JP5179407B2 - Photosensitive resin composition and circuit wiring board using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition and circuit wiring board using the same Download PDF

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Description

本発明は、ポリアミド酸樹脂と光重合開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物およびこれを用いた回路配線基板に関するものであり、詳しくは、プリント配線基板用のレジスト組成物やプリント配線基板用の保護膜形成の目的に適した新規なポリアミド酸樹脂を含有する感光性樹脂組成物、および回路配線基板に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a polyamic acid resin and a photopolymerization initiator and a circuit wiring board using the same, and more specifically, a resist composition for a printed wiring board and a printed wiring board. The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a novel polyamic acid resin suitable for the purpose of forming a protective film and a circuit wiring board.

近年、紫外線硬化型の感光性樹脂組成物は、高生産性、低公害性、省エネルギー性などのさまざまな理由により塗料、接着剤、レジストなど幅広い分野で多用されている。プリント配線板の加工分野においても、ソルダーレジストインクなどのさまざまなインク方式のカバー材が従来のスクリーン印刷方式から紫外線硬化型組成物に置き替わりつつある。   In recent years, ultraviolet curable photosensitive resin compositions have been widely used in a wide range of fields such as paints, adhesives, and resists for various reasons such as high productivity, low pollution, and energy saving. Also in the field of processing printed wiring boards, various ink-type cover materials such as solder resist inks are being replaced by ultraviolet curable compositions from conventional screen printing methods.

また、電子技術の著しい進歩による高密度化ならびに軽量化が進むにつれて、プリント配線基板は、従来のリジット(硬質)基板からフレキシブル基板に代替が進みつつある。これまで、感光性樹脂をリジット基板のカバー材として用いる場合、硬化後のカバー材の特性として柔軟性はそれほど求められていなかった。しかし、フレキシブル基板にカバー材を用いる場合、フレキシブル基板の特性を生かすために、カバー材も柔軟性、耐屈曲性のより高いものが要求されるようになった。カバー材の柔軟性や耐熱性が低い場合、基板に積層した際に反りが生じやすく、また屈曲性が低い等の問題があり、従来の感光性カバー材の材質では、フレキシブル基板への適用に限界があるという問題があった。   In addition, as the density and weight of the printed circuit board increase due to significant advances in electronic technology, the replacement of the printed wiring board from the conventional rigid (hard) board to the flexible board is progressing. So far, when using a photosensitive resin as a cover material for a rigid substrate, flexibility has not been so much required as a characteristic of the cover material after curing. However, when a cover material is used for a flexible substrate, in order to take advantage of the characteristics of the flexible substrate, the cover material is also required to have higher flexibility and bending resistance. If the cover material is low in flexibility and heat resistance, there are problems such as warping when laminated on the substrate and low flexibility, and the conventional photosensitive cover material can be applied to flexible substrates. There was a problem that there was a limit.

そこで、低弾性を発現する成分としてシロキサンポリイミドを主成分としたカバー材用の樹脂組成物が提案されている。特許文献1に開示された組成物は、表面実装部品を半田付けする工程(リフロー工程)において行われる加熱工程の後においても基板の反りを抑制できるという利点を有するものの、高価であることや、組成物の室温保存安定性が悪いといった問題があった。   Therefore, a resin composition for a cover material that has siloxane polyimide as a main component as a component exhibiting low elasticity has been proposed. Although the composition disclosed in Patent Document 1 has the advantage of suppressing warping of the substrate even after the heating step performed in the step of soldering the surface mount component (reflow step), it is expensive, There was a problem that the room temperature storage stability of the composition was poor.

また、特許文献2では、特定のシロキサン部位及び不飽和基を持つ芳香族部位を備えたポリアミド酸樹脂を含有してなる感光性組成物が報告されている。しかしながら、この組成物では硬化後の基板の反りは低減されるものの、例えば近年製品開発が盛んなスライドフォン(二つの筐体間でスライドさせる方式の携帯電話)やHDD用のフレキシブル基板等のように、より高い屈曲耐性が求められる用途に使用する際には、耐屈曲寿命が十分ではないという問題があった。   Patent Document 2 reports a photosensitive composition containing a polyamic acid resin having a specific siloxane moiety and an aromatic moiety having an unsaturated group. However, although this composition reduces the warpage of the substrate after curing, for example, a slide phone (a mobile phone that slides between two housings), which has been actively developed in recent years, a flexible substrate for HDD, etc. In addition, there is a problem in that the bending life is not sufficient when used in applications requiring higher bending resistance.

また、カバー材用の樹脂組成物を硬化させる際に高温で加熱を行うと、銅などの金属配線の酸化を誘発して導通性能を低下させたり、脆弱な酸化層の形成によって生じる密着力の低下や耐薬品性の低下、メッキ液の染込みなどの悪影響があることから、極力低い温度域で硬化できる性質の樹脂組成物の開発が望まれていた。   In addition, if the resin composition for the cover material is cured and heated at a high temperature, it induces oxidation of metal wiring such as copper, thereby lowering the conduction performance, or the adhesion force generated by the formation of a fragile oxide layer. Development of a resin composition having a property that can be cured at a temperature range as low as possible has been desired due to adverse effects such as a decrease, a decrease in chemical resistance, and infiltration of a plating solution.

特開2004−294882号公報JP 2004-294882 A 再公表06−109514号公報Republication 06-109514

本発明の第1の目的は、硬化物が可とう性を有して優れた屈曲耐性と耐熱性を備え、硬化物が積層された基板の反りを極力抑制することが可能な感光性樹脂組成物を提供することであり、第2の目的は、前記感光性樹脂組成物を用いることにより、屈曲性や耐熱性に優れた絶縁被膜が形成された回路配線基板を提供することである。   A first object of the present invention is a photosensitive resin composition in which a cured product has flexibility, has excellent bending resistance and heat resistance, and can suppress warping of a substrate on which the cured product is laminated as much as possible. The second object is to provide a circuit wiring board on which an insulating film excellent in flexibility and heat resistance is formed by using the photosensitive resin composition.

本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、特定のジアミンと酸無水物を重合して得られるポリアミド酸樹脂を含有する感光性樹脂組成物が、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成した。   As a result of intensive studies, the present inventors have found that a photosensitive resin composition containing a polyamic acid resin obtained by polymerizing a specific diamine and an acid anhydride can solve the above-mentioned problems. Completed the invention.

すなわち、本発明は、
(A)ラジカル重合性の不飽和結合を有するポリアミド酸樹脂、及び
(B)光重合開始剤
を含有する感光性樹脂組成物であって、
(A)成分は、原料として、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、全ジアミン成分100モルに対してジヒドラジド化合物を30〜100モルの割合で含むジアミン成分と、を反応させて得られる、下記一般式(1)で表される構成単位を有するヒドラジド結合含有ポリアミド酸樹脂であり、
(A)成分100重量部に対し、(B)成分を0.5〜20重量部含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
That is, the present invention
(A) a polyamic acid resin having a radical polymerizable unsaturated bond, and (B) a photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator,
(A) A component makes the raw material react the acid anhydride component containing an aromatic tetracarboxylic anhydride, and the diamine component which contains a dihydrazide compound in the ratio of 30-100 mol with respect to 100 mol of all the diamine components. A hydrazide bond-containing polyamic acid resin having a structural unit represented by the following general formula (1),
The photosensitive resin composition contains 0.5 to 20 parts by weight of the component (B) with respect to 100 parts by weight of the component (A).

Figure 0005179407
(式中、Arは芳香族テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた4価のテトラカルボン酸残基を示し、Rは単結合又は脂肪族若しくは芳香族ジヒドラジドからヒドラジド基−CONHNHを除いた2価の残基を示し、X及びXは独立に、ヒドロキシル基又はラジカル重合性の不飽和結合を有する1価の有機基を示す。)
Figure 0005179407
(In the formula, Ar represents a tetravalent tetracarboxylic acid residue obtained by removing a carboxyl group from an aromatic tetracarboxylic acid, and R 1 represents a single bond or 2 obtained by removing a hydrazide group —CONHNH 2 from an aliphatic or aromatic dihydrazide. X 1 and X 2 independently represent a hydroxyl group or a monovalent organic group having a radical polymerizable unsaturated bond.

本発明の感光性樹脂組成物において、原料のジアミン成分が、ジヒドラジド化合物と、ラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミンとを含有し、該ジヒドラジド化合物と該芳香族ジアミンとのモル比(ジヒドラジド化合物/芳香族ジアミン)が30/70〜95/5であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the raw material diamine component contains a dihydrazide compound and an aromatic diamine having a radical polymerizable unsaturated bond, and the molar ratio of the dihydrazide compound to the aromatic diamine ( The dihydrazide compound / aromatic diamine) is preferably 30/70 to 95/5.

また、本発明の感光性樹脂組成物において、(A)成分100重量部に対して、更に、(C)単官能又は多官能の(メタ)アクリレートを5〜60重量部含有することが好ましい。   Moreover, in the photosensitive resin composition of this invention, it is preferable to contain 5-60 weight part of (C) monofunctional or polyfunctional (meth) acrylate with respect to 100 weight part of (A) component.

また、本発明は、上記の感光性樹脂組成物を、溶剤に溶解してなるワニス状の感光性樹脂組成物である。更に、本発明は、上記のワニス状の感光性樹脂組成物を、基板フィルム上に塗布、乾燥してなるフィルム状の感光性樹脂組成物である。更にまた、本発明は、上記の感光性樹脂組成物を、パターニングされた導体層を有する回路配線基板上に被膜として形成した後、露光、現像、硬化してネガ型の絶縁被膜を形成してなる回路配線基板である。   Moreover, this invention is a varnish-like photosensitive resin composition formed by melt | dissolving said photosensitive resin composition in a solvent. Furthermore, the present invention is a film-like photosensitive resin composition obtained by applying the above varnish-like photosensitive resin composition onto a substrate film and drying it. Furthermore, the present invention provides the above photosensitive resin composition as a film on a circuit wiring board having a patterned conductor layer, and then exposes, develops and cures to form a negative insulating film. This is a circuit wiring board.

本発明の感光性樹脂組成物は、その硬化物が高い柔軟性と可とう性を有するので、耐折り曲げ性、屈曲性に優れているとともに、硬化物が積層された基板の反りを防止できる。従って、柔軟特性が要求されるフレキシブルプリント配線板製造用のソルダーレジストやメッキレジスト等として好ましく用いることができる。   Since the cured product of the photosensitive resin composition of the present invention has high flexibility and flexibility, it is excellent in bending resistance and flexibility and can prevent warping of the substrate on which the cured product is laminated. Therefore, it can be preferably used as a solder resist, a plating resist or the like for manufacturing a flexible printed wiring board that requires flexible characteristics.

