JP5174418B2 - Vacuum generator - Google Patents
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Description
本発明は、電子部品を回路基板の特定位置に搭載するための部品実装装置(マウンタ)に取り付ける外部から供給される圧縮空気で動作する真空発生機構を構成要素とする真空発生装置に用いるのに好適な、真空発生機構の外部からの異物の混入を長期間防止することが可能な真空発生装置に関する。 The present invention is used for a vacuum generating apparatus having a vacuum generating mechanism that operates with compressed air supplied from the outside to be mounted on a component mounting apparatus (mounter) for mounting an electronic component at a specific position on a circuit board. The present invention relates to a vacuum generator capable of preventing foreign matters from entering the vacuum generating mechanism for a long period of time.
従来、圧縮空気を空気供給口から導入して、その圧縮空気の流れを切り替えることで、真空吸引口に真空状態を発生させるエジェクタ方式の真空発生機構(単に、エジェクタ、又は真空発生機構という)が知られ(特許文献1)、部品実装装置において電子部品を吸着するために複数使用されてきた。 Conventionally, an ejector-type vacuum generating mechanism (simply called an ejector or a vacuum generating mechanism) that generates a vacuum state at a vacuum suction port by introducing compressed air from an air supply port and switching the flow of the compressed air. Known (Patent Document 1), a plurality of components have been used for adsorbing electronic components in a component mounting apparatus.
このようなエジェクタは、圧縮空気を排出する際に、その排気音を低減させるために、空気排出口の前段に、焼結体からなる消音器(サイレンサ)を有する。そして、メンテナンスと真空性能の観点から、フィルタ機能よりも消音機能を重視した、圧縮空気の排気の流路方向で消音器に遊隙があるエジェクタ(以降、前者という)と、フィルタ機能を重視した遊隙のないエジェクタ(以降、後者という)とが存在する。 Such an ejector has a silencer made of a sintered body in front of the air discharge port in order to reduce the exhaust sound when the compressed air is discharged. And from the viewpoint of maintenance and vacuum performance, an ejector (hereinafter referred to as the former) in which the silencer has a play in the direction of the flow path of the compressed air exhaust, with more emphasis on the silencer function than the filter function, and the filter function. There is an ejector with no play (hereinafter referred to as the latter).
しかしながら、前者のエジェクタにおいては、真空吸引口に真空状態を発生させる時(真空発生時という)には、排気される圧縮空気により消音器が遊隙の範囲(例えば、約1mm)で空気排出口の外側へ押されて、その配置された流路中で摩擦移動する。そして、真空吸引口の真空状態を解除する時(真空破壊時という)には、空気排出口において吸気動作が生じて、消音器が遊隙の範囲で空気排出口から内側へ押し戻されて、その配置された流路中で摩擦移動する。すなわち、長年使用していると、消音器が遊隙の範囲で幾度となく摺動が行われるため、摩擦によって消音器の外形が磨り減り又は変形し、遊隙の空間が大きくなってしまう。また、真空破壊時間を短くする為に初めから隙間があいているものもある。このような状態でエジェクタの使用を続けると、エジェクタは、その真空破壊時の吸気行動により、大きくなった遊隙の空間からエジェクタの外部の大気中に漂っている埃や金属の粉末をエジェクタ内に吸い込んでしまう。そして、エジェクタ内の圧縮空気の切り替えを行う電磁弁やポペット弁等に入り込み、動作不良を発生させてしまうというおそれがあった。この解決には、消音器の交換をすることとなるが、メンテナンス対象のエジェクタが大量にあるときには、その作業コストや作業にかける時間は莫大なものとなってしまう。 However, in the former ejector, when a vacuum state is generated in the vacuum suction port (referred to as a vacuum is generated), the silencer is exhausted by the compressed air exhausted in the range of play (for example, about 1 mm). It is pushed to the outside and frictionally moves in the arranged flow path. When the vacuum state of the vacuum suction port is released (during vacuum break), an intake operation occurs at the air discharge port, and the silencer is pushed back from the air discharge port in the range of the play. Friction moves in the arranged flow path. That is, if the silencer has been used for many years, the silencer is slid several times in the range of the play, so that the outer shape of the silencer is worn or deformed by friction, and the space of the play is increased. Some have gaps from the beginning to shorten the vacuum break time. If the ejector continues to be used in such a state, the ejector removes dust and metal powder floating in the atmosphere outside the ejector from the space of the increased clearance due to the intake action during the vacuum break. Inhale. And there was a possibility that it may enter into an electromagnetic valve, a poppet valve, etc. which change the compressed air in an ejector, and may cause a malfunction. To solve this problem, the silencer must be replaced. However, when there are a large number of ejectors to be maintained, the work cost and the time taken for the work become enormous.
