JP5238199B2 - イオンミリング装置、およびイオンミリング方法 - Google Patents
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ンビーム電流測定器、7…アノード、8…カソード、9…加速電極、10…イオンビーム
、11…二次電子、12…電界。
Claims (4)
- 試料に照射するイオンビームを発生させるイオンビーム源と、
前記イオンビームによる加工が行なわれる前記試料を内置する試料室と、
前記試料室の真空を保つために排気を行なう排気装置と、
イオン生成のためのガスを注入するガス注入機構を備えたイオンミリング装置において、
接地電位に対し負の電圧が印加され、前記イオンビーム源のイオンを加速させるとともに二次電子サプレッサとして機能する加速電極を設けたことを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1記載のイオンミリング装置において、
前記試料と前記イオンビーム源との間に前記イオンビームの電流を測定するイオンビーム電流測定器を備えたことを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1または2記載のイオンミリング装置において、
前記加速電極は負の電位とアース電位との切り替え手段を持つことを特徴とするイオンミリング装置。 - 試料に照射するイオンビームを発生させるイオンビーム源と、
前記イオンビームによる加工が行なわれる前記試料を内置する試料室と、
前記試料室の真空を保つために排気を行なう排気装置と、
イオン生成のためのガスを注入するガス注入機構を備えたイオンミリング方法において、
接地電位に対し負の電圧が印加され、前記イオンビーム源のイオンを加速させるとともに二次電子サプレッサとして機能する加速電極を有し、
前記加速電極に加える電圧が複数値選択できることを特徴とするイオンミリング方法。
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