JP5216674B2 - Crystal resonator quality evaluation method - Google Patents
Crystal resonator quality evaluation method Download PDFInfo
- Publication number
- JP5216674B2 JP5216674B2 JP2009095509A JP2009095509A JP5216674B2 JP 5216674 B2 JP5216674 B2 JP 5216674B2 JP 2009095509 A JP2009095509 A JP 2009095509A JP 2009095509 A JP2009095509 A JP 2009095509A JP 5216674 B2 JP5216674 B2 JP 5216674B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- resistance value
- crystal resonator
- negative resistance
- changing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
本発明は、水晶振動子の良否判定方法に関し、特に、判定対象の水晶振動子と、これを発振させるIC回路とが、互いを接続する配線が外部に露出しないようパッケージ内に封止されてなる水晶発振器における水晶振動子の良否判定方法に関する。 The present invention relates to a quality judgment how the crystal oscillator, in particular, a crystal oscillator to be determined, and the IC circuit for oscillating this is sealed in a package so that wiring connecting each other is not exposed to the outside about the quality determination how the crystal oscillator in a crystal oscillator formed by.
従来の水晶発振器には、パッケージ内に封止された水晶振動子とこれを発振させるIC回路を接続する配線が、パッケージの外部に露出して構成されているもの(以下、便宜上露出型という。)と、パッケージの外部には露出しないように構成されているもの(以下、便宜上非露出型という。)とがある。そして、露出型の場合は、水晶振動子とIC回路をパッケージ内に封止後に、外部に露出した電極を利用して水晶振動子の特性を検査し、その良否を判定している。一方、非露出型の場合は、水晶振動子とIC回路をパッケージ内に封止した後は、水晶振動子の特性を検査することができないため、パッケージ内に封止する前に、水晶振動子の特性を検査し、その良否を判定している。 In a conventional crystal oscillator, a crystal resonator sealed in a package and a wiring connecting an IC circuit that oscillates the crystal resonator are exposed outside the package (hereinafter referred to as an exposed type for convenience). ) And those that are not exposed to the outside of the package (hereinafter referred to as non-exposed type for convenience). In the case of the exposed type, after sealing the crystal resonator and the IC circuit in the package, the characteristics of the crystal resonator are inspected using the electrode exposed to the outside, and the quality is determined. On the other hand, in the case of the non-exposed type, after the crystal unit and the IC circuit are sealed in the package, the characteristics of the crystal unit cannot be inspected. These characteristics are inspected and the quality is judged.
上記露出型の水晶発振器は、露出した配線に起因する静電気破壊を生じるという不都合があり、また、パッケージの小型化にともない、外部に露出した電極を利用した検査は困難になってきたので、近年では、非露出型の水晶発振器が望まれており、このパッケージ内に封止状態にある非露出型の水晶発振器における水晶振動子の良否判定方法の実現が要望されている。 The exposed crystal oscillator has the disadvantage of causing electrostatic breakdown due to the exposed wiring. Also, as the package is downsized, it has become difficult to perform inspection using the electrode exposed to the outside. Therefore, there is a demand for a non-exposed crystal oscillator, and there is a demand for realizing a quality determination method for a crystal resonator in a non-exposed crystal oscillator in a sealed state in the package.
しかしながら、従来、パッケージ内に封止状態にある非露出型の水晶発振器における水晶振動子の良否判定方法は知られていない。一方、従来知られているパッケージ内に封止する前に行われている、水晶振動子の特性を直接検査する方法以外の良否判定方法としては、直流入力電圧に従って増幅率が変化するAGC増幅回路を少なくとも1つ有する、判定対象の水晶振動子が接続された水晶発振回路を用い、例えば、直流入力電圧を増大させて水晶発振回路が発振を開始したときの直流入力電圧の最大値を測定し、その測定最大値に従って水晶振動子の良否を判定する方法がある(特許文献1)。 However, conventionally, there is no known method for determining the quality of a crystal resonator in a non-exposed crystal oscillator that is sealed in a package. On the other hand, as a pass / fail determination method other than the method of directly inspecting the characteristics of a crystal resonator, which is performed before sealing in a conventionally known package, an AGC amplifier circuit whose amplification factor changes according to a DC input voltage For example, the maximum value of the DC input voltage is measured when the crystal oscillation circuit starts to oscillate by increasing the DC input voltage. There is a method of judging the quality of a crystal resonator according to the measured maximum value (Patent Document 1).