また、本発明の感光性組成物は、室温での保存安定性が高く、また、200℃以下の低温域で硬化可能であることから、金属配線への影響も低減できる。さらに、本発明の感光性組成物は、紫外線を用いた回路加工の後、希アルカリ水溶液での現像も可能である点で、ソルダーレジスト材料やメッキレジスト材料等のフレキシブルプリント配線板製造用レジストとしての用途に好適である。   Moreover, since the photosensitive composition of the present invention has high storage stability at room temperature and can be cured at a low temperature range of 200 ° C. or lower, the influence on the metal wiring can be reduced. Furthermore, the photosensitive composition of the present invention can be developed with a dilute alkaline aqueous solution after circuit processing using ultraviolet rays, and as a resist for manufacturing a flexible printed wiring board such as a solder resist material or a plating resist material. It is suitable for use.

以下、本発明の感光性樹脂組成物について説明し、次に、フィルム状の感光性樹脂組成物及びこれを用いた本発明の回路配線基板について説明するが、共通する部分は同時に説明する。まず、本発明の感光性樹脂組成物の各構成要素について説明する。   Hereinafter, the photosensitive resin composition of the present invention will be described, and then the film-shaped photosensitive resin composition and the circuit wiring board of the present invention using the same will be described. First, each component of the photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.

本発明の感光性樹脂組成物は、上記(A)成分及び(B)成分を含有する。(A)成分は、ラジカル重合性の不飽和結合を有するポリアミド酸樹脂であり、(B)成分は、光重合開始剤である。   The photosensitive resin composition of this invention contains the said (A) component and (B) component. The component (A) is a polyamic acid resin having a radical polymerizable unsaturated bond, and the component (B) is a photopolymerization initiator.

本発明における(A)成分は、原料として、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、全ジアミン成分100モルに対してジヒドラジド化合物を30〜100モルの割合で含むジアミン成分と、を反応させて得られるポリアミド酸樹脂である。また、(A)成分は、少なくとも上記式(1)で表される構成単位を有するヒドラジド結合含有ポリアミド酸樹脂である。本発明において、「ヒドラジド結合」とは、ヒドラジド基(−CO−NH−NH)から誘導される2価の基「−CO−NH−NH−」を意味する。 The component (A) in the present invention includes, as raw materials, an acid anhydride component containing an aromatic tetracarboxylic acid anhydride, a diamine component containing a dihydrazide compound in a ratio of 30 to 100 mol with respect to 100 mol of all diamine components, and Is a polyamic acid resin obtained by reacting The component (A) is a hydrazide bond-containing polyamic acid resin having at least the structural unit represented by the above formula (1). In the present invention, the “hydrazide bond” means a divalent group “—CO—NH—NH—” derived from a hydrazide group (—CO—NH—NH 2 ).

上記(A)成分の原料であるジアミン成分は、全ジアミン成分100モルに対し、ジヒドラジド化合物を30〜100モル、好ましくは50〜95モル、より好ましくは60〜90モルの割合で含有することがよい。原料である全ジアミン成分100モルに対し、ジヒドラジド化合物が30モル未満の場合は、十分な屈曲性や耐熱性が得られないことがある。   The diamine component which is the raw material of the component (A) contains a dihydrazide compound in a proportion of 30 to 100 mol, preferably 50 to 95 mol, more preferably 60 to 90 mol, with respect to 100 mol of all diamine components. Good. When the dihydrazide compound is less than 30 moles with respect to 100 moles of all diamine components as raw materials, sufficient flexibility and heat resistance may not be obtained.

また、感光性樹脂組成物の硬化物において良好な耐屈曲性を発現させるために、(A)成分の重量平均分子量は、2万〜30万が好ましく、4万〜20万がより好ましい。(A)成分の重量平均分子量が2万未満では十分な屈曲性が得られないことがあり、30万を超えると現像液に対する溶解性が低下する場合がある。   Moreover, in order to express favorable bending resistance in the cured product of the photosensitive resin composition, the weight average molecular weight of the component (A) is preferably 20,000 to 300,000, and more preferably 40,000 to 200,000. When the weight average molecular weight of the component (A) is less than 20,000, sufficient flexibility may not be obtained, and when it exceeds 300,000, the solubility in a developer may be lowered.

(A)成分のポリアミド酸樹脂は、その分子内に重合可能なラジカル重合性の不飽和結合を有することにより、光又は光重合開始剤の作用によって架橋可能となる。なお、(A)成分におけるラジカル重合性の不飽和結合は、式(1)で表される構成単位に含まれていてもよいし、式(1)以外の構成単位に含まれていてもよい。ラジカル重合性の不飽和結合が式(1)で表される構成単位に含まれる形態としては、式(1)中のRにラジカル重合性の不飽和結合が存在する形態か、あるいはX及び/又はXがラジカル重合性の不飽和結合を有する1価の有機基である形態が挙げられる。 The (A) component polyamic acid resin has a polymerizable polymerizable radical bond in its molecule, so that it can be cross-linked by the action of light or a photopolymerization initiator. In addition, the radically polymerizable unsaturated bond in the component (A) may be included in the structural unit represented by the formula (1) or may be included in a structural unit other than the formula (1). . The form in which the radically polymerizable unsaturated bond is contained in the structural unit represented by the formula (1) is a form in which a radically polymerizable unsaturated bond is present in R 1 in the formula (1), or X 1 And / or X 2 is a monovalent organic group having a radical polymerizable unsaturated bond.

(A)成分のポリアミド酸樹脂を製造する際に原料として使用するラジカル重合性の不飽和結合を有するジアミン成分[ラジカル重合性の不飽和結合を有するジヒドラジド化合物及び/又はジヒドラジド化合物以外の、ラジカル重合性の不飽和結合を有するジアミン]は、全ジアミン成分100モルに対し、1〜70モルの範囲内で用いることが好ましく、5〜30モルの範囲内で用いることがより好ましい。このような範囲とすることで、ラジカル重合性を低下させずに、所望の硬化性能を発揮させることができる。   (A) A diamine component having a radical polymerizable unsaturated bond used as a raw material when producing the polyamic acid resin of the component [radical polymerization other than dihydrazide compound and / or dihydrazide compound having radical polymerizable unsaturated bond] The diamine having an unsaturated bond] is preferably used in the range of 1 to 70 mol, more preferably in the range of 5 to 30 mol, per 100 mol of the total diamine component. By setting it as such a range, desired curing performance can be exhibited, without reducing radical polymerizability.

上記式(1)において、Arは芳香族テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた4価のテトラカルボン酸残基を示す。芳香族テトラカルボン酸としては、芳香族テトラカルボン酸二無水物を使用することが多いので、Arのいくつかの例を、原料となる芳香族テトラカルボン酸二無水物を示すことによって説明する。芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、2,2',3,3'-、2,3,3',4'-又は3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-、1,2,4,5-、1,4,5,8-、1,2,6,7-又は1,2,5,6-ナフタレン-テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-、2,2',3,3'-又は2,3,3',4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3'',4,4''-、2,3,3'',4''-又は2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4'-オキシジフタル酸二無水物などを挙げることができる。また、これらは1種又は2種以上を混合して用いることができる。有利には、無水ピロメリット酸、4,4’-オキシジフタル酸二無水物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等が例示されるが、これらの中でも、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物が好ましい。これらの芳香族テトラカルボン酸二無水物は、単独でもよいし、2種類以上混合して用いることもできる。   In the above formula (1), Ar represents a tetravalent tetracarboxylic acid residue obtained by removing a carboxyl group from an aromatic tetracarboxylic acid. Since aromatic tetracarboxylic dianhydride is often used as the aromatic tetracarboxylic acid, some examples of Ar will be described by showing the aromatic tetracarboxylic dianhydride as a raw material. Examples of the aromatic tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-, 2,3,3 ′, 4′- or 3,3 ′, 4,4 '-Benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-, 1,2,4,5-, 1,4,5,8-, 1,2,6,7- or 1,2, 5,6-naphthalene-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7- (or 1,4,5,8-) tetrachloronaphthalene- 1,4,5,8- (or 2,3,6,7-) tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-, 2,2', 3,3'- or 2, 3,3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3``, 4,4' '-, 2,3,3``, 4' '-or 2,2' ', 3, 3 ''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) -propane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) Ether dianhydride, bi (2,3- or 3.4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2,3- or 3, 4-Dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic Acid dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6- Tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride Things can be mentioned. Moreover, these can be used 1 type or in mixture of 2 or more types. Advantageously, pyromellitic anhydride, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyl tetracarboxylic dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and the like are exemplified. Among these, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyl tetracarboxylic dianhydride, and pyromellitic dianhydride are preferable. These aromatic tetracarboxylic dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.

式(1)において、Rは単結合又は脂肪族若しくは芳香族ジヒドラジドからヒドラジド基(−CONHNH)を除いた2価の残基を示すが、Rは直鎖、分岐鎖のいずれでもよく、不飽和結合や環骨格を有してもよい。硬化物に適度な可とう性や現像性を付与するために、Rは炭素数2〜12のアルキレン基又はフェニレン基が好ましく、炭素数4〜10のアルキレン基がより好ましい。Rが炭素数4以上のアルキレン基を有するジヒドラジド化合物を使用することによって、感光性樹脂組成物の硬化物における屈曲性が高くなる傾向となる。この傾向は、ジヒドラジド化合物の分子構造における屈曲部位の増加に起因するものと考えられる。また、Rが炭素数10以下のアルキレン基を有するジヒドラジド化合物を使用することによって、硬化物の耐熱性が高くなる傾向となる。この傾向は、炭素数が少ないジヒドラジド化合物では、その化合物の分子量に対してNH基とCO基の割合が高くなるので、NH基とCO基による分子間水素結合の作用により、硬化物のガラス転移温度が向上することに起因するものと考えられる。このような観点で、高屈曲性及び高耐熱性(つまり、反りの抑制)を両立させるためには、Rは直鎖のアルキレン基とし、炭素数の平均値が、好ましくは4〜10、より好ましくは6〜8であるジヒドラジド化合物を使用することが望ましい。使用するジヒドラジド化合物は単独でもよいし、炭素数が異なるジヒドラジド化合物を2種類以上混合して用いてもよい。 In the formula (1), R 1 represents a single bond or a divalent residue obtained by removing a hydrazide group (—CONHNH 2 ) from an aliphatic or aromatic dihydrazide, and R 1 may be either linear or branched Further, it may have an unsaturated bond or a ring skeleton. In order to impart moderate flexibility and developability to the cured product, R 1 is preferably an alkylene group having 2 to 12 carbon atoms or a phenylene group, and more preferably an alkylene group having 4 to 10 carbon atoms. By using a dihydrazide compound in which R 1 has an alkylene group having 4 or more carbon atoms, the flexibility of the cured product of the photosensitive resin composition tends to increase. This tendency is considered to result from an increase in the number of bending sites in the molecular structure of the dihydrazide compound. Further, by the R 1 uses a dihydrazide compound having an alkylene group having 10 or less carbon atoms, tend to heat resistance is high in the cured product. This tendency is due to the fact that in dihydrazide compounds with a small number of carbon atoms, the ratio of NH groups and CO groups is high with respect to the molecular weight of the compound. This is thought to be due to the increase in temperature. From such a viewpoint, in order to achieve both high flexibility and high heat resistance (that is, suppression of warpage), R 1 is a linear alkylene group, and the average number of carbon atoms is preferably 4 to 10, It is desirable to use a dihydrazide compound that is more preferably 6-8. The dihydrazide compound to be used may be used singly or two or more dihydrazide compounds having different carbon numbers may be mixed and used.

