JP5160346B2 - Photoelectric composite flexible wiring board and manufacturing method thereof - Google Patents

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本発明は、薄くかつ耐屈曲性に優れる光電複合フレキシブル配線板およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a photoelectric composite flexible wiring board that is thin and excellent in bending resistance and a method for manufacturing the same.

携帯電話やデジタルカメラ、ノートパソコンなどに代表されるモバイル電子機器には、軽薄短小化が特に強く要求されている。そのため、モバイル電子機器を軽薄短小化しかつ使い易くするためには、折り畳み型やスライド型などの筺体デザインが多く採用されている。   Mobile electronic devices represented by mobile phones, digital cameras, notebook computers, and the like are particularly strongly required to be light and thin. For this reason, in order to make mobile electronic devices lighter, thinner, and easier to use, a foldable or slide type housing design is often employed.

このような優れたデザインの実現には、折り畳み構造やスライド構造を実現する複合動作型ヒンジの内部を通し電気信号を伝送する必要がある。複合動作型ヒンジの内部における電気信号の伝送には、動的屈曲状態でも信号伝送が可能なフレキシブル配線板が用いられており、ヒンジ部に使用されるフレキシブル配線板には、10万回レベルの繰り返しの屈曲動作において、機械的・電気的に耐えることが要求されている。   In order to realize such an excellent design, it is necessary to transmit an electrical signal through the inside of a composite operation type hinge that realizes a folding structure or a sliding structure. A flexible wiring board capable of transmitting a signal even in a dynamically bent state is used to transmit an electric signal inside the composite operation type hinge. The flexible wiring board used for the hinge portion has a level of 100,000 times. It is required to endure mechanically and electrically in repeated bending operations.

携帯電話やデジタルカメラなど、モバイル電子機器自体には軽薄短小化が求められるのに対し、電子機器が処理しなくてはならないデータサイズは、高画質の静止画/動画データを含め急速に大きくなっており、また情報処理速度の高速化も求められている。したがって、電子機器に使用されるフレキシブル配線板には、基板自体の軽薄短小化に加え、更なる高速信号の伝送対応が求められている。   While mobile electronic devices such as mobile phones and digital cameras are required to be lighter, thinner, and smaller, the data size that electronic devices must process increases rapidly, including high-quality still image / video data. There is also a need for faster information processing. Therefore, flexible wiring boards used in electronic devices are required to be capable of transmitting higher-speed signals in addition to making the substrates themselves lighter, thinner, and smaller.

従来、フレキシブル配線板では、銅配線によって電気信号を伝送しているが、現在および今後の大容量・高速信号処理のニーズに対応するため、フレキシブル配線板において光信号も同時に伝送する試みがなされており、フレキシブル配線板で光信号伝送を行うには、光導波路および導電配線の複合が必要である。   Conventionally, flexible wiring boards transmit electrical signals using copper wiring, but to meet current and future needs for large-capacity and high-speed signal processing, attempts have been made to simultaneously transmit optical signals on flexible wiring boards. In order to perform optical signal transmission with a flexible wiring board, a composite of an optical waveguide and a conductive wiring is required.

上記をまとめると、現在および将来において、フレキシブル配線板には、下記の3つの条件を満たすことが必要となっている。
(a) 光伝送を行うための光導波路と導電配線とが複合すること。
(b) 上記配線板が機械的・電気的・光学的な耐屈曲性能を併せ持つこと。
(c) 上記配線板自体が軽薄短小化できること。
In summary, in the present and future, the flexible wiring board is required to satisfy the following three conditions.
(a) A composite of an optical waveguide for conducting optical transmission and a conductive wiring.
(b) The wiring board has mechanical, electrical and optical bending resistance.
(c) The wiring board itself can be made light, thin and small.

しかしながら、光導波路と導電配線とを複合するフレキシブル配線板の従来の構造としては、特許文献1に見られるように、フレキシブル配線板と光導波路層とを別層とする構造としており、そのためフレキシブル配線板として厚みが増していて曲げ難くなる。   However, the conventional structure of the flexible wiring board that combines the optical waveguide and the conductive wiring has a structure in which the flexible wiring board and the optical waveguide layer are separate layers, as seen in Patent Document 1, and therefore flexible wiring As the plate increases in thickness, it becomes difficult to bend.