一方、後者のエジェクタにおいては、消音器の摩擦による変形は低減できるものの、その真空破壊時の吸気行動においては、エジェクタの外部の大気中に漂っている埃や金属の粉末をエジェクタ内に吸い込んでしまうことには変りがない。このため、消音器の目詰まりが早期に発生しやすく、エジェクタのメンテナンスサイクルが短くなってしまうという問題を有していた。 On the other hand, in the latter ejector, deformation due to friction of the silencer can be reduced, but in the intake action at the time of vacuum break, dust or metal powder drifting in the atmosphere outside the ejector is sucked into the ejector. There is no change in it. For this reason, the silencer is likely to be clogged at an early stage, and the maintenance cycle of the ejector is shortened.
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、エジェクタを長期間用いても、エジェクタの外部の大気中に漂っている埃や金属の粉末などの異物の、エジェクタ内部への吸入を防止でき、且つ、エジェクタのメンテナンスサイクルを長くできる真空発生装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made to solve the above-described conventional problems. Even when the ejector is used for a long period of time, foreign matters such as dust and metal powder floating in the atmosphere outside the ejector can enter the inside of the ejector. It is an object of the present invention to provide a vacuum generator capable of preventing inhalation and extending the maintenance cycle of an ejector.
本願の請求項1に係る発明は、圧縮空気を導入する空気供給口と、該圧縮空気の流れを切り替える切替手段と、該切替手段により発生する真空状態が導かれる真空吸引口と、該真空状態にするために圧縮空気が排出される空気排出口と、該空気排出口の前段に設けられると共に、該圧縮空気が排出される際の排気音を低減させる静音手段と、を備える真空発生機構(エジェクタ式の真空発生機構)と、前記静音手段を通過した後の圧縮空気の流路に脱着可能に配置される濾過部材と、該濾過部材と別体とされ該濾過部材を圧縮して前記空気排出口に密着させる脱着可能な濾過部材保持手段と、を有することにより前記課題を解決したものである。 The invention according to claim 1 of the present application includes an air supply port for introducing compressed air, a switching means for switching the flow of the compressed air, a vacuum suction port for guiding a vacuum state generated by the switching means, and the vacuum state. A vacuum generating mechanism comprising: an air discharge port through which compressed air is discharged, and a silent unit that is provided in a front stage of the air discharge port and reduces exhaust noise when the compressed air is discharged ( a vacuum generating mechanism) of the ejector, said compressing and filtering member which is detachably disposed in the flow path of the compressed air after passing through the silent section, the filter member is a the filtration member and the separate air The present invention solves the above-mentioned problems by having a detachable filter member holding means that is brought into close contact with the discharge port.
本発明によれば、静音手段を通過した後の圧縮空気の流路に配置される濾過部材と、前記濾過部材を前記空気排出口に密着させる濾過部材保持手段とにより、エジェクタ(エジェクタ式の真空発生機構)の外部の大気中に漂っている埃や金属の粉末などの異物が、真空破壊時に静音手段に直接吸入されることなく、必ず濾過部材を通過することとなるので、濾過部材は前記異物を捕捉することができる。このため、真空発生装置でエジェクタを長期間用いても、エジェクタの外部の大気中に漂っている埃や金属の粉末などの異物をエジェクタへ吸入することを防止できる。 According to the present invention, an ejector (an ejector-type vacuum) is provided by a filtration member disposed in a flow path of compressed air after passing through the silent means and a filtration member holding means for bringing the filtration member into close contact with the air discharge port. Since foreign matter such as dust and metal powder drifting in the atmosphere outside the generation mechanism) always passes through the filtering member without being directly sucked into the silent means at the time of vacuum break, Foreign matter can be captured. For this reason, even if the ejector is used for a long time in the vacuum generator, it is possible to prevent foreign matters such as dust and metal powder floating in the atmosphere outside the ejector from being sucked into the ejector.
