノプロピル−トリエトキシシラン(N、N−bis(hydroxyethyl) aminopropyl−triethoxysilane)、アセトクシプロピル−トリエトキシシラン(acetoxypropyl−triethoxysilane)、3−グリシドキシ プロピルトリメトキシシラン(3−glycidoxy propyltrimethoxysilane)、国際公開特許第WO 00/21967号明細書に開示されたシリコン化合物などを例にあげることができ、前記公開特許の内容はその全体が参照され本明細書に盛り込まれている。
本発明のいくつかの他の実施形態において、プローブセル分離領域130は基板100全面に形成され、プローブセルアクティブ領域120によって露出されたオリゴマープローブ160のカップリングブロッキング膜132(図3参照)またはプローブセルアクティブ領域220、320の領域間に露出された基板100領域上に形成されたカップリングブロッキング膜132(図7および図11参照)であり得る。
カップリングブロッキング膜132はフルオロシラン(fluorosilane)膜のようにフッ素基を含むフッ素物であり得る。また、カップリングブロッキング膜132はシリサイド膜、ポリシリコン膜またはSi、SiGeなどのエピタキシャル膜であり得る。
プローブセルアクティブ領域形成用膜120aはPE−TEOS膜、HDP酸化膜、又はP−SiH4酸化膜、熱酸化膜などのシリコン酸化膜;ハフニウムシリケート、ジルコニウムシリケートなどのシリケート;シリコン窒化膜、シリコン酸窒化膜、ハフニウム酸窒化膜、ジルコニウム酸窒化膜などの金属酸窒化膜;チタニウム酸化膜、タンタル酸化膜、アルミニウム酸化膜、ハフニウム酸化膜、ジルコニウム酸化膜、ITOなどの金属酸化膜;ポリイミド;ポリアミン;金、銀、銅、パラジウムなどの金属、またはポリスチレン、ポリアクリル酸、ポリビニルなどのポリマーで形成し得る。
プローブセルアクティブ領域形成用膜120a上にフォトレジスト膜(PRa)を形成した後、図1(a)又は(b)のレイアウトによって製造されたマスク400を用いた投影(projection)露光器でフォトレジスト膜(PR)を露光する。
マスク400としては透明基板410上にプローブセルアクティブ領域を定義する遮光パターン420が形成され、格子状の露光領域を有するマスクが例示されているが、遮光パターン420の形態は使用するフォトレジスト膜(PRa)の種類によって変形可能なことはもちろんである。
第2リンカー143はターゲットサンプルとの自由な相互作用が可能なように十分な長さを提供し得る物質で形成するのが好ましい。
第2リンカー143としては光解離性保護基144が結合されホスホラミダイト(phosphoramidite)が使用され得る。光解離性保護基144はo−ニトロベンジル誘導体(o−nitrobenzyl derivatives)またはベンジルスルホニル(benzyl sulfonyl)のようなニトロ芳香族化合物を含む多様なポジティブ光解離性基の中から選択することができる。好ましくは光解離性保護基144としては6−ニトロベラトリルオキシカルボニル(6−nitroveratryloxycarbonyl:NVOC)、2−ニトロベンジルオキシカルボニル(2−nitrobenzyloxycarbonyl:NBOC)、α,α−ジメチル−ジメトキシベンジルオキシカルボニル(α,α−dimethyl−dimethoxybenzyloxycarbonyl:DDZ)などが使用され得る。
インサイチュー(in−situ)フォトリソグラフィによってオリゴヌクレオチドプローブを合成する場合には露出した官能基150に光解離性保護基が結合されたヌクレオチドホスホラミダイトモノマー(nucleotide phosphoramidite monomers)をカップリングさせ(coupling)、カップリングに参加しない官能基をキャッピングにより(capping)不活性化させ、ホスホラミダイトと5’−ヒドロキシ基の間の結合によって生成されたホスファイトトリエステル(phosphite triester)構造をホスフェート(phosphate)構造に変換させるために酸化(oxidation)させる。