上記判定方法は、直流入力電圧に従って増幅率が変化するAGC増幅回路を有する、判定対象の水晶振動子が接続された水晶発振回路という、特別な判定用回路を用いて、水晶振動子とこれを発振させるIC回路をパッケージ内に封止することなく行う良否判定法なので、パッケージ封止に際しては、水晶振動子は判定時とは異なったIC回路と接続されることになるため、水晶振動子が必ずしも判定時と同様な動作をするとは限らず、その信頼性は高いとはいえないものである。また、上記判定方法は、パッケージ封止状態で行うものではないので、上述の要望にも応えることができないものであり、さらには、上記判定用の水晶発振回路自体をパッケージ内に封止して、非露出型の水晶発振器として使用することは実際上不可能である。本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、実際にパッケージに封止した状態の非露出型の水晶発振器において、水晶振動子の良否を判定できる判定方法を提供することを目的とする。 The above determination method uses a special determination circuit called a crystal oscillation circuit having an AGC amplifier circuit whose amplification factor changes according to a DC input voltage and to which a crystal resonator to be determined is connected. Since the IC circuit to be oscillated is a pass / fail determination method without sealing in the package, the crystal resonator is connected to an IC circuit different from that used for determination when the package is sealed. The operation is not necessarily the same as that at the time of determination, and the reliability is not high. Further, since the determination method is not performed in a package sealed state, it cannot meet the above-mentioned demand. Further, the determination crystal oscillation circuit itself is sealed in a package. It is practically impossible to use as a non-exposure type crystal oscillator. The present invention has such has been made in view of the circumstances, in fact non-exposed type crystal oscillator in the state sealed in a package, aims to provide a decision how that can determine the quality of the crystal oscillator And
一般に、水晶振動子を発振させるIC回路の負性抵抗値よりも水晶振動子の直列共振抵抗値が大きい場合には発振しないということが知られている。したがって、発振を停止した時、または発振を開始した時の負性抵抗値を、概ね水晶振動子の直列共振抵抗値とみなすことができる。また、負性抵抗(−RL)は、発振周波数の角周波数をωとし、インバータの相互コンダクタンスをgmとし、負荷容量の容量値をCd,Cgとすると、−RL≒−gm/(ω2・Cd・Cg)と表されるので、IC回路の設計時に所望値の負性抵抗(−RL)の値を設定することができる。さらに、負性抵抗値を変化させることで発振状態を変更することができるが、負性抵抗値はIC回路の構成によって変化することが知られている。すなわち、上述した式の相互コンダクタンスgmや、負荷容量の容量値Cd,Cgを変えることで、負性抵抗(−RL)の値が変わる。本発明は、これら公知の事項を応用することにより、非露出型の水晶発振器が実際にパッケージに封止された状態で水晶振動子の良否を判定する方法である。 In general, it is known that oscillation does not occur when the series resonance resistance value of the crystal resonator is larger than the negative resistance value of the IC circuit that oscillates the crystal resonator. Therefore, the negative resistance value when the oscillation is stopped or when the oscillation is started can be regarded as the series resonance resistance value of the crystal resonator. The negative resistance (−RL) is −RL≈−gm / (ω 2 ·, where ω is the angular frequency of the oscillation frequency, gm is the mutual conductance of the inverter, and Cd and Cg are load capacitance values. Cd · Cg), a negative resistance (−RL) value of a desired value can be set when designing an IC circuit. Furthermore, although the oscillation state can be changed by changing the negative resistance value, it is known that the negative resistance value changes depending on the configuration of the IC circuit. That is, the value of the negative resistance (−RL) is changed by changing the mutual conductance gm of the above-described formula and the capacitance values Cd and Cg of the load capacitance. The present invention, by applying these known matters are how to determine the quality of the crystal oscillator in a state where the crystal oscillator of the non-exposed type is actually sealed in a package.
