JP5234462B2 - 光学素子、及び赤外線センサ - Google Patents
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Description
図1に示す赤外線センサ1は、レンズアレイ2とセンサアレイ3とを有し、センサ部4が複数、本図では7個形成されている。
次に、本発明に係るレンズアレイ2の製造方法について説明する。本実施形態では、被エッチングパターンの粗密によりエッチング速度が異なる現象である、マイクロローディング効果を用いる。尚、以下の説明では、1個の光学素子7を形成する場合について、説明する。
0.64μm2, 1.0μm2, 4.0μm2, 9.0μm2)の開口23を形成し、エッチングを行った。図10は、横軸にアスペクト比、縦軸にアスペクト比を1とした場合の溝25の深さに対する比を示す。本図から明らかなように、アスペクト比が0.2以下の矩形状の開口23では、面積が大きくても、アスペクト比1すなわち正方形の開口23に比べ、エッチングにより形成される溝25の深さが浅くなることが確認できた。
上記したように構成された赤外線センサ1は、レンズ本体5の一面5a側から光が入射すると、当該入射した光はセンサアレイ3を透過してレンズ本体5の一面5aに形成された光学素子群6へ到達する。光学素子群6へ到達した光は各光学素子7で反射される。
2 レンズアレイ
4 センサ部
5 レンズ本体
5a 一面
7 光学素子
8 放物面
9 壁面
13 感熱素子
a 放物面の光軸
y 光学素子の中心軸
Claims (3)
- 入射した光を反射して集光する放物面を備える光学素子において、
前記放物面の光軸は、前記光学素子の中心軸に対し傾いて形成されており、
前記放物面の周囲には、前記光学素子の中心軸に概略平行な壁面が形成されていることを特徴とする光学素子。 - 入射した光を反射して集光する放物面を備える光学素子と、
前記光学素子によって集光された光の焦点に配置された感熱素子と
を備え、
前記放物面の光軸は、前記光学素子の中心軸に対し傾いて形成されており、
前記放物面の周囲には、前記光学素子の中心軸に概略平行な壁面が形成されている
ことを特徴とする赤外線センサ。 - 前記光学素子と、前記光学素子に対応して設けられた前記感熱素子とからなるセンサ部が、複数配列されてなることを特徴とする請求項2記載の赤外線センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009010882A JP5234462B2 (ja) | 2009-01-21 | 2009-01-21 | 光学素子、及び赤外線センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009010882A JP5234462B2 (ja) | 2009-01-21 | 2009-01-21 | 光学素子、及び赤外線センサ |
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JP2010169807A JP2010169807A (ja) | 2010-08-05 |
JP5234462B2 true JP5234462B2 (ja) | 2013-07-10 |
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Family Applications (1)
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JP2009010882A Active JP5234462B2 (ja) | 2009-01-21 | 2009-01-21 | 光学素子、及び赤外線センサ |
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DE4023904A1 (de) * | 1990-07-27 | 1992-01-30 | Zeiss Carl Fa | Spiegel zur veraenderung der geometrischen gestalt eines lichtbuendels |
JPH0572043A (ja) * | 1991-09-10 | 1993-03-23 | Toshiba Corp | 輻射熱温度センサ |
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2009
- 2009-01-21 JP JP2009010882A patent/JP5234462B2/ja active Active
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