JP5157149B2 - Method and apparatus for producing gas barrier film - Google Patents

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本発明は、基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングして成るガスバリア性フィルムの製造方法に関し、より詳細には、グラビアロールの両端部近傍の彫刻の版深を、グラビアロールの中央部近傍の彫刻の版深に対して、浅く設けることに関する。   The present invention relates to a method for producing a gas barrier film obtained by coating a gas barrier composition with a gravure roll on an inorganic oxide vapor-deposited film formed on a base film, and more specifically, both ends of a gravure roll. The present invention relates to providing the plate depth of the engraving near the center shallower than the plate depth of the engraving near the center of the gravure roll.

従来、飲食品、化成品、雑貨品、その他を充填包装する包装用材料としては、内容物の変質、変色、その他を防止するために、酸素ガスや水蒸気等の透過を遮断、阻止する、種々の形態からなるバリア性積層材が開発され、提案されている。このようなバリア性積層材の用途として、例えばレトルト用パウチがあり、一般には、温度110〜130℃位、圧力1〜3Kgf/cm2・Gで約20〜60分間程度の殺菌工程を経る。このようなレトルト条件下で使用するバリア性積層材として、例えば2軸延伸ポリエステルフィルムやナイロンフィルムなどの基材フィルム上に形成させた酸化アルミや酸化珪素などの膜上に、さらに少なくとも1種以上のアルコキシドと、ポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体とを含有し、ゾル−ゲル法触媒、酸、水、および、有機溶剤の存在下に、ゾルゲル法によって重縮合してなるガスバリア性組成物からなる塗布膜をグラビアロールでコーティングして得られるガスバリア性フィルム(特許文献1)があり、温度・湿度の影響が無く、高度なガスバリア性を有するものとして多用されている。また、例えば、厚さ0.5〜5μmの熱可塑性樹脂フィルムの一方の面上に多孔質層を有する感熱孔版印刷用マスターの製造工程で、該多孔質層を形成するための塗布液の塗布時に、グラビアロールコートなどを用いてその塗布液と該熱可塑性樹脂フィルムとの境界における塗布液の付着量が順次減少し、端部で実質的に零となるようにして、この感熱孔版印刷用マスターを製造した場合に生じる、しわの発生を防止し得る(特許文献2)ものもある。
特開2006−116704号公報 特開平10−217629号公報
Conventionally, as packaging materials for filling and packaging foods, drinks, chemicals, miscellaneous goods, etc., various kinds of materials that block or block the transmission of oxygen gas, water vapor, etc. in order to prevent the contents from being altered, discolored, etc. A barrier laminate having the following form has been developed and proposed. As an application of such a barrier laminate, for example, there is a retort pouch, which is generally subjected to a sterilization process of about 20 to 60 minutes at a temperature of about 110 to 130 ° C. and a pressure of 1 to 3 kgf / cm 2 · G. As a barrier laminate material used under such retort conditions, for example, on a film of aluminum oxide or silicon oxide formed on a base film such as a biaxially stretched polyester film or nylon film, at least one more Alkoxide and a poly (vinyl alcohol) resin and / or an ethylene / vinyl alcohol copolymer, and polycondensed by the sol-gel method in the presence of a sol-gel method catalyst, acid, water, and an organic solvent. There is a gas barrier film (Patent Document 1) obtained by coating a coating film made of a gas barrier composition with a gravure roll, which is widely used as having high gas barrier properties without being affected by temperature and humidity. Also, for example, in the production process of a thermal stencil master having a porous layer on one surface of a thermoplastic resin film having a thickness of 0.5 to 5 μm, application of a coating solution for forming the porous layer Sometimes this gravure roll coat etc. is used for this heat-sensitive stencil printing so that the amount of the coating liquid adhering to the boundary between the coating liquid and the thermoplastic resin film decreases sequentially and becomes substantially zero at the edge. There is also one that can prevent the generation of wrinkles that occur when a master is manufactured (Patent Document 2).
JP 2006-116704 A JP-A-10-217629

しかし、この特許文献1のような従来のグラビアロールを用いて積層フィルム、特にガスバリア性フィルムを製造する場合、蒸着膜を有する基材フィルムの幅に対して、この基材フィルムの蒸着膜上に塗工されるガスバリア性組成物の塗工幅の方が狭くなり、その際ガスバリア性組成物の端部は、このガスバリア性組成物の収縮応力が、蒸着膜を有する基材フィルムに集中し、塗工されていない蒸着膜を有する基材フィルムの端部が、ガスバリア性組成物の塗工面側に折れ易くなったり、さらには、ガスバリア性組成物の塗工端部が盛り上がるように、このガスバリア性組成物の塗布量が多くなり、よりこのような塗工されていない蒸着膜を有する基材フィルムの端部の折れを引き起こし易くなるため、製造工程でガスバリア性組成物を塗工したガスバリア性フィルムをドラムに均一に巻き取れない問題や、端部の曲折部分を切断するための別途余分な工程を設けなければならず、このような製造工程の不具合により生産性が低下するという問題があった。また、特許文献2に記載の感熱孔版印刷用マスターを製造する際に用いるグラビアロールコートでは、このグラビアロールコートにおける彫刻部分の両端の溝の深さを次第に浅くする記載はあるものの、その次第に浅くなる深さが定量的な開示ではないために内容が不明であり、さらには目的とする製造物が感熱孔版印刷用マスターであって、基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングして成るガスバリア性フィルムとは異なる。   However, when producing a laminated film, particularly a gas barrier film, using a conventional gravure roll as in Patent Document 1, the width of the substrate film having the deposited film is on the deposited film of the substrate film. The coating width of the gas barrier composition to be coated becomes narrower, and at that time, the shrinkage stress of the gas barrier composition concentrates on the base film having the vapor deposition film at the end of the gas barrier composition, This gas barrier is formed so that the end portion of the base film having a non-coated vapor-deposited film is easily broken toward the coated surface side of the gas barrier composition, and further, the coated end portion of the gas barrier composition is raised. Since the coating amount of the functional composition is increased and the end portion of the base film having such an uncoated vapor deposition film is more likely to be broken, the gas barrier composition is applied in the production process. The problem that the gas barrier film cannot be uniformly wound around the drum and an extra step for cutting the bent portion of the end portion must be provided, and the productivity is lowered due to such a defect in the manufacturing process. There was a problem. Moreover, in the gravure roll coat used when manufacturing the thermosensitive stencil printing master described in Patent Document 2, although there is a description of gradually decreasing the depth of grooves at both ends of the engraving portion in this gravure roll coat, the gravure roll coat gradually becomes shallower. The depth is not a quantitative disclosure, so the content is unknown, and the target product is a heat-sensitive stencil master, on an inorganic oxide vapor-deposited film formed on a substrate film Moreover, it is different from a gas barrier film formed by coating a gas barrier composition with a gravure roll.

従って、この発明の目的は、ガスバリア性フィルム基材端部の曲折を防ぎ、生産性を向上させたガスバリア性フィルムの製造方法および製造装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a gas barrier film manufacturing method and a manufacturing apparatus that prevent bending of the gas barrier film substrate end portion and improve productivity.

このため請求項1に記載の発明は、基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングして成るガスバリア性フィルムの製造方法において、前記グラビアロールの両端部近傍の彫刻の版深を、前記グラビアロールの中央部近傍から前記両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅く設けることを特徴とする For this reason, the invention described in claim 1 is a method for producing a gas barrier film, in which a gas barrier composition is coated with a gravure roll on an inorganic oxide vapor-deposited film formed on a base film. The plate depth of engraving in the vicinity of both ends of the roll is provided symmetrically from the vicinity of the center portion of the gravure roll to the vicinity of both ends, and is shallowly formed in three stages in order of 10 to 20%.

請求項に記載の発明は、基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をコーティングするグラビアロールにおいて、前記グラビアロールの彫刻の版深を、前記グラビアロールの中央部近傍から前記両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅くなるように設け、前記無機酸化物の蒸着膜上に塗布する前記ガスバリア性組成物の端部の塗布量を減少させることを特徴とする。 The invention according to claim 2 is a gravure roll in which a gas barrier composition is coated on a vapor-deposited film of an inorganic oxide formed on a base film, and the gravure roll engraving plate depth is set to the gravure roll. The end portion of the gas barrier composition provided on the inorganic oxide vapor deposition film is provided so as to be symmetrical from the center portion of the substrate to the vicinity of the both end portions, and to be shallowed by 10 to 20% sequentially in three stages. It is characterized in that the amount of coating is reduced.

請求項に記載の発明は、基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングさせてガスバリア性フィルムを製造する前記グラビアロールを含むガスバリア性フィルムの製造装置において、前記グラビアロールの彫刻の版深を、前記グラビアロールの中央部近傍から前記両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅くなるように設け、前記無機酸化物の蒸着膜上に塗布する前記ガスバリア性組成物の端部の塗布量を減少させることを特徴とする。 The invention according to claim 3 is a gas barrier property comprising the gravure roll for producing a gas barrier film by coating a gas barrier composition with a gravure roll on an inorganic oxide deposited film formed on a base film. In the film manufacturing apparatus, the gravure roll engraving plate depth is provided so as to be symmetrical from the vicinity of the center of the gravure roll to the vicinity of both ends, and gradually reduced by 10 to 20% in three stages , The coating amount of the edge part of the said gas-barrier composition apply | coated on the vapor deposition film of the said inorganic oxide is reduced, It is characterized by the above-mentioned.

請求項1に記載の発明によれば、基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングして成るガスバリア性フィルムの製造方法において、グラビアロールの両端部近傍の彫刻の版深を、グラビアロールの中央部近傍から両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅く設けるので、基材フィルムの蒸着膜上に塗工されるガスバリア性組成物端部の塗布量を少なくしてガスバリア性組成物端部の収縮応力を減少させ、塗工されていない蒸着膜を有する基材フィルムの端部の曲折を防止することができる。従って、生産性を向上させたガスバリア性フィルムの製造方法を提供することができる。 According to invention of Claim 1, in the manufacturing method of the gas barrier film formed by coating the gas barrier composition with the gravure roll on the vapor deposition film of the inorganic oxide formed on the base film, the gravure roll The depth of engraving near the both ends of the gravure roll is provided symmetrically from the vicinity of the center of the gravure roll to the vicinity of both ends, and is shallowly provided in 10 steps by 10 to 20% in three steps, so that it is applied onto the deposited film of the base film. To reduce the shrinkage stress of the gas barrier composition end by reducing the coating amount of the end of the gas barrier composition to be processed, and to prevent bending of the end of the base film having an uncoated vapor deposition film Can do. Therefore, the manufacturing method of the gas barrier film which improved productivity can be provided.

請求項に記載の発明によれば、基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をコーティングするグラビアロールにおいて、グラビアロールの彫刻の版深を、グラビアロールの中央部近傍から両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅くなるように設け、無機酸化物の蒸着膜上に塗布するガスバリア性組成物の端部の塗布量を減少させるので、基材フィルムの蒸着膜上に塗工されるガスバリア性組成物端部の塗布量を端部に向けて段階的に徐々に少なくしてガスバリア性組成物端部の収縮応力を減少させ、塗工されていない蒸着膜を有する基材フィルムの端部の曲折を防止することができる。従って、生産性を向上させたガスバリア性フィルムを製造するグラビアロールを提供することができる。 According to the invention described in claim 2, onto the deposition film of an inorganic oxide is formed on the substrate film, the gravure roll coating the gas barrier composition, a plate depth of the gravure roll engraving, gravure roll The coating amount of the gas barrier composition applied on the inorganic oxide vapor-deposited film is provided so as to be symmetrical from the center to the vicinity of both ends and to become shallower by 10 to 20% sequentially in three stages . Therefore, the coating amount of the gas barrier composition edge coated on the deposited film of the base film is gradually reduced gradually toward the edge to reduce the shrinkage stress of the gas barrier composition edge. The bending of the edge part of the base film which reduces and can reduce the coating film can be prevented. Therefore, the gravure roll which manufactures the gas barrier film which improved productivity can be provided.

請求項に記載の発明によれば、基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングさせてガスバリア性フィルムを製造するグラビアロールを含むガスバリア性フィルムの製造装置において、グラビアロールの彫刻の版深を、グラビアロールの中央部近傍から両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅くなるように設け、無機酸化物の蒸着膜上に塗布するガスバリア性組成物の端部の塗布量を減少させるので、基材フィルムの蒸着膜上に塗工されるガスバリア性組成物端部の塗布量を端部に向けて段階的に徐々に少なくしてガスバリア性組成物端部の収縮応力を減少させ、塗工されていない蒸着膜を有する基材フィルムの端部の曲折を防止することができる。従って、生産性を向上させたグラビアロールを含むガスバリア性フィルムの製造装置を提供することができる。 According to invention of Claim 3 , the gas barrier containing the gravure roll which coats a gas barrier property composition with the gravure roll on the vapor deposition film of the inorganic oxide formed on the base film, and manufactures a gas barrier film In the production apparatus of the conductive film, the gravure roll engraving plate depth is provided symmetrically from the vicinity of the center of the gravure roll to the vicinity of both ends, and is gradually reduced by 10 to 20% in three steps, and is subjected to inorganic oxidation. Since the coating amount of the end portion of the gas barrier composition applied onto the vapor deposition film of the product is reduced, the coating amount of the end portion of the gas barrier composition coated on the deposition film of the base film is directed toward the end portion. It can be gradually reduced step by step to reduce the shrinkage stress at the edge of the gas barrier composition and to prevent bending of the edge of the substrate film having an uncoated deposited film. Therefore, the manufacturing apparatus of the gas barrier film containing the gravure roll which improved productivity can be provided.

本発明は、2軸延伸のポリエステルフィルムもしくはポリアミドフィルムを基材フィルムとし、前記基材フィルムの面に設けた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングして成るガスバリア性フィルムである。以下、本発明を詳細に説明する。   The present invention provides a gas barrier comprising a biaxially stretched polyester film or polyamide film as a base film, and a gas barrier composition coated with a gravure roll on an inorganic oxide vapor-deposited film provided on the surface of the base film. It is a sex film. Hereinafter, the present invention will be described in detail.

フィルムの層構成として、本発明のガスバリア性積層フィルムは、例えば、図1(a)に示すように、基材フィルム(10)、無機酸化物もしくは炭素含有酸化珪素の蒸着膜(20)、ガスバリア性塗布膜(30)、コーティング薄膜(40)とを有する。さらに、図1(b)に示すように、基材フィルム(10)および蒸着膜(20)上にそれぞれ表面処理層(10’)、(20’)を有していても良い。また、図1(c)に示すように、さらにコーティング薄膜(40)上に印刷層(50)を有していてもよい。また、図1(d)に示すように、コーティング薄膜(40)上にさらにドライラミネート用接着剤層(60)およびヒートシール層(70)を設けてもよく、図1(e)に示すように、コーティング薄膜(40)上に印刷層(50)を有し、該印刷層(50)上に、更にドライラミネート用接着剤層(60)およびヒートシール層(70)を設けてもよい。なお、前記印刷層(50)は、全面印刷であっても、部分印刷であってもよい。   As the layer structure of the film, the gas barrier laminate film of the present invention includes, for example, a base film (10), an inorganic oxide or carbon-containing silicon oxide deposited film (20), a gas barrier, as shown in FIG. Coating film (30) and coating thin film (40). Furthermore, as shown in FIG.1 (b), you may have a surface treatment layer (10 ') and (20') on a base film (10) and a vapor deposition film (20), respectively. Moreover, as shown in FIG.1 (c), you may have a printing layer (50) on the coating thin film (40) further. Further, as shown in FIG. 1 (d), an adhesive layer (60) for dry lamination and a heat seal layer (70) may be further provided on the coating thin film (40), as shown in FIG. 1 (e). In addition, a printed layer (50) may be provided on the coating thin film (40), and an adhesive layer (60) for dry lamination and a heat seal layer (70) may be further provided on the printed layer (50). The print layer (50) may be full-surface printing or partial printing.

本発明で使用する基材フィルムは、化学的ないし物理的強度に優れ、無機酸化物の蒸着膜を製膜化する条件等に耐え、また、その無機酸化物の蒸着膜の膜特性を損なうことなく良好に保持し得ることができる基材フィルムであり、2軸延伸のポリエステルフィルムもしくはポリアミドフィルムである。   The base film used in the present invention has excellent chemical or physical strength, can withstand the conditions for forming an inorganic oxide vapor-deposited film, and impairs the film characteristics of the inorganic oxide vapor-deposited film. And a biaxially stretched polyester film or polyamide film.

