JP5162607B2 - Assembling the camera module - Google Patents

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Description

本発明は、ウェハーレベル・チップ・サイズ・パッケージ実装技術を適用した固体撮像装置と、その受光面の中心に結像させるための光学レンズとから構成される超小型のカメラモジュールの組み立て方法に関するものである。   The present invention relates to a method for assembling an ultra-small camera module comprising a solid-state imaging device to which a wafer level, chip size, and package mounting technology is applied and an optical lens for forming an image at the center of the light receiving surface. It is.

固体撮像装置チップは、半導体基板(以下、「ウェハー」という。)上に撮像素子とマイクロレンズなどの光学素子とを形成して、これを気密封止したものであり、ビデオカメラやデジタルカメラや携帯電話用のカメラなどの映像機器の受光センサーとして利用される。   A solid-state imaging device chip is formed by forming an imaging element and an optical element such as a microlens on a semiconductor substrate (hereinafter referred to as a “wafer”) and hermetically sealing it. It is used as a light receiving sensor for video equipment such as a camera for mobile phones.

図3(a)は、従来のカメラモジュールに使用される代表的な固体撮像素子チップ(これを本明細書では「固体撮像素子が形成されたチップ」という。)の構造断面図の一例を模式的に示した図である。この固体撮像素子チップ100には半導体基板Sの表面に受光面として機能する多数のフォトダイオード101が作り込まれ、各フォトダイオードに対応してマイクロレンズ102がカラーフィルター103を介して設けられている。そして、チップの周囲に設けられた多数の電極端子の一つ一つに、ワイヤーボンディング104を施して、これらがパッケージされる。   FIG. 3A schematically shows an example of a structural cross-sectional view of a typical solid-state image pickup device chip (this is referred to as “chip on which a solid-state image pickup device is formed”) used in a conventional camera module. FIG. In this solid-state imaging device chip 100, a large number of photodiodes 101 functioning as light receiving surfaces are formed on the surface of the semiconductor substrate S, and microlenses 102 are provided via color filters 103 corresponding to the respective photodiodes. . Then, wire bonding 104 is applied to each of a large number of electrode terminals provided around the chip, and these are packaged.

図3(b)は、図3(a)に示す固体撮像素子チップ100にレンズユニットを取り付けて完成したカメラモジュールの構造断面図の一例を模式的に示した図である。なお、同図の中央部を縦断する一点鎖線はレンズ116の光軸を示している。固体撮像素子チップ100は回路基板110に取り付けられ、FPCB(Flexible Printing Circuit Board)と呼ばれるプリント配線111によって回路が構成され、ソケット112がこの回路のインターフェースとなる。   FIG. 3B is a diagram schematically showing an example of a structural cross-sectional view of a camera module completed by attaching a lens unit to the solid-state imaging device chip 100 shown in FIG. Note that an alternate long and short dash line that vertically cuts through the center of the figure indicates the optical axis of the lens 116. The solid-state imaging device chip 100 is attached to a circuit board 110, and a circuit is configured by a printed wiring 111 called an FPCB (Flexible Printing Circuit Board), and a socket 112 serves as an interface of this circuit.

固体撮像素子チップ100の受光面上方には赤外線遮断フィルター113が設けられる。両者はチップ100と共に回路基板110に取り付けられたレンズバレルホルダー(レンズバレル支持体)114によって固定される。レンズバレルホルダー114とレンズバレル(レンズ保持枠)115にはねじ溝が設けられており、両者は螺着固定される。   An infrared blocking filter 113 is provided above the light receiving surface of the solid-state image sensor chip 100. Both are fixed by a lens barrel holder (lens barrel support) 114 attached to the circuit board 110 together with the chip 100. The lens barrel holder 114 and the lens barrel (lens holding frame) 115 are provided with screw grooves, and both are fixed by screwing.

この組み立て工程の際には、集光レンズ116の光軸(図中の一点鎖線)が固体撮像素子チップ100の受光面の中心と一致し、かつ、受光面が光軸に対して垂直に設置されること(光軸合わせ)が求められる。   During this assembly process, the optical axis (the one-dot chain line in the figure) of the condensing lens 116 coincides with the center of the light receiving surface of the solid-state imaging device chip 100, and the light receiving surface is installed perpendicular to the optical axis. (Optical axis alignment) is required.

特開2005−286422号公報JP 2005-286422 A 国際公開2006/73085号International Publication No. 2006/73085

しかし、ワイヤーボンディング方式を採用する従来のパッケージ構造の固体撮像素子チップ110はレンズバレルホルダー114に対してすき間が多いため、カメラモジュールの組み立ての際に光軸がずれやすく、カメラモジュールの組み立て後に光軸の位置合わせを必要とし、これが製造工程での歩留まりを低下させる要因となっている。   However, since the solid-state image sensor chip 110 having a conventional package structure that employs the wire bonding method has a lot of gaps with respect to the lens barrel holder 114, the optical axis is likely to be shifted when the camera module is assembled. Axis alignment is required, and this is a factor that reduces the yield in the manufacturing process.

その理由は、ダイスボンダーによって基板上に固体撮像素子チップが装着される際に位置的なばらつきが生じやすく、これによって光軸がずれやすいためである。また、レンズバレルホルダーが基板上に装着される際にも位置的なばらつきが生じやすく、これも光軸がずれる要因の一つと考えられる。   The reason is that when the solid-state imaging device chip is mounted on the substrate by the die bonder, positional variations are likely to occur, and the optical axis is likely to be shifted. Also, when the lens barrel holder is mounted on the substrate, positional variations are likely to occur, which is considered to be one of the factors that cause the optical axis to deviate.