また曲げ難いばかりでなく、光導波路コア材層および導電金属層が別層である構造上、基板全体を曲げた際に発生する曲げ応力の中心は、光導波路コア材層および導電金属層の中心から外れるため、各層に加わる曲げ応力もより大きくなる。したがって、光導波路コア材層および導電金属層の耐屈曲寿命がより短くなってしまう。
特許第3193500号
In addition to being difficult to bend, the center of the bending stress generated when the entire substrate is bent is the center of the optical waveguide core material layer and the conductive metal layer due to the structure in which the optical waveguide core material layer and the conductive metal layer are separate layers. Therefore, the bending stress applied to each layer also becomes larger. Therefore, the bending life of the optical waveguide core material layer and the conductive metal layer is further shortened.
Patent No. 3193500

本発明は上述の点を考慮してなされたもので、薄くかつ耐屈曲性に優れ、光電変換素子を含む半導体を実装できる光電複合フレキシブル配線板およびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described points, and an object thereof is to provide a photoelectric composite flexible wiring board that is thin and excellent in bending resistance and that can mount a semiconductor including a photoelectric conversion element, and a method for manufacturing the same.

上記目的達成のため、本願では、請求項に記載する物の発明、および請求項に記載する製造方法の発明を提供する。 For the purposes achieved, in the present application, it provides the invention of manufacturing methods described invention, and claim 3 things according to claim 1.

すなわち、請求項1記載の、
クラッド材ベースフィルムの表面に、光導波路コア材パターンと導電金属パターンとが設けられた光電複合フレキシブル配線板において、
少なくとも屈曲可撓部においては前記光導波路コア材パターンと前記導電金属パターンとが同一平面上に配置され、
前記光導波路コア材パターンと導電金属パターンとがクラッド材カバーレイにより被覆され、
前記光導波路コア材パターンの厚みが前記導電金属パターンの厚みより厚く、前記光導波路コア材パターンに接する部分の前記クラッド材ベースフィルムの厚みが、前記導電金属パターンに接する部分の厚みより薄くなっている
ことを特徴とする光電複合フレキシブル配線板、
および請求項3記載の、
クラッド材ベースフィルムの表面に、光導波路コア材パターンと導電金属パターンとが設けられた光電複合フレキシブル配線板の製造方法において、
(a) 前記クラッド材ベースフィルムの少なくとも一方面に金属層を有する積層体を用意し、
(b) 前記金属層の不要部分を除去することにより、導電金属パターンを形成し、
(c) 前記金属層が除去され露出した前記クラッド材ベースフィルムの表面の一部を薄く加工し
(d) 前記導電金属パターンのある面にコア材層を積層し、
(e) 前記コア材層の不要部分を除去することにより、少なくとも屈曲可撓部においては薄く加工が施された前記クラッド材ベースフィルム上に光導波路コア材パターンを形成し、
(f) 前記光導波路コア材パターンを覆うようにクラッド材カバーレイを被覆する
ことを特徴とする光電複合フレキシブル配線板の製造方法、
である。
That is, according to claim 1,
In the photoelectric composite flexible wiring board provided with the optical waveguide core material pattern and the conductive metal pattern on the surface of the clad material base film,
At least in the bending flexible part, the optical waveguide core material pattern and the conductive metal pattern are arranged on the same plane,
The optical waveguide core material pattern and the conductive metal pattern are covered with a clad material coverlay ,
The thickness of the optical waveguide core material pattern is thicker than the thickness of the conductive metal pattern, and the thickness of the clad material base film in contact with the optical waveguide core material pattern is smaller than the thickness of the portion in contact with the conductive metal pattern. the photoelectric composite flexible wiring board, characterized in that there,
And claim 3,
In the method of manufacturing a photoelectric composite flexible wiring board in which an optical waveguide core material pattern and a conductive metal pattern are provided on the surface of the cladding material base film,
(a) preparing a laminate having a metal layer on at least one surface of the clad material base film,
(b) forming a conductive metal pattern by removing unnecessary portions of the metal layer;
(c) Thinly processing a part of the surface of the cladding material base film exposed by removing the metal layer ,
(d) the core material layer is laminated on a surface of the conductive metal pattern,
(e) By removing unnecessary portions of the core material layer , an optical waveguide core material pattern is formed on the clad material base film that is thinly processed at least in the bending flexible portion ;
(f) A method for producing a photoelectric composite flexible wiring board, comprising: covering a clad material coverlay so as to cover the optical waveguide core material pattern;
It is.

以下、図1ないし図7に基づいて本発明の実施の形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS.

図1は、本発明の適用対象例である光電複合フレキシブル配線板モジュールを示す平面図である。この図1において、光導波路コア材パターン2と導電金属パターン3とを複合したケーブル部、ケーブル部の図示左側に配された受光素子、アンプIC、信号変換ICおよび導電金属パターンコネクタ実装部、ならびにケーブル部の図示右側に配された発光素子、ドライバICおよび導電金属パターン挿しコネクタ部をそなえる。   FIG. 1 is a plan view showing a photoelectric composite flexible wiring board module which is an application target example of the present invention. In FIG. 1, a cable portion in which the optical waveguide core material pattern 2 and the conductive metal pattern 3 are combined, a light receiving element, an amplifier IC, a signal conversion IC and a conductive metal pattern connector mounting portion arranged on the left side of the cable portion, A light emitting element, a driver IC, and a conductive metal pattern insertion connector portion arranged on the right side of the cable portion are provided.