このようなポリアミドフィルムとしては、脂肪族ポリアミドであっても、芳香族ポリアミドであっても、これらを混合した組成物であってもよい。好ましいポリアミドの具体例としては、ポリカプロアミド(ナイロン6)、ポリ‐ε‐アミノへプタン酸(ナイロン7)、ポリ‐ε‐アミノノナン酸(ナイロン9)、ポリウンデカンアミド(ナイロン11)、ポリラウリンラクタム(ナイロン12)、ポリエチレンジアミンアジパミド(ナイロン2・6)、ポリテトラメチレンアジパミド(ナイロン4・6)、ポリヘキサメチレンアジパミド(ナイロン6・6)、ポリヘキサメチレンセバカミド(ナイロン6・10)、ポリヘキサメチレンドデカミド(ナイロン6・12)、ポリオクタメチレンドデカミド(ナイロン6・12)、ポリオクタメチレンアジパミド(ナイロン8・6)、ポリデカメチレンアジパミド(ナイロン10・6)、ポリデカメチレンセバカミド(ナイロン10・10)、ポリドデカメチレンドデカミド(ナイロン12・12)、メタキシレンジアミン‐6ナイロン(MXD6)などを挙げることができ、これらを主成分とする共重合体であってもよく、その例としては、カプロラクタム/ラウリンラクタム共重合体、カプロラクタム/ヘキサメチレンジアンモニウムアジぺート共重合体、ラウリンラクタム/ヘキサメチレンジアンモニウムアジぺート共重合体、ヘキサメチレンジアンモニウムアジぺート/ヘキサメチレンジアンモニウムセバケート共重合体、エチレンジアンモニウムアジぺート/ヘキサメチレンジアンモニウムアジぺート共重合体、カプロラクタム/ヘキサメチレンジアンモニウムアジぺート/ヘキサメチレンジアンモニウムセバケート共重合体などを挙げることができる。これらのポリアミドには、フィルムの柔軟性改質成分として、芳香族スルホンアミド類、p‐ヒドロキシ安息香酸、エステル類などの可塑剤や低弾性率のエラストマー成分やラクタム類を配合することも有効である。   Such a polyamide film may be an aliphatic polyamide, an aromatic polyamide, or a composition in which these are mixed. Specific examples of preferred polyamides include polycaproamide (nylon 6), poly-ε-aminoheptanoic acid (nylon 7), poly-ε-aminononanoic acid (nylon 9), polyundecanamide (nylon 11), polylaurin Lactam (nylon 12), polyethylenediamine adipamide (nylon 2.6), polytetramethylene adipamide (nylon 4.6), polyhexamethylene adipamide (nylon 6/6), polyhexamethylene sebacamide (Nylon 6 · 10), Polyhexamethylene dodecamide (Nylon 6 · 12), Polyoctamethylene dodecamide (Nylon 6 · 12), Polyoctamethylene adipamide (Nylon 8.6), Polydecamethylene adipamide (Nylon 10/6), polydecamethylene sebacamide (nylon 10/10), Polydodecamethylene dodecamide (nylon 12 and 12), metaxylenediamine-6 nylon (MXD6) and the like may be used, and a copolymer containing these as main components may be used. Examples thereof include caprolactam / Laurin lactam copolymer, caprolactam / hexamethylene diammonium adipate copolymer, laurin lactam / hexamethylene diammonium adipate copolymer, hexamethylene diammonium adipate / hexamethylene diammonium sebacate copolymer And ethylene diammonium adipate / hexamethylene diammonium adipate copolymer, caprolactam / hexamethylene diammonium adipate / hexamethylene diammonium sebacate copolymer, and the like. It is also effective to blend these polyamides with plasticizers such as aromatic sulfonamides, p-hydroxybenzoic acid, esters, elastomer components with low elastic modulus, and lactams as film flexibility modifiers. is there.

また、基材フィルムは、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂のほか、ポリエチレン系樹脂あるいはポリプロピレン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリルースチレン共重合体(AS樹脂)、アクリロニトリル−ブタジェン−スチレン共重合体(ABS樹脂)、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−ビニルエステル共重合体ケン化物、ポリウレタン系樹脂、アセタール系樹脂、セルロース系樹脂、その他の各種の樹脂のフィルムを使用することができる。本発明においては、上記の樹脂のフィルムの中でも、特に、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、または、ポリアミド系樹脂のフィルムを使用することが好ましいものである。なお、基材フィルムは、上記樹脂の未延伸フィルムや1軸方向または2軸方向に延伸したフィルムなどのいずれのものでも使用することができる。   In addition to polyester resins such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate, the base film is made of polyolefin resin such as polyethylene resin or polypropylene resin, cyclic polyolefin resin, polystyrene resin, acrylonitrile-styrene copolymer ( AS resin), acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer (ABS resin), poly (meth) acrylic resin, polycarbonate resin, polyvinyl alcohol resin, saponified ethylene-vinyl ester copolymer, polyurethane resin, Acetal-based resins, cellulose-based resins, and other various resin films can be used. In the present invention, among the above resin films, it is particularly preferable to use a polyester resin, polyolefin resin, or polyamide resin film. The base film may be any of an unstretched film of the above resin or a film stretched in a uniaxial direction or a biaxial direction.

本発明において、上記各種の樹脂のフィルムとしては、例えば、上記の各種の樹脂の1種ないしそれ以上を使用し、押出法、キャスト成形法、Tダイ法、切削法、インフレーション法、その他の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製膜化する方法、あるいは、2種以上の各種の樹脂を使用して多層共押し出し製膜化する方法、更には、2種以上の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方法等により、各種の樹脂のフィルムを製造し、更に、要すれば、例えば、テンター方式、あるいは、チューブラー方式等を利用して1軸ないし2軸方向に延伸してなる各種の樹脂のフィルムを使用することができる。   In the present invention, as the above-mentioned various resin films, for example, one or more of the above-mentioned various resins are used, and an extrusion method, a cast molding method, a T-die method, a cutting method, an inflation method, and other products are used. Using the film forming method, the above-mentioned various resins can be formed into a single film, or the two or more types of various resins can be used to form a multi-layer coextrusion film. Resin is used, and various resin films are manufactured by mixing and forming a film before forming a film. If necessary, for example, a tenter method or a tubular method is used. Various types of resin films that are stretched in a uniaxial or biaxial direction can be used.

本発明において、各種の樹脂のフィルムの膜厚としては、6〜2000μm位、より好ましくは、9〜100μm位が望ましい。なお、上記各種の樹脂の1種ないしそれ以上を使用し、その製膜化に際して、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、強度、その他等を改良、改質する目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、その添加量としては、極く微量から数十%まで、その目的に応じて、任意に添加することができる。そして、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、補強剤、帯電防止剤、顔料、その他等を使用することができ、更には、改質用樹脂等も使用することができる。   In the present invention, the film thickness of various resin films is preferably about 6 to 2000 μm, more preferably about 9 to 100 μm. In addition, one or more of the above-mentioned various resins are used, and when forming the film, for example, film processability, heat resistance, weather resistance, mechanical properties, dimensional stability, antioxidant properties, slipperiness, Various plastic compounding agents and additives can be added for the purpose of improving and modifying mold releasability, flame retardancy, antifungal properties, electrical characteristics, strength, etc. From a very small amount to several tens of percent, it can be arbitrarily added depending on the purpose. And as a general additive, for example, a lubricant, a crosslinking agent, an antioxidant, an ultraviolet absorber, a light stabilizer, a filler, a reinforcing agent, an antistatic agent, a pigment, and the like can be used. Furthermore, a modifying resin or the like can also be used.

本発明において、上記基材フィルムの一方の面に無機酸化物の蒸着膜を形成するが、予め基材フィルムに表面処理をおこなってもよい。これによって基材フィルムと無機酸化物の蒸着膜との密着性を向上させることができる。なお、このような表面処理としては、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガスもしくは窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロー放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他前処理などがある。   In this invention, although the vapor deposition film | membrane of an inorganic oxide is formed in one side of the said base film, you may surface-treat a base film previously. Thereby, the adhesiveness between the base film and the vapor-deposited film of the inorganic oxide can be improved. Such surface treatments include corona discharge treatment, ozone treatment, low temperature plasma treatment using oxygen gas or nitrogen gas, glow discharge treatment, oxidation treatment using chemicals, and other pretreatments. is there.

また、本発明で使用する基材フィルムの表面に、予め、プライマーコート剤、アンダーコート剤、アンカーコート剤、あるいは、蒸着アンカーコート剤等を任意に塗布し、表面処理とすることもできる。なお、前記コート剤としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、(メタ)アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロース系樹脂、その他ビヒクルを主成分とする樹脂組成物を使用することができる。   In addition, a primer coating agent, an undercoat agent, an anchor coating agent, a vapor deposition anchor coating agent, or the like can be arbitrarily applied to the surface of the base film used in the present invention in advance for surface treatment. Examples of the coating agent include polyester resins, polyamide resins, polyurethane resins, epoxy resins, phenol resins, (meth) acrylic resins, polyvinyl acetate resins, polyolefins such as polyethylene or polypropylene. Resin or a copolymer or modified resin thereof, cellulosic resin, and other resin compositions mainly composed of a vehicle can be used.

このような表面処理の中でも、特に、コロナ処理やプラズマ処理を行うことが好適である。例えばプラズマ処理としては、気体をアーク放電により電離させることにより生じるプラズマガスを利用して表面改質を行なうプラズマ処理がある。プラズマガスとしては、上記のほかに、アルゴンガス、ヘリウムガス等の無機ガスを使用することができる。例えば、化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を形成する直前に、インラインでプラズマ処理を行うことにより、基材フィルムの表面の水分、塵などを除去すると共にその表面の平滑化、活性化、その他表面処理を可能とすることができる。また、無機酸化物の蒸着後に、プラズマ処理を行い、蒸着層とその上に積層される他の層との密着性を向上することもできる。なお、プラズマ処理としては、プラズマ出力、プラズマガスの種類、プラズマガスの供給量、処理時間、その他の条件を考慮してプラズマ放電処理を行うことが好ましい。また、プラズマを発生する方法としては、直流グロー放電、高周波放電、マイクロ波放電、その他の装置を使用することができる。また、大気圧プラズマ処理法によりプラズマ処理を行なうこともできる。   Among such surface treatments, it is particularly preferable to perform corona treatment or plasma treatment. For example, as plasma processing, there is plasma processing in which surface modification is performed using a plasma gas generated by ionizing a gas by arc discharge. In addition to the above, an inorganic gas such as argon gas or helium gas can be used as the plasma gas. For example, immediately before forming a vapor-deposited film of inorganic oxide by chemical vapor deposition, in-line plasma treatment removes moisture, dust, etc. on the surface of the base film, and smoothes and activates the surface. And other surface treatments can be made possible. In addition, after the inorganic oxide is deposited, plasma treatment can be performed to improve the adhesion between the deposited layer and another layer stacked thereon. Note that the plasma discharge treatment is preferably performed in consideration of the plasma output, the type of plasma gas, the supply amount of the plasma gas, the treatment time, and other conditions. Moreover, as a method for generating plasma, DC glow discharge, high frequency discharge, microwave discharge, and other devices can be used. In addition, plasma treatment can be performed by an atmospheric pressure plasma treatment method.

次いで、無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、物理気相成長法、化学気相成長法またはこれらを複合して、無機酸化物の蒸着膜の1層からなる単層膜あるいは2層以上からなる多層膜または複合膜を形成して製造することができる。本発明での物理気相成長法として、例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング法、イオンクラスタービーム法等の物理気相成長法(Physical Vapor Deposition法、PVD法)などにより無機酸化物の蒸着膜を形成することができる。具体的には、金属または金属の酸化物を原料とし、これを加熱して蒸気化したものを基材フィルムの一方の上に蒸着する真空蒸着法、または、原料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導入して酸化させて基材フィルムの一方の上に蒸着する酸化反応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成することができる。なお、蒸着材料の加熱方式としては、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレクトロンビーム加熱方式(EB)等にて行うことができる。物理気相成長法による無機酸化物の薄膜を形成する方法について、巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構成図を示す図2を参照して説明する。   Next, as the vapor deposition film of the inorganic oxide, for example, a physical vapor deposition method, a chemical vapor deposition method, or a combination thereof, a single layer film consisting of one layer of the vapor deposition film of the inorganic oxide, or two or more layers is used. It can be manufactured by forming a multilayer film or a composite film. Examples of the physical vapor deposition method in the present invention include inorganic oxides by physical vapor deposition methods (Physical Vapor Deposition method, PVD method) such as vacuum deposition method, sputtering method, ion plating method, ion cluster beam method, etc. The deposited film can be formed. Specifically, a metal or metal oxide is used as a raw material, and a vacuum vapor deposition method in which a vaporized product is heated and vaporized on one of the base films, or a metal or metal oxide as a raw material. Used to oxidize by introducing oxygen and oxidize and deposit on one side of the base film, and further use plasma-assisted oxidation reaction deposition method that promotes oxidation reaction with plasma to form a deposited film can do. In addition, as a heating method of the vapor deposition material, for example, a resistance heating method, a high frequency induction heating method, an electron beam heating method (EB), or the like can be used. A method for forming a thin film of an inorganic oxide by physical vapor deposition will be described with reference to FIG. 2 showing a schematic configuration diagram showing an example of a take-up vacuum deposition apparatus.

まず、巻き取り式真空蒸着装置241の真空チャンバー242の中で、巻き出しロール243から図中矢印方向で繰り出す基材フィルム201は、ガイドロール244、245を介して、冷却したコーティングドラム246に案内される。上記の冷却したコーティングドラム246上に案内された基材フィルム201の上に、コーティングドラム246の下方に備えられたるつぼ247内に有する例えば、金属アルミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等の蒸着源248の中央近傍の表層面に、不図示のエレクトロンビームガンのエレクトロンビーム照射口よりエレクトロンビームを照射し、蒸着源248を上方のコーティングドラム246側に加熱蒸発させ、さらに、必要であれば酸素ガス吹出口249より噴出させた酸素ガス等を供給しながら、マスク250、250を介して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜が、コーティングドラム246上を移動中の基材フィルム201の上に成膜され、巻き取りロール253に巻き取るといった物理気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を形成することができる。なお、上記巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず第1層の無機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、その上に無機酸化物の蒸着膜をさらに形成し、または、上記巻き取り式真空蒸着装置を2連に連接し、連続的に、無機酸化物の蒸着膜を形成して、2層以上の多層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成してもよい。さらには、基材フィルム201上に成膜された無機酸化物の蒸着膜上に、不図示のグロー放電プラズマ発生装置による、例えば酸素とアルゴン混合ガスにより、プラズマ処理を施して巻き取りロール253に巻き取ることもできる。   First, in the vacuum chamber 242 of the take-up vacuum deposition apparatus 241, the base film 201 fed out from the unwinding roll 243 in the direction of the arrow in the drawing is guided to the cooled coating drum 246 via the guide rolls 244 and 245. Is done. In the crucible 247 provided below the coating drum 246 on the substrate film 201 guided on the cooled coating drum 246, for example, the center of a deposition source 248 such as metal aluminum or aluminum oxide. A nearby surface layer surface is irradiated with an electron beam from an electron beam irradiation port of an electron beam gun (not shown), the evaporation source 248 is heated and evaporated to the upper coating drum 246 side, and further, from an oxygen gas outlet 249 if necessary. A vapor deposition film of an inorganic oxide such as aluminum oxide is formed on the substrate film 201 moving on the coating drum 246 through the masks 250 and 250 while supplying the oxygen gas or the like ejected. In physical vapor deposition such as winding on a winding roll 253 Deposited film of the inorganic oxide can be formed that. In addition, using the above-described winding-type vacuum deposition apparatus, first, a first-layer inorganic oxide deposition film is formed, and then an inorganic oxide deposition film is further formed thereon, or the above-described winding-type vacuum deposition apparatus. A vacuum evaporation apparatus may be connected in series, and an inorganic oxide vapor deposition film may be continuously formed to form an inorganic oxide vapor deposition film composed of a multilayer film of two or more layers. Furthermore, the inorganic oxide vapor deposition film formed on the base film 201 is subjected to plasma treatment by a glow discharge plasma generator (not shown), for example, with a mixed gas of oxygen and argon, and is applied to the winding roll 253. It can also be wound up.