また、式(1)において、X及びXは独立に、ヒドロキシル基又はラジカル重合性の不飽和結合を有する1価の有機基を示す。 In Formula (1), X 1 and X 2 independently represent a monovalent organic group having a hydroxyl group or a radical polymerizable unsaturated bond.

式(1)で示される構成単位中のX及びXのうち少なくとも1つがラジカル重合性の不飽和結合を有する1価の有機基である場合、そのようなポリアミド酸樹脂は、分子内にカルボキシル基と反応しうる基とラジカル重合性の不飽和結合との両方を併せ持つ構造の化合物と、芳香族テトラカルボン酸(無水物)とを反応させることにより得ることができる。分子内にカルボキシル基と反応しうる基およびラジカル重合性の不飽和結合を有する構造の化合物としては、水酸基、メルカプト基、アミノ基、エポキシ基、イソシアナート基等より選ばれる少なくとも1種の基を有する(メタ)アクリル酸エステル化合物、ビニル化合物、アリル化合物などを例示することができる。 When at least one of X 1 and X 2 in the structural unit represented by the formula (1) is a monovalent organic group having a radical polymerizable unsaturated bond, such a polyamic acid resin is present in the molecule. It can be obtained by reacting a compound having a structure having both a group capable of reacting with a carboxyl group and a radical polymerizable unsaturated bond with an aromatic tetracarboxylic acid (anhydride). The compound having a structure capable of reacting with a carboxyl group and a radical polymerizable unsaturated bond in the molecule includes at least one group selected from a hydroxyl group, a mercapto group, an amino group, an epoxy group, an isocyanate group, and the like. Examples thereof include (meth) acrylic acid ester compounds, vinyl compounds, and allyl compounds.

式(1)中のR1は、単結合又は脂肪族若しくは芳香族ジヒドラジドからヒドラジド基(−CONHNH2)を除いた2価の残基を意味する。つまり、原料のジアミン成分の一部分をなすジヒドラジド化合物は、以下の一般式(2)で示すことができる。
2NHNOC−R1−CONHNH2 … (2)
R 1 in the formula (1) means a single bond or a divalent residue obtained by removing a hydrazide group (—CONHNH 2 ) from an aliphatic or aromatic dihydrazide. That is, the dihydrazide compound which forms a part of the raw material diamine component can be represented by the following general formula (2).
H 2 NHNOC-R 1 -CONHNH 2 ... (2)

上記のように、R1は、単結合、脂肪族基、芳香族基のいずれかであるが、R1として好ましいものを、ジヒドラジド化合物の例示によって説明すると、次の化合物が挙げられる。例えば、シュウ酸ジヒドラジド、マロン酸ジヒドラジド、コハク酸ジヒドラジド、グルタル酸ジヒドラジド、アジピン酸ジヒドラジド、ピメリン酸ジヒドラジド、スベリン酸ジヒドラジド、アゼライン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド、ドデカン二酸ジヒドラジド、マレイン酸ジヒドラジド、フマル酸ジヒドラジド、ジグリコール酸ジヒドラジド、酒石酸ジヒドラジド、リンゴ酸ジヒドラジド、フタル酸ジヒドラジド、イソフタル酸ジヒドラジド、テレフタル酸ジヒドラジド、2,6−ナフトエ酸ジヒドラジド、4,4−ビスベンゼンジヒドラジド、1,4−ナフトエ酸ジヒドラジド、2,6−ピリジンジヒドラジド、イタコン酸ジヒドラジド等が挙げられる。これらのジヒドラジド化合物は、単独でもよいし、2種類以上混合して用いることもできる。 As described above, R 1 is any one of a single bond, an aliphatic group, and an aromatic group. Preferred examples of R 1 are illustrated by the following examples of dihydrazide compounds. For example, oxalic acid dihydrazide, malonic acid dihydrazide, succinic acid dihydrazide, glutaric acid dihydrazide, adipic acid dihydrazide, pimelic acid dihydrazide, suberic acid dihydrazide, azelaic acid dihydrazide, sebacic acid dihydrazide dihydrazide, maleic acid dihydrazide Diglycolic acid dihydrazide, tartaric acid dihydrazide, malic acid dihydrazide, phthalic acid dihydrazide, isophthalic acid dihydrazide, terephthalic acid dihydrazide, 2,6-naphthoic acid dihydrazide, 4,4-bisbenzenedihydrazide, 1,4-naphthoic acid dihydrazide, 2 , 6-pyridinedihydrazide, itaconic acid dihydrazide and the like. These dihydrazide compounds may be used alone or in combination of two or more.

(A)成分のポリアミド酸樹脂としては、アミド酸結合の一部がイミド化していてもよい。但し、良好なアルカリ現像性を確保するために、そのイミド化率は50%未満、好ましくは30%未満が望ましい。なお、ポリアミド酸のイミド化率は、例えば、日本分光製のフーリエ変換赤外分光光度計「FT/IR620(商品名)」を用い、透過法にてポリイミド薄膜の赤外線吸収スペクトルを測定することによって、1,000cm−1のベンゼン環炭素水素結合を基準とし、1,720cm−1のイミド基由来の吸光度から算出される。 As the polyamic acid resin of component (A), a part of the amic acid bond may be imidized. However, in order to ensure good alkali developability, the imidation ratio is less than 50%, preferably less than 30%. The imidation ratio of the polyamic acid is determined, for example, by measuring the infrared absorption spectrum of the polyimide thin film by a transmission method using a Fourier transform infrared spectrophotometer “FT / IR620 (trade name)” manufactured by JASCO Corporation. , relative to the benzene ring carbon hydrogen bonds of 1,000 cm -1, is calculated from the absorbance from the imide groups of 1,720 cm -1.

(A)成分の好ましい形態は、下記のA1を含有する酸無水物成分と、下記のA2およびA3を含有するジアミン成分と、を反応させて得られるポリアミド酸樹脂を例示できる。
A1;芳香族テトラカルボン酸二無水物
A2;ジヒドラジド化合物
A3;ジヒドラジド化合物以外の、ラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミン
(A) The preferable form of a component can illustrate the polyamic acid resin obtained by making the acid anhydride component containing following A1 react, and the diamine component containing following A2 and A3.
A1: aromatic tetracarboxylic dianhydride A2: dihydrazide compound A3: aromatic diamine having a radical polymerizable unsaturated bond other than dihydrazide compound

上記の場合、原料のジアミン成分中でA2のジヒドラジド化合物とA3のラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミンのモル比(A2/A3)が、30/70〜95/5であることが好ましい。すなわち、原料中で、A2のジヒドラジド化合物の量は、全ジアミン成分100モルに対して、30〜95モルの範囲内が好ましく、50〜95モルの範囲内がより好ましく、60〜90モルの範囲内が更に好ましい。また、原料中で、A3のラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミンの量は、全ジアミン成分100モルに対して、5〜70モルの範囲内が好ましく、5〜50モルの範囲内がより好ましく、10〜30モルの範囲内が更に好ましい。原料中のジアミン成分の量を以上のような範囲に設定することで、硬化物の収縮を抑制できるとともに、硬化物に十分な耐熱性を付与することができる。   In the above case, the molar ratio (A2 / A3) of the dihydrazide compound of A2 to the aromatic diamine having a radical polymerizable unsaturated bond of A3 in the raw material diamine component is 30/70 to 95/5. preferable. That is, in the raw material, the amount of the A2 dihydrazide compound is preferably in the range of 30 to 95 mol, more preferably in the range of 50 to 95 mol, and in the range of 60 to 90 mol with respect to 100 mol of the total diamine component. The inside is more preferable. In the raw material, the amount of the aromatic diamine having an A3 radical polymerizable unsaturated bond is preferably within the range of 5 to 70 mol, within the range of 5 to 50 mol, relative to 100 mol of the total diamine component. Is more preferable, and within the range of 10 to 30 mol is more preferable. By setting the amount of the diamine component in the raw material within the above range, shrinkage of the cured product can be suppressed and sufficient heat resistance can be imparted to the cured product.

上記A3のラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミンは、ジヒドラジド化合物を含まない芳香族ジアミンであり、好ましくは、下記一般式(3)で表される芳香族ジアミンを例示できる。   The aromatic diamine having an A3 radical polymerizable unsaturated bond is an aromatic diamine that does not contain a dihydrazide compound, and preferably an aromatic diamine represented by the following general formula (3).

Figure 0005179407
(式中、Rは単結合又は2価の有機基を示し、R、Rはラジカル重合性の不飽和結合を有する1価の有機基を示す。)
Figure 0005179407
(In the formula, R 2 represents a single bond or a divalent organic group, and R 3 and R 4 represent a monovalent organic group having a radical polymerizable unsaturated bond.)