この光電複合フレキシブル配線板モジュールは、クラッド材ベースフィルム等のベース材の表面に、導電金属パターン3で形成された電気コネクタ実装部、実装されたコネクタソケットまたはヘッダ部品等が組み合わされて形成されている。   This photoelectric composite flexible wiring board module is formed by combining an electrical connector mounting portion formed of a conductive metal pattern 3, a mounted connector socket or a header component, etc. on the surface of a base material such as a clad base film. Yes.

挿しコネクタ部より伝送された電気信号は、実装されたVCSEL(面発光レーザ)等の発光素子により光信号に変換され光導波路を伝搬する。光導波路を伝搬した光信号は、同じく実装部品であるフォトダイオード等の受光素子により電気信号に再変換され、さらにアンプIC等により増幅され、必要な信号変換処理が行われた上で導電パターンに接続されたコネクタ部実装部を介して更に信号が伝搬される。 The electrical signal transmitted from the insertion connector portion is converted into an optical signal by a light emitting element such as a VCSEL (surface emitting laser) mounted and propagates through the optical waveguide. The optical signal propagated through the optical waveguide is converted back to an electrical signal by a light receiving element such as a photodiode, which is also a mounted component, and further amplified by an amplifier IC or the like, and after necessary signal conversion processing is performed, it is converted into a conductive pattern. A signal is further propagated through the connected connector part mounting part.

第1の実施形態First embodiment

図2は、本発明による最も基本的な構造を持つ第1の実施形態を示す。この第1の実施形態では、光導波路クラッド材ベースフィルム1の表面に、光導波路コア材パターン2と導電金属パターン3とが設けられた光電複合フレキシブル配線板において、少なくとも屈曲可撓部においては、光導波路コア材パターン2と導電金属パターン3とは同一平面上に配置され、光導波路コアパターン2と導電配線パターン3とを被覆するクラッド材カバーレイ4を有する。ここでクラッド材、コア材の材料としては、ポリイミド系、エポキシ系、アクリル系等の樹脂が挙げられる。   FIG. 2 shows a first embodiment with the most basic structure according to the invention. In the first embodiment, in the photoelectric composite flexible wiring board in which the optical waveguide core material pattern 2 and the conductive metal pattern 3 are provided on the surface of the optical waveguide cladding material base film 1, at least in the bending flexible portion, The optical waveguide core material pattern 2 and the conductive metal pattern 3 are disposed on the same plane, and have a clad material coverlay 4 that covers the optical waveguide core pattern 2 and the conductive wiring pattern 3. Here, examples of the material for the clad material and the core material include polyimide resins, epoxy resins, acrylic resins, and the like.

導電金属パターンの形成法としては、シード層にめっきで配線を形成するセミアディティブ法、または金属粒子を樹脂バインダーに分散してスクリーン印刷、インクジェット印刷などの印刷法を用いてもよいが、繰り返し屈曲に対する耐性が高い点から金属箔をエッチングするサブトラクティブ法がより望ましい。   As a method for forming the conductive metal pattern, a semi-additive method in which wiring is formed on the seed layer by plating, or a printing method such as screen printing or ink jet printing in which metal particles are dispersed in a resin binder may be used. A subtractive method of etching a metal foil is more desirable because of its high resistance to rust.

図3に、本発明による光電複合フレキシブル配線板の製造方法の一例を示す。図2で示した基本構造の製法を、図1の切断面A−Aを対象として説明する。この製法は、下記工程(a)ないし(e)を含む。   In FIG. 3, an example of the manufacturing method of the photoelectric composite flexible wiring board by this invention is shown. The manufacturing method of the basic structure shown in FIG. 2 will be described with respect to the cutting plane AA in FIG. This manufacturing method includes the following steps (a) to (e).

工程(a):クラッド材ベースフィルムの少なくとも一方の面に金属層を有する積層体を用意する。金属箔3aの表面状態としては、極力平滑であることが好ましい。金属箔3aとして銅箔を用いる場合、銅箔表面の凹凸が、クラッド材ベースフィルム1に転写し、クラッド材ベースフィルム1の表面、およびクラッド材ベースフィルム1の表面に形成されるコア材パターン2の表面が凸凹となり、光導波路としての伝送損失が増加するためである。 Step (a): A laminate having a metal layer on at least one surface of the clad material base film is prepared. The surface state of the metal foil 3a is preferably as smooth as possible. When copper foil is used as the metal foil 3a, the unevenness on the surface of the copper foil is transferred to the clad material base film 1, and the core material pattern 2 formed on the surface of the clad material base film 1 and the surface of the clad material base film 1 This is because the surface of the film becomes uneven, and transmission loss as an optical waveguide increases.