しかも、従来よりも一層の低背化が求められるウェハーレベル・チップ・サイズ・パッケージ実装技術を適用した固体撮像装置において許容される光軸合わせの組み立て誤差が前世代のワイヤーボンディング方式等と比べて少なくとも一桁以上小さいことは、周知の事実でもある。   Moreover, the assembly error of the optical axis alignment allowed in the solid-state imaging device applying the wafer level chip size package mounting technology that is required to be lower than the conventional one is compared with the previous generation wire bonding method etc. It is a well-known fact that it is at least an order of magnitude smaller.

さらに、固体撮像素子チップの端面に多数のワイヤーボンディングが施された従来のパッケージの場合、レンズバレルホルダーは回路基板に固定されてはいるが、固体撮像素子チップとは固定されていない。このため、レンズバレルの組み立て工程の際に光軸がずれやすいという問題があった。従って、当然のことながら、外部からの衝撃にも弱かった。   Further, in the case of a conventional package in which a large number of wire bonds are applied to the end face of the solid-state image sensor chip, the lens barrel holder is fixed to the circuit board, but not to the solid-state image sensor chip. For this reason, there has been a problem that the optical axis tends to shift during the assembly process of the lens barrel. Therefore, as a matter of course, it was also vulnerable to external shocks.

また、機械的強度という意味では、特許文献2に記載されているように、公知のウェハーレベル・チップ・サイズ・パッケージ構造のチップの周囲に保護枠を設ける技術も知られているが、光学系を含めた機械的強度ではなく、あくまで固体撮像装置自体の強度を大きくする構成が開示されているにすぎない。   In terms of mechanical strength, as described in Patent Document 2, a technique of providing a protective frame around a chip having a known wafer level, chip size, and package structure is also known. However, only a configuration that increases the strength of the solid-state imaging device itself is disclosed.

本発明は上記に鑑みなされたものであり、カメラモジュールの組み立ての後に光軸合わせを必要としない、新規なカメラモジュールの組み立て方法を提供することを主たる技術的課題とする。   The present invention has been made in view of the above, and has as its main technical problem to provide a novel method for assembling a camera module that does not require optical axis alignment after the assembly of the camera module.

本発明は、本願の基礎出願である特願2006−351923における出願当初の明細書の段落[0018]〜[0025](実施形態)及び[0028]〜[0033](第2の変形例、その他の変形例)に記載された部分に関する技術的思想を実現するための構成を課題解決手段とするものである。   The present invention relates to paragraphs [0018] to [0025] (embodiments) and [0028] to [0033] (second modified example, etc.) of the original specification of Japanese Patent Application No. 2006-351923, which is the basic application of the present application. The configuration for realizing the technical idea related to the portion described in the modified example is used as a problem solving means.

本発明に係る第1のカメラモジュールの組み立て方法は、受光面と内部を貫通して裏面側の端子に接続するための貫通電極(15)と面一かつ前記受光面に垂直な端面(T)とを備えるウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造の固体撮像素子チップ(10)と、前記固体撮像素子チップの周囲を覆う略筒状の外枠体(24)とを含むカメラモジュールの組み立て方法であって、
前記受光面に集光する1つ又は複数のレンズ(26)がその周縁部で中空に水平支持及び固定されたレンズバレル(25)を、前記外枠体の一端に螺着固定することにより、前記外枠体の他端内側の垂直壁を基準として、前記受光面の中心と前記レンズの光軸中心とが一致するように前記レンズバレルを配置する工程と、
前記垂直壁に前記垂直な端面を前記固体撮像素子チップの上端から下端まで隙間無く嵌合して前記固体撮像素子チップと前記外枠体とを前記端面全体で固定する工程とを含むことを特徴とする。
The first camera module assembling method according to the present invention includes an end face (T) that is flush with the through electrode (15) for passing through the inside of the light receiving surface and connecting to the terminal on the back surface side and is perpendicular to the light receiving surface. A solid-state imaging device chip (10) having a wafer level chip size package structure, and a substantially cylindrical outer frame (24) covering the periphery of the solid-state imaging device chip. And
By screwing and fixing a lens barrel (25) in which one or a plurality of lenses (26) condensing on the light receiving surface is horizontally supported and fixed in a hollow manner at the periphery thereof, to one end of the outer frame body, The step of arranging the lens barrel so that the center of the light receiving surface and the center of the optical axis of the lens coincide with each other on the basis of the vertical wall inside the other end of the outer frame,
Characterized in that it comprises a step of fixing said and the vertical end faces to the vertical wall and without clearance fit to the lower end from the upper end of the solid-state imaging device chip above the solid-state image pickup device chip and the outer frame body across said end face And

なお、本発明において、「受光面の中心」とは、フォトダイオード及びマイクロレンズから構成される矩形状の受光領域の対角中心部を指す。固体撮像素子チップには周辺回路やレジスタなどが設けられているため、受光面の中心は必ずしも固体撮像素子チップの中心にあるとは限らない。すなわち、光軸を合わせるとは、受光面の中心にレンズの光軸中心を一致させ、かつ受光面が光軸に対して垂直に固定されるように調整することに他ならない。   In the present invention, “the center of the light receiving surface” refers to a diagonal center portion of a rectangular light receiving region including a photodiode and a microlens. Since the solid-state image sensor chip is provided with peripheral circuits, registers, and the like, the center of the light receiving surface is not necessarily at the center of the solid-state image sensor chip. That is, aligning the optical axis is nothing but adjusting so that the center of the optical axis of the lens coincides with the center of the light receiving surface and the light receiving surface is fixed perpendicular to the optical axis.