又、濾過部材は静音手段の後段に配置されているので、静音手段を分解することなく、濾過部材を交換することができ、静音手段を頻繁に交換する必要がないので、メンテナンスサイクルを長くすることができる。更に、濾過部材は、容易に取り外して洗浄を行うことができるので、濾過部材の再利用を容易に行うことができる。 Further, since the filtering member is arranged at the subsequent stage of the silent means, the filtering member can be replaced without disassembling the silent means, and it is not necessary to frequently replace the silent means, thus extending the maintenance cycle. be able to. Furthermore, since the filtration member can be easily removed and cleaned, the filtration member can be easily reused.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明の実施形態について図1から図6を用いて説明する。図1は本発明の実施形態である真空発生装置の上ケースを外した状態の分解斜視図、図2は真空発生装置の濾過部材周辺の分解斜視図、図3は真空発生装置の概略構成図、図4は真空発生装置のエア回路図、図5は真空発生装置のエジェクタ周辺に係る分解斜視図、図6は真空発生装置の濾過部材近傍の断面概略図、である。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is an exploded perspective view of the vacuum generator according to an embodiment of the present invention with the upper case removed, FIG. 2 is an exploded perspective view of the periphery of the filtration member of the vacuum generator, and FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the vacuum generator. 4 is an air circuit diagram of the vacuum generator, FIG. 5 is an exploded perspective view of the periphery of the ejector of the vacuum generator, and FIG. 6 is a schematic sectional view of the vicinity of the filter member of the vacuum generator.
最初に、図1及び図2を用いて、全体の構成について説明する。 Initially, the whole structure is demonstrated using FIG.1 and FIG.2.
真空発生装置100は、例えば、エジェクタ110と、エジェクタ110の外部に配置された濾過部材134と、濾過部材134を保持する押圧部材142と、下ケース146と、上ケース148とを有する。エジェクタ110は、固定板140を介して下ケース146にボルト110aで取り付けられている。下ケース146には、濾過部材134を、下ケース146の外部から取付け取外し可能とする濾過部材取付孔146aが設けられている。上ケース148は、エジェクタ110の上面をカバーするために取り付けられている。
The
次に各構成要素について詳細に説明する。 Next, each component will be described in detail.
前記エジェクタ110は、例えば、図1に示す如く、4つの独立したエジェクタ式の真空発生機構を集合した4連のものである。エジェクタ110は、図3に示す如く、マニホールド111と、マニホールド111上に設けられた電磁弁114、116と、真空センサ128とを備える。
For example, as shown in FIG. 1, the
前記マニホールド111は、例えば、その内部に、図4に示す、ポペット弁118、120、制御弁122、静音手段としての消音器124、及び、内部フィルタ130を設けている(図6参照)。マニホールド111の外部には、その背面(図3の紙面右側)に圧縮空気を導入するための空気供給口112とマニホールド110内部で発生する真空状態を外部に導く真空吸引口132を、その前面(図3の紙面左側)に真空状態を作り出すために圧縮空気が排出される空気排出口126を、それぞれ有する。
The
前記電磁弁114は、例えば、真空発生を制御する電磁弁で、電磁弁116は、例えば、真空破壊を制御する電磁弁である。それぞれ、マニホールド111内に設けられたポペット弁118、120を制御して、流路を切り替える手段として機能する。すなわち、電磁弁114、116とポペット弁118、120とが、導入された圧縮空気の流れを切り替える切り替え手段である。電磁弁114が開くと、ポペット弁118が開き、圧縮空気がポペット弁118を通過する。電磁弁116が開くと、ポペット弁120が開き、圧縮空気がポペット弁120を通過する。
The