このように、所定のプローブセルアクティブ領域120を脱保護して(deprotection)、所定の配列のモノマーをカップリングさせ(coupling)、カップリングに参加しない官能基をキャッピング(capping)して不活性化させ、ホスフェート構造に変換させるための酸化(oxidation)工程を順次に反復実行し、所定の配列のオリゴヌクレオチドプローブ(オリゴマープローブ)160を各プローブセルアクティブ領域120毎に合成することができる。
図23を参照すると、図14〜図16を参照して説明したようにプローブセルアクティブ領域120を形成した後、プローブセルアクティブ領域120間を充填する充填膜134aを形成する。充填膜134aはオリゴマープローブのカップリングのブロッキングする特性を有し、ギャップフィル(gap fill)特性が良い膜、例えばフルオロシラン(fluorosilane)、ポリシリコンなどで形成することができる。
次に、図面には示していないが、プローブセルアクティブ領域120上面に形成されているカップリングブロッキング膜138aを選択的に除去し、充填材136とその上面のカップリングブロッキング膜138を形成する。上記でも説明したように、上面にカップリングブロッキング膜138が形成されるため充填材136は必ずしもオリゴマープローブのカップリングをブロッキングする特性を有する物質で形成する必要はなく、ギャップフィル特性が良い物質ならば充分である。
図25を参照すると、基板100上にパッド酸化膜210と酸化防止用窒化膜215を順次に形成する。
基板100は酸化工程が適用され得るシリコン基板などを使用する。続いて酸化防止用窒化膜215上にフォトレジスト膜(PRa)を形成する。パッド酸化膜210は基板100と酸化防止用窒化膜215の間の応力(stress)を減少させるために形成し酸化防止用窒化膜215は露出領域以外領域の酸化を防止するために形成する。
図面には示していないが、パッド酸化膜210の代わりにオリゴマーのカップリングをブロッキングする特性を有する膜132を形成する場合、LOCOS酸化膜形成後、酸化防止用窒化膜パターン215だけを除去することによってオリゴマープローブ160のカップリングブロッキング膜(図7の132参照)から成るセル分離領域(図7の130参照)を簡単な工程で形成することができる。
また、LOCOS酸化膜から成るプローブセルアクティブ領域220形成後、図23に示した工程と実質的に同様の工程を適用し、プローブセルアクティブ領域220の領域間を充填する充填膜134aを形成した後、プローブセルアクティブ領域220の表面が露出するように充填膜134aを化学機械的ポリシング(CMP)又はエッチバック工程などで平坦化することにより、オリゴマープローブ160のカップリングをブロッキングするためにプローブセルアクティブ領域220間に定義された領域を充填する充填材(filler)134を形成することができる。
シリコン基板上にCVD工程を使用してPE−TEOS膜を500nm厚さで形成した。次に結果構造物上にフォトレジスト膜3.0μmをスピンコーティング法によって形成した後、100℃で60秒間ベイクした。
次に、1.0μmピッチの格子状の(checkerboard type)マスクを使用して、365nm波長の投影露光装置でフォトレジスト膜を露光した後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TetraMethylAmmonium Hydroxide:TMAH)水溶液で現像し、格子状の縦横交差する直線領域を露出させるフォトレジストパターンを形成した。フォトレジストパターンをエッチングマスクとして使用してPE−TEOS膜をエッチングし、オリゴマープローブセルアクティブ領域をパターニングした。
シリコン基板全面にCVD工程を使用して3,−(1,1−ジヒドロパーフルオロオクチルオキシ)プロピルトリエトキシシラン(3,−(1,1−dihydroperfluorooctyloxy)propyltriethoxysilane)をスピンコーティングして、形成されたフロオロシラン膜上にPE−TEOS膜を500nmの厚さで形成した。