ウェハーレベル・チップサイズ・パッケージは1枚の半導体ウェハー上に素子と配線工程を形成したのちに個片化する実装技術であり、スクライブラインに沿って切断された四方の端面Tには平坦な面(本明細書ではこれを「面一の端面」という。)が現れる。   Wafer level chip size package is a mounting technology that separates the elements after forming the elements and wiring process on a single semiconductor wafer, and is flat on the four end faces T cut along the scribe line. (In the present specification, this is referred to as “a flush end face”).

そして、本発明では、内部に貫通電極と半田ボールなどの電極端子を備えた固体撮像素子チップを前提としているため、固体撮像素子チップの「面一の端面」を光軸合わせの基準面にとることができる。その結果、固体撮像素子チップの受光面の中心は、固体撮像素子チップの面一の端面を基準として位置を特定することができ、組み立てが終了した時点で光軸合わせも終了することになる。   In the present invention, since a solid-state image sensor chip having a through electrode and an electrode terminal such as a solder ball is presupposed in the present invention, the “same end surface” of the solid-state image sensor chip is used as a reference plane for optical axis alignment. be able to. As a result, the position of the center of the light receiving surface of the solid-state image sensor chip can be specified with reference to the flush end surface of the solid-state image sensor chip, and the optical axis alignment is completed when the assembly is completed.

従って、極めて高い組み立て精度が要求されるウェハーレベル・チップサイズ・パッケージにおいても、厳密に光軸合わせ行うことが可能となり、しかも、組み立て工程後には一切光軸合わせを行う必要がない。   Therefore, even in a wafer level chip size package that requires extremely high assembly accuracy, optical axis alignment can be performed strictly, and it is not necessary to perform optical axis alignment after the assembly process.

さらに、本発明に係る第1のカメラモジュールの組み立て方法によって組み立てられたカメラモジュールは、外枠体の一端にレンズバレルを固定し、外枠体の他端内側の垂直壁に、固体撮像素子チップの垂直な端面を固体撮像素子チップの上端から下端まで隙間無く嵌合しているため、公知のチップ・サイズ・パッケージ構造のカメラモジュールを含め従来のどのタイプのカメラモジュールよりも大きな機械的強度を確保することができる。   Furthermore, the camera module assembled by the first camera module assembling method according to the present invention has a lens barrel fixed to one end of the outer frame, and a solid-state image sensor chip on the vertical wall inside the other end of the outer frame. The vertical end surface of the solid-state image sensor chip is fitted with no gap from the upper end to the lower end of the solid-state image sensor chip, so it has greater mechanical strength than any other type of camera module, including camera modules with known chip size and package structure. Can be secured.

本発明に係る第2のカメラモジュールの組み立て方法は、受光面と内部を貫通して裏面側の端子に接続するための貫通電極(15)と面一かつ前記受光面に垂直な端面(T)とを備えるウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造の固体撮像素子チップ(10)と、前記固体撮像素子チップの周囲を覆う略筒状の外枠体(24)とを含むカメラモジュールの組み立て方法であって、
前記受光面に集光する1つ又は複数のレンズ(26)を、その周縁部で中空に水平支持して前記外枠体の一端に固定することにより、前記外枠体の他端内側の垂直壁を基準として、前記受光面の中心と前記レンズの光軸中心とが一致するように前記レンズを配置する工程と、
前記垂直壁に前記垂直な端面を前記固体撮像素子チップの上端から下端まで隙間無く嵌合して前記固体撮像素子チップと前記外枠体とを前記端面全体で固定する工程とを含むことを特徴とする。
The second camera module assembling method according to the present invention includes an end surface (T) that is flush with the through electrode (15) for passing through the inside of the light receiving surface and connecting to a terminal on the back surface side and is perpendicular to the light receiving surface. A solid-state imaging device chip (10) having a wafer level chip size package structure, and a substantially cylindrical outer frame (24) covering the periphery of the solid-state imaging device chip. And
One or a plurality of lenses (26) for condensing on the light receiving surface is horizontally supported at the periphery of the lens (26) so as to be fixed to one end of the outer frame body, whereby the vertical inside the other end of the outer frame body is secured. Placing the lens such that the center of the light receiving surface and the center of the optical axis of the lens coincide with a wall as a reference;
Characterized in that it comprises a step of fixing said and the vertical end faces to the vertical wall and without clearance fit to the lower end from the upper end of the solid-state imaging device chip above the solid-state image pickup device chip and the outer frame body across said end face And

本発明に係る第1又は第2のカメラモジュールの組み立て方法における固体撮像素子チップは、受光面にマイクロレンズを具備すると共に、マイクロレンズの上面部に、マイクロレンズよりも相対的に屈折率の低い透明材料を具備してもよい。透明材料は、内部に微細な空孔を分散して含む透明樹脂であることが好ましい。これにより、マイクロレンズの集光効果をほとんど損なわずに高感度を保つことができる。 The solid-state image pickup device chip in the first or the assembly process of the second camera module according to the present invention, together with obtained if a microlens on the light receiving surface, the upper surface portion of the microlenses, a relatively refractive index than the microlens A low transparent material may be provided. The transparent material is preferably a transparent resin containing fine pores dispersed therein. As a result, high sensitivity can be maintained without substantially impairing the light collecting effect of the microlens.

