JP5172162B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
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- 検査対象を照明光により照明する照明手段と、光電変換イメージセンサを有し、前記検査対象からの反射光を受光する検出器と、前記検査対象を搭載したステージまたは前記検出器の移動手段と、前記検出器で検出した画像に基づき前記検査対象を検査する検査手段とを備える検査対象の欠陥検査装置において、
上記検出器は、複数の光電変換イメージセンサを有し、これら複数の光電変換イメージセンサは、千鳥配置され、千鳥配置された列が2以上配置され、上記複数の光電変換イメージセンサ間が、センサ冷却機構、ドライバー回路部、及び電子倍増部のうちの少なくとも1つを配置するスペースを有するように格子状に配列され、上記スペースにセンサ冷却機構、ドライバー回路部、及び電子倍増部のうちの少なくとも1つが配置されていることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1記載の欠陥検査装置において、前記格子状に配列された複数の光電変換イメージセンサは、前記列毎に分光感度が異なり、前記照明手段は、複数の波長を含む光源もしくは波長の異なる複数の光源を有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、前記光電変換イメージセンサは二次元のエリアセンサであり、検査対象を搭載したステージもしくは前記検出器を走査させ、撮像時には停止させることにより光学的に画像を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、前記複数の光電変換イメージセンサの感度を調整する感度制御部を有することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、前記光電変換イメージセンサは時間遅延積分型(TDI)イメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項5記載の時間遅延積分型(TDI)イメージセンサは、アンチブルーミングTDIイメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項5記載の欠陥検査装置において、前記時間遅延積分型(TDI)イメージセンサは裏面照射型TDIイメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項5記載のイメージセンサは画素方向で複数に分割され、分割した数画素の単位(タップ)毎に並列に読み出し可能なマルチタップ型イメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、前記イメージセンサはイメージセンサの前段もしくは後段で電子増倍を行う電子増倍型イメージセンサであることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、前記複数のイメージセンサの整数倍の画像処理部を有し、これら画像処理部は、前記複数のイメージセンサからの出力信号を並列に処理することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項1記載の欠陥検査装置において、前記複数のイメージセンサの実数倍の画像処理部を有し、これら画像処理部は、前記複数のイメージセンサからの出力信号を並列に処理することを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項3記載の欠陥検査装置において、前記二次元のエリアセンサの複数の画素のうち、使用する画素を可変制御する機能を有する画像処理部を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
- 請求項12記載の欠陥検査装置において、前記画像処理部は、前記複数のイメージセンサの実数倍備えられ、前記使用画素からの出力信号を並列に処理することを特徴とする欠陥検査装置。
- 欠陥検査装置に使用され、光電変換イメージセンサを有し、前記検査対象からの反射光を受光する欠陥検出器において、
複数の光電変換イメージセンサを有し、これら複数の光電変換イメージセンサは、千鳥配置され、千鳥配置された列が2以上配置され、上記複数の光電変換イメージセンサ間が、センサ冷却機構、ドライバー回路部、及び電子倍増部のうちの少なくとも1つを配置するスペースを有するように格子状に配列され、上記スペースにセンサ冷却機構、ドライバー回路部、及び電子倍増部のうちの少なくとも1つが配置されていることを特徴とする欠陥検出器。 - 請求項14記載の欠陥検出器において、前記複数の光電変換イメージセンサは、検査対象をスキャンする方向と直交する方向に千鳥配置され、この千鳥配置された列が、前記スキャン方向に2以上配置されていることを特徴とする欠陥検出器。
- 請求項15記載の欠陥検出器において、1個の光電変換イメージセンサの前記スキャン方向の長さをaとし、前記スキャン方向と直交する方向の長さをbとし、前記スキャン方向の光電変換イメージセンサ間の間隔をa’とし、スキャン方向と直交する方向の光電変換イメージセンサ間の間隔をb’とすると、a=a’、b=b’であることを特徴とする欠陥検出器。
- 請求項15記載の欠陥検出器において、1個の光電変換イメージセンサの前記スキャン方向の長さをaとし、前記スキャン方向と直交する方向の長さをbとし、前記スキャン方向の光電変換イメージセンサ間の間隔をa’とし、スキャン方向と直交する方向の光電変換イメージセンサ間の間隔をb’とすると、a<a’、b<b’であることを特徴とする欠陥検出器。
- 請求項15記載の欠陥検出器において、1個の光電変換イメージセンサの前記スキャン方向の長さをaとし、前記スキャン方向と直交する方向の長さをbとし、前記スキャン方向の光電変換イメージセンサ間の間隔をa’とし、スキャン方向と直交する方向の光電変換イメージセンサ間の間隔をb’とすると、a>a’、b=b’であることを特徴とする欠陥検出器。
- 請求項15記載の欠陥検出器において、1個の光電変換イメージセンサの前記スキャン方向の長さをaとし、前記スキャン方向と直交する方向の長さをbとし、前記スキャン方向の光電変換イメージセンサ間の間隔をa’とし、スキャン方向と直交する方向の光電変換イメージセンサ間の間隔をb’とすると、a=a’、b>b’であることを特徴とする欠陥検出器。
- 請求項15記載の欠陥検出器において、前記光電変換イメージセンサの複数の画素のうち、使用する画素が可変制御され、複数の倍率が選択されることを特徴とする欠陥検出器。
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