式(3)において、Rは、単結合又は2価の基を示すが、単結合、CH、C(CH及びSOから選択されるいずれかであることが好ましい。また、R、Rはラジカル重合性の不飽和結合を有する1価の有機基を示すが、(メタ)アクリル基、ビニル基又はアリル基を末端又は側鎖に有する1価の有機基が好ましく、より好ましくはCH=CH−R−で表される基がよい。ここで、Rは直結合、炭素数1〜6のアルキレン基又はフェニレン基を示すが、Rが直結合(つまり、式(3)中のR、Rはビニル基)であることが反応性の点では好ましい。そのような式(3)の化合物の具体例としては、2,2’−ジビニル−4,4’‐ジアミノ−ビフェニル等が挙げられる。 In Formula (3), R 2 represents a single bond or a divalent group, and is preferably any one selected from a single bond, CH 2 , C (CH 3 ) 2 and SO 2 . R 3 and R 4 each represent a monovalent organic group having a radically polymerizable unsaturated bond, but a monovalent organic group having a (meth) acryl group, a vinyl group or an allyl group at the terminal or side chain. A group represented by CH═CH—R 5 — is more preferable. Here, R 5 represents a direct bond, an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms or a phenylene group, and R 5 is a direct bond (that is, R 3 and R 4 in formula (3) are vinyl groups). Is preferable in terms of reactivity. Specific examples of such a compound of formula (3) include 2,2′-divinyl-4,4′-diamino-biphenyl.

また、(A)成分のポリアミド酸樹脂を構成するために使用されるジアミン成分として、前記A2(ジヒドラジド化合物)及びA3(ラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミン)以外の、芳香族ジアミン(A4)をさらに併用することができる。A4の芳香族ジアミンの具体例としては、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノフェニルエタン、4,4’−ジアミノフェニルエーテル、4,4’-ジジアミノフェニルスルフィド、4,4’-ジジアミノフェニルスルフォン、1,5-ジアミノナフタレン、3,3-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、5-アミノ-1-(4’-アミノフェニル)-1,3,3-トリメチルインダン、4,4’-ジアミノベンズアニリド、3,5-ジアミノ-4’-トリフルオロメチルベンズアニリド、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、2,7-ジアミノフルオレン、2,2-ビス(4-アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,4’-メチレン-ビス(2-クロロアニリン)、2,2’,5,5’-テトラクロロ-4,4’-ジアミノビフェニル、2,2’-ジクロロ-4,4’-ジアミノ-ジメトキシビフェニル、3,3’-ジメトキシ-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3’-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン、4,4’-(p-フェニレンイソプロピリデン)ビスアニリン、4,4’-(m-フェニレンイソプロピリデン)ビスアニリン、2,2’-ビス[4-(4-アミノ-2-トリフルオロメチル)フェノキシ]-オクタフルオロビフェニル、ヒドロキシアミノビフェニル等が挙げられる。このような芳香族ジアミンの使用量は、全ジアミン成分100モルに対して、0〜50モルの範囲内が好ましく、5〜20モルの範囲内がより好ましい。この割合が50モルを超える場合は、前記A2(ジヒドラジド化合物)や、前記A3(ラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミン)の含有量が低下し、光硬化性や耐熱性、低温硬化性が損なわれる場合がある。   In addition, as a diamine component used for constituting the polyamic acid resin of component (A), an aromatic diamine other than A2 (dihydrazide compound) and A3 (aromatic diamine having a radical polymerizable unsaturated bond) (A4) can be further used in combination. Specific examples of the aromatic diamine of A4 include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminophenylethane, 4,4′-diaminophenyl ether, 4,4 '-Didiaminophenyl sulfide, 4,4'-didiaminophenyl sulfone, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 5-amino-1- (4'-aminophenyl) ) -1,3,3-trimethylindane, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,5-diamino-4'-trifluoromethylbenzanilide, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 2,7-diaminofluorene, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 4,4'-methylene-bis (2-chloroaniline), 2,2 ', 5,5'-tetrachloro-4,4'-diaminobiphenyl 2,2'-dichloro-4,4'-diamino-dimethoxy Phenyl, 3,3'-dimethoxy-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) ) Phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) Biphenyl, 1,3'-bis (4-aminophenoxy) benzene, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 4,4 '-(p-phenyleneisopropylidene) bisaniline, 4,4'-(m -Phenylene isopropylidene) bisaniline, 2,2'-bis [4- (4-amino-2-trifluoromethyl) phenoxy] -octafluorobiphenyl, hydroxyaminobiphenyl, and the like. The amount of the aromatic diamine used is preferably in the range of 0 to 50 mol, more preferably in the range of 5 to 20 mol, with respect to 100 mol of the total diamine component. When this ratio exceeds 50 moles, the content of the A2 (dihydrazide compound) and the A3 (aromatic diamine having a radical polymerizable unsaturated bond) is decreased, and photocurability, heat resistance, and low temperature curing. May be impaired.

本発明に使用される、(A)成分のポリアミド酸樹脂の製造方法の一例について説明する。まず、ジヒドラジド化合物及びジヒドラジド化合物以外のジアミンを溶媒中に分散させる。これを攪拌しながら、窒素雰囲気下で、酸無水物を徐々に加える。この後2〜8時間攪拌して反応させることによって(A)成分のポリアミド酸樹脂を得る。このような方法で得られる(A)成分のポリアミド酸樹脂は、重合度が異なる混合物である。なお、ジアミン、酸無水物の投入順序や添加方法を変えるなどして、ランダム重合型又はブロック重合型のポリアミド酸樹脂としてもよい。   An example of a method for producing the (A) polyamic acid resin used in the present invention will be described. First, a diamine other than a dihydrazide compound and a dihydrazide compound is dispersed in a solvent. While this is being stirred, the acid anhydride is gradually added under a nitrogen atmosphere. Then, the polyamic acid resin as component (A) is obtained by reacting with stirring for 2 to 8 hours. The (A) component polyamic acid resin obtained by such a method is a mixture having different degrees of polymerization. In addition, it is good also as a random polymerization type or block polymerization type polyamic acid resin by changing the addition order and addition method of diamine and an acid anhydride.

上記反応を行う溶媒としては、例えば、トリエチレングリコールジメチルエーテル(トリグライム)、ジエチレングリコールジメチルエーテル(ジグライム)、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、キシレン、トルエンなどの有機溶媒あるいはこれらの混合溶媒を用いることができる。   Examples of the solvent for performing the above reaction include organic solvents such as triethylene glycol dimethyl ether (triglyme), diethylene glycol dimethyl ether (diglyme), dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, xylene, and toluene, or a mixed solvent thereof. Can be used.

酸無水物成分とジアミン成分(ジヒドラジド化合物又はジヒドラジド化合物以外のジアミン)は、ほぼ等モル量加えるのが望ましい。また、反応は室温以下、好ましくは0℃付近で行うことにより、イミド化を進行させず重合させることができる。ジヒドラジド化合物を含むジアミン成分と酸無水物の混合割合を変化させることにより、重合度及び酸価を変化させることができる。   The acid anhydride component and the diamine component (a dihydrazide compound or a diamine other than a dihydrazide compound) are desirably added in approximately equimolar amounts. The reaction can be carried out without proceeding imidization by carrying out the reaction at room temperature or lower, preferably around 0 ° C. By changing the mixing ratio of the diamine component containing the dihydrazide compound and the acid anhydride, the degree of polymerization and the acid value can be changed.

このようにして得られる(A)成分のポリアミド酸樹脂は、後述の(B)光重合開始剤と混合して感光性樹脂組成物とされる。この(A)成分のポリアミド酸樹脂は、硬化後であっても可とう性を有するため柔軟性が要求される用途に使用でき、感光性樹脂組成物の樹脂成分として好適に用いることができる。また、(A)成分のポリアミド酸樹脂は、末端又は側鎖にカルボキシ基を有するため、アルカリ水溶液による現像にも適する。   The (A) component polyamic acid resin thus obtained is mixed with a photopolymerization initiator (B) described later to obtain a photosensitive resin composition. This polyamic acid resin of component (A) can be used for applications requiring flexibility because it has flexibility even after curing, and can be suitably used as a resin component of a photosensitive resin composition. Moreover, since the polyamic acid resin of component (A) has a carboxy group at the terminal or side chain, it is also suitable for development with an alkaline aqueous solution.

(B)成分の光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、2,2−ジメトキシアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、ミヒラーケトン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn−ブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、チオキサソン、2−クロロチオキサソン、2−メチルチオキサソン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニル−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、メチルベンゾイルフォーメート、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等の種々の光重合開始剤が使用可能である。光重合開始剤の好ましい使用量は、(A)成分のポリアミド酸樹脂100重量部に対して、0.5〜20重量部が好ましく、1〜10重量部がより好ましい。   Examples of the photopolymerization initiator of the component (B) include acetophenone, 2,2-dimethoxyacetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, Michler's ketone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n- Propyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin n-butyl ether, benzyl dimethyl ketal, thioxazone, 2-chlorothioxazone, 2-methylthioxazone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-1-one, 1- ( Various photopolymerization initiators such as 4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, methylbenzoyl formate, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone can be used. That. The amount of the photopolymerization initiator used is preferably 0.5 to 20 parts by weight and more preferably 1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the (A) component polyamic acid resin.

本発明の感光性樹脂組成物は、(A)成分のポリアミド酸樹脂と(B)成分の光重合開始剤を必須成分とするが、他の樹脂や、後述のようにアクリレート等のモノマーからなる樹脂成分(ここで、「樹脂成分」にはモノマーを含む)、さらに、増感剤、溶剤等を必要により加えることができる。このような組成物とすることにより、感光性樹脂組成物としてより優れた特性を有するものとなるだけでなく、その用途も拡大する。なお、本発明の感光性樹脂組成物において、溶剤を加えてワニスの状態とした場合は「ワニス状の感光性樹脂組成物」と記すことがあるが、特に区別する必要がないときは、「感光性樹脂組成物」との表記で代表する。また、本発明の感光性樹脂組成物において、各成分(溶剤を除く)の配合量又は配合割合についての説明は、特に注記しない限り溶剤を含まない状態を意味するものとする。   The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) component polyamic acid resin and (B) component photopolymerization initiator as essential components, and is composed of other resins and monomers such as acrylate as described later. A resin component (here, “resin component” includes a monomer), a sensitizer, a solvent, and the like can be added as necessary. By setting it as such a composition, not only will it have the characteristic which was more excellent as a photosensitive resin composition, but the use will also be expanded. In addition, in the photosensitive resin composition of the present invention, when a varnish is formed by adding a solvent, it may be referred to as a `` varnish-like photosensitive resin composition '', but when it is not necessary to distinguish in particular, This is represented by the expression “photosensitive resin composition”. Moreover, in the photosensitive resin composition of this invention, the description about the compounding quantity or compounding ratio of each component (except a solvent) shall mean the state which does not contain a solvent unless it notes.