本発明に係る第1又は第2のカメラモジュールの組み立て方法における外枠体24(24a〜24c)は遮光性のある材料で構成されることが好ましい。このようにすると、外枠体24が固体撮像素子チップ10の側端面を覆うように構成されているので、組み立てが完了した時点でレンズバレルレンズの周囲が完全に覆われるため、遮光性が一層高められ、光学性能が向上する。   The outer frame body 24 (24a to 24c) in the method for assembling the first or second camera module according to the present invention is preferably made of a light-shielding material. In this case, since the outer frame body 24 is configured to cover the side end surface of the solid-state imaging device chip 10, the periphery of the lens barrel lens is completely covered when the assembly is completed, so that the light shielding performance is further increased. The optical performance is improved.

本発明に係るカメラモジュールの組み立て方法ではカメラモジュールの組み立ての後に光軸合わせを必要とせず、光学系を含む全体的な機械的強度を確保することができる。   The camera module assembling method according to the present invention does not require alignment of the optical axis after assembling the camera module, and can ensure the overall mechanical strength including the optical system.

図1(a)は、本発明に係るカメラモジュールに使用される固体撮像素子チップの構造断面図を模式的に示した図である。図1(b)は、この固体撮像素子チップに、レンズユニットを取り付けて完成したカメラモジュールの基本構成を示している。FIG. 1A is a diagram schematically showing a structural cross-sectional view of a solid-state imaging device chip used in a camera module according to the present invention. FIG. 1B shows a basic configuration of a camera module completed by attaching a lens unit to the solid-state image sensor chip. 図2(a)は、本発明の実施形態の第1の変形例を示す図である。図2(b)は、本発明の実施形態の第2の変形例を示す図である。FIG. 2A is a diagram showing a first modification of the embodiment of the present invention. FIG. 2B is a diagram showing a second modification of the embodiment of the present invention. 図3(a)は、従来のカメラモジュールに使用される代表的な固体撮像素子チップの構造断面図の一例を模式的に示した図である。図3(b)は、図3(a)に示す固体撮像素子チップにレンズユニットを取り付けて完成したカメラモジュールの構造断面図の一例を模式的に示した図である。FIG. 3A is a diagram schematically showing an example of a structural cross-sectional view of a typical solid-state imaging device chip used in a conventional camera module. FIG. 3B is a diagram schematically showing an example of a structural cross-sectional view of a camera module completed by attaching a lens unit to the solid-state imaging device chip shown in FIG.

(実施形態)
図1は、本発明に係る第1のカメラモジュールの構成を説明するための図であり、図1(a)は、本発明に係るカメラモジュールに使用される固体撮像素子チップの構造断面図を模式的に示した図である。この固体撮像素子チップ10には半導体基板Sの表面に受光面として機能する多数のフォトダイオード11が作り込まれ、各フォトダイオードに対応してマイクロレンズ12がカラーフィルター13を介して設けられている。
(Embodiment)
FIG. 1 is a diagram for explaining a configuration of a first camera module according to the present invention, and FIG. 1A is a structural cross-sectional view of a solid-state imaging device chip used in the camera module according to the present invention. It is the figure shown typically. In this solid-state imaging device chip 10, a large number of photodiodes 11 functioning as light receiving surfaces are formed on the surface of the semiconductor substrate S, and microlenses 12 are provided via color filters 13 corresponding to the respective photodiodes. .

図1(a)より明らかなように、この固体撮像素子チップ10は、ウェハーレベル・チップ・サイズ・パッケージ構造(特に、内部に貫通電極15と半田ボール(BGA又はLGA)19を備えた3次元タイプのもので、「3D−CSP」と呼ばれる)で構成されている。マイクロレンズ12の上部に透明板16が設けられ、この透明板16は四方を囲うリブ17によって支持されている。リブ17は撮像素子チップ形成後に個片化するためのスクライブラインが設けられる部位であり、ウェハーの状態で全ての工程を完了した後にスクライブラインに沿ってダイシング工程を行う。リブ17はチップ間を分離する役割を担うものであるが、個片化後には必ず面一の端面Tが現れることになる。(逆に、個片化後にダイシングによって得られる端面が面一でないという構造は、通常のウェハーレベル・チップサイズ・パッケージの製造工程から得られる構造としてはあり得ない。この点は極めて重要である。)   As is clear from FIG. 1A, this solid-state imaging device chip 10 has a three-dimensional wafer level chip size package structure (in particular, a through electrode 15 and a solder ball (BGA or LGA) 19 inside). Type and called “3D-CSP”). A transparent plate 16 is provided on the microlens 12, and the transparent plate 16 is supported by ribs 17 surrounding the four sides. The rib 17 is a part where a scribe line for separating into individual pieces is formed after the imaging element chip is formed, and a dicing process is performed along the scribe line after completing all processes in a wafer state. The rib 17 plays a role of separating the chips, but a flat end face T always appears after separation. (Conversely, the structure in which the end faces obtained by dicing after singulation are not flush is not possible as a structure obtained from the manufacturing process of a normal wafer level chip size package. This point is extremely important. .)

