JP5212405B2 - Display panel - Google Patents

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Description

本発明は、発光素子をサブピクセルに用いたディスプレイパネルに関する。   The present invention relates to a display panel using light emitting elements as subpixels.

特許文献1に記載されているように、発光素子である有機エレクトロルミネッセンス素子は基板上にアノード、エレクトロルミネッセンス層(以下、EL層という。)、カソードの順に積層した積層構造となっており、アノードとカソードとの間に電圧が印加されるとEL層に正孔及び電子が注入され、EL層で電界発光する。EL層の発光が有機エレクトロルミネッセンス素子の設けられている基板を光透過して表示するように設計したエレクトロルミネッセンス素子をボトムエミッション型といい、一方、有機エレクトロルミネッセンス素子が設けられている基板と反対側から外部に出射するように設計したエレクトロルミネッセンス素子をトップエミッション型という。   As described in Patent Document 1, an organic electroluminescence element as a light emitting element has a laminated structure in which an anode, an electroluminescence layer (hereinafter referred to as an EL layer), and a cathode are laminated on a substrate in this order. When a voltage is applied between the cathode and the cathode, holes and electrons are injected into the EL layer, and electroluminescence occurs in the EL layer. An electroluminescence element designed to transmit light and display through a substrate on which an organic electroluminescence element is provided is referred to as a bottom emission type, whereas it is opposite to a substrate on which an organic electroluminescence element is provided. An electroluminescence element designed to emit light from the side to the outside is called a top emission type.

アクティブマトリクス駆動方式のディスプレイパネルでは一画素につき一又は複数の薄膜トランジスタが設けられており、薄膜トランジスタによって有機エレクトロルミネッセンス素子を発光させる。例えば、特許文献1に記載されたディスプレイパネルにおいては、2つの薄膜トランジスタが画素ごとに設けられている。アクティブマトリクス駆動方式のディスプレイパネルを製造するに際しては、薄膜トランジスタを画素ごとにパターニングしたトランジスタアレイ基板を作製した後にそのトランジスタアレイ基板の表面に有機エレクトロルミネッセンス素子を画素ごとにパターニングする。薄膜トランジスタの後に有機エレクトロルミネッセンス素子をパターニングするのは、薄膜トランジスタをパターニングする際の温度が有機エレクトロルミネッセンス素子の耐熱温度を超えてしまうためである。   In an active matrix drive type display panel, one or a plurality of thin film transistors are provided for each pixel, and the organic electroluminescence element emits light by the thin film transistors. For example, in the display panel described in Patent Document 1, two thin film transistors are provided for each pixel. When manufacturing an active matrix display panel, a transistor array substrate in which thin film transistors are patterned for each pixel is manufactured, and then an organic electroluminescence element is patterned on the surface of the transistor array substrate for each pixel. The reason why the organic electroluminescence element is patterned after the thin film transistor is that the temperature at which the thin film transistor is patterned exceeds the heat resistance temperature of the organic electroluminescence element.

画素ごとに薄膜トランジスタがパターニングされているから、複数の有機エレクトロルミネッセンス素子をマトリクス状にパターニングするに際して薄膜トランジスタに接続する下層側のサブピクセル電極を画素ごとに独立するようパターニングする。一方、対向電極は全ての有機エレクトロルミネッセンス素子に共通した共通電極としてべた一面に成膜する。   Since the thin film transistor is patterned for each pixel, when the plurality of organic electroluminescence elements are patterned in a matrix, the lower-layer subpixel electrode connected to the thin film transistor is patterned independently for each pixel. On the other hand, the counter electrode is formed on the entire surface as a common electrode common to all organic electroluminescence elements.

特開平8−330600号公報JP-A-8-330600

ところで、対向電極を成膜している時に熱的要因・化学的要因でEL層が損傷することがあるため、EL層の損傷を抑えるために対向電極の成膜時間をできる限り短くすることが考えられるが、対向電極の成膜時間を短くすると対向電極が薄くなる。また、有機エレクトロルミネッセンス素子をトップエミッション型にした場合、EL層で発光した光が対向電極の透過中にできる限り減衰しないように、対向電極をできる限り薄く形成することが望まれている。   By the way, when the counter electrode is formed, the EL layer may be damaged due to thermal factors or chemical factors. Therefore, in order to suppress the damage of the EL layer, it is possible to shorten the film formation time of the counter electrode as much as possible. It is conceivable that the counter electrode becomes thinner when the counter electrode deposition time is shortened. In addition, when the organic electroluminescence element is a top emission type, it is desired that the counter electrode be formed as thin as possible so that light emitted from the EL layer is not attenuated as much as possible during transmission through the counter electrode.

しかしながら、対向電極の薄膜化に伴い対向電極のシート抵抗が高くなってしまい、対向電極の高抵抗化によって対向電極の電圧が面内で一様にならず電圧の高低差が面内で顕著に表れてしまう。すなわち、対向電極が共通電極としてべた一面に形成されているから、仮に全てのサブピクセル電極に同じ大きさの電位が印加された場合でも有機エレクトロルミネッセンス素子ごとに発光強度が異なってしまい、面内の発光強度が一様にならない。   However, as the counter electrode becomes thinner, the sheet resistance of the counter electrode becomes higher. Due to the increase in resistance of the counter electrode, the voltage of the counter electrode does not become uniform in the plane, and the voltage level difference becomes noticeable in the plane. Appears. That is, since the counter electrode is formed on the entire surface as a common electrode, even if the same potential is applied to all the subpixel electrodes, the emission intensity differs for each organic electroluminescent element, and the in-plane The emission intensity is not uniform.

そこで、本発明は、上記のような問題点を解決しようとしてなされたものであり、対向電極の電圧を面内で一様にできるようにすることを目的とする。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to make the voltage of the counter electrode uniform in the plane.

以上の課題を解決するために、本発明のディスプレイパネルは、
一方の面側に複数のサブピクセルが2次元配列され、トランジスタが前記サブピクセルごとに設けられてなるトランジスタアレイ基板と、
前記トランジスタアレイ基板の前記一方の面側に、行方向に沿って互いに平行に設けられ、前記トランジスタを動作させるための電源電圧が供給され、前記複数のサブピクセルの各々の前記トランジスタの電流路の一端に電気的に接続される複数の第1給電配線と、
前記トランジスタアレイ基板の前記一方の面側に設けられ、前記複数のサブピクセルの各々の前記トランジスタ及び複数の第1給電配線を覆う第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に列方向に沿って互いに平行に設けられ、前記各第1給電配線に電気的に接続された複数の第2給電配線と、
前記複数の第2給電配線の表面を覆う第2絶縁膜と、
前記各第2給電配線の間において、前記第1絶縁膜の上面に形成され、前記各第2給電配線に沿って配列され、前記サブピクセルごとに設けられ、前記トランジスタの電流路の他端に接続され複数のサブピクセル電極と、
前記各サブピクセル電極上に成膜された発光層と、
前記複数のサブピクセル電極上の前記発光層を被覆するとともに、前記第2絶縁膜を介して前記複数の第2給電配線を被覆した対向電極と、
前記第2給電配線上の前記対向電極の、前記一方の面側の上面に設けられて、該対向電極と電気的に接続された共通配線と、
を備え、
前記複数の第2給電配線は、前記第1絶縁膜の上面からの高さが、前記各サブピクセル電極の、前記第1絶縁膜の上面からの高さより高くなる厚さに形成されたものであり、
前記共通配線は、前記対向電極の膜厚より厚く形成されたものであり、
前記複数の第1給電配線と前記複数の第2給電配線とは、前記トランジスタアレイ基板の前記複数のサブピクセルが2次元配列された領域において、平面視して前記複数のサブピクセルの各々に対応する複数箇所で交差し、該各交差した箇所で、前記第1絶縁膜に設けられたコンタクトホールを介して、互いに電気的に接続されている
In order to solve the above problems, the display panel of the present invention is
A transistor array substrate in which a plurality of subpixels are two-dimensionally arranged on one surface side, and a transistor is provided for each subpixel;
The one surface side of the transistor array substrate is provided in parallel with each other along the row direction, and a power supply voltage for operating the transistors is supplied, and the current paths of the transistors in each of the plurality of subpixels are supplied. A plurality of first power supply wirings electrically connected to one end;
A first insulating film provided on the one surface side of the transistor array substrate and covering each of the transistors and the plurality of first power supply wirings of the plurality of sub-pixels;
A plurality of second power supply lines provided in parallel to each other along the column direction on the first insulating film and electrically connected to the first power supply lines ;
A second insulating film covering a surface of the plurality of second power supply wirings;
Between each of the second power supply lines , formed on the upper surface of the first insulating film, arranged along each of the second power supply lines , provided for each subpixel, and at the other end of the current path of the transistor connected, and a plurality of sub-pixel electrodes,
A light emitting layer formed on each of the subpixel electrodes;
A counter electrode that covers the light emitting layer on the plurality of subpixel electrodes and covers the plurality of second power supply wirings via the second insulating film ;
A common line provided on the upper surface of the one surface side of the counter electrode on the second power supply line and electrically connected to the counter electrode;
With
The plurality of second power supply wirings are formed such that a height from an upper surface of the first insulating film is higher than a height of each subpixel electrode from an upper surface of the first insulating film. Yes,
The common wiring is formed thicker than the thickness of the counter electrode,
The plurality of first power supply wirings and the plurality of second power supply wirings correspond to each of the plurality of subpixels in a plan view in an area where the plurality of subpixels of the transistor array substrate are two-dimensionally arranged. Intersecting at a plurality of locations, and at each intersecting location, they are electrically connected to each other through a contact hole provided in the first insulating film .

好ましくは、前記第2絶縁膜が撥水性・撥油性を有する。 Preferably, the second insulating film has water repellency and oil repellency.

ましくは、前記共通配線が、前記発光層の発光する光に対し不透明である。 Good Mashiku, the common wiring is opaque to the emitted light of the light emitting layer.

好ましくは、前記トランジスタアレイ基板の前記一方の面側に、前記第1絶縁膜の下面側に設けられ、列方向に沿って、互いに平行に配列された複数の信号線を有し、前記複数の第2給電配線は、平面視して、前記複数の信号線にそれぞれ重なっている。 Preferably, the one surface of the transistor array substrate, wherein provided on the lower surface side of the first insulating film, along the column direction, a plurality of signal lines arranged parallel to each other, said plurality of The second power supply wiring overlaps with the plurality of signal lines in plan view .

本発明によれば、各サブピクセルのトランジスタの電流路の一端に電気的に接続され、トランジスタを動作させるための電源電圧が供給される第1給電配線上に、絶縁膜を介して第2給電配線が形成され、第1給電配線と第2給電配線とが導通しているから、トランジスタに電源電圧を供給するための給電配線の電気抵抗を低減して、各サブピクセルのトランジスタに印加される電源電圧を均等にすることができる。また、対向電極上に共通配線が形成されているので、対向電極自体が高抵抗であっても、対向電極の電圧を面内で一様にすることができる。また、対向電極をより薄膜化することが可能なので、発光層を発した光が対向電極の透過中に減衰し難くなる。 According to the present invention, the second power feeding is performed via the insulating film on the first power feeding wiring that is electrically connected to one end of the current path of the transistor of each subpixel and is supplied with the power supply voltage for operating the transistor. Since the wiring is formed and the first power supply wiring and the second power supply wiring are conductive, the electric resistance of the power supply wiring for supplying the power supply voltage to the transistor is reduced and applied to the transistor of each subpixel. The power supply voltage can be made uniform. Further , since the common wiring is formed on the counter electrode, the voltage of the counter electrode can be made uniform in the plane even if the counter electrode itself has a high resistance. Further, since the counter electrode can be made thinner, the light emitted from the light emitting layer is not easily attenuated during transmission through the counter electrode.

また、対向電極上に形成された共通配線はトランジスタのゲート・ソース・ドレインとは別にパターニングしたものとすれば、共通配線を厚くすることができる。そのため、共通配線を低抵抗することができる。従って、対向電極の電圧を面内で一様にすることができる。   Further, if the common wiring formed on the counter electrode is patterned separately from the gate, source, and drain of the transistor, the common wiring can be thickened. Therefore, the resistance of the common wiring can be reduced. Therefore, the voltage of the counter electrode can be made uniform in the plane.

また、サブピクセル電極が第2給電配線の間において第2給電配線に沿って第1の絶縁膜上に配列され、各第2給電配線は、第1絶縁膜の上面からの高さが、各サブピクセル電極の第1絶縁膜の上面からの高さより高くなる厚さに形成されているから、湿式塗布法により発光層をパターニングすると、第2給電配線を挟んで隣り合うサブピクセル電極同士で発光層用の液が混ざらないようにすることができる。 The sub-pixel electrodes, between the second power supply wiring is arranged on the first insulating film along the second feed line, high from the upper surface of each of the second power supply wiring, the first insulating film However, when the light emitting layer is patterned by a wet coating method, adjacent subpixels sandwiching the second power supply wiring are formed. It is possible to prevent the liquid for the light emitting layer from being mixed between the electrodes.

更に、平面視して第2給電配線に共通配線が重なっている上、サブピクセル電極が各第2給電配線間において各共通配線に沿って配列されているから、共通配線による画素開口率の減少を抑えることができる。 Further, since the common wiring overlaps the second power supply wiring in a plan view and the subpixel electrodes are arranged along the common wiring between the second power supply wirings , the pixel aperture ratio is reduced by the common wiring. Can be suppressed.

本発明によれば、対向電極上に共通配線が形成されているので、対向電極自体が薄膜化してより高抵抗になった場合でも、対向電極の電圧を面内で一様にすることができる。また、対向電極をより薄膜化することが可能なので、発光層を発した光が対向電極の透過中に減衰し難くなる。   According to the present invention, since the common wiring is formed on the counter electrode, the voltage of the counter electrode can be made uniform in the plane even when the counter electrode itself is thinned to have a higher resistance. . Further, since the counter electrode can be made thinner, the light emitted from the light emitting layer is not easily attenuated during transmission through the counter electrode.

また、第2給電配線及び選択配線がトランジスタのドレイン・ソース・ゲートとは別に形成されているから、第2給電配線及び選択配線の幅を広くせずとも給電配線及び選択配線を厚くすることができ、給電配線及び選択配線を低抵抗化することができる。そのため、給電配線、選択配線を通じてトランジスタに信号を出力した場合でも、電圧降下を抑えることができるとともに信号遅延も抑えることができる。また、給電配線及び選択敗戦の幅が広くならないので、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。 In addition, since the second power supply wiring and the selection wiring are formed separately from the drain, the source, and the gate of the transistor, it is possible to increase the thickness of the power supply wiring and the selection wiring without increasing the width of the second power supply wiring and the selection wiring. In addition, the resistance of the power supply wiring and the selection wiring can be reduced. Therefore, even when a signal is output to the transistor through the power supply wiring and the selection wiring, a voltage drop can be suppressed and a signal delay can be suppressed. Further, since the width of the power supply wiring and the selective defeat is not widened, a decrease in the pixel aperture ratio can be minimized.

また、サブピクセル電極が各選択配線、各給電配線間において各選択配線、各給電配線に沿って配列され、それらに疎水絶縁膜が被覆されているから、湿式塗布法により発光層をパターニングする際に、疎水絶縁膜を挟んで隣り合うサブピクセル電極同士で発光層用の液が混ざらないようにすることができる。   In addition, since the subpixel electrode is arranged along each selection wiring and each power supply wiring between each selection wiring and each power supply wiring and is covered with a hydrophobic insulating film, when the light emitting layer is patterned by the wet coating method In addition, the liquid for the light emitting layer can be prevented from being mixed between the subpixel electrodes adjacent to each other with the hydrophobic insulating film interposed therebetween.

また、平面視して選択配線、給電配線に共通配線が重なっているから、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。   In addition, since the common wiring overlaps the selection wiring and the power supply wiring in a plan view, a decrease in the pixel aperture ratio can be minimized.

本発明によれば、各サブピクセルのトランジスタの電流路の一端に電気的に接続され、トランジスタを動作させるための電源電圧が供給される第1給電配線上に、絶縁膜を介して第2給電配線が形成され、第1給電配線と第2給電配線とが導通しているから、トランジスタに電源電圧を供給するための給電配線の電気抵抗を低減して、各サブピクセルのトランジスタに印加される電源電圧を均等にすることができる。また、対向電極上に形成された共通配線によって、対向電極の電圧を面内で一様にすることができる。そのため、対向電極をより薄膜化することができ、発光層を発した光が対向電極の透過中に減衰し難くなる。 According to the present invention, the second power feeding is performed via the insulating film on the first power feeding wiring that is electrically connected to one end of the current path of the transistor of each subpixel and is supplied with the power supply voltage for operating the transistor. Since the wiring is formed and the first power supply wiring and the second power supply wiring are conductive, the electric resistance of the power supply wiring for supplying the power supply voltage to the transistor is reduced and applied to the transistor of each subpixel. The power supply voltage can be made uniform. Further, the common electrode formed on the counter electrode can make the voltage of the counter electrode uniform in the plane. Therefore, the counter electrode can be made thinner, and the light emitted from the light emitting layer is less likely to attenuate during transmission through the counter electrode.

第1実施形態におけるディスプレイパネルの画素3を示した平面図である。It is the top view which showed the pixel 3 of the display panel in 1st Embodiment. サブピクセルPの等価回路図である。3 is an equivalent circuit diagram of a subpixel P. FIG. サブピクセルPの電極を示した平面図である。3 is a plan view showing electrodes of subpixels P. FIG. 図1に示された切断線IV−IVに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the cutting line IV-IV shown by FIG. 図1に示された切断線V−Vに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the cutting line VV shown by FIG. 図1に示された切断線VI−VIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the cutting line VI-VI shown by FIG. 図1に示された切断線VII−VIIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the cutting line VII-VII shown by FIG. ディスプレイパネルの配線構造を示した略平面図である。It is the schematic plan view which showed the wiring structure of the display panel. 図8のディスプレイパネルの駆動方法を説明するためのタイミングチャートである。FIG. 9 is a timing chart for explaining a method of driving the display panel of FIG. 8. ディスプレイパネルの配線構造を示した略平面図である。It is the schematic plan view which showed the wiring structure of the display panel. 図10のディスプレイパネルの駆動方法を説明するためのタイミングチャートである。11 is a timing chart for explaining a method of driving the display panel of FIG. 10. 各サブピクセルの駆動トランジスタ23及び有機EL素子20の電流−電圧特性を示すグラフである。4 is a graph showing current-voltage characteristics of a driving transistor 23 and an organic EL element 20 of each subpixel. 32インチのディスプレイパネル1の給電配線90及び共通配線91のそれぞれの最大電圧降下と配線抵抗率ρ/断面積Sの相関を示すグラフである。It is a graph which shows the correlation of each maximum voltage drop of the electric power feeding wiring 90 of the 32 inch display panel 1, and the common wiring 91, and wiring resistivity (rho) / sectional area S. FIG. 32インチのディスプレイパネル1の給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積と電流密度の相関を示すグラフである。It is a graph which shows the correlation of each cross-sectional area and electric current density of the electric power feeding wiring 90 of the 32-inch display panel 1, and the common wiring 91. FIG. 40インチのディスプレイパネル1の給電配線90及び共通配線91のそれぞれの最大電圧降下と配線抵抗率ρ/断面積Sの相関を示すグラフである。It is a graph which shows the correlation of each maximum voltage drop of the electric power feeding wiring 90 of the 40-inch display panel 1, and the common wiring 91, and wiring resistivity (rho) / sectional area S. FIG. 40インチのディスプレイパネル1の給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積と電流密度の相関を示すグラフである。It is a graph which shows the correlation of each cross-sectional area of the electric power feeding wiring 90 of the 40-inch display panel 1, and the common wiring 91, and current density. 第2実施形態におけるディスプレイパネルの画素3を示した平面図である。It is the top view which showed the pixel 3 of the display panel in 2nd Embodiment. サブピクセルPの電極を示した平面図である。3 is a plan view showing electrodes of subpixels P. FIG. 図17に示された切断線XIX−XIXに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。FIG. 18 is a cross-sectional view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along the cutting line XIX-XIX shown in FIG. 17. 図17に示された切断線XX−XXに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the cutting line XX-XX shown by FIG. 図17に示された切断線XXI−XVIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the cutting line XXI-XVI shown by FIG. 図17に示された切断線XXII−XXIIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。18 is a cross-sectional view taken in the direction of the arrow along the cutting line XXII-XXII shown in FIG. 第2実施形態におけるディスプレイパネルの配線の配列位置を示した略平面図である。It is the schematic plan view which showed the arrangement position of the wiring of the display panel in 2nd Embodiment. 第2実施形態におけるディスプレイパネルのメッシュ共通配線の配列位置を示した略平面図である。It is the schematic plan view which showed the arrangement position of the mesh common wiring of the display panel in 2nd Embodiment. 第2実施形態におけるディスプレイパネルを示した略平面図である。It is the schematic plan view which showed the display panel in 2nd Embodiment. 第3実施形態におけるディスプレイパネルの画素3を示した平面図である。It is the top view which showed the pixel 3 of the display panel in 3rd Embodiment. 図26に示された切断線XXVII−XXVIIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the cutting line XXVII-XXVII shown by FIG. 図26に示された切断線XXVIII−XXVIIIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulated substrate 2 along the cutting line XXVIII-XXVIII shown by FIG.

以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて説明する。但し、以下に述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び図示例に限定するものではない。また、以下の説明において、エレクトロルミネッセンス(Electro Luminescence)という用語をELと略称する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. However, although various technically preferable limitations for implementing the present invention are given to the embodiments described below, the scope of the invention is not limited to the following embodiments and illustrated examples. Further, in the following description, the term electroluminescence is abbreviated as EL.