ところで、金属または無機酸化物の蒸着膜としては、基本的には、金属の酸化物を蒸着した薄膜であればよく、例えば、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、カリウム(K)、スズ(Sn)、ナトリウム(Na)、ホウ素(B)、チタン(Ti)、鉛(Pb)、ジルコニウム(Zr)、イットリウム(Y)等の金属の酸化物の蒸着膜を使用することができる。好ましくは、アルミニウム(Al)、ケイ素(Si)等の金属の酸化物の蒸着膜を挙げることができる。よって、上記の金属の酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のように金属酸化物と称することができ、その表記は、例えば、SiOX、AlOX、MgOX等のようにMOX(ただし、式中、Mは、金属元素を表し、Xの値は、金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。)で表される。 By the way, as a vapor deposition film of a metal or an inorganic oxide, basically, any thin film obtained by vapor deposition of a metal oxide may be used. For example, aluminum (Al), silicon (Si), magnesium (Mg), calcium ( Deposition of metal oxides such as Ca), potassium (K), tin (Sn), sodium (Na), boron (B), titanium (Ti), lead (Pb), zirconium (Zr), yttrium (Y) A membrane can be used. Preferably, a vapor deposition film of an oxide of a metal such as aluminum (Al) or silicon (Si) can be used. Therefore, the metal oxide vapor deposition film can be referred to as a metal oxide such as silicon oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, and the like, for example, SiO x , AlO x , MgO. MO X (in the formula, M represents a metal element, the value of X is in the range respectively of a metal element different.) as X, etc. represented by.

また、上記のXの値の範囲としては、ケイ素(Si)は0を超え2以下、アルミニウム(Al)は0を超え1.5以下、マグネシウム(Mg)は0を超え1以下、カルシウム(Ca)は0を超え1以下、カリウム(K)は0を超え0.5以下、スズ(Sn)は0を超え2以下、ナトリウム(Na)は0を超え0.5以下、ホウ素(B)は0を超え1、5以下、チタン(Ti)は0を超え2以下、鉛(Pb)は0を超え1以下、ジルコニウム(Zr)は0を超え2以下、イットリウム(Y)は0を超え1.5以下の範囲である。上記においてX=0の場合は完全な金属であり、Xの範囲の上限は、完全に酸化した値である。本発明において、Mとしてケイ素やアルミニウムが好ましく、その際これらのXの値は、ケイ素(Si)は1.0〜2.0、アルミニウム(Al)は0.5〜1.5の範囲である。なお、無機酸化物の蒸着膜の膜厚は、使用する金属や金属の酸化物の種類等によって異なるが、例えば、50〜2000Å、好ましくは、100〜1000Åの範囲内で任意に選択することができる。また、無機酸化物の蒸着膜としては、使用する金属または金属の酸化物としては、1種または2種以上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物の蒸着膜を構成することもできる。   In addition, as the range of the value of X, silicon (Si) exceeds 0 and 2 or less, aluminum (Al) exceeds 0 and 1.5 or less, magnesium (Mg) exceeds 0 and 1 or less, calcium (Ca ) Is greater than 0 and less than or equal to 1, potassium (K) is greater than 0 and less than or equal to 0.5, tin (Sn) is greater than 0 and less than or equal to 2, sodium (Na) is greater than 0 and less than or equal to 0.5, and boron (B) is 0 to 1, 5 or less, Titanium (Ti) is more than 0 to 2 or less, Lead (Pb) is more than 0 to 1 or less, Zirconium (Zr) is more than 0 to 2 or less, Yttrium (Y) is more than 0 to 1 .5 or less. In the above, when X = 0, it is a complete metal, and the upper limit of the range of X is a completely oxidized value. In the present invention, silicon or aluminum is preferable as M. In this case, the value of X is 1.0 to 2.0 for silicon (Si) and 0.5 to 1.5 for aluminum (Al). . In addition, although the film thickness of the vapor deposition film | membrane of an inorganic oxide changes with kinds etc. of the metal to be used or a metal oxide, it can select arbitrarily within the range of 50-2000 mm, for example, Preferably, it is 100-1000 mm. it can. In addition, as the inorganic oxide vapor deposition film, the metal or metal oxide to be used is used in one kind or a mixture of two or more kinds to constitute a vapor deposition film of an inorganic oxide mixed with different materials. You can also.

さらに、本発明では、化学気相成長法により有機珪素化合物を蒸着用モノマーとして使用してもよい。化学気相成長法としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法等を用いることができる。それらの中でも、特に、低温プラズマ化学気相成長法を用いて製膜化して製造することが望ましい。本発明においては、具体的には、基材フィルムの一方の面に、有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガスを原料とし、キャリヤーガスとして、アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、さらに、酸素供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、かつ、低温プラズマ発生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法を用いて珪素酸化物等からなる炭素含有酸化珪素の蒸着膜の1層からなる単層膜あるいは2層以上からなる多層膜または複合膜を形成して製造することができる。上記において、低温プラズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用することができ、本発明においては、高活性の安定したプラズマを得るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用することが望ましい。   Furthermore, in the present invention, an organosilicon compound may be used as a vapor deposition monomer by chemical vapor deposition. As the chemical vapor deposition method, for example, a plasma chemical vapor deposition method, a thermal chemical vapor deposition method, a photochemical vapor deposition method, or the like can be used. Among these, it is particularly desirable to produce a film by using a low temperature plasma chemical vapor deposition method. In the present invention, specifically, on one surface of the substrate film, a film-forming monomer gas composed of one or more organic silicon compounds is used as a raw material, and an inert gas such as argon gas or helium gas is used as a carrier gas. Of carbon-containing silicon oxide composed of silicon oxide or the like using a low temperature plasma chemical vapor deposition method using oxygen gas or the like as an oxygen supply gas and using a low temperature plasma generator or the like. It can be manufactured by forming a single layer film consisting of one layer of a vapor deposition film, a multilayer film consisting of two or more layers, or a composite film. In the above, as a low-temperature plasma generator, for example, a generator such as high-frequency plasma, pulse wave plasma, microwave plasma can be used, and in the present invention, in order to obtain a highly active stable plasma, It is desirable to use a high frequency plasma generator.

上記の低温プラズマ化学気相成長法による炭素含有酸化珪素の蒸着膜の形成法の一例を低温プラズマ化学気相成長装置の概略的構成図である図3を用いて説明する。図3のプラズマ化学気相成長装置100は、基材フィルム供給室110、真空チャンバーからなる第一製膜室120および基材フィルムの上に炭素含有酸化珪素層を製膜化したフィルムを巻き取る巻取り室150から構成される。前記基材フィルム供給室110内に配置された巻き出しロール111から基材フィルム101を繰り出し、該基材フィルム101を、第一製膜室120内の補助ロール121を介して所定の速度で冷却・電極ドラム122周面上に搬送する。一方、ガス供給装置125および、原料揮発供給装置124等から酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガスその他等を供給して蒸着用混合ガス組成物を調製し、これを原料供給ノズル127を通して第一製膜室120内に導入する。該蒸着用混合ガス組成物を上記冷却・電極ドラム122周面上に搬送された基材フィルム101の上に供給し、グロー放電プラズマ128によってプラズマを発生させ照射し、酸化珪素等の炭素含有酸化珪素の蒸着膜を製膜化する。次いで、上記で酸化珪素等の炭素含有酸化珪素の蒸着膜を形成した基材フィルム101を補助ロール123を介して巻取り室150に移送し、ここで巻き取りロール151に巻き取れば、プラズマ化学気相成長法による炭素含有酸化珪素の蒸着膜を有するフィルムを製造することができる。なお、冷却・電極ドラム122は、第一製膜室120の外に配置されている電源160から所定の電力が印加され、冷却・電極ドラム122の近傍には、マグネット129を配置してプラズマの発生が促進されている。このように冷却・電極ドラムに電源から所定の電圧が印加されているため、真空チャンバー内の原料供給ノズルの開口部と冷却・電極ドラムとの近傍でグロー放電プラズマが生成される。このグロー放電プラズマは、混合ガス中の1つ以上のガス成分から導出されるものであり、この状態で基材フィルムを搬送させると、グロー放電プラブマによって、冷却・電極ドラム周面上の基材フィルムの上に、酸化珪素等の炭素含有酸化珪素の蒸着膜を形成することができる。なお、図3中、符号153は真空ポンプを表す。   An example of a method for forming a vapor deposition film of carbon-containing silicon oxide by the low temperature plasma chemical vapor deposition method will be described with reference to FIG. 3 which is a schematic configuration diagram of a low temperature plasma chemical vapor deposition apparatus. The plasma chemical vapor deposition apparatus 100 of FIG. 3 winds up a base film supply chamber 110, a first film forming chamber 120 including a vacuum chamber, and a film in which a carbon-containing silicon oxide layer is formed on the base film. A winding chamber 150 is included. The base film 101 is fed out from the unwinding roll 111 disposed in the base film supply chamber 110, and the base film 101 is cooled at a predetermined speed via the auxiliary roll 121 in the first film forming chamber 120. -It conveys on the electrode drum 122 surrounding surface. Meanwhile, a vapor deposition monomer gas such as oxygen gas, inert gas, organosilicon compound, etc. is supplied from a gas supply device 125, a raw material volatilization supply device 124, etc. to prepare a mixed gas composition for vapor deposition, which is used as a raw material. It is introduced into the first film forming chamber 120 through the supply nozzle 127. The mixed gas composition for vapor deposition is supplied onto the substrate film 101 transported on the circumferential surface of the cooling / electrode drum 122, and plasma is generated and irradiated by glow discharge plasma 128 to oxidize carbon-containing oxides such as silicon oxide. A deposited silicon film is formed. Subsequently, the base film 101 on which the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide such as silicon oxide is transferred to the winding chamber 150 through the auxiliary roll 123 and wound up on the winding roll 151 here, the plasma chemistry is obtained. A film having a vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide by vapor deposition can be produced. A predetermined power is applied to the cooling / electrode drum 122 from a power source 160 disposed outside the first film forming chamber 120, and a magnet 129 is disposed in the vicinity of the cooling / electrode drum 122 to generate plasma. Occurrence is promoted. Since a predetermined voltage is applied from the power source to the cooling / electrode drum in this way, glow discharge plasma is generated in the vicinity of the opening of the raw material supply nozzle in the vacuum chamber and the cooling / electrode drum. This glow discharge plasma is derived from one or more gas components in the mixed gas. When the substrate film is conveyed in this state, the glow discharge plasma causes the substrate on the peripheral surface of the cooling / electrode drum to be conveyed. A vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide such as silicon oxide can be formed on the film. In FIG. 3, reference numeral 153 represents a vacuum pump.

本発明において、有機珪素化合物等の蒸着モノマーガスを使用して形成される炭素含有酸化珪素の蒸着膜は、有機珪素化合物等の蒸着モノマーガスと酸素ガス等とが化学反応し、その反応生成物が、基材フィルムの一方の面に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成するものであり、通常、一般式SiOX(ただし、Xは、0〜2の数を表す)で表される酸化珪素を主体とする連続状の薄膜である。上記炭素含有酸化珪素の蒸着膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般式SiOX(ただし、Xは、1.3〜1.9の数を表す。)で表される炭素含有酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜であることが好ましい。なお、Xの値は、蒸着モノマーガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネルギー等により変化するが、一般的に、Xの値が小さくなればガス透過度は小さくなり、膜自身が黄色性を帯び、透明性が悪くなる。 In the present invention, a vapor deposition film of carbon-containing silicon oxide formed using a vapor deposition monomer gas such as an organosilicon compound chemically reacts with a vapor deposition monomer gas such as an organosilicon compound and oxygen gas. Is closely bonded to one surface of the base film to form a dense, flexible thin film, and is generally represented by the general formula SiO x (where X represents a number from 0 to 2). Is a continuous thin film mainly composed of silicon oxide. The carbon-containing silicon oxide vapor-deposited film is a carbon-containing material represented by the general formula SiO x (where X represents a number from 1.3 to 1.9) in terms of transparency, barrier properties, and the like. A thin film mainly composed of a silicon oxide vapor deposition film is preferable. The value of X varies depending on the molar ratio of vapor deposition monomer gas and oxygen gas, plasma energy, etc. Generally, the gas permeability decreases as the value of X decreases, and the film itself becomes yellowish. It becomes tinged and becomes less transparent.

本発明において、炭素含有酸化珪素の蒸着膜は、酸化珪素を主体とし、さらに、炭素、水素、珪素または酸素の1種類、または2種類以上の元素からなる化合物の少なくとも1種類を化学結合等により含有する蒸着膜からなることを特徴とする。例えば、C−H結合を有する化合物、Si−H結合を有する化合物、または、炭素単位がグラファイト状、ダイヤモンド状、フラーレン状等になっている場合、更に、原料の有機珪素化合物やそれらの誘導体を化学結合等によって含有する場合があるものである。例えば、CH3部位を持つハイドロカーボン、SiH3シリル、SiH2シリレン等のハイドロシリカ、SiH2OHシラノール等の水酸基誘導体等を挙げることができる。なお、上記以外でも、蒸着過程の条件等を変化させることにより、炭素含有酸化珪素の蒸着膜中に含有される化合物の種類、量等を変化させてもよい。この際、上記の化合物が炭素含有酸化珪素の蒸着膜中に含有する含有量としては、0.1〜50質量%、好ましくは5〜20質量%である。含有率が0.1質量%未満であると、炭素含有酸化珪素の蒸着膜の耐衝撃性、延展性、柔軟性等が不十分となり、曲げなどにより、擦り傷、クラック等が発生し易く、高いバリア性を安定して維持することが困難になる場合があり、一方、50質量%を越えるとバリア性が低下する場合がある。 In the present invention, the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide is mainly composed of silicon oxide, and further, at least one compound of carbon, hydrogen, silicon or oxygen, or at least one compound composed of two or more elements is formed by chemical bonding or the like. It consists of the vapor deposition film to contain. For example, when a compound having a C—H bond, a compound having a Si—H bond, or a carbon unit is in the form of graphite, diamond, fullerene, or the like, the raw material organosilicon compound or a derivative thereof is further added. It may be contained by a chemical bond or the like. Examples thereof include hydrocarbons having a CH 3 site, hydrosilica such as SiH 3 silyl and SiH 2 silylene, and hydroxyl derivatives such as SiH 2 OH silanol. In addition to the above, the type, amount, etc. of the compound contained in the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide may be varied by changing the conditions of the vapor deposition process. Under the present circumstances, as content which said compound contains in the vapor deposition film | membrane of carbon containing silicon oxide, it is 0.1-50 mass%, Preferably it is 5-20 mass%. When the content is less than 0.1% by mass, the impact resistance, spreadability, flexibility and the like of the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide are insufficient, and scratches, cracks, etc. are likely to occur due to bending, etc. In some cases, it is difficult to stably maintain the barrier property. On the other hand, if it exceeds 50% by mass, the barrier property may be deteriorated.

本発明においては、SiOxプラズマにより、基材フィルムの表面が清浄化され、その表面に、極性基やフリ−ラジカル等が発生するので、製膜化される珪素酸化物等からなる炭素含有酸化珪素膜と基材フィルムとの密接着性が高いものとなる。さらに、本発明では、炭素含有酸化珪素の蒸着膜において、上記の化合物の含有量が炭素含有酸化珪素の蒸着膜の表面から深さ方向に向かって増減していてもよい。例えば、表面から深さ方向に減少している場合には、これにより、炭素含有酸化珪素の蒸着膜の表面では上記化合物等により耐衝撃性等が高められ、他方、基材フィルムとの界面では、上記化合物の含有量が少ないために基材フィルムと炭素含有酸化珪素の蒸着膜との密接着性が強固なものとなる。このような炭素含有酸化珪素の蒸着膜は、1層で構成される場合に限定されず、例えば2層あるいはそれ以上を積層した多層膜の状態でもよい。   In the present invention, the surface of the base film is cleaned by SiOx plasma, and polar groups, free radicals, etc. are generated on the surface, so that the carbon-containing silicon oxide made of silicon oxide or the like to be formed into a film is formed. The tight adhesion between the membrane and the substrate film is high. Furthermore, in the present invention, in the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide, the content of the compound may increase or decrease from the surface of the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide in the depth direction. For example, in the case of decreasing from the surface in the depth direction, this improves the impact resistance and the like by the above compound on the surface of the carbon-containing silicon oxide vapor deposition film, and on the other hand, at the interface with the base film Since the content of the compound is small, the tight adhesion between the base film and the carbon-containing silicon oxide deposited film becomes strong. Such a vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide is not limited to the case where it is composed of one layer, and may be a multilayer film in which two or more layers are laminated, for example.