図1(b)は、この固体撮像素子チップ10にレンズユニットを取り付けて完成したカメラモジュールの基本構成を示している。外枠体24がレンズバレル25に螺着される構成は従来と同様であるが、外枠体24の下部が固体撮像素子チップ10の四方の端面Tに設けられた位置調整枠18に嵌合するように設けられている。位置調整枠18は必須のものではなく、スペーサーとして機能させるための任意的な構成である。これは、固体撮像素子チップには受光部(受光面)のみならず、周辺回路なども同一基板上に作り込まれているため、チップの回路配置によっては受光面の中心が固体撮像素子チップの中心と一致しない場合もあるためである。   FIG. 1B shows a basic configuration of a camera module completed by attaching a lens unit to the solid-state image sensor chip 10. The configuration in which the outer frame body 24 is screwed to the lens barrel 25 is the same as in the prior art, but the lower part of the outer frame body 24 is fitted to the position adjustment frame 18 provided on the four end faces T of the solid-state image sensor chip 10. It is provided to do. The position adjustment frame 18 is not essential, and is an arbitrary configuration for functioning as a spacer. This is because not only the light receiving unit (light receiving surface) but also the peripheral circuits are formed on the same substrate in the solid-state image pickup device chip. This is because it may not coincide with the center.

位置調整枠18が不要な場合はリブの切断面に当たる端面Tが直接外枠体24と嵌合する。この意味において、位置調整枠は非対称であってもよい。また、固体撮像素子チップ10の底部にはボール・グリッド・アレイ(BGA)などの半田ボール19が設けられ、カメラモジュールは回路基板20に取り付けられる。   When the position adjustment frame 18 is not necessary, the end surface T that contacts the cut surface of the rib is directly fitted to the outer frame body 24. In this sense, the position adjustment frame may be asymmetric. A solder ball 19 such as a ball grid array (BGA) is provided on the bottom of the solid-state imaging device chip 10, and the camera module is attached to the circuit board 20.

外枠体24と固体撮像素子チップ10とは接着剤によって固定される。このとき、余分な接着剤を退避させる空間として、窪み27が設けられていてもよい。また、外枠体24及び位置調整枠18はいずれも遮光性のある材料で構成される。   The outer frame body 24 and the solid-state image sensor chip 10 are fixed by an adhesive. At this time, a recess 27 may be provided as a space for retracting excess adhesive. Both the outer frame body 24 and the position adjustment frame 18 are made of a light-shielding material.

このように、外枠体24にカメラ全体の光軸が合うように設計された固体撮像素子チップ10を固定する空間を設け、そこに固体撮像素子チップ10を装填する構成を採用することにより、カメラ全体の光軸がずれにくくなる。   Thus, by providing a space for fixing the solid-state image sensor chip 10 designed so that the optical axis of the entire camera is aligned with the outer frame body 24 and adopting a configuration in which the solid-state image sensor chip 10 is loaded therein, The optical axis of the entire camera is difficult to shift.

ウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造の固体撮像素子チップに対してスクライブラインに沿って分離された矩形状のチップに四方を囲う保護枠を設けると機械的強度が増し、外部からの衝撃に対して強くなるだけでなく、側方部からの光を遮断するなどの利点があるが、本発明はさらに、その保護枠とレンズ(或いはレンズバレル)を支持するための外枠体とを一体化した構造とすることによって、レンズの光軸合わせを不要にしたところにその特徴がある。   When a protective frame that surrounds a rectangular chip separated along the scribe line is provided for a solid-state image sensor chip with a wafer level, chip size, and package structure, mechanical strength increases, and external shocks are prevented. In addition to being strong, there are advantages such as blocking light from the side, but the present invention further integrates the protective frame and the outer frame for supporting the lens (or lens barrel). The structure is characterized in that it eliminates the need to align the optical axis of the lens.

すなわち、図3(b)に示すごとく固体撮像素子チップ100の端面に多数のワイヤーボンディングが施された従来のパッケージの場合、レンズバレルホルダー114は回路基板に固定されてはいるが、固体撮像素子チップ100とは固定されていない。このため、レンズバレルの組み立て工程の際に光軸がずれやすいという問題があった。しかし、本発明に係るカメラモジュールの場合、ウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造の固体撮像素子チップは外枠体24の下部に設けられた空間にぴったりと嵌り込むため、光軸がずれるという問題が発生しない。   That is, as shown in FIG. 3B, in the case of a conventional package in which a large number of wire bonds are applied to the end face of the solid-state image pickup device chip 100, the lens barrel holder 114 is fixed to the circuit board. The chip 100 is not fixed. For this reason, there has been a problem that the optical axis tends to shift during the assembly process of the lens barrel. However, in the case of the camera module according to the present invention, the solid-state imaging device chip having the wafer level, chip size, and package structure fits exactly in the space provided in the lower part of the outer frame body 24, so that there is a problem that the optical axis is shifted. Does not occur.

(第1の変形例)
図2(a)は、本発明の実施形態の第1の変形例を示す図であり、赤外線遮断フィルター23がレンズバレル側に設けられた構成を示している。なお、図1と同一の機能を示す部位には同一の符号が用いられている。この構成によると、赤外線遮断フィルターを外枠体24a側に設ける必要がないので構成が簡素化される。
(First modification)
FIG. 2A is a diagram showing a first modification of the embodiment of the present invention, and shows a configuration in which the infrared blocking filter 23 is provided on the lens barrel side. In addition, the same code | symbol is used for the site | part which shows the same function as FIG. According to this structure, since it is not necessary to provide an infrared shielding filter on the outer frame body 24a side, the structure is simplified.