[第1の実施の形態]
〔ディスプレイパネルの平面レイアウト〕
図1には、アクティブマトリクス駆動方式で動作するディスプレイパネル1の画素3の概略平面図が示されている。このディスプレイパネル1においては、1ピクセルの画素3が、赤色に発光する1ドットの赤サブピクセルPrと、緑色に発光する1ドットの緑サブピクセルPgと、青色に発光する1ドットの青サブピクセルPbと、からなる。このような画素3が絶縁基板2上にマトリクス状に配列されている。具体的に垂直方向(列方向)の配列に着目すると、複数の赤サブピクセルPrが垂直方向に沿って一列に配列され、複数の緑サブピクセルPgが垂直方向に沿って一列に配列され、複数の青サブピクセルPbが垂直方向に沿って一列に配列されている。水平方向(行方向)の配列に着目すると、赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbの順に繰り返し配列され、水平方向に連続して並んだ赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbの組み合わせが画素3となる。なお、以下の説明において、サブピクセルPはこれら赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbの中の任意のサブピクセルを表し、サブピクセルPについての説明は赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbの何れについても適用される。
[First Embodiment]
[Planar layout of display panel]
FIG. 1 shows a schematic plan view of a pixel 3 of a display panel 1 that operates in an active matrix drive system. In the display panel 1, a pixel 3 includes one red subpixel Pr that emits red light, one green subpixel Pg that emits green light, and one blue subpixel that emits blue light. Pb. Such pixels 3 are arranged in a matrix on the insulating substrate 2. Specifically, when attention is paid to the arrangement in the vertical direction (column direction), a plurality of red subpixels Pr are arranged in a line along the vertical direction, and a plurality of green subpixels Pg are arranged in a line along the vertical direction. Blue subpixels Pb are arranged in a line along the vertical direction. Focusing on the arrangement in the horizontal direction (row direction), a red subpixel Pr, a green subpixel Pg, a red subpixel Pr, a green subpixel Pg, and a blue subpixel Pb, which are repeatedly arranged in this order, are continuously arranged in the horizontal direction. The combination of the blue subpixels Pb is the pixel 3. In the following description, the sub-pixel P represents an arbitrary sub-pixel among the red sub-pixel Pr, the green sub-pixel Pg, and the blue sub-pixel Pb, and the description of the sub-pixel P is a red sub-pixel Pr and a green sub-pixel. This applies to both the pixel Pg and the blue subpixel Pb.

垂直方向の青サブピクセルPbの列と赤サブピクセルPrの列との間には、信号線Yrが敷設され、垂直方向の赤サブピクセルPrの列と緑サブピクセルPgの列ととの間には、信号線Ygが敷設され、垂直方向の緑サブピクセルPgの列と青サブピクセルPbの列との間には、信号線Ybが敷設されている。従って、水平方向の配列順に着目すると、信号線Yr、信号線Yg、信号線Ybの順に繰り返し配列されている。これら信号線Yr、信号線Yg、信号線Ybは、垂直方向に延在し、互いに平行に設けられている。   A signal line Yr is laid between the vertical blue subpixel Pb column and the red subpixel Pr column, and between the vertical red subpixel Pr column and the green subpixel Pg column. The signal line Yg is laid, and the signal line Yb is laid between the column of the green subpixels Pg and the column of the blue subpixels Pb in the vertical direction. Therefore, when attention is paid to the arrangement order in the horizontal direction, the signal lines Yr, the signal lines Yg, and the signal lines Yb are repeatedly arranged in this order. These signal line Yr, signal line Yg, and signal line Yb extend in the vertical direction and are provided in parallel to each other.

ここで、信号線Yrは垂直方向に沿って一列に配列された全ての赤サブピクセルPrのそれぞれに対して順次所定の電流値の信号を流すものであり、信号線Ygは垂直方向に沿って一列に配列された全ての緑サブピクセルPgのそれぞれに対して順次所定の電流値の信号を流すものであり、信号線Ybは垂直方向に沿って一列に配列された全ての青サブピクセルPbのそれぞれに対して順次所定の電流値の信号を流すものである。なお、以下の説明において、赤サブピクセルPrの場合では信号線Yが図1の信号線Yrを表し、緑サブピクセルPgの場合では信号線Yが図1の信号線Ygを表し、青サブピクセルPbの場合では信号線Yが図1の信号線Ybを表し、信号線Yについての説明は信号線Yr、信号線Yg、信号線Ybの何れについても適用される。   Here, the signal line Yr allows a signal of a predetermined current value to flow sequentially to each of all the red subpixels Pr arranged in a line along the vertical direction, and the signal line Yg extends along the vertical direction. A signal having a predetermined current value is sequentially supplied to each of all the green subpixels Pg arranged in a line, and the signal line Yb is connected to all the blue subpixels Pb arranged in a line along the vertical direction. A signal having a predetermined current value is sequentially supplied to each of them. In the following description, in the case of the red subpixel Pr, the signal line Y represents the signal line Yr in FIG. 1, and in the case of the green subpixel Pg, the signal line Y represents the signal line Yg in FIG. In the case of Pb, the signal line Y represents the signal line Yb in FIG. 1, and the description of the signal line Y applies to any of the signal line Yr, the signal line Yg, and the signal line Yb.

平面視して、信号線Yに共通配線91が重なっているが、信号線Yと共通配線91は電気的に絶縁されている。   The common wiring 91 overlaps the signal line Y in plan view, but the signal line Y and the common wiring 91 are electrically insulated.

また、複数本の走査線Xが水平方向に沿って延在し、これら走査線Xに対して互い違いとなるよう複数本の供給線Z、複数本の給電配線90が平行に設けられている。平面視して、供給線Zに給電配線90が重なっており、供給線Zと給電配線90は互いに導通している。走査線Xと供給線Zとの間において、複数の画素3が水平方向に沿った一行に配列されている。垂直方向の配列順に着目すると、走査線X、画素3の列、供給線Zの順に繰り返し配列されている。   A plurality of scanning lines X extend in the horizontal direction, and a plurality of supply lines Z and a plurality of power supply wirings 90 are provided in parallel so as to be staggered with respect to the scanning lines X. In plan view, the power supply wiring 90 overlaps the supply line Z, and the supply line Z and the power supply wiring 90 are electrically connected to each other. Between the scanning line X and the supply line Z, a plurality of pixels 3 are arranged in one row along the horizontal direction. If attention is paid to the arrangement order in the vertical direction, the scanning lines X, the columns of the pixels 3, and the supply lines Z are repeatedly arranged in this order.

ここで、走査線Xは水平方向に沿った一行に配列された全サブピクセルPr,Pg,Pbに信号を供給するものであり、供給線Zも水平方向に沿った一行に配列された全サブピクセルPr,Pg,Pbに信号を供給するものである。   Here, the scanning line X supplies signals to all the sub-pixels Pr, Pg, Pb arranged in one row along the horizontal direction, and the supply line Z is also arranged in all the sub-pixels arranged in one row along the horizontal direction. Signals are supplied to the pixels Pr, Pg, and Pb.

サブピクセルPr,Pg,Pbの色は、後述する有機EL素子20(図2等に図示)の発光色によって定まる。   The colors of the subpixels Pr, Pg, and Pb are determined by the emission color of the organic EL element 20 (shown in FIG. 2 and the like) described later.

〔サブピクセルの回路構成〕
次に、サブピクセルPr,Pg,Pbの回路構成について図2の等価回路図、図8の略平面図を用いて説明する。何れのサブピクセルPr,Pg,Pbも同様に構成されており、1ドットのサブピクセルPにつき、有機EL素子20、Nチャネル型のアモルファスシリコン薄膜トランジスタ(以下単にトランジスタと記述する。)21,22,23及びキャパシタ24が設けられている。以下では、トランジスタ21をスイッチトランジスタ21と称し、トランジスタ22を保持トランジスタ22と称し、トランジスタ23を駆動トランジスタ23と称する。
[Sub-pixel circuit configuration]
Next, the circuit configuration of the subpixels Pr, Pg, and Pb will be described with reference to the equivalent circuit diagram of FIG. 2 and the schematic plan view of FIG. All of the subpixels Pr, Pg, and Pb are configured in the same manner. For each subpixel P of one dot, the organic EL element 20 and an N-channel amorphous silicon thin film transistor (hereinafter simply referred to as a transistor) 21,22. 23 and a capacitor 24 are provided. Hereinafter, the transistor 21 is referred to as a switch transistor 21, the transistor 22 is referred to as a holding transistor 22, and the transistor 23 is referred to as a drive transistor 23.

ここで信号線Yはn本あり、信号線Y1〜Ynの延在した方向を垂直方向(列方向)といい、走査線X1〜Xmの延在した方向を水平方向(行方向)という。また、m,nはそれぞれ2以上の自然数であり、且つnは3の倍数であり、走査線Xに下付けした数字は図8において上からの配列順を表し、供給線Zに下付けした数字は図8において上からの配列順を表し、信号線Yに下付けした数字は図8において左からの配列順を表し、サブピクセルPに下付けした数字の前側が上からの配列順を表し、後ろ側が左からの配列順を表す。すなわち、1〜mのうちの任意の自然数をiとし、1からnのうちの任意の自然数をjとした場合に、走査線Xiは上からi行目であり、供給線Ziは左からi行目であり、信号線Yjは左からj列目であり、サブピクセルPi,jは上からi行目、左からj列目であり、サブピクセルPi,jは走査線Xi、供給線Zi及び信号線Yjに接続されている。 Here, there are n signal lines Y, the extending direction of the signal lines Y 1 to Y n is referred to as a vertical direction (column direction), and the extending direction of the scanning lines X 1 to X m is defined as a horizontal direction (row direction). ). In addition, m and n are each a natural number of 2 or more, and n is a multiple of 3, and the number subscripted to the scanning line X represents the order of arrangement from the top in FIG. The numbers represent the order of arrangement from the top in FIG. 8, the numbers subscripted to the signal line Y represent the order of arrangement from the left in FIG. 8, and the front side of the numbers subscripted to the subpixel P represents the order of arrangement from the top. Represents the order of arrangement from the left. That is, when an arbitrary natural number of 1 to m is i and an arbitrary natural number of 1 to n is j, the scanning line X i is the i-th row from the top, and the supply line Z i is the left The signal line Y j is the j-th column from the left, the sub-pixel P i, j is the i-th row from the top, the j-th column from the left, and the sub-pixel P i, j is the scanning line. It is connected to X i , supply line Z i and signal line Y j .

スイッチトランジスタ21においては、ソース21sが信号線Yに導通し、ドレイン21dが有機EL素子20のサブピクセル電極20a、駆動トランジスタ23のソース23s及びキャパシタ24の上層電極24Bに導通し、ゲート21gが保持トランジスタ22のゲート22g及び走査線Xに導通している。   In the switch transistor 21, the source 21s is conducted to the signal line Y, the drain 21d is conducted to the subpixel electrode 20a of the organic EL element 20, the source 23s of the driving transistor 23 and the upper layer electrode 24B of the capacitor 24, and the gate 21g is held. The transistor 22 is electrically connected to the gate 22g and the scanning line X.

保持トランジスタ22においては、ソース22sが駆動トランジスタ23のゲート23g及びキャパシタ24の下層電極24Aに導通し、ドレイン22dが駆動トランジスタ23のドレイン23d及び供給線Zに導通し、ゲート22gがスイッチトランジスタ21のゲート21g及び走査線Xに導通している。保持トランジスタ22のドレイン22dは、走査線Xに接続されていてもよい。   In the holding transistor 22, the source 22 s is connected to the gate 23 g of the drive transistor 23 and the lower layer electrode 24 A of the capacitor 24, the drain 22 d is connected to the drain 23 d of the drive transistor 23 and the supply line Z, and the gate 22 g is connected to the switch transistor 21. It is electrically connected to the gate 21g and the scanning line X. The drain 22d of the holding transistor 22 may be connected to the scanning line X.

駆動トランジスタ23においては、ソース23sが有機EL素子20のサブピクセル電極20a、スイッチトランジスタ21のドレイン21d及びキャパシタ24の上層電極24Bに導通し、ドレイン23dが保持トランジスタ22のドレイン22d及び供給線Zに導通し、ゲート23gが保持トランジスタ22のソース22s及びキャパシタ24の下層電極24Aに導通している。   In the drive transistor 23, the source 23 s is electrically connected to the subpixel electrode 20 a of the organic EL element 20, the drain 21 d of the switch transistor 21 and the upper layer electrode 24 B of the capacitor 24, and the drain 23 d is connected to the drain 22 d of the holding transistor 22 and the supply line Z. The gate 23g is electrically connected to the source 22s of the holding transistor 22 and the lower layer electrode 24A of the capacitor 24.

有機EL素子20のカソードとなる対向電極20cは共通配線91に導通している。   The counter electrode 20 c serving as the cathode of the organic EL element 20 is electrically connected to the common wiring 91.

垂直方向に沿って一列に配列された何れの赤サブピクセルPrのスイッチトランジスタ21のソース21sも共通の信号線Yrに導通し、垂直方向に沿って一列に配列された何れの緑サブピクセルPgのスイッチトランジスタ21のソース21sも共通の信号線Ygに導通し、垂直方向に沿って一列に配列された何れの青サブピクセルPbのスイッチトランジスタ21のソース21sも共通の信号線Ybに導通している。   The sources 21s of the switch transistors 21 of any red subpixel Pr arranged in a line along the vertical direction are conducted to the common signal line Yr, and any of the green subpixels Pg arranged in a line along the vertical direction. The source 21s of the switch transistor 21 is also conducted to the common signal line Yg, and the source 21s of the switch transistor 21 of any blue subpixel Pb arranged in a line along the vertical direction is also conducted to the common signal line Yb. .

一方、水平方向に沿った一行に配列された何れのサブピクセルPr,Pg,Pbのスイッチトランジスタ21のゲート21gも共通の走査線Xに導通し、水平方向に沿った一行に配列された何れのサブピクセルPr,Pg,Pbの保持トランジスタ22のゲート22gも共通の走査線Xに導通し、水平方向に沿った一行に配列された画素3の何れのサブピクセルPr,Pg,Pbの保持トランジスタ22のドレイン22dも共通の供給線Zに導通し、水平方向に沿った一行に配列された画素3の何れのサブピクセルPr,Pg,Pbの駆動トランジスタ23のドレイン23dも共通の供給線Zに導通している。   On the other hand, the gates 21g of the switch transistors 21 of any of the subpixels Pr, Pg, and Pb arranged in one row along the horizontal direction are electrically connected to the common scanning line X, and any of the gate transistors 21g arranged in one row along the horizontal direction. The gates 22g of the holding transistors 22 of the subpixels Pr, Pg, and Pb are also conducted to the common scanning line X, and the holding transistors 22 of any of the subpixels Pr, Pg, and Pb of the pixels 3 arranged in one row along the horizontal direction. The drains 22d of the sub-pixels Pr, Pg, Pb of the pixels 3 arranged in a row along the horizontal direction are also connected to the common supply line Z. doing.

〔サブピクセルの平面レイアウト〕
図3は、サブピクセルPの電極を主に示した平面図である。
[Planar layout of subpixels]
FIG. 3 is a plan view mainly showing electrodes of the subpixel P.

図3に示すように、何れのサブピクセルPr,Pg,Pbにおいても、平面視して、スイッチトランジスタ21が信号線Yに沿うように配置され、保持トランジスタ22が走査線Xの近くのサブピクセルPの角部に配置され、駆動トランジスタ23が隣りの信号線Yに沿うように配置され、キャパシタ24が駆動トランジスタ23に沿うように配置されている。   As shown in FIG. 3, in any of the subpixels Pr, Pg, and Pb, the switch transistor 21 is disposed along the signal line Y in plan view, and the holding transistor 22 is a subpixel near the scanning line X. The driving transistor 23 is disposed along the adjacent signal line Y, and the capacitor 24 is disposed along the driving transistor 23.

なお、ディスプレイパネル1全体を平面視して、全てのサブピクセルPr,Pg,Pbのスイッチトランジスタ21だけに着目すると、複数のスイッチトランジスタ21がマトリクス状に配列され、全てのサブピクセルPr,Pg,Pbの保持トランジスタ22だけに着目すると、複数の保持トランジスタ22がマトリクス状に配列され、全てのサブピクセルPr,Pg,Pbの駆動トランジスタ23だけに着目すると、複数の駆動トランジスタ23がマトリクス状に配列されている。   When the entire display panel 1 is viewed in plan and attention is paid only to the switch transistors 21 of all the subpixels Pr, Pg, Pb, a plurality of switch transistors 21 are arranged in a matrix, and all the subpixels Pr, Pg, Focusing only on the holding transistor 22 of Pb, a plurality of holding transistors 22 are arranged in a matrix, and focusing on only the driving transistors 23 of all the subpixels Pr, Pg, Pb, the plurality of driving transistors 23 are arranged in a matrix. Has been.

図1及び図3では、トランジスタ21〜23を見やすくするために、有機EL素子20のサブピクセル電極20aの図示を省略するが、サブピクセル電極20aは、水平方向に隣り合う信号線Yと、垂直方向に隣り合う供給線Z及び走査線Xとによって囲まれた矩形領域内に配置されている。そして、サブピクセル電極20aは、その矩形領域に沿うように矩形状に設けられている。そのため、ディスプレイパネル1全体を平面視して、全てのサブピクセルPr,Pg,Pbのサブピクセル電極20aだけに着目すると、複数のサブピクセル電極20aがマトリクス状に配列されている。   In FIG. 1 and FIG. 3, in order to make the transistors 21 to 23 easier to see, the subpixel electrode 20a of the organic EL element 20 is not shown, but the subpixel electrode 20a is perpendicular to the signal line Y adjacent in the horizontal direction. It is arranged in a rectangular area surrounded by the supply line Z and the scanning line X adjacent in the direction. The subpixel electrode 20a is provided in a rectangular shape along the rectangular region. Therefore, when the entire display panel 1 is viewed in plan and attention is paid only to the subpixel electrodes 20a of all the subpixels Pr, Pg, Pb, a plurality of subpixel electrodes 20a are arranged in a matrix.

〔ディスプレイパネル1の層構造〕
ディスプレイパネル1の層構造について図4〜図7を用いて説明する。ここで、図4は、図1に示された切断線IV−IVに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図であり、図5は、図1に示された切断線V−Vに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図であり、図6は、図1に示された切断線VI−VIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図であり、図7は、図1に示された切断線VII−VIIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。
[Layer structure of display panel 1]
The layer structure of the display panel 1 will be described with reference to FIGS. 4 is a cross-sectional view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along the cutting line IV-IV shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a cutting line shown in FIG. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line V-V in the thickness direction of the insulating substrate 2, and FIG. 6 is cut in the thickness direction of the insulating substrate 2 along the cutting line VI-VI shown in FIG. 1. 7 is a cross-sectional view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along the cutting line VII-VII shown in FIG.

ディスプレイパネル1は、光透過性を有する絶縁基板2に対して種々の層を積層したものである。絶縁基板2は可撓性のシート状に設けられているか、又は剛性の板状に設けられている。   The display panel 1 is obtained by laminating various layers on an insulating substrate 2 having optical transparency. The insulating substrate 2 is provided in the form of a flexible sheet or is provided in the form of a rigid plate.

まず、トランジスタ21〜23の層構造について説明する。図4に示すように、スイッチトランジスタ21は、絶縁基板2上に形成されたゲート21gと、ゲート21g上に形成されたゲート絶縁膜31と、ゲート絶縁膜31を挟んでゲート21gに対向した半導体膜21cと、半導体膜21cの中央部上に形成されたチャネル保護膜21pと、半導体膜21cの両端部上において互いに離間するよう形成され、チャネル保護膜21pに一部重なった不純物半導体膜21a,21bと、不純物半導体膜21a上に形成されたドレイン21dと、不純物半導体膜21b上に形成されたソース21sと、から構成されている。なお、ドレイン21d及びソース21sは一層構造であっても良いし、二層以上の積層構造であっても良い。   First, the layer structure of the transistors 21 to 23 will be described. As shown in FIG. 4, the switch transistor 21 includes a gate 21g formed on the insulating substrate 2, a gate insulating film 31 formed on the gate 21g, and a semiconductor facing the gate 21g with the gate insulating film 31 interposed therebetween. A film 21c, a channel protective film 21p formed on the central portion of the semiconductor film 21c, and impurity semiconductor films 21a formed on both ends of the semiconductor film 21c so as to be separated from each other and partially overlapping the channel protective film 21p, 21b, a drain 21d formed on the impurity semiconductor film 21a, and a source 21s formed on the impurity semiconductor film 21b. Note that the drain 21d and the source 21s may have a single-layer structure or a stacked structure of two or more layers.

駆動トランジスタ23は、絶縁基板2上に形成されたゲート23gと、ゲート23g上に形成されたゲート絶縁膜31と、ゲート絶縁膜31を挟んでゲート23gに対向した半導体膜23cと、半導体膜23cの中央部上に形成されたチャネル保護膜23pと、半導体膜23cの両端部上において互いに離間するよう形成され、チャネル保護膜23pに一部重なった不純物半導体膜23a,23bと、不純物半導体膜23a上に形成されたドレイン23dと、不純物半導体膜23b上に形成されたソース23sと、から構成されている。図3に示すように平面視した場合、駆動トランジスタ23がコ字状に設けられていることで、駆動トランジスタ23のチャネル幅が広くなっている。ドレイン23d及びソース23sは一層構造であっても良いし、二層以上の積層構造であっても良い。   The driving transistor 23 includes a gate 23g formed on the insulating substrate 2, a gate insulating film 31 formed on the gate 23g, a semiconductor film 23c facing the gate 23g with the gate insulating film 31 interposed therebetween, and a semiconductor film 23c. Impurity protective film 23a, 23b formed on the both ends of the semiconductor film 23c and spaced apart from each other and partially overlapping the channel protective film 23p, and the impurity semiconductor film 23a The drain 23d formed above and the source 23s formed on the impurity semiconductor film 23b. When viewed in plan as shown in FIG. 3, the channel width of the drive transistor 23 is widened because the drive transistor 23 is provided in a U shape. The drain 23d and the source 23s may have a single layer structure or a stacked structure of two or more layers.