上記多層からなる蒸着層を製膜するには、複数の真空チャンバーを製膜室として有する化学気相成長装置100を使用することで、異なる組成の炭素含有酸化珪素の蒸着膜を形成することができる。図4を使用して、3層の蒸着膜を有する場合を例示する。図4のプラズマ化学気相成長装置100は、基材フィルム供給室110、第1製膜室120、第二製膜室130、第三製膜室140、および、基材フィルムの上に炭素含有酸化珪素層を製膜化し重層したフィルムを巻き取る巻取り室150から構成される。基材フィルム供給室110において、巻き出しロール111から基材フィルム101を第一製膜室120に繰り出し、さらに、該基材フィルム101を、補助ロール121を介して所定の速度で冷却・電極ドラム122周面上に搬送する。第一製膜室120では、原料揮発供給装置124、および、ガス供給装置125等から有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等を供給し、それらからなる製膜用混合ガス組成物を調整しながら、原料供給ノズル127を通して第1製膜室120内に上記の製膜用混合ガス組成物を導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム122周面上に搬送された基材フィルム101の上に、グロー放電プラズマ128によってプラズマを発生させ、これを照射して、珪素酸化物等からなる第1層の炭素含有酸化珪素層を製膜化する。   In order to form the multilayered vapor deposition layer, it is possible to form a vapor deposition film of carbon-containing silicon oxide having different compositions by using the chemical vapor deposition apparatus 100 having a plurality of vacuum chambers as film deposition chambers. it can. FIG. 4 is used to illustrate the case of having a three-layer deposited film. The plasma enhanced chemical vapor deposition apparatus 100 of FIG. 4 includes a base film supply chamber 110, a first film forming chamber 120, a second film forming chamber 130, a third film forming chamber 140, and a carbon-containing material on the base film. A winding chamber 150 is formed for winding a film in which a silicon oxide layer is formed and stacked. In the base film supply chamber 110, the base film 101 is fed from the unwinding roll 111 to the first film forming chamber 120, and the base film 101 is cooled at a predetermined speed via the auxiliary roll 121. It is conveyed on 122 circumferential surface. In the first film forming chamber 120, a raw material volatilization supply device 124, a gas supply device 125, and the like supply a film forming monomer gas composed of one or more organic silicon compounds, oxygen gas, inert gas, and the like, The above mixed gas composition for film formation is introduced into the first film forming chamber 120 through the raw material supply nozzle 127 while adjusting the mixed gas composition for film formation composed of these, and the cooling / electrode drum 122 described above. A plasma is generated by glow discharge plasma 128 on substrate film 101 conveyed on the peripheral surface, and this is irradiated to form a first carbon-containing silicon oxide layer made of silicon oxide or the like. To do.

上記の第1製膜室120で第1層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化した基材フィルム101を補助ロール123、131等を介して第二製膜室130に繰り出し、次いで、上記と同様に、第1層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化した基材フィルム101を所定の速度で冷却・電極ドラム132周面上に搬送する。その後、上記と同様に、原料揮発供給装置134、および、ガス供給装置135等から有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等を供給し、それらからなる製膜用混合ガス組成物を調整しながら、原料供給ノズル137を通して第二製膜室130内に上記の製膜用混合ガス組成物を導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム132周面上に搬送された第1層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化した基材フィルム101の第1層の炭素含有酸化珪素膜の上に、グロー放電プラズマ138によってプラズマを発生させ、これを照射して、珪素酸化物等からなる第2層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化する。   The base film 101 obtained by forming the first layer carbon-containing silicon oxide film in the first film forming chamber 120 is fed to the second film forming chamber 130 through auxiliary rolls 123, 131, etc. Similarly, the base film 101 obtained by forming the carbon-containing silicon oxide film of the first layer is transported onto the peripheral surface of the cooling / electrode drum 132 at a predetermined speed. Thereafter, in the same manner as described above, a film-forming monomer gas, oxygen gas, inert gas, etc. composed of one or more organic silicon compounds are supplied from the raw material volatilization supply device 134, the gas supply device 135, etc. The film-forming mixed gas composition is introduced into the second film-forming chamber 130 through the raw material supply nozzle 137 while adjusting the film-forming mixed gas composition consisting of Plasma is generated by glow discharge plasma 138 on the carbon-containing silicon oxide film of the first layer of the base film 101 obtained by forming the carbon-containing silicon oxide film of the first layer conveyed on the surface. Irradiation is performed to form a second-layer carbon-containing silicon oxide film made of silicon oxide or the like.

さらに、上記の第二製膜室130で第1層と第2層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化し、重層した基材フィルム101を補助ロール133、141等を介して第三製膜室140に繰り出し、次いで、上記と同様に、第1層と第2層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化した基材フィルム101を所定の速度で冷却・電極ドラム142周面上に搬送する。次いで、原料揮発供給装置144、および、ガス供給装置145等から有機珪素化合物の1種以上からなる製膜用モノマーガス、酸素ガス、不活性ガス、その他等を供給し、それらからなる製膜用混合ガス組成物を調整しながら、原料供給ノズル147を通して、第三製膜室140内に上記の製膜用混合ガス組成物を導入し、そして、上記の冷却・電極ドラム142周面上に搬送された第1層と第2層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化し、重層した基材フィルム1の第2層の炭素含有酸化珪素膜の上に、グロー放電プラズマ148によってプラズマを発生させ、これを照射して、珪素酸化物等からなる第3層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化する。   Furthermore, the carbon-containing silicon oxide films of the first layer and the second layer are formed in the second film forming chamber 130, and the laminated base film 101 is formed in the third film forming chamber via the auxiliary rolls 133, 141 and the like. Next, the substrate film 101 formed by forming the first layer and the second layer of carbon-containing silicon oxide film is transported onto the peripheral surface of the cooling / electrode drum 142 at a predetermined speed. Next, a film-forming monomer gas, oxygen gas, inert gas, etc. composed of one or more organic silicon compounds are supplied from the raw material volatilization supply device 144, the gas supply device 145, etc. The above mixed gas composition for film formation is introduced into the third film forming chamber 140 through the raw material supply nozzle 147 while adjusting the mixed gas composition, and then conveyed onto the peripheral surface of the cooling / electrode drum 142. The carbon-containing silicon oxide films of the first layer and the second layer thus formed are formed, and plasma is generated by glow discharge plasma 148 on the carbon-containing silicon oxide film of the second layer of the laminated base film 1, This is irradiated to form a third-layer carbon-containing silicon oxide film made of silicon oxide or the like.

次いで、上記で第1層、第2層、および、第3層の炭素含有酸化珪素膜を製膜化し、それらを重層した基材フィルム101を、補助ロール143を介して、巻取り室150に繰り出し、次いで、巻取りロール151に巻き取る。なお、各第1、第2、および、第3の製膜室120、130、140に配設されている各冷却・電極ドラム122、132、142は、各第1、第2、および、第3の製膜室120、130、140の外に配置されている電源160から所定の電力が印加され、また、各冷却・電極ドラム122、132、142の近傍には、マグネット129、139、149を配置してプラズマの発生が促進されるものである。なお、図示しないが、上記のプラズマ化学気相成長装置には、真空ポンプ等が設けられ、各製膜室等は真空に保持されるように調製し得ることは勿論である。また、上記は、3層で例示したが、製膜室を任意に調製し、4層以上の多層構造とすることができる。   Next, the carbon-containing silicon oxide films of the first layer, the second layer, and the third layer are formed as described above, and the base film 101 on which these layers are stacked is placed in the winding chamber 150 via the auxiliary roll 143. Next, it is wound on a winding roll 151. Each of the cooling / electrode drums 122, 132, 142 disposed in each of the first, second, and third film forming chambers 120, 130, 140 has a first, a second, and a second, respectively. A predetermined power is applied from a power source 160 arranged outside the three film forming chambers 120, 130, and 140, and magnets 129, 139, and 149 are provided in the vicinity of the cooling / electrode drums 122, 132, and 142. To generate plasma. Although not shown, the plasma chemical vapor deposition apparatus is provided with a vacuum pump or the like, and it is needless to say that each film forming chamber can be prepared to be kept in vacuum. In addition, although the above is exemplified by three layers, a film forming chamber can be arbitrarily prepared to have a multilayer structure of four or more layers.

上記において、真空チャンバー内を真空ポンプにより減圧し、真空度1×10-1〜1×10-8Torr位、好ましくは、真空度1×10-3〜1×10-7Torr位に調製することが望ましい。また、本発明では、炭素含有酸化珪素の蒸着膜が単層で構成されるか多層で構成されるかに係わらず、酸化珪素等の炭素含有酸化珪素の蒸着膜の形成時の真空度は、各真空チャンバー内を真空ポンプにより減圧し、1×10-1〜1×10-4Torr、好ましくは、1×10-1〜1×10-2Torrに調整することが好ましい。従来の真空蒸着法により酸化珪素等の炭素含有酸化珪素の蒸着膜を形成する時の真空度、1×10-4〜1×10-5Torrに比較して低真空度であるから、基材フィルムの原反交換時の真空状態設定時間を短くすることができ、真空度が安定しやすく製膜プロセスも安定化する。なお、製膜室が複数ある場合には、真空度は、各室において同じであってもよく、異なっていてもよい。 In the above, the inside of the vacuum chamber is depressurized by a vacuum pump and adjusted to a degree of vacuum of 1 × 10 −1 to 1 × 10 −8 Torr, preferably a degree of vacuum of 1 × 10 −3 to 1 × 10 −7 Torr. It is desirable. Further, in the present invention, regardless of whether the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide is composed of a single layer or a multilayer, the degree of vacuum when forming the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide such as silicon oxide is Each vacuum chamber is decompressed by a vacuum pump and adjusted to 1 × 10 −1 to 1 × 10 −4 Torr, preferably 1 × 10 −1 to 1 × 10 −2 Torr. Since the degree of vacuum when forming a vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide such as silicon oxide by a conventional vacuum vapor deposition method is lower than 1 × 10 −4 to 1 × 10 −5 Torr, It is possible to shorten the time for setting the vacuum state at the time of replacing the original film, and the degree of vacuum is easily stabilized, and the film forming process is also stabilized. When there are a plurality of film forming chambers, the degree of vacuum may be the same or different in each chamber.

また、基材フィルムの搬送速度は、10〜300m/分位、好ましくは、50〜200m/分位に調製することが望ましいものである。プラズマ化学気相成長では、上記冷却・電極ドラムには、電源から所定の電圧が印加されているため、製膜室内の原料供給ノズルの開口部と冷却・電極ドラムとの近傍でグロー放電プラズマが生成される。このグロー放電プラズマは、製膜用混合ガス組成物に含まれる1以上のガス成分から導出されるものであり、基材フィルムを上記範囲で一定速度で搬送させると、グロー放電プラブマによって、前記冷却・電極ドラム周面上の基材フィルムの上に、珪素酸化物等からなる炭素含有酸化珪素膜を均一に製膜化することができる。   Moreover, it is desirable that the conveyance speed of the base film is adjusted to about 10 to 300 m / min, preferably about 50 to 200 m / min. In plasma chemical vapor deposition, since a predetermined voltage is applied to the cooling / electrode drum from the power source, glow discharge plasma is generated in the vicinity of the opening of the material supply nozzle in the film forming chamber and the cooling / electrode drum. Generated. The glow discharge plasma is derived from one or more gas components contained in the film-forming mixed gas composition. When the base film is transported at a constant speed within the above range, the glow discharge plasma causes the cooling to occur. A carbon-containing silicon oxide film made of silicon oxide or the like can be uniformly formed on the base film on the electrode drum peripheral surface.

また、原料である有機珪素化合物、酸素ガス、不活性ガスからなる製膜用混合ガス組成物において、各ガス成分のガス混合比としては、有機珪素化合物の1種からなる製膜用モノマーガスの含有量は、1〜40質量%位、酸素ガスの含有量は、0.1〜70質量%位、不活性ガスの含有量は、1〜60質量%位の範囲として調製することが好ましい。前記蒸着層が多層からなる場合には、各蒸着層において、原料である製膜用モノマーガスと酸素ガス(O2)との比をそれぞれ変化させてもよい。これによって製膜化した炭素含有酸化珪素膜中の炭素量を増減させることができ、該炭素量が増加すると、C−C結合、Si−CH3結合が増加し、柔軟性の高い、かつ、水蒸気に対して高いバリア性を持つ撥水性の炭素含有酸化珪素膜を製膜化可能とすることができる。また、製膜化した炭素含有酸化珪素層中に炭素量の含有が減少すると、Si−CH3結合が少なくなるため柔軟性は劣るが、酸素等に対して高いガスバリア性を保持することができる。 In addition, in the mixed gas composition for film formation composed of the raw material organosilicon compound, oxygen gas, and inert gas, the gas mixing ratio of each gas component is the film formation monomer gas composed of one kind of organosilicon compound. The content is preferably adjusted in the range of 1 to 40% by mass, the oxygen gas content in the range of 0.1 to 70% by mass, and the inert gas content in the range of 1 to 60% by mass. When said deposited layer is a multilayer, in each deposited layer, the ratio of the film for monomer gas and oxygen gas as the raw material (O 2) may be changed respectively. As a result, the amount of carbon in the carbon-containing silicon oxide film formed can be increased or decreased. When the amount of carbon increases, the number of C—C bonds and Si—CH 3 bonds increases, and the flexibility is high. A water-repellent carbon-containing silicon oxide film having a high barrier property against water vapor can be formed. Further, when the carbon content in the formed carbon-containing silicon oxide layer is reduced, Si—CH 3 bonds are reduced and flexibility is inferior, but high gas barrier properties against oxygen and the like can be maintained. .

本発明において、上記の炭素含有酸化珪素の蒸着膜は、例えばX線光電子分光装置(Xray Photoelectron Spectroscopy、XPS)、二次イオン質量分析装置(Secondary Ion Mass Spectroscopy、SIMS)等の表面分析装置を用い、深さ方向にイオンエッチングする等して分析し、炭素含有酸化珪素の蒸着膜の元素分析を行うことで、上記の物性を確認することができる。   In the present invention, the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide uses, for example, a surface analyzer such as an X-ray photoelectron spectrometer (Xray Photoelectron Spectroscopy, XPS) or a secondary ion mass spectrometer (Secondary Ion Mass Spectroscopy, SIMS). The above-mentioned physical properties can be confirmed by performing analysis by performing ion etching in the depth direction and performing elemental analysis of the deposited film of carbon-containing silicon oxide.

本発明において、上記炭素含有酸化珪素の蒸着膜の総膜厚は、60Å〜4000Å位であることが好ましく、より好ましくは100〜1000Åである。4000Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生する場合があり、一方、60Å未満であると、バリア性の効果を奏することが困難になる場合がある。なお、膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光X線分析装置(機種名、RIX2000型)を用いて、ファンダメンタルパラメーター法で測定することができる。また、炭素含有酸化珪素の蒸着膜の膜厚を変更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくする方法、すなわち、モノマーガスと酸素ガス量を多くする方法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行うことができる。なお、上記した3層からなる多層構造の場合には、第1層を構成する炭素含有酸化珪素膜の膜厚としては、20Å〜200Å位、好ましくは、30Å〜100Å位が望ましく、また、第2層を構成する炭素含有酸化珪素膜の膜厚としては、20Å〜200Å位、好ましくは、30Å〜100Å位が望ましく、さらに、第3層を構成する炭素含有酸化珪素膜の膜厚としては、20Å〜200Å位、好ましくは、30Å〜100Å位が望ましいものである。上記において、20Å以下であると、それ自身のバリア性が発現しないことから好ましくなく、また、200Åを越えると、膜にクラック等が入りやすく、特に、製膜中に、基材フィルムが巻き取られる間にクラックが入りやすい傾向にあることから好ましくないものである。また、上記において、上記の炭素含有酸化珪素層の膜厚を変更する手段としては、その層の体積速度を大きくすること、すなわち、製膜用モノマーガスと酸素ガスの量を多くする方法や製膜する速度を遅くする方法等によって行うことができる。   In the present invention, the total film thickness of the carbon-containing silicon oxide vapor-deposited film is preferably about 60 to 4000 mm, more preferably 100 to 1000 mm. If it is thicker than 4000 mm, cracks or the like may occur in the film. On the other hand, if it is less than 60 mm, it may be difficult to achieve a barrier effect. The film thickness can be measured by a fundamental parameter method using, for example, a fluorescent X-ray analyzer (model name, RIX2000 type) manufactured by Rigaku Corporation. Further, as a means of changing the film thickness of the carbon-containing silicon oxide vapor deposition film, a method of increasing the volume velocity of the vapor deposition film, that is, a method of increasing the amount of monomer gas and oxygen gas, a method of slowing the vapor deposition rate, etc. Can be done by. In the case of the multilayer structure composed of the three layers described above, the thickness of the carbon-containing silicon oxide film constituting the first layer is desirably about 20 to 200 mm, preferably about 30 to 100 mm. The film thickness of the carbon-containing silicon oxide film constituting the two layers is preferably 20 to 200 mm, preferably 30 to 100 mm, and the film thickness of the carbon-containing silicon oxide film constituting the third layer is The range of 20 to 200 mm, preferably 30 to 100 mm is desirable. In the above, if it is 20 mm or less, its own barrier properties are not expressed, and if it exceeds 200 mm, cracks and the like are likely to occur in the film. In particular, the base film is wound during film formation. This is not preferable because cracks tend to be easily formed. Further, in the above, as a means for changing the film thickness of the carbon-containing silicon oxide layer, the volume velocity of the layer is increased, that is, a method for increasing the amount of monomer gas for film formation and oxygen gas, It can be performed by a method of slowing the film forming speed.