工程(b):金属箔3a上に、ドライフィルムの露光・現像等によりエッチングレジスト(図示せず)を形成し、金属箔3aのエッチング処理により、金属箔3aの不要な部分を除去し、必要な導電配線パターン3を形成する。   Step (b): An etching resist (not shown) is formed on the metal foil 3a by exposure / development of a dry film, and unnecessary portions of the metal foil 3a are removed by etching the metal foil 3a. A conductive wiring pattern 3 is formed.

工程(c):光導波路の感光性コア材2aを、工程(b)で形成した導電配線パターン3間が埋まるように形成する。感光性コア材2aの形成方法としては、フィルム化した感光性コア材2aと工程(b)で形成した基板とをラミネートプレスや真空ラミネートプレスにより形成する方法や、ワニス状のコア材2aを、スクリーン印刷やスプレー印刷等により塗布・乾燥して形成する方法が適用可能である。   Step (c): The photosensitive core material 2a of the optical waveguide is formed so that the space between the conductive wiring patterns 3 formed in the step (b) is filled. As a method of forming the photosensitive core material 2a, a method of forming the film-formed photosensitive core material 2a and the substrate formed in the step (b) by a laminating press or a vacuum laminating press, or a varnish-like core material 2a, A method of forming by applying and drying by screen printing or spray printing is applicable.

工程(d):工程(b)で形成した感光性コア材2aを露光・現像し、光導波路のコア材パターン2を形成する。   Step (d): The photosensitive core material 2a formed in the step (b) is exposed and developed to form the core material pattern 2 of the optical waveguide.

工程(e):工程(d)で形成した光導波路のコア材パターン2を被覆する形で、クラッド材カバーレイ4を形成し、部品実装に必要な導電パッド上の開口部を形成する。   Step (e): A clad material coverlay 4 is formed so as to cover the core material pattern 2 of the optical waveguide formed in the step (d), and an opening on the conductive pad necessary for component mounting is formed.

この後、さらに導電パッド上にめっき等の表面処理を行ない、部品実装を行うこともできる。   Thereafter, the component mounting can also be performed by performing a surface treatment such as plating on the conductive pad.

これらの特徴により、本発明は次のような効果を有する。   Due to these features, the present invention has the following effects.

本発明により、電気信号用の導電金属パターンと光導波路パターンとを同一面内に形成し、光導波路のクラッド材をフレキシブル配線板のベースフィルムおよびカバーレイとして用いることにより、光電複合フレキシブル配線板の総厚みを薄くすることが可能である。   According to the present invention, a conductive metal pattern for an electrical signal and an optical waveguide pattern are formed in the same plane, and the cladding material of the optical waveguide is used as a base film and a coverlay of the flexible wiring board, thereby It is possible to reduce the total thickness.

本発明により光電複合フレキシブル配線板の総厚さを薄くできることは、電子機器に求められる軽薄短小化に有利で、かつ薄くなることにより基板として柔らかさの向上および耐屈曲性の向上が実現される。   The fact that the total thickness of the photoelectric composite flexible wiring board can be reduced according to the present invention is advantageous for lightness and thinness required for electronic devices, and by being thinned, improvement in softness and improvement in flex resistance are realized as a substrate. .

第2の実施形態Second embodiment

光導波路においては、クラッド材ベースフィルムの表面、およびクラッド材ベースフィルム上に形成されるコアパターンの表面が凸凹状に荒れていると、光導波路としての伝送損失が大きくなり不利である。そのため、第1の実施形態に示す構造および製造方法では、使用する金属箔の表面が極力平滑である必要がある。   In the optical waveguide, if the surface of the clad material base film and the surface of the core pattern formed on the clad material base film are rough, the transmission loss as the optical waveguide increases, which is disadvantageous. Therefore, in the structure and the manufacturing method shown in the first embodiment, the surface of the metal foil to be used needs to be as smooth as possible.

一方、金属箔の表面が平滑になるほど物理的アンカー効果が減少するため、これと積層される樹脂材料との密着力は低下する。第2の実施形態では、実用上十分な密着特性を得るために必要な粗化処理を施した金属箔を使用し、かつ光導波路としての伝送損失を確保し、しかも屈曲特性を向上させる製法および構造を示す。   On the other hand, since the physical anchor effect decreases as the surface of the metal foil becomes smoother, the adhesion between the metal foil and the laminated resin material decreases. In the second embodiment, a metal foil that has been subjected to a roughening treatment necessary for obtaining practically sufficient adhesion characteristics, secures transmission loss as an optical waveguide, and further improves bending characteristics, and The structure is shown.