上記のように、本発明の感光性樹脂組成物には、任意成分として、(C)単官能又は多官能の(メタ)アクリレートを配合することができる。(C)成分は、光重合反応における架橋形成を促進する目的で配合されるものであり、その目的で使用し得るアクリレートとしては、例えば、2−エチルヘキシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、2−メトキシエトキシエチルアクリレート、2−エトキシエトキシエチルアクリレート、テトラヒドロフルフリールアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、イソデシルアクリレート、ステアリルアクリレート、ラウリルアクリレート、グリシジルアクリレート、アリルアクリレート、エトキシアクリレート、メトキシアクリレート、N,N’−ジメチルアミノエチルアクリレート、ベンジルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエンエトキシアクリレート等のモノアクリレートや、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ブタンジオールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ポリエチレングリコール200ジアクリレート、ポリエチレングリコール400ジアクリレート、ポリエチレングリコール600ジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、ビス(アクリロキシエトキシ)ビスフェノールA、ビス(アクリロキシエトキシ)テトラブロモビスフェノールA、トリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアネート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート等の多官能アクリレートなどを用いることが可能である。良好な感光性を持ち、現像液への溶解性や樹脂との相分離を避けるため、上記例示のモノマー化合物の中でも、2官能以上であり、骨格中にヒドロキシル基、カルボニル基等の極性基を持つモノマー化合物が好ましい。そのようなモノマー化合物としては、例えば、トリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアネート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレートを挙げることができる。   As mentioned above, (C) monofunctional or polyfunctional (meth) acrylate can be mix | blended with the photosensitive resin composition of this invention as an arbitrary component. Component (C) is blended for the purpose of promoting cross-linking in the photopolymerization reaction. Examples of acrylates that can be used for the purpose include 2-ethylhexyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxy Propyl acrylate, 2-hydroxyethyl acryloyl phosphate, 2-methoxyethoxyethyl acrylate, 2-ethoxyethoxyethyl acrylate, tetrahydrofurfryl acrylate, phenoxyethyl acrylate, isodecyl acrylate, stearyl acrylate, lauryl acrylate, glycidyl acrylate, allyl acrylate, Ethoxy acrylate, methoxy acrylate, N, N′-dimethylaminoethyl acrylate, benzyl acrylate, 2-hydroxyethyl Monoacrylate such as acryloyl phosphate, dicyclopentadienyl acrylate, dicyclopentadiene ethoxy acrylate, dicyclopentenyl acrylate, dicyclopentenyloxyethyl acrylate, 1,3-butanediol diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate 1,6-butanediol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, polyethylene glycol 200 diacrylate, polyethylene glycol 400 diacrylate, polyethylene glycol 600 diacrylate, diethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, hydroxypivalin Acid ester neopentyl glycol diacrylate, trie Lenglycol diacrylate, bis (acryloxyethoxy) bisphenol A, bis (acryloxyethoxy) tetrabromobisphenol A, tripropylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanate Polyfunctional acrylates such as pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate can be used. In order to have good photosensitivity and avoid solubility in a developer and phase separation with a resin, among the above exemplified monomer compounds, it is bifunctional or more, and polar groups such as hydroxyl groups and carbonyl groups are included in the skeleton. Preferred are monomer compounds. Examples of such monomer compounds include tripropylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol. Mention may be made of monohydroxypentaacrylate.

本発明の感光性樹脂組成物において、(C)成分の(メタ)アクリレートの配合量は、(A)成分のポリアミド酸樹脂100重量部に対して、5〜60重量部の範囲内が好ましく、10〜40重量部の範囲内がより好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the blending amount of the (meth) acrylate of the component (C) is preferably in the range of 5 to 60 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polyamic acid resin of the component (A). A range of 10 to 40 parts by weight is more preferable.

また、上記のように本発明の感光性樹脂組成物には、増感剤を配合することも有利であり、この場合、増感剤としてはベンゾフェノン等の種々の増感作用を持つ化合物が使用できる。増感剤は(A)成分のポリアミド酸樹脂100重量部に対して、0.01〜2重量部添加することが好ましく、0.05〜0.5重量部添加することがより好ましい。   Further, as described above, it is also advantageous to add a sensitizer to the photosensitive resin composition of the present invention. In this case, compounds having various sensitizing actions such as benzophenone are used as the sensitizer. it can. The sensitizer is preferably added in an amount of 0.01 to 2 parts by weight, more preferably 0.05 to 0.5 parts by weight, relative to 100 parts by weight of the polyamic acid resin (A).

本発明の感光性樹脂組成物は、各種有機溶剤等により粘度等を調整することができる。用いるにあたって好ましい有機溶剤を例示すると、トリエチレングリコールジメチルエーテル(トリグライム)、ジエチレングリコールジメチルエーテル(ジグライム)、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(ペグミア)、乳酸エチル、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、キシレン、トルエンあるいはこれらの混合溶媒が挙げられる。溶剤の使用量は感光性樹脂組成物の固形分100重量部に対して、10〜200重量部の範囲内が好ましい。なお、溶剤を10重量%以上含み常温で液状を示す感光性樹脂組成物は、「ワニス状の感光性樹脂組成物」という。また、ポリアミド酸樹脂製造の際に反応溶媒として使用される有機溶剤が残存する場合は、この溶剤を含めて溶剤量を計算する。   The viscosity of the photosensitive resin composition of the present invention can be adjusted with various organic solvents and the like. Examples of preferable organic solvents for use include triethylene glycol dimethyl ether (triglyme), diethylene glycol dimethyl ether (diglyme), dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, propylene glycol monomethyl ether acetate (pegmia), ethyl lactate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, xylene. , Toluene or a mixed solvent thereof. The amount of the solvent used is preferably in the range of 10 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition. A photosensitive resin composition that contains 10% by weight or more of a solvent and is liquid at room temperature is referred to as a “varnish-like photosensitive resin composition”. Moreover, when the organic solvent used as a reaction solvent at the time of polyamic acid resin manufacture remains, the amount of solvents including this solvent is calculated.

さらに、本発明の感光性樹脂組成物には、エポキシ等のカルボキシ基と反応する成分を加えることもできる。そのような成分の添加量は、現像液に対する溶解性を損なわないように感光性樹脂組成物の固形分100重量部に対して、30重量部未満、好ましくは10重量部未満とするのがよい。   Furthermore, the component which reacts with carboxy groups, such as an epoxy, can also be added to the photosensitive resin composition of this invention. The added amount of such components should be less than 30 parts by weight, preferably less than 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the solid content of the photosensitive resin composition so as not to impair the solubility in the developer. .

また、感光性樹脂組成物をソルダーレジストの用途で使用する場合は、必要に応じて、例えばフタロシアニングリーン、フタロシアニンブルー等の公知顔料をソルダーレジストとしての諸特性を損なわない範囲で添加することができる。その場合の顔料の好ましい添加量は、感光性樹脂組成物(固形分)に対して1〜20重量%の範囲内である。更に、本発明の感光性樹脂組成物には必要に応じて公知のフィラーを添加することが可能であり、感光性塗料としての用途にも応用が可能である。   In addition, when the photosensitive resin composition is used for solder resist applications, known pigments such as phthalocyanine green and phthalocyanine blue can be added as necessary so long as the characteristics as the solder resist are not impaired. . The preferable addition amount of the pigment in that case exists in the range of 1 to 20 weight% with respect to the photosensitive resin composition (solid content). Furthermore, a known filler can be added to the photosensitive resin composition of the present invention as necessary, and it can be applied to use as a photosensitive paint.

本発明の感光性樹脂組成物の固形分(モノマーを含み、溶剤を除く)の好ましい組成は、例えば、(A)成分のポリアミド酸樹脂:50〜100重量%、好ましくは60〜90重量%、(B)成分の光重合開始剤:1〜20重量%、好ましくは1〜10重量%、増感剤:0〜2重量%、好ましくは0.05〜0.5重量%、他の樹脂、アクリレート等のモノマーからなる樹脂成分:0〜45重量%、好ましくは10〜30重量%とすることができる。   The preferable composition of the solid content (including the monomer and excluding the solvent) of the photosensitive resin composition of the present invention is, for example, (A) component polyamic acid resin: 50 to 100% by weight, preferably 60 to 90% by weight, Component (B) photopolymerization initiator: 1 to 20% by weight, preferably 1 to 10% by weight, sensitizer: 0 to 2% by weight, preferably 0.05 to 0.5% by weight, other resins, Resin component comprising monomer such as acrylate: 0 to 45% by weight, preferably 10 to 30% by weight.

本発明の感光性樹脂組成物においては、樹脂成分に上記各種添加物や溶剤を、好ましくは上記比率で配合し、均一に混合することによって柔軟性ならびに諸特性を発現させることができる。そして、本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、粘性液体、ワニス状、インク状の形態や、これらを基材フィルム上に塗布、乾燥して得られるフィルム状、シート状等の形態とすることができる。   In the photosensitive resin composition of the present invention, flexibility and various characteristics can be expressed by blending the above-mentioned various additives and solvents into the resin component, preferably in the above ratio, and mixing them uniformly. The photosensitive resin composition of the present invention is, for example, a viscous liquid, varnish-like, or ink-like form, or a film-like or sheet-like form obtained by applying and drying these on a base film. be able to.

[回路配線基板への適用]
本発明の感光性樹脂組成物は、公知の方法に従って使用することができるが、回路配線基板に適用する場合には、スクリーン印刷機やコーターを用いて回路配線基板に5〜100μmの厚さ、好ましくは10〜40μmの厚さで直接塗工することが可能である。塗工された組成物は、50〜120℃の温度で適度に予備乾燥し、その後、所定のマスクパターンを形成したフォトマスクを用いて選択的に露光し、アルカリ水溶液にて現像することにより未露光部を除去し、例えば120〜200℃の温度で20〜120分の熱処理により、残存した露光部を硬化させ、パターニングされたネガ型の絶縁被膜とすることが可能である。本発明の感光性樹脂組成物を光重合させる際の光の波長は、例えば250〜450nmの範囲内であり、特に290〜405nmの範囲内の波長の光を用いることが好ましい。
[Application to circuit wiring board]
The photosensitive resin composition of the present invention can be used according to a known method, but when applied to a circuit wiring board, the thickness of the circuit wiring board is 5 to 100 μm using a screen printer or a coater, Preferably, direct coating can be performed with a thickness of 10 to 40 μm. The coated composition is preliminarily dried at a temperature of 50 to 120 ° C., then selectively exposed using a photomask having a predetermined mask pattern, and developed with an alkaline aqueous solution. It is possible to remove the exposed portion and cure the remaining exposed portion by, for example, a heat treatment at a temperature of 120 to 200 ° C. for 20 to 120 minutes to form a patterned negative insulating film. The wavelength of light when photopolymerizing the photosensitive resin composition of the present invention is, for example, in the range of 250 to 450 nm, and it is particularly preferable to use light having a wavelength in the range of 290 to 405 nm.