本発明において、酸化珪素等の炭素含有酸化珪素の蒸着膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマーガスとしては、例えば、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他等を使用することができる。これらの中でも、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成された連続膜の特性等から、特に好ましい。なお、上記において、不活性ガスとしては、例えば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することができる。   In the present invention, as a monomer gas for vapor deposition of an organic silicon compound or the like that forms a vapor deposition film of carbon-containing silicon oxide such as silicon oxide, for example, 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, hexamethyldisiloxane, Vinyltrimethylsilane, methyltrimethylsilane, hexamethyldisilane, methylsilane, dimethylsilane, trimethylsilane, diethylsilane, propylsilane, phenylsilane, vinyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyltrimethoxy Silane, methyltriethoxysilane, octamethylcyclotetrasiloxane, etc. can be used. Among these, it is particularly preferable to use 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane or hexamethyldisiloxane as a raw material because of its handleability and the characteristics of the formed continuous film. In the above, as the inert gas, for example, argon gas, helium gas, or the like can be used.

次いで、本発明のガスバリア性フィルムは、上記蒸着膜またはその蒸着膜の表面処理面にさらにガスバリア性塗布膜を形成させるが、このガスバリア性塗布膜としては、一般式R1 nM(OR2m(ただし、式中、R1、R2は、炭素数1〜8の有機基を表し、Mは、金属原子を表し、nは、0以上の整数を表し、mは、1以上の整数を表し、n+mは、Mの原子価を表す。)で表される少なくとも1種以上のアルコキシドと、ポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体とを含有し、更に、ゾル−ゲル法触媒、酸、水、および、有機溶剤の存在下に、ゾルゲル法によって重縮合してなるガスバリア性組成物からなる塗布膜であり、該組成物を上記基材フィルム上に形成させた蒸着膜の上に塗工して塗布膜を設け、20℃〜200℃、かつ上記の基材フィルムの融点以下の温度で2秒〜10分間加熱処理して形成することができる。 Next, in the gas barrier film of the present invention, a gas barrier coating film is further formed on the deposited film or the surface-treated surface of the deposited film. The gas barrier coating film has a general formula R 1 n M (OR 2 ). m (wherein R 1 and R 2 represent an organic group having 1 to 8 carbon atoms, M represents a metal atom, n represents an integer of 0 or more, and m represents an integer of 1 or more) N + m represents the valence of M.) and contains a polyvinyl alcohol resin and / or an ethylene / vinyl alcohol copolymer, and a sol-gel. A coating film comprising a gas barrier composition obtained by polycondensation by a sol-gel method in the presence of a process catalyst, acid, water, and an organic solvent, and the deposited film formed on the substrate film On top of the coating film It can be formed by heat treatment for 2 seconds to 10 minutes at a temperature of 20 ° C. to 200 ° C. and below the melting point of the base film.

また、前記ガスバリア性組成物を上記基材フィルム上の炭素含有酸化珪素の蒸着膜の上に塗工して塗布膜を2層以上重層し、20℃〜200℃、かつ、上記基材フィルムの融点以下の温度で2秒〜10分間加熱処理し、ガスバリア性塗布膜を2層以上重層した複合ポリマー層を形成してもよい。上記一般式R1 nM(OR2mで表されるアルコキシドとしては、アルコキシドの部分加水分解物、アルコキシドの加水分解縮合物の少なくとも1種以上を使用することができ、また、上記アルコキシドの部分加水分解物としては、アルコキシ基のすべてが加水分解されるものに限定されず、1個以上が加水分解されているもの、および、その混合物であってもよく、更に、加水分解の縮合物としては、部分加水分解アルコキシドの2量体以上のもの、具体的には、2〜6量体のものを使用してもよい。
上記一般式R1 nM(OR2m中、R1としては、分岐を有していてもよい炭素数1〜8、好ましくは1〜5、より好ましくは1〜4のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ヘキシル基、n−オクチル基などを挙げることができる。上記一般式R1 nM(OR2m中、R2としては、分岐を有していてもよい炭素数1〜8、より好ましくは1〜5、特に好ましくは1〜4のアルキル基であり、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、その他等を挙げることができる。なお、同一分子中に複数の(OR2)が存在する場合には、(OR2)は同一であっても、異なってもよい。上記一般式R1 nM(OR2m中、Mで表される金属原子としては、ケイ素、ジルコニウム、チタン、アルミニウム、その他等を例示することができる。
Further, the gas barrier composition is applied onto the carbon-containing silicon oxide vapor-deposited film on the base film, and two or more coating films are stacked, and the temperature of the base film is 20 ° C. to 200 ° C. You may heat-process for 2 second-10 minutes at the temperature below melting | fusing point, and may form the composite polymer layer which laminated | stacked two or more gas barrier coating films. As the alkoxide represented by the above general formula R 1 n M (OR 2 ) m , at least one of alkoxide partial hydrolyzate and alkoxide hydrolysis condensate can be used. The partial hydrolyzate is not limited to the one in which all of the alkoxy groups are hydrolyzed, and may be one in which one or more are hydrolyzed, or a mixture thereof, and further a hydrolysis condensate. As a dimer or more of a partially hydrolyzed alkoxide, specifically, a dimer or hexamer may be used.
In the general formula R 1 n M (OR 2 ) m , R 1 is an alkyl group having 1 to 8, preferably 1 to 5, more preferably 1 to 4 carbon atoms which may have a branch. For example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, i-propyl group, n-butyl group, i-butyl group, sec-butyl group, t-butyl group, n-hexyl group, n-octyl group, etc. Can be mentioned. In the general formula R 1 n M (OR 2 ) m , R 2 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, more preferably 1 to 5, and particularly preferably 1 to 4 which may have a branch. Yes, for example, a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an i-propyl group, an n-butyl group, a sec-butyl group, and the like. When a plurality of (OR 2 ) are present in the same molecule, (OR 2 ) may be the same or different. Examples of the metal atom represented by M in the general formula R 1 n M (OR 2 ) m include silicon, zirconium, titanium, aluminum, and the like.

本発明においてケイ素であることが好ましい。この場合、本発明で好ましく使用できるアルコキシドとしては、上記一般式R1 nM(OR2mにおいてn=0の場合には、一般式Si(ORa)4(ただし、式中、Raは、炭素数1〜5のアルキル基を表す。)で表されるものである。上記において、Raとしては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、その他等が用いられる。このようなアルコキシシランの具体例としては、テトラメトキシシランSi(OCH34、テトラエトキシシランSi(OC254、テトラプロポキシシランSi(0C374、テトラブトキシシランSi(OC494等を例示することができる。また、nが1以上の場合には、一般式RbnSi(ORc)4-m(ただし、式中、mは、1、2、3の整数を表し、Rb、Rcは、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、その他を表わす。)で表されるアルキルアルコキシシランを使用することができる。このようなアルキルアルコキシシランとしては、例えば、メチルトリメトキシシランCH3Si(OCH33、メチルトリエトキシシランCH3Si(OC253、ジメチルジメトキシシラン(CH32Si(OCH32、ジメチルジエトキシシラン(CH32Si(OC252、その他等を使用することができる。本発明では、上記のアルコキシシラン、アルキルアルコキシシラン等は、単独で又は2種以上を併用してもよい。また、本発明において、上記のアルコキシシランの縮重合物も使用することができ、具体的には、例えば、ポリテトラメトキシシラン、ポリテトラエメトキシシラン、その他等を使用することができる。 In the present invention, silicon is preferable. In this case, as an alkoxide that can be preferably used in the present invention, when n = 0 in the general formula R 1 n M (OR 2 ) m , the general formula Si (ORa) 4 (wherein Ra is Represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms). In the above, Ra includes a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an n-butyl group, and the like. Specific examples of such an alkoxysilane include tetramethoxysilane Si (OCH 3 ) 4 , tetraethoxysilane Si (OC 2 H 5 ) 4 , tetrapropoxysilane Si (0C 3 H 7 ) 4 , tetrabutoxysilane Si ( OC 4 H 9) can be exemplified 4 like. In the case where n is 1 or more, the general formula RbnSi (ORc) 4-m (wherein m represents an integer of 1, 2, 3 and Rb and Rc are a methyl group, an ethyl group, An alkylalkoxysilane represented by n-propyl group, n-butyl group, etc.) can be used. Examples of such an alkylalkoxysilane include methyltrimethoxysilane CH 3 Si (OCH 3 ) 3 , methyltriethoxysilane CH 3 Si (OC 2 H 5 ) 3 , dimethyldimethoxysilane (CH 3 ) 2 Si (OCH). 3) 2, dimethyl diethoxy silane (CH 3) 2 Si (OC 2 H 5) 2, may use other like. In the present invention, the above alkoxysilane, alkylalkoxysilane and the like may be used alone or in combination of two or more. In the present invention, a polycondensation product of the above alkoxysilane can also be used, and specifically, for example, polytetramethoxysilane, polytetraemethoxysilane, and the like can be used.

本発明では、上記一般式R1 nM(OR2mで表されるアルコキシドとして、MがZrであるジルコニウムアルコキシドも好適に使用することができる。例えば、テトラメトキシジルコニウムZr(OCH34、テトラエトキシジルコニウムZr(OC254、テトラiプロポキシジルコニウムZr(iso−0C374、テトラnブトキシジルコニウムZr(OC494、などを例示することができる。 In the present invention, a zirconium alkoxide in which M is Zr can also be suitably used as the alkoxide represented by the general formula R 1 n M (OR 2 ) m . For example, tetramethoxy zirconium Zr (OCH 3) 4, tetraethoxy zirconium Zr (OC 2 H 5) 4 , tetra i propoxy zirconium Zr (iso-0C 3 H 7 ) 4, tetra-n-butoxy zirconium Zr (OC 4 H 9) 4 etc. can be illustrated.

また、上記一般式R1 nM(OR2mで表されるアルコキシドとして、MがTiであるチタニウムアルコキシドを好適に使用することができ、例えば、テトラメトキシチタニウムTi(OCH34、テトラエトキシチタニウムTi(OC254、テトライソプロポキシチタニウムTi(iso−0C374、テトラnブトキシチタニウムTi(OC494、その他等を例示することができる。また、上記一般式R1 nM(OR2mで表されるアルコキシドとして、MがAlであるアルミニウムアルコキシドを使用することができ、例えば、テトラメトキシアルミニウムAl(OCH34、テトラエトキシアルミニウムAl(OC254、テトライソプロポキシアルミニウムAl(is0−OC374、テトラnブトキシアルミニウムAl(OC494、その他等を使用することができる。 Further, as the alkoxide represented by the general formula R 1 n M (OR 2 ) m , a titanium alkoxide in which M is Ti can be preferably used. For example, tetramethoxytitanium Ti (OCH 3 ) 4 , tetra Examples thereof include ethoxytitanium Ti (OC 2 H 5 ) 4 , tetraisopropoxytitanium Ti (iso-0C 3 H 7 ) 4 , tetra n-butoxytitanium Ti (OC 4 H 9 ) 4 , and the like. As the alkoxide represented by the general formula R 1 n M (OR 2 ) m , an aluminum alkoxide in which M is Al can be used. For example, tetramethoxyaluminum Al (OCH 3 ) 4 , tetraethoxyaluminum Al (OC 2 H 5) 4 , tetraisopropoxy aluminum Al (is0-OC 3 H 7 ) 4, tetra-n-butoxy aluminum Al (OC 4 H 9) 4 , may use other like.

本発明では、上記アルコキシドは、2種以上を併用してもよい。例えばアルコキシシランとジルコニウムアルコキシドを混合して用いると、得られるガスバリア性積層フィルムの靭性、耐熱性等を向上させることができ、また、延伸時のフィルムの耐レトルト性などの低下が回避される。この際、ジルコニウムアルコキシドの使用量は、上記アルコキシシラン100質量部に対して10質量部以下の範囲である。10質量部を越えると、形成されるガスバリア性塗布膜が、ゲル化し易くなり、また、その膜の脆性が大きくなり、基材フィルムを被覆した際にガスバリア性塗布膜が剥離し易くなる傾向にあることから好ましくないものである。また、アルコキシシランとチタニウムアルコキシドを混合して用いると、得られるガスバリア性塗布膜の熱伝導率が低くなり、耐熱性が著しく向上する。この際、チタニウムアルコキシドの使用量は、上記のアルコキシシラン100質量部に対して5質量部以下の範囲である。5質量部を越えると、形成されるガスバリア性塗布膜の脆性が大きくなり、基材フィルムを被覆した際に、ガスバリア性塗布膜が剥離し易くなる場合がある。   In the present invention, two or more of the alkoxides may be used in combination. For example, when alkoxysilane and zirconium alkoxide are mixed and used, the toughness, heat resistance and the like of the resulting gas barrier laminate film can be improved, and a decrease in the retort resistance of the film during stretching can be avoided. Under the present circumstances, the usage-amount of a zirconium alkoxide is the range of 10 mass parts or less with respect to 100 mass parts of said alkoxysilanes. When the amount exceeds 10 parts by mass, the formed gas barrier coating film tends to gel, and the brittleness of the film increases, and the gas barrier coating film tends to peel off when the base film is coated. This is not desirable. In addition, when alkoxysilane and titanium alkoxide are mixed and used, the thermal conductivity of the resulting gas barrier coating film is lowered, and the heat resistance is remarkably improved. Under the present circumstances, the usage-amount of a titanium alkoxide is the range of 5 mass parts or less with respect to 100 mass parts of said alkoxysilane. When the amount exceeds 5 parts by mass, the brittleness of the formed gas barrier coating film increases, and the gas barrier coating film may be easily peeled off when the base film is coated.

本発明で使用するポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体としては、ポリビニルアルコール系樹脂、またはエチレン・ビニルアルコ一ル共重合体を単独で各々使用することができ、あるいは、ポリビニルアルコ一ル系樹脂およびエチレン・ビニルアルコール共重合体とを組み合わせて使用することができる。本発明では、ポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体を使用することにより、ガスバリア性、耐水性、耐候性、その他等の物性を著しく向上させることができる。ポリビニルアルコール系樹脂とエチレン・ビニルアルコール共重合体とを組み合わせて使用する場合、それぞれの配合割合としては、質量比で、ポリビニルアルコ一ル系樹脂:エチレン・ビニルアルコール共重合体=10:0.05〜10:6位であることが好ましい。   As the polyvinyl alcohol resin and / or ethylene / vinyl alcohol copolymer used in the present invention, a polyvinyl alcohol resin or an ethylene / vinyl alcohol copolymer can be used alone, respectively, or polyvinyl alcohol A single resin and an ethylene / vinyl alcohol copolymer can be used in combination. In the present invention, physical properties such as gas barrier properties, water resistance, weather resistance, and the like can be remarkably improved by using a polyvinyl alcohol resin and / or an ethylene / vinyl alcohol copolymer. When the polyvinyl alcohol resin and the ethylene / vinyl alcohol copolymer are used in combination, the blending ratio of each is polyvinyl alcohol resin: ethylene / vinyl alcohol copolymer = 10: 0. It is preferable that the position is from 05 to 10: 6.