この場合も、カメラの光軸が固体撮像素子チップ10の位置決めをする外枠体24bによって決定されるので、予め光軸合わせを行うように設計しておくことにより、組み立て工程時に光軸がずれることがない。   Also in this case, since the optical axis of the camera is determined by the outer frame body 24b for positioning the solid-state imaging device chip 10, the optical axis is shifted during the assembly process by designing the optical axis in advance. There is nothing.

(第2の変形例)
図2(b)は、本発明の実施形態の第2の変形例を示す図であり、レンズバレルと外枠体とが一体形成された構成を示している。なお、図1と同一の機能を示す部位には同一の符号が用いられている。従来は、レンズバレルと固体撮像素子チップとを別体に構成し、両者を螺着固定するものが一般的であったが、この実施形態では、レンズバレルが外枠体と一体成形された、いわばレンズバレルと一体化された特殊な構造の外枠体24cが設けられていることが特徴である。
(Second modification)
FIG. 2B is a view showing a second modification of the embodiment of the present invention, and shows a configuration in which a lens barrel and an outer frame are integrally formed. In addition, the same code | symbol is used for the site | part which shows the same function as FIG. Conventionally, the lens barrel and the solid-state imaging device chip are configured separately and are generally screwed and fixed, but in this embodiment, the lens barrel is integrally formed with the outer frame, In other words, the outer frame body 24c having a special structure integrated with the lens barrel is provided.

このように、外枠体24cがレンズバレルとも一体化されているので、光軸が一層ずれにくいことはもちろんのこと、ダイスボンダー等による組み立て工程も不要となるため組み立て工程が一層簡素化される。   As described above, since the outer frame 24c is integrated with the lens barrel, the optical axis is more difficult to shift, and the assembly process using a die bonder or the like is not necessary, thereby further simplifying the assembly process. .

(その他の変形例)
本発明に係るカメラモジュールは、ウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造を採用する固体撮像素子チップに適用される限りにおいて、特にその内部構造は限定されない。例えば、上記実施形態(変形例を含む)に示す固体撮像素子チップの構造は、いずれもマイクロレンズ12の上面部に透明板16が設けられたものである(図1(a)参照)。このリブ17によって四方を囲まれた透明板とマイクロレンズの空間は、空気(屈折率=1)で満たされているが、リブ12及び透明板16で空隙を設ける代わりに、マイクロレンズよりも相対的に屈折率が低い透明材料によってその空隙が充填されるように構成されていてもよい。特に、近年は屈折率の値が例えば2を超えるような、高屈折率材料でマイクロレンズを形成すると充填される透明材料の選択範囲が一層広がり、屈折率のより高い材料でも使用可能になる。
(Other variations)
The internal structure of the camera module according to the present invention is not particularly limited as long as it is applied to a solid-state imaging device chip adopting a wafer level chip size package structure. For example, all of the solid-state imaging device chip structures shown in the above-described embodiments (including modifications) are provided with a transparent plate 16 on the upper surface of the microlens 12 (see FIG. 1A). The space between the transparent plate and the microlens surrounded by the ribs 17 is filled with air (refractive index = 1), but instead of providing a gap with the ribs 12 and the transparent plate 16, it is more relative to the microlens. Alternatively, the gap may be filled with a transparent material having a low refractive index. In particular, in recent years, when a microlens is formed of a high refractive index material having a refractive index value exceeding 2, for example, the selection range of the transparent material to be filled is further expanded, and a material having a higher refractive index can be used.

透明材料はマイクロレンズよりも低屈折率の材料が選択される。具体的には、例えば、内部に微細な空孔を分散して含む熱硬化性の透明樹脂やUV硬化性の透明樹脂を用いることが好ましい。これには、通常のスピンコート法で厚さ数μmに保って、ウェハー(個片化前のウェハー)全面でほぼ均一になるように塗布形成し、比較的低温の熱硬化処理により空孔が膨張したまま硬化することで、実質的に屈折率が理論上は1.0乃至1.5未満(実際には屈折率1.1乃至1.4程度)の範囲の均質な透明樹脂を形成することができる。この低屈折率樹脂を用いると、マイクロレンズの集光効果をほとんど損なわずに高感度を保つことができる。   As the transparent material, a material having a lower refractive index than that of the microlens is selected. Specifically, for example, it is preferable to use a thermosetting transparent resin or a UV curable transparent resin containing fine pores dispersed therein. For this purpose, a normal spin coat method is used to maintain a thickness of several μm so that the entire surface of the wafer (wafer before singulation) is almost uniform, and pores are formed by a relatively low temperature thermosetting process. By curing while expanding, a homogeneous transparent resin having a refractive index in a range of theoretically less than 1.0 to 1.5 (in practice, a refractive index of about 1.1 to 1.4) is formed. be able to. When this low refractive index resin is used, high sensitivity can be maintained without substantially impairing the light collecting effect of the microlens.

さらに、低屈折率透明材料として実用的には、受光面上を覆う二酸化シリコン(SiO)或いはマイクロレンズの材料の屈折率より低い屈折率の、例えば高集積度半導体集積回路装置(LSI)で利用される多層配線の層間絶縁膜のような、より低誘電率の低密度誘電体或いは高分子化合物などの粘性体で透光性のものが利用できることはもちろんであり、加えて、この低屈折率透明材料上に硬質透明樹脂などによる保護層を備える場合でも、各層間の屈折率差による光学特性損失は無視できる程度の微小なものである。 Furthermore, practically as a low refractive index transparent material, for example, in a highly integrated semiconductor integrated circuit device (LSI) having a refractive index lower than the refractive index of silicon dioxide (SiO 2 ) or microlens material covering the light receiving surface. Of course, it is possible to use low-permittivity, low-density dielectrics such as interlayer insulation films for multilayer wiring, or viscous materials such as polymer compounds. Even when a protective layer made of hard transparent resin or the like is provided on the transparent material, the optical characteristic loss due to the difference in refractive index between each layer is negligible.