基板上にフォトレジスト膜3.0μmをスピンコーティング法によって、形成した後、100℃で60秒間ベイクした。1.0μmピッチの格子状の(checkerboard type)マスクを使用して、365nm波長の投影露光装置でフォトレジスト膜を露光した後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TetraMethylAmmonium Hydroxide)水溶液で現像して、格子状の縦横交差する直線領域を露出させるフォトレジストパターンを形成した。フォトレジストパターンをエッチングマスクとして使用してPE−TEOS膜をエッチングし、下部のフルオロシラン膜を露出させるオリゴマープローブセルアクティブ領域をパターニングした。
シリコン基板上にCVD工程を使用してPE−TEOS膜を500nmの厚さで形成した。次に結果構造物上にフォトレジスト膜3.0μmをスピンコーティング法によって形成した後、100℃で60秒間ベイクした。格子状のマスクを使用し、365nm波長の投影露光装置でフォトレジスト膜を露光した後、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TetraMethylAmmonium Hydroxid)水溶液で現像して、格子状の縦横交差する直線領域を露出させるフォトレジストパターンを形成した。
続いて、パターニングされたオリゴマープローブセルアクティブ領域上にビス(ヒドロキシエーテル)アミノプロピルトリエトキシシランをコーティングした後、アミダイト(amidite)活性化したNNPOC−テトラエチレングリコールとテトラゾールの1:1アセトニトリル溶液で処理して、光解離性基で保護されたホスホラミダイトをカップリングしてアセチルキャッピングし、保護されたリンカー構造を完成した。
実験例1〜3で製造されたオリゴマープローブセルアクティブ領域とセル分離領域を含む基板上にオリゴヌクレオチドプローブのインサイチュー(in−situ)合成をフォトリソグラフィ方式で行った。
所定のプローブセルアクティブ領域を露出させるバイナリクロムマスクを使用して365nm波長の投影露光装置で1000mJ/cm2のエネルギーで1分間露光して、リンカー構造の末端を脱保護した。
続いて、アミダイト活性化したヌクレオチドとテトラゾールの1:1アセトニトリル溶液で処理して、保護されたヌクレオチドモノマーをカップリングし、アセト酸無水物(Ac20):ピリジン(py):メチルイミダゾール(methylimidazole)=1:1:1のTHF溶液及び0.02MのヨードTHF溶液で処理してキャッピング及び酸化工程を行った。
120、220、320 プローブセルアクティブ領域
130 プローブセル分離領域
132、138 カップリングブロッキング膜
134、136 充填材
140 リンカー
142 第1リンカー
143 第2リンカー
144 光解離性保護基
150 官能基
155 キャッピング基
160 オリゴマープローブ
210、310 パッド酸化膜
215 酸化防止用窒化膜
216 酸化防止パターン
315 ハードマスク
316 トレンチ形成マスク
400、400’、500 マスク
410 透明基板
420、430 遮光パターン
430
Claims (14)
- 基板と、
前記基板上又は基板内に形成され、表面が平らな複数のプローブセルアクティブ領域(probe cell active regions)であって、該各プローブセルアクティブ領域各々に互いに異なる配列のオリゴマープローブ(oligomer probe)がカップリングされた複数のプローブセルアクティブ領域と、
前記複数のプローブセルアクティブ領域を分離するプローブセル分離領域であって、表面が前記オリゴマープローブとカップリングされる官能基を含まないプローブセル分離領域と、を有し、
前記プローブセル分離領域の表面は、前記プローブセルアクティブ領域間を充填し、オリゴマープローブのカップリングをブロックする特性を有する充填材表面であり、