本発明に係る水晶振動子の良否判定方法は、判定対象の水晶振動子と、これを発振させるIC回路とが、互いを接続する配線が外部に露出しないようパッケージ内に封止されるとともに、外部信号を入力する端子を備え、外部からの制御信号により前記IC回路の負性抵抗値を変化させる手段を有する水晶発振器を用い、負性抵抗値を変化させつつ発振出力を監視し、発振を停止した時及び/又は発振を開始した時の負性抵抗値により前記水晶振動子の直列共振抵抗値を求め、この直列共振抵抗値と前記IC回路の設計時の負性抵抗値との関係に基づいて前記水晶振動子の良否を判定するものである。より具体的には、負性抵抗値が直列共振抵抗値の5倍以上であれば良品、5倍に達しなければ不良品と判定する。そして、前記IC回路の負性抵抗値を変化させる手段は、IC回路の増幅部への供給電圧を変化させる手段、または、IC回路の増幅部の増幅度を変化させる手段、あるいは、IC回路の負荷容量の容量値を変化させる手段、で構成すると好適である。 In the crystal resonator quality determination method according to the present invention, a determination target crystal resonator and an IC circuit that oscillates the crystal resonator are sealed in a package so that wirings that connect each other are not exposed to the outside. A crystal oscillator having a terminal for inputting an external signal and having means for changing the negative resistance value of the IC circuit by an external control signal is used to monitor the oscillation output while changing the negative resistance value, and to oscillate. The series resonance resistance value of the crystal resonator is obtained from the negative resistance value at the time of stopping and / or starting of oscillation, and the relationship between the series resonance resistance value and the negative resistance value at the time of designing the IC circuit is obtained. Based on this, the quality of the crystal resonator is judged. More specifically, if the negative resistance value is 5 times or more of the series resonance resistance value, it is determined as a non-defective product, and if it does not reach 5 times, it is determined as a defective product. The means for changing the negative resistance value of the IC circuit may be a means for changing the supply voltage to the amplification section of the IC circuit, a means for changing the amplification degree of the amplification section of the IC circuit, It is preferable to configure with means for changing the capacity value of the load capacity.
本発明に係る水晶振動子の良否判定方法によれば、判定対象の水晶振動子と、これを発振させるIC回路と、これらを接続する配線など全体が、パッケージ内に封止された状態で、水晶振動子の良否判定を行うので、製品化状態での水晶振動子の良否を正確に判定できるという効果を奏する。 According to the quality determination method for a crystal resonator according to the present invention, the determination target crystal resonator, an IC circuit that oscillates the crystal resonator, and the wiring that connects them are all sealed in a package. Since the quality determination of the crystal resonator is performed, it is possible to accurately determine the quality of the crystal resonator in the commercialized state.
以下、本発明に係る水晶振動子の良否判定方法の好適な実施形態を添付図面に基づいて説明する。ここにおいて、図1は第1実施形態である、IC回路の負性抵抗値を変化させる手段がIC回路の増幅部への供給電圧を変化させる手段である場合の回路図、図2は第2実施形態である、IC回路の負性抵抗値を変化させる手段がIC回路の増幅部の増幅度を変化させる手段である場合の回路図、図3は第3実施形態である、IC回路の負性抵抗値を変化させる手段がIC回路の負荷容量の容量値を変化させる手段である場合の回路図である。 Will be described below with reference to preferred embodiments of the quality determination how the crystal oscillator according to the present invention in the accompanying drawings. Here, FIG. 1 is a circuit diagram in the case where the means for changing the negative resistance value of the IC circuit is a means for changing the supply voltage to the amplifier of the IC circuit, and FIG. FIG. 3 is a circuit diagram in a case where the means for changing the negative resistance value of the IC circuit according to the embodiment is a means for changing the amplification degree of the amplification unit of the IC circuit, and FIG. 3 is a negative diagram of the IC circuit according to the third embodiment. FIG. 6 is a circuit diagram when the means for changing the resistance value is a means for changing the capacitance value of the load capacitance of the IC circuit.