ここで、本発明の感光性樹脂組成物を現像可能なアルカリ水溶液としては、例えば炭酸ナトリウム水溶液を使用することができる。アルカリ水溶液の濃度は、例えば1〜5重量%とすることができる。このように、本発明の感光性樹脂組成物は、希アルカリ水溶液による現像が可能であるため、汎用性や環境負荷低減の点で有利である。   Here, as the alkaline aqueous solution capable of developing the photosensitive resin composition of the present invention, for example, an aqueous sodium carbonate solution can be used. The concentration of the alkaline aqueous solution can be set to 1 to 5% by weight, for example. Thus, since the photosensitive resin composition of the present invention can be developed with a dilute alkaline aqueous solution, it is advantageous in terms of versatility and reduction of environmental burden.

また、本発明の感光性樹脂組成物は、あらかじめフィルム状に形成しておき、それを回路配線基板にラミネートする方法も採用することができる。ラミネートにより得られた回路配線基板は、上記と同様の露光、現像、熱硬化を行うことによりパターニングし、ネガ型の絶縁被膜とすることができる。   Moreover, the photosensitive resin composition of this invention can also form the film form previously, and can also employ | adopt the method of laminating it on a circuit wiring board. The circuit wiring board obtained by laminating can be patterned by performing exposure, development and thermosetting similar to those described above to form a negative insulating coating.

このように本発明の感光性樹脂組成物を回路配線基板に塗布又はラミネートして得られた回路配線基板と感光性樹脂層とを有する積層体は、本発明の感光性樹脂組成物による硬化物(絶縁被膜)が柔軟性に優れることから、例えばソルダーレジストやメッキレジストなどとして、特にフレキシブル配線基板の加工に好ましく用いることができる。その他、本発明の感光性樹脂組成物を用いた回路配線基板は、感光性樹脂組成物の硬化物の耐屈曲性、耐熱性、耐メッキ性等の特性のバランスがよいことから、これらの特性が要求される各種の用途に適している。   Thus, the laminate having the circuit wiring board and the photosensitive resin layer obtained by applying or laminating the photosensitive resin composition of the present invention to the circuit wiring board is a cured product of the photosensitive resin composition of the present invention. Since (insulating coating) is excellent in flexibility, it can be preferably used, for example, as a solder resist or a plating resist, particularly for processing of a flexible wiring board. In addition, since the circuit wiring board using the photosensitive resin composition of the present invention has a good balance of properties such as flex resistance, heat resistance and plating resistance of the cured product of the photosensitive resin composition, these characteristics Suitable for various applications that require

[フィルム状感光性樹脂組成物]
本発明の感光性樹脂組成物は、予め離型処理されたPETフィルム等の基材に、例えば5〜100μmの厚さ、好ましくは10〜50μmの厚さで感光性樹脂組成物の溶液を塗工し、50〜210℃、好ましくは80〜140℃で仮乾燥を行うことによって、フィルム状感光性樹脂組成物とすることが可能である。なお、フィルム状感光性樹脂組成物を回路配線基板に適用する場合には、ラミネーターを用い、配線基板に熱圧着する方法が一般的であり、その場合のラミネート温度は20〜100℃の温度範囲が好ましい。
[Film-like photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention is applied to a substrate such as a PET film or the like that has been subjected to a release treatment in advance with a solution of the photosensitive resin composition having a thickness of, for example, 5 to 100 μm, preferably 10 to 50 μm. The film-like photosensitive resin composition can be obtained by carrying out temporary drying at 50 to 210 ° C, preferably 80 to 140 ° C. In addition, when applying a film-form photosensitive resin composition to a circuit wiring board, the method of thermocompression bonding to a wiring board using a laminator is common, and the lamination temperature in that case is a temperature range of 20-100 degreeC. Is preferred.

本発明の感光性樹脂組成物は、二重結合などのラジカル重合性の不飽和結合とカルボン酸およびその誘導基を有するため、光又は熱等で重合して三次元構造を有する硬化物を形成する性質を有する。この硬化物中には主としてジヒドラジド化合物に由来するアルキル鎖及びアミド結合部位を豊富に含むため、柔軟性が保持される。これらのことから、本発明の感光性樹脂組成物を硬化させた硬化物には、通常の感光性樹脂を、単独であるいは混合して硬化させた硬化物に比べて、優れた耐熱性、耐屈曲性、可撓性が付与される。   Since the photosensitive resin composition of the present invention has a radically polymerizable unsaturated bond such as a double bond, a carboxylic acid and a derivative group thereof, it is polymerized by light or heat to form a cured product having a three-dimensional structure. It has the property to do. Since this cured product contains abundant alkyl chains and amide bond sites mainly derived from dihydrazide compounds, flexibility is maintained. From these facts, the cured product obtained by curing the photosensitive resin composition of the present invention has superior heat resistance and resistance compared to a cured product obtained by curing an ordinary photosensitive resin alone or in combination. Flexibility and flexibility are imparted.

次に、本発明を実施例によって具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。なお、本発明の実施例において特にことわりない限り、各種測定、評価は下記によるものである。   EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited at all by these Examples. Unless otherwise specified in the examples of the present invention, various measurements and evaluations are as follows.

[光硬化性の評価方法]
光硬化性の評価は、感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が25μmとなるように基材上にキャストし、評価用マスクを用いて露光機(株式会社ハイテック製、高圧水銀灯)を用いて365nmの波長の光で露光した。現像は1wt%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃、40〜200秒で行い、高圧リンスにて洗浄を行った。露光量が500mJ以下で、膜減りすることなく、径500μmのビアホールが解像できた場合を「OK」(良好)とし、できなかったものを「NG」(不良)とした。
[Method for evaluating photocurability]
Photo-curability is evaluated by casting the photosensitive resin composition onto a substrate so that the film thickness after drying is 25 μm, and using an exposure mask (manufactured by Hitec Corporation, high-pressure mercury lamp) using an evaluation mask. And exposed to light having a wavelength of 365 nm. Development was performed at 30 ° C. for 40 to 200 seconds using a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution and washed with high-pressure rinsing. When the exposure amount was 500 mJ or less and a via hole having a diameter of 500 μm could be resolved without reducing the film, “OK” (good) was obtained, and “NG” (defective) was obtained when the via hole could not be resolved.

[アルカリ現像液溶解性の評価方法]
アルカリ現像液溶解性の評価は、以下の方法で行った。感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が25μmとなるように基材上にキャストし、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて30℃で処理した後、高圧リンスにて洗浄を行い、感光性樹脂層が300秒以内に完全に溶解した場合を「OK」(良好)とし、できなかったものを「NG」(不良)とした。
[Method for evaluating solubility of alkali developer]
The alkali developer solubility was evaluated by the following method. The photosensitive resin composition was cast on a substrate so that the film thickness after drying was 25 μm, treated at 30 ° C. with a 1% aqueous sodium carbonate solution, washed with a high-pressure rinse, and photosensitive resin The case where the layer was completely dissolved within 300 seconds was designated as “OK” (good), and the case where the layer was not obtained was designated as “NG” (defective).

[反りの評価方法]
反り評価用のサンプルは、5×5cm、厚さ25μmのポリイミドフィルムに、露光、硬化後の膜厚が25μmとなるように、感光性樹脂組成物を塗布、乾燥、露光、硬化を行った後、250℃/60s、260℃/10sのリフロー処理を行って作製した。反りの評価はフラットな台に評価用サンプルを反り方向が凹型になるように置き、各頂点と台との距離を測定し、4点の平均値を反り量とした。その反り量が5mm未満のものを「OK」(良好)とし、それ以上のものを「NG」(不良)とした。
[Evaluation method of warpage]
A sample for warpage evaluation is obtained by applying a photosensitive resin composition to a polyimide film having a thickness of 5 × 5 cm and a thickness of 25 μm so that the film thickness after exposure and curing is 25 μm, drying, exposing and curing. 250 ° C./60 s and 260 ° C./10 s reflow treatment was performed. For the evaluation of the warpage, the evaluation sample was placed on a flat base so that the warping direction was concave, the distance between each vertex and the base was measured, and the average value of four points was taken as the amount of warpage. The warpage amount of less than 5 mm was defined as “OK” (good), and the warpage amount was defined as “NG” (defective).

[耐熱性の評価方法]
耐熱性の評価は、幅3mm、長さ20mm、厚み25μmの露光、硬化後のフィルム状のサンプルを用い、熱機械分析装置(BRUKER社製、4000SA)を用いて、チャック間距離15mmにて、荷重2g、昇温速度10℃/分の条件でサンプルの長さ芳香の熱膨張量を測定し、その変曲点をガラス転移温度(Tg)とし、このガラス転移温度の値を耐熱温度とした。
[Evaluation method of heat resistance]
Evaluation of heat resistance was performed using a film sample after exposure and curing of a width of 3 mm, a length of 20 mm, and a thickness of 25 μm, using a thermomechanical analyzer (manufactured by BRUKER, 4000SA) at a distance between chucks of 15 mm. The amount of thermal expansion of the sample length fragrance was measured under the conditions of a load of 2 g and a heating rate of 10 ° C./min, the inflection point was defined as the glass transition temperature (Tg), and the glass transition temperature value was defined as the heat resistant temperature. .

[耐屈曲性の評価方法]
耐屈曲性の評価は、フィルム状のサンプルを、0.13mm〜0.91mmの導体幅、0.18mm〜0.20mmの導体間スペースに回路加工した銅張積層板にラミネート、露光、硬化して評価用サンプルを作製し、曲率半径:1.25mm、スライド速さ:1500サイクル/分、スライド長さ:20mmの条件で、感光性樹脂組成物の硬化物を内向けで装着する形で、IPC屈曲試験を行い、回路が断線するまでの屈曲回数によって評価した。
[Bend resistance evaluation method]
Bending resistance is evaluated by laminating, exposing, and curing a film-like sample on a copper-clad laminate that has been processed into a conductor width of 0.13 mm to 0.91 mm and a space between conductors of 0.18 mm to 0.20 mm. A sample for evaluation was prepared, and a cured product of the photosensitive resin composition was mounted inward under the conditions of a curvature radius: 1.25 mm, a slide speed: 1500 cycles / minute, and a slide length: 20 mm, An IPC bending test was performed, and evaluation was performed based on the number of bendings until the circuit was disconnected.

