JP5163441B2 - テストパターン編集装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態のテストパターン編集装置は、寸法を計測して表示するCAD装置の一つであって、特に、半導体集積回路のレイアウトを検証するために用いられるテストパターン内の図形間の距離を計測して表示するものである。本実施形態のテストパターン編集装置は、図形の生成及び編集を行う機能と、図形間の距離を計測して表示する機能と、を有する。これらの機能を実現する構成を図1に示す。本実施形態のテストパターン編集装置は、テストパターンの編集処理を行う処理部1と、ユーザからの指示を入力する入力部2と、テストパターンの少なくとも一部を表示する表示部3と、テストパターンのデータを格納する記憶部4と、を有する。入力部2は、数値やコマンドを入力するためのキーボード21と、座標の指定などに使用されるマウス22とを含む。なお、入力部2は、タブレット又はトラックボールなどのポインティングデバイスを含んでもよい。
図2に、本実施形態のテストパターン編集装置における寸法計測の動作フローを示す。テストパターン編集装置は、入力部2を介して、ユーザにより指定された検証寸法値と対象レイヤを入力する(S201)。「検証寸法値」は、テストパターンの図形間の間隔をチェックするために用いられるものであって、具体的には、入力された検証寸法値と計測された寸法値との大小関係に基づいて、計測された寸法値を色分け表示するために使用される。「対象レイヤ」は、寸法を計測するときに対象となるレイヤであって、レイヤを指定することにより、寸法を計測する対象となる図形を絞り込むために使用されるものである。例えば、検証寸法値に「1.0μm」を指定し且つ対象レイヤに「レイヤA」と「レイヤC」を設定する場合、ユーザにより、例えば表示部3の画面の下部にあるコマンド入力部分にキーボード21から「1.0 A C」と入力されることにより、検証寸法値及び対象レイヤの指定が行われる。対象レイヤが入力されない場合は、表示部3に表示されている全レイヤが計測対象となる。
レイアウト検証用のテストパターンを含む半導体集積回路のレイアウトパターンには、大きな又は太い配線領域の近辺に、コンタクトやビア等の微小図形が多数配置される。この場合、基準図形に対して、数万個の微小図形が表示部3の表示領域に存在する場合がある。通常、数万個の微小図形に対して、寸法を計測すると、時間がかかり、装置の応答性が悪くなる。しかし、本発明によれば、図形数に応じて、順次、検索領域を縮小していくため、寸法計測の対象となる図形数を減らすことができる。よって、短時間で、寸法を計測することができる。これにより、寸法が表示されるまでの時間を短くすることができる。その結果、装置の応答性を向上することができる。例えば、図形数が多い場合であっても、図形数が少ない場合とほぼ同様の時間で、寸法が表示されるため、体感上の時間差をなくすことができる。また、動作速度の遅い装置であっても、動作速度の速い装置とほぼ同様の時間で、寸法が表示されるため、体感上の時間差をなくすことができる。
レイアウト検証用のテストパターンでは、色やハッチングが多用された図形が重なり合って表示されることが多い。そのため、寸法値を単に文字列で表示するだけでは、数字の認識が困難になる場合が多い。そこで、図面にハッチングが含まれている場合は、寸法値を見やすくすると良い。図8に、図面にハッチングが含まれている場合を例示する。図8では、図形801、802、及び803はそれぞれ異なるレイヤに描かれており、ハッチングが異なる場合を示している。このような状態で、例えば、図形802と図形803との間の距離を計測した場合に、寸法値が図形801のハッチングと重なって表示されると見にくくなる。よって、寸法値が背景部分のハッチングと重ならないように、ハッチングよりも画面上の前方に寸法値を表示する。このとき、寸法値を表示している文字領域の背景色(例えば、白色)を背景として、その上に寸法値を表示する。これにより、ハッチングが含まれる図面であっても、ハッチングの影響を受けずに、寸法値を見やすく表示することができる。よって、視認性が向上し、使用者による読み間違えなどが減少する。
2 入力部
3 表示部
4 記憶部
21 キーボード
22 マウス
Claims (6)
- 基準図形から対象図形までの寸法を計測し、計測した寸法値を寸法線と共に表示するテストパターン編集装置であって、
レイアウト検証用パターンに含まれる複数の図形の情報を記憶する記憶部と、
ユーザにより指定された計測位置を入力する入力部と、
指定された前記計測位置と前記記憶部に記憶されている図形の情報とに基づいて、基準図形を特定し、特定した前記基準図形に基づいて対象図形を検索範囲内から抽出し、特定した前記基準図形と抽出した前記対象図形との間の寸法を計測する処理部と、
計測された前記寸法の値を寸法線と共に表示する表示部と、
を有し、
前記処理部は、前記検索範囲内に含まれる図形数が所定値以下となるように、前記検索範囲を設定することを特徴とするテストパターン編集装置。 - 前記処理部は、前記表示部の表示範囲を前記検索範囲の初期値として設定し、前記検索範囲に含まれる図形数を判断し、前記検索範囲内の図形数が所定値以下になるまで、前記基準図形を含むように前記検索範囲を段階的に縮小しながら、前記検索範囲を設定することを特徴とする請求項1に記載のテストパターン編集装置。
- 前記処理部は、前記入力部を介して対象とするレイヤが指定されたとき、指定された前記レイヤに含まれる図形のみを前記対象図形として抽出することを特徴とする請求項1に記載のテストパターン編集装置。
- 前記表示部は、計測された寸法値を寸法線と共に表示することに加え、前記計測された寸法値のうち最小の寸法値を別途表示することを特徴とする請求項1に記載のテストパターン編集装置。
- 前記表示部が寸法値を表示している状態で、前記入力部を介して前記基準図形又は前記対象図形が変更されると、前記処理部は変更後の図形に基づいて寸法値を再計測し、前記表示部は再計測された寸法値を表示することを特徴とする請求項1に記載のテストパターン編集装置。
- 前記表示部は、前記寸法値を背景色の前側に表示することを特徴とする請求項1に記載のテストパターン編集装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008297079A JP5163441B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | テストパターン編集装置 |
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JP2007086979A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Ricoh Co Ltd | テストパターン編集装置 |
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2008
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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