まず、第1実施形態を説明する。図1に示すように、水晶発振器10は、判定対象となる固有の周波数で振動する電圧を発生する水晶振動子1と、これを発振させるためのIC回路2とからなり、外部からの制御信号を入力する入力端子INを有している。IC回路2は、水晶振動子1と並列に接続され、その振動電圧を増幅する増幅部であるインバータ3と、このインバータ3に並列に接続された帰還抵抗4と、前記インバータ3の入力端と出力端に各一方の電極が接続され、各他方の電極は接地された負荷容量5,6とを備えている。
First, the first embodiment will be described. As shown in FIG. 1, a
インバータ3には、電圧レギュレータ7から電源電圧が供給され、この電圧レギュレータ7の電圧供給量は、外部からの制御信号が入力端子INを介して入力する電圧コントローラ8によって制御される。この電圧レギュレータ7と電圧コントローラ8とによって、負性抵抗値を変化させる手段である、増幅部たるインバータ3への供給電圧を変化させる手段を構成する。そして、水晶発振器10は、図示してはいないが、全体がセラミックパッケージ内に封止された状態にある。
A power supply voltage is supplied to the
一般に、インバータ3の電源電圧が小さくなると、その相互コンダクタンスが小さくなって、負性抵抗値が小さくなる一方、インバータ3の電源電圧が大きくなると、その相互コンダクタンスが大きくなって、負性抵抗値が大きくなるということが知られている。また、一般に、負性抵抗値よりも水晶振動子1の直列共振抵抗値が大きい場合には発振しないので、発振を停止した時の負性抵抗値を、概ね水晶振動子1の直列共振抵抗値とみなすことができる。さらに、負性抵抗値は、IC回路2の設計時に求めることができ、回路設計によって所望値に設定することが可能である。本実施形態にあっては、これら公知の事項に基づいて、水晶振動子1の良否を判定する。
Generally, when the power supply voltage of the
具体的には、水晶発振器10を発振動作させ、その発振出力をオシロスコープなどで監視する一方、外部からの制御信号によって、電圧コントローラ8を介して、電圧レギュレータ7によるインバータ3に対する電圧供給量を制御し、IC回路2の負性抵抗値を調整して、徐々に小さくしていく。そして、発振を停止した時の負性抵抗値を水晶振動子1の直列共振抵抗値とし、IC回路2の設計時に設定した負性抵抗値が、前記直列共振抵抗値の5倍以上であれば、水晶振動子1は良品、5倍に達しなければ不良品と判定する。この良否判定の基準は、実験により確認したものである。
Specifically, the
水晶振動子1の良否判定後の水晶発振器10の使用に際しては、電圧レギュレータ7によるインバータ3に対する電圧供給量がIC回路2設計時の設定値になるよう、外部制御信号によって、電圧コントローラ8で制御する。
When using the
次に、第2実施形態を説明する。図2に示すように、水晶発振器20は、判定対象となる固有の周波数で振動する電圧を発生する水晶振動子11と、これを発振させるためのIC回路12とからなり、外部からの制御信号を入力する入力端子INを有している。IC回路12は、水晶振動子11とそれぞれ並列に接続され、その振動電圧を増幅する増幅部たる4つのインバータ13,14,15,16と、これらのインバータ13,14,15,16に並列に接続された帰還抵抗17と、前記各インバータ13,14,15,16の入力端と出力端に各一方の電極が接続され、各他方の電極は接地された負荷容量18,19とを備えている。また、前記インバータ13を除く各インバータ14,15,16の入力側には、それぞれトランジスタなどからなるスイッチング素子SW1,SW2,SW3が設けられている。これらスイッチング素子SW1,SW2,SW3には、前記入力端子INからスイッチ選択回路33を介して制御信号が入力するよう構成されている。
Next, a second embodiment will be described. As shown in FIG. 2, the
外部からの制御信号でスイッチ選択回路33を制御し、スイッチング素子SW1,SW2,SW3を各別にオンオフすることによって、インバータ13に加えて、動作する各インバータ14,15,16を選択することができ、これによって増幅部の増幅度を変えることができる。すなわち、各インバータ13,14,15,16と、スイッチング素子SW1,SW2,SW3と、スイッチ選択回路33とによって、負性抵抗値を変化させる手段たる、IC回路12の増幅部であるインバータ13,14,15,16の増幅度を変化させる手段を構成する。そして、水晶発振器20は、図示してはいないが、全体がセラミックパッケージ内に封止された状態にある。
In addition to the
一般に、インバータ13,14,15,16の並列に接続する数を増加することで増幅度を増加することができ、これによってその相互コンダクタンスが大きくなって、負性抵抗値は大きくなる一方、インバータ13,14,15,16の並列に接続する数を減少することで増幅度を減少することができ、これによってその相互コンダクタンスが小さくなって、負性抵抗値は小さくなるということが知られている。本実施形態にあっては、第1実施形態において説明した公知の事項中、インバータ3の電源電圧と、相互コンダクタンス及び負性抵抗値との関係に変えて、インバータ13,14,15,16の並列に接続する数による増幅度の増減と相互コンダクタンス及び負性抵抗値との関係を応用して、水晶振動子11の良否を判定するものである。
In general, the degree of amplification can be increased by increasing the number of
具体的には、各スイッチング素子SW1,SW2,SW3をオン状態にして、水晶発振器10を発振動作させ、その発振出力をオシロスコープなどで監視する一方、外部からの制御信号によるスイッチ選択回路33の制御によって、各スイッチング素子SW1,SW2,SW3を順次オフ状態とし、インバータ13,14,15,16からなる増幅部の増幅度を減少して、IC回路12の負性抵抗値を徐々に小さくしていく。そして、発振を停止した時の負性抵抗値を水晶振動子11の直列共振抵抗値とし、IC回路12設計時に設定した負性抵抗値が、前記直列共振抵抗値の5倍以上であれば、水晶振動子11は良品、5倍に達していなければ不良品と判定する。
Specifically, the switching elements SW1, SW2, and SW3 are turned on to cause the
水晶振動子11の良否判定後の水晶発振器20の使用に際しては、インバータ13,14,15,16の増幅度がIC回路12設計時の設定値になるよう、スイッチング素子SW1,SW2,SW3のオンオフ状態をスイッチ選択回路33により制御するものである。通常は、すべてのスイッチング素子SW1,SW2,SW3をオン状態として使用する。