合成例1
窒素注入管を装備した反応器中で、式(2)中のRが−(CH)10−の脂肪族ジヒドラジドを87.5g(0.34mol)と、式(3)中のR2が単結合であり、パラ位にアミノ基が位置し、メタ位にビニル基が位置するジアミン(2,2’−ジビニル−4,4’−ジアミノ−ビフェニル)を20.0g(0.08mol)加え、731gのN,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)に分散させた。これにベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)を136.4g(0.42mol)加え、室温、窒素雰囲気下で5時間攪拌することによって、(A)成分となるポリアミド酸樹脂1のワニスを得た。GPC(ポリスチレン標準品換算)の測定結果より、得られたポリアミド酸樹脂1の重量平均分子量は5.4×10、分子量分布は1.64であった。また、ポリアミド酸樹脂1のDMAc溶液(樹脂濃度:25重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ1574cPa・sであった。
Synthesis example 1
In a reactor equipped with a nitrogen injection tube, 87.5 g (0.34 mol) of an aliphatic dihydrazide in which R 1 in the formula (2) is — (CH 2 ) 10 — and R 2 in the formula (3) Is a single bond, 20.0 g (0.08 mol) of a diamine (2,2′-divinyl-4,4′-diamino-biphenyl) in which an amino group is located in the para position and a vinyl group is located in the meta position In addition, it was dispersed in 731 g of N, N-dimethylacetamide (DMAc). To this was added 136.4 g (0.42 mol) of benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) and stirred for 5 hours at room temperature in a nitrogen atmosphere to obtain a varnish of polyamic acid resin 1 as component (A). It was. From the measurement result of GPC (polystyrene standard product conversion), the polyamic acid resin 1 obtained had a weight average molecular weight of 5.4 × 10 4 and a molecular weight distribution of 1.64. Further, the viscosity at 25 ° C. of the DMAc solution (resin concentration: 25% by weight) of the polyamic acid resin 1 was measured using an E-type viscometer and found to be 1574 cPa · s.

合成例2
窒素注入管を装備した反応器中で、式(2)中のRが−(CH)−の脂肪族ジヒドラジドを58.97g(0.34mol)と、2,2’−ジビニル−4,4’−ジアミノ−ビフェニルを20.0g(0.08mol)加え、646gのDMAcに分散させた。これにBTDAを136.4g(0.42mol)加え、室温、窒素雰囲気下で5時間攪拌することによって、(A)成分となるポリアミド酸樹脂2のワニスを得た。得られたポリアミド酸樹脂2の重量平均分子量は6.8×10であった。また、ポリアミド酸樹脂2のDMAc溶液(樹脂濃度:25重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ7782Pa・sであった。
Synthesis example 2
In a reactor equipped with a nitrogen injection tube, 58.97 g (0.34 mol) of an aliphatic dihydrazide in which R 1 in formula (2) is — (CH 2 ) 4 — was obtained and 2,2′-divinyl-4 2,4'-diamino-biphenyl was added in an amount of 20.0 g (0.08 mol) and dispersed in 646 g of DMAc. 136.4 g (0.42 mol) of BTDA was added to this, and the varnish of the polyamic acid resin 2 used as (A) component was obtained by stirring under room temperature and nitrogen atmosphere for 5 hours. The obtained polyamic acid resin 2 had a weight average molecular weight of 6.8 × 10 4 . Further, the viscosity at 25 ° C. of the DMAc solution of the polyamic acid resin 2 (resin concentration: 25% by weight) was measured by using an E-type viscometer, and was 7782 Pa · s.

合成例3
窒素注入管を装備した反応器中で、式(2)中のRが−(CH)−の脂肪族ジヒドラジドを58.97g(0.34mol)と、2,2’−ジビニル−4,4’−ジアミノ−ビフェニルを20.0g(0.08mol)加え、514gのDMAcに分散させた。これにピロメリット酸二無水物(PMDA)を92.3g(0.42mol)加え、室温、窒素雰囲気下で5時間攪拌することによって、(A)成分となるポリアミド酸樹脂3のワニスを得た。得られたポリアミド酸樹脂3の重量平均分子量は5.8×10であった。また、ポリアミド酸樹脂3のDMAc溶液(樹脂濃度:25重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ2580Pa・sであった。
Synthesis example 3
In a reactor equipped with a nitrogen injection tube, 58.97 g (0.34 mol) of an aliphatic dihydrazide in which R 1 in formula (2) is — (CH 2 ) 4 — was obtained and 2,2′-divinyl-4 20.0 g (0.08 mol) of 4,4′-diamino-biphenyl was added and dispersed in 514 g of DMAc. To this was added 92.3 g (0.42 mol) of pyromellitic dianhydride (PMDA), and the mixture was stirred at room temperature in a nitrogen atmosphere for 5 hours to obtain a varnish of polyamic acid resin 3 as component (A). . The obtained polyamic acid resin 3 had a weight average molecular weight of 5.8 × 10 4 . Further, the viscosity at 25 ° C. of the DMAc solution (resin concentration: 25% by weight) of the polyamic acid resin 3 was measured using an E-type viscometer and found to be 2580 Pa · s.

合成例4
窒素注入管を装備した反応器中で、式(2)中のRが−(CH)−の脂肪族ジヒドラジドを44.23g(0.25mol)と、式(3)中の2,2’−ジビニル−4,4’−ジアミノ−ビフェニルを40.0g(0.17mol)加え、662gのDMAcに分散させた。これにBTDAを136.4g(0.42mol)加え、室温、窒素雰囲気下で5時間攪拌することによって、(A)成分となるポリアミド酸樹脂4のワニスを得た。GPC(ポリスチレン標準品換算)の測定結果より、得られたポリアミド酸樹脂4の重量平均分子量は5.6×10であった。また、ポリアミド酸樹脂4のDMAc溶液(樹脂濃度:25重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ2278Pa・sであった。
Synthesis example 4
In a reactor equipped with a nitrogen injection tube, 44.23 g (0.25 mol) of an aliphatic dihydrazide in which R 1 in the formula (2) is — (CH 2 ) 4 — 40.0 g (0.17 mol) of 2′-divinyl-4,4′-diamino-biphenyl was added and dispersed in 662 g of DMAc. 136.4 g (0.42 mol) of BTDA was added to this, and the varnish of the polyamic acid resin 4 used as (A) component was obtained by stirring under room temperature and nitrogen atmosphere for 5 hours. From the measurement result of GPC (polystyrene standard product conversion), the weight average molecular weight of the obtained polyamic acid resin 4 was 5.6 × 10 4 . Further, the viscosity at 25 ° C. of the DMAc solution of the polyamic acid resin 4 (resin concentration: 25% by weight) was measured using an E-type viscometer and found to be 2278 Pa · s.

合成例5
窒素注入管を装備した反応器中で、式(2)のRが−(CH)10−の脂肪族ジヒドラジドを48.9g(0.19mol)、式(2)のRが−(CH)−の脂肪族ジヒドラジドを32.96g(0.19mol)および2,2’−ジビニル−4,4’−ジアミノ−ビフェニルを10.0g(0.04mol)加え、646gのDMAcに分散させた。これにBTDAを136.4g(0.42mol)加え、室温、窒素雰囲気下で5時間攪拌することによって、(A)成分となるポリアミド酸樹脂5のワニスを得た。得られたポリアミド酸樹脂5の重量平均分子量は6.1×10であった。また、ポリアミド酸樹脂5のDMAc溶液(樹脂濃度:25重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ3453Pa・sであった。
Synthesis example 5
In a reactor equipped with a nitrogen injection tube, 48.9 g (0.19 mol) of an aliphatic dihydrazide in which R 1 of formula (2) is — (CH 2 ) 10 — and R 1 of formula (2) is — ( 32.96 g (0.19 mol) of aliphatic dihydrazide of CH 2 ) 4 -and 10.0 g (0.04 mol) of 2,2'-divinyl-4,4'-diamino-biphenyl were added and dispersed in 646 g of DMAc. I let you. 136.4 g (0.42 mol) of BTDA was added to this, and the varnish of the polyamic acid resin 5 used as (A) component was obtained by stirring at room temperature under nitrogen atmosphere for 5 hours. The resulting polyamic acid resin 5 had a weight average molecular weight of 6.1 × 10 4 . Further, the viscosity at 25 ° C. of the DMAc solution of the polyamic acid resin 5 (resin concentration: 25% by weight) was measured using an E-type viscometer to be 3453 Pa · s.

合成例6
窒素注入管を装備した反応器中で、4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを8.01g(0.04mol)、2,2’−ジビニル−4,4’−ジアミノ−ビフェニルを10.0g(0.04mol)および数平均分子量約750のポリジメチルシロキサンジアミン(東レ・ダウコーニング・シリコーン社製:BY16−853X)を95.21g(0.13mol)加え、553gのDMAcに分散させた。これにBTDAを68.18g(0.21mol)加え、室温、窒素雰囲気下で5時間攪拌することによって、ポリアミド酸樹脂6のワニスを得た。
Synthesis Example 6
In a reactor equipped with a nitrogen inlet tube, 8.01 g (0.04 mol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether and 10.0 g (0.04 mol) of 2,2′-divinyl-4,4′-diamino-biphenyl. 04 mol) and 95.21 g (0.13 mol) of polydimethylsiloxanediamine (Toray Dow Corning Silicone: BY16-853X) having a number average molecular weight of about 750 were added and dispersed in 553 g of DMAc. To this, 68.18 g (0.21 mol) of BTDA was added and stirred for 5 hours at room temperature in a nitrogen atmosphere to obtain a varnish of polyamic acid resin 6.

合成例7
窒素注入管を装備した反応器中で、数平均分子量約750のポリジメチルシロキサンジアミン(東レ・ダウコーニング・シリコーン社製:BY16−853X)を126.95g(0.17mol)と、2,2’−ジビニル−4,4’−ジアミノ−ビフェニルを10.0g(0.04mol)を加え、615gのDMAcに分散させた。これにBTDAを68.18g(0.21mol)加え、室温、窒素雰囲気下で5時間攪拌することによって、ポリアミド酸樹脂7のワニスを得た。
Synthesis example 7
In a reactor equipped with a nitrogen injection tube, 126.95 g (0.17 mol) of polydimethylsiloxanediamine having a number average molecular weight of about 750 (manufactured by Toray Dow Corning Silicone: BY16-853X), 2,2 ′ -10.0 g (0.04 mol) of divinyl-4,4′-diamino-biphenyl was added and dispersed in 615 g of DMAc. To this was added 68.18 g (0.21 mol) of BTDA, and the mixture was stirred at room temperature in a nitrogen atmosphere for 5 hours to obtain a varnish of polyamic acid resin 7.