また、ポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体の含有量は、上記のアルコキシドの合計量100質量部に対して5〜500質量部の範囲であり、好ましくは20〜200質量部の配合割合である。500質量部を越えると、ガスバリア性塗布膜の脆性が大きくなり、得られるバリア性フィルムの耐水性および耐候性等が低下する場合がある。一方、5質量部を下回るとガスバリア性が低下する場合がある。
前記ポリビニルアルコ一ル系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体において、ポリビニルアルコ一ル系樹脂としては、一般に、ポリ酢酸ビニルをケン化して得られるものを使用することができる。ポリビニルアルコール系樹脂としては、酢酸基が数十%残存している部分ケン化ポリビニルアルコール系樹脂でも、酢酸基が残存しない完全ケン化ポリビニルアルコールでも、OH基が変性された変性ポリビニルアルコール系樹脂でもよく、特に限定されるものではない。このようなポリビニルアルコール系樹脂としては、株式会社クラレ製のRSポリマーである「RS−110(ケン化度=99%、重合度=1,000)」、同社製の「クラレポバールLM−20SO(ケン化度=40%、重合度=2,000)」、日本合成化学工業株式会社製の「ゴーセノールNM−14(ケン化度=99%、重合度=1,400)」等を例示することができる。
The content of the polyvinyl alcohol resin and / or the ethylene / vinyl alcohol copolymer is in the range of 5 to 500 parts by mass, preferably 20 to 200 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the alkoxide. The blending ratio of When it exceeds 500 parts by mass, the brittleness of the gas barrier coating film becomes large, and the water resistance and weather resistance of the resulting barrier film may be lowered. On the other hand, if it is less than 5 parts by mass, the gas barrier property may be lowered.
In the polyvinyl alcohol resin and / or ethylene / vinyl alcohol copolymer, as the polyvinyl alcohol resin, one obtained by saponifying polyvinyl acetate can be generally used. Polyvinyl alcohol resins include partially saponified polyvinyl alcohol resins in which several tens of percent of acetate groups remain, completely saponified polyvinyl alcohols in which no acetate groups remain, and modified polyvinyl alcohol resins in which OH groups have been modified. Well, not particularly limited. Examples of such a polyvinyl alcohol resin include “RS-110 (degree of saponification = 99%, degree of polymerization = 1,000)” manufactured by Kuraray Co., Ltd., and “Kuraray Poval LM-20SO ( “Saponification degree = 40%, polymerization degree = 2,000)”, “GOHSENOL NM-14 (degree of saponification = 99%, polymerization degree = 1,400)” manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. Can do.

また、エチレン・ビニルアルコール共重合体としては、エチレンと酢酸ビニルとの共重合体のケン化物、すなわち、エチレン−酢酸ビニルランダム共重合体をケン化して得られるものを使用することができる。例えば、酢酸基が数十モル%残存している部分ケン化物から、酢酸基が数モル%しか残存していないかまたは酢酸基が残存しない完全ケン化物まで含み、特に限定されるものではない。ただし、ガスバリア性の観点から好ましいケン化度は、80モル%以上、より好ましくは、90モル%以上、さらに好ましくは、95モル%以上であるものを使用することが好ましい。なお、上記エチレン・ビニルアルコール共重合体中のエチレンに由来する繰り返し単位の含量(以下「エチレン含量」ともいう)は、通常、0〜50モル%、好ましくは、20〜45モル%であるものことが好ましい。このようなエチレン・ビニルアルコール共重合体としては、株式会社クラレ製、「エバールEP−F101(エチレン含量;32モル%)」、日本合成化学工業株式会社製、「ソアノールD2908(エチレン含量;29モル%)」等を例示することができる。   As the ethylene / vinyl alcohol copolymer, a saponified product of a copolymer of ethylene and vinyl acetate, that is, a product obtained by saponifying an ethylene-vinyl acetate random copolymer can be used. For example, it is not particularly limited, and includes a partially saponified product in which several tens mol% of acetic acid groups remain to a complete saponified product in which only several mol% of acetic acid groups remain or no acetic acid groups remain. However, it is preferable to use a saponification degree that is preferably 80 mol% or more, more preferably 90 mol% or more, and still more preferably 95 mol% or more from the viewpoint of gas barrier properties. In addition, the content of the repeating unit derived from ethylene in the ethylene / vinyl alcohol copolymer (hereinafter also referred to as “ethylene content”) is usually 0 to 50 mol%, preferably 20 to 45 mol%. It is preferable. Examples of such an ethylene / vinyl alcohol copolymer include “Eval EP-F101 (ethylene content; 32 mol%)” manufactured by Kuraray Co., Ltd., “Soarnol D2908 (ethylene content; 29 mol) manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.” %) "And the like.

本発明で使用するガスバリア性組成物は、前記一般式R1 nM(OR2m(ただし、式中、R1、R2は、炭素数1〜8の有機基を表し、Mは、金属原子を表し、nは、0以上の整数を表し、mは、1以上の整数を表し、n+mは、Mの原子価を表す。)で表される少なくとも1種以上のアルコキシドと、上記のようなポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体とを含有し、更に、ゾル−ゲル法触媒、酸、水、および、有機溶剤の存在下に、ゾルゲル法によって重縮合して得たガスバリア性組成物である。上記ガスバリア性組成物を調製するのに際し、シランカップリング剤等を添加してもよい。 The gas barrier composition used in the present invention has the general formula R 1 n M (OR 2 ) m (wherein R 1 and R 2 represent an organic group having 1 to 8 carbon atoms, M is Represents a metal atom, n represents an integer of 0 or more, m represents an integer of 1 or more, and n + m represents a valence of M.) And a polycondensation by a sol-gel method in the presence of a sol-gel method catalyst, acid, water, and an organic solvent. Gas barrier composition. In preparing the gas barrier composition, a silane coupling agent or the like may be added.

本発明で好適に使用できるシランカップリング剤としては、既知の有機反応性基含有オルガノアルコキシシランを広く使用することができる。例えば、エポキシ基を有するオルガノアルコキシシランが好適であり、それには、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、あるいは、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等を使用することができる。このようなシランカップリング剤は、1種ないし2種以上を混合して用いてもよい。なお、シランカップリング剤の使用量は、上記アルコキシシラン100質量部に対して1〜20質量部の範囲内である。20質量部以上を使用すると、形成されるガスバリア性塗布膜の剛性と脆性とが大きくなり、また、ガスバリア性塗布膜の絶縁性および加工性が低下する場合がある。   As the silane coupling agent that can be suitably used in the present invention, known organic reactive group-containing organoalkoxysilanes can be widely used. For example, an organoalkoxysilane having an epoxy group is suitable. For example, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, or β- (3,4-epoxy). (Cyclohexyl) ethyltrimethoxysilane or the like can be used. Such silane coupling agents may be used alone or in combination of two or more. In addition, the usage-amount of a silane coupling agent exists in the range of 1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of said alkoxysilanes. If 20 parts by mass or more is used, the gas barrier coating film to be formed has increased rigidity and brittleness, and the insulation and workability of the gas barrier coating film may be lowered.

また、ゾル−ゲル法触媒とは、主として、重縮合触媒として使用される触媒であり、水に実質的に不溶であり、かつ有機溶媒に可溶な第三アミンなどの塩基性物質が用いられる。例えば、N、N−ジメチルベンジルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、その他等を使用することができる。本発明においては、特に、N、N−ジメチルべンジルアミンが好適である。その使用量は、アルコキシド、および、シランカップリング剤の合計量100質量部当り、0.01〜1.0質量部である。   The sol-gel catalyst is a catalyst mainly used as a polycondensation catalyst, and a basic substance such as a tertiary amine that is substantially insoluble in water and soluble in an organic solvent is used. . For example, N, N-dimethylbenzylamine, tripropylamine, tributylamine, tripentylamine, etc. can be used. In the present invention, N, N-dimethylbenzylamine is particularly preferred. The usage-amount is 0.01-1.0 mass part per 100 mass parts of total amounts of an alkoxide and a silane coupling agent.

また、上記ガスバリア性組成物において用いられる「酸」としては、上記ゾル−ゲル法において、主として、アルコキシドやシランカップリング剤などの加水分解のための触媒として用いられる。例えば、硫酸、塩酸、硝酸などの鉱酸、ならびに、酢酸、酒石酸な等の有機酸、その他等を使用することができる。上記酸の使用量は、アルコキシドおよびシランカップリング剤のアルコキシド分(例えばシリケート部分)の総モル量に対し0.001〜0.05モルを使用することが好ましい。   The “acid” used in the gas barrier composition is mainly used as a catalyst for hydrolysis of an alkoxide, a silane coupling agent or the like in the sol-gel method. For example, mineral acids such as sulfuric acid, hydrochloric acid, and nitric acid, organic acids such as acetic acid and tartaric acid, and the like can be used. The amount of the acid used is preferably 0.001 to 0.05 mol based on the total molar amount of the alkoxide and the alkoxide content of the silane coupling agent (for example, silicate moiety).

さらに、上記のガスバリア性組成物においては、上記のアルコキシドの合計モル量1モルに対して0.1〜100モル、好ましくは、0.8から2モルの割合の水を用いることができる。水の量が2モルを越えると、上記アルコキシシランと金属アルコキシドとから得られるポリマーが球状粒子となり、さらに、この球状粒子同士が三次元的に架橋し、密度の低い、多孔性のポリマーとなり、そのような多孔性のポリマーは、ガスバリア性積層フィルムのガスバリア性を改善することができなくなる。また、上記の水の量が0.8モルを下回ると、加水分解反応が進行しにくくなる場合がある。   Furthermore, in said gas barrier composition, water of 0.1-100 mol with respect to 1 mol of total molar amounts of said alkoxide, Preferably, the ratio of 0.8-2 mol can be used. When the amount of water exceeds 2 mol, the polymer obtained from the alkoxysilane and the metal alkoxide becomes spherical particles, and the spherical particles are three-dimensionally cross-linked to become a low-density, porous polymer, Such a porous polymer cannot improve the gas barrier property of the gas barrier laminate film. Moreover, when the amount of the water is less than 0.8 mol, the hydrolysis reaction may hardly proceed.

さらに、上記のガスバリア性組成物において用いられる有機溶媒としては、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブタノール、などを用いることができる。なお、上記ポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体は、上記アルコキシドやシランカップリング剤などを含む塗工液中で溶解した状態で取り扱われることが好ましく、上記有機溶媒の中から適宜選択することができる。例えば、ポリビニルアルコール系樹脂およびエチレン・ビニルアルコール共重合体とを組み合わせて使用する場合には、n−ブタノールを使用することが好ましい。なお、溶媒中に可溶化されたエチレン・ビニルアルコール共重合体を使用することもでき、例えば、日本合成化学工業株式会社製、商品名「ソアノール」などを好適に使用することができる。上記の有機溶媒の使用量は、通常、上記アルコキシド、シランカップリング剤、ポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体、酸およびゾル−ゲル法触媒の合計量100質量に対して30〜500質量部である。   Furthermore, as an organic solvent used in said gas-barrier composition, methyl alcohol, ethyl alcohol, n-propyl alcohol, isopropyl alcohol, n-butanol, etc. can be used, for example. The polyvinyl alcohol-based resin and / or the ethylene / vinyl alcohol copolymer is preferably handled in a state of being dissolved in a coating solution containing the alkoxide, silane coupling agent, or the like. It can be selected appropriately. For example, when a polyvinyl alcohol resin and an ethylene / vinyl alcohol copolymer are used in combination, it is preferable to use n-butanol. An ethylene / vinyl alcohol copolymer solubilized in a solvent can also be used. For example, trade name “Soarnol” manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd. can be preferably used. The amount of the organic solvent used is usually 30 with respect to 100 mass of the total amount of the alkoxide, silane coupling agent, polyvinyl alcohol resin and / or ethylene / vinyl alcohol copolymer, acid and sol-gel method catalyst. It is -500 mass parts.

本発明において、ガスバリア性積層フィルムは、以下の方法で製造することができる。
まず、上記のアルコキシシランなどのアルコキシド、シランカップリング剤、ポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体、ゾル−ゲル法触媒、酸、水、有機溶媒、および、必要に応じて、金属アルコキシド等を混合し、ガスバリア性組成物を調製する。混合により、ガスバリア性組成物(塗工液)は、重縮合反応が開始および進行する。次いで、基材フィルム上の炭素含有酸化珪素の蒸着膜の上に、常法により、上記のガスバリア性組成物を塗布し、および乾燥する。この乾燥工程によって、上記のアルコキシシラン等のアルコキシド、金属アルコキシド、シランカップリング剤およびポリビニルアルコール系樹脂及び/又はエチレン・ビニルアルコール共重合体等の重縮合が更に進行し、塗布膜が形成される。第一の塗布膜の上に、更に上記塗布操作を繰り返して、2層以上からなる複数の塗布膜を形成してもよい。
In the present invention, the gas barrier laminate film can be produced by the following method.
First, an alkoxide such as alkoxysilane, a silane coupling agent, a polyvinyl alcohol-based resin and / or an ethylene / vinyl alcohol copolymer, a sol-gel method catalyst, an acid, water, an organic solvent, and, if necessary, A metal alkoxide or the like is mixed to prepare a gas barrier composition. By mixing, the gas barrier composition (coating liquid) starts and proceeds with a polycondensation reaction. Next, the above gas barrier composition is applied onto the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide on the base film and dried by a conventional method. By this drying step, polycondensation of the alkoxide such as alkoxysilane, metal alkoxide, silane coupling agent, polyvinyl alcohol resin and / or ethylene / vinyl alcohol copolymer further proceeds, and a coating film is formed. . On the first coating film, the above coating operation may be further repeated to form a plurality of coating films composed of two or more layers.

次いで、上記ガスバリア性組成物を塗布した基材フィルムを20℃〜200℃、かつ基材フィルムの融点以下の温度、好ましくは、100℃〜200℃の範囲の温度で、2秒〜10分間加熱処理する。これによって、前記炭素含有酸化珪素の蒸着膜の上に、上記ガスバリア性組成物によるガスバリア性塗布膜を1層ないし2層以上形成したガスバリア性積層フィルムを製造することができる。なお、エチレン・ビニルアルコール共重合体単独、またはポリビニルアルコール系樹脂とエチレン・ビニルアルコール共重合体との両者を用いて得られたガスバリア性積層フィルムは、熱水処理後のガスバリア性に優れる。一方、ポリビニルアルコール系樹脂のみを使用してガスバリア性積層フィルムを製造した場合には、予め、ポリビニルアルコール系樹脂を使用したガスバリア性組成物を塗工して第1の塗布膜を形成し、次いで、その塗布膜の上に、エチレン・ビニルアルコール共重合体を含有するガスバリア性組成物を塗工して第2の塗布膜を形成し、それらの複合層を形成すると、熱水処理後のガスバリア性が向上したガスバリア性積層フィルムを製造することができる。さらに、上記エチレン・ビニルアルコール共重合体を含有するガスバリア性組成物により塗布膜を形成し、または、ポリビニルアルコール系樹脂およびエチレン・ビニルアルコール共重合体とを組み合わせて含有するガスバリア性組成物により塗布膜を形成し、これらを複数積層しても、本発明に係るガスバリア性積層フィルムのガスバリア性の向上に有効な手段となる。   Next, the base film coated with the gas barrier composition is heated at 20 ° C. to 200 ° C. and a temperature below the melting point of the base film, preferably at a temperature in the range of 100 ° C. to 200 ° C. for 2 seconds to 10 minutes. Process. Thus, a gas barrier laminated film in which one or more gas barrier coating films of the gas barrier composition are formed on the carbon-containing silicon oxide vapor deposition film can be produced. A gas barrier laminate film obtained using an ethylene / vinyl alcohol copolymer alone or both a polyvinyl alcohol resin and an ethylene / vinyl alcohol copolymer is excellent in gas barrier properties after hydrothermal treatment. On the other hand, when a gas barrier laminate film is produced using only a polyvinyl alcohol-based resin, a first coating film is formed by previously applying a gas barrier composition using a polyvinyl alcohol-based resin, A gas barrier composition containing an ethylene / vinyl alcohol copolymer is applied onto the coating film to form a second coating film, and a composite layer thereof is formed. A gas barrier laminate film with improved properties can be produced. Further, a coating film is formed by the gas barrier composition containing the ethylene / vinyl alcohol copolymer, or a gas barrier composition containing a combination of a polyvinyl alcohol-based resin and an ethylene / vinyl alcohol copolymer. Even if a film is formed and a plurality of these films are laminated, it becomes an effective means for improving the gas barrier property of the gas barrier laminated film according to the present invention.