When using the
次に、第3実施形態を説明する。図3に示すように、水晶発振器30は、判定対象となる固有の周波数で振動する電圧を発生する水晶振動子21と、これを発振させるためのIC回路22とからなり、外部からの制御信号を入力する入力端子INを有している。IC回路22は、水晶振動子21と並列に接続され、その振動電圧を増幅する増幅部たるインバータ23と、このインバータ23に並列に接続された帰還抵抗24と、前記インバータ23の入力端と出力端に各一方の電極が接続され、各他方の電極は接地された負荷容量25,26及び可変負荷容量27,28を備えている。前記各可変負荷容量27,28には、前記入力端子INから制御信号が入力するよう構成されている。
Next, a third embodiment will be described. As shown in FIG. 3, the
外部からの制御信号により、各可変負荷容量27,28の容量値を変化させることにより、負荷容量値を変化させることができる。すなわち、各可変負荷容量27,28が、負性抵抗値を変化させる手段たる、負荷容量25,26,27,28の容量値を変化させる手段を構成する。そして、水晶発振器30は、図示してはいないが、全体がセラミックパッケージ内に封止された状態にある。
The load capacitance value can be changed by changing the capacitance value of each of the
一般に、負荷容量25,26,27,28の容量値を増加することで、負性抵抗値は小さくなる一方、前記容量値を減少することで、負性抵抗値は大きくなるということが知られている。本実施形態にあっては、第1実施形態において説明した公知の事項中、インバータ3の電源電圧と、相互コンダクタンス及び負性抵抗との関係に変えて、負荷容量値と負性抵抗値との関係を応用して、水晶振動子31の良否を判定するものである。
In general, it is known that increasing the capacitance values of the
具体的には、各可変負荷容量27,28の容量値を最小にした状態で、水晶発振器30を発振動作させ、その発振出力をオシロスコープなどで監視する一方、外部からの制御信号によって、各可変負荷容量27,28の容量値を順次増大して、IC回路22の負性抵抗値を徐々に小さくしていく。そして、発振を停止した時の負性抵抗値を水晶振動子31の直列共振抵抗値とし、IC回路22の設計時に設定した負性抵抗値が、前記直列共振抵抗値の5倍以上であれば、水晶振動子31は良品、5倍に達しなければ不良品と判定する。
Specifically, the
水晶振動子21の良否判定後の水晶発振器30の使用に際しては、各負荷容量25,26及び各可変負荷容量27,28による負荷容量値が回路設計時の設定値になるよう、各可変負荷容量27,28の容量値を制御する。通常は、各可変負荷容量27,28の容量値は、最小に設定される。
When using the
なお、上述の各実施形態では、負性抵抗値を変化させていき、発振を停止した時の負性抵抗値を水晶振動子1,11,21の直列共振抵抗値としたが、これとは逆に、発振を開始した時の負性抵抗値を水晶振動子1,11,21の直列共振抵抗値として、IC回路2,12,22の設計時に設定した負性抵抗値と比較することにより、水晶振動子1,11,21の良否を判定してもよい。また、発振を停止した時と、発振を開始した時の、2状態時の負性抵抗値から水晶振動子1,11,21の直列共振抵抗値を求めて、この値をIC回路2,12,22の設計時に設定した負性抵抗値と比較することにより、水晶振動子1,11,21の良否を判定してもよい。
In each of the above-described embodiments, the negative resistance value is changed and the negative resistance value when the oscillation is stopped is the series resonance resistance value of the
1,11,21 水晶振動子
2,12,22 IC回路
3,13,14,15,16,23 インバータ
4,17,24 帰還抵抗
5,6,18,19,25,26 負荷容量
7 電圧レギュレータ
8 電圧コントローラ
27,28 可変負荷容量
10,20,30 水晶発振器
33 スイッチ選択回路
IN 入力端子
SW1,SW2,SW3 スイッチング素子
1,11,21
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009095509A JP5216674B2 (en) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | Crystal resonator quality evaluation method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009095509A JP5216674B2 (en) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | Crystal resonator quality evaluation method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010246059A JP2010246059A (en) | 2010-10-28 |
JP5216674B2 true JP5216674B2 (en) | 2013-06-19 |
Family
ID=43098546
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009095509A Expired - Fee Related JP5216674B2 (en) | 2009-04-10 | 2009-04-10 | Crystal resonator quality evaluation method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5216674B2 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104237763A (en) * | 2014-09-09 | 2014-12-24 | 长沙景嘉微电子股份有限公司 | Scheme for designing circuit used for verifying oscillation starting reliability of crystal oscillator |
JP2016119550A (en) | 2014-12-19 | 2016-06-30 | ファナック株式会社 | Quartz oscillator |