その他、適用可能な透明材料としては、二酸化シリコン(SiO)、ポーラスシリカ膜、有機無機ハイブリッド膜、高分子化合物などの透光性低密度誘電体膜であって、マイクロレンズよりも相対的に低屈折率のものであることが必要である。 Other applicable transparent materials include translucent low-density dielectric films such as silicon dioxide (SiO 2 ), porous silica films, organic-inorganic hybrid films, and polymer compounds, which are relatively in comparison to microlenses. It must be of low refractive index.

また、必要に応じて表面に赤外線遮断膜を積層形成することも可能である。その場合、図1(b)、図2(a)及び(b)に示す赤外線遮断フィルター23は不要となる。   Moreover, it is also possible to laminate | stack the infrared rays shielding film on the surface as needed. In that case, the infrared shielding filter 23 shown in FIGS. 1B, 2A, and 2B is not necessary.

このように、装填すべき固体撮像素子チップ10は、チップ完成後にダイシングによって個片化されるウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造のもの(但し四方の端面が面一のもの)であれば、特に限定されるものではない。   As described above, the solid-state imaging device chip 10 to be loaded has a wafer level chip size package structure that is separated into pieces by dicing after completion of the chip (however, the four end faces are flush), in particular. It is not limited.

ウェハーレベル・チップ・サイズ・パッケージ実装技術を適用した固体撮像装置を組み込んだ超小型のカメラモジュールは、カメラ機能付きの携帯電話など多くの機器に適用されるものであり、本発明は、その組み立て工程における光軸ずれを効果的に抑制することができる技術として、産業上の利用可能性は極めて大きい。   An ultra-small camera module incorporating a solid-state imaging device to which wafer level chip size package mounting technology is applied is applied to many devices such as a mobile phone with a camera function. Industrial applicability is extremely large as a technology that can effectively suppress the optical axis shift in the process.

10 固体撮像素子チップ
12 マイクロレンズ
15 貫通電極
18 位置調整枠
20 回路基板
24 外枠体
25 レンズバレル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Solid-state image sensor chip | tip 12 Micro lens 15 Through electrode 18 Position adjustment frame 20 Circuit board 24 Outer frame body 25 Lens barrel

Claims (7)