本発明で使用するガスバリア性積層フィルムの製造法について、アルコキシドとしてアルコキシシランを使用し、より詳細に説明する。ガスバリア性組成物として配合されたアルコキシシランや金属アルコキシドは、添加された水によって加水分解される。加水分解の際には、酸が加水分解の触媒として作用する。次いで、ゾル−ゲル法触媒の働きによって、加水分解によって生じた水酸基からプロトンが奪取され、加水分解生成物同士が脱水重縮合する。このとき、酸触媒により同時にシランカップリング剤も加水分解されて、アルコキシ基が水酸基となる。   The production method of the gas barrier laminate film used in the present invention will be described in more detail using alkoxysilane as the alkoxide. The alkoxysilane and metal alkoxide blended as the gas barrier composition are hydrolyzed by the added water. During the hydrolysis, the acid acts as a hydrolysis catalyst. Next, protons are taken from the hydroxyl groups generated by hydrolysis by the action of the sol-gel method catalyst, and the hydrolyzed products undergo dehydration polycondensation. At this time, the silane coupling agent is simultaneously hydrolyzed by the acid catalyst, and the alkoxy group becomes a hydroxyl group.

また、塩基触媒の働きによりエポキシ基の開環も起こり、水酸基が生じる。また、加水分解されたシランカップリング剤と加水分解されたアルコキシドとの重縮合反応も進行する。反応系にはポリビニルアルコール系樹脂、または、エチレン・ビニルアルコール共重合体、または、ポリビニルアルコール系樹脂および/またはエチレン・ビニルアルコール共重合体が存在するため、ポリビニルアルコール系樹脂およびエチレン・ビニルアルコール共重合体が有する水酸基との反応も生じる。なお、生成する重縮合物は、例えば、Si−O−Si、Si−O−Zr、Si−O−Ti、その他等の結合からなる無機質部分と、シランカップリング剤に起因する有機部分とを含有する複合ポリマーである。   In addition, the opening of the epoxy group also occurs due to the action of the base catalyst, generating a hydroxyl group. In addition, a polycondensation reaction between the hydrolyzed silane coupling agent and the hydrolyzed alkoxide also proceeds. In the reaction system, polyvinyl alcohol resin, ethylene / vinyl alcohol copolymer, or polyvinyl alcohol resin and / or ethylene / vinyl alcohol copolymer are present, so polyvinyl alcohol resin and ethylene / vinyl alcohol copolymer are present. Reaction with the hydroxyl group of the polymer also occurs. In addition, the polycondensate to be generated includes, for example, an inorganic part composed of a bond such as Si—O—Si, Si—O—Zr, Si—O—Ti, and the like, and an organic part resulting from the silane coupling agent. It is a composite polymer containing.

上記反応において、例えば、下記の式(III)に示される部分構造式を有し、更に、シランカップリング剤に起因する部分を有する直鎖状のポリマーがまず生成する。   In the above reaction, for example, a linear polymer having a partial structural formula represented by the following formula (III) and further having a portion derived from a silane coupling agent is first formed.

Figure 0005157149
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このポリマーは、OR基(エトキシ基などのアルコキシ基)を、直鎖状のポリマーから分岐した形で有する。このOR基は、存在する酸が触媒となって加水分解されてOH基となり、ゾル−ゲル法触媒(塩基触媒)の働きにより、まず、OH基が、脱プロトン化し、次いで、重縮合が進行する。すなわち、このOH基が、下記の式(I)に示されるポリビニルアルコール系樹脂、または、下記の式(II)に示されるエチレン・ビニルアルコール共重合体と重縮合反応し、Si−O−Si結合を有する、例えば、下記の式(IV)に示される複合ポリマー、あるいは、下記の式(V)及び(VI)に示される共重合した複合ポリマーを生じると考えられる。   This polymer has an OR group (an alkoxy group such as an ethoxy group) branched from a linear polymer. This OR group is hydrolyzed to become an OH group using the existing acid as a catalyst. The OH group is first deprotonated by the action of a sol-gel method catalyst (base catalyst), and then polycondensation proceeds. To do. That is, this OH group undergoes a polycondensation reaction with a polyvinyl alcohol-based resin represented by the following formula (I) or an ethylene / vinyl alcohol copolymer represented by the following formula (II) to form Si—O—Si. For example, it is considered that a composite polymer represented by the following formula (IV) or a copolymerized composite polymer represented by the following formulas (V) and (VI) is formed.

Figure 0005157149
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上記の反応は常温で進行し、ガスバリア性組成物は、調製中に粘度が増加する。このガスバリア性組成物を、基材フィルム上の炭素含有酸化珪素の蒸着膜の上に塗布し、加熱して溶媒および重縮合反応により生成したアルコールを除去すると重縮合反応が完結し、基材フィルム上の炭素含有酸化珪素の蒸着膜の上に透明な塗布膜が形成される。なお、上記の塗布膜を複数層積層する場合には、層間の塗布膜中の複合ポリマー同士も縮合し、層と層との間が強固に結合する。   The above reaction proceeds at room temperature, and the viscosity of the gas barrier composition increases during preparation. When this gas barrier composition is applied on the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide on the base film and heated to remove the solvent and the alcohol produced by the polycondensation reaction, the polycondensation reaction is completed. A transparent coating film is formed on the deposited carbon-containing silicon oxide film. In addition, when laminating | stacking two or more said coating films, the composite polymer in the coating film of an interlayer is also condensed, and a layer couple | bonds firmly between layers.

さらに、シランカップリング剤の有機反応性基や、加水分解によって生じた水酸基が、基材フィルム、または、基材フィルム上の炭素含有酸化珪素の蒸着膜の表面の水酸基等と結合するため、基材フィルム、または前記炭素含有酸化珪素の蒸着膜表面と、塗布膜との接着性も良好なものとなる。このように、本発明においては、炭素含有酸化珪素の蒸着膜とガスバリア性塗布膜とが、例えば、加水分解・共縮合反応による化学結合、水素結合、あるいは、配位結合などを形成するため、炭素含有酸化珪素の蒸着膜とガスバリア性塗布膜との密着性が向上し、その2層の相乗効果により、より良好なガスバリア性の効果を発揮し得る。なお、本発明では、添加される水の量をアルコキシド類1モルに対して0.8〜2モル、好ましくは1.0〜1.7モルに調節した場合には、上記直鎖状のポリマーが形成される。   Furthermore, the organic reactive group of the silane coupling agent and the hydroxyl group generated by hydrolysis are bonded to the base film or the hydroxyl group on the surface of the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide on the base film. The adhesion between the material film or the surface of the carbon-containing silicon oxide vapor deposition film and the coating film is also good. Thus, in the present invention, the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide and the gas barrier coating film form, for example, a chemical bond, a hydrogen bond, or a coordinate bond by a hydrolysis / co-condensation reaction. The adhesion between the vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide and the gas barrier coating film is improved, and a better gas barrier effect can be exhibited by the synergistic effect of the two layers. In the present invention, when the amount of water added is adjusted to 0.8 to 2 mol, preferably 1.0 to 1.7 mol, relative to 1 mol of alkoxides, the above linear polymer is used. Is formed.

このような直鎖状ポリマーは結晶性を有し、非晶質部分の中に多数の微小の結晶が埋包された構造をとる。このような結晶構造は、結晶性有機ポリマー(例えば、塩化ビニリデンやポリビニルアルコール)と同様であり、さらに極性基(OH基)が部分的に分子内に存在し、分子の凝集エネルギーが高く分子鎖剛性も高いため、特にガスバリア性(O2、N2、H2O、CO2、その他等の透過を遮断、阻止する)に優れる。特に、N2、CO2ガス等を充填した、いわゆる、ガス充填包装に用いた場合には、その優れたガスバリア性が、充填ガスの保持に極めて有効となる。更に、本発明にかかるガスバリア性積層フィルムは、熱水処理、特に、高圧熱水処理(レトルト処理)に優れ、極めて優れたガスバリア性特性を示す。 Such a linear polymer has crystallinity and has a structure in which a large number of minute crystals are embedded in an amorphous part. Such a crystal structure is the same as that of a crystalline organic polymer (for example, vinylidene chloride or polyvinyl alcohol), and a polar group (OH group) is partially present in the molecule, and the molecular aggregation energy is high. Since the rigidity is also high, it is particularly excellent in gas barrier properties (blocking and blocking permeation of O 2 , N 2 , H 2 O, CO 2 , etc.). In particular, when used for so-called gas-filled packaging filled with N 2 , CO 2 gas, etc., the excellent gas barrier property is extremely effective for holding the filled gas. Furthermore, the gas barrier laminate film according to the present invention is excellent in hot water treatment, particularly high-pressure hot water treatment (retort treatment), and exhibits extremely excellent gas barrier properties.

上記のガスバリア性組成物を塗布する方法としては、例えば、グラビアロールコーターなどのロールコート、スプレーコート、スピンコート、デイツピング、刷毛、バーコード、アプリケータ等の塗布手段により、1回あるいは複数回の塗布で、乾燥膜厚が、0.01〜30μm、好ましくは、0.1〜10μm位の塗布膜を形成することができ、更に、通常の環境下、50〜300℃、好ましくは、70〜200℃の温度で、0.005〜60分間、好ましくは、0.01〜10分間、加熱・乾操することにより、縮合が行われ、本発明のガスバリア性塗布膜を形成することができる。   As a method of applying the gas barrier composition, for example, a roll coating such as a gravure roll coater, spray coating, spin coating, dipping, brush, barcode, applicator or the like, one or more times. By coating, a coating film having a dry film thickness of 0.01 to 30 μm, preferably 0.1 to 10 μm, can be formed. Further, under a normal environment, 50 to 300 ° C., preferably 70 to Condensation is performed by heating and drying at a temperature of 200 ° C. for 0.005 to 60 minutes, preferably 0.01 to 10 minutes, and the gas barrier coating film of the present invention can be formed.

ここで、本願発明の特徴である、基材フィルム201上に成膜された無機酸化物上にガスバリア性組成物をコーティングする方法について、図5および図6〜7を参照して説明する。なお、図5は、ガスバリア性組成物の塗工工程を有する巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構成図、図6は、グラビアロールの正面模式図、図7はグラビアロールの表面を拡大した正面模式図を示す。まず、巻き取り式真空蒸着装置241における真空チャンバー242内で巻き取りロール253によって巻き取られた基材フィルム201は、ガスバリア性組成物の塗工工程300である次工程のチャンバー301内に移送され、容器302内に有する予め調製したガスバリア性組成物であるバリア塗工液を、その基材フィルム201の無機酸化物の蒸着膜上にグラビアロール303を用いてコーティングされる。   Here, a method of coating the gas barrier composition on the inorganic oxide film formed on the base film 201, which is a feature of the present invention, will be described with reference to FIG. 5 and FIGS. 5 is a schematic configuration diagram showing an example of a winding-type vacuum vapor deposition apparatus having a gas barrier composition coating process, FIG. 6 is a schematic front view of a gravure roll, and FIG. 7 is a surface of the gravure roll. The enlarged front schematic diagram is shown. First, the base film 201 taken up by the take-up roll 253 in the vacuum chamber 242 in the take-up vacuum deposition apparatus 241 is transferred into the chamber 301 of the next step which is the coating step 300 of the gas barrier composition. The barrier coating liquid, which is a gas barrier composition prepared in advance in the container 302, is coated on the inorganic oxide vapor-deposited film of the base film 201 using the gravure roll 303.

その際、図6に示すように、グラビアロール303表面の彫刻は、例えば、中央部近傍304である幅Aの部分の版深を40μmとし、幅Aから両端部近傍305に向けて左右対称に幅Aに隣接して幅Aの外側に20mmずつ設けられた左右幅Bの部分の版深を33μmとし、さらに幅Bから両端部近傍305に向けて左右対称に幅Bに隣接して、幅Bの外側に20mmずつ設けられた左右幅Cの部分の版深を27μmとなるよう、中央部近傍 304から両端部近傍305に向けて段階的に順次版深が浅くなるように、該版深にグラデーションが設けられる。なお、グラビアロール303の両端部近傍305には彫刻は施されない。なお、グラビアロール303は、上述の版深に限定されず、例えば左右幅Bの部分の版深を36μm、左右幅Cの部分の版深を30μmとしてもよく、左右幅Aから左右幅B、左右幅Cの順にそれぞれ10〜20%づつ版深を浅く設けることが好ましい。   At this time, as shown in FIG. 6, the gravure roll 303 surface engraving is made symmetrical, for example, with the plate depth of the portion of width A, which is near the center 304, being 40 μm and from the width A toward both ends 305. The plate depth of the portion of the left and right width B provided 20 mm each outside the width A adjacent to the width A is 33 μm, and further symmetrically adjacent to the width B from the width B toward the both ends 305. The plate depth is gradually decreased from the vicinity of the center 304 toward the vicinity of both ends 305 so that the plate depth of the portion of the left and right width C provided by 20 mm each outside B is 27 μm. Is provided with gradation. The gravure roll 303 is not engraved in the vicinity 305 of both ends. Note that the gravure roll 303 is not limited to the above-described plate depth. For example, the plate depth of the left and right width B portion may be 36 μm, and the plate depth of the left and right width C portion may be 30 μm. It is preferable to provide the plate depth shallower by 10 to 20% in the order of the lateral width C.

このように、グラビアロールの彫刻の版深を、グラビアロールの中央部近傍から両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次浅く設けるので、基材フィルムの蒸着膜上に、このグラビアロールで塗工されるガスバリア性組成物端部の塗布量を、基材フィルムの蒸着膜端部に向けて段階的に減らすことで、コーティングされたガスバリア性組成物の端部の収縮応力を減少させ、ガスバリア性組成物がコーティングされていない蒸着膜を有する基材フィルム端部の曲折を防止することができる。   In this way, the gravure roll engraving depth is provided symmetrically in three steps from the vicinity of the center of the gravure roll to the vicinity of both ends, so that the gravure roll is shallowly formed in three stages. Reduce the shrinkage stress at the edge of the coated gas barrier composition by gradually reducing the amount of coating at the edge of the gas barrier composition to be coated toward the deposited film edge of the base film. Further, it is possible to prevent bending of the end portion of the base film having a vapor deposition film that is not coated with the gas barrier composition.

そして、ガスバリア性組成物から成るバリア塗工液302が無機酸化物の蒸着膜上にコーティングされた基材フィルム201は、加熱処理により乾燥させた後、巻き取りロール306によって巻き取られる。なお、以上の操作条件として、真空チャンバー242内における蒸着チャンバー内の真空度:2.0×10-4mbar、エレクトロンビームの電力:25kW、基材フィルム201の搬送速度:240m/min、加熱処理における乾燥温度:180℃、加熱処理におけるフィルム搬送速度:100m/minなどの条件で処理されるが、これら数値に限定されず、諸条件により操作条件が適宜変更される。 The base film 201 in which the barrier coating liquid 302 made of the gas barrier composition is coated on the inorganic oxide vapor-deposited film is dried by heat treatment, and then taken up by the take-up roll 306. Note that, as the above operating conditions, the degree of vacuum in the vapor deposition chamber in the vacuum chamber 242: 2.0 × 10 −4 mbar, the power of the electron beam: 25 kW, the conveyance speed of the base film 201: 240 m / min, heat treatment However, it is not limited to these numerical values, and the operating conditions are appropriately changed according to various conditions.

本発明のポリウレタン系樹脂組成物によるコーティング薄膜は、シランカップリング剤と充填剤とを含むポリウレタン系樹脂組成物により、該コーティング薄膜は、上記ガスバリア性塗布膜もしくはその表面処理層上に形成してもよい。該コーティング薄膜に使用するシランカップリング剤としては、二元反応性を有する有機官能性シランモノマ−類を使用することができ、例えば、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルートリス(β−メトキシエトキシ)シラン、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、β−(3、4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビス(β−ヒドロキシエチル)−γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルシリコ−ンの水溶液等の1種ないしそれ以上を使用することができる。   The coating thin film by the polyurethane resin composition of the present invention is formed on the gas barrier coating film or its surface treatment layer by a polyurethane resin composition containing a silane coupling agent and a filler. Also good. As the silane coupling agent used for the coating thin film, bifunctional organofunctional silane monomers can be used, for example, γ-chloropropyltrimethoxysilane, vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane. , Vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, γ -Mercaptopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β (aminoethyl) -γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-ureidopropyltriethoxysilane, bis (β -Hide Kishiechiru)-.gamma.-aminopropyltriethoxysilane, .gamma.-aminopropyl silicone - can be used one or more of the aqueous solution or the like of the emission.