図7に示すように、保持トランジスタ22は、絶縁基板2上に形成されたゲート22gと、ゲート22g上に形成されたゲート絶縁膜31と、ゲート絶縁膜31を挟んでゲート22gに対向した半導体膜22cと、半導体膜22cの中央部上に形成されたチャネル保護膜22pと、半導体膜22cの両端部上において互いに離間するよう形成され、チャネル保護膜22pに一部重なった不純物半導体膜22a,22bと、不純物半導体膜22a上に形成されたドレイン22dと、不純物半導体膜22b上に形成されたソース22sと、から構成されている。   As shown in FIG. 7, the holding transistor 22 includes a gate 22g formed on the insulating substrate 2, a gate insulating film 31 formed on the gate 22g, and a semiconductor facing the gate 22g with the gate insulating film 31 interposed therebetween. A film 22c, a channel protective film 22p formed on the central portion of the semiconductor film 22c, and impurity semiconductor films 22a formed on both ends of the semiconductor film 22c so as to be separated from each other and partially overlapping the channel protective film 22p, 22b, a drain 22d formed on the impurity semiconductor film 22a, and a source 22s formed on the impurity semiconductor film 22b.

また、何れのサブピクセルPr,Pg,Pbでも、スイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22及び駆動トランジスタ23が同様の層構造になっている。   In any of the subpixels Pr, Pg, and Pb, the switch transistor 21, the holding transistor 22, and the driving transistor 23 have the same layer structure.

次に、キャパシタ24の層構造について説明する。図4に示すように、キャパシタ24は、絶縁基板2上に形成された下層電極24Aと、下層電極24A上に形成されたゲート絶縁膜31と、ゲート絶縁膜31を挟んで下層電極24Aに対向した上層電極24Bと、から構成されている。何れのサブピクセルPr,Pg,Pbでもキャパシタ24は同様の層構造になっている。   Next, the layer structure of the capacitor 24 will be described. As shown in FIG. 4, the capacitor 24 is opposed to the lower layer electrode 24 </ b> A formed on the insulating substrate 2, the gate insulating film 31 formed on the lower layer electrode 24 </ b> A, and the lower layer electrode 24 </ b> A across the gate insulating film 31. The upper layer electrode 24B. The capacitor 24 has the same layer structure in any of the subpixels Pr, Pg, and Pb.

次に、トランジスタ21〜23及びキャパシタ24の各層と信号線Y、走査線X及び供給線Zとの関係について図3〜図7を用いて説明する。   Next, the relationship among the layers of the transistors 21 to 23 and the capacitor 24 and the signal line Y, the scanning line X, and the supply line Z will be described with reference to FIGS.

全てのサブピクセルPr,Pg,Pbのスイッチトランジスタ21のゲート21g、保持トランジスタ22のゲート22g、駆動トランジスタ23のゲート23g及びキャパシタ24の下層電極24A並びに全ての信号線Yr,Yg,Ybは、絶縁基板2上にべた一面に成膜された導電性膜をフォトリソグラフィー法・エッチング法によってパターニングすることで形成されたものである。以下では、スイッチトランジスタ21のゲート21g、保持トランジスタ22のゲート22g、駆動トランジスタ23のゲート23g及びキャパシタ24の下層電極24A並びに信号線Yr,Yg,Ybの元となる導電性膜をゲートレイヤーという。   The gate 21g of the switch transistor 21, the gate 22g of the holding transistor 22, the gate 23g of the driving transistor 23, the lower layer electrode 24A of the capacitor 24, and all the signal lines Yr, Yg, Yb of all the subpixels Pr, Pg, Pb are insulated. The conductive film formed on the entire surface of the substrate 2 is formed by patterning by a photolithography method and an etching method. Hereinafter, the gate 21g of the switch transistor 21, the gate 22g of the holding transistor 22, the gate 23g of the drive transistor 23, the lower layer electrode 24A of the capacitor 24, and the conductive film that is the source of the signal lines Yr, Yg, Yb are referred to as a gate layer.

ゲート絶縁膜31は、全てのサブピクセルPr,Pg,Pbのスイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22、駆動トランジスタ23及びキャパシタ24に共通した絶縁膜であり、面内にべた一面に成膜されている。従って、ゲート絶縁膜31は、スイッチトランジスタ21のゲート21g、保持トランジスタ22のゲート22g、駆動トランジスタ23のゲート23g及びキャパシタ24の下層電極24A並びに信号線Yr,Yg,Ybを被覆している。   The gate insulating film 31 is an insulating film common to the switch transistor 21, the holding transistor 22, the driving transistor 23, and the capacitor 24 of all the subpixels Pr, Pg, and Pb, and is formed over the entire surface. Therefore, the gate insulating film 31 covers the gate 21g of the switch transistor 21, the gate 22g of the holding transistor 22, the gate 23g of the drive transistor 23, the lower layer electrode 24A of the capacitor 24, and the signal lines Yr, Yg, Yb.

全てのサブピクセルPr,Pg,Pbのスイッチトランジスタ21のドレイン21d・ソース21s、保持トランジスタ22のドレイン22d・ソース22s、駆動トランジスタ23のドレイン23d・ソース23s及びキャパシタ24の上層電極24B並びに全ての走査線X及び供給線Zは、ゲート絶縁膜31上にべた一面に成膜された導電性膜をフォトリソグラフィー法・エッチング法によってパターニングすることで形成されたものである。以下では、スイッチトランジスタ21のドレイン21d・ソース21s、保持トランジスタ22のドレイン22d・ソース22s、駆動トランジスタ23のドレイン23d・ソース23s及びキャパシタ24の上層電極24B並びに走査線X及び供給線Zの元となる導電性膜をドレインレイヤーという。   The drain 21d and source 21s of the switch transistor 21 of all the subpixels Pr, Pg, and Pb, the drain 22d and source 22s of the holding transistor 22, the drain 23d and source 23s of the driving transistor 23, the upper layer electrode 24B of the capacitor 24, and all the scans. The line X and the supply line Z are formed by patterning a conductive film formed on the entire surface of the gate insulating film 31 by a photolithography method or an etching method. In the following, the drain 21d and source 21s of the switch transistor 21, the drain 22d and source 22s of the holding transistor 22, the drain 23d and source 23s of the driving transistor 23, the upper layer electrode 24B of the capacitor 24, the source of the scanning line X and the supply line Z This conductive film is called a drain layer.

1ドットのサブピクセルPにつき1つのコンタクトホール92がゲート絶縁膜31の走査線Xに重なる箇所に形成され、何れのサブピクセルPr,Pg,Pbにおいても、スイッチトランジスタ21のゲート21g及び保持トランジスタ22のゲート22gがコンタクトホール92を介して走査線Xに導通している。1ドットのサブピクセルPにつき1つのコンタクトホール94がゲート絶縁膜31の信号線Yに重なる箇所に形成され、何れのサブピクセルPr,Pg,Pbにおいても、スイッチトランジスタ21のソース21sがコンタクトホール94を介して信号線Yに導通している。1ドットのサブピクセルPにつき1つのコンタクトホール93がゲート絶縁膜31の下層電極24Aに重なる箇所に形成され、何れのサブピクセルPr,Pg,Pbにおいても保持トランジスタ22のソース22sが駆動トランジスタ23のゲート23g及びキャパシタ24の下層電極24Aに導通している。   One contact hole 92 is formed at a position overlapping the scanning line X of the gate insulating film 31 for each subpixel P of one dot. In any of the subpixels Pr, Pg, and Pb, the gate 21g and the holding transistor 22 of the switch transistor 21 are formed. The gate 22g is electrically connected to the scanning line X through the contact hole 92. One contact hole 94 is formed at a position overlapping the signal line Y of the gate insulating film 31 for each subpixel P of one dot, and the source 21s of the switch transistor 21 is the contact hole 94 in any subpixel Pr, Pg, Pb. To the signal line Y. One contact hole 93 is formed at a position overlapping the lower layer electrode 24A of the gate insulating film 31 for each dot subpixel P, and the source 22s of the holding transistor 22 is connected to the drive transistor 23 in any of the subpixels Pr, Pg, Pb. It is electrically connected to the gate 23g and the lower layer electrode 24A of the capacitor 24.

全てのサブピクセルPr,Pg,Pbのスイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22及び駆動トランジスタ23並びに全ての走査線X及び供給線Zは、べた一面に成膜された保護絶縁膜32によって被覆されている。なお、詳細については後述するが、保護絶縁膜32は、供給線Zに重なる箇所で矩形状に分断されている。   The switch transistors 21, the holding transistors 22 and the drive transistors 23 of all the subpixels Pr, Pg, and Pb, and all the scanning lines X and the supply lines Z are covered with a protective insulating film 32 formed on the entire surface. In addition, although mentioned later for details, the protective insulating film 32 is divided | segmented into the rectangular shape in the location which overlaps with the supply line Z. FIG.

保護絶縁膜32には平坦化膜33が積層されており、スイッチトランジスタ21、保持トランジスタ22及び駆動トランジスタ23並びに走査線X及び供給線Zによる凹凸が平坦化膜33によって解消されている。つまり、平坦化膜33の表面が平坦となっている。平坦化膜33は、ポリイミド等の感光性絶縁樹脂を硬化させたものが好ましい。なお、詳細については後述するが、平坦化膜33は、供給線Zに重なる箇所で矩形状に分断されている。   A planarization film 33 is laminated on the protective insulating film 32, and unevenness due to the switch transistor 21, the holding transistor 22, the drive transistor 23, the scanning line X, and the supply line Z is eliminated by the planarization film 33. That is, the surface of the planarizing film 33 is flat. The flattened film 33 is preferably a film obtained by curing a photosensitive insulating resin such as polyimide. In addition, although mentioned later for details, the planarization film | membrane 33 is divided | segmented into the rectangular shape in the location which overlaps with the supply line Z. FIG.

このディスプレイパネル1をボトムエミッション型として用いる場合、すなわち、絶縁基板2を表示面として用いる場合には、ゲート絶縁膜31、保護絶縁膜32及び平坦化膜33には透明な材料を用いる。絶縁基板2から平坦化膜33までの積層構造をトランジスタアレイ基板50という。   When the display panel 1 is used as a bottom emission type, that is, when the insulating substrate 2 is used as a display surface, a transparent material is used for the gate insulating film 31, the protective insulating film 32, and the planarizing film 33. A stacked structure from the insulating substrate 2 to the planarizing film 33 is referred to as a transistor array substrate 50.

保護絶縁膜32及び平坦化膜33の各供給線Zに重なる箇所には、水平方向に沿って長尺な溝34が凹設されている。溝34によって保護絶縁膜32及び平坦化膜33が矩形状に分断され供給線Zが露出している。溝34には給電配線90が埋設されており、溝34内において給電配線90が供給線Zに積層されている。   In the portions of the protective insulating film 32 and the planarizing film 33 that overlap the supply lines Z, a long groove 34 is recessed along the horizontal direction. The protective insulating film 32 and the planarizing film 33 are divided into rectangular shapes by the grooves 34, and the supply lines Z are exposed. A power supply wiring 90 is embedded in the groove 34, and the power supply wiring 90 is stacked on the supply line Z in the groove 34.

給電配線90は、供給線Zを下地電極として電解メッキ法により形成されたものであるので、信号線Yr、信号線Yg、信号線Yb、走査線X及び供給線Zよりも十分に厚い。更には、給電配線90の厚さは、保護絶縁膜32と平坦化膜33の厚さの総計にほぼ等しく、平坦化膜33の表面と給電配線90の表面がほぼ面一となっている。給電配線90は、銅、アルミ、金若しくはニッケルのうちの少なくともいずれかを含むことが好ましい。   Since the power supply wiring 90 is formed by electrolytic plating using the supply line Z as a base electrode, it is sufficiently thicker than the signal line Yr, signal line Yg, signal line Yb, scan line X, and supply line Z. Furthermore, the thickness of the power supply wiring 90 is substantially equal to the total thickness of the protective insulating film 32 and the planarization film 33, and the surface of the planarization film 33 and the surface of the power supply wiring 90 are substantially flush. The power supply wiring 90 preferably includes at least one of copper, aluminum, gold, or nickel.

平坦化膜33の表面、即ちトランジスタアレイ基板50の表面上には、複数のサブピクセル電極20aがマトリクス状に配列されている。サブピクセル電極20aは、有機EL素子20のアノードとして機能する電極である。即ち、サブピクセル電極20aの仕事関数が比較的高く、後述する有機EL層20bへ正孔を効率よく注入するものが好ましい。また、サブピクセル電極20aは、ボトムエミッションの場合、可視光に対して透過性を有している。サブピクセル電極20aとしては、例えば、錫ドープ酸化インジウム(ITO)、亜鉛ドープ酸化インジウム、酸化インジウム(In23)、酸化スズ(SnO2)、酸化亜鉛(ZnO)又はカドミウム−錫酸化物(CTO)を主成分としたものがある。 A plurality of subpixel electrodes 20 a are arranged in a matrix on the surface of the planarizing film 33, that is, on the surface of the transistor array substrate 50. The subpixel electrode 20 a is an electrode that functions as an anode of the organic EL element 20. That is, it is preferable that the work function of the subpixel electrode 20a is relatively high and holes are efficiently injected into the organic EL layer 20b described later. In addition, the subpixel electrode 20a is transmissive to visible light in the case of bottom emission. As the subpixel electrode 20a, for example, tin-doped indium oxide (ITO), zinc-doped indium oxide, indium oxide (In 2 O 3 ), tin oxide (SnO 2 ), zinc oxide (ZnO), or cadmium-tin oxide ( CTO) is the main component.

なお、このディスプレイパネル1をトップエミッション型として用いる場合、すなわち、絶縁基板2の反対側を表示面として用いる場合には、サブピクセル電極20aと平坦化膜33との間に、導電性且つ可視光反射性の高い反射膜を成膜するか、サブピクセル電極20a自体を反射性電極とすれば良い。   When the display panel 1 is used as a top emission type, that is, when the opposite side of the insulating substrate 2 is used as a display surface, conductive and visible light is interposed between the subpixel electrode 20a and the planarizing film 33. A reflective film having high reflectivity may be formed, or the subpixel electrode 20a itself may be a reflective electrode.

1ドットのサブピクセルPにつき3つのコンタクトホール88が平坦化膜33及び保護絶縁膜32のサブピクセル電極20aに重なる箇所に形成され、そのコンタクトホール88に導電性パッド87が埋設されている。何れのサブピクセルPr,Pg,Pbにおいても、サブピクセル電極20aが、コンタクトホール88を介してキャパシタ24の上層電極24B、スイッチトランジスタ21のドレイン21d及び駆動トランジスタ23のソース23sに導通している。導電性パッド87は、給電配線90とともに形成され、特に上層電極24Bを下地電極として電解メッキ法により形成されることが好ましい。   Three contact holes 88 for each subpixel P of one dot are formed in the planarizing film 33 and a portion of the protective insulating film 32 that overlaps the subpixel electrode 20a, and a conductive pad 87 is embedded in the contact hole 88. In any subpixel Pr, Pg, Pb, the subpixel electrode 20a is electrically connected to the upper layer electrode 24B of the capacitor 24, the drain 21d of the switch transistor 21 and the source 23s of the drive transistor 23 through the contact hole 88. The conductive pad 87 is formed together with the power supply wiring 90, and is particularly preferably formed by electrolytic plating using the upper layer electrode 24B as a base electrode.

これらサブピクセル電極20aは、平坦化膜33上にべた一面に成膜された導電性膜をフォトリソグラフィー法・エッチング法によってパターニングしたものである。給電配線90の表面には導電性ライン51がパターニングされているが、導電性ライン51は、サブピクセル電極20aの元となる導電性膜をエッチングすることによってサブピクセル電極20aとともにパターニングされたものである。   These subpixel electrodes 20a are obtained by patterning a conductive film formed on the entire surface of the planarizing film 33 by a photolithography method or an etching method. The conductive line 51 is patterned on the surface of the power supply wiring 90, and the conductive line 51 is patterned together with the subpixel electrode 20a by etching the conductive film that is the source of the subpixel electrode 20a. is there.

これらサブピクセル電極20aの間には、平面視して、各サブピクセル電極20aを囲繞するようにメッシュ状の絶縁膜52がパターニングされている。また、導電性ライン51は、絶縁膜52によって被覆されている。   Between these subpixel electrodes 20a, a mesh-like insulating film 52 is patterned so as to surround each subpixel electrode 20a in plan view. The conductive line 51 is covered with an insulating film 52.

水平方向及び垂直方向に格子状に形成された絶縁膜52のうち垂直方向に延在している部分の上には、サブピクセル電極20aの膜厚よりも十分に厚いバンク71が凸設されている。つまりバンク71は、垂直方向に沿って延在した突条状に設けられ、平面視して信号線Yr,Yg,Ybに重なっている。垂直方向の赤サブピクセルPrの列と緑サブピクセルPgの列との間に、垂直方向の緑サブピクセルPgの列と青サブピクセルPbの列との間に、及び垂直方向の青サブピクセルPbの列と赤サブピクセルPrの列との間に、バンク71が配置されている。バンク71は、ポリイミド等の感光性樹脂からなる。   A bank 71 that is sufficiently thicker than the film thickness of the subpixel electrode 20a is provided on a portion of the insulating film 52 that is formed in a grid pattern in the horizontal and vertical directions and that extends in the vertical direction. Yes. That is, the bank 71 is provided in the shape of a ridge extending along the vertical direction, and overlaps the signal lines Yr, Yg, Yb in plan view. Between vertical red subpixel Pr and green subpixel Pg columns, vertical green subpixel Pg and blue subpixel Pb columns, and vertical blue subpixel Pb. A bank 71 is arranged between the first row and the red subpixel Pr row. The bank 71 is made of a photosensitive resin such as polyimide.

サブピクセル電極20a上には、有機EL素子20の有機EL層20bが成膜されている。有機EL層20bは広義の発光層であり、有機EL層20bには、有機化合物である発光材料(蛍光体)が含有されている。有機EL層20bは、サブピクセル電極20aから順に正孔輸送層、狭義の発光層の順に積層した二層構造である。正孔輸送層は、導電性高分子であるPEDOT(ポリチオフェン)及びドーパントであるPSS(ポリスチレンスルホン酸)からなり、狭義の発光層は、ポリフルオレン系発光材料からなる。   An organic EL layer 20b of the organic EL element 20 is formed on the subpixel electrode 20a. The organic EL layer 20b is a light-emitting layer in a broad sense, and the organic EL layer 20b contains a light-emitting material (phosphor) that is an organic compound. The organic EL layer 20b has a two-layer structure in which a hole transport layer and a narrow light-emitting layer are sequentially stacked from the subpixel electrode 20a. The hole transport layer is made of PEDOT (polythiophene) which is a conductive polymer and PSS (polystyrene sulfonic acid) which is a dopant, and the light-emitting layer in a narrow sense is made of a polyfluorene-based light-emitting material.

赤サブピクセルPrの場合には、有機EL層20bが赤色に発光し、緑サブピクセルPgの場合には、有機EL層20bが緑色に発光し、青サブピクセルPbの場合には、有機EL層20bが青色に発光する。   In the case of the red subpixel Pr, the organic EL layer 20b emits red light, in the case of the green subpixel Pg, the organic EL layer 20b emits green light, and in the case of the blue subpixel Pb, the organic EL layer 20b. 20b emits blue light.

赤サブピクセルPrが垂直方向に一列に配列されているので、信号線Yrと信号線Ygとの間において垂直方向に一列に配列された複数のサブピクセル電極20aが、垂直方向に沿って帯状に長尺な共通の赤色発光の有機EL層20bによって被覆されている。同様に、信号線Ygと信号線Ybとの間において垂直方向に一列に配列された複数のサブピクセル電極20aが、垂直方向に沿って帯状に長尺な共通の緑色発光の有機EL層20bによって被覆され、信号線Ybと信号線Yrとの間において垂直方向に一列に配列された複数のサブピクセル電極20aが、垂直方向に沿って帯状に長尺な共通の青色発光の有機EL層20bによって被覆されている。なお、有機EL層20bがサブピクセル電極20aごとに独立して設けられ、平面視した場合、複数の有機EL層20bがマトリクス状に配列されていても良い。   Since the red subpixels Pr are arranged in a line in the vertical direction, a plurality of subpixel electrodes 20a arranged in a line in the vertical direction between the signal lines Yr and Yg are formed in a strip shape along the vertical direction. It is covered with a long common red light emitting organic EL layer 20b. Similarly, a plurality of subpixel electrodes 20a arranged in a line in the vertical direction between the signal line Yg and the signal line Yb are formed by a common green light-emitting organic EL layer 20b that is elongated in a strip shape along the vertical direction. A plurality of sub-pixel electrodes 20a that are covered and arranged in a line in the vertical direction between the signal line Yb and the signal line Yr are formed by a common blue light-emitting organic EL layer 20b that is elongated in a strip shape along the vertical direction. It is covered. In addition, when the organic EL layer 20b is provided independently for each subpixel electrode 20a and seen in a plan view, the plurality of organic EL layers 20b may be arranged in a matrix.

有機EL層20bは、バンク71の形成後に湿式塗布法(例えば、インクジェット法)によって成膜される。この場合、サブピクセル電極20aに有機化合物含有液を塗布するが、水平方向に隣り合うサブピクセル電極20a間においてバンク71がトランジスタアレイ基板50の表面に対して凸設されているから、サブピクセル電極20aに塗布された有機化合物含有液が隣のサブピクセル電極20aに漏れることがない。   The organic EL layer 20b is formed by a wet application method (for example, an ink jet method) after the bank 71 is formed. In this case, the organic compound-containing liquid is applied to the subpixel electrode 20a. However, since the bank 71 protrudes from the surface of the transistor array substrate 50 between the subpixel electrodes 20a adjacent in the horizontal direction, The organic compound-containing liquid applied to 20a does not leak to the adjacent subpixel electrode 20a.

なお、有機EL層20bは、二層構造の他に、サブピクセル電極20aから順に正孔輸送層、狭義の発光層、電子輸送層となる三層構造であっても良いし、狭義の発光層からなる一層構造であっても良いし、これらの層構造において適切な層間に電子或いは正孔の注入層が介在した積層構造であっても良いし、その他の積層構造であっても良い。   In addition to the two-layer structure, the organic EL layer 20b may have a three-layer structure that becomes a hole transport layer, a narrow light-emitting layer, and an electron transport layer in order from the subpixel electrode 20a, or a narrow light-emitting layer. It may be a single layer structure composed of the above, or a laminated structure in which an electron or hole injection layer is interposed between appropriate layers in these layer structures, or another laminated structure.

有機EL層20b上には、有機EL素子20のカソードとして機能する対向電極20cが成膜されている。対向電極20cは、全てのサブピクセルPr,Pg,Pbに共通して形成された共通電極であり、べた一面に成膜されている。対向電極20cがべた一面に成膜されることで、バンク71も対向電極20cによって被覆されている。   On the organic EL layer 20b, a counter electrode 20c that functions as a cathode of the organic EL element 20 is formed. The counter electrode 20c is a common electrode formed in common to all the subpixels Pr, Pg, and Pb, and is formed on the entire surface. By forming the counter electrode 20c on the entire surface, the bank 71 is also covered with the counter electrode 20c.

対向電極20cは、サブピクセル電極20aよりも仕事関数の低い材料で形成されており、例えば、マグネシウム、カルシウム、リチウム、バリウム、インジウム、希土類金属の少なくとも一種を含む単体又は合金で形成されていることが好ましい。また、対向電極20cは、上記各種材料の層が積層された積層構造となっていても良いし、以上の各種材料の層に加えてシート抵抗を低くするために酸化されにくい金属層が堆積した積層構造となっていても良く、具体的には、有機EL層20bと接する界面側に設けられた低仕事関数の高純度のバリウム層と、バリウム層を被覆するように設けられたアルミニウム層との積層構造や、下層にリチウム層、上層にアルミニウム層が設けられた積層構造が挙げられる。またトップエミッション構造の場合、対向電極20cを上述のような低仕事関数の薄膜とその上にITO等の透明導電膜を積層した透明電極としてもよい。   The counter electrode 20c is made of a material having a work function lower than that of the subpixel electrode 20a. For example, the counter electrode 20c is made of a simple substance or an alloy containing at least one of magnesium, calcium, lithium, barium, indium, and a rare earth metal. Is preferred. Further, the counter electrode 20c may have a laminated structure in which layers of the above various materials are laminated, and in addition to the above layers of various materials, a metal layer that is not easily oxidized is deposited in order to reduce sheet resistance. Specifically, it may have a laminated structure. Specifically, a low-work function high-purity barium layer provided on the interface side in contact with the organic EL layer 20b, and an aluminum layer provided so as to cover the barium layer; And a laminated structure in which a lower layer is provided with a lithium layer and an upper layer is provided with an aluminum layer. In the case of a top emission structure, the counter electrode 20c may be a transparent electrode in which a thin film having a low work function as described above and a transparent conductive film such as ITO are laminated thereon.

対向電極20c上には、有機EL素子20の上部電極のシート抵抗を下げるために共通配線91が凸設されている。平面視して共通配線91が列方向に沿って複数のバンク71に重なっているので、バンク71の上には対向電極20cを挟んで共通配線91が形成されている。共通配線91に対向電極20cが接しているから、図2の回路図に示すように、対向電極20cが共通配線91に対して導通している。共通配線91群は、メッキ法により形成されたものであるので、対向電極20cやトランジスタ21〜23の各電極よりも十分に厚い。また共通配線91群は、画素領域の外の非画素領域において水平方向に延在する引き回し配線95によって導通され、引き回し配線95は、絶縁基板2の周縁部に複数の端子部Tcに導通している。共通配線91群及び対向電極20cには、外部回路から端子部Tcに印加された電圧Vcomによって等電位となる。共通配線91群は、銅、アルミ、金若しくはニッケルのうちの少なくともいずれかを含むことが好ましく、いずれも有機EL層20bの発光する光に対して不透明なくらい厚い。   On the counter electrode 20c, a common wiring 91 is provided so as to project the sheet resistance of the upper electrode of the organic EL element 20. Since the common wiring 91 overlaps the plurality of banks 71 along the column direction in plan view, the common wiring 91 is formed on the bank 71 with the counter electrode 20c interposed therebetween. Since the counter electrode 20c is in contact with the common wire 91, the counter electrode 20c is electrically connected to the common wire 91 as shown in the circuit diagram of FIG. Since the common wiring 91 group is formed by plating, it is sufficiently thicker than the counter electrode 20c and the electrodes of the transistors 21 to 23. Further, the common wiring 91 group is electrically connected by the lead wiring 95 extending in the horizontal direction in the non-pixel region outside the pixel region, and the lead wiring 95 is electrically connected to the plurality of terminal portions Tc at the peripheral portion of the insulating substrate 2. Yes. The common wiring 91 group and the counter electrode 20c are equipotential by the voltage Vcom applied from the external circuit to the terminal portion Tc. The common wiring 91 group preferably includes at least one of copper, aluminum, gold, and nickel, and all of them are thick enough to be opaque to the light emitted from the organic EL layer 20b.

対向電極20c上には、封止絶縁膜56が成膜されている。封止絶縁膜56は対向電極20c全体を被覆するとともに、共通配線91も被覆している無機膜又は有機膜である。そのため、共通配線91及び対向電極20cの劣化が封止絶縁膜56によって防止されている。   A sealing insulating film 56 is formed on the counter electrode 20c. The sealing insulating film 56 is an inorganic film or an organic film that covers the entire counter electrode 20 c and also covers the common wiring 91. Therefore, the deterioration of the common wiring 91 and the counter electrode 20 c is prevented by the sealing insulating film 56.

なお、このディスプレイパネル1をトップエミッション型として用いる場合には、対向電極20c及び封止絶縁膜56を薄膜にしたり、対向電極20c及び封止絶縁膜56を透明な材料としたりすることによって、対向電極20c及び封止絶縁膜56の可視光透過性を高める。   When the display panel 1 is used as a top emission type, the counter electrode 20c and the sealing insulating film 56 are made thin, or the counter electrode 20c and the sealing insulating film 56 are made of a transparent material. Visible light transmittance of the electrode 20c and the sealing insulating film 56 is increased.

従来、トップエミッション型構造のELディスプレイパネルは、対向電極20cに対応する対向電極を少なくとも一部を金属酸化物のように抵抗値が高い透明電極を用いることになるが、このような材料は十分に厚くしなければシート抵抗が十分に低くならないので、厚くすることによって必然的に有機EL素子の透過率が下がってしまい、大画面になるほど面内で均一の電位になりにくく表示特性が低くなってしまっていた。   Conventionally, an EL display panel having a top emission type structure uses a transparent electrode having a high resistance value, such as a metal oxide, at least a part of the counter electrode corresponding to the counter electrode 20c. Since the sheet resistance will not be sufficiently lowered unless the thickness is increased, the transmittance of the organic EL element is inevitably lowered by increasing the thickness, and the display characteristics are less likely to be uniform in the plane as the screen becomes larger. It was.

しかしながら、本実施形態では、垂直方向に十分な厚さのために低抵抗な複数の共通配線91,91,…、を設けているので、対向電極20cと合わせて有機EL素子20,20,…のカソード電極全体のシート抵抗値を下げ、十分且つ面内で均一に大電流を流すことが可能となる。さらにこのような構造では、共通配線91,91,…がサブピクセル電極20a、20a間に配置するので画素面積(開口率)を損なうことなく有機EL素子20の一方の電極のシート抵抗を下げているので、サブピクセル電極20aと平面視して重なる対向電極20cを薄膜にして透過率を向上したりすることが可能である。なおトップエミッション構造では、サブピクセル電極20aを反射性の材料としてもよい。   However, in this embodiment, since a plurality of low resistance common wirings 91, 91,... Are provided for sufficient thickness in the vertical direction, the organic EL elements 20, 20,. The sheet resistance value of the entire cathode electrode can be lowered, and a large current can be sufficiently and uniformly supplied in the plane. Further, in such a structure, since the common wirings 91, 91,... Are arranged between the subpixel electrodes 20a, 20a, the sheet resistance of one electrode of the organic EL element 20 is lowered without impairing the pixel area (aperture ratio). Therefore, it is possible to improve the transmittance by making the counter electrode 20c overlapping with the subpixel electrode 20a in plan view as a thin film. In the top emission structure, the subpixel electrode 20a may be made of a reflective material.

そして、トランジスタ21〜23を形成する際のゲートレイヤー及びドレインレイヤー以外の厚膜の導電層を用いて形成された給電配線90をそれぞれ供給線Zに電気的に接続するように設けているので、トランジスタ21〜23を形成する際のゲートレイヤー及びドレインレイヤーのみで形成された供給線Zでの電圧降下による複数の有機EL素子20に後述する書込電流や駆動電流が所定の電流値に達するまでの遅延を防止し、良好に駆動することが可能となる。   Since the power supply wiring 90 formed using a thick conductive layer other than the gate layer and the drain layer when forming the transistors 21 to 23 is provided so as to be electrically connected to the supply line Z, respectively. Until a write current or a drive current described later reaches a predetermined current value in the plurality of organic EL elements 20 due to a voltage drop in the supply line Z formed only by the gate layer and the drain layer when forming the transistors 21 to 23 It is possible to prevent the delay and to drive well.

さらに、給電配線90は溝34に埋設されているため、給電配線90の厚さによって水平方向に立体障害とならず、列方向の複数の有機EL素子20にわたって有機EL層20bとなる有機化合物含有液が連続して広がるように且つバンク71によって垂直方向に仕切られながら成膜することができる。   Furthermore, since the power supply wiring 90 is embedded in the groove 34, the thickness of the power supply wiring 90 does not cause a steric hindrance in the horizontal direction, and the organic compound containing the organic EL layer 20 b is formed over the plurality of organic EL elements 20 in the column direction. The film can be formed while the liquid spreads continuously and is partitioned by the bank 71 in the vertical direction.

〔ディスプレイパネル1の駆動方法〕
第一のディスプレイパネル1の構造では、図8に示すように、走査線X1〜Xmがそれぞれ接続された選択ドライバ111が絶縁基板2の第一の周縁部に配置され、互いに電気的に絶縁された給電配線90,90,…(供給線Z1〜Zm)が接続された給電ドライバ112が絶縁基板2の第一の周縁部と対向する周縁部である第二周縁部に配置されている。この第一のディスプレイパネル1をアクティブマトリクス方式で駆動するには、次のようになる。すなわち、図9に示すように、走査線X1〜Xmに接続された選択ドライバ111によって、走査線X1から走査線Xmへの順(走査線Xmの次は走査線X1)にハイレベルのシフトパルスを順次出力することにより走査線X1〜Xmを順次選択する。また、選択期間に各給電配線90を介して供給線Z1〜Zmにそれぞれ接続された駆動トランジスタ23に書込電流を流すための書込給電電圧VLを印加し、発光期間に駆動トランジスタ23を介して有機EL素子20に駆動電流を流すための駆動給電電圧VHを印加する給電ドライバ112が各給電配線90に接続されている。この給電ドライバ112によって、選択ドライバ111と同期するよう、供給線Z1から供給線Zmへの順(供給線Zmの次は供給線Z1)にローレベル(有機EL素子20の対向電極の電圧より低レベル)の書込給電電圧VLを順次出力することにより供給線Z1〜Zmを順次選択する。また、選択ドライバ111が各走査線X1〜Xmを選択している時に、データドライバが書込電流である書込電流(電流信号)を所定の行の駆動トランジスタ23のソース−ドレイン間を介して全信号線Y1〜Ynに流す。なお、対向電極20c及び共通配線91群は引き回し配線95及び配線端子Tcによって外部と接続され、一定のコモン電位Vcom(例えば、接地=0ボルト)に保たれている。
[Driving method of display panel 1]
In the structure of the first display panel 1, as shown in FIG. 8, the selection driver 111 to which the scanning lines X 1 to X m are connected is disposed on the first peripheral edge of the insulating substrate 2 and electrically connected to each other. A power supply driver 112 to which the insulated power supply wirings 90, 90,... (Supply lines Z 1 to Z m ) are connected is disposed at a second peripheral edge that is a peripheral edge facing the first peripheral edge of the insulating substrate 2. ing. The first display panel 1 is driven by the active matrix method as follows. That is, as shown in FIG. 9, the scanning lines X 1 to X by the connected selection driver 111 m, the order from the scanning line X 1 to scan line X m (the next scan line X m scanning lines X 1) The scanning lines X 1 to X m are sequentially selected by sequentially outputting high level shift pulses. In addition, a write power supply voltage VL for applying a write current is applied to the drive transistors 23 connected to the supply lines Z 1 to Z m via the power supply lines 90 during the selection period, and the drive transistors 23 are used during the light emission period. A power supply driver 112 that applies a drive power supply voltage VH for causing a drive current to flow through the organic EL element 20 is connected to each power supply wiring 90. This feeding driver 112, to synchronize the selection driver 111, the counter electrode of the forward (following the supply lines Z 1 of the supply line Z m) to the low level (the organic EL element 20 to supply line Z m from the supply line Z 1 The supply lines Z 1 to Z m are sequentially selected by sequentially outputting the write power supply voltage VL having a lower level than the voltage of the first voltage. Further, when the selection driver 111 selects each of the scanning lines X 1 to X m , the data driver sends a write current (current signal) that is a write current between the source and drain of the drive transistor 23 in a predetermined row. Through all the signal lines Y 1 to Y n . The counter electrode 20c and the common wiring 91 group are connected to the outside by the lead wiring 95 and the wiring terminal Tc, and are maintained at a constant common potential Vcom (for example, ground = 0 volts).

各選択期間において、データドライバ側の電位は、給電配線90,90,…及び供給線Z1〜Zmに出力された書込給電電圧VL以下で且つこの書込給電電圧VLはコモン電位Vcom以下に設定されている。したがってこの時、有機EL素子20から信号線Y1〜Ynに流れることはないので図2に示すように、データドライバによって階調に応じた電流値の書込電流(書込電流)が矢印Aの通り、信号線Y1〜Ynに流れ、サブピクセルPi,jにおいては給電配線90及び供給線Ziから駆動トランジスタ23のソース−ドレイン間、スイッチトランジスタ21のソース−ドレイン間を介して信号線Yjに向かった書込電流(書込電流)が流れる。このように駆動トランジスタ23のソース−ドレイン間を流れる電流の電流値は、データドライバによって一義的に制御され、データドライバは、外部から入力された階調に応じて書込電流(書込電流)の電流値を設定する。書込電流(書込電流)が流れている間、i行目のPi,1〜Pi,nの各駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧は、それぞれ信号線Y1〜Ynに流れる書込電流(書込電流)の電流値、つまり駆動トランジスタ23のVg−Ids特性の経時変化にかかわらず駆動トランジスタ23のドレイン23d−ソース23s間を流れる書込電流(書込電流)の電流値に見合うように強制的に設定され、この電圧のレベルに従った大きさの電荷がキャパシタ24にチャージされて、書込電流(書込電流)の電流値が駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧のレベルに変換される。その後の発光期間では、走査線Xiがローレベルになり、スイッチトランジスタ21及び保持トランジスタ22がオフ状態となるが、オフ状態の保持トランジスタ22によってキャパシタ24の電極24A側の電荷が閉じ込められてフローティング状態になり、駆動トランジスタ23のソース23sの電圧が選択期間から発光期間に移行する際に変調しても、駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電位差がそのまま維持される。この発光期間では、供給線Zi及びそれに接続された給電配線90の電位が駆動給電電圧VHとなり、有機EL素子20の対向電極20cの電位Vcomより高くなることによって、供給線Zi及びそれに接続された給電配線90から駆動トランジスタ23を介して有機EL素子20に駆動電流が矢印Bの方向に流れ、有機EL素子20が発光する。駆動電流の電流値は駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧に依存するため、発光期間における駆動電流の電流値は、選択期間における書込電流(引抜電流)の電流値に等しくなる。 In each selection period, the potential of the data driver side, feed interconnections 90, 90, ... and the supply lines Z 1 to Z m output to the and below the write feed voltage VL the write feed voltage VL below the common potential Vcom Is set to Therefore, at this time, since the organic EL element 20 does not flow to the signal lines Y 1 to Y n , as shown in FIG. 2, a write current (write current) having a current value corresponding to the gradation is indicated by an arrow by the data driver. As shown in A, the signal flows to the signal lines Y 1 to Y n , and in the subpixel P i, j , the power supply wiring 90 and the supply line Z i pass through the source and drain of the drive transistor 23 and the source and drain of the switch transistor 21. Thus, a write current (write current) directed to the signal line Y j flows. In this way, the current value of the current flowing between the source and drain of the drive transistor 23 is uniquely controlled by the data driver, and the data driver writes the write current (write current) according to the gradation input from the outside. Set the current value. While the write current (write current) is flowing, i-th row of P i, 1 to P i, the voltage between the gate 23g- source 23s of the driving transistor 23 of the n each signal line Y 1 to Y The write current (write current) flowing between the drain 23d and the source 23s of the drive transistor 23 regardless of the current value of the write current (write current) flowing through n , that is, the change in the Vg-Ids characteristic of the drive transistor 23 with time. The capacitor 24 is forcibly set so as to meet the current value of the current, and the capacitor 24 is charged with a charge having a magnitude according to the level of this voltage, so that the current value of the write current (write current) becomes the gate 23g of the drive transistor 23. -It is converted into the voltage level between the sources 23s. In the subsequent light emission period, the scanning line X i becomes a low level, and the switch transistor 21 and the holding transistor 22 are turned off. However, the charge on the electrode 24A side of the capacitor 24 is confined by the holding transistor 22 in the off state and floats. Even when the voltage of the source 23s of the drive transistor 23 is modulated when the voltage shifts from the selection period to the light emission period, the potential difference between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23 is maintained as it is. In this light emission period, the potential of the supply line Z i and the power supply wiring 90 connected thereto becomes the drive power supply voltage VH, which is higher than the potential Vcom of the counter electrode 20c of the organic EL element 20, thereby connecting to the supply line Z i and the supply line Z i. A drive current flows from the power supply wiring 90 to the organic EL element 20 through the drive transistor 23 in the direction of arrow B, and the organic EL element 20 emits light. Since the current value of the drive current depends on the voltage between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23, the current value of the drive current in the light emission period is equal to the current value of the write current (drawing current) in the selection period.

そして、第二のディスプレイパネル1の構造は、図10に示すように、走査線X1〜Xmがそれぞれ接続された選択ドライバ111が絶縁基板2の第一の周縁部に配置され、給電配線90,90,……が互いに電気的に接続されるよう給電配線90,90,……と一体的に形成された引き回し配線99が絶縁基板2の第一の周縁部と対向する周縁部である第二周縁部に配置されている。引き回し配線99は、第一周縁部及び第二周縁部と直交する第三の周縁部及び第四の周縁部のそれぞれに位置する端子部90d及び端子部90eの両方からクロック信号が入力されている。 As shown in FIG. 10, the second display panel 1 has a structure in which a selection driver 111 to which the scanning lines X 1 to X m are connected is arranged on the first peripheral edge of the insulating substrate 2, and the power supply wiring The lead-out wiring 99 formed integrally with the power supply wirings 90, 90,... So as to be electrically connected to each other is a peripheral portion facing the first peripheral portion of the insulating substrate 2. It arrange | positions at the 2nd peripheral part. The routing wiring 99 receives clock signals from both the terminal portion 90d and the terminal portion 90e located at the third peripheral portion and the fourth peripheral portion orthogonal to the first peripheral portion and the second peripheral portion, respectively. .

第二のディスプレイパネル1のアクティブマトリクス駆動方法は次のようになる。すなわち、図11に示すように、外部の発振回路が端子部90d及び端子部90eから引き回し配線99を介して給電配線90,90,…及び供給線Z1〜Zmに対してクロック信号を出力する。また、選択ドライバ111によって走査線X1から走査線Xmへの順(走査線Xmの次は走査線X1)にハイレベルのシフトパルスを順次出力することにより走査線X1〜Xmを順次選択するが、選択ドライバ111が走査線X1〜Xmの何れか1つがハイレベルつまりオンレベルのシフトパルスを出力している時には発振回路のクロック信号がローレベルになる。また、選択ドライバ111が各走査線X1〜Xmを選択している時に、データドライバが書込電流である引抜電流(電流信号)を駆動トランジスタ23のソース−ドレイン間を介して全信号線Y1〜Ynに流す。なお、対向電極20c及び給電配線90の一定のコモン電位Vcom(例えば、接地=0ボルト)に保たれている。 The active matrix driving method of the second display panel 1 is as follows. That is, as shown in FIG. 11, the external oscillation circuit outputs a clock signal to the power supply wirings 90, 90,... And the supply lines Z 1 to Z m through the terminal portion 90d and the terminal portion 90e through the wiring 99. To do. The scanning lines X 1 to X m by sequentially outputting the high-level shift pulse sequentially (the next scan line X m scanning lines X 1) from the scanning line X 1 by the selection driver 111 to the scan line X m Are sequentially selected, but when the selection driver 111 outputs one of the scanning lines X 1 to X m outputting a high level, that is, on-level shift pulse, the clock signal of the oscillation circuit becomes low level. Further, when the selection driver 111 selects each of the scanning lines X 1 to X m , the data driver sends a drawing current (current signal) that is a write current to all the signal lines via the source and drain of the driving transistor 23. Flow from Y 1 to Y n . The counter electrode 20c and the power supply wiring 90 are kept at a constant common potential Vcom (for example, ground = 0 volts).

走査線Xiの選択期間においては、i行目の走査線Xiにシフトパルスが出力されているから、スイッチトランジスタ21及び保持トランジスタ22がオン状態となる。各選択期間において、データドライバ側の電位は、給電配線90,90,…及び供給線Z1〜Zmに出力されたクロック信号のローレベル以下で且つこのクロック信号のローレベルはコモン電位Vcom以下に設定されている。したがってこの時、有機EL素子20から信号線Y1〜Ynに流れることはないので図2に示すように、データドライバによって階調に応じた電流値の書込電流(引抜電流)が矢印Aの通り、信号線Y1〜Ynに流れ、サブピクセルPi,jにおいては給電配線90及び供給線Ziから駆動トランジスタ23のソース−ドレイン間、スイッチトランジスタ21のソース−ドレイン間を介して信号線Yjに向かった書込電流(引抜電流)が流れる。このように駆動トランジスタ23のソース−ドレイン間を流れる電流の電流値は、データドライバによって一義的に制御され、データドライバは、外部から入力された階調に応じて書込電流(引抜電流)の電流値を設定する。書込電流(引抜電流)が流れている間、i行目のPi,1〜Pi,nの各駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧は、それぞれ信号線Y1〜Ynに流れる書込電流(引抜電流)の電流値、つまり駆動トランジスタ23のVg−Ids特性の経時変化にかかわらず駆動トランジスタ23のドレイン23d−ソース23s間を流れる書込電流(引抜電流)の電流値に見合うように強制的に設定され、この電圧のレベルに従った大きさの電荷がキャパシタ24にチャージされて、書込電流(引抜電流)の電流値が駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧のレベルに変換される。その後の発光期間では、走査線Xiがローレベルになり、スイッチトランジスタ21及び保持トランジスタ22がオフ状態となるが、オフ状態の保持トランジスタ22によってキャパシタ24の電極24A側の電荷が閉じ込められてフローティング状態になり、駆動トランジスタ23のソース23sの電圧が選択期間から発光期間に移行する際に変調しても、駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電位差がそのまま維持される。この発光期間のうち、いずれの行の選択期間でもない間、つまり、クロック信号が給電配線90及び供給線Ziの電位が有機EL素子20の対向電極20c及び給電配線90の電位Vcomより高いハイレベルの間、より高電位の給電配線90及び供給線Ziから駆動トランジスタ23のソース−ドレイン間を介して有機EL素子20に駆動電流が矢印Bの方向に流れ、有機EL素子20が発光する。駆動電流の電流値は駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間の電圧に依存するため、発光期間における駆動電流の電流値は、選択期間における書込電流(引抜電流)の電流値に等しくなる。また発光期間において、いずれかの行の選択期間の間、つまりクロック信号がローレベルである時は、給電配線90及び供給線Ziの電位が対向電極20c及び給電配線90の電位Vcom以下であるので、有機EL素子20に駆動電流は流れず発光しない。 In the selection period of the scan line X i, from the shift pulse to the i-th scanning line X i is output, the switch transistor 21 and holding transistor 22 are turned on. In each selection period, the potential of the data driver side, feed interconnections 90, 90, ... and the low level of the supply lines Z 1 to Z m and the clock signal following a low level of the clock signal output to the following common potential Vcom Is set to Therefore, at this time, since the organic EL element 20 does not flow to the signal lines Y 1 to Y n , as shown in FIG. 2, the write current (drawing current) having a current value corresponding to the gradation is indicated by the arrow A by the data driver. As described above, the signal lines Y 1 to Y n flow, and in the subpixels P i, j , from the power supply wiring 90 and the supply line Z i to between the source and drain of the drive transistor 23 and between the source and drain of the switch transistor 21. A write current (drawing current) toward the signal line Y j flows. In this way, the current value of the current flowing between the source and drain of the drive transistor 23 is uniquely controlled by the data driver, and the data driver has a write current (drawing current) according to the gradation input from the outside. Set the current value. While the write current (drawing current) is flowing, the voltage between the gate 23g and the source 23s of each driving transistor 23 of the i- th row P i, 1 to P i, n is the signal line Y 1 to Y n , respectively. Current value of the write current (extraction current) flowing through the transistor 23, that is, the current value of the write current (extraction current) flowing between the drain 23d and the source 23s of the drive transistor 23 regardless of the change with time in the Vg-Ids characteristic of the drive transistor 23. The capacitor 24 is forcibly set to meet the voltage level, the capacitor 24 is charged with a charge, and the current value of the write current (drawing current) is between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23. Is converted to the voltage level. In the subsequent light emission period, the scanning line X i becomes a low level, and the switch transistor 21 and the holding transistor 22 are turned off. However, the charge on the electrode 24A side of the capacitor 24 is confined by the holding transistor 22 in the off state and floats. Even when the voltage of the source 23s of the drive transistor 23 is modulated when the voltage shifts from the selection period to the light emission period, the potential difference between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23 is maintained as it is. During this light emission period, during which the row is not a selection period, that is, the clock signal is high when the potential of the power supply wiring 90 and the supply line Z i is higher than the potential Vcom of the counter electrode 20 c of the organic EL element 20 and the power supply wiring 90. During the level, the drive current flows in the direction of the arrow B from the higher potential power supply line 90 and the supply line Z i to the organic EL element 20 through the source and drain of the drive transistor 23, and the organic EL element 20 emits light. . Since the current value of the drive current depends on the voltage between the gate 23g and the source 23s of the drive transistor 23, the current value of the drive current in the light emission period is equal to the current value of the write current (drawing current) in the selection period. Further, in the light emission period, during the selection period of any row, that is, when the clock signal is at a low level, the potential of the power supply wiring 90 and the supply line Z i is equal to or lower than the potential Vcom of the counter electrode 20c and the power supply wiring 90. Therefore, no drive current flows through the organic EL element 20 and no light is emitted.

何れの駆動方法においても、スイッチトランジスタ21は、駆動トランジスタ23のソース23sと信号線Yとの間の電流のオン(選択期間)・オフ(発光期間)を行うものとして機能する。また、保持トランジスタ22は、選択期間に駆動トランジスタ23のソース23s−ドレイン23d間に電流が流れることができる状態にし、発光期間に駆動トランジスタ23のゲート23g−ソース23s間に印加した電圧を保持するものとして機能する。そして、駆動トランジスタ23は、発光期間中に供給線Z及び給電配線90がハイレベルになった時に、階調に応じた大きさの電流を有機EL素子20に流して有機EL素子20を駆動するものとして機能する。   In any driving method, the switch transistor 21 functions to turn on (selection period) and off (light emission period) the current between the source 23s of the driving transistor 23 and the signal line Y. The holding transistor 22 is in a state in which a current can flow between the source 23s and the drain 23d of the driving transistor 23 during the selection period, and holds the voltage applied between the gate 23g and the source 23s of the driving transistor 23 during the light emission period. It functions as a thing. Then, when the supply line Z and the power supply line 90 are at a high level during the light emission period, the drive transistor 23 drives the organic EL element 20 by causing a current having a magnitude corresponding to the gradation to flow through the organic EL element 20. It functions as a thing.

以上のように、給電配線90,90,…をそれぞれ流れる電流の大きさは一列の供給線Ziに接続されたn個の有機EL素子20に流れる駆動電流の大きさの和になるので、VGA以上の画素数で動画駆動するための選択期間に設定した場合、給電配線90,90,…のそれぞれの寄生容量が増大してしまい、トランジスタ21〜23のような薄膜トランジスタのゲート電極又はソース、ドレイン電極を構成する薄膜からなる配線ではn個の有機EL素子20に書込電流(つまり駆動電流)を流すには抵抗が高すぎるが、本実施形態では、サブピクセルP1,1〜Pm,nの薄膜トランジスタのゲート電極やソース、ドレイン電極とは異なる導電層によって給電配線90,90,…をそれぞれ構成しているので各給電配線90,90,…による電圧降下は小さくなり、短い選択期間であっても遅延なく十分に書込電流(引抜電流)を流すことができる。そして、給電配線90,90,…を厚くすることで給電配線90,90,…を低抵抗化したので、給電配線90,90,…の幅を狭くすることができる。そのため、ボトムエミッションの場合、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。 As described above, the magnitude of the current flowing through each of the power supply wirings 90, 90,... Is the sum of the magnitudes of the drive currents flowing through the n organic EL elements 20 connected to the one line of supply lines Z i . When the selection period for moving image driving with the number of pixels equal to or greater than VGA is set, the parasitic capacitance of each of the power supply wirings 90, 90,... Increases, and the gate electrode or source of a thin film transistor such as the transistors 21 to 23, In the wiring composed of a thin film constituting the drain electrode, the resistance is too high to cause a write current (that is, a drive current) to flow through the n organic EL elements 20, but in this embodiment, the subpixels P 1,1 to P m , the gate electrode and the source of the n thin film transistors, each feed interconnections so constitute respective feed lines 90, 90, ... of the different conductive layer and the drain electrode 90, 90, ... voltage by Below is reduced to allow flow shorter a selection period without delay sufficient write current (pull-out current). Further, since the resistance of the power supply wirings 90, 90, ... is reduced by increasing the thickness of the power supply wirings 90, 90, ..., the width of the power supply wirings 90, 90, ... can be reduced. Therefore, in the case of bottom emission, the decrease in pixel aperture ratio can be minimized.

同様に、発光期間に共通配線91に流れる駆動電流の大きさは、選択期間に給電配線90に流れる書込電流(引抜電流)の大きさと同じであるが、共通配線91は、サブピクセルP1,1〜Pm,nの薄膜トランジスタのゲート電極やソース、ドレイン電極を構成する導電層とは異なる導電層を用いているので十分な厚さにすることができるため、共通配線91を低抵抗化することができ、さらに対向電極20c自体が薄膜化してより高抵抗になっても対向電極20cの電圧を面内で一様にすることができる。従って、仮に全てのサブピクセル電極20aに同じ電位を印加した場合でも、どの有機EL層20bの発光強度もほぼ等しくなり、面内の発光強度を一様することができる。また、ELディスプレイパネル1をトップエミッション型として用いた場合、対向電極20cをより薄膜化ことが可能なので、有機EL層20bを発した光が対向電極20cを透過中に減衰し難くなる。更に、平面視して水平方向に隣り合うサブピクセル電極20aの間に共通配線91が設けられているため、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。 Similarly, the magnitude of the drive current flowing through the common wiring 91 during the light emission period is the same as the magnitude of the write current (drawing current) flowing through the power supply wiring 90 during the selection period, but the common wiring 91 includes the subpixel P 1. , 1 to P m, n , the conductive layer different from the conductive layer constituting the gate electrode, the source and the drain electrode of the thin film transistor is used, so that the thickness of the common wiring 91 can be reduced. Further, even when the counter electrode 20c itself is thinned to have a higher resistance, the voltage of the counter electrode 20c can be made uniform in the plane. Therefore, even if the same potential is applied to all the subpixel electrodes 20a, the light emission intensity of any organic EL layer 20b becomes substantially equal, and the in-plane light emission intensity can be made uniform. Further, when the EL display panel 1 is used as a top emission type, the counter electrode 20c can be made thinner, so that light emitted from the organic EL layer 20b is not easily attenuated while being transmitted through the counter electrode 20c. Furthermore, since the common wiring 91 is provided between the subpixel electrodes 20a adjacent in the horizontal direction in plan view, a decrease in the pixel aperture ratio can be minimized.

さらに、サブピクセル電極20a、20a間の非画素領域に配置された信号線Y1〜Ynの上方に共通配線91群を配置したので、サブピクセル電極20aの面積を小さくせずに済む。 Furthermore, since the common wiring 91 group is disposed above the signal lines Y 1 to Y n disposed in the non-pixel region between the sub-pixel electrodes 20a and 20a, it is not necessary to reduce the area of the sub-pixel electrode 20a.

上述した二通りの駆動方法のうち第二のディスプレイパネル1の駆動方法でディスプレイパネル1においては、給電配線90,90,…は、絶縁基板2の第二の周縁部の引き回し配線99、端子部90d及び端子部90eを介して外部の発振回路からのクロック信号により等電位となるため、すみやかに有機EL素子20、20……から給電配線90,90,…全体に電流を供給することができる。   In the display panel 1 of the two driving methods described above, in the display panel 1, the power supply wirings 90, 90,... Since the potential is equalized by the clock signal from the external oscillation circuit via the terminal 90d and the terminal portion 90e, current can be promptly supplied from the organic EL elements 20, 20,. .

第一及び第二のELディスプレイパネル1の共通配線91,91,…は、絶縁基板2の第三周縁部及び第四周縁部に設けられた引き回し配線95、95によって互いに接続され、共通電圧Vcomが印加されている。共通配線91,91,…及び引き回し配線95、95は、走査線X1〜Xm、信号線Y1〜Yn、供給線Z1〜Zmと電気的に絶縁されている。 The common wirings 91, 91,... Of the first and second EL display panels 1 are connected to each other by the lead wirings 95, 95 provided at the third peripheral edge and the fourth peripheral edge of the insulating substrate 2, and the common voltage Vcom. Is applied. Common wiring 91, ... and the lead wiring 95, 95, the scanning lines X 1 to X m, the signal lines Y 1 to Y n, and is electrically insulated from the supply lines Z 1 to Z m.

〔給電配線及び共通配線の幅、断面積及び抵抗率〕
以下、第一及び第二のディスプレイパネル1の給電配線及び共通配線の幅、断面積及び抵抗率を定義する。ここで、ディスプレイパネル1の画素数をWXGA(768×1366)としたときに、給電配線90及び共通配線91の望ましい幅、断面積を定義する。図12は、各サブピクセルの駆動トランジスタ23及び有機EL素子20の電流−電圧特性を示すグラフである。
[Width, cross-sectional area and resistivity of power supply wiring and common wiring]
Hereinafter, the width, cross-sectional area, and resistivity of the power supply wiring and common wiring of the first and second display panels 1 are defined. Here, when the number of pixels of the display panel 1 is WXGA (768 × 1366), desirable widths and cross-sectional areas of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are defined. FIG. 12 is a graph showing current-voltage characteristics of the driving transistor 23 and the organic EL element 20 of each subpixel.

図12において、縦軸は1つの駆動トランジスタ23のソース23s−ドレイン23d間を流れる書込電流の電流値又は1つの有機EL素子20のアノード−カソード間を流れる駆動電流の電流値であり、横軸は1つの駆動トランジスタ23のソース23s−ドレイン23d間の電圧(同時に1つの駆動トランジスタ23のゲート23g−ドレイン23d間の電圧)である。図中、実線Ids maxは、最高輝度階調(最も明るい表示)のときの書込電流及び駆動電流であり、一点鎖線Ids midは、最高輝度階調と最低輝度階調との間の中間輝度階調のときの書込電流及び駆動電流であり、二点鎖線Vpoは駆動トランジスタ23の不飽和領域(線形領域)と飽和領域との閾値つまりピンチオフ電圧であり、三点鎖線Vdsは駆動トランジスタ23のソース23s−ドレイン23d間を流れる書込電流であり、破線Ielは有機EL素子20のアノード−カソード間を流れる駆動電流である。   In FIG. 12, the vertical axis represents the current value of the write current flowing between the source 23s and the drain 23d of one drive transistor 23 or the current value of the drive current flowing between the anode and the cathode of one organic EL element 20. The axis is the voltage between the source 23s and the drain 23d of one drive transistor 23 (at the same time, the voltage between the gate 23g and the drain 23d of one drive transistor 23). In the figure, solid line Ids max is a write current and drive current at the maximum luminance gradation (brightest display), and alternate long and short dash line Ids mid is an intermediate luminance between the highest luminance gradation and the lowest luminance gradation. The two-dot chain line Vpo is a threshold value, that is, a pinch-off voltage between the unsaturated region (linear region) and the saturated region of the driving transistor 23, and the three-dot chain line Vds is the driving transistor 23. The write current flowing between the source 23 s and the drain 23 d of the organic EL element 20, and the broken line Iel is the drive current flowing between the anode and the cathode of the organic EL element 20.

ここで電圧VP1は、最高輝度階調時の駆動トランジスタ23のピンチオフ電圧であり、電圧VP2は、駆動トランジスタ23が最高輝度階調の書込電流が流れるときのソース−ドレイン間電圧であり、電圧VELmax(電圧VP4−電圧VP3)は有機EL素子20が最高輝度階調の書込電流と電流値が等しい最高輝度階調の駆動電流で発光するときのアノード−カソード間の電圧である。電圧VP2’は、駆動トランジスタ23が中間輝度階調の書込電流が流れるときのソース−ドレイン間電圧であり、電圧(電圧VP4’−電圧VP3’)は有機EL素子20が中間輝度階調の書込電流と電流値が等しい中間輝度階調の駆動電流で発光するときのアノード−カソード間電圧である。   Here, the voltage VP1 is a pinch-off voltage of the driving transistor 23 at the maximum luminance gradation, and the voltage VP2 is a source-drain voltage when a writing current of the maximum luminance gradation flows through the driving transistor 23. VELmax (voltage VP4−voltage VP3) is a voltage between the anode and the cathode when the organic EL element 20 emits light with the driving current of the maximum luminance gradation whose current value is equal to the writing current of the maximum luminance gradation. The voltage VP2 ′ is a source-drain voltage when the driving transistor 23 receives an intermediate luminance gradation write current, and the voltage (voltage VP4′−voltage VP3 ′) is an organic EL element 20 having an intermediate luminance gradation. This is the anode-cathode voltage when light is emitted with a drive current of an intermediate luminance gradation whose current value is equal to the write current.

駆動トランジスタ23及び有機EL素子20はいずれも飽和領域で駆動させるために、(給電配線90の発光期間時の電圧VH)から(共通配線91の発光期間時の電圧Vcom)を減じた値VXは下記の式(2)を満たす。   Since both the drive transistor 23 and the organic EL element 20 are driven in the saturation region, a value VX obtained by subtracting (the voltage Vcom during the light emission period of the common wiring 91) from (the voltage VH during the light emission period of the power supply wiring 90) is The following formula (2) is satisfied.

VX=Vpo+Vth+Vm+VEL ……(2)       VX = Vpo + Vth + Vm + VEL (2)

Vth(最高輝度時の場合VP2−VP1に等しい)は駆動トランジスタ23の閾値電圧であり、VEL(最高輝度時の場合VELmaxに等しい)は有機EL素子20のアノード−カソード間電圧であり、Vmは、階調に応じて変位する許容電圧である。   Vth (equal to VP2−VP1 at the maximum luminance) is a threshold voltage of the drive transistor 23, VEL (equal to VELmax at the maximum luminance) is an anode-cathode voltage of the organic EL element 20, and Vm is The allowable voltage is displaced according to the gradation.

図から明らかなように、電圧VXのうち、輝度階調が高くなる程、トランジスタ23のソース−ドレイン間に要する電圧(Vpo+Vth)が高くなるとともに有機EL素子20のアノード−カソード間に要する電圧VELが高くなる。したがって、許容電圧Vmは、輝度階調が高くなるほど低くなり、最小許容電圧VmminはVP3−VP2となる。   As is apparent from the figure, the higher the luminance gradation of the voltage VX, the higher the voltage (Vpo + Vth) required between the source and drain of the transistor 23 and the voltage VEL required between the anode and cathode of the organic EL element 20. Becomes higher. Therefore, the allowable voltage Vm becomes lower as the luminance gradation becomes higher, and the minimum allowable voltage Vmmin becomes VP3−VP2.

有機EL素子20は低分子EL材料及び高分子EL材料にかかわらず一般的に経時劣化し、高抵抗化する。10000時間後のアノード−カソード間電圧は初期時の1.4倍程度になることが確認されている。つまり、電圧VELは、同じ輝度階調時でも時間が経つ程高くなる。このため、駆動初期時の許容電圧Vmが高い程長期間にわたって動作が安定するので、電圧VELが8V以上、より望ましくは13V以上となるように電圧VXを設定している。   The organic EL element 20 generally deteriorates with time regardless of the low-molecular EL material and the high-molecular EL material, and increases in resistance. It has been confirmed that the anode-cathode voltage after 10,000 hours is about 1.4 times the initial voltage. That is, the voltage VEL increases with time even at the same luminance gradation. For this reason, the higher the allowable voltage Vm at the beginning of driving, the more stable the operation over a long period of time. Therefore, the voltage VX is set so that the voltage VEL is 8V or higher, more preferably 13V or higher.

この許容電圧Vmには、有機EL素子20の高抵抗化ばかりでなく、さらに、給電配線90による電圧降下の分も含まれる。   This allowable voltage Vm includes not only the increase in resistance of the organic EL element 20 but also the voltage drop due to the power supply wiring 90.

給電配線90の配線抵抗のために電圧降下が大きいとディスプレイパネル1の消費電力が著しく増大してしまうため、給電配線90の電圧降下は1V以下に設定することが特に好ましい。   When the voltage drop is large due to the wiring resistance of the power supply wiring 90, the power consumption of the display panel 1 is remarkably increased. Therefore, the voltage drop of the power supply wiring 90 is particularly preferably set to 1V or less.

行方向の一つの画素の長さである画素幅Wpと、行方向の画素数(1366)と、画素領域以外における第一の引き回し配線から一方の配線端子までの延長部分と、画素領域以外における第一の引き回し配線から他方の配線端子までの延長部分と、を考慮した結果、ディスプレイパネル1のパネルサイズが32インチ、40インチの場合、第一の引き回し配線の全長はそれぞれ706.7mm、895.2mmとなる。ここで、給電配線90の線幅WL及び共通配線91の線幅WLが広くなると、構造上有機EL層20bの面積が小さくなり、さらに他の配線との重なり寄生容量を発生してさらなる電圧降下をもたらすため、給電配線90の幅WL及び共通配線91の線幅WLはそれぞれ画素幅Wpの5分の1以下に抑えることが望ましい。このようなことを考慮すると、ディスプレイパネル1のパネルサイズが32インチ、40インチの場合、幅WLはそれぞれ34μm以内、44μm以内となる。また給電配線90及び共通配線91の最大膜厚Hmaxはアスペクト比を考慮すると、トランジスタ21〜23の最小加工寸法4μmの1.5倍、つまり6μmとなる。したがって給電配線90及び共通配線91の最大断面積Smaxは32インチ、40インチで、それぞれ204μm2、264μm2となる。 The pixel width Wp, which is the length of one pixel in the row direction, the number of pixels in the row direction (1366), the extension from the first lead-out wiring to one wiring terminal outside the pixel region, As a result of considering the extended portion from the first routing wiring to the other wiring terminal, when the panel size of the display panel 1 is 32 inches and 40 inches, the total length of the first routing wiring is 706.7 mm and 895, respectively. .2mm. Here, when the line width WL of the power supply wiring 90 and the line width WL of the common wiring 91 are widened, the area of the organic EL layer 20b is structurally reduced, and further, a parasitic capacitance with other wiring is generated, resulting in further voltage drop. Therefore, it is desirable to suppress the width WL of the power supply wiring 90 and the line width WL of the common wiring 91 to one fifth or less of the pixel width Wp. Considering this, when the panel size of the display panel 1 is 32 inches and 40 inches, the width WL is within 34 μm and 44 μm, respectively. Further, the maximum film thickness Hmax of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is 1.5 times the minimum processing dimension 4 μm of the transistors 21 to 23, that is, 6 μm, in consideration of the aspect ratio. Thus the maximum cross-sectional area Smax of the feed interconnection 90 and common interconnection 91 is 32-inch 40-inch respectively 204Myuemu 2, a 264μm 2.

このような32インチのディスプレイパネル1について、最大電流が流れるように全点灯したときの給電配線90及び共通配線91のそれぞれの最大電圧降下を1V以下にするためには図13に示すように、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの配線抵抗率ρ/断面積Sは4.7Ω/cm以下に設定される必要がある。図14に32インチのディスプレイパネル1の給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積と電流密度の相関関係を表す。なお、上述した給電配線90及び共通配線91の最大断面積Smax時に許容される抵抗率は、32インチで9.6μΩcm、40インチで6.4μΩcmとなる。   For such a 32-inch display panel 1, in order to set the maximum voltage drop of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 at 1 V or less when fully lit so that the maximum current flows, as shown in FIG. The wiring resistivity ρ / cross-sectional area S of each of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 needs to be set to 4.7 Ω / cm or less. FIG. 14 shows the correlation between the cross-sectional area of each of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 of the 32-inch display panel 1 and the current density. Note that the resistivity allowed at the time of the maximum cross-sectional area Smax of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is 9.6 μΩcm at 32 inches and 6.4 μΩcm at 40 inches.

そして、40インチのディスプレイパネル1について、最大電流が流れるように全点灯したときの給電配線90及び共通配線91のそれぞれの最大電圧降下を1V以下にするためには図15に示すように、給電配線90及び共通配線91のそれぞれの配線抵抗率ρ/断面積Sは2.4Ω/cm以下に設定される必要がある。図16に40インチのディスプレイパネル1の給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積と電流密度の相関関係を表す。   Then, for the 40-inch display panel 1, in order to set the maximum voltage drop of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 to 1 V or less when all the lights are turned on so that the maximum current flows, as shown in FIG. The wiring resistivity ρ / cross-sectional area S of each of the wiring 90 and the common wiring 91 needs to be set to 2.4 Ω / cm or less. FIG. 16 shows the correlation between the cross-sectional area of each of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 of the 40-inch display panel 1 and the current density.

給電配線90及び共通配線91の故障により動作しなくなる故障寿命MTFは、下記の式(3)を満たす。   The failure life MTF that does not operate due to the failure of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 satisfies the following formula (3).

MTF=A exp(Ea/KbT)/ρJ2 ……(3) MTF = A exp (Ea / K b T) / ρJ 2 (3)

Eaは活性化エネルギー、KbT=8.617×10-5eV、ρは給電配線90及び共通配線91の抵抗率、Jは電流密度である。 Ea is the activation energy, K b T = 8.617 × 10 −5 eV, ρ is the resistivity of the power supply wiring 90 and the common wiring 91, and J is the current density.

給電配線90及び共通配線91の故障寿命MTFは抵抗率の増大やエレクトロマイグレーションに律速する。給電配線90及び共通配線91をAl系(Al単体或いはAlTiやAlNd等の合金)に設定し、MTFが10000時間、85℃の動作温度で試算すると、電流密度Jは2.1×104A/cm2以下にする必要がある。同様に給電配線90及び共通配線91をCuに設定すると、2.8×106A/cm2以下にする必要がある。なおAl合金内のAl以外の材料はAlよりも低い抵抗率であることを前提としている。
これらのことを考慮して、32インチのディスプレイパネル1では、全点灯状態で10000時間に給電配線90及び共通配線91が故障しないようなAl系の給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積Sは、図14から、57μm2以上必要になり、同様にCuの給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積Sは、図14から、0.43μm2以上必要になる。
The failure life MTF of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is limited by an increase in resistivity or electromigration. When the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are set to be Al-based (Al alone or an alloy such as AlTi or AlNd) and the MTF is estimated for 10,000 hours at an operating temperature of 85 ° C., the current density J is 2.1 × 10 4 A. / Cm 2 or less. Similarly, when the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are set to Cu, the power supply wiring 90 and the common wiring 91 need to be 2.8 × 10 6 A / cm 2 or less. It is assumed that materials other than Al in the Al alloy have a lower resistivity than Al.
In consideration of these points, in the 32-inch display panel 1, the cross-sectional areas of the Al-based power supply wiring 90 and the common wiring 91 are such that the power supply wiring 90 and the common wiring 91 do not fail in 10,000 hours in the fully lit state. S is required to be 57 μm 2 or more from FIG. 14, and similarly, the cross sectional areas S of the Cu power supply wiring 90 and the common wiring 91 are required to be 0.43 μm 2 or more from FIG.

そして40インチのディスプレイパネル1では、全点灯状態で10000時間に給電配線90及び共通配線91が故障しないようなAl系の給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積Sは、図16から、92μm2以上必要になり、同様にCuの給電配線90及び共通配線91のそれぞれの断面積Sは、図16から、0.69μm2以上必要になる。 In the 40-inch display panel 1, the cross-sectional areas S of the Al-based power supply wiring 90 and the common wiring 91 so that the power supply wiring 90 and the common wiring 91 do not fail in 10,000 hours in the fully lit state are shown in FIG. 92 μm 2 or more is required, and similarly, the cross-sectional areas S of the Cu power supply wiring 90 and the common wiring 91 are required to be 0.69 μm 2 or more from FIG.

Al系の給電配線90及び共通配線91では、Al系の抵抗率が4.00μΩcmとすると、32インチのディスプレイパネル1では上述のように配線抵抗率ρ/断面積Sが4.7Ω/cm以下なので、最小断面積Sminは85.1μm2となる。このとき上述のように給電配線90及び共通配線91の配線幅WLは34μm以内なので給電配線90及び共通配線91の最小膜厚Hminは2.50μmとなる。 If the Al-based power supply wiring 90 and the common wiring 91 have an Al-based resistivity of 4.00 μΩcm, the 32-inch display panel 1 has a wiring resistivity ρ / cross-sectional area S of 4.7 Ω / cm or less as described above. Therefore, the minimum cross-sectional area Smin is 85.1 μm 2 . At this time, since the wiring width WL of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is within 34 μm as described above, the minimum film thickness Hmin of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is 2.50 μm.

またAl系の給電配線90及び共通配線91の40インチのディスプレイパネル1では上述のように配線抵抗率ρ/断面積Sが2.4Ω/cm以下なので、最小断面積Sminは167μm2となる。このとき上述のように給電配線90及び共通配線91の配線幅WLは44μm以内なので給電配線90及び共通配線91の最小膜厚Hminは3.80μmとなる。 Further, in the 40-inch display panel 1 of the Al-based power supply wiring 90 and the common wiring 91, the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S is 2.4Ω / cm or less as described above, so the minimum cross-sectional area Smin is 167 μm 2 . At this time, since the wiring width WL of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is within 44 μm as described above, the minimum film thickness Hmin of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is 3.80 μm.

Cuの給電配線90及び共通配線91では、Cuの抵抗率が2.10μΩcmとすると、32インチのディスプレイパネル1では上述のように配線抵抗率ρ/断面積Sが4.7Ω/cm以下なので、最小断面積Sminは44.7μm2となる。このとき上述のように給電配線90及び共通配線91の配線幅WLは34μm以内なので給電配線90及び共通配線91の最小膜厚Hminは1.31μmとなる。 In the Cu power supply wiring 90 and the common wiring 91, if the Cu resistivity is 2.10 μΩcm, the 32-inch display panel 1 has the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S of 4.7 Ω / cm or less as described above. The minimum cross-sectional area Smin is 44.7 μm 2 . At this time, since the wiring width WL of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is within 34 μm as described above, the minimum film thickness Hmin of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is 1.31 μm.

またCuの給電配線90及び共通配線91の40インチのディスプレイパネル1では上述のように配線抵抗率ρ/断面積Sが2.4Ω/cm以下なので、最小断面積Sminは87.5μm2となる。このとき上述のように給電配線90及び共通配線91の配線幅WLは44μm以内なので給電配線90及び共通配線91の最小膜厚Hminは1.99μmとなる。 Further, in the 40-inch display panel 1 of the Cu power supply wiring 90 and the common wiring 91, the wiring resistivity ρ / cross-sectional area S is 2.4Ω / cm or less as described above, so the minimum cross-sectional area Smin is 87.5 μm 2. . At this time, since the wiring width WL of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is within 44 μm as described above, the minimum film thickness Hmin of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 is 1.99 μm.

以上のことから、ディスプレイパネル1を正常且つ消費電力を低く動作させるには、給電配線90及び共通配線91での電圧降下を1V以下にした方が好ましく、このような条件にするには、給電配線90及び共通配線91がAl系の32インチのパネルでは、膜厚Hが2.50μm〜6μm、幅WLが14.1μm〜34.0μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなり、給電配線90及び共通配線91がAl系の40インチのパネルでは、給電配線90及び共通配線91がAl系の場合、膜厚Hが3.80μm〜6μm、幅WLが27.8μm〜44.0μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなる。   From the above, in order to operate the display panel 1 normally and with low power consumption, it is preferable to set the voltage drop in the power supply wiring 90 and the common wiring 91 to 1 V or less. When the wiring 90 and the common wiring 91 are an Al-based 32-inch panel, the film thickness H is 2.50 μm to 6 μm, the width WL is 14.1 μm to 34.0 μm, and the resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm. In a 40-inch panel in which the wiring 90 and the common wiring 91 are Al-based, when the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are Al-based, the film thickness H is 3.80 μm to 6 μm, the width WL is 27.8 μm to 44.0 μm, The resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm.

総じてAl系の給電配線90及び共通配線91の場合、膜厚Hが2.50μm〜6μm、幅WLが14.1μm〜44μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなる。
同様に、給電配線90及び共通配線91がCuの32インチのパネルでは、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜34μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなり、給電配線90及び共通配線91がCuの40インチのパネルでは、給電配線90及び共通配線91がCu系の場合、膜厚Hが1.99μm〜6μm、幅WLが14.6μm〜44.0μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。
In general, in the case of the Al-based power supply wiring 90 and the common wiring 91, the film thickness H is 2.50 μm to 6 μm, the width WL is 14.1 μm to 44 μm, and the resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm.
Similarly, in a 32-inch panel in which the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are Cu, the film thickness H is 1.31 μm to 6 μm, the width WL is 7.45 μm to 34 μm, and the resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. When the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are 40-inch panels made of Cu, when the power supply wiring 90 and the common wiring 91 are Cu-based, the film thickness H is 1.99 μm to 6 μm, the width WL is 14.6 μm to 44.0 μm, The resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm.

総じてCuの給電配線90及び共通配線91の場合、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜44μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。
したがって、給電配線90及び共通配線91としてAl系材料又はCuを適用した場合、ディスプレイパネル1の給電配線90及び共通配線91は、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜44μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。
In general, in the case of the Cu power supply wiring 90 and the common wiring 91, the film thickness H is 1.31 μm to 6 μm, the width WL is 7.45 μm to 44 μm, and the resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm.
Therefore, when an Al-based material or Cu is applied as the power supply wiring 90 and the common wiring 91, the power supply wiring 90 and the common wiring 91 of the display panel 1 have a film thickness H of 1.31 μm to 6 μm and a width WL of 7.45 μm. 44 μm and resistivity becomes 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm.

以上のように、水平方向に隣り合うサブピクセル電極20aの間において凸設された共通配線91がトランジスタ21〜23の電極とは別層で形成されているから、共通配線91を厚膜にすることができ、共通配線91を低抵抗化することができる。そして、低抵抗な共通配線91が対向電極20cに導通しているから、対向電極20c自体が薄膜化してより高抵抗になっても対向電極20cの電圧を面内で一様にすることができる。従って、仮に全てのサブピクセル電極20aに同じ電位を印加した場合でも、どの有機EL層20bの発光強度もほぼ等しくなり、面内の発光強度を一様することができる。   As described above, the common wiring 91 protruding between the subpixel electrodes 20a adjacent in the horizontal direction is formed in a layer different from the electrodes of the transistors 21 to 23, and thus the common wiring 91 is made thick. Therefore, the resistance of the common wiring 91 can be reduced. Since the low-resistance common wiring 91 is electrically connected to the counter electrode 20c, the voltage of the counter electrode 20c can be made uniform in the plane even when the counter electrode 20c itself is thinned to have a higher resistance. . Therefore, even if the same potential is applied to all the subpixel electrodes 20a, the light emission intensity of any organic EL layer 20b becomes substantially equal, and the in-plane light emission intensity can be made uniform.

また、ディスプレイパネル1をトップエミッション型として用いた場合、対向電極20cをより薄膜化することが可能なので、有機EL層20bを発した光が対向電極20cを透過中に減衰し難くなる。更に、平面視して水平方向に隣り合うサブピクセル電極20aの間に共通配線91が設けられているため、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。   Further, when the display panel 1 is used as a top emission type, the counter electrode 20c can be made thinner, so that light emitted from the organic EL layer 20b is not easily attenuated while being transmitted through the counter electrode 20c. Furthermore, since the common wiring 91 is provided between the subpixel electrodes 20a adjacent in the horizontal direction in plan view, a decrease in the pixel aperture ratio can be minimized.

また、水平方向の画素3の行の間において平坦化膜33及び保護絶縁膜32に埋設された給電配線90がトランジスタ21〜23の電極とは別層で形成されているから、給電配線90を厚膜にすることができ、給電配線90を低抵抗化することができる。低抵抗な給電配線90が薄膜の供給線Zに積層されているから、供給線Zの電圧降下を抑えることができ、更には供給線Z及び給電配線90の信号遅延を抑えることができる。例えば、仮に給電配線90がない場合にディスプレイパネル1を大画面化したときには、供給線Zの電圧降下によって面内の発光強度のムラが発生したり、発光しない有機EL素子20が存在したりするおそれがある。しかしながら、本実施形態では、低抵抗な給電配線90が供給線Zに導通しているから、面内の発光強度のムラを抑えることができ、更に発光しない有機EL素子20をなくすことができる。   In addition, since the power supply wiring 90 embedded in the planarization film 33 and the protective insulating film 32 is formed in a layer different from the electrodes of the transistors 21 to 23 between the rows of the pixels 3 in the horizontal direction, A thick film can be formed, and the resistance of the power supply wiring 90 can be reduced. Since the low-resistance power supply wiring 90 is laminated on the thin-film supply line Z, the voltage drop of the supply line Z can be suppressed, and further, the signal delay of the supply line Z and the power supply wiring 90 can be suppressed. For example, if the display panel 1 is enlarged when the power supply wiring 90 is not provided, the in-plane emission intensity unevenness occurs due to the voltage drop of the supply line Z, or there is an organic EL element 20 that does not emit light. There is a fear. However, in this embodiment, since the low-resistance power supply wiring 90 is electrically connected to the supply line Z, unevenness of the in-plane light emission intensity can be suppressed, and the organic EL element 20 that does not emit light can be eliminated.

更に、給電配線90を厚くすることで給電配線90を低抵抗化したので、給電配線90の幅を狭くすることができる。そのため、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。   Further, since the resistance of the power supply wiring 90 is reduced by increasing the thickness of the power supply wiring 90, the width of the power supply wiring 90 can be reduced. Therefore, it is possible to minimize the decrease in the pixel aperture ratio.

そして共通配線91群がサブピクセル電極20a、20a間の非画素領域に配置された信号線Y1〜Ynの上方に配置されているので、サブピクセル電極20aの面積が共通配線91群の配置によって縮小することがない。
また、信号線Yと共通配線91との間には、厚膜のバンク71が介在しているから、信号線Yと共通配線91との間に生じる寄生容量を非常に小さくすることができる。また、平面視して共通配線91とバンク71が重なっているから、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。
Since the common wiring 91 group is arranged above the signal lines Y 1 to Y n arranged in the non-pixel region between the sub-pixel electrodes 20a and 20a, the area of the sub-pixel electrode 20a is set to the arrangement of the common wiring 91 group. Will not shrink.
In addition, since the thick film bank 71 is interposed between the signal line Y and the common wiring 91, the parasitic capacitance generated between the signal line Y and the common wiring 91 can be extremely reduced. Further, since the common wiring 91 and the bank 71 overlap in a plan view, a decrease in the pixel aperture ratio can be minimized.

[第2の実施の形態]
図17〜図25を用いて、第2実施形態におけるディスプレイパネル101について説明する。なお、図17〜図25に示すように、第2実施形態におけるディスプレイパネル101については、第1実施形態におけるディスプレイパネル1のいずれかの部分と同一の部分に対しては同一の符号を付し、同一の部分についての説明を省略する。
[Second Embodiment]
A display panel 101 according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. As shown in FIGS. 17 to 25, for the display panel 101 in the second embodiment, the same reference numerals are given to the same parts as any part of the display panel 1 in the first embodiment. Description of the same part is omitted.

図17は、第2実施形態におけるディスプレイパネル101の画素3の概略平面図であり、図18は、サブピクセルPの電極を主に示した平面図である。図17、図18に示すように、画素3、サブピクセルPr,Pg,Pb、信号線Yr、Yg,Yb、走査線X及び供給線Zの平面レイアウトは、第1実施形態における平面レイアウトと同じである。   FIG. 17 is a schematic plan view of the pixel 3 of the display panel 101 in the second embodiment, and FIG. 18 is a plan view mainly showing electrodes of the subpixel P. As shown in FIGS. 17 and 18, the planar layout of the pixel 3, the sub-pixels Pr, Pg, and Pb, the signal lines Yr, Yg, Yb, the scanning line X, and the supply line Z is the same as the planar layout in the first embodiment. It is.

図19は、図17に示された切断線XIX−XIXに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図であり、図20は、図17に示された切断線XX−XXに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図であり、図21は、図17に示された切断線XXI−XXIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図であり、図22は、図17に示された切断線XXII−XXIIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。図19〜図22に示すように、トランジスタアレイ基板50並びにその表面にパターニングされた絶縁膜52及びサブピクセル電極20aは、第1実施形態と同じに設けられている。   19 is a cross-sectional view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along the cutting line XIX-XIX shown in FIG. 17, and FIG. 20 is a cutting line XX-XX shown in FIG. FIG. 21 is a cross-sectional view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along FIG. 21, and FIG. 21 is a view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along the cutting line XXI-XXI shown in FIG. 22 is a cross-sectional view, and FIG. 22 is a cross-sectional view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along the cutting line XXII-XXII shown in FIG. As shown in FIGS. 19 to 22, the transistor array substrate 50, the insulating film 52 patterned on the surface thereof, and the subpixel electrode 20 a are provided in the same manner as in the first embodiment.

第1実施形態では、給電配線90が平坦化膜33及び保護絶縁膜32に埋設されていた。それに対して、第2実施形態では、メッキ法によって成長した給電配線90Aが絶縁膜52上において図233に示すように、垂直方向に沿って延在するように凸設されている。そして、給電配線90Aは、垂直方向の赤サブピクセルPrの列と緑サブピクセルPgの列との間に、垂直方向の緑サブピクセルPgの列と青サブピクセルPbの列との間に、及び垂直方向の青サブピクセルPbの列と赤サブピクセルPrの列との間に配置されている。   In the first embodiment, the power supply wiring 90 is embedded in the planarization film 33 and the protective insulating film 32. On the other hand, in the second embodiment, the power supply wiring 90A grown by the plating method is provided on the insulating film 52 so as to extend along the vertical direction as shown in FIG. The power supply wiring 90A is arranged between the vertical red subpixel Pr column and the green subpixel Pg column, between the vertical green subpixel Pg column and the blue subpixel Pb column, and It is arranged between the column of blue subpixels Pb and the column of red subpixels Pr in the vertical direction.

給電配線90Aが絶縁膜52上に設けられているから、第2実施形態では、第1実施形態におけるバンク71が設けられていない。つまり、給電配線90Aは、バンク71の代わりに設けられている。第1実施形態では、バンク71が絶縁性の感光性樹脂からなるが、第2実施形態の給電配線90Aは、銅、アルミ、金若しくはニッケルのうちの少なくともいずれかを含むことが好ましい。そのため、給電配線90Aが対向電極20cに対して絶縁しなければならない。そこで、給電配線90Aの表面には、撥水性・撥油性を有した疎水絶縁膜53Aが成膜され、給電配線90Aと対向電極20cとの間に疎水絶縁膜53Aが介在している。   Since the power supply wiring 90 </ b> A is provided on the insulating film 52, the bank 71 in the first embodiment is not provided in the second embodiment. That is, the power supply wiring 90 </ b> A is provided instead of the bank 71. In the first embodiment, the bank 71 is made of an insulating photosensitive resin. However, the power supply wiring 90A of the second embodiment preferably includes at least one of copper, aluminum, gold, and nickel. Therefore, the power supply wiring 90A must be insulated from the counter electrode 20c. Therefore, a hydrophobic insulating film 53A having water and oil repellency is formed on the surface of the power supply wiring 90A, and the hydrophobic insulating film 53A is interposed between the power supply wiring 90A and the counter electrode 20c.

疎水絶縁膜53Aはフッ素樹脂電着塗料からなり、電着塗装によって成膜されたものである。なお、有機EL素子20の有機EL層20bは、給電配線90A及び疎水絶縁膜53Aの形成後に湿式塗布法(例えば、インクジェット法)によって成膜される。電着塗料としては、エレコートナイスロン、エレコートナイスロンCTR、エレコートAMF(株式会社シミズ製)などが挙げられる。この場合、サブピクセル電極20aに有機化合物含有液を塗布するが、水平方向に隣り合うサブピクセル電極20a間において疎水絶縁膜53Aが給電配線90Aの表面に成膜されているから、サブピクセル電極20aに塗布された有機化合物含有液が隣のサブピクセル電極20aに漏れることがない。従って、有機EL層20bを湿式塗布法によって色ごとに塗り分けることができる。更に、疎水絶縁膜53Aの撥水性・撥油性によって、サブピクセル電極20aに塗布された有機化合物含有液が給電配線90A周縁で厚くならないので、有機EL層20bを均一な膜厚で成膜することができる。   The hydrophobic insulating film 53A is made of a fluororesin electrodeposition paint and is formed by electrodeposition coating. The organic EL layer 20b of the organic EL element 20 is formed by a wet coating method (for example, an ink jet method) after the formation of the power supply wiring 90A and the hydrophobic insulating film 53A. Examples of the electrodeposition paint include Elecoat Nicelon, Elecoat Nicelon CTR, Elecoat AMF (manufactured by Shimizu Corporation), and the like. In this case, the organic compound-containing liquid is applied to the subpixel electrode 20a. However, since the hydrophobic insulating film 53A is formed on the surface of the power supply wiring 90A between the subpixel electrodes 20a adjacent in the horizontal direction, the subpixel electrode 20a. The organic compound-containing liquid applied to the liquid does not leak to the adjacent subpixel electrode 20a. Therefore, the organic EL layer 20b can be applied for each color by a wet coating method. Further, since the organic compound-containing liquid applied to the subpixel electrode 20a does not become thick at the periphery of the power supply wiring 90A due to the water and oil repellency of the hydrophobic insulating film 53A, the organic EL layer 20b is formed with a uniform film thickness. Can do.

図17、図18、図20、図23に示すように、平面視して給電配線90A、90A…と供給線Z1〜Zmとが交わる箇所において、平坦化膜33及び保護絶縁膜32にコンタクトホール81が形成され、そのコンタクトホール81に導電性パッド82が埋設され、その導電性パッド82の表面に導電性膜51Aがパターニングされているが、導電性膜51Aは、サブピクセル電極20aの元となる導電性膜をエッチングすることによってサブピクセル電極20aとともにパターニングされたものである。更に、平面視して給電配線90Aと供給線Zとが交わる箇所において、コンタクトホール83が絶縁膜52に形成され、給電配線90Aの一部がコンタクトホール83に埋設されている。このように、コンタクトホール81及びコンタクトホール83を介して給電配線90Aが供給線Zに導通している。そして、供給線Z1〜Zmは、給電配線90Aと同じ導電層をパターニングしてなる引き回し配線99に接続され、端子部90d、90eに導通している。 17, 18, 20, as shown in FIG. 23, the power supply wiring 90A in plan view, 90A ... and the place where the supply lines Z 1 to Z m intersect, the planarization film 33 and protective insulating film 32 A contact hole 81 is formed, a conductive pad 82 is embedded in the contact hole 81, and a conductive film 51A is patterned on the surface of the conductive pad 82. The conductive film 51A is formed on the surface of the subpixel electrode 20a. The original conductive film is patterned together with the subpixel electrode 20a by etching. Further, a contact hole 83 is formed in the insulating film 52 at a portion where the power supply wiring 90 </ b> A and the supply line Z intersect in plan view, and a part of the power supply wiring 90 </ b> A is embedded in the contact hole 83. Thus, the power supply wiring 90 </ b> A is electrically connected to the supply line Z through the contact hole 81 and the contact hole 83. The supply lines Z 1 to Z m are connected to a lead wiring 99 formed by patterning the same conductive layer as the power supply wiring 90A, and are electrically connected to the terminal portions 90d and 90e.

どの給電配線90Aも全ての供給線Zに導通している。そのため、図9を用いて説明した第一のディスプレイパネル1の駆動方法では、第2実施形態のディスプレイパネル101を駆動することができないが、図11を用いて説明した第二のディスプレイパネル1の駆動方法では、第2実施形態のディスプレイパネル101を駆動することができる。   Any power supply wiring 90A is electrically connected to all the supply lines Z. For this reason, the first display panel 1 driving method described with reference to FIG. 9 cannot drive the display panel 101 according to the second embodiment, but the second display panel 1 described with reference to FIG. In the driving method, the display panel 101 of the second embodiment can be driven.

第1実施形態では、対向電極20c上には、複数の共通配線91が配列されていた。それに対して、第2実施形態では、共通配線91Aが図24に示すように、メッシュ状にパターニングされている。具体的には、共通配線91Aが、平面視して垂直方向及び水平方向に互いに隣接するサブピクセル電極20a、20aの間を埋めるように、走査線X1〜Xmの上方、信号線Y1〜Ynの上方及び供給線Z1〜Zmの上方に格子状にパターニングされている。そのため、図25に示すように、共通配線91Aの一部が給電配線90Aに重なっているが、給電配線90Aの表面に疎水絶縁膜53Aが成膜されているから、共通配線91Aが給電配線90Aに対して絶縁されている。共通配線91Aは、銅、アルミ、金若しくはニッケルのうちの少なくともいずれかを含むことが好ましく、いずれも有機EL層20bの発光する光に対して不透明なくらい厚い。 In the first embodiment, a plurality of common wirings 91 are arranged on the counter electrode 20c. On the other hand, in the second embodiment, the common wiring 91A is patterned in a mesh shape as shown in FIG. Specifically, the common wiring 91A is arranged above the scanning lines X 1 to X m and the signal line Y 1 so as to fill the space between the subpixel electrodes 20a and 20a adjacent to each other in the vertical direction and the horizontal direction in plan view. It is patterned in a grid above and above the supply lines Z 1 to Z m of to Y n. For this reason, as shown in FIG. 25, a part of the common wiring 91A overlaps the power supply wiring 90A, but since the hydrophobic insulating film 53A is formed on the surface of the power supply wiring 90A, the common wiring 91A becomes the power supply wiring 90A. Is insulated against. The common wiring 91A preferably includes at least one of copper, aluminum, gold, and nickel, and all of them are thick enough to be opaque to the light emitted from the organic EL layer 20b.

以上のように説明してきたことを除いて、第2実施形態におけるディスプレイパネル101は、第1実施形態のディスプレイパネル1と同様に構成されている。勿論、第1実施形態の給電配線90及び共通配線91の幅、断面積及び抵抗率と同様に、給電配線90A及び共通配線91AがAl系の32インチのパネルでは、膜厚Hが2.50μm〜6μm、幅WLが14.1μm〜34.0μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなり、給電配線90A及び共通配線91AがAl系の40インチのパネルでは、給電配線90A及び共通配線91AがAl系の場合、膜厚Hが3.80μm〜6μm、幅WLが27.8μm〜44.0μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなる。総じてAl系の給電配線90A及び共通配線91Aの場合、膜厚Hが2.50μm〜6μm、幅WLが14.1μm〜44μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなる。同様に、給電配線90A及び共通配線91AがCuの32インチのパネルでは、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜34μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなり、給電配線90A及び共通配線91AがCuの40インチのパネルでは、給電配線90A及び共通配線91AがCu系の場合、膜厚Hが1.99μm〜6μm、幅WLが14.6μm〜44.0μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。総じてCuの給電配線90A及び共通配線91Aの場合、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜44μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。したがって、給電配線90A及び共通配線91AとしてAl系材料又はCuを適用した場合、ディスプレイパネル101の給電配線90A及び共通配線91Aは、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜44μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。   Except for what has been described above, the display panel 101 in the second embodiment is configured in the same manner as the display panel 1 in the first embodiment. Of course, as with the width, cross-sectional area, and resistivity of the power supply wiring 90 and the common wiring 91 of the first embodiment, the film thickness H is 2.50 μm when the power supply wiring 90A and the common wiring 91A are an Al-based 32-inch panel. .About.6 .mu.m, width WL is 14.1 .mu.m to 34.0 .mu.m, and the resistivity is 4.0 .mu..OMEGA.cm to 9.6 .mu..OMEGA.cm. Is Al-based, the film thickness H is 3.80 μm to 6 μm, the width WL is 27.8 μm to 44.0 μm, and the resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm. In general, in the case of the Al-based power supply wiring 90A and the common wiring 91A, the film thickness H is 2.50 μm to 6 μm, the width WL is 14.1 μm to 44 μm, and the resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm. Similarly, in a 32-inch panel in which the power supply wiring 90A and the common wiring 91A are Cu, the film thickness H is 1.31 μm to 6 μm, the width WL is 7.45 μm to 34 μm, and the resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. In a 40-inch panel in which the power supply wiring 90A and the common wiring 91A are Cu, when the power supply wiring 90A and the common wiring 91A are Cu-based, the film thickness H is 1.99 μm to 6 μm, the width WL is 14.6 μm to 44.0 μm, The resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. In general, in the case of the Cu power supply wiring 90A and the common wiring 91A, the film thickness H is 1.31 μm to 6 μm, the width WL is 7.45 μm to 44 μm, and the resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. Therefore, when Al-based material or Cu is applied as the power supply wiring 90A and the common wiring 91A, the power supply wiring 90A and the common wiring 91A of the display panel 101 have a film thickness H of 1.31 μm to 6 μm and a width WL of 7.45 μm. 44 μm and resistivity becomes 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm.

本実施形態においても、共通配線91Aがメッキ法により厚く成膜されているから、対向電極20c自体が薄膜化してより高抵抗になっても対向電極20cの電圧を面内で一様にすることができる。また、給電配線90Aがメッキ法により厚く成膜されているから、供給線Zの電圧降下を抑えることができ、面内の発光強度のムラを抑えることができる。   Also in this embodiment, since the common wiring 91A is formed thick by the plating method, the voltage of the counter electrode 20c is made uniform in the plane even if the counter electrode 20c itself is thinned to have a higher resistance. Can do. In addition, since the power supply wiring 90A is formed thick by plating, voltage drop of the supply line Z can be suppressed, and unevenness of emission intensity in the surface can be suppressed.

また、平面視して共通配線91Aの一部が給電配線90Aに重なっているから、画素開口率の減少を最小限に抑えることができる。   In addition, since the common wiring 91A partially overlaps the power supply wiring 90A in plan view, it is possible to minimize the decrease in the pixel aperture ratio.

そして、共通配線91A群がサブピクセル電極20a、20a間の非画素領域に配置された走査線X1〜Xmの上方、信号線Y1〜Ynの上方及び供給線Z1〜Zmの上方に格子状に配置されているので、サブピクセル電極20aの面積が共通配線91A群の配置によって縮小することがない。 Then, the common wiring 91A group sub-pixel electrode 20a, the scanning line X 1 arranged in non-pixel areas between 20a to X m above, the signal lines Y 1 to Y n of the upper and supply lines Z 1 to Z m Since it is arranged in a lattice shape above, the area of the subpixel electrode 20a is not reduced by the arrangement of the common wiring 91A group.

[第3の実施の形態]
図26〜図28を用いて、第3実施形態におけるディスプレイパネル201について説明する。なお、図26〜図28に示すように、第3実施形態におけるディスプレイパネル201については、第3実施形態におけるディスプレイパネル201のいずれかの部分に対応する部分に対しては同一の符号を付し、対応する部分についての説明を省略する。
[Third Embodiment]
A display panel 201 according to the third embodiment will be described with reference to FIGS. In addition, as shown in FIGS. 26-28, about the display panel 201 in 3rd Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected with respect to the part corresponding to any part of the display panel 201 in 3rd Embodiment. Description of the corresponding parts is omitted.

図26は、第3実施形態におけるディスプレイパネル201の画素3の概略平面図である。図26に示すように、第1実施形態におけるディスプレイパネル1と同様に、第3実施形態のディスプレイパネル201においても、画素3がマトリクス状に配列されている。但し、第1実施形態では、水平方向に沿って並んだサブピクセルPr,Pg,Pbによって画素3が構成されているが、第3実施形態では、垂直方向に沿って並んだサブピクセルPr,Pg,Pbによって画素3が構成されている。   FIG. 26 is a schematic plan view of the pixel 3 of the display panel 201 in the third embodiment. As shown in FIG. 26, similarly to the display panel 1 in the first embodiment, the pixels 3 are arranged in a matrix in the display panel 201 of the third embodiment. However, in the first embodiment, the pixel 3 is configured by the subpixels Pr, Pg, and Pb arranged along the horizontal direction. However, in the third embodiment, the subpixels Pr, Pg arranged along the vertical direction. , Pb constitute a pixel 3.

従って、水平方向の配列順に着目すると、複数の赤サブピクセルPrが水平方向に沿って一行に配列され、複数の緑サブピクセルPgが水平方向に沿って一行に配列され、複数の青サブピクセルPbが水平方向に沿って一行に配列されている。一方、垂直方向の配列順に着目すると、赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbの順に繰り返し配列されている。   Accordingly, when paying attention to the order of arrangement in the horizontal direction, a plurality of red subpixels Pr are arranged in one row along the horizontal direction, a plurality of green subpixels Pg are arranged in one row along the horizontal direction, and a plurality of blue subpixels Pb are arranged. Are arranged in a line along the horizontal direction. On the other hand, when paying attention to the arrangement order in the vertical direction, the red subpixel Pr, the green subpixel Pg, and the blue subpixel Pb are repeatedly arranged in this order.

第1実施形態においては、赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbが色ごとに垂直方向に沿って一列に配列されているため、垂直方向に延在した信号線Yr、信号線Yg、信号線Ybが赤サブピクセルPrの列、緑サブピクセルPgの列、青サブピクセルPbの列にそれぞれ設けられていた。それに対して、第3実施形態においては、赤サブピクセルPr、緑サブピクセルPg、青サブピクセルPbがこれらの順に繰り返すよう垂直方向に沿って一列に配列されているため、垂直方向の赤サブピクセルPr,Pg,Pbの列1列につき、3本の信号線Yr,Yg,Ybが設けられている。ここで、信号線Yrは垂直方向の画素3の列のうち全ての赤サブピクセルPrに対して信号を供給するものであり、信号線Ygは垂直方向の画素3の列のうち全ての緑サブピクセルPgに対して信号を供給するものであり、信号線Ybは垂直方向の画素3の列のうち全ての青サブピクセルPbに対して信号を供給するものである。なお、画素3の単位で考慮すると、第1実施形態の場合でも、第2実施形態の場合でも、垂直方向の画素3の列1列につき3本の信号線Yr,Yg,Ybが設けられている。   In the first embodiment, since the red subpixel Pr, the green subpixel Pg, and the blue subpixel Pb are arranged in a line along the vertical direction for each color, the signal line Yr and the signal line extending in the vertical direction are arranged. Yg and the signal line Yb are provided in the row of the red subpixel Pr, the row of the green subpixel Pg, and the row of the blue subpixel Pb, respectively. On the other hand, in the third embodiment, the red sub-pixel Pr, the green sub-pixel Pg, and the blue sub-pixel Pb are arranged in a line along the vertical direction so as to repeat in this order. Three signal lines Yr, Yg, Yb are provided for one column of Pr, Pg, Pb. Here, the signal line Yr supplies a signal to all red subpixels Pr in the column of the pixels 3 in the vertical direction, and the signal line Yg is all green subs in the column of the pixels 3 in the vertical direction. A signal is supplied to the pixel Pg, and the signal line Yb supplies a signal to all the blue subpixels Pb in the column of the pixels 3 in the vertical direction. In consideration of the unit of the pixel 3, in the case of the first embodiment and the case of the second embodiment, three signal lines Yr, Yg, Yb are provided for each column of the pixels 3 in the vertical direction. Yes.

また、第1実施形態においては、水平方向の画素3の行1行につき1本の走査線Xと1本の供給線Zが設けられていた。それに対して、第2実施形態においては、水平方向の画素3の行1行につき1本の走査線XEと2本の供給線ZC,ZDが設けられている。具体的には、水平方向の赤サブピクセルPrの列と青サブピクセルPbの列との間に供給線ZCが配置され、水平方向の緑サブピクセルPgの行と赤サブピクセルPrの行との間に供給線ZDが配置され、水平方向の青サブピクセルPbの行と緑サブピクセルPgの行との間に走査線Xが配置されている。   In the first embodiment, one scanning line X and one supply line Z are provided for each row of pixels 3 in the horizontal direction. On the other hand, in the second embodiment, one scanning line XE and two supply lines ZC and ZD are provided for each row of pixels 3 in the horizontal direction. Specifically, the supply line ZC is arranged between the column of the red subpixel Pr and the column of the blue subpixel Pb in the horizontal direction, and the row of the green subpixel Pg and the row of the red subpixel Pr in the horizontal direction are arranged. A supply line ZD is arranged therebetween, and a scanning line X is arranged between the row of blue subpixels Pb and the row of green subpixels Pg in the horizontal direction.

水平方向の画素3の行における2本の供給線ZC,ZDが1組となっており、2本の供給線ZC,ZDがディスプレイパネル201の周辺部において互いに導通している。   The two supply lines ZC and ZD in the row of the pixels 3 in the horizontal direction form a pair, and the two supply lines ZC and ZD are electrically connected to each other in the peripheral portion of the display panel 201.

第3実施形態においては、1ピクセルの画素3につき1つのコンタクトホール92Cが設けられている。コンタクトホール92Cは1ピクセルの画素3に含まれるサブピクセルPr,Pg,Pbに共通したものであり、何れのサブピクセルPr,Pg,Pbにおいてもトランジスタ21,22のゲート21g、22gがコンタクトホール92Cを介して走査線XEに導通している。なお、コンタクトホール92Cは、第1実施形態の場合のコンタクトホール92と同様に、ゲート絶縁膜31の走査線XEに重なる場所に形成されている。   In the third embodiment, one contact hole 92C is provided for each pixel 3 of pixels. The contact hole 92C is common to the subpixels Pr, Pg, and Pb included in the pixel 3 of one pixel. In any of the subpixels Pr, Pg, and Pb, the gates 21g and 22g of the transistors 21 and 22 are connected to the contact hole 92C. Through the scanning line XE. Note that the contact hole 92C is formed at a location overlapping the scanning line XE of the gate insulating film 31, like the contact hole 92 in the first embodiment.

また、赤サブピクセルPrにおいては、駆動トランジスタ23のドレイン23dが供給線ZCと一体に設けられ、緑サブピクセルPgにおいては、駆動トランジスタ23のドレイン23dが供給線ZDと一体に設けられている。青サブピクセルPbの駆動トランジスタ23のドレイン23dは、接続線96Cを介して供給線ZDに導通している。ここで、接続線96Cは、ゲートレイヤーをパターニングすることで形成されたものであり、ゲート絶縁膜31によって被覆されており、平面視して画素3を垂直方向に縦断するよう設けられている。ゲート絶縁膜31の供給線ZDと接続線96Cが重なる箇所には、コンタクトホール97Cが形成され、そのコンタクトホール97Cを介して接続線96Cが供給線ZDに導通している。また、青サブピクセルPbにおいては、コンタクトホール98Cがゲート絶縁膜31の接続線96Cと駆動トランジスタ23のドレイン23dとが重なる箇所に形成され、そのコンタクトホール98Cを介して接続線96Cと駆動トランジスタ23のドレイン23dが導通している。   In the red subpixel Pr, the drain 23d of the drive transistor 23 is provided integrally with the supply line ZC, and in the green subpixel Pg, the drain 23d of the drive transistor 23 is provided integrally with the supply line ZD. The drain 23d of the driving transistor 23 of the blue subpixel Pb is electrically connected to the supply line ZD through the connection line 96C. Here, the connection line 96 </ b> C is formed by patterning the gate layer, is covered with the gate insulating film 31, and is provided so as to vertically cut the pixels 3 in the vertical direction in plan view. A contact hole 97C is formed at a portion where the supply line ZD and the connection line 96C of the gate insulating film 31 overlap each other, and the connection line 96C is electrically connected to the supply line ZD through the contact hole 97C. In the blue subpixel Pb, the contact hole 98C is formed at a position where the connection line 96C of the gate insulating film 31 and the drain 23d of the drive transistor 23 overlap, and the connection line 96C and the drive transistor 23 are connected via the contact hole 98C. The drain 23d is conductive.

トランジスタ21〜23の層構造は第1実施形態の場合と同じであるが、トランジスタ21〜23の平面レイアウトが第1実施形態と異なる。即ち、赤サブピクセルPrにおいては、駆動トランジスタ23が供給線ZCに沿うように配置され、スイッチトランジスタ21が供給線ZDに沿うように配置され、保持トランジスタ22が供給線ZCの近くの赤サブピクセルPrの角部に配置されている。緑サブピクセルPgにおいては、駆動トランジスタ23が供給線ZDに沿うように配置され、スイッチトランジスタ21が走査線XEに沿うように配置され、保持トランジスタ22が供給線ZDの近くの緑サブピクセルPgの角部に配置されている。青サブピクセルPbにおいては、駆動トランジスタ23が走査線XEに沿うように配置され、スイッチトランジスタ21が隣りの画素3の供給線ZCに沿うように配置され、保持トランジスタ22が走査線XEの近くの青サブピクセルPbの角部に配置されている。何れのサブピクセルPr,Pg,Pbでも、キャパシタ24が隣の信号線Ybに沿って配置されている。   The layer structure of the transistors 21 to 23 is the same as that in the first embodiment, but the planar layout of the transistors 21 to 23 is different from that in the first embodiment. That is, in the red subpixel Pr, the driving transistor 23 is arranged along the supply line ZC, the switch transistor 21 is arranged along the supply line ZD, and the holding transistor 22 is arranged near the supply line ZC. It arrange | positions at the corner | angular part of Pr. In the green subpixel Pg, the driving transistor 23 is arranged along the supply line ZD, the switch transistor 21 is arranged along the scanning line XE, and the holding transistor 22 is arranged in the green subpixel Pg near the supply line ZD. It is arranged at the corner. In the blue subpixel Pb, the drive transistor 23 is disposed along the scanning line XE, the switch transistor 21 is disposed along the supply line ZC of the adjacent pixel 3, and the holding transistor 22 is disposed near the scanning line XE. It is arranged at the corner of the blue subpixel Pb. In any subpixel Pr, Pg, Pb, the capacitor 24 is arranged along the adjacent signal line Yb.

図27は、図26に示された切断線XXVII−XXVIIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図であり、図28は、図26に示された切断線XXVIII−XXVIIIに沿って絶縁基板2の厚さ方向に切断した矢視断面図である。図27、図28に示すように、保護絶縁膜32及び平坦化膜33の供給線ZC、ZD及び走査線XEそれぞれに重なる箇所には、水平方向に沿って長尺な溝34C,34D,34Eが凹設されている。溝34C,34D,34Eには給電配線90C、給電配線90D、選択配線89Eがそれぞれ埋設されており、溝34C,34D,34E内において給電配線90C,90D、選択配線89Eが供給線ZC,ZD、走査線XEにそれぞれ積層されている。以上により、給電配線90C、給電配線90D、選択配線89Eが供給線ZC、供給線ZD、走査線XEにそれぞれ導通している。給電配線90C、給電配線90D、選択配線89Eは、メッキ法により成膜されたものであり、供給線ZC、供給線ZD、走査線XEよりも厚い。給電配線90C、給電配線90D、選択配線89Eの厚さは、保護絶縁膜32と平坦化膜33の厚さの総計よりも薄い。なお、溝34C,34Dが第1溝であり、溝34Eが第2溝である。   27 is a cross-sectional view taken in the direction of the thickness of the insulating substrate 2 along the cutting line XXVII-XXVII shown in FIG. 26, and FIG. 28 is a cutting line XXVIII-XXVIII shown in FIG. It is arrow sectional drawing cut | disconnected in the thickness direction of the insulation board | substrate 2 along line. As shown in FIG. 27 and FIG. 28, the grooves 34C, 34D, and 34E that are long in the horizontal direction are provided at portions of the protective insulating film 32 and the planarizing film 33 that overlap the supply lines ZC and ZD and the scanning line XE, respectively. Is recessed. In the grooves 34C, 34D, and 34E, a power supply wiring 90C, a power supply wiring 90D, and a selection wiring 89E are embedded, respectively. Each is stacked on the scanning line XE. As described above, the power supply wiring 90C, the power supply wiring 90D, and the selection wiring 89E are electrically connected to the supply line ZC, the supply line ZD, and the scanning line XE, respectively. The power supply wiring 90C, the power supply wiring 90D, and the selection wiring 89E are formed by plating, and are thicker than the supply line ZC, the supply line ZD, and the scanning line XE. The thicknesses of the power supply wiring 90 </ b> C, the power supply wiring 90 </ b> D, and the selection wiring 89 </ b> E are thinner than the total thickness of the protective insulating film 32 and the planarization film 33. The grooves 34C and 34D are first grooves, and the groove 34E is a second groove.

給電配線90C、給電配線90D、選択配線89Eの表面には、撥水性・撥油性を有した疎水絶縁膜53C,53D,53Eがそれぞれ成膜され、疎水絶縁膜53C,53D,53Eが平坦化膜33の表面よりも隆起している。これにり、疎水絶縁膜53C,53D,53Eが平坦化膜33の表面において露出している。疎水絶縁膜53C,53D,53Eはフッ素樹脂電着塗料からなり、電着塗装によって成膜されたものである。疎水絶縁膜53C,53D,53Eの撥水性・撥油性を利用して、有機EL素子20の有機EL層20bが湿式塗布法(例えば、インクジェット法)によって色ごとに塗り分けられる。なお、供給線ZCと供給線ZDとの間において水平方向に一行に配列された複数のサブピクセル電極20aが、水平方向に沿って帯状に長尺な共通の赤色発光の有機EL層20bによって被覆され、供給線ZDと走査線XEとの間において水平方向に沿った一行に配列された複数のサブピクセル電極20aが、水平方向に沿って帯状に長尺な共通の緑色発光の有機EL層20bによって被覆され、走査線XEと供給線ZCの間において水平方向に沿った一行に配列された複数のサブピクセル電極20aが、水平方向に沿って帯状に長尺な共通の青色発光の有機EL層20bによって被覆されている。   Hydrophobic insulating films 53C, 53D, and 53E having water repellency and oil repellency are formed on the surfaces of the power supply wiring 90C, the power supply wiring 90D, and the selection wiring 89E, respectively, and the hydrophobic insulating films 53C, 53D, and 53E are planarized films. It protrudes from the surface of 33. As a result, the hydrophobic insulating films 53C, 53D, and 53E are exposed on the surface of the planarizing film 33. The hydrophobic insulating films 53C, 53D, and 53E are made of a fluororesin electrodeposition paint and are formed by electrodeposition coating. Using the water / oil repellency of the hydrophobic insulating films 53C, 53D, and 53E, the organic EL layer 20b of the organic EL element 20 is applied for each color by a wet coating method (for example, an inkjet method). A plurality of subpixel electrodes 20a arranged in a row in the horizontal direction between the supply line ZC and the supply line ZD are covered with a common red light emitting organic EL layer 20b that is elongated in a strip shape along the horizontal direction. A plurality of subpixel electrodes 20a arranged in a line along the horizontal direction between the supply line ZD and the scanning line XE are formed into a common green light emitting organic EL layer 20b that is elongated in a strip shape along the horizontal direction. A plurality of sub-pixel electrodes 20a that are covered with each other and arranged in a line along the horizontal direction between the scanning line XE and the supply line ZC are formed in a strip-like shape along the horizontal direction. It is covered with 20b.

共通配線91Cが対向電極20c上においてそれぞれの疎水絶縁膜53C,53D,53Eに沿うように成膜されており、平面視して共通配線91Cが疎水絶縁膜53C,53D,53Eに重なっている。そのため、共通配線91Cが対向電極20cに導通している。共通配線91Cもメッキ法により成膜されたものであり、供給線ZC、供給線ZD、走査線XEよりも厚い。共通配線91群は、銅、アルミ、金若しくはニッケルのうちの少なくともいずれかを含むことが好ましく、いずれも有機EL層20bの発光する光に対して不透明なくらい厚い。   The common wiring 91C is formed along the respective hydrophobic insulating films 53C, 53D, and 53E on the counter electrode 20c, and the common wiring 91C overlaps the hydrophobic insulating films 53C, 53D, and 53E in plan view. For this reason, the common wiring 91C is electrically connected to the counter electrode 20c. The common wiring 91C is also formed by plating, and is thicker than the supply line ZC, the supply line ZD, and the scanning line XE. The common wiring 91 group preferably includes at least one of copper, aluminum, gold, and nickel, and all of them are thick enough to be opaque to the light emitted from the organic EL layer 20b.

なお、第3実施形態のディスプレイパネル201の駆動方法は、第1実施形態のディスプレイパネル1の駆動方法と同じである。勿論、給電配線90C及び給電配線90DがAl系の32インチのパネルでは、膜厚Hが2.50μm〜6μm、幅WLが14.1μm〜34.0μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなり、給電配線90C及び給電配線90DがAl系の40インチのパネルでは、給電配線90C及び給電配線90DがAl系の場合、膜厚Hが3.80μm〜6μm、幅WLが27.8μm〜44.0μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなる。総じてAl系の給電配線90C及び給電配線90Dの場合、膜厚Hが2.50μm〜6μm、幅WLが14.1μm〜44μm、抵抗率が4.0μΩcm〜9.6μΩcmとなる。同様に、給電配線90C及び給電配線90DがCuの32インチのパネルでは、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜34μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなり、給電配線90C及び給電配線90DがCuの40インチのパネルでは、給電配線90C及び給電配線90DがCu系の場合、膜厚Hが1.99μm〜6μm、幅WLが14.6μm〜44.0μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。総じてCuの給電配線90C及び給電配線90Dの場合、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜44μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。したがって、給電配線90C及び給電配線90DとしてAl系材料又はCuを適用した場合、ディスプレイパネル201の給電配線90C及び給電配線90Dは、膜厚Hが1.31μm〜6μm、幅WLが7.45μm〜44μm、抵抗率が2.1μΩcm〜9.6μΩcmとなる。   Note that the driving method of the display panel 201 of the third embodiment is the same as the driving method of the display panel 1 of the first embodiment. Of course, in a panel of 32 inches in which the power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D are Al-based, the film thickness H is 2.50 μm to 6 μm, the width WL is 14.1 μm to 34.0 μm, and the resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm. When the power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D are Al-based 40-inch panels, when the power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D are Al-based, the film thickness H is 3.80 μm to 6 μm and the width WL is 27.8 μm to 44. And a resistivity of 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm. In general, in the case of the Al-based power supply wiring 90C and power supply wiring 90D, the film thickness H is 2.50 μm to 6 μm, the width WL is 14.1 μm to 44 μm, and the resistivity is 4.0 μΩcm to 9.6 μΩcm. Similarly, in a 32-inch panel in which the power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D are Cu, the film thickness H is 1.31 μm to 6 μm, the width WL is 7.45 μm to 34 μm, and the resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. In a 40-inch panel in which the power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D are Cu, when the power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D are Cu-based, the film thickness H is 1.99 μm to 6 μm, the width WL is 14.6 μm to 44.0 μm, The resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. In general, in the case of the Cu power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D, the film thickness H is 1.31 μm to 6 μm, the width WL is 7.45 μm to 44 μm, and the resistivity is 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm. Therefore, when an Al-based material or Cu is applied as the power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D, the power supply wiring 90C and the power supply wiring 90D of the display panel 201 have a film thickness H of 1.31 μm to 6 μm and a width WL of 7.45 μm. 44 μm and resistivity becomes 2.1 μΩcm to 9.6 μΩcm.

本実施形態においても、共通配線91Cがメッキ法により厚く成膜されているから、対向電極20c自体が薄膜化してより高抵抗になっても対向電極20cの電圧を面内で一様にすることができる。また、給電配線90C,90Dがメッキ法により厚く成膜されているから、供給線ZC,ZDの電圧降下を抑えることができ、面内の発光強度のムラを抑えることができる。   Also in this embodiment, since the common wiring 91C is formed thick by a plating method, the voltage of the counter electrode 20c is made uniform in the plane even if the counter electrode 20c itself is thinned to have a higher resistance. Can do. In addition, since the power supply wirings 90C and 90D are thickly formed by a plating method, voltage drop of the supply lines ZC and ZD can be suppressed, and unevenness of the in-plane light emission intensity can be suppressed.

更に、走査線XEに積層された選択配線89Eがメッキ法により厚く成膜されているから、更には走査線XE及び選択配線89Eの信号遅延を抑えることができる。即ち、水平方向のサブピクセルPの行に着目した場合、シフトパルスがどのサブピクセルPでも遅延せずに同時にハイレベルになる。   Further, since the selection wiring 89E stacked on the scanning line XE is formed thick by plating, signal delay of the scanning line XE and the selection wiring 89E can be further suppressed. That is, when attention is paid to the row of the sub-pixels P in the horizontal direction, the shift pulse becomes high level at the same time without delaying any sub-pixel P.

また、疎水絶縁膜53C,53D,53Eが電気絶縁性を有するため、給電配線90C,90D、選択配線89Aと対向電極20cのショートを回避することができる。   Further, since the hydrophobic insulating films 53C, 53D, and 53E have electrical insulation properties, it is possible to avoid a short circuit between the power supply wirings 90C and 90D, the selection wiring 89A, and the counter electrode 20c.

そして、共通配線91C,91C,…が選択配線89E、給電配線90C,90Dの上方に形成されているので、サブピクセル電極20aの面積が共通配線91C群の配置によって縮小することがない。   Since the common lines 91C, 91C,... Are formed above the selection line 89E and the power supply lines 90C, 90D, the area of the subpixel electrode 20a is not reduced by the arrangement of the common lines 91C group.

[変形例1]
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
[Modification 1]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various improvements and design changes may be made without departing from the spirit of the present invention.

上記各実施形態では、トランジスタ21〜23がNチャネル型の電界効果トランジスタとして説明を行った。トランジスタ21〜23がPチャネル型の電界効果トランジスタであっても良い。その場合、図2の回路構成では、トランジスタ21〜23のソース21s,22s,23sとトランジスタ21〜23のドレイン21d,22d,23dの関係が逆になる。例えば、駆動トランジスタ23がPチャネル型の電界効果トランジスタの場合には、駆動トランジスタ23のドレイン23dが有機EL素子20のサブピクセル電極20aに導通し、ソース23sが供給線Zに導通する。   In each of the above embodiments, the transistors 21 to 23 are described as N-channel field effect transistors. The transistors 21 to 23 may be P-channel field effect transistors. In that case, in the circuit configuration of FIG. 2, the relationship between the sources 21s, 22s, and 23s of the transistors 21 to 23 and the drains 21d, 22d, and 23d of the transistors 21 to 23 is reversed. For example, when the drive transistor 23 is a P-channel field effect transistor, the drain 23d of the drive transistor 23 is conducted to the subpixel electrode 20a of the organic EL element 20, and the source 23s is conducted to the supply line Z.

[変形例2]
また、上記各実施形態では、1ドットのサブピクセルPにつき3つのトランジスタ21〜23が設けられているが、1ドットのサブピクセルPにつき1又は複数のトランジスタが設けられ、これらトランジスタを用いてアクティブ駆動することができるディスプレイパネルであれば、本発明を適用することができる。
[Modification 2]
In each of the above embodiments, three transistors 21 to 23 are provided for one dot sub-pixel P. However, one or more transistors are provided for one dot sub-pixel P, and active using these transistors. The present invention can be applied to any display panel that can be driven.

[変形例3]
また、上記各実施形態では、信号線Yがゲートレイヤーからパターニングされたものであるが、信号線Yがドレインレイヤーからパターニングされたものでも良い。この場合、走査線X及び供給線Zがゲートレイヤーからパターニングされたものとなり、信号線Yが走査線X及び供給線Zよりも上層になる。
[Modification 3]
In each of the above embodiments, the signal line Y is patterned from the gate layer, but the signal line Y may be patterned from the drain layer. In this case, the scanning line X and the supply line Z are patterned from the gate layer, and the signal line Y is higher than the scanning line X and the supply line Z.

[変形例4]
また、上記各実施形態では、対向電極20cを有機EL素子20のカソードとし、サブピクセル電極20aを有機EL素子20のアノードとしたが、対向電極20cを有機EL素子20のアノードとし、サブピクセル電極20aを有機EL素子20のカソードとしてもよい。
[Modification 4]
In each of the above embodiments, the counter electrode 20c is the cathode of the organic EL element 20, and the subpixel electrode 20a is the anode of the organic EL element 20. However, the counter electrode 20c is the anode of the organic EL element 20, and the subpixel electrode 20a may be used as the cathode of the organic EL element 20.

1 ディスプレイパネル
2 絶縁基板
20a サブピクセル電極
20b 有機EL層
20c 対向電極
21 スイッチトランジスタ
22 保持トランジスタ
23 駆動トランジスタ
21d、22d、23d ドレイン
21s、22s、23s ソース
21g、22g、23g ゲート
31 ゲート絶縁膜
34C、34D、34E 溝
50 トランジスタアレイ基板
53A、53C、53D、53E 疎水絶縁膜
71 バンク
89E 選択配線
90A、90C、90D 給電配線
91、91A、91C 共通配線
Pr、Pg、Pb サブピクセル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Display panel 2 Insulating substrate 20a Subpixel electrode 20b Organic EL layer 20c Counter electrode 21 Switch transistor 22 Holding transistor 23 Drive transistor 21d, 22d, 23d Drain 21s, 22s, 23s Source 21g, 22g, 23g Gate 31 Gate insulating film 34C, 34D, 34E Groove 50 Transistor array substrate 53A, 53C, 53D, 53E Hydrophobic insulating film 71 Bank 89E Selection wiring 90A, 90C, 90D Power supply wiring 91, 91A, 91C Common wiring Pr, Pg, Pb Subpixel

Claims (4)

一方の面側に複数のサブピクセルが2次元配列され、トランジスタが前記サブピクセルごとに設けられてなるトランジスタアレイ基板と、
前記トランジスタアレイ基板の前記一方の面側に、行方向に沿って互いに平行に設けられ、前記トランジスタを動作させるための電源電圧が供給され、前記複数のサブピクセルの各々の前記トランジスタの電流路の一端に電気的に接続される複数の第1給電配線と、
前記トランジスタアレイ基板の前記一方の面側に設けられ、前記複数のサブピクセルの各々の前記トランジスタ及び複数の第1給電配線を覆う第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に列方向に沿って互いに平行に設けられ、前記各第1給電配線に電気的に接続された複数の第2給電配線と、
前記複数の第2給電配線の表面を覆う第2絶縁膜と、
前記各第2給電配線の間において、前記第1絶縁膜の上面に形成され、前記各第2給電配線に沿って配列され、前記サブピクセルごとに設けられ、前記トランジスタの電流路の他端に接続され複数のサブピクセル電極と、
前記各サブピクセル電極上に成膜された発光層と、
前記複数のサブピクセル電極上の前記発光層を被覆するとともに、前記第2絶縁膜を介して前記複数の第2給電配線を被覆した対向電極と、
前記第2給電配線上の前記対向電極の、前記一方の面側の上面に設けられて、該対向電極と電気的に接続された共通配線と、
を備え、
前記複数の第2給電配線は、前記第1絶縁膜の上面からの高さが、前記各サブピクセル電極の、前記第1絶縁膜の上面からの高さより高くなる厚さに形成されたものであり、
前記共通配線は、前記対向電極の膜厚より厚く形成されたものであり、
前記複数の第1給電配線と前記複数の第2給電配線とは、前記トランジスタアレイ基板の前記複数のサブピクセルが2次元配列された領域において、平面視して前記複数のサブピクセルの各々に対応する複数箇所で交差し、該各交差した箇所で、前記第1絶縁膜に設けられたコンタクトホールを介して、互いに電気的に接続されていることを特徴とするディスプレイパネル。
A transistor array substrate in which a plurality of subpixels are two-dimensionally arranged on one surface side, and a transistor is provided for each subpixel;
The one surface side of the transistor array substrate is provided in parallel with each other along the row direction, and a power supply voltage for operating the transistors is supplied, and the current paths of the transistors in each of the plurality of subpixels are supplied. A plurality of first power supply wirings electrically connected to one end;
A first insulating film provided on the one surface side of the transistor array substrate and covering each of the transistors and the plurality of first power supply wirings of the plurality of sub-pixels;
A plurality of second power supply lines provided in parallel to each other along the column direction on the first insulating film and electrically connected to the first power supply lines ;
A second insulating film covering a surface of the plurality of second power supply wirings;
Between each of the second power supply lines , formed on the upper surface of the first insulating film, arranged along each of the second power supply lines , provided for each subpixel, and at the other end of the current path of the transistor connected, and a plurality of sub-pixel electrodes,
A light emitting layer formed on each of the subpixel electrodes;
A counter electrode that covers the light emitting layer on the plurality of subpixel electrodes and covers the plurality of second power supply wirings via the second insulating film ;
A common line provided on the upper surface of the one surface side of the counter electrode on the second power supply line and electrically connected to the counter electrode;
With
The plurality of second power supply wirings are formed such that a height from an upper surface of the first insulating film is higher than a height of each subpixel electrode from an upper surface of the first insulating film. Yes,
The common wiring is formed thicker than the thickness of the counter electrode,
The plurality of first power supply wirings and the plurality of second power supply wirings correspond to each of the plurality of subpixels in a plan view in an area where the plurality of subpixels of the transistor array substrate are two-dimensionally arranged. A display panel, wherein the display panels intersect at a plurality of locations and are electrically connected to each other through contact holes provided in the first insulating film .
前記第2絶縁膜が撥水性・撥油性を有することを特徴とする請求項に記載のディスプレイパネル。 The display panel according to claim 1 , wherein the second insulating film has water repellency and oil repellency. 前記トランジスタアレイ基板の前記一方の面側に、前記第1絶縁膜の下面側に設けられ、列方向に沿って、互いに平行に配列された複数の信号線を有し
前記複数の第2給電配線は、平面視して、前記複数の信号線にそれぞれ重なっていることを特徴とする請求項に記載のディスプレイパネル。
On the one surface side of the transistor array substrate, provided on the lower surface side of the first insulating film, along the column direction, a plurality of signal lines arranged parallel to each other,
2. The display panel according to claim 1 , wherein the plurality of second power supply wirings overlap each of the plurality of signal lines in a plan view .
前記共通配線は、前記発光層の発光する光に対し不透明であることを特徴とする請求項1からの何れか一項に記載のディスプレイパネル。 The common wiring display panel as claimed in any one of claims 1 to 3, characterized in that the opaque to the emitted light of the light emitting layer.
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