JP5198169B2 - シリコン加熱炉及びこれを用いたシリコン破砕装置 - Google Patents
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Description
(a)2つの円筒炉半体24a,24bを円筒状に組み合わせることによって構成され、その内部にて加熱対象となる原料シリコン塊12を加熱するシリコン加熱炉10であって、
(b)前記円筒炉半体24a,24bの胴長と略同等の長さに形成され、且つ石英管64で被覆された複数の直線状のヒータHと、
(c)前記円筒炉半体24a,24bの胴長方向両端側に配置され、前記各ヒータHの長手方向両端部に接続されたリード線68が係脱自在に接続されるブスバー44とを具備し、
(d)前記2つの円筒炉半体24a,24bの内側に、前記複数の直線状のヒータHが、前記円筒炉半体24a,24bの内周方向にて互いに離間し且つ前記円筒炉半体24a,24bの胴長方向に沿って配列されると共に、
(e)前記ヒータHのそれぞれが、その長手方向両端部において前記ブスバー44を介して電気的に並列接続されている、
ことを特徴とするシリコン加熱炉10である。
(1)原料シリコン塊12を搬送する搬送装置Cと、
(2)前記原料シリコン塊12を加熱する請求項1乃至3の何れかに記載のシリコン加熱炉10と、
(3)前記シリコン加熱炉で加熱した原料シリコン塊12を水没させて急冷する冷却水槽Wとで構成されている、ことを特徴とする。
12…原料シリコン
24a,24b…円筒炉半体
26…蝶番
28…支持台
30…油圧シリンダ装置
32…ハウジング
34…断熱材
36…均熱材
38…径方向離脱防止部材
40…周方向端面被覆部材
42…周方向端面冷却管
44…ブスバー
46…軸方向離脱防止部材
48…取付板
50a,50b…支持部材
52…側面冷却管
54…側壁構成部材
56…カバー部材
58…取付具
64…石英管
66…発熱体
68…リード線
A…シリコン破砕装置
H…ヒータ
C…搬送装置
W…冷却水槽
T…熱電対
Claims (4)
- 2つの円筒炉半体を円筒状に組み合わせることによって構成され、その内部にて加熱対象となる原料シリコン塊を加熱するシリコン加熱炉であって、
前記円筒炉半体の胴長と略同等の長さに形成され、且つ石英管で被覆された複数の直線状のヒータと、
前記円筒炉半体の胴長方向両端側に配置され、前記各ヒータの長手方向両端部に接続されたリード線が係脱自在に接続されるブスバーとを具備し、
前記2つの円筒炉半体の内側に、前記複数の直線状のヒータが、前記円筒炉半体の内周方向にて互いに離間し且つ前記円筒炉半体の胴長方向に沿って配列されると共に、前記ヒータのそれぞれが、その長手方向両端部において前記ブスバーを介して電気的に並列接続されていることを特徴とするシリコン加熱炉。 - 前記円筒炉半体の内側に取り付けられた半円筒状の断熱材の内周面に、前記断熱材の胴長方向に延びて前記ヒータをスライド自在に収容する収容溝が、周方向に所定の間隔を置いて堀設されていることを特徴とする請求項1に記載のシリコン加熱炉。
- 前記円筒炉半体を周方向にて複数のゾーンに分割し、前記ヒータを分割した各ゾーン毎に制御することを特徴とする請求項1又は2に記載のシリコン加熱炉。
- 原料シリコンを搬送する搬送装置と、
前記原料シリコンを加熱する請求項1乃至3の何れかに記載のシリコン加熱炉と、
前記シリコン加熱炉で加熱した原料シリコンを水没させて急冷する冷却水槽とで構成されていることを特徴とするシリコン破砕装置。
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