前記制御弁122は、例えば、圧縮空気の通過の際に真空状態を発生させるための弁であり、圧縮空気の流れ、その流路形状、及び、消音器124の形状から最適な形状とすることができる。
The control valve 122 is, for example, a valve for generating a vacuum state when compressed air passes, and has an optimal shape based on the flow of compressed air, the shape of its flow path, and the shape of the
前記消音器124は、例えば、空気排出口126の前段に設けられると共に、圧縮空気が排出される際の排気音を低減させる静音機能と、異物の濾過をするフィルタ機能を有するものである。すなわち、静音機能を向上させればフィルタ機能が低下する、若しくはフィルタ機能を向上させれば静音機能が低下するといったトレードオフの関係を有する。本実施形態では、濾過部材134を消音器124の後段に用いるのでフィルタ機能を低下させることができる。このため、その静音機能を向上させて、消音器124は、通常より多孔質焼結体で目の粗いものを使用することができる。つまり、消音器124においての圧縮空気の圧力損失を低減することができ、真空度の高い真空状態を容易に発生させることができる。図1に示す如く、ボルト136aによってマニホールド111に取り付けられたブラケット136を取り外すことで、消音器124の交換や洗浄が可能である。
The
本実施形態では、空気排出口126がブラケット136に設けられている。ブラケット136は、図1に示す如く、消音器124と同様に4つのエジェクタ式の真空発生機構に対して個々に設けられている。
In the present embodiment, the
前記真空センサ128は、例えば、マニホールド111において発生した真空状態を測定するセンサである。
The
前記内部フィルタ130は、真空吸引口から吸入される異物の遮断等を行う。
The
前記濾過部材134は、図4に示す如く、静音手段である消音器124を通過した後の圧縮空気の流路に配置される。濾過部材134は、例えば、弾性に富んだ樹脂製であり、クッション性に優れている。濾過部材134の圧縮率は、例えば、数%から数十%までとすることができる。濾過部材134は、図5に示す如く、押圧部材142を係止するボルト144が挿抜される部分に切り欠き部134aを有する。濾過部材134は、例えば、材質として多孔性ポリウレタンを用いることができ、厚みdとして約10mmのものを使用することができる。目の粗さとして、数十μm以下であるが、好ましくは5μm程度である。そして、濾過部材134は、孔のセル膜が除去されたオープンセル構造であるために圧縮されても、通過する圧縮空気の圧力損失を少なくすることができる。又、濾過部材134は耐水性に優れている。そのため容易に水又は中性洗剤で洗うことができる。
As shown in FIG. 4, the filtering
前記固定板140は、図5に示す如く、係合部140aとエジェクタ取付部140bとを有している。係合部140aは、エジェクタ取付部140bに対し直角に曲げられている。係合部140aは、押圧部材142をボルト144で取り付けるために設けたものである。エジェクタ取付部140bは、ボルト110aにより、エジェクタ110と共に下ケース146に共締めされるために設けられている。
As shown in FIG. 5, the fixing
前記押圧部材142は、濾過部材134を空気排出口126に密着させるための部材(濾過部材保持手段)であり、係止部142aと濾過部材保持部142bと濾過部材圧縮部142cとを備えている。係止部142aは、濾過部材保持部142bに対して垂直に曲げられた先端部分であり、図5、6に示す如く、L字型を有している。係止部142aのL型の先端は、図6に示す如く、下ケース146に設けられた濾過部材取付孔146aの内側に挿入される。
The pressing
濾過部材保持部142bは、多数の孔を有している。その孔はエジェクタ110に設けられた空気排出口126から排出される圧縮空気の圧力損失を最小限に抑えるために、少なくとも空気排出口126の軸上に開口を有するものである。そして、濾過部材保持部142bは、ボルト144が遊嵌される孔を有する。この孔を介して、押圧部材142がボルト144により、固定板140の係合部140aに取り付けられる。
The filter
濾過部材圧縮部142cは、濾過部材保持部142bから垂直に曲げられた先端部分であり、押圧部材142において係止部142aの対称位置の端部である。濾過部材圧縮部142cの長さは、濾過部材134の厚みdよりも短いDである。そのため、ボルト144で、固定板140に押圧部材142を距離Dで取り付けると、濾過部材134が圧縮される。すると、ブラケット136に設けた空気排出口126に濾過部材134が密着させられる。同時に、濾過部材134の復元力により、下ケース146の濾過部材取付孔146aの内側に挿入された押圧部材142の係止部142aの先端が、圧接されて止着されることとなる。即ち、濾過部材134は押圧部材142の取り付けにより、空気排出口126に外部から密着させられることとなる。なお、ボルト144は、例えば六角ボルト2本を用いることができる。
The filtration
次に、本実施形態の動作について、図4の本実施形態のエア回路図を用いて説明する。 Next, the operation of this embodiment will be described using the air circuit diagram of this embodiment shown in FIG.