JP6750314B2 (en) | 2016-05-31 | 2020-09-02 | セイコーエプソン株式会社 | Oscillator, electronic device, moving body, and oscillator manufacturing method |
JP6930134B2 (en) | 2017-02-28 | 2021-09-01 | セイコーエプソン株式会社 | Oscillators, electronics and mobiles |
US11329608B1 (en) * | 2020-10-23 | 2022-05-10 | Infineon Technologies Ag | Oscillator circuit with negative resistance margin testing |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4423576Y1 (en) * | 1966-03-16 | 1969-10-04 | ||
JPS55125460A (en) * | 1979-03-20 | 1980-09-27 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | Starting test method of crystal resonator |
JPH1010174A (en) * | 1996-06-21 | 1998-01-16 | Suwa Denshi Kk | Method for measuring ci of crystal oscillator |
JP2007116563A (en) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Hitachi Ltd | Crystal oscillator |
-
2009
- 2009-04-10 JP JP2009095509A patent/JP5216674B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010246059A (en) | 2010-10-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5216674B2 (en) | Crystal resonator quality evaluation method | |
US9281781B2 (en) | Semiconductor apparatus, oscillation circuit, and signal processing system | |
JP2001333583A (en) | Vibrator driver | |
CN107229301B (en) | Voltage regulator | |
TW200945783A (en) | Oscillation circuit | |
WO2004079895A1 (en) | Quartz oscillation circuit | |
US20080211593A1 (en) | Oscillation circuit | |
JP3593963B2 (en) | Voltage controlled oscillator, IC chip for voltage controlled oscillator, resistance adjusting device and resistance adjusting method | |
JP2003258604A (en) | Semiconductor integrated circuit with mounted filter | |
WO2010084838A1 (en) | Oscillator circuit | |
JP2005016975A (en) | Semiconductor acceleration sensor inspection method and semiconductor acceleration sensor | |
JP2001094347A (en) | Crystal oscillator and drive characteristic measuring method for quartz oscillator in the same | |
JP5999597B2 (en) | Oscillator | |
JP2022170966A (en) | Circuit arrangement and oscillator | |
JP6344544B2 (en) | Oscillator manufacturing method, semiconductor circuit device manufacturing method, and semiconductor circuit device | |
JP2006287765A (en) | Crystal oscillator circuit | |
JP3288830B2 (en) | Oscillation integrated circuit | |
JP6930134B2 (en) | Oscillators, electronics and mobiles | |
JPH10209755A (en) | Crystal oscillation circuit and integrated circuit device for crystal oscillation | |
JP7363521B2 (en) | Oscillation circuit, oscillator and oscillation circuit operating mode switching method | |
JP6141383B2 (en) | Crystal oscillator | |
JP2022171126A (en) | Circuit arrangement and oscillator | |
JP2005136664A (en) | Oscillation circuit | |
JP5801570B2 (en) | Test method for constant current oscillator | |
KR100708477B1 (en) | Apparatus for calibrating frequency |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130304 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5216674 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160308 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |