JP2003222100A - Vacuum generator - Google Patents

Vacuum generator

Info

Publication number
JP2003222100A
JP2003222100A JP2003028759A JP2003028759A JP2003222100A JP 2003222100 A JP2003222100 A JP 2003222100A JP 2003028759 A JP2003028759 A JP 2003028759A JP 2003028759 A JP2003028759 A JP 2003028759A JP 2003222100 A JP2003222100 A JP 2003222100A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vacuum
cylinder chamber
flow path
end side
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003028759A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomio Hama
富夫 濱
Kiyoyasu Yamazaki
清康 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Pisco Co Ltd
Original Assignee
Nihon Pisco Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Pisco Co Ltd filed Critical Nihon Pisco Co Ltd
Priority to JP2003028759A priority Critical patent/JP2003222100A/en
Publication of JP2003222100A publication Critical patent/JP2003222100A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum generator, in which generation of vacuum is favorably maintained by a vacuum valve and power consumption of a valve mechanism for controlling supply of compressed air to the vacuum valve is decreased. <P>SOLUTION: A main body 10 of the vacuum generator has a compressed-air supply port 12 and a vacuum port 18. An opening 30 communicating with a vacuum port 18 is provided between a nozzle 26 and a diffuser 28. when high pressure fluid is supplied, a vacuum valve 22 produces negative pressure in the vacuum port 18 by generating negative pressure in the vicinity of the opening 30. A main flow-path 36 allows the vacuum valve 22 to communicate with the port 12. A 2nd cylinder chamber 40 is provided in the intermediate part of the main flow-path 36. An input port 42 allows the port 12 to communicate with the cylinder chamber 40. A communication port 44 allows the cylinder chamber 44 communicate with the vacuum valve 22. A main valve element 46 is provided axially slidably in the cylinder chamber 40. A first control flow- path 48 communicates with the other end of the cylinder chamber 40. A second control flow-path 100 communicates with one end of the cylinder chamber 40. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は真空発生器に関す
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a vacuum generator.

【0002】[0002]

【従来の技術】背景技術として、図6および図7に示す
ような真空発生器がある。本体110には、高圧空気供
給ポート112、真空ポート118が設けられていると
共に、真空発生電磁弁114、および真空破壊電磁弁1
16が装着されている。また、本体110内には、真空
バルブ120、切替弁機構122、破壊エア調整部12
4、真空ポート側フィルタ部126が組み込まれてい
る。真空バルブ118は、軸線方向に延びる流体の流路
128を有し、その流路128の上流側に流路を絞るノ
ズル部130が形成され、そのノズル部130よりも流
路124の下流側に流路を拡大するデェフューザ部13
2が形成されている。ノズル部130とデェフューザ部
132の間に側方に開口する開口部134が設けられ、
前記流路128へ一端側から高圧流体が供給されること
で、その開口部134近傍に負圧を発生させることがで
きる。真空バルブ120が挿入されているシリンダ室の
側壁には開口が形成されており、その開口にはフィルタ
・・が装着されている。そのフィルタ136を介して真
空バルブ120の流路128を通過した空気が排出され
る。高圧空気供給ポート112から真空バルブ120へ
連通する圧空供給流路138は真空発生電磁弁114に
よって開閉可能に設けられている。
2. Description of the Related Art As a background art, there is a vacuum generator as shown in FIGS. The main body 110 is provided with a high pressure air supply port 112, a vacuum port 118, a vacuum generating solenoid valve 114, and a vacuum breaking solenoid valve 1.
16 is attached. Further, in the main body 110, the vacuum valve 120, the switching valve mechanism 122, the breaking air adjusting unit 12
4. The vacuum port side filter unit 126 is incorporated. The vacuum valve 118 has a fluid passage 128 extending in the axial direction, a nozzle portion 130 for narrowing the passage is formed on the upstream side of the passage 128, and the nozzle portion 130 is provided on the downstream side of the passage 124. Diffuser part 13 for expanding the flow path
2 is formed. An opening portion 134 that opens laterally is provided between the nozzle portion 130 and the diffuser portion 132,
By supplying the high-pressure fluid to the flow path 128 from one end side, a negative pressure can be generated in the vicinity of the opening 134. An opening is formed in the side wall of the cylinder chamber into which the vacuum valve 120 is inserted, and a filter is attached to the opening. The air that has passed through the flow path 128 of the vacuum valve 120 is discharged through the filter 136. The compressed air supply passage 138 communicating from the high pressure air supply port 112 to the vacuum valve 120 is provided so as to be opened and closed by the vacuum generation electromagnetic valve 114.

【0003】切替弁機構122は、シリンダ室140に
切替弁体142が軸線方向に摺動可能に挿入されてお
り、スプリング144によってシリンダ室140の一端
側へ付勢されている。シリンダ室140の一端側には、
高圧空気供給ポート122から連通路146が連通され
ており、この連通路146も真空発生電磁弁114によ
って圧空供給流路138と同様に開閉される。また、高
圧空気供給ポート112は真空破壊電磁弁116によっ
て開閉される真空破壊通路148に連通されている。真
空破壊通路148は、前記切替弁体142に挿通された
細管150および前記シリンダ室140の他端側の部位
を含み、シリンダ室140の側壁に設けられた開口通路
151を介して真空ポート側フィルタ部126に連通し
ている。細管150のシリンダ室140内にある開口に
は、ニードル152が進退可能に挿入されており、真空
破壊通路148を流れる空気流量を調整することができ
る。
In the switching valve mechanism 122, a switching valve body 142 is axially slidably inserted into a cylinder chamber 140, and is urged toward one end of the cylinder chamber 140 by a spring 144. At one end of the cylinder chamber 140,
A communication passage 146 communicates with the high-pressure air supply port 122, and this communication passage 146 is also opened / closed by the vacuum generating electromagnetic valve 114, similarly to the compressed air supply passage 138. Further, the high-pressure air supply port 112 is connected to a vacuum break passage 148 that is opened and closed by a vacuum break solenoid valve 116. The vacuum break passage 148 includes a thin tube 150 inserted into the switching valve body 142 and a portion on the other end side of the cylinder chamber 140, and a vacuum port side filter is provided via an opening passage 151 provided in a side wall of the cylinder chamber 140. It communicates with the part 126. A needle 152 is inserted in an opening in the cylinder chamber 140 of the thin tube 150 so as to be able to move forward and backward, and the flow rate of air flowing through the vacuum break passage 148 can be adjusted.

【0004】連通路146および圧空供給流路138が
真空発生電磁弁112によって連通した際には、図7に
示すように、圧空がシリンダ室140の一端側に供給さ
れ、切替弁体142が他端側へ移動されるから、前記真
空破壊通路148が閉塞されると共に、真空バルブ12
0によって真空が発生する。この際には真空破壊電磁弁
116によっても真空破壊通路148は閉塞されてい
る。また、連通路146および圧空供給流路138が真
空発生電磁弁112によって閉塞され、真空破壊通路1
48が真空破壊電磁弁116によって連通した際には、
図8に示すように、真空バルブ120による真空の発生
が停止すると共に、破壊空気が真空ポート側フィルタ部
126を通過して真空ポート118に供給され、真空ポ
ート118の真空が破壊される。この際にはシリンダ室
140が切替弁体142によって一端側で閉塞されてお
り、破壊空気は真空ポート118側へ流通しないように
なっている。
When the communication passage 146 and the compressed air supply passage 138 are communicated with each other by the vacuum generating solenoid valve 112, compressed air is supplied to one end of the cylinder chamber 140 and the switching valve body 142 is connected to the other, as shown in FIG. Since it is moved to the end side, the vacuum break passage 148 is closed and the vacuum valve 12
Zero creates a vacuum. At this time, the vacuum breaking electromagnetic valve 116 also closes the vacuum breaking passage 148. Further, the communication passage 146 and the compressed air supply passage 138 are closed by the vacuum generating solenoid valve 112, and the vacuum break passage 1
When 48 communicates with the vacuum breaking solenoid valve 116,
As shown in FIG. 8, the generation of the vacuum by the vacuum valve 120 is stopped, and the breaking air is supplied to the vacuum port 118 through the vacuum port side filter section 126, and the vacuum of the vacuum port 118 is broken. At this time, the cylinder chamber 140 is closed on one end side by the switching valve body 142, so that the break air does not flow to the vacuum port 118 side.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
真空発生器では、真空バルブ120によって真空を発生
させる際には真空発生電磁弁114が常に開いていなけ
ればならない。すなわち、真空発生電磁弁114へ常に
通電してソレノイドを作動させている必要があり、電力
を浪費してしまうという課題があった。
However, in the above vacuum generator, the vacuum generating solenoid valve 114 must be always open when the vacuum is generated by the vacuum valve 120. That is, it is necessary to constantly energize the vacuum generating solenoid valve 114 to operate the solenoid, and there is a problem that power is wasted.

【0006】そこで、本発明の目的は、真空バルブによ
る真空発生を好適に維持することができると共に、真空
バルブへの圧空供給を制御するバルブ機構の消費電力を
低減できる真空発生器を提供することにある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a vacuum generator capable of suitably maintaining the vacuum generation by the vacuum valve and reducing the power consumption of the valve mechanism for controlling the pneumatic supply to the vacuum valve. It is in.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するに次の構成を備える。すなわち、本発明は、高
圧流体源に連通される圧空供給ポートおよび真空が発生
される真空ポートが設けられた本体と、該本体内に設け
られ、軸線方向に延びる流体の流路を有し、該流路の一
端側に位置される部位が流路を絞るノズル部に形成さ
れ、該ノズル部よりも流路の下流側となる他端側に位置
される部位が流路を拡大するデェフューザ部に形成され
ると共に、前記ノズル部と前記デェフューザ部の間に側
方に開口して前記真空ポートに連通する開口部が設けら
れ、前記流路へ一端側から高圧流体が供給されることで
該開口部近傍に負圧を発生させて前記真空ポートを負圧
にする真空バルブと、前記真空バルブと前記圧空供給ポ
ートを連通するメイン流路と、該メイン流路の中途部に
設けられた主流路シリンダ室と、該主流路シリンダ室の
側壁に開口して設けられ、前記圧空供給ポートと主流路
シリンダ室とを連通する入力ポート部と、該主流路シリ
ンダ室の側壁に開口して設けられ、主流路シリンダ室と
前記真空バルブとを連通する連通ポート部と、該主流路
シリンダ室内で軸線方向へ摺動可能に形成され、主流路
シリンダ室の一端側に移動した際には前記入力ポート部
と前記連通ポート部とを連通させ、他端側に移動した際
には前記入力ポート部と前記連通ポート部との連通を遮
断するメイン弁体と、前記主流路シリンダ室の他端側に
連通し、メイン弁体を一端側へ移動させるべく高圧流体
を主流路シリンダ室の他端側に導入する第1制御流路
と、前記主流路シリンダ室の一端側に連通し、メイン弁
体を他端側へ移動させるべく高圧流体を主流路シリンダ
室の一端側に導入する第2制御流路とを具備する。
The present inventor has the following structure to achieve the above object. That is, the present invention has a body provided with a compressed air supply port communicating with a high-pressure fluid source and a vacuum port for generating a vacuum, and a fluid passage provided in the body and extending in the axial direction, A portion located on one end side of the flow passage is formed in a nozzle portion that narrows the flow passage, and a portion located on the other end side that is on the downstream side of the flow passage from the nozzle portion expands the flow passage portion. And an opening portion that is opened laterally and communicates with the vacuum port is provided between the nozzle portion and the diffuser portion, and a high-pressure fluid is supplied to the flow passage from one end side. A vacuum valve for generating a negative pressure near the opening to make the vacuum port a negative pressure, a main flow path connecting the vacuum valve and the compressed air supply port, and a main flow provided in the middle of the main flow path. Passage cylinder chamber and the main passage cylinder An input port portion opened to the side wall of the main flow passage cylinder chamber for communicating the compressed air supply port with the main flow passage cylinder chamber; and a main flow passage cylinder chamber and the vacuum valve opened to the side wall of the main flow passage cylinder chamber. Is formed so as to be slidable in the axial direction within the main flow channel cylinder chamber, and when the main port cylinder chamber is moved to one end side, the input port unit and the communication port unit are communicated with each other. , The main valve body that blocks the communication between the input port section and the communication port section when moved to the other end side and the other end side of the main flow passage cylinder chamber, and moves the main valve body to the one end side The high pressure fluid is communicated with the first control flow path for introducing the high pressure fluid to the other end side of the main flow path cylinder chamber to move it, and to the one end side of the main flow path cylinder chamber to move the main valve body to the other end side. Guide to one end of main flow path cylinder chamber ; And a second control flow path.

【0008】また、前記真空ポートと前記高圧流体源と
を連通する真空破壊用流路と、該真空破壊用流路の中途
部に配され、真空ポートへ高圧流体の供給を選択的に行
い、真空ポートへ高圧流体を供給することで真空ポート
の真空を破壊するよう、真空破壊用流路を開閉する破壊
バルブとを具備することで、好適に真空発生と真空破壊
とを行うことができる。
[0008] Further, a vacuum breaking flow path that connects the vacuum port and the high pressure fluid source, and a vacuum breaking flow path, which is arranged in the middle of the vacuum breaking flow path, selectively supplies the high pressure fluid to the vacuum port, Since a high-pressure fluid is supplied to the vacuum port to break the vacuum in the vacuum port, a break valve that opens and closes the vacuum break flow path is provided, so that vacuum generation and vacuum break can be suitably performed.

【0009】また、前記破壊バルブが、前記本体内に設
けられた破壊流路シリンダ室と、該破壊流路シリンダ室
内で軸線方向へ摺動可能に形成され、破壊流路シリンダ
室の一端側に移動した際には前記真空破壊用流路を連通
させ、他端側に移動した際には真空破壊用流路を遮断す
る摺動弁体と、前記破壊流路シリンダ室の他端側に連通
し、摺動弁体を一端側へ移動させるべく高圧流体を破壊
流路シリンダ室の他端側に導入する破壊空気制御用の流
路と、前記破壊空気制御用の流路を介して破壊流路シリ
ンダ室の他端側に高圧流体が供給された際には摺動弁体
が一端側に移動することを許容し、破壊流路シリンダ室
の他端側に高圧流体が供給されないときには摺動弁体を
他端側に位置するように付勢する付勢部材とを備え、前
記破壊流路シリンダ室の他端側と前記主流路シリンダ室
の一端側に高圧流体を同時に導入可能に、前記破壊空気
制御用の流路と前記第2制御流路とが連通されているこ
とで、真空発生の停止と真空破壊を同時に行うことがで
き、真空の破壊作用をシャープに得ることができる。
Further, the breaking valve is formed so as to be slidable in the axial direction in the breaking passage cylinder chamber provided in the main body, and is provided at one end side of the breaking passage cylinder chamber. When it moves, it communicates with the vacuum break flow passage, and when it moves to the other end side, it communicates with the sliding valve body that shuts off the vacuum break flow passage and the other end side of the break flow passage cylinder chamber. Then, a break flow is introduced through a break air control flow path for introducing high-pressure fluid to the other end side of the break flow passage cylinder chamber to move the sliding valve body to one end side, and a break flow air control flow path. Allows the sliding valve element to move to one end when high pressure fluid is supplied to the other end of the passage cylinder chamber, and slides when high pressure fluid is not supplied to the other end of the breakage passage cylinder chamber. An urging member for urging the valve body to be positioned at the other end side, Since the high pressure fluid can be simultaneously introduced into the other end side of the chamber and the one end side of the main flow path cylinder chamber, the break air control flow path and the second control flow path are in communication with each other, so that a vacuum is generated. Stopping and vacuum breaking can be performed at the same time, and the vacuum breaking action can be sharply obtained.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる好適な実施
例を添付図面と共に詳細に説明する。図1は本発明にか
かる真空発生器の一実施例の主要部を示す断面図であ
る。10は本体であり、一端側に高圧流体源に連通され
る圧空供給ポート12が設けられている。14は第1シ
リンダ室であり、本体10内に形成され、一端側14a
が高圧流体源に連通されるように後述する第2シリンダ
室40を介して圧空供給ポート12に連通されている。
また、第1シリンダ室14の他端側14bは開放してお
り、その他端側14bの開放部は消音部16となってい
る。消音部16には複数の消音用フィルタ16a、16
b、16c・・・が配設されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a main part of an embodiment of a vacuum generator according to the present invention. Reference numeral 10 is a main body, and a compressed air supply port 12 that communicates with a high pressure fluid source is provided at one end side. Reference numeral 14 denotes a first cylinder chamber, which is formed inside the main body 10 and has one end side 14a.
Is communicated with the compressed air supply port 12 via a second cylinder chamber 40 described later so as to communicate with the high pressure fluid source.
Further, the other end side 14b of the first cylinder chamber 14 is open, and the open end of the other end side 14b is a muffling section 16. The muffling section 16 includes a plurality of muffling filters 16 a, 16 a.
b, 16c ... Are provided.

【0011】18は真空ポートであり、本体10の他端
側に設けられている。20は負圧ポート部であり、真空
ポート18に連通すべく、第1シリンダ室14の側壁中
途部に開口されて設けられている。負圧ポート部20と
真空ポート18との間は通路空間19になっており、真
空ポート18側から第1シリンダ室14側へ流通する空
気が通過するように、円筒状のフィルタ21が配設され
ている。
A vacuum port 18 is provided at the other end of the main body 10. Reference numeral 20 denotes a negative pressure port portion, which is provided so as to communicate with the vacuum port 18 by being opened in a middle portion of the side wall of the first cylinder chamber 14. A passage space 19 is provided between the negative pressure port portion 20 and the vacuum port 18, and a cylindrical filter 21 is arranged so that air flowing from the vacuum port 18 side to the first cylinder chamber 14 side passes through. Has been done.

【0012】22は真空バルブであり、第1シリンダ室
14内で軸線方向へ摺動可能に設けられ、軸線方向に延
びる流体の流路24を有する。流路24の第1シリンダ
室14の一端側に位置される部位が流路24を絞るノズ
ル部26に形成されている。そのノズル部26よりも流
路24の下流側となる第1シリンダ室14の他端側に位
置される部位が流路24を拡大するデェフューザ部28
に形成されている。また、ノズル部26とデェフューザ
部28の間に側方に開口する開口部30が設けられい
る。第1シリンダ室14の他端側14bに移動した際に
は開口部30と負圧ポート部20とを連通させると共に
前記流路24へ一端側から高圧流体が供給されることで
開口部30近傍に負圧を発生させる。なお、この負圧を
発生する原理は、空気の粘性を利用するものであり、エ
ジェクタ効果として周知の技術である。
Reference numeral 22 denotes a vacuum valve, which is slidably provided in the first cylinder chamber 14 in the axial direction and has a fluid passage 24 extending in the axial direction. A portion of the flow passage 24 located on one end side of the first cylinder chamber 14 is formed in the nozzle portion 26 that narrows the flow passage 24. A portion located on the other end side of the first cylinder chamber 14 on the downstream side of the flow path 24 with respect to the nozzle portion 26 expands the flow path 24.
Is formed in. Further, an opening 30 that opens laterally is provided between the nozzle portion 26 and the diffuser portion 28. When the other end side 14b of the first cylinder chamber 14 is moved, the opening 30 and the negative pressure port 20 are communicated with each other, and the high pressure fluid is supplied to the flow path 24 from one end side, so that the vicinity of the opening 30 is provided. Generate a negative pressure. The principle of generating this negative pressure utilizes the viscosity of air, which is a well-known technique as an ejector effect.

【0013】また、この真空バルブ22は、一端側14
aに移動した際には開口部30と負圧ポート部20との
連通を遮断する。すなわち、図5に示すように、第1シ
リンダ室14の負圧ポート部20よりも一端側の内周に
形成された斜面15にデェフューザ部28の外周に嵌め
られた’O’−リング32が当接し、開口部30と負圧
ポート部20との連通を閉塞するのである。27はシー
ルリングであり、ノズル部26の外周に嵌められてい
る。また、29もシールリングであり、デェフューザ部
28の外周に嵌められている。これらのシールリング2
7、29によって真空バルブ22が気密状態で第1シリ
ンダ室14内で軸線方向へ摺動できる。第1シリンダ室
14の一端側14aに高圧空気が供給されるとシールリ
ング27が好適に気密しているため、真空バルブ22が
その高圧空気の圧力によって好適に押圧されて他端側1
4b側へ移動されるのである。また、シールリング29
によって真空ポート18側が負圧になった際に空気が進
入しないように好適に気密している。
Further, the vacuum valve 22 is provided on the one end side 14
When it moves to a, the communication between the opening 30 and the negative pressure port 20 is blocked. That is, as shown in FIG. 5, the'O'-ring 32 fitted to the outer periphery of the diffuser portion 28 is formed on the slope 15 formed on the inner periphery on the one end side of the negative pressure port portion 20 of the first cylinder chamber 14. It abuts and closes the communication between the opening 30 and the negative pressure port 20. A seal ring 27 is fitted on the outer periphery of the nozzle portion 26. Also, 29 is a seal ring, which is fitted on the outer periphery of the diffuser portion 28. These seal rings 2
7 and 29, the vacuum valve 22 can slide in the first cylinder chamber 14 in the axial direction in an airtight state. When high-pressure air is supplied to the one end side 14a of the first cylinder chamber 14, the seal ring 27 is preferably airtight, so that the vacuum valve 22 is preferably pressed by the pressure of the high-pressure air and the other end side 1a.
It is moved to the 4b side. In addition, the seal ring 29
Thus, air is preferably airtight so that air does not enter when the vacuum port 18 side has a negative pressure.

【0014】34は第1スプリングであり、第1シリン
ダ室14の一端側に高圧流体が供給された際には真空バ
ルブ22が第1シリンダ室14の他端側14bに移動す
ることを許容し、高圧流体が供給されない際には真空バ
ルブ22を第1シリンダ室14の一端側14aに位置す
るように付勢する。すなわち、第1スプリング34が、
第1シリンダ室14内に形成された内周フランジ部14
cと、デェフューザ部28の外周に形成された外周フラ
ンジ部28aとの間に弾装されている。なお、第1スプ
リング34の取付位置はその付勢力の方向が同一であれ
ば、本実施例に限られないのは勿論である。
Reference numeral 34 denotes a first spring, which allows the vacuum valve 22 to move to the other end side 14b of the first cylinder chamber 14 when a high pressure fluid is supplied to one end side of the first cylinder chamber 14. When the high-pressure fluid is not supplied, the vacuum valve 22 is urged to be positioned at the one end side 14a of the first cylinder chamber 14. That is, the first spring 34 is
Inner peripheral flange portion 14 formed in the first cylinder chamber 14
It is mounted between c and an outer peripheral flange portion 28a formed on the outer periphery of the diffuser portion 28. Of course, the mounting position of the first spring 34 is not limited to this embodiment as long as the direction of the urging force is the same.

【0015】36はメイン流路であり、第1シリンダ室
14と高圧流体源とを連通する。38はメインバルブで
あり、メイン流路36の中途部に配され、第1シリンダ
室14へ高圧流体の供給を選択的に行うよう、メイン流
路36を開閉する。メインバルブ38は、本体10内に
設けられた主流路シリンダ室である第2シリンダ室40
と、第2シリンダ室40の側壁に開口して設けられ、圧
空供給ポート12を介して高圧流体源と第2シリンダ室
40とを連通する入力ポート部42と、その第2シリン
ダ室40の側壁に開口して設けられ、第2シリンダ室4
0と第1シリンダ室14とを連通する連通ポート部44
とを備える。また、メインバルブ38には、第2シリン
ダ室40内で軸線方向へ摺動可能に形成され、第2シリ
ンダ室40の一端側に移動した際には入力ポート部42
と連通ポート部44とを連通させ、他端側に移動した際
には入力ポート部42と連通ポート部44との連通を遮
断するメイン弁体46を備える。メイン弁体46は、ス
プール状に形成されて、中途部に小径部46aが形成さ
れている。この小径部46aによって、第2シリンダ室
40の一端側に移動した際に入力ポート部42と連通ポ
ート部44とを連通させる。
Reference numeral 36 denotes a main flow passage, which connects the first cylinder chamber 14 and the high pressure fluid source. Reference numeral 38 denotes a main valve, which is arranged in the middle of the main passage 36 and opens and closes the main passage 36 so as to selectively supply the high-pressure fluid to the first cylinder chamber 14. The main valve 38 includes a second cylinder chamber 40, which is a main channel cylinder chamber provided in the main body 10.
And an input port portion 42 that is provided by opening on a side wall of the second cylinder chamber 40 and that connects the high pressure fluid source and the second cylinder chamber 40 via the compressed air supply port 12, and a side wall of the second cylinder chamber 40. Is opened in the second cylinder chamber 4
0 and the first cylinder chamber 14 for communicating port portion 44
With. Further, the main valve 38 is formed so as to be slidable in the axial direction within the second cylinder chamber 40, and when moved to one end side of the second cylinder chamber 40, the input port portion 42 is formed.
And a communication port portion 44, and a main valve body 46 that shuts off communication between the input port portion 42 and the communication port portion 44 when moved to the other end side. The main valve body 46 is formed in a spool shape, and a small diameter portion 46a is formed in the middle thereof. The small diameter portion 46a allows the input port portion 42 and the communication port portion 44 to communicate with each other when the small diameter portion 46a moves to the one end side of the second cylinder chamber 40.

【0016】48は第1制御流路であり、第2シリンダ
室40の他端側に連通している。この第1制御流路48
は、後述する第1パイロット弁70の出力通路72に接
続されている。第1パイロット弁70から第1制御流路
48を介して第2シリンダ室40の他端側40bに高圧
流体が供給された際には、メイン弁体46が一端側に移
動される。100は第2制御流路であり、第2シリンダ
室40の一端側に連通し、メイン弁体46を他端側へ移
動させるべく高圧流体を第2シリンダ室40の一端側に
導入可能に設けられている。この第2制御流路100
は、後述する第2パイロット弁74の出力通路に接続さ
れている。
Reference numeral 48 is a first control flow path, which communicates with the other end side of the second cylinder chamber 40. This first control channel 48
Is connected to an output passage 72 of the first pilot valve 70 described later. When the high pressure fluid is supplied from the first pilot valve 70 to the other end side 40b of the second cylinder chamber 40 via the first control flow path 48, the main valve body 46 is moved to one end side. Reference numeral 100 denotes a second control flow path, which is connected to one end side of the second cylinder chamber 40 and is provided so that high-pressure fluid can be introduced into one end side of the second cylinder chamber 40 to move the main valve body 46 to the other end side. Has been. This second control flow path 100
Is connected to the output passage of the second pilot valve 74 described later.

【0017】50は破壊バルブであり、真空ポート18
と高圧流体源とを連通する真空破壊用流路52の中途部
に配され、真空ポート18へ高圧流体の供給を選択的に
行うよう、真空破壊用流路52を開閉する。この破壊バ
ルブ50が開き、真空ポート18へ高圧流体が供給され
れば、真空ポート18の真空が破壊する。本実施例で
は、本体内に段付形状に形成された破壊流路シンダ室で
ある第3シリンダ室54と、その第3シリンダ室54内
で軸線方向に摺動可能に段付形状に形成された摺動弁体
56とを備える。摺動弁体56は、第3シリンダ室の一
端側に移動した際(図5に示す状態)には前記真空破壊
用流路を連通させ、他端側に移動した際には(図1に示
す状態)真空破壊用流路を遮断する。また、58は破壊
空気制御用の流路であり、第3シリンダ室54の大径部
の内上底面(第3シリンダ室54の他端側)に開通する
と共に、後述する第2パイロット弁74の出力通路に接
続されている。従って、第2パイロット弁74から、高
圧流体が第3シリンダ室54の他端側へ導入されると、
摺動弁体56が一端側へ移動される。なお、第2パイロ
ット弁の構造は第1パイロット弁70の構造と同一に設
けられている。
Reference numeral 50 is a breaking valve, and the vacuum port 18
And the high-pressure fluid source are communicated with each other, and the vacuum-breaking flow channel 52 is opened and closed so as to selectively supply the high-pressure fluid to the vacuum port 18. When the breaking valve 50 opens and the high-pressure fluid is supplied to the vacuum port 18, the vacuum in the vacuum port 18 breaks. In the present embodiment, a third cylinder chamber 54, which is a fracture channel cinder chamber formed in a stepped shape in the main body, and a stepped shape that is slidable in the axial direction in the third cylinder chamber 54. And a sliding valve body 56. When the sliding valve body 56 moves to one end side of the third cylinder chamber (the state shown in FIG. 5), the sliding valve body 56 communicates with the vacuum breaking flow passage, and when it moves to the other end side (see FIG. 1). (State shown) The flow path for vacuum break is shut off. Reference numeral 58 is a flow path for controlling the breaking air, which opens to the inner upper bottom surface of the large diameter portion of the third cylinder chamber 54 (the other end side of the third cylinder chamber 54) and also has a second pilot valve 74 described later. Is connected to the output passage of. Therefore, when the high pressure fluid is introduced from the second pilot valve 74 to the other end side of the third cylinder chamber 54,
The sliding valve body 56 is moved to the one end side. The structure of the second pilot valve is the same as that of the first pilot valve 70.

【0018】60は第3スプリングであり、摺動弁体5
6を常時は真空破壊用流路52を閉塞するように図1の
図面上において上方に付勢し、高圧流体が第2パイロッ
ト弁74から破壊空気制御用の流路58を介して第3シ
リンダ室54の大径部の上部側(第3シリンダ室54の
他端側)に供給された際には、真空破壊用流路52を開
口するよう、摺動弁体56が下方に移動することを許容
する。すなわち、第3スプリング60は摺動弁体56の
下面と第3シリンダ室54の底面との間に弾装され付勢
部材として作用する。なお、56aは’O’−リングで
あり、摺動弁体56の先端部に嵌められており、これに
よって気密がなされて確実に真空破壊用流路52を閉塞
できる。破壊バルブ50が開口すると、高圧の破壊空気
は真空破壊用流路52を構成する圧空供給ポート12、
入力ポート部42、第2シリンダ室40、ニードル挿入
孔部64、破壊バルブ50および細管62内を通過して
真空ポート18に流入して真空を破壊する。細管62は
内容積が小さいため、流入空気は素早く真空ポート18
に導入でき、真空破壊を好適に行うことができる。な
お、第2シリンダ室40とニードル挿入孔部64とは、
貫通孔68によって連通されている。
Reference numeral 60 denotes a third spring, which is a sliding valve body 5.
6 is normally urged upward in the drawing of FIG. 1 so as to close the vacuum breaking flow passage 52, and the high pressure fluid flows from the second pilot valve 74 through the breaking air controlling flow passage 58 to the third cylinder. When supplied to the upper side of the large diameter portion of the chamber 54 (the other end side of the third cylinder chamber 54), the sliding valve body 56 should move downward so as to open the vacuum breaking flow path 52. Tolerate. That is, the third spring 60 is elastically mounted between the lower surface of the sliding valve body 56 and the bottom surface of the third cylinder chamber 54 to act as a biasing member. Incidentally, 56a is an'O'-ring, which is fitted to the tip of the sliding valve body 56, whereby airtightness is achieved and the vacuum breaking flow path 52 can be reliably closed. When the breaking valve 50 opens, the high-pressure breaking air causes the compressed air supply port 12 that constitutes the vacuum breaking flow path 52,
It passes through the input port portion 42, the second cylinder chamber 40, the needle insertion hole portion 64, the breaking valve 50 and the narrow tube 62 and flows into the vacuum port 18 to break the vacuum. Since the thin tube 62 has a small internal volume, the inflowing air quickly flows into the vacuum port 18
Can be introduced into, and vacuum breaking can be suitably performed. The second cylinder chamber 40 and the needle insertion hole 64 are
The through holes 68 communicate with each other.

【0019】また、本実施例では、破壊空気制御用の流
路58は、前記第2シリンダ室40の一端側40aに連
通する第2制御流路100(図4(a)参照)と連通し
ている。従って、第2パイロット弁74を介して、第3
シリンダ室54の他端側と第2シリンダ室40の一端側
に高圧流体を同時に導入することができる。
Further, in this embodiment, the flow path 58 for controlling the breaking air is connected to the second control flow path 100 (see FIG. 4A) which is connected to the one end side 40a of the second cylinder chamber 40. ing. Therefore, through the second pilot valve 74, the third pilot valve 74
The high-pressure fluid can be simultaneously introduced into the other end side of the cylinder chamber 54 and the one end side of the second cylinder chamber 40.

【0020】66はニードルであり、ニードル挿入孔部
64に挿入されており、先端が大径孔から小径孔に臨む
ように配設されている。このニードル66を軸線方向に
ねじ込み式で移動させることが可能に設けられており、
真空破壊用流路52の開口面積を微調整することができ
る。これによって真空ポート18に供給される破壊空気
の流量を調整でき、真空破壊の速度を好適に調整するこ
とができる。以上の実施例において、摺動部に嵌められ
た’O’−リング、および本体10を構成する部材間の
気密をするために設けられたガスケット類は、図に明ら
かであり、説明を省略する。
Reference numeral 66 denotes a needle, which is inserted into the needle insertion hole portion 64 and is arranged so that its tip faces the small diameter hole from the large diameter hole. It is provided so that this needle 66 can be moved in the axial direction by a screw-in type,
The opening area of the vacuum breaking flow channel 52 can be finely adjusted. As a result, the flow rate of the breaking air supplied to the vacuum port 18 can be adjusted, and the vacuum breaking speed can be adjusted appropriately. In the above embodiments, the'O'-ring fitted to the sliding portion and the gaskets provided for hermetically sealing the members forming the main body 10 are obvious in the drawings, and the description thereof will be omitted. .

【0021】次に第1パイロットバルブ70および第2
パイロットバルブ74の構造と取付状態について図2お
よび図3に基づいて説明する。第1パイロットバルブ7
0および第2パイロットバルブ74は同一構造のものを
利用できるので、一方のみ(第1パイロットバルブ7
0)の構成について詳述する。76は入力通路である。
この入力通路76は図1の実施例の本体10に形成され
た連絡通路69に連通している。連絡通路69は前述し
た真空破壊用流路52と入力通路76を連通するように
開口している。78はソレノイドであり、入力通路76
の中途部に設けられ、その入力通路76を開閉する開閉
弁80を作動させる駆動源として設けられている。82
はプランジャであり、84はコイルである。コイル84
に電通されるとプランジャ82がソレノイド78内に引
き込むように作動する。プランジャ82の先端には、開
閉弁80が固定部材86によって固定されている。プラ
ンジャ82の先端に固定された開閉弁80は、常時はソ
レノイド78の外郭部と固定部材86の間に弾装された
スプリング88の付勢力によって、入力通路76を閉塞
するように付勢されている。具体的には入力通路76の
中途部に設けられた開口76aを開閉弁80で蓋をして
いる。
Next, the first pilot valve 70 and the second
The structure and mounting state of the pilot valve 74 will be described with reference to FIGS. 2 and 3. First pilot valve 7
0 and the second pilot valve 74 can use the same structure, so only one (the first pilot valve 7
The configuration of 0) will be described in detail. Reference numeral 76 is an input passage.
The input passage 76 communicates with a communication passage 69 formed in the main body 10 of the embodiment shown in FIG. The communication passage 69 is open so as to connect the above-mentioned vacuum breaking flow passage 52 and the input passage 76. Reference numeral 78 is a solenoid, and the input passage 76
It is provided as a drive source for activating an on-off valve 80 that opens and closes the input passage 76 provided in the middle part. 82
Is a plunger and 84 is a coil. Coil 84
The plunger 82 operates so as to be drawn into the solenoid 78 when the power is supplied to the solenoid 78. The opening / closing valve 80 is fixed to the tip of the plunger 82 by a fixing member 86. The on-off valve 80 fixed to the tip of the plunger 82 is normally urged to close the input passage 76 by the urging force of a spring 88 elastically mounted between the outer shell of the solenoid 78 and the fixing member 86. There is. Specifically, the opening 76a provided in the middle of the input passage 76 is covered with the opening / closing valve 80.

【0022】90は排気路であり、排気弁92が開口す
ることによって出力通路72と連通可能に設けられてい
ると共に大気に開放している。排気弁92は、開閉弁8
0に対向する位置に、排気路の開口90aを開閉可能に
配されている。また、排気弁92の取付枠材94によっ
て保持されており、その取付枠材92と一体に排気路の
開口90aに接離して、その排気路の開口90aを開閉
する。取付枠体94には、開閉弁80に当接するまで延
設された間隔保持部94aが設けられている。また、排
気弁92は、本体に外側へ突出することを阻止された押
しボタン部材95との間に弾装されたスプリング96の
付勢力によって、常時は排気路の開口90aを塞ぐ方向
へ付勢されている。なお、スプリング96の付勢力は、
スプリング88の付勢力よりも小さく設定されている。
また、押しボタン部材95は、スプリング97の付勢力
に抗して内側へ移動可能に設けられている。この押しボ
タン部材95を内側へ押し込むことで、手動によって、
排気弁92を移動させて排気路の開口90aを塞ぐと共
に、開閉弁80を移動させて入力通路76の開口76a
を開き、出力通路72から圧力空気を出力することがで
きる。
Reference numeral 90 denotes an exhaust passage, which is provided so that it can communicate with the output passage 72 by opening an exhaust valve 92 and is open to the atmosphere. The exhaust valve 92 is the open / close valve 8
The opening 90a of the exhaust passage is arranged so as to be opened and closed at a position facing 0. The exhaust valve 92 is held by a mounting frame member 94, and the mounting frame member 92 is brought into contact with and separated from the exhaust passage opening 90a to open and close the exhaust passage opening 90a. The mounting frame body 94 is provided with a space holding portion 94 a that extends until it comes into contact with the opening / closing valve 80. Further, the exhaust valve 92 is normally urged in the direction of closing the opening 90a of the exhaust passage by the urging force of the spring 96 elastically mounted between the exhaust valve 92 and the push button member 95 which is prevented from projecting outward. Has been done. The biasing force of the spring 96 is
It is set to be smaller than the biasing force of the spring 88.
The push button member 95 is provided so as to be movable inward against the biasing force of the spring 97. By pushing this push button member 95 inward,
The exhaust valve 92 is moved to close the opening 90a of the exhaust passage, and the opening / closing valve 80 is moved to open the opening 76a of the input passage 76.
And the compressed air can be output from the output passage 72.

【0023】従って、ソレノイド78が作動されていな
い際には図2に示すように、スプリング88の付勢力が
スプリング96の付勢力に打ち勝って開口76aを閉塞
すると共に、排気路の開口90aは間隔保持部94aに
よって排気弁92が支持されることによって開口した状
態にある。そして、ソレノイド78が作動された際に
は、スプリング80の付勢力にプランジャ82の作動力
が打ち勝って開閉弁80が移動して開口76aを開口す
ると共に、排気路の開口90aは、スプリング96の付
勢力によって移動した排気弁92によって閉塞された状
態になり、出力通路72から圧力空気を出力することが
できる。
Therefore, when the solenoid 78 is not operated, as shown in FIG. 2, the urging force of the spring 88 overcomes the urging force of the spring 96 to close the opening 76a and the opening 90a of the exhaust passage is spaced apart. Since the exhaust valve 92 is supported by the holding portion 94a, it is in an open state. When the solenoid 78 is actuated, the urging force of the spring 80 is overcome by the actuating force of the plunger 82 to move the opening / closing valve 80 to open the opening 76a, and the opening 90a of the exhaust passage is opened by the spring 96. The exhaust valve 92 moved by the urging force is in a closed state, and compressed air can be output from the output passage 72.

【0024】以上の構成からなる電磁弁であるパイロッ
トバルブが、図3に示すように第1パイロットバルブ7
0、および第2パイロットバルブ74として図1に示す
真空発生装置に固定されている。以上の構成からなる真
空発生器の動作について、図1、図3〜図5に基づいて
以下に説明する。なお、図4の(a)は本実施例の回路
図であり、(b)はそのタイムチャートである。タイム
チャートは第1パイロットバルブ70、および第2パイ
ロットバルブ74の動作と、真空発生、および破壊エア
発生の関係を示している。また、図5は本実施例の真空
破壊の作動状態を示している。先ず、真空を発生してい
る状態を図1に基づいて説明する。第1パイロットバル
ブ70が作動(ON)することによって、第1制御流路
48から第2シリンダ室40の他端側40bに高圧空気
が供給され、メイン弁体46が第2シリンダ室40の一
端側40aに移動される。これにより、高圧流体が第1
シリンダ室14の一端側14aに内に流入し、真空バル
ブ22が第2シリンダ室14の他端側14bに移動する
ことにより、開口部30が負圧ポート部20と連通す
る。そして、真空バルブ22の流路24を空気が通気す
ることによって、開口部30付近に真空が発生し、開口
部30に連通する負圧ポート部20等を介して真空ポー
ト18に真空が発生する。このとき、破壊バルブ50は
閉塞状態になっている。
As shown in FIG. 3, the pilot valve, which is an electromagnetic valve having the above structure, is a first pilot valve 7
0 and the second pilot valve 74 are fixed to the vacuum generator shown in FIG. The operation of the vacuum generator having the above configuration will be described below with reference to FIGS. 1 and 3 to 5. 4A is a circuit diagram of this embodiment, and FIG. 4B is a time chart thereof. The time chart shows the relationship between the operation of the first pilot valve 70 and the second pilot valve 74 and the generation of vacuum and the generation of breaking air. Further, FIG. 5 shows an operating state of vacuum breaking in this embodiment. First, a state in which a vacuum is generated will be described based on FIG. When the first pilot valve 70 is operated (ON), high pressure air is supplied from the first control flow path 48 to the other end side 40b of the second cylinder chamber 40, and the main valve body 46 has one end of the second cylinder chamber 40. Moved to side 40a. This allows the high pressure fluid to
The opening portion 30 communicates with the negative pressure port portion 20 by flowing into the one end side 14 a of the cylinder chamber 14 and moving the vacuum valve 22 to the other end side 14 b of the second cylinder chamber 14. Then, when air flows through the flow path 24 of the vacuum valve 22, a vacuum is generated in the vicinity of the opening 30, and a vacuum is generated in the vacuum port 18 via the negative pressure port 20 communicating with the opening 30. . At this time, the breaking valve 50 is in a closed state.

【0025】次に、上記の状態から第1パイロットバル
ブ70をOFFすると、メイン弁体46は第2シリンダ
室40の一端側40aに移動された状態で維持される。
すなわち、本実施例の動作を示すタイムチャート(図4
(b))のように、第1パイロットバルブ70をパルス
的に作動させることで、メイン弁体46が第2シリンダ
室40の一端側40aに移動した状態を保持するので、
真空発生状態が維持される。第1パイロットバルブ70
の作動を非常に短時間にすることができるので、その消
費電力を低減できる。
Next, when the first pilot valve 70 is turned off from the above state, the main valve body 46 is maintained in a state of being moved to the one end side 40a of the second cylinder chamber 40.
That is, a time chart showing the operation of this embodiment (see FIG.
As in (b)), by operating the first pilot valve 70 in a pulsed manner, the state in which the main valve body 46 has moved to the one end side 40a of the second cylinder chamber 40 is maintained,
The vacuum generation state is maintained. First pilot valve 70
Since the operation of can be performed in a very short time, its power consumption can be reduced.

【0026】次に、真空を破壊する状態を図5に基づい
て説明する。先ず、第1パイロットバルブ70がOFF
の状態で、第2パイロットバルブ74がONの状態とす
る。高圧空気が破壊空気制御用の流路58を介して第3
シリンダ室54に供給され、摺動弁体56が移動して破
壊バルブ50が開く。同時に第2シリンダ室40の一端
側に高圧流体が供給され、メイン弁体46が第2シリン
ダ室40の他端側40bに移動するため、メインバルブ
38が閉じられ、真空バルブ22による真空発生も停止
できる。これは、第2制御流路100が破壊空気制御用
の流路58と連通されており、第2パイロットバルブ7
4を介して高圧流体を同時に導入可能に設けられている
ためである。これにより、第2パイロットバルブ74の
作動により、真空バルブ22の真空発生を停止すること
と、破壊バルブ50の開放による真空破壊を同時に行う
ことができ、真空の破壊作用をシャープに得ることがで
きる。
Next, the state of breaking the vacuum will be described with reference to FIG. First, the first pilot valve 70 is turned off
In this state, the second pilot valve 74 is turned on. The high-pressure air flows through the flow path 58 for controlling the break air to the third
It is supplied to the cylinder chamber 54, the sliding valve body 56 moves, and the breaking valve 50 opens. At the same time, a high-pressure fluid is supplied to one end of the second cylinder chamber 40 and the main valve body 46 moves to the other end 40b of the second cylinder chamber 40, so that the main valve 38 is closed and the vacuum valve 22 also generates a vacuum. You can stop. This is because the second control flow path 100 communicates with the flow path 58 for controlling the break air, and the second pilot valve 7
This is because the high-pressure fluid can be introduced simultaneously via 4. Accordingly, the operation of the second pilot valve 74 can stop the vacuum generation of the vacuum valve 22 and the vacuum breaking by opening the breaking valve 50 at the same time, and the vacuum breaking action can be sharply obtained. .

【0027】このとき、真空バルブ22は、第1スプリ
ング34の付勢力によって第1シリンダ室14の一端側
14aに移動され、開口部30と負圧ポート部20とが
連通しないようにその通路を閉塞するため、破壊空気は
第1シリンダ室14側へ洩れることがない。従って、真
空破壊が効率良く好適になされる。すなわち、高圧空気
の第1シリンダ室14への供給が断たれ、真空バルブ2
2によって真空が発生しなくなると共に、真空バルブ2
2が第1スプリング34の付勢力によって第1シリンダ
室14の一端側14aに移動され、斜面15に’O’−
リング32が当接して開口部30と負圧ポート部20と
が連通しないようにその通路を閉塞する。このように、
本実施例の真空バルブ22は、図4(a)の回路図にも
明らかなように、真空発生機能22aと切換弁22bと
の二つの機能を備えるのである。このように、真空バル
ブ22は、真空を発生する真空発生源となると共に、第
1シリンダ室14内で移動できることで一種の逆止弁の
作用をするため、背景技術のように特別な切換弁機構を
別に設けることなく、好適な作動が可能な真空発生器と
なっている。
At this time, the vacuum valve 22 is moved to the one end side 14a of the first cylinder chamber 14 by the urging force of the first spring 34, and the passage thereof is opened so that the opening 30 and the negative pressure port 20 do not communicate with each other. Since the air is blocked, the break air does not leak to the first cylinder chamber 14 side. Therefore, vacuum breaking is efficiently and suitably performed. That is, the supply of high-pressure air to the first cylinder chamber 14 is cut off, and the vacuum valve 2
No vacuum is generated by 2 and the vacuum valve 2
2 is moved to the one end side 14a of the first cylinder chamber 14 by the urging force of the first spring 34, and the inclined surface 15 is'O'-
The passage is closed so that the ring 32 abuts and the opening 30 and the negative pressure port 20 do not communicate with each other. in this way,
The vacuum valve 22 of the present embodiment has two functions of a vacuum generating function 22a and a switching valve 22b, as is clear from the circuit diagram of FIG. 4 (a). As described above, the vacuum valve 22 serves as a vacuum generation source that generates a vacuum, and also functions as a kind of check valve by being movable in the first cylinder chamber 14, so that it is a special switching valve as in the background art. It is a vacuum generator that can perform suitable operation without separately providing a mechanism.

【0028】以上の実施例では、パイロットバルブとし
て図2で示したような電磁弁を用いているが、開閉弁機
能を有すればこれに限られることがないのは勿論であ
る。また、以上の実施例では、破壊バルブ50を介して
第2パイロットバルブ74によって、真空破壊を制御し
ているが、電磁弁で直接的に制御することも可能であ
る。但し、電磁弁で流路を直接的に開放する場合、構造
が簡単になる反面、流路を大きく開くためには大型の電
磁弁を要したり、消費電力が大きくなるというデメリッ
トがある。以上、本発明につき好適な実施例を挙げて種
々説明してきたが、本発明はこの実施例に限定されるも
のではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改
変を施し得るのは勿論のことである。
In the above embodiment, the solenoid valve as shown in FIG. 2 is used as the pilot valve, but needless to say, it is not limited to this as long as it has an opening / closing valve function. Further, in the above embodiment, the vacuum break is controlled by the second pilot valve 74 via the break valve 50, but it is also possible to directly control by the solenoid valve. However, when the flow path is directly opened by the solenoid valve, the structure is simple, but on the other hand, there is a demerit that a large solenoid valve is required to open the flow path largely and power consumption increases. Although the present invention has been variously described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to these embodiments, and many modifications can be made without departing from the spirit of the invention. That is.

【0029】[0029]

【発明の効果】本願発明にかかる真空発生器によれば、
メインバルブのメイン弁体を主流路シリンダ室の一端側
へ移動させるべく第1制御流路が主流路シリンダ室の他
端側に連通し、メイン弁体を他端側へ移動させるべく第
2制御流路が主流路シリンダ室の一端側に連通してい
る。このため、第1制御流路を介して圧空を主流路シリ
ンダ室の他端側に供給し、一旦メイン弁体を主流路シリ
ンダ室の一端側へ移動させれば、第2制御流路を介して
圧空を主流路シリンダ室の一端側に供給してメイン弁体
を他端側へ移動させるまで、真空発生バルブには連続し
て圧空が供給され、その真空発生状態が維持される。す
なわち、第1制御流路を介して圧空を主流路シリンダ室
の他端側にパルス的に供給すれば、メイン弁体は主流路
シリンダ室の一端側に移動した状態を保持できる。従っ
て、圧空供給を制御するバルブ機構の作動を非常に短時
間にすることができ、その消費電力を低減でき、真空発
生器のランニングコストを著しく低減できるという著効
を奏する。
According to the vacuum generator of the present invention,
The first control flow path communicates with the other end side of the main flow path cylinder chamber to move the main valve body of the main valve to one end side of the main flow path cylinder chamber, and the second control flow moves to the other end side of the main flow path cylinder chamber. The flow passage communicates with one end side of the main flow passage cylinder chamber. Therefore, compressed air is supplied to the other end side of the main flow path cylinder chamber via the first control flow path, and once the main valve body is moved to one end side of the main flow path cylinder chamber, it is passed through the second control flow path. The compressed air is continuously supplied to the vacuum generating valve until the compressed air is supplied to one end side of the main channel cylinder chamber and the main valve body is moved to the other end side, and the vacuum generation state is maintained. That is, if the compressed air is supplied to the other end side of the main flow path cylinder chamber via the first control flow path in a pulsed manner, the main valve body can be maintained in the state of being moved to the one end side of the main flow path cylinder chamber. Therefore, the operation of the valve mechanism for controlling the supply of compressed air can be made very short, the power consumption thereof can be reduced, and the running cost of the vacuum generator can be remarkably reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明にかかる真空発生器の一実施例を示す断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a vacuum generator according to the present invention.

【図2】本発明の真空発生器に利用されるパイロットバ
ルブの一実施例を説明する断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an embodiment of a pilot valve used in the vacuum generator of the present invention.

【図3】本発明にかかる真空発生器の全体構成の一例を
示す正面図である。
FIG. 3 is a front view showing an example of the overall configuration of a vacuum generator according to the present invention.

【図4】図3の真空発生器全体の回路図およびタイムチ
ャートである。
FIG. 4 is a circuit diagram and a time chart of the entire vacuum generator of FIG.

【図5】図1の実施例の真空破壊の作動状態を示す断面
図である。
5 is a cross-sectional view showing an operating state of vacuum breaking of the embodiment of FIG.

【図6】背景技術を説明する断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating background art.

【図7】図6の真空発生器の真空破壊の作動状態を示す
断面図である。
7 is a cross-sectional view showing an operating state of vacuum breaking of the vacuum generator of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 本体 12 圧空供給ポート 14 第1シリンダ室 16 消音部 18 真空ポート 20 負圧ポート部 22 真空バルブ 24 流路 26 ノズル部 28 デェフューザ部 30 開口部 32 ’O’−リング 34 第1スプリング 36 メイン流路 38 メインバルブ 40 第2シリンダ室 42 入力ポート部 44 連通ポート部 46 メイン弁体 48 第1制御流路 50 破壊バルブ 70 第1パイロットバルブ 74 第2パイロットバルブ 100 第2制御流路 10 body 12 Pneumatic supply port 14 First cylinder chamber 16 silencer 18 Vacuum port 20 Negative pressure port 22 Vacuum valve 24 channels 26 Nozzle part 28 Diffuser part 30 openings 32'O'-ring 34 First Spring 36 Main flow path 38 Main valve 40 Second cylinder chamber 42 Input port section 44 Communication port 46 Main valve body 48 First control flow path 50 break valve 70 First pilot valve 74 Second pilot valve 100 second control flow path

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成15年4月1日(2003.4.1)[Submission date] April 1, 2003 (2003.4.1)

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】特許請求の範囲[Name of item to be amended] Claims

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【特許請求の範囲】[Claims]

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0007[Correction target item name] 0007

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために次の構成を備える。すなわち、本発明
は、高圧流体源に連通される圧空供給ポートおよび真空
が発生される真空ポートが設けられた本体と、該本体内
に設けられ、軸線方向に延びる流体の流路を有し、該流
路の一端側に位置される部位が流路を絞るノズル部に形
成され、該ノズル部よりも流路の下流側となる他端側に
位置される部位が流路を拡大するデェフューザ部に形成
されると共に、前記ノズル部と前記デェフューザ部の間
に側方に開口して前記真空ポートに連通する開口部が設
けられ、前記流路へ一端側から高圧流体が供給されるこ
とで該開口部近傍に負圧を発生させて前記真空ポートを
負圧にする真空バルブと、前記真空バルブと前記圧空供
給ポートを連通するメイン流路と、該メイン流路の中途
部に設けられた主流路シリンダ室と、該主流路シリンダ
室の側壁に開口して設けられ、前記圧空供給ポートと主
流路シリンダ室とを連通する入力ポート部と、該主流路
シリンダ室の側壁に開口して設けられ、主流路シリンダ
室と前記真空バルブとを連通する連通ポート部と、該主
流路シリンダ室内で軸線方向へ摺動可能に形成され、主
流路シリンダ室の一端側に移動した際には前記入力ポー
ト部と前記連通ポート部とを連通させ、他端側に移動し
た際には前記入力ポート部と前記連通ポート部との連通
を遮断するメイン弁体と、前記主流路シリンダ室の他端
側に連通し、メイン弁体を一端側へ移動させるべく高圧
流体を主流路シリンダ室の他端側に導入する第1制御流
路と、前記主流路シリンダ室の一端側に連通し、メイン
弁体を他端側へ移動させるべく高圧流体を主流路シリン
ダ室の一端側に導入する第2制御流路と、通電されて作
動することによって、前記第1制御流路に高圧流体を導
入可能とし、非通電時には前記第1制御流路への高圧流
体の流入を遮断すると共に第1制御流路を大気に開放す
る電磁弁からなる第1パイロットバルブと、通電されて
作動することによって、前記第2制御流路に高圧流体を
導入可能とし、非通電時には前記第2制御流路への高圧
流体の流入を遮断すると共に第2制御流路を大気に開放
する電磁弁からなる第2パイロットバルブとを有し、前
記第2パイロットバルブを非通電状態とすると共に、前
記第1パイロットバルブを通電し作動させ、高圧流体に
より一旦、一端側へ移動したメイン弁体は、この状態か
ら前記第1パイロットバルブへの通電を停止しても一端
側へ移動された状態が維持されることを特徴とする。
Means for Solving the Problems The present inventors have provided the following configuration in order to achieve the above object. That is, the present invention has a body provided with a compressed air supply port communicating with a high-pressure fluid source and a vacuum port for generating a vacuum, and a fluid passage provided in the body and extending in the axial direction, A portion located on one end side of the flow passage is formed in a nozzle portion that narrows the flow passage, and a portion located on the other end side that is on the downstream side of the flow passage from the nozzle portion expands the flow passage portion. And an opening portion that is opened laterally and communicates with the vacuum port is provided between the nozzle portion and the diffuser portion, and a high-pressure fluid is supplied to the flow passage from one end side. A vacuum valve for generating a negative pressure near the opening to make the vacuum port a negative pressure, a main flow path connecting the vacuum valve and the compressed air supply port, and a main flow provided in the middle of the main flow path. Passage cylinder chamber and the main passage cylinder An input port portion opened to the side wall of the main flow passage cylinder chamber for communicating the compressed air supply port with the main flow passage cylinder chamber; and a main flow passage cylinder chamber and the vacuum valve opened to the side wall of the main flow passage cylinder chamber. Is formed so as to be slidable in the axial direction within the main flow channel cylinder chamber, and when the main port cylinder chamber is moved to one end side, the input port unit and the communication port unit are communicated with each other. , The main valve body that blocks the communication between the input port section and the communication port section when moved to the other end side and the other end side of the main flow passage cylinder chamber, and moves the main valve body to the one end side The high pressure fluid is communicated with the first control flow passage for introducing the high pressure fluid to the other end side of the main flow passage cylinder chamber to move it, and to the one end side of the main flow passage cylinder chamber to move the main valve body to the other end side. Guide to one end of main flow path cylinder chamber A second control flow path, energized by work
Moving the high pressure fluid to the first control flow path.
High pressure flow to the first control flow path
Block the inflow of body and open the first control channel to the atmosphere
Energized with the first pilot valve consisting of a solenoid valve
By operating, a high pressure fluid is supplied to the second control flow path.
High pressure to the second control channel when it is not energized
Blocks fluid inflow and opens second control channel to atmosphere
A second pilot valve consisting of a solenoid valve for
The second pilot valve should be de-energized and
The first pilot valve is energized and operated to generate high pressure fluid.
If the main valve body that has once moved to one end is in this state
Even if the power supply to the first pilot valve is stopped,
It is characterized in that the state moved to the side is maintained.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0016[Correction target item name] 0016

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0016】48は第1制御流路であり、第2シリンダ
室40の他端側に連通している。この第1制御流路48
は、後述する第1パイロットバルブ70の出力通路72
に接続されている。第1パイロットバルブ70から第1
制御流路48を介して第2シリンダ室40の他端側40
bに高圧流体が供給された際には、メイン弁体46が一
端側に移動される。100は第2制御流路であり、第2
シリンダ室40の一端側に連通し、メイン弁体46を他
端側へ移動させるべく高圧流体を第2シリンダ室40の
一端側に導入可能に設けられている。この第2制御流路
100は、後述する第2パイロットバルブ74の出力通
路に接続されている。
Reference numeral 48 is a first control flow path, which communicates with the other end side of the second cylinder chamber 40. This first control channel 48
Is an output passage 72 of the first pilot valve 70 described later.
It is connected to the. From the first pilot valve 70 to the first
The other end side 40 of the second cylinder chamber 40 via the control flow path 48
When the high-pressure fluid is supplied to b, the main valve body 46 is moved to the one end side. 100 is a second control flow path,
The high pressure fluid is provided so as to communicate with one end of the cylinder chamber 40 and to move the main valve body 46 to the other end so that the high pressure fluid can be introduced into one end of the second cylinder chamber 40. The second control flow passage 100 is connected to the output passage of the second pilot valve 74 described later.

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0017[Correction target item name] 0017

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0017】50は破壊バルブであり、真空ポート18
と高圧流体源とを連通する真空破壊用流路52の中途部
に配され、真空ポート18へ高圧流体の供給を選択的に
行うよう、真空破壊用流路52を開閉する。この破壊バ
ルブ50が開き、真空ポート18へ高圧流体が供給され
れば、真空ポート18の真空が破壊する。本実施例で
は、本体内に段付形状に形成された破壊流路シンダ室
である第3シリンダ室54と、その第3シリンダ室54
内で軸線方向に摺動可能に段付形状に形成された摺動弁
体56とを備える。摺動弁体56は、第3シリンダ室の
一端側に移動した際(図5に示す状態)には前記真空破
壊用流路を連通させ、他端側に移動した際には(図1に
示す状態)真空破壊用流路を遮断する。また、58は破
壊空気制御用の流路であり、第3シリンダ室54の大径
部の内上底面(第3シリンダ室54の他端側)に開通す
ると共に、後述する第2パイロットバルブ74の出力通
路に接続されている。従って、第2パイロットバルブ
4から、高圧流体が第3シリンダ室54の他端側へ導入
されると、摺動弁体56が一端側へ移動される。なお、
第2パイロットバルブの構造は第1パイロットバルブ
0の構造と同一に設けられている。
Reference numeral 50 is a breaking valve, and the vacuum port 18
And the high-pressure fluid source are communicated with each other, and the vacuum-breaking flow channel 52 is opened and closed so as to selectively supply the high-pressure fluid to the vacuum port 18. When the breaking valve 50 opens and the high-pressure fluid is supplied to the vacuum port 18, the vacuum in the vacuum port 18 breaks. In this embodiment, the third cylinder chamber 54 is a broken passage Shi Li Sunda chamber formed stepped shape in the body, the third cylinder chamber 54
And a sliding valve body 56 formed in a stepped shape so as to be slidable in the axial direction. When the sliding valve body 56 moves to one end side of the third cylinder chamber (the state shown in FIG. 5), the sliding valve body 56 communicates with the vacuum breaking flow passage, and when it moves to the other end side (see FIG. 1). (State shown) The flow path for vacuum break is shut off. Further, reference numeral 58 denotes a flow path for controlling the breaking air, which opens to the inner upper bottom surface (the other end side of the third cylinder chamber 54) of the large diameter portion of the third cylinder chamber 54, and the second pilot valve 74 described later. Is connected to the output passage of. Therefore, the second pilot valve 7
When the high-pressure fluid is introduced into the other end side of the third cylinder chamber 54 from No. 4, the sliding valve body 56 is moved to the one end side. In addition,
The structure of the second pilot valve is the first pilot valve 7
It has the same structure as the 0 structure.

【手続補正5】[Procedure Amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0018[Correction target item name] 0018

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0018】60は第3スプリングであり、摺動弁体5
6を常時は真空破壊用流路52を閉塞するように図1の
図面上において上方に付勢し、高圧流体が第2パイロッ
バルブ74から破壊空気制御用の流路58を介して第
3シリンダ室54の大径部の上部側(第3シリンダ室5
4の他端側)に供給された際には、真空破壊用流路52
を開口するよう、摺動弁体56が下方に移動することを
許容する。すなわち、第3スプリング60は摺動弁体5
6の下面と第3シリンダ室54の底面との間に弾装され
付勢部材として作用する。なお、56aは’O’−リン
グであり、摺動弁体56の先端部に嵌められており、こ
れによって気密がなされて確実に真空破壊用流路52を
閉塞できる。破壊バルブ50が開口すると、高圧の破壊
空気は真空破壊用流路52を構成する圧空供給ポート1
2、入力ポート部42、第2シリンダ室40、ニードル
挿入孔部64、破壊バルブ50および細管62内を通過
して真空ポート18に流入して真空を破壊する。細管6
2は内容積が小さいため、流入空気は素早く真空ポート
18に導入でき、真空破壊を好適に行うことができる。
なお、第2シリンダ室40とニードル挿入孔部64と
は、貫通孔68によって連通されている。
Reference numeral 60 denotes a third spring, which is a sliding valve body 5.
6 is normally urged upward in the drawing of FIG. 1 so as to close the vacuum breaking flow passage 52, and the high pressure fluid flows from the second pilot valve 74 through the breaking air controlling flow passage 58 to the third cylinder. The upper side of the large diameter portion of the chamber 54 (the third cylinder chamber 5
4), the vacuum break flow path 52
The sliding valve body 56 is allowed to move downward so as to open. That is, the third spring 60 is the sliding valve body 5
It is elastically mounted between the lower surface of 6 and the bottom surface of the third cylinder chamber 54 to act as a biasing member. Incidentally, 56a is an'O'-ring, which is fitted to the tip of the sliding valve body 56, whereby airtightness is achieved and the vacuum breaking flow path 52 can be reliably closed. When the breaking valve 50 opens, the high-pressure breaking air constitutes the compressed air supply port 1 forming the vacuum breaking flow path 52.
2, passing through the input port portion 42, the second cylinder chamber 40, the needle insertion hole portion 64, the breaking valve 50 and the thin tube 62, and flowing into the vacuum port 18 to break the vacuum. Thin tube 6
Since 2 has a small internal volume, the inflowing air can be quickly introduced into the vacuum port 18, and the vacuum break can be suitably performed.
The second cylinder chamber 40 and the needle insertion hole portion 64 are communicated with each other by a through hole 68.

【手続補正6】[Procedure correction 6]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0019[Correction target item name] 0019

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0019】また、本実施例では、破壊空気制御用の流
路58は、前記第2シリンダ室40の一端側40aに連
通する第2制御流路100(図4(a)参照)と連通し
ている。従って、第2パイロットバルブ74を介して、
第3シリンダ室54の他端側と第2シリンダ室40の一
端側に高圧流体を同時に導入することができる。
Further, in this embodiment, the flow path 58 for controlling the breaking air is connected to the second control flow path 100 (see FIG. 4A) which is connected to the one end side 40a of the second cylinder chamber 40. ing. Therefore, via the second pilot valve 74,
The high-pressure fluid can be simultaneously introduced into the other end side of the third cylinder chamber 54 and the one end side of the second cylinder chamber 40.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 高圧流体源に連通される圧空供給ポート
および真空が発生される真空ポートが設けられた本体
と、 該本体内に設けられ、軸線方向に延びる流体の流路を有
し、該流路の一端側に位置される部位が流路を絞るノズ
ル部に形成され、該ノズル部よりも流路の下流側となる
他端側に位置される部位が流路を拡大するデェフューザ
部に形成されると共に、前記ノズル部と前記デェフュー
ザ部の間に側方に開口して前記真空ポートに連通する開
口部が設けられ、前記流路へ一端側から高圧流体が供給
されることで該開口部近傍に負圧を発生させて前記真空
ポートを負圧にする真空バルブと、 前記真空バルブと前記圧空供給ポートを連通するメイン
流路と、 該メイン流路の中途部に設けられた主流路シリンダ室
と、 該主流路シリンダ室の側壁に開口して設けられ、前記圧
空供給ポートと主流路シリンダ室とを連通する入力ポー
ト部と、 該主流路シリンダ室の側壁に開口して設けられ、主流路
シリンダ室と前記真空バルブとを連通する連通ポート部
と、 該主流路シリンダ室内で軸線方向へ摺動可能に形成さ
れ、主流路シリンダ室の一端側に移動した際には前記入
力ポート部と前記連通ポート部とを連通させ、他端側に
移動した際には前記入力ポート部と前記連通ポート部と
の連通を遮断するメイン弁体と、 前記主流路シリンダ室の他端側に連通し、メイン弁体を
一端側へ移動させるべく高圧流体を主流路シリンダ室の
他端側に導入する第1制御流路と、 前記主流路シリンダ室の一端側に連通し、メイン弁体を
他端側へ移動させるべく高圧流体を主流路シリンダ室の
一端側に導入する第2制御流路とを具備することを特徴
とする真空発生器。
1. A main body having a compressed air supply port communicating with a high-pressure fluid source and a vacuum port for generating a vacuum, and a fluid passage provided in the main body and extending in the axial direction, A part located on one end side of the flow path is formed in the nozzle part that narrows the flow path, and a part located on the other end side on the downstream side of the flow path from the nozzle part is a diffuser part that expands the flow path. An opening portion is formed between the nozzle portion and the diffuser portion and opens laterally so as to communicate with the vacuum port, and a high pressure fluid is supplied to the flow passage from one end side to open the opening. A vacuum valve for generating a negative pressure in the vicinity of the pressure part to make the vacuum port a negative pressure, a main flow path connecting the vacuum valve and the compressed air supply port, and a main flow path provided in the middle of the main flow path. The cylinder chamber and the main channel cylinder chamber An input port portion that is provided by opening in a wall and that communicates the compressed air supply port and the main flow channel cylinder chamber, and that is provided by opening in a side wall of the main flow channel cylinder chamber, and that connects the main flow channel cylinder chamber and the vacuum valve. A communication port portion communicating with the main flow passage cylinder chamber is formed so as to be slidable in the axial direction, and when moved to one end side of the main flow passage cylinder chamber, the input port portion and the communication port portion are communicated with each other, When the main valve body is moved to the other end side, the main valve body that blocks the communication between the input port section and the communication port section and the other end side of the main flow passage cylinder chamber is moved to the one end side. To communicate with the first control flow path for introducing the high-pressure fluid into the other end side of the main flow path cylinder chamber, and to communicate with the one end side of the main flow path cylinder chamber to move the main valve body to the other end side. Introduced at one end of the road cylinder chamber Vacuum generator, characterized by comprising a second control channel that.
【請求項2】 前記真空ポートと前記高圧流体源とを連
通する真空破壊用流路と、 該真空破壊用流路の中途部に配され、真空ポートへ高圧
流体の供給を選択的に行い、真空ポートへ高圧流体を供
給することで真空ポートの真空を破壊するよう、真空破
壊用流路を開閉する破壊バルブとを具備することを特徴
とする請求項1記載の真空発生器。
2. A vacuum breaking flow path communicating between the vacuum port and the high pressure fluid source, and a high pressure fluid is selectively supplied to the vacuum port, which is arranged in the middle of the vacuum breaking flow path. The vacuum generator according to claim 1, further comprising: a breaking valve that opens and closes a vacuum breaking flow path so as to break a vacuum in the vacuum port by supplying a high-pressure fluid to the vacuum port.
【請求項3】 前記破壊バルブが、 前記本体内に設けられた破壊流路シリンダ室と、 該破壊流路シリンダ室内で軸線方向へ摺動可能に形成さ
れ、破壊流路シリンダ室の一端側に移動した際には前記
真空破壊用流路を連通させ、他端側に移動した際には真
空破壊用流路を遮断する摺動弁体と、 前記破壊流路シリンダ室の他端側に連通し、摺動弁体を
一端側へ移動させるべく高圧流体を破壊流路シリンダ室
の他端側に導入する破壊空気制御用の流路と、 前記破壊空気制御用の流路を介して破壊流路シリンダ室
の他端側に高圧流体が供給された際には摺動弁体が一端
側に移動することを許容し、破壊流路シリンダ室の他端
側に高圧流体が供給されないときには摺動弁体を他端側
に位置するように付勢する付勢部材とを備え、 前記破壊流路シリンダ室の他端側と前記主流路シリンダ
室の一端側に高圧流体を同時に導入可能に、前記破壊空
気制御用の流路と前記第2制御流路とが連通されている
ことを特徴とする請求項2記載の真空発生器。
3. The breakage valve is formed in a breakage flow path cylinder chamber provided in the main body and slidable in the breakage flow path cylinder chamber in an axial direction, and is provided on one end side of the breakage flow path cylinder chamber. A sliding valve body that communicates with the vacuum breaking flow passage when moved, and a slide valve that shuts off the vacuum breaking flow passage when moved to the other end side, and communicates with the other end side of the breaking flow passage cylinder chamber. Then, a break flow is provided through a break air control flow path for introducing high-pressure fluid to the other end side of the break flow channel cylinder chamber to move the sliding valve body to one end side, and a break flow air control flow path. Allows the sliding valve element to move to one end when high pressure fluid is supplied to the other end of the passage cylinder chamber, and slides when high pressure fluid is not supplied to the other end of the breakage passage cylinder chamber. An urging member for urging the valve body to be positioned at the other end side, 7. The flow path for controlling the breaking air and the second control flow path are communicated with each other so that a high-pressure fluid can be simultaneously introduced into the other end side of the main flow path cylinder chamber and the one end side of the main flow path cylinder chamber. 2. The vacuum generator according to 2.
JP2003028759A 2003-02-05 2003-02-05 Vacuum generator Pending JP2003222100A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003028759A JP2003222100A (en) 2003-02-05 2003-02-05 Vacuum generator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003028759A JP2003222100A (en) 2003-02-05 2003-02-05 Vacuum generator

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12844996A Division JP3436635B2 (en) 1996-05-23 1996-05-23 Vacuum generator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003222100A true JP2003222100A (en) 2003-08-08

Family

ID=27751597

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003028759A Pending JP2003222100A (en) 2003-02-05 2003-02-05 Vacuum generator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003222100A (en)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009097403A (en) * 2007-10-16 2009-05-07 Juki Corp Vacuum generating device
WO2009081467A1 (en) * 2007-12-21 2009-07-02 Koganei Corporation Vacuum generator
JP2010515863A (en) * 2007-01-16 2010-05-13 セレス・アクチボラグ Ejector device having ventilation function
WO2012132047A1 (en) * 2011-03-28 2012-10-04 株式会社コガネイ Ejector
CN111765130A (en) * 2019-04-02 2020-10-13 台湾气立股份有限公司 Large-capacity vacuum control device
CN111779717A (en) * 2019-04-03 2020-10-16 台湾气立股份有限公司 Large capacity vacuum control device with expansion function
CN113864153A (en) * 2020-06-30 2021-12-31 行益科技(宁波)有限公司 Energy-saving vacuum generator
US11428342B2 (en) 2018-06-15 2022-08-30 Smc Corporation Vacuum ejector and seal valve unit

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010515863A (en) * 2007-01-16 2010-05-13 セレス・アクチボラグ Ejector device having ventilation function
JP2009097403A (en) * 2007-10-16 2009-05-07 Juki Corp Vacuum generating device
WO2009081467A1 (en) * 2007-12-21 2009-07-02 Koganei Corporation Vacuum generator
WO2012132047A1 (en) * 2011-03-28 2012-10-04 株式会社コガネイ Ejector
CN103459855A (en) * 2011-03-28 2013-12-18 株式会社小金井 Ejector
US9322308B2 (en) 2011-03-28 2016-04-26 Koganei Corporation Ejector
US11428342B2 (en) 2018-06-15 2022-08-30 Smc Corporation Vacuum ejector and seal valve unit
US11530758B2 (en) 2018-06-15 2022-12-20 Smc Corporation Vacuum ejector and seal valve unit
CN111765130A (en) * 2019-04-02 2020-10-13 台湾气立股份有限公司 Large-capacity vacuum control device
CN111779717A (en) * 2019-04-03 2020-10-16 台湾气立股份有限公司 Large capacity vacuum control device with expansion function
CN113864153A (en) * 2020-06-30 2021-12-31 行益科技(宁波)有限公司 Energy-saving vacuum generator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4637862B2 (en) Fuel cell system with variable Coanda amplifier for gas recirculation and system pressure regulation
KR101021191B1 (en) Vacuum generating unit
EP3760880B1 (en) Vacuum ejector and seal valve unit
KR101035101B1 (en) Two-stage air-control valve
JP2003222100A (en) Vacuum generator
JP2014177942A (en) Device for controlling fluid supply of system
US20050118032A1 (en) Vaccum-generating unit
US20050268447A1 (en) Modular rivet tool
JP3436635B2 (en) Vacuum generator
TW201806672A (en) Switching valve and intermittent air-blow gun enabling minimization of an air-blow gun while ensuring sufficient amount of air discharge
JP3386313B2 (en) Vacuum generator
JPS5813315B2 (en) Vacuum suction gripping device
JP4495366B2 (en) Vacuum generator
JP2007040513A (en) Pilot valve for positioner
JP2001124000A (en) Vacuum breaking unit for vacuum generator and vacuum generator
JPH05158552A (en) Pressure control valve
JP6557246B2 (en) Intermittent air generator
JP2007162898A (en) Pressure amplifying three-way valve
JP2581702Y2 (en) Vacuum pressure generator
JP3758691B2 (en) Negative pressure generator
TWI644047B (en) Electronically controlled supercharged slow start valve
JP5331547B2 (en) Liquid discharge pump unit
JP5352324B2 (en) Liquid discharge pump system
JPH11182580A (en) Control valve of clutch servo unit
JP2004156762A (en) Valve unit

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20040928

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050215