前記プローブセルアクティブ領域は、前記基板上に形成された膜のパターンとして形成され、前記基板は基板を局部的に酸化して形成されるLOCOS酸化膜、又は基板内に形成されたトレンチを充填するトレンチ型アクティブ領域であることを特徴とするオリゴマープローブアレイ。 - 前記プローブセルアクティブ領域の表面は、前記オリゴマープローブとカップリングすることができる官能基を含み、前記官能基の一部は前記オリゴマープローブとカップリングされ、残りの官能基はキャッピング(capping)により不活性化されていることを特徴とする請求項1に記載のオリゴマープローブアレイ。
- 前記官能基は、ヒドロキシル基、アルデヒド基、カルボキシル基、アミノ基、アミド基、チオール基、ハロ基またはスルホン酸基の内から選択される少なくとも一つであることを特徴とする請求項2に記載のオリゴマープローブアレイ。
- 前記プローブセル分離領域の表面は、露出されたシリコン基板表面又は透明ガラス基板表面であることを特徴とする請求項1に記載のオリゴマープローブアレイ。
- 前記プローブセル分離領域の表面は、前記基板上面に形成されたオリゴマープローブのカップリングをブロックする特性を有するブロック膜表面であることを特徴とする請求項1に記載のオリゴマープローブアレイ。
- 前記プローブセル分離領域の表面は、前記プローブセルアクティブ領域間を充填する充填材上面に形成され、オリゴマープローブのカップリングをブロックする特性を有するブロック膜表面であることを特徴とする請求項1に記載のオリゴマープローブアレイ。
- 前記オリゴマープローブは、リンカー(linker)を介して前記プローブセルアクティブ領域とカップリングされることを特徴とする請求項1に記載のオリゴマープローブアレイ。
- 基板を提供する段階と、
前記基板上又は前記基板内に表面が平らで、オリゴマープローブとカップリングされる官能基を含まない表面を有するプローブセル分離領域によって分離される複数のプローブセルアクティブ領域を形成する段階と、
前記複数のプローブセルアクティブ領域各々に互いに異なる配列のオリゴマープローブをカップリングさせる段階と、を有し、
前記プローブセルアクティブ領域を形成する段階は、前記基板上に形成された膜をパターニングしてパターンを形成する段階を含み、前記膜は、前記基板を局部的に酸化して形成したLOCOS酸化膜により、又は基板内に形成されたトレンチを充填するトレンチ型アクティブ領域により形成し、
前記プローブセル分離領域の表面は、前記プローブセルアクティブ領域間を充填し、オリゴマープローブのカップリングをブロックする特性を有する充填材表面であることを特徴とするオリゴマープローブアレイの製造方法。 - 前記プローブセルアクティブ領域を形成する段階は、前記プローブセルアクティブ領域の表面を前記オリゴマープローブとカップリングすることができる官能基を含み、該官能基の一部は前記オリゴマープローブとカップリングされ、残りの官能基はキャッピング(capping)により不活性化されるように形成する段階を含むことを特徴とする請求項8に記載のオリゴマープローブアレイの製造方法。
- 前記官能基はヒドロキシル基、アルデヒド基、カルボキシル基、アミノ基、アミド基、チオール基、ハロ基またはスルホン酸基の内から選択される少なくとも一つであることを特徴とする請求項9に記載のオリゴマープローブアレイの製造方法。
- 前記プローブセル分離領域の表面は、露出されたシリコン基板表面又は透明ガラス基板表面であることを特徴とする請求項8に記載のオリゴマープローブアレイの製造方法。
- 前記プローブセル分離領域の表面は、前記基板上面に形成されたオリゴマープローブのカップリングをブロックする特性を有するブロック膜表面であることを特徴とする請求項8に記載のオリゴマープローブアレイの製造方法。
- 前記プローブセル分離領域の表面は、前記プローブセルアクティブ領域間を充填する充填材上面に形成され、オリゴマープローブのカップリングをブロックする特性を有するブロック膜表面であることを特徴とする請求項8に記載のオリゴマープローブアレイの製造方法。
- 前記オリゴマープローブを前記プローブセルアクティブ領域にカップリングさせる段階は、リンカーを介してプローブセルアクティブ領域に前記オリゴマープローブをカップリングさせる段階を含むことを特徴とする請求項8に記載のオリゴマープローブアレイの製造方法。
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