最初に、真空吸引口132に真空を発生させる場合について説明する。空気供給口112より導入された圧縮空気は、電磁弁116を閉じた状態で電磁弁114が開くと、ポペット弁118が開く。そして空気供給口112より導入された圧縮空気は、ポペット弁118を通過し、制御弁122と消音器124と濾過部材134を通過して真空発生装置100の外部へ排出される。このとき、真空吸引口132から制御弁122に至る流路においては、制御弁122の作用により真空が発生する。その真空状態は真空吸引口132に導かれる。真空吸引孔口132より異物が吸引された場合には内部フィルタ130により除去される。このときの真空状態は、真空センサ128で計測することができる。
First, a case where a vacuum is generated at the
従って、真空吸引口132に吸着パッドを配管し、前記真空状態とすることにより吸着パッドにワークを吸着させてワークの搬送、あるいはワークの固定をすることができる。
Therefore, a suction pad is piped to the
次に、真空吸引口132の真空破壊時について説明する。これは、真空状態で吸着したワークを開放する時に行われる。電磁弁114を閉じて、空気供給口112より導入される圧縮空気を遮断する。このとき制御弁122から真空吸引口132、さらにはワークまでの流路は真空状態であるから、制御弁122、消音器124、濾過部材134の流路においては吸引力が生じ、真空発生装置100の外部から空気が吸引される。これにより、真空状態は解除されて大気圧となるから、ワークは吸着パッドから開放される。なお、真空発生装置100の最外部には濾過部材134が設けられているため、真空発生装置100の外部の大気中に埃や金属の粉末等が漂っていても真空発生装置100内の消音器124に、異物が付着することはない。
Next, the vacuum break of the
即ち、図6で示す如く、消音器124を通過した後の圧縮空気の流路に配置される濾過部材134と、濾過部材134を空気排出口126に密着させる押圧部材142を有するために、エジェクタ110の外部の大気中に漂っている埃や金属の粉末等の異物が、真空破壊時に消音器124に直接吸入されることはなく、必ず濾過部材134を通過することとなるので、濾過部材134は異物を捕捉することができる。又、濾過部材134は消音器124の後段に配置されているので、消音器124を分解することなく、濾過部材134を容易に交換することができ、消音器124の交換や洗浄をするメンテナンスサイクルを長くすることができる。
That is, as shown in FIG. 6, the ejector has the
このようにして、真空発生装置100においては、本実施形態で用いたエジェクタ110を長期間使用しても、エジェクタ110の外部の大気中に漂っている埃や金属の粉末等の異物をエジェクタ110へ吸入することを防止できる。そして、消音器124の交換を頻繁に行う必要もなくなり、メンテナンスサイクルを長くすることができる。更に濾過部材134は取り外し洗浄を行うことができるので、濾過部材134の再利用を容易に行うことができる。
In this way, in the
更に、濾過部材134は、切り欠き部134aを設けているため、濾過部材134のボルト144による巻き込みがなく、ボルト144での押圧部材142の取り付け取り外しが容易である。又、押圧部材142の係止部142aの先端が下ケース146の濾過部材取付孔146aの内側に止着されて、2本のボルト144のみで濾過部材134は空気排出口126に密着させられているため、濾過部材134の取り付け取り外しは、極めて容易に行うことができる。すなわち、メンテナンス作業性に優れている。
Furthermore, since the
又、押圧部材142は、少なくとも空気排出口126の軸上に開口を有することや、消音器124の目を通常よりも粗くすることができることや、濾過部材134がオープンセル構造を有していることで、圧縮しても圧力損失の上昇を防止できることなどにより、消音器124での圧力損失を最小とすると共に、エジェクタ110に設けられた空気排出口126から排出される圧縮空気の圧力損失を最小限に抑えることができ、エジェクタ110で発生する真空は高効率として、且つ、高い真空状態とすることができる。
Further, the pressing
又、濾過部材圧縮部142cの長さDは、濾過部材134の厚みdよりも短い。そのため、ボルト144で、固定板140に押圧部材142を距離Dで取り付けると、濾過部材134が圧縮されるので、ブラケット136に設けた空気排出口126に濾過部材134を容易に密着させることができる。また、その距離Dは濾過保持部材圧縮部142cの長さであり、濾過部材134を交換しても安定して再現できるため、濾過部材134による圧力損失を一定に保つことができ、エジェクタ110での発生する真空度を安定して発生させることができる。
In addition, the length D of the filtration
本実施形態においては、濾過部材134をエジェクタ110のブラケット136の外側に設けたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、消音器124とブラケット136との間に濾過部材134を配置させて、ブラケット136自身を濾過部材保持手段としても構わない。その場合には、真空発生装置100をより小型にすることが可能である。但し、本実施形態においては濾過部材134をエジェクタ110のブラケット136の外側に設けることによって、1つである押圧部材142を外すことにより4つのエジェクタ式の真空発生機構に設けられたそれぞれの空気排出口126の外側の濾過部材134を一度に取り替えることができるため、よりメンテナンス作業性に優れたものとなる。
In the present embodiment, the filtering