図4は、図2で説明した光電複合フレキシブル配線板において、光導波路コアパターンの厚みが導電金属パターンの厚みより厚く、光導波路コア材パターンに接する部分のクラッド材ベースフィルムの厚みが、導電金属パターンに接する部分の厚みより薄くなっていることを特徴とする構造である。   FIG. 4 shows the photoelectric composite flexible wiring board described with reference to FIG. 2, in which the thickness of the optical waveguide core pattern is larger than the thickness of the conductive metal pattern, and the thickness of the clad material base film in contact with the optical waveguide core material pattern is The structure is characterized by being thinner than the thickness of the portion in contact with the pattern.

図5は、図4に示した光電複合フレキシブル配線板の製法を示す断面工程図であり、下記工程(a)ないし(f)を含む。   FIG. 5 is a cross-sectional process diagram illustrating a method of manufacturing the photoelectric composite flexible wiring board shown in FIG. 4 and includes the following steps (a) to (f).

工程(a):少なくともクラッド材ベースフィルム1の一方の面に金属層3aを有する積層体を用意する。クラッド材ベースフィルム1と密着する側の金属箔3aの表面は、クラッド材ベースフィルム1との必要十分な密着力を得るために、粗化処理を施したものである。   Step (a): A laminate having a metal layer 3a on at least one surface of the clad material base film 1 is prepared. The surface of the metal foil 3 a that is in close contact with the cladding material base film 1 is subjected to a roughening treatment in order to obtain a necessary and sufficient adhesion force with the cladding material base film 1.

工程(b):金属箔3a上に、ドライフィルムの露光・現像等によりエッチングレジスト(図示せず)を形成し、金属箔3aのエッチング処理により、金属箔3aの不要な部分を除去し、必要な導電金属パターン3を形成する。   Step (b): An etching resist (not shown) is formed on the metal foil 3a by exposure / development of a dry film, and unnecessary portions of the metal foil 3a are removed by etching the metal foil 3a. A conductive metal pattern 3 is formed.

工程(c):金属箔3aが除去され露出したクラッドベース材1の表面の一部を削って薄く加工する。薄く加工する方法としては、ダイサーでの掘り込み加工や、レーザーによるアブレーション加工、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、薬液による化学エッチング等が適用可能である。   Step (c): A part of the surface of the clad base material 1 exposed by removing the metal foil 3a is cut and thinned. As a thin processing method, digging with a dicer, ablation processing with a laser, plasma etching, reactive ion etching, chemical etching with a chemical solution, or the like can be applied.

特にダイサーによる掘り込み加工では、機械的に簡便な手法で金属箔3aの裏面形状の転写によるクラッド材1の表面の凹凸を削り取り掘り込み加工部5を形成することができ、これにより平滑な表面とすることができる。 Especially in machining dug by Dicer, can it to form a working unit 5 dug Ri Kezurito irregularities of the clad material 1 of the surface by the transfer of the back surface shape of the metal foil 3a mechanically simple method, thereby A smooth surface can be obtained.

工程(d):光導波路の感光性コア材2aを、工程(c)で形成した導電金属パターン3間を埋めるように形成する。図では、導電金属パターン3および掘り込み加工部5を埋めるだけでなく上部を覆うように形成している。 Step (d): The photosensitive core material 2a of the optical waveguide is formed so as to fill between the conductive metal patterns 3 formed in the step (c). In the figure, the conductive metal pattern 3 and the digging portion 5 are formed not only to be buried but also to cover the upper portion.

感光性コア材2の形成方法としては、フィルム化したコア材2aと工程(c)で形成した基板とをラミネートプレスや真空ラミネートプレスにより形成する方法や、ワニス状のコア材2aを、スクリーン印刷やスプレー印刷等により塗布・乾燥して形成する方法が可能である。   As a method for forming the photosensitive core material 2, a method of forming a filmed core material 2a and a substrate formed in the step (c) by a laminating press or a vacuum laminating press, or a varnish-like core material 2a by screen printing. Or a method of forming by applying and drying by spray printing or the like.

工程(e):工程(d)で形成した感光性コア材2aを露光・現像し、光導波路のコア材パターン2を形成する。   Step (e): The photosensitive core material 2a formed in the step (d) is exposed and developed to form the core material pattern 2 of the optical waveguide.

工程(f):工程(e)で形成した光導波路のコア材パターン2を被覆する形で、クラッド材カバーレイ4を形成し、部品実装に必要な導電パッド上の開口部を形成する。   Step (f): A clad material coverlay 4 is formed so as to cover the core material pattern 2 of the optical waveguide formed in the step (e), and an opening on the conductive pad necessary for component mounting is formed.

上記工程(a)ないし(f)を含む製法により、密着力向上のための粗化処理を行った金属箔を用いることが可能で、かつクラッド材に転写される金属表面の粗化処理により形成された凹凸の転写を除去し、クラッド材1の平滑な表面が得られる。この結果、その上に平滑な表面を有するコアパターン2の形成が可能となるため、光導波路部分の光伝送損失の増加を抑えることができる。   It is possible to use a metal foil that has been subjected to a roughening treatment for improving adhesion by the production method including the above steps (a) to (f), and formed by a roughening treatment of the metal surface transferred to the clad material. The transferred irregularities are removed, and a smooth surface of the clad material 1 is obtained. As a result, it is possible to form the core pattern 2 having a smooth surface thereon, so that an increase in optical transmission loss in the optical waveguide portion can be suppressed.

しかも、クラッド材1を掘り込むことで、コア材2の曲げ中心を基板全体の曲げ中心と合わせ、コア材2に加わる曲げ応力を小さくすることが可能で、結果として光導波路の屈曲寿命を延ばすことが可能である。もちろん、クラッド材ベースフィルム1とクラッド材カバーレイ4とを合わせた全体の厚みも薄くなるため、より柔らかく曲げ易くなる。   Moreover, by digging the clad material 1, the bending center of the core material 2 can be aligned with the bending center of the entire substrate, and the bending stress applied to the core material 2 can be reduced. As a result, the bending life of the optical waveguide is extended. It is possible. Of course, since the total thickness of the clad material base film 1 and the clad material coverlay 4 is also reduced, it becomes softer and easier to bend.

第3の実施形態Third embodiment

図6は、本発明の第3の実施形態の構造を示す。図4に示した第2の実施形態との違いは、金属箔3とクラッド材1との間に数μmの薄い中間層6を入れている点である。   FIG. 6 shows the structure of the third embodiment of the present invention. The difference from the second embodiment shown in FIG. 4 is that a thin intermediate layer 6 of several μm is inserted between the metal foil 3 and the clad material 1.

図7は、図6に示した第3の実施形態の製法を示す断面工程図であり、下記工程(a)ないし(f)を含む。   FIG. 7 is a cross-sectional process diagram showing the manufacturing method of the third embodiment shown in FIG. 6 and includes the following processes (a) to (f).

工程(a):クラッドベース材1の少なくとも一方の面に中間層6および金属層3aを有する積層体を用意する。中間層6の材料としては、ポリイミド系、エポキシ系、アクリル系等の樹脂が挙げられる。金属箔3aの表面状態としては、極力平滑であることが好ましいが、クラッド材ベースフィルム1と密着する面の金属箔3aの表面は、クラッド材ベースフィルム1との必要十分な密着力を得るために粗化処理を施したものでもよい。 Step (a): A laminate having the intermediate layer 6 and the metal layer 3a on at least one surface of the clad base material 1 is prepared. Examples of the material of the intermediate layer 6 include polyimide resins, epoxy resins, acrylic resins, and the like. The surface state of the metal foil 3 a is preferably as smooth as possible, but the surface of the metal foil 3 a that is in close contact with the clad material base film 1 is necessary to obtain a necessary and sufficient adhesion with the clad material base film 1. A roughened treatment may be used.

工程(b):金属箔3a上に、ドライフィルムの露光・現像等によりエッチングレジスト(図示せず)を形成し、金属箔3aのエッチング処理により、金属箔3aの不要な部分を除去し、必要な導電金属パターン3を形成する。   Step (b): An etching resist (not shown) is formed on the metal foil 3a by exposure / development of a dry film, and unnecessary portions of the metal foil 3a are removed by etching the metal foil 3a. A conductive metal pattern 3 is formed.

工程(c):金属箔3aが除去され露出した中間層6の側から、中間層6およびクラッド材ベースフィルム1を掘り込んで掘り込み加工部7を形成して薄く加工する。薄く加工する方法としては、ダイサーでの掘り込み加工や、レーザーによるアブレーション加工、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、薬液による化学エッチング等が適用可能である。特にダイサーによる掘り込み加工では、機械的に簡便な手法で金属箔3aの裏面形状の転写によるクラッド材1の表面の凹凸を削り取ることができ、平滑な表面とすることができる。 Step (c): From the side of the intermediate layer 6 exposed by removing the metal foil 3a, the intermediate layer 6 and the clad material base film 1 are dug to form an engraved portion 7 and processed thinly. As a thin processing method, digging with a dicer, ablation processing with a laser, plasma etching, reactive ion etching, chemical etching with a chemical solution, or the like can be applied. In particular, in the digging process with a dicer, the unevenness on the surface of the clad material 1 due to the transfer of the back surface shape of the metal foil 3a can be scraped off by a mechanically simple technique, and a smooth surface can be obtained.

工程(d):光導波路の感光性コア材2を、工程(c)で形成した導電金属パターン3間を埋めるように形成する。感光性コア材3の形成方法としては、フィルム化したコア材3aと工程(c)で形成した基板とをラミネートプレスや真空ラミネートプレスにより形成する方法や、ワニス状のコア材3aを、スクリーン印刷やスプレー印刷等により塗布・乾燥して形成する方法が可能である。   Step (d): The photosensitive core material 2 of the optical waveguide is formed so as to fill between the conductive metal patterns 3 formed in the step (c). As a method for forming the photosensitive core material 3, a method of forming the filmed core material 3 a and the substrate formed in the step (c) by a laminating press or a vacuum laminating press, or a varnish-like core material 3 a by screen printing. Or a method of forming by applying and drying by spray printing or the like.

工程(e):上記工程で形成した感光性コア材3aを露光・現像し、光導波路コア材パターン3を形成する。   Step (e): The photosensitive core material 3a formed in the above step is exposed and developed to form the optical waveguide core material pattern 3.

工程(f):工程(e)で形成した光導波路のコア材パターン2を被覆する形で、クラッド材カバーレイ4を形成し、部品実装に必要な導電パッド上の開口部を形成する。この後、さらに導電パッド上にめっき等の表面処理を行ない、部品実装を行うこともできる。   Step (f): A clad material coverlay 4 is formed so as to cover the core material pattern 2 of the optical waveguide formed in the step (e), and an opening on the conductive pad necessary for component mounting is formed. Thereafter, the component mounting can also be performed by performing a surface treatment such as plating on the conductive pad.

第3の実施形態では、金属箔3aとクラッド材1との間に、数μmの薄い中間層6を入れている。この中間層6の特性により、さらに機能を向上させた光電複合フレキシブル配線板を製造することができる。   In the third embodiment, a thin intermediate layer 6 of several μm is inserted between the metal foil 3 a and the clad material 1. Due to the characteristics of the intermediate layer 6, a photoelectric composite flexible wiring board having further improved functions can be manufactured.

例えば、中間層6として金属箔3aとクラッド材1との密着性の高い接着剤を用いることにより、表面粗化処理のない非常に平滑な表面の金属箔でも密着性良く使用することができる。   For example, by using an adhesive having high adhesion between the metal foil 3a and the clad material 1 as the intermediate layer 6, even a very smooth surface metal foil without surface roughening treatment can be used with good adhesion.

これにより、表面/裏面がより平滑で、パターンエッジもストレートな導電配線パターン3を形成することができ、これにより高周波電気信号を伝送する際の伝送損失を低減でき、光電複合フレキシブル配線板においても、より高周波での電気信号の伝送が可能となる。   This makes it possible to form the conductive wiring pattern 3 having a smoother front / back surface and a straight pattern edge, thereby reducing transmission loss when transmitting a high-frequency electrical signal. Thus, transmission of electrical signals at higher frequencies is possible.

クラッド材ベースフィルム1の掘り込み加工を行うことにより、第2の実施形態と同様に、コア材2aの曲げ中心を基板全体の曲げ中心と合わせ、コア材2aに加わる曲げ応力を小さくすることができる。この結果、光導波路の屈曲寿命を延ばすことが可能である。勿論、クラッド材ベースフィルム1とクラッド材カバーレイ4とを合わせた全体の厚みも薄くなるため、より柔らかく曲げ易くできる。   By digging the clad material base film 1, the bending center of the core material 2a is aligned with the bending center of the entire substrate, and the bending stress applied to the core material 2a can be reduced, as in the second embodiment. it can. As a result, the bending life of the optical waveguide can be extended. Of course, since the total thickness of the clad material base film 1 and the clad material coverlay 4 is also reduced, it can be made softer and easier to bend.

本発明に係る光電複合モジュールの平面図。The top view of the photoelectric composite module which concerns on this invention. 本発明の第1の実施形態の構造を示す断面構成図。1 is a cross-sectional configuration diagram showing a structure of a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態の製造方法を示す工程図。Process drawing which shows the manufacturing method of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態の構造を示す断面構成図。Sectional block diagram which shows the structure of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態の製造方法を示す工程図。Process drawing which shows the manufacturing method of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態の構造を示す断面構成図。Sectional block diagram which shows the structure of the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態の製造方法を示す工程図。Process drawing which shows the manufacturing method of the 3rd Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 クラッド材ベースフィルム
2a コア材
2 コア材パターン
3a 金属箔
3 導電金属パターン
4 クラッド材カバーレイ
5 掘り込み加工部
6 中間層
7 掘り込み加工部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cladding material base film 2a Core material 2 Core material pattern 3a Metal foil 3 Conductive metal pattern 4 Cladding material coverlay 5 Excavation processing part 6 Intermediate layer
7 Digging part

Claims (4)

クラッド材ベースフィルムの表面に、光導波路コア材パターンと導電金属パターンとが設けられた光電複合フレキシブル配線板において、
少なくとも屈曲可撓部においては前記光導波路コア材パターンと前記導電金属パターンとが同一平面上に配置され、
前記光導波路コア材パターンと導電金属パターンとがクラッド材カバーレイにより被覆され、
前記光導波路コア材パターンの厚みが前記導電金属パターンの厚みより厚く、前記光導波路コア材パターンに接する部分の前記クラッド材ベースフィルムの厚みが、前記導電金属パターンに接する部分の厚みより薄くなっている
ことを特徴とする光電複合フレキシブル配線板。
In the photoelectric composite flexible wiring board provided with the optical waveguide core material pattern and the conductive metal pattern on the surface of the clad material base film,
At least in the bending flexible part, the optical waveguide core material pattern and the conductive metal pattern are arranged on the same plane,
The optical waveguide core material pattern and the conductive metal pattern are covered with a clad material coverlay ,
The thickness of the optical waveguide core material pattern is thicker than the thickness of the conductive metal pattern, and the thickness of the clad material base film in contact with the optical waveguide core material pattern is smaller than the thickness of the portion in contact with the conductive metal pattern. A photoelectric composite flexible wiring board, comprising:
請求項1記載の光電複合フレキシブル配線板において、
前記導電金属パターンと前記クラッド材ベースフィルムとの間に樹脂からなる中間層が設けられている
ことを特徴とする光電複合フレキシブル配線板。
In the photoelectric composite flexible wiring board according to claim 1,
The photoelectric composite flexible wiring board, wherein an intermediate layer made of a resin is provided between the conductive metal pattern and the clad material base film.
クラッド材ベースフィルムの表面に、光導波路コア材パターンと導電金属パターンとが設けられた光電複合フレキシブル配線板の製造方法において、
(a) 前記クラッド材ベースフィルムの少なくとも一方面に金属層を有する積層体を用意し、
(b) 前記金属層の不要部分を除去することにより、導電金属パターンを形成し、
(c) 前記金属層が除去され露出した前記クラッド材ベースフィルムの表面の一部を薄く加工し
(d) 前記導電金属パターンのある面にコア材層を積層し、
(e) 前記コア材層の不要部分を除去することにより、少なくとも屈曲可撓部においては薄く加工が施された前記クラッド材ベースフィルム上に光導波路コア材パターンを形成し、
(f) 前記光導波路コア材パターンを覆うようにクラッド材カバーレイを被覆する
ことを特徴とする光電複合フレキシブル配線板の製造方法。
In the method of manufacturing a photoelectric composite flexible wiring board in which an optical waveguide core material pattern and a conductive metal pattern are provided on the surface of the cladding material base film,
(a) preparing a laminate having a metal layer on at least one surface of the clad material base film,
(b) forming a conductive metal pattern by removing unnecessary portions of the metal layer;
(c) Thinly processing a part of the surface of the cladding material base film exposed by removing the metal layer ,
(d) the core material layer is laminated on a surface of the conductive metal pattern,
(e) By removing unnecessary portions of the core material layer , an optical waveguide core material pattern is formed on the clad material base film that is thinly processed at least in the bending flexible portion ;
(f) A method for producing a photoelectric composite flexible wiring board, wherein a clad material coverlay is covered so as to cover the optical waveguide core material pattern.
請求項記載の光電複合フレキシブル配線板の製造方法において、
(a) 前記クラッド材ベースフィルムの少なくとも一方面に樹脂からなる中間層および金属層を有する積層体を用意し、
(b) 前記金属層の不要部分を除去することにより、導電金属パターンを形成し、
(c) 前記金属層が除去され露出した中間層の一部を除去するとともに露出した前記クラッド材ベースフィルムを薄く加工し、
(d) 前記導電金属パターンのある面にコア樹脂層を積層し、
(e) 前記コア樹脂層の不要部分を除去することにより、少なくとも屈曲可撓部においては薄く加工が施された前記クラッド材ベースフィルム上に光導波路コア材パターンを形成し、
(f) 前記光導波路コア材パターンを覆うようにクラッド材カバーレイを被覆する
ことを特徴とする光電複合フレキシブル配線板の製造方法。
In the manufacturing method of the photoelectric composite flexible wiring board according to claim 3 ,
(a) A laminate having an intermediate layer made of a resin and a metal layer on at least one surface of the clad material base film is prepared,
(b) forming a conductive metal pattern by removing unnecessary portions of the metal layer;
(c) removing a portion of the exposed intermediate layer from which the metal layer has been removed, and processing the exposed cladding material base film thinly;
(d) laminating a core resin layer on the surface having the conductive metal pattern;
(e) By removing unnecessary portions of the core resin layer, an optical waveguide core material pattern is formed on the clad material base film that is thinly processed at least in the bending flexible portion;
(f) A method for producing a photoelectric composite flexible wiring board, wherein a clad material coverlay is covered so as to cover the optical waveguide core material pattern.
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