JP5171101B2 - 電子線照射条件決定支援ユニット、および電子線式試料検査装置 - Google Patents
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Description
2 ステージ機構系
3 電子銃
4 コンデンサレンズ
5 対物レンズ
6 ディフレクタ
7 二次電子検出器
8 ウェハ
9 照射電子線
10 二次電子
11 ビーム制御系(ビーム走査コントローラ)
12 ステージ制御系(ステージコントローラ)
13 画像処理ユニット
14 操作ユニット
15 電子線照射条件決定支援ユニット
16 電子線式試料検査装置
41 コンタクトプラグ
42 ゲート電極
43 スペーサ
44 接合部
45 層間絶縁膜
46 シリコン基板
47 接地電位(接地回路)
48a パターンコントラスト基準部の表面の帯電電位
48b 正常部の表面の帯電電位
48c 模擬欠陥部の表面の帯電電位
49 抵抗素子(層間絶縁膜抵抗)
51 段数入力欄
51a 挿入上側段数入力欄
51b 挿入下側段数入力欄
52 等価回路ブロック(抵抗ブロック)
53 等価回路ブロック(容量ブロック)
54 等価回路ブロック(抵抗容量ブロック)
55 終了決定クリック領域
61 抵抗値入力欄
62 容量入力欄
63 材料名選択クリック領域
64 面積入力欄
65 厚さ入力欄
66 算出抵抗値表示欄
67 算出容量表示欄
68 素子指定用矢印
71 抵抗素子(コンタクトプラグ抵抗)
72 接合部容量及び抵抗の並列回路
73 素子指定用矢印
76 非開口欠陥の容量及び抵抗の並列回路
77 非開口欠陥
78 素子指定用矢印
Claims (7)
- 試料への電子線の照射及び前記試料から出射する電子の検出を電子線照射条件により行い、前記電子の検出信号をコントラストに対応させた前記試料の画像を生成し、前記試料の欠陥を前記コントラストにより検出する電子線式試料検査装置に対して、前記電子線照射条件を決定する電子線照射条件決定支援ユニットにおいて、
試料上のどの場所を検査対象にするのか、そして、その検査対象の断面構造を構造データベースから読み出すように、オペレータに促し、試料の検査対象の断面構造を構造データベースから読み出す支援をする断面構造読み出し支援部と、
抵抗と容量の少なくともどちらか一方を用いた複数の等価回路ブロックの情報が記憶された等価回路ブロックテンプレートデータベースと、
前記検査対象を構成する材料毎に、比抵抗率、比誘電率、二次電子放出効率の少なくとも1つ以上が記憶された物性ライブラリデータベースと、
前記試料の正常な検査対象の正常部の表裏面間の等価回路の作成のために、前記構造データベースから読み出した前記断面構造と前記等価回路ブロックテンプレートデータベースから読み出した複数の前記等価回路ブロックをオペレータに表示し、オペレータに前記等価回路ブロックの選択を促し、前記物性ライブラリデータベースから、前記比抵抗率、前記比誘電率の少なくとも1つを抽出して、選択された前記正常部の前記等価回路ブロックを構成する抵抗と容量の少なくともどちらか一方の値を算出する支援をする第1作成支援部と、
前記検査対象が前記欠陥を含むと予想される模擬欠陥部の前記表裏面間の等価回路の作成のために、前記構造データベースから読み出した前記断面構造と前記等価回路ブロックテンプレートデータベースから読み出した複数の前記等価回路ブロックをオペレータに表示し、オペレータに前記等価回路ブロックの選択を促し、前記物性ライブラリデータベースから、前記比抵抗率、前記比誘電率の少なくとも1つを抽出して、選択された前記模擬欠陥部の等価回路ブロックを構成する抵抗と容量の少なくともどちらか一方の値を算出する支援をする第2作成支援部と、
前記電子線照射条件により前記正常部及び前記模擬欠陥部の表面が帯電することによる帯電電位を、前記正常部の等価回路及び前記模擬欠陥部の等価回路を用い算出する支援をする帯電電位演算部と、
前記正常部の帯電電位と前記模擬欠陥部の帯電電位の電位差が最大になるような前記電子線照射条件を選択する支援を行う択一支援部とを有することを特徴とする電子線照射条件決定支援ユニット。 - 前記第2作成支援部は、前記正常部の等価回路に対し、前記欠陥に対応する欠陥等価回路ブロックを挿入する挿入支援部を有していることを特徴とする請求項1に記載の電子線照射条件決定支援ユニット。