又、本実施形態においては、押圧部材142は図1、5に示す如く4つ或いは5つの孔を有しているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば押圧部材142の全面が開口となる金属メッシュで構成してもよい。
Further, in this embodiment, the pressing
又、固定板140は必ずしも必要な訳ではない。エジェクタ110に押圧部材142を取り付けることができる孔等を有していればそれを利用することができるのは明らかである。又、濾過部材134をブラケット136の内側に配置させれば、押圧部材142を必要としないのは明らかである。
Further, the fixing
又、本実施形態においてエジェクタ式の真空発生機構は4つからなるものをエジェクタ110として用いたが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、エジェクタ式の真空発生機構が1つ以上で、本発明を適用できるのは明らかである。
In the present embodiment, the ejector type vacuum generation mechanism having four ejectors is used as the
又、本実施形態において、消音器124は、その消音機能を優先しフィルタ機能を低減させたものであるが、これに限られるものではない。例えばフィルタ機能を強化したフィルタ付の消音器124であっても本発明はその効果を有する。本発明の濾過部材134をエジェクタ110の外部に密着させることによって、エジェクタ110内部に設けられた消音器124のフィルタ部に吸着される異物は少なくなり、エジェクタ110を分解する手間を低減することができ、メンテナンスサイクルを長くすることができるからである。
Further, in the present embodiment, the
又、本実施形態においては濾過部材134は、ポリウレタン製のものとしたがこれに限られるものではない。弾力性のある多孔性樹脂で、望ましくは、水や中性洗剤で洗浄が可能であるかぎり、目の細かさや厚みを適時設計して使用することができる。又、その厚みdを約10mmとしたがこれに限られるものではない。
In the present embodiment, the filtering
100…真空発生装置
110…エジェクタ(エジェクタ式真空発生機構)
110a、136a、144…ボルト
111…マニホールド
112…空気供給口
114、116…電磁弁
124…消音器
126…空気排出口
132…真空吸引口
134…濾過部材
134a…切り欠き部
136…ブラケット
140…固定板
140a…係合部
140b…エジェクタ取付部
142…押圧部材
142a…係止部
142b…濾過部材保持部
142c…濾過部材圧縮部
146…下ケース
146a…濾過部材取付孔
148…上ケース
DESCRIPTION OF
110a, 136a, 144 ... bolt 111 ... manifold 112 ...
Claims (1)
前記静音手段を通過した後の圧縮空気の流路に脱着可能に配置される濾過部材と、
該濾過部材と別体とされ該濾過部材を圧縮して前記空気排出口に密着させる脱着可能な濾過部材保持手段と、
を有することを特徴とする真空発生装置。 An air supply port for introducing compressed air, a switching means for switching the flow of the compressed air, a vacuum suction port for introducing a vacuum state generated by the switching means, and compressed air for discharging the vacuum state A vacuum generating mechanism comprising: an air discharge port; and a silent unit that is provided in a front stage of the air discharge port and that reduces exhaust noise when the compressed air is discharged;
A filtration member that is detachably disposed in the flow path of the compressed air after passing through the silent means;
Filtrate and over member and the separate and are removable filter member holding means is brought into close contact with the air discharge opening by compressing the filtering member,
A vacuum generator characterized by comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007268909A JP5174418B2 (en) | 2007-10-16 | 2007-10-16 | Vacuum generator |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007268909A JP5174418B2 (en) | 2007-10-16 | 2007-10-16 | Vacuum generator |
Publications (2)
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