実施例1
合成例1で得られたポリアミド酸樹脂1のワニス(ポリアミド酸樹脂として100重量部。以下、同じ)に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート(日本化薬株式会社製:PET−30)30重量部、光重合開始剤(Ciba Specialty Chemicals Inc.製:OXE−02)3重量部を配合し、ワニス状感光性樹脂組成物を得た。これを予め離型処理されたPETフィルム上に乾燥後の膜厚が25μmとなるように塗工し、110℃で10分間乾燥させることで、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
Example 1
30 parts by weight of pentaerythritol triacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd .: PET-30) with respect to the varnish of the polyamic acid resin 1 obtained in Synthesis Example 1 (100 parts by weight as the polyamic acid resin, hereinafter the same). 3 parts by weight of a photopolymerization initiator (Ciba Specialty Chemicals Inc .: OXE-02) was blended to obtain a varnish-like photosensitive resin composition. This was coated on a PET film that had been previously subjected to a release treatment so that the film thickness after drying was 25 μm, and dried at 110 ° C. for 10 minutes to obtain a film-like photosensitive resin composition. Table 1 shows the blending ratio and characteristics of the photosensitive resin composition.

上記のワニス状感光性樹脂組成物を調製後、23℃の恒温室で保管した。保管3日後、上記と同様にして、フィルム状感光性樹脂組成物を調製したが、全く問題は生じなかった。また、感光性樹脂組成物の特性についても、何ら問題は生じなかった。   After preparing said varnish-like photosensitive resin composition, it stored in a 23 degreeC thermostat. Three days after storage, a film-like photosensitive resin composition was prepared in the same manner as described above, but no problem occurred. Further, no problem occurred with respect to the characteristics of the photosensitive resin composition.

実施例2
実施例1において、ペンタエリスリトールトリアクリレート(日本化薬株式会社製:PET−30)を30重量部配合した代わりに、トリメチロールプロパントリアクリレート(日本化薬株式会社製:TMPTA)を30重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
Example 2
In Example 1, 30 parts by weight of trimethylolpropane triacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd .: TMPTA) was blended instead of 30 parts by weight of pentaerythritol triacrylate (Nippon Kayaku Co., Ltd .: PET-30). A film-like photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that. Table 1 shows the blending ratio and characteristics of the photosensitive resin composition.

実施例3
実施例1において、ポリアミド酸樹脂1のワニスの代わりに、合成例2で得られたポリアミド酸樹脂2のワニスを使用したこと以外は実施例1と同様にして、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
Example 3
In Example 1, in place of the varnish of the polyamic acid resin 1, the varnish of the polyamic acid resin 2 obtained in Synthesis Example 2 was used in the same manner as in Example 1, did. Table 1 shows the blending ratio and characteristics of the photosensitive resin composition.

実施例4
実施例1において、ポリアミド酸樹脂1のワニスの代わりに、合成例3で得られたポリアミド酸樹脂3のワニスを使用したこと以外は実施例1と同様にして、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
Example 4
In Example 1, in place of the varnish of the polyamic acid resin 1, the varnish of the polyamic acid resin 3 obtained in Synthesis Example 3 was used in the same manner as in Example 1, did. Table 1 shows the blending ratio and characteristics of the photosensitive resin composition.

実施例5
実施例1において、ポリアミド酸樹脂1のワニスの代わりに、合成例4で得られたポリアミド酸樹脂4のワニスを使用したこと以外は実施例1と同様にして、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
Example 5
In Example 1, in place of the varnish of the polyamic acid resin 1, the varnish of the polyamic acid resin 4 obtained in Synthesis Example 4 was used in the same manner as in Example 1, and the film-like photosensitive resin composition and did. Table 1 shows the blending ratio and characteristics of the photosensitive resin composition.

実施例6
実施例1において、ポリアミド酸樹脂1のワニスの代わりに、合成例5で得られたポリアミド酸樹脂5のワニスを使用したこと以外は実施例1と同様にして、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
Example 6
In Example 1, in place of the varnish of the polyamic acid resin 1, the varnish of the polyamic acid resin 5 obtained in Synthesis Example 5 was used in the same manner as in Example 1, and the film-like photosensitive resin composition and did. Table 1 shows the blending ratio and characteristics of the photosensitive resin composition.

比較例1
実施例1において、ポリアミド酸樹脂1のワニスの代わりに、合成例6で得られたポリアミド酸樹脂6のワニスを使用したこと以外は実施例1と同様にして、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
Comparative Example 1
In Example 1, instead of the varnish of the polyamic acid resin 1, the varnish of the polyamic acid resin 6 obtained in Synthesis Example 6 was used in the same manner as in Example 1, and the film-like photosensitive resin composition and did. Table 1 shows the blending ratio and characteristics of the photosensitive resin composition.

比較例2
実施例1において、ポリアミド酸樹脂1のワニスの代わりに、合成例7で得られたポリアミド酸樹脂7のワニスを使用したこと以外は実施例1と同様にして、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
Comparative Example 2
In Example 1, in place of the varnish of the polyamic acid resin 1, the varnish of the polyamic acid resin 7 obtained in Synthesis Example 7 was used in the same manner as in Example 1, and the film-like photosensitive resin composition and did. Table 1 shows the blending ratio and characteristics of the photosensitive resin composition.

以上の結果をまとめて表1に示す。なお、表中の「部」は重量部を意味する。   The above results are summarized in Table 1. In the table, “parts” means parts by weight.

Figure 0005179407
Figure 0005179407

表1に示されるように、実施例1〜6では、原料となる全ジアミン成分100モルに対してジヒドラジド化合物を30〜100モルの割合で含むジアミン成分をテトラカルボン酸無水物と反応させて得られる、式(1)で表される構成単位を有するヒドラジド結合含有ポリアミド酸樹脂を含有する感光性樹脂組成物を使用したため、硬化物は、反りが少なく、耐熱性と耐屈曲性にも優れていた。一方、感光性樹脂組成物の原料のジアミン成分として、シロキサン系ジアミンを含むが、式(1)で表される構成単位を有するヒドラジド結合含有ポリアミド酸樹脂を全く含有しない感光性樹脂組成物を使用した比較例1及び2では、反りが大きく、耐熱性および屈曲耐性も著しく劣っていた。   As shown in Table 1, in Examples 1 to 6, obtained by reacting a diamine component containing a dihydrazide compound in a ratio of 30 to 100 mol with a tetracarboxylic acid anhydride with respect to 100 mol of all diamine components as raw materials. Since the photosensitive resin composition containing the polyhydric acid resin containing a hydrazide bond having the structural unit represented by the formula (1) is used, the cured product has less warpage and is excellent in heat resistance and bending resistance. It was. On the other hand, a photosensitive resin composition containing a siloxane-based diamine as a raw material diamine component of the photosensitive resin composition but containing no hydrazide bond-containing polyamic acid resin having a structural unit represented by the formula (1) is used. In Comparative Examples 1 and 2, the warpage was large, and the heat resistance and bending resistance were remarkably inferior.

Claims (6)

(A)ラジカル重合性の不飽和結合を有するポリアミド酸樹脂、及び
(B)光重合開始剤
を含有する感光性樹脂組成物であって、
(A)成分は、原料として、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、全ジアミン成分100モルに対してジヒドラジド化合物を30〜100モルの割合で含むジアミン成分と、を反応させて得られる、下記一般式(1)で表される構成単位を有するヒドラジド結合含有ポリアミド酸樹脂であり、
(A)成分100重量部に対し、(B)成分を0.5〜20重量部含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 0005179407
(式中、Arは芳香族テトラカルボン酸からカルボキシル基を除いた4価のテトラカルボン酸残基を示し、Rは単結合又は脂肪族若しくは芳香族ジヒドラジドからヒドラジド基−CONHNHを除いた2価の残基を示し、X及びXは独立に、ヒドロキシル基又はラジカル重合性の不飽和結合を有する1価の有機基を示す。)
(A) a polyamic acid resin having a radical polymerizable unsaturated bond, and (B) a photosensitive resin composition containing a photopolymerization initiator,
(A) A component makes the raw material react the acid anhydride component containing an aromatic tetracarboxylic anhydride, and the diamine component which contains a dihydrazide compound in the ratio of 30-100 mol with respect to 100 mol of all the diamine components. A hydrazide bond-containing polyamic acid resin having a structural unit represented by the following general formula (1),
(A) The photosensitive resin composition characterized by containing 0.5-20 weight part of (B) component with respect to 100 weight part of components.
Figure 0005179407
(In the formula, Ar represents a tetravalent tetracarboxylic acid residue obtained by removing a carboxyl group from an aromatic tetracarboxylic acid, and R 1 represents a single bond or 2 obtained by removing a hydrazide group —CONHNH 2 from an aliphatic or aromatic dihydrazide. X 1 and X 2 independently represent a hydroxyl group or a monovalent organic group having a radical polymerizable unsaturated bond.
原料のジアミン成分が、ジヒドラジド化合物と、ラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミンとを含有し、該ジヒドラジド化合物と該芳香族ジアミンとのモル比(ジヒドラジド化合物/芳香族ジアミン)が30/70〜95/5であることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The diamine component of the raw material contains a dihydrazide compound and an aromatic diamine having a radical polymerizable unsaturated bond, and the molar ratio of the dihydrazide compound to the aromatic diamine (dihydrazide compound / aromatic diamine) is 30 / It is 70-95 / 5, The photosensitive resin composition of Claim 1 characterized by the above-mentioned. (A)成分100重量部に対して、更に、(C)単官能又は多官能の(メタ)アクリレートを5〜60重量部含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin according to claim 1 or 2, further comprising 5 to 60 parts by weight of (C) a monofunctional or polyfunctional (meth) acrylate with respect to 100 parts by weight of the component (A). Composition. 請求項1〜3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を、溶剤に溶解してなるワニス状の感光性樹脂組成物。   A varnish-like photosensitive resin composition obtained by dissolving the photosensitive resin composition according to claim 1 in a solvent. 請求項4に記載のワニス状の感光性樹脂組成物を、基板フィルム上に塗布、乾燥してなるフィルム状の感光性樹脂組成物。   The film-like photosensitive resin composition formed by apply | coating and drying the varnish-like photosensitive resin composition of Claim 4 on a board | substrate film. 請求項1〜3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を、パターニングされた導体層を有する回路配線基板上に被膜として形成した後、露光、現像、硬化してネガ型の絶縁被膜を形成してなる回路配線基板。   The photosensitive resin composition according to claim 1 is formed as a film on a circuit wiring board having a patterned conductor layer, and then exposed, developed, and cured to form a negative insulating film. A circuit wiring board.
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