- 前記帯電電位演算部では、前記電子線照射条件を複数発生させ、それぞれの前記電子線照射条件毎に、前記正常部及び前記模擬欠陥部の帯電電位を算出し、
前記択一支援部では、複数発生させた前記電子線照射条件の中から、前記電位差が最大になる前記電子線照射条件を選択することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子線照射条件決定支援ユニット。 - 前記択一支援部は、選択された前記電子線照射条件を表示することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の電子線照射条件決定支援ユニット。
- 前記択一支援部は、選択された前記電子線照射条件を、前記電子線式試料検査装置に送信することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の電子線照射条件決定支援ユニット。
- 前記試料の前記検査対象の近傍に配置された基準部の表裏面間の等価回路の作成のために、前記構造データベースから読み出した前記断面構造と前記等価回路ブロックテンプレートデータベースから読み出した複数の前記等価回路ブロックをオペレータに表示し、オペレータに前記等価回路ブロックの選択を促し、前記物性ライブラリデータベースから、前記比抵抗率、前記比誘電率の少なくとも1つを抽出して、選択された前記基準部の前記等価回路ブロックを構成する抵抗と容量の少なくともどちらか一方の値を算出する支援をする第3作成支援部を有し、
前記帯電電位演算部は、前記電子線照射条件により前記基準部の表面が帯電することによる帯電電位を、前記基準部の等価回路を用い算出する支援をし、
前記択一支援部は、
前記正常部の帯電電位と前記基準部の帯電電位の電位差が閾値以上になるような前記電子線照射条件を選択する支援を行うことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の電子線照射条件決定支援ユニット。 - 試料への電子線の照射及び前記試料から出射する電子の検出を電子線照射条件により行い、前記電子の検出信号をコントラストに対応させた前記試料の画像を生成し、前記試料の欠陥を前記コントラストにより検出する電子線式試料検査装置において、
試料上のどの場所を検査対象にするのか、そして、その検査対象の断面構造を構造データベースから読み出すように、オペレータに促し、試料の検査対象の断面構造を構造データベースから読み出す支援をする断面構造読み出し支援部と、
抵抗と容量の少なくともどちらか一方を用いた複数の等価回路ブロックの情報が記憶された等価回路ブロックテンプレートデータベースと、
前記検査対象を構成する材料毎に、比抵抗率、比誘電率、二次電子放出効率の少なくとも1つ以上が記憶された物性ライブラリデータベースと、
前記試料の正常な検査対象の正常部の表裏面間の等価回路の作成のために、前記構造データベースから読み出した前記断面構造と前記等価回路ブロックテンプレートデータベースから読み出した複数の前記等価回路ブロックをオペレータに表示し、オペレータに前記等価回路ブロックの選択を促し、前記物性ライブラリデータベースから、前記比抵抗率、前記比誘電率の少なくとも1つを抽出して、選択された前記正常部の前記等価回路ブロックを構成する抵抗と容量の少なくともどちらか一方の値を算出する支援をする第1作成支援部と、
前記検査対象が前記欠陥を含むと予想される模擬欠陥部の前記表裏面間の等価回路の作成のために、前記構造データベースから読み出した前記断面構造と前記等価回路ブロックテンプレートデータベースから読み出した複数の前記等価回路ブロックをオペレータに表示し、オペレータに前記等価回路ブロックの選択を促し、前記物性ライブラリデータベースから、前記比抵抗率、前記比誘電率の少なくとも1つを抽出して、選択された前記模擬欠陥部の等価回路ブロックを構成する抵抗と容量の少なくともどちらか一方の値を算出する支援をする第2作成支援部と、
前記電子線照射条件により前記正常部及び前記模擬欠陥部の表面が帯電することによる帯電電位を、前記正常部の等価回路及び前記模擬欠陥部の等価回路を用い算出する支援をする帯電電位演算部と、
前記正常部の帯電電位と前記模擬欠陥部の帯電電位の電位差が最大になるような前記電子線照射条件を選択する支援を行う択一支援部とを有することを特徴とする電子線式試料検査装置。
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