受光面と内部を貫通して裏面側の端子に接続するための貫通電極(15)と面一かつ前記受光面に垂直な端面(T)とを備えるウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造の固体撮像素子チップ(10)と、
前記固体撮像素子チップの周囲を覆う略筒状の外枠体(24)とを含むカメラモジュールの組み立て方法であって、
前記受光面に集光する1つ又は複数のレンズ(26)がその周縁部で中空に水平支持及び固定されたレンズバレル(25)を、前記外枠体の一端に螺着固定することにより、前記外枠体の他端内側の垂直壁を基準として、前記受光面の中心と前記レンズの光軸中心とが一致するように前記レンズバレルを配置する工程と、
前記垂直壁に前記垂直な端面を前記固体撮像素子チップの上端から下端まで隙間無く嵌合して前記固体撮像素子チップと前記外枠体とを前記端面全体で固定する工程とを含むことを特徴とするカメラモジュールの組み立て方法。
Solid-state imaging of a wafer level chip size package structure comprising a light receiving surface and a through electrode (15) penetrating the inside and connecting to a terminal on the back surface side and an end surface (T) flush with the light receiving surface and perpendicular to the light receiving surface An element chip (10);
An assembly method of a camera module including a substantially cylindrical outer frame (24) covering the periphery of the solid-state imaging device chip,
By screwing and fixing a lens barrel (25) in which one or a plurality of lenses (26) condensing on the light receiving surface is horizontally supported and fixed in a hollow manner at the periphery thereof, to one end of the outer frame body, The step of arranging the lens barrel so that the center of the light receiving surface and the center of the optical axis of the lens coincide with each other on the basis of the vertical wall inside the other end of the outer frame,
Characterized in that it comprises a step of fixing said and said end faces perpendicular to the vertical wall and without clearance fit to the lower end from the upper end of the solid-state imaging device chip above the solid-state image pickup device chip and the outer frame body across said end face How to assemble the camera module.
受光面と内部を貫通して裏面側の端子に接続するための貫通電極(15)と面一かつ前記受光面に垂直な端面(T)とを備えるウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造の固体撮像素子チップ(10)と、
前記固体撮像素子チップの周囲を覆う略筒状の外枠体(24)とを含むカメラモジュールの組み立て方法であって、
前記受光面に集光する1つ又は複数のレンズ(26)を、前記外枠体の一端にその周縁部で中空に水平支持して固定することにより、前記外枠体の他端内側の垂直壁を基準として、前記受光面の中心と前記レンズの光軸中心とが一致するように前記レンズを配置する工程と、
前記垂直壁に前記垂直な端面を前記固体撮像素子チップの上端から下端まで隙間無く嵌合して前記固体撮像素子チップと前記外枠体とを前記端面全体で固定する工程とを含むことを特徴とするカメラモジュールの組み立て方法。
Solid-state imaging of a wafer level chip size package structure comprising a light receiving surface and a through electrode (15) penetrating the inside and connecting to a terminal on the back surface side and an end surface (T) flush with the light receiving surface and perpendicular to the light receiving surface An element chip (10);
An assembly method of a camera module including a substantially cylindrical outer frame (24) covering the periphery of the solid-state imaging device chip,
One or a plurality of lenses (26) for condensing light on the light receiving surface is fixed to one end of the outer frame body by supporting it horizontally and hollowly at the peripheral edge of the outer frame body. Placing the lens such that the center of the light receiving surface and the center of the optical axis of the lens coincide with a wall as a reference;
Characterized in that it comprises a step of fixing said and said end faces perpendicular to the vertical wall and without clearance fit to the lower end from the upper end of the solid-state imaging device chip above the solid-state image pickup device chip and the outer frame body across said end face How to assemble the camera module.
前記固体撮像素子チップは、
前記受光面にマイクロレンズ(12)を具備するとと共に、
前記マイクロレンズの上面部に前記マイクロレンズよりも相対的に屈折率の低い透明材料を具備することを特徴とする請求項1又は2記載のカメラモジュールの組み立て方法。
The solid-state image sensor chip is
A microlens (12) is provided on the light receiving surface,
The method for assembling a camera module according to claim 1, wherein a transparent material having a refractive index relatively lower than that of the microlens is provided on an upper surface portion of the microlens.
前記透明材料は、内部に微細な空孔を分散して含む透明樹脂であることを特徴とする請求項3記載のカメラモジュールの組み立て方法。   4. The method for assembling a camera module according to claim 3, wherein the transparent material is a transparent resin containing fine pores dispersed therein. 前記外枠体は、遮光性のある材料で構成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のカメラモジュールの組み立て方法。   The method of assembling a camera module according to claim 1, wherein the outer frame body is made of a light-shielding material. 受光面と内部を貫通して裏面側の端子に接続するための貫通電極(15)と面一かつ前記受光面に垂直な端面(T)とを備えるウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造の固体撮像素子チップ(10)と、
前記固体撮像素子チップの周囲を覆う略筒状の外枠体(24)とを嵌合してなるカメラモジュールであって、
前記受光面に集光する1つ又は複数のレンズ(26)がその周縁部で中空に水平支持及び固定されたレンズバレル(25)が、前記外枠体の一端に螺着固定され、
前記外枠体の他端内側の垂直壁を基準として前記受光面の中心と前記レンズの光軸中心とが一致するように前記レンズバレルが配置され、
前記垂直壁に前記垂直な端面が前記固体撮像素子チップの上端から下端まで隙間無く嵌合して前記固体撮像素子チップと前記外枠体とを前記端面全体で固定されていることを特徴とするカメラモジュール。
Solid-state imaging of a wafer level chip size package structure comprising a light receiving surface and a through electrode (15) penetrating the inside and connecting to a terminal on the back surface side and an end surface (T) flush with the light receiving surface and perpendicular to the light receiving surface An element chip (10);
A camera module formed by fitting a substantially cylindrical outer frame (24) covering the periphery of the solid-state imaging device chip,
A lens barrel (25) in which one or a plurality of lenses (26) condensing on the light receiving surface is horizontally supported and fixed in a hollow manner at the periphery thereof is screwed and fixed to one end of the outer frame body,
The lens barrel is disposed so that the center of the light receiving surface and the optical axis center of the lens coincide with each other with the vertical wall inside the other end of the outer frame as a reference,
Wherein the end faces perpendicular to said vertical wall is fixed and the outer frame body and the solid-state imaging device chip and without clearance fit to the lower end from the upper end of the solid-state imaging element chip across the end surface The camera module.
受光面と内部を貫通して半田ボールなどの裏面側の端子に接続するための貫通電極(15)と面一かつ前記受光面に垂直な端面(T)とを備えるウェハーレベル・チップサイズ・パッケージ構造の固体撮像素子チップ(10)と、
前記固体撮像素子チップの周囲を覆う略筒状の外枠体(24)とを嵌合してなるカメラモジュールであって、
前記受光面に集光する1つ又は複数のレンズ(26)が前記外枠体内の一端にその周縁部で中空に水平支持されつつ固定され、
前記外枠体の他端内側の垂直壁を基準として前記受光面の中心と前記レンズの光軸中心とが一致するように前記レンズが配置され、
前記垂直壁に前記垂直な端面が前記固体撮像素子チップの上端から下端まで隙間無く嵌合して前記固体撮像素子チップと前記外枠体とを前記端面全体で固定されていることを特徴とするカメラモジュール。
Wafer level chip size package comprising a light receiving surface and a through electrode (15) penetrating the inside and connecting to a terminal on the back surface side such as a solder ball and an end surface (T) that is flush with and perpendicular to the light receiving surface A solid-state imaging device chip (10) having a structure;
A camera module formed by fitting a substantially cylindrical outer frame (24) covering the periphery of the solid-state imaging device chip,
One or more lenses (26) for condensing on the light receiving surface are fixed to one end of the outer frame body while being horizontally supported horizontally at the peripheral edge thereof,
The lens is arranged so that the center of the light receiving surface coincides with the optical axis center of the lens with respect to a vertical wall inside the other end of the outer frame body,
Wherein the end faces perpendicular to said vertical wall is fixed and the outer frame body and the solid-state imaging device chip and without clearance fit to the lower end from the upper end of the solid-state imaging element chip across the end surface The camera module.
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