上記のようなシランカップリング剤は、その分子の一端にある官能基、通常、クロロ、アルコキシ、または、アセトキシ基等が加水分解し、シラノール基(SiOH)を形成し、これが、前記バリア性塗布膜に含まれるケイ素、あるいは該バリア性塗布膜上の活性な基、例えば、水酸基等の官能基と何らかの作用、例えば、脱水縮合反応等の反応を起こして、バリア性塗布膜上にシランカップリング剤が共有結合等で修飾され、更に、シラノール基自体のバリア性塗布膜への吸着や水素結合等により強固な結合を形成する。他方、シランカップリング剤の他端にあるビニル、メタクリロキシ、アミノ、エポキシ、あるいは、メルカプト等の有機官能基が、そのシランカップリング剤の薄膜の上に形成される、例えば、ラミネート用接着剤層、アンカーコート層、その他の層等を構成する物質と反応して強固な結合を形成する。これにより、本発明においては、上記のような化学結合等により、ラミネート用接着剤層、アンカーコート層等を介して、バリア性塗布膜とヒートシール性樹脂層とが強固に密接着してラミネート強度を高め、ラミネート強度の高い強固な積層構造を形成可能とする。特に本発明では、炭素含有酸化珪素の蒸着膜の形成に有機珪素化合物を蒸着用モノマーが使用されるが、蒸着膜の形成に使用されるテトラエトキシシランなどの有機珪素化合物は、前記ガスバリア性塗布膜にも使用されるものであり、また、前記ガスバリア性塗布膜とコーティング薄膜には共通してシランカップリング剤が使用されるため、含まれる成分が共通することで各薄膜が強固に結合すると考えられる。特に、シランカップリン剤を含有するコーティング層を積層することで、前記ガスバリア性塗布膜と、ラミネート用接着剤層やアンカーコート層との密着性が確保され、このためこれらの上に積層されるヒートシール層との密着性も確保され、ラミネート強度等が向上する。   In the silane coupling agent as described above, a functional group at one end of the molecule, usually chloro, alkoxy, or acetoxy group is hydrolyzed to form a silanol group (SiOH), which is the barrier coating. Silane coupling occurs on the barrier coating film by causing a reaction such as a reaction such as dehydration condensation reaction with silicon contained in the film or an active group on the barrier coating film, for example, a functional group such as a hydroxyl group. The agent is modified with a covalent bond or the like, and further, a strong bond is formed by adsorption of the silanol group itself onto the barrier coating film or hydrogen bond. On the other hand, an organic functional group such as vinyl, methacryloxy, amino, epoxy, or mercapto on the other end of the silane coupling agent is formed on the thin film of the silane coupling agent. For example, an adhesive layer for laminating It reacts with substances constituting the anchor coat layer and other layers to form a strong bond. As a result, in the present invention, the barrier coating film and the heat-sealable resin layer are firmly and closely bonded via the adhesive bond layer, the anchor coat layer, and the like by the chemical bond as described above. Strength can be increased and a strong laminated structure with high laminate strength can be formed. In particular, in the present invention, a monomer for depositing an organic silicon compound is used to form a vapor-deposited film of carbon-containing silicon oxide, but the organosilicon compound such as tetraethoxysilane used for forming the vapor-deposited film is applied to the gas barrier coating. Since the silane coupling agent is used in common for the gas barrier coating film and the coating thin film, each thin film is strongly bonded to each other by containing the components in common. Conceivable. In particular, by laminating a coating layer containing a silane coupling agent, adhesion between the gas barrier coating film and the laminating adhesive layer or anchor coat layer is ensured, and thus laminated on these. Adhesion with the heat seal layer is also ensured, and laminate strength and the like are improved.

また、充填剤としては、例えば、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、アルミナホワイト、シリカ、タルク、ガラスフリット、樹脂粉末、その他のものを使用することができる。これは、ポリウレタン系樹脂組成物について、その粘度等を調整し、そのコーティング適性等を高めるものである。   As the filler, for example, calcium carbonate, barium sulfate, alumina white, silica, talc, glass frit, resin powder, and others can be used. This is to improve the coating suitability and the like of the polyurethane resin composition by adjusting the viscosity and the like.

また、ポリウレタン系樹脂としては、具体的には、例えば、多官能イソシアネートとヒドロキシル基含有化合物との反応により得られるポリマー、具体的には、例えば、トリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソシアナート、ポリメチレンポリフェニレンポリイソシアナート等の芳香族ポリイソシアナート、あるいは、ヘキサメチレンジイソシアナート、キシリレンジイソシアナート等の脂肪族ポリイソシアナート等の多官能イソシアネートと、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ポリアクリレートポリオール等のヒドロキシル基含有化合物との反応により得られる一液ないし二液型ポリウレタン系樹脂を使用することができる。而して、本発明において、上記のようなポリウレタン系樹脂を使用することにより、コーティング薄膜の伸長度を向上させ、例えば、ラミネート加工、あるいは、製袋加工等の後加工適性を向上させ、後加工時における無機酸化物の薄膜のクラック等の発生を防止するものである。   Specific examples of the polyurethane-based resin include a polymer obtained by reaction of a polyfunctional isocyanate and a hydroxyl group-containing compound, specifically, for example, tolylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, polymethylene. Polyfunctional isocyanates such as aromatic polyisocyanates such as polyphenylene polyisocyanate, or aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate and xylylene diisocyanate, and polyether polyols, polyester polyols, polyacrylate polyols, etc. One-pack or two-pack polyurethane resins obtained by reaction with a hydroxyl group-containing compound can be used. Thus, in the present invention, by using the polyurethane-based resin as described above, the degree of elongation of the coating thin film is improved, and the post-processing suitability such as laminating or bag making is improved. It prevents the occurrence of cracks in the thin film of inorganic oxide during processing.

上記のポリウレタン系樹脂組成物としては、ポリウレタン系樹脂、1〜30質量%に対し、シランカップリング剤、0.05〜10質量%位、好ましくは、0.1〜5質量%位、充填剤0.1〜20質量%位、好ましくは、1〜10質量%位の割合で添加し、更に、必要ならば、安定剤、硬化剤、架橋剤、滑剤、紫外線吸収剤、その他等の添加剤を任意に添加し、溶媒、希釈剤等を加えて充分に混合してポリウレタン系樹脂組成物を調整する。而して、本発明においては、上記のようなポリウレタン系樹脂組成物を、例えば、ロールコート、グラビアコート、ナイフコート、デップコート、スプレイコート、その他のコーティング法で無機酸化物の薄膜の上にコーティングし、しかる後コーティング膜を乾燥させて溶媒、希釈剤等を除去して、本発明にかかるコーティング薄膜を形成することができる。なお、本発明において、ポリウレタン系樹脂組成物によるコーティング薄膜の膜厚としては、例えば、0.01〜50μm位、好ましくは、0.1〜5μm位が望ましい。   As said polyurethane-type resin composition, a silane coupling agent, about 0.05-10 mass% with respect to a polyurethane-type resin, 1-30 mass%, Preferably, about 0.1-5 mass%, a filler Add about 0.1 to 20% by mass, preferably about 1 to 10% by mass, and if necessary, additives such as stabilizers, curing agents, crosslinking agents, lubricants, ultraviolet absorbers, etc. Is added arbitrarily, a solvent, a diluent, etc. are added and mixed well to prepare a polyurethane resin composition. Thus, in the present invention, the polyurethane resin composition as described above is applied onto the inorganic oxide thin film by, for example, roll coating, gravure coating, knife coating, dip coating, spray coating, or other coating methods. After coating, the coating film is dried to remove the solvent, diluent, etc., and the coating thin film according to the present invention can be formed. In addition, in this invention, as a film thickness of the coating thin film by a polyurethane-type resin composition, about 0.01-50 micrometers, for example, Preferably, about 0.1-5 micrometers is desirable.

次に、ラミネート用接着剤としては、ポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸のエチル、ブチル、2−エチルへキシルエステルなどのホモポリマーもしくはこれらとメタクリル酸メチル、アクリロニトリル、スチレンなどとの共重合体などからなるポリアクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレート系接着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、アクリル酸、メタクリル酸などのモノマーとの共重合体などからなるエチレン共重合体系接着剤、セルロース系接着剤、ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、ポリイミド系接着剤、尿素樹脂またはメラミン樹脂などからなるアミノ樹脂系接着剤、フェノール樹脂系接着剤、エポキシ系接着剤、ポリウレタン系接着剤、反応型(メタ)アクリル酸系接着剤、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、スチレン−ブタジエンゴムなどからなる無機系接着剤、シリコーン系接着剤、アルカリ金属シリケート、低融点ガラスなどからなる無機系接着剤、その他の接着剤を使用することができる。   Next, as a laminating adhesive, a polyvinyl acetate adhesive, a homopolymer such as ethyl acrylate, butyl, 2-ethylhexyl ester or a copolymer of these with methyl methacrylate, acrylonitrile, styrene, etc. Polyacrylate adhesives, cyanoacrylate adhesives, ethylene copolymer adhesives made of copolymers of ethylene and monomers such as vinyl acetate, ethyl acrylate, acrylic acid, methacrylic acid, etc., cellulose Adhesive, polyester adhesive, polyamide adhesive, polyimide adhesive, amino resin adhesive made of urea resin or melamine resin, phenol resin adhesive, epoxy adhesive, polyurethane adhesive, reaction Type (meth) acrylic acid adhesive, chloroprene rubber, ni Rirugomu, styrene - inorganic adhesive made of butadiene rubber, a silicone-based adhesive, an alkali metal silicate, inorganic adhesive made of low-melting glass, it is possible to use other adhesives.

より好ましくは、例えば、トリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソシアナート、ポリメチレンポリフェニレンポリイソシアナートなどの芳香族ポリイソシアナート、またはヘキサメチレンジイソシアナート、キシリレンジイソシアナートなどの脂肪族ポリイソシアナート等の多官能イソシアナートと、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリアクリレートポリオール、その他のヒドロキシル基含有化合物との反応によって得られるポリエーテルポリウレタン系樹脂、ポリエステル系ポリウレタン系樹脂、ポリアクリレートポリウレタン系樹脂を主成分とするものである。これらによれば、柔軟性と屈曲性に富む薄膜を形成することができ、その引っ張り伸長度を向上させ、無機酸化物からなるバリア性薄膜層に対し、柔軟性、屈曲性などを有する被膜として作用し、ラミネート加工、印刷加工などの加工適性を向上させ、無機酸化物からなるバリア性薄膜層へのクラックなどの発生を回避することができる。上記ラミネート用接着剤からなるラミネート接着剤層は、JIS規格K7113に基づいて、100〜300%の引っ張り伸長度を有することが好ましい。   More preferably, for example, aromatic polyisocyanates such as tolylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, polymethylene polyphenylene polyisocyanate, or aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, etc. Mainly used are polyether polyurethane resins, polyester polyurethane resins, and polyacrylate polyurethane resins obtained by reacting polyfunctional isocyanates with polyether polyols, polyester polyols, polyacrylate polyols, and other hydroxyl group-containing compounds. Ingredients. According to these, it is possible to form a thin film rich in flexibility and flexibility, improve its tensile elongation, and as a film having flexibility, flexibility, etc. against a barrier thin film layer made of an inorganic oxide It can act and improve processing aptitude, such as lamination processing and printing processing, and can avoid generation of a crack etc. to a barrier thin film layer which consists of inorganic oxides. The laminate adhesive layer made of the above-mentioned laminate adhesive preferably has a tensile elongation of 100 to 300% based on JIS standard K7113.

これらの接着剤の組成系は、水性型、溶液型、エマルジョン型、分散型などのいずれの組成物形態でもよく、その性状はフィルム、シート状、粉末状、固形状などのいずれでもよい。更に、反応機構として、化学反応型、溶剤揮発型、熱溶着型、熱圧型などのいずれでもよい。また、ラミネート用接着剤の使用量には特に限定はないが、一般には、0.1〜10g/m2(乾燥状態)である。上記ラミネート用接着剤は、ロールコート、グラビアコート、キスコートその他のコート法や印刷法によって行うことができる。 The composition system of these adhesives may be any composition form such as an aqueous type, a solution type, an emulsion type, and a dispersion type, and the property may be any of a film, a sheet, a powder, a solid, and the like. Furthermore, the reaction mechanism may be any of a chemical reaction type, a solvent volatilization type, a heat welding type, a hot pressure type, and the like. The amount of the laminating adhesive is not particularly limited, but is generally 0.1 to 10 g / m 2 (dry state). The laminating adhesive can be applied by roll coating, gravure coating, kiss coating or other coating methods or printing methods.

そして、上記ガスバリア性フィルムを形成するいずれかの層の間に所望の印刷模様層を形成することができる。上記の印刷模様層としては、例えば、上記のプライマー層の上に、通常のグラビアインキ組成物、オフセットインキ組成物、凸版インキ組成物、スクリーンインキ組成物、その他のインキ組成物を使用し、例えば、グラビア印刷方式、オフセット印刷方式、凸版印刷方式、シルクスクリーン印刷方式、その他の印刷方式を使用し、例えば、文字、図形、絵柄、記号、その他からなる所望の印刷絵柄を形成することにより構成することができる。   A desired printed pattern layer can be formed between any layers forming the gas barrier film. As the printed pattern layer, for example, a normal gravure ink composition, an offset ink composition, a relief printing ink composition, a screen ink composition, and other ink compositions are used on the primer layer. , Gravure printing method, offset printing method, letterpress printing method, silk screen printing method, and other printing methods, for example, by forming a desired printing pattern consisting of characters, figures, patterns, symbols, etc. be able to.

上記インキ組成物について、インキ組成物を構成するビヒクルとしては、例えば、ポリエチレン系樹脂、塩素化ポリプロピレン系樹脂などのポリオレフィン系樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリスチレン系樹脂、スチレン−ブタジエン共重合体、フッ化ビニリデン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、ポリビニルブチラール系樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、アルキッド系樹脂、エポキシ系樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂、熱硬化型ポリ(メタ)アクリル系樹脂、メラミン系樹脂、尿素系樹脂、ポリウレタン系樹脂、フェノール系樹脂、キシレン系樹脂、マレイン酸樹脂、ニトロセルロース、エチルセルロース、アセチルブチルセルロース、エチルオキシエチルセルロースなどの繊維素系樹脂、塩化ゴム、環化ゴムなどのゴム系樹脂、石油系樹脂、ロジン、カゼインなどの天然樹脂、アマニ油、大豆油などの油脂類、その他の樹脂の1種ないし2種以上の混合物を使用することができる。   Regarding the ink composition, examples of the vehicle constituting the ink composition include polyolefin resins such as polyethylene resins and chlorinated polypropylene resins, poly (meth) acrylic resins, polyvinyl chloride resins, and polyvinyl acetate. Resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polystyrene resin, styrene-butadiene copolymer, vinylidene fluoride resin, polyvinyl alcohol resin, polyvinyl acetal resin, polyvinyl butyral resin, polybutadiene resin, polyester resin Resins, polyamide resins, alkyd resins, epoxy resins, unsaturated polyester resins, thermosetting poly (meth) acrylic resins, melamine resins, urea resins, polyurethane resins, phenol resins, xylene resins , Maleic resin, Fiber resins such as rocellulose, ethylcellulose, acetylbutylcellulose, ethyloxyethylcellulose, rubber resins such as chlorinated rubber and cyclized rubber, natural resins such as petroleum resins, rosin and casein, linseed oil, soybean oil, etc. A mixture of one or more of fats and oils and other resins can be used.

本発明において、上記のようなビヒクルの1種ないし2種以上を主成分とし、これに、染料・顔料などの着色剤の1種ないし2種以上を加え、さらに必要ならば、充填剤、安定剤、可塑剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの光安定剤、分散剤、増粘剤、乾燥剤、滑剤、帯電防止剤、架橋剤、その他の添加剤を任意に添加し、溶剤、希釈剤などで充分に混練してなる各種の形態からなるインキ組成物を使用することができる。印刷層は、文字、図形、記号、絵柄、模様等の所望の印刷絵柄を表刷り印刷しても、あるいは裏刷り印刷してもよく、全面印刷でも、部分印刷でもよい。   In the present invention, one or more of the above-mentioned vehicles are used as a main component, and one or more of coloring agents such as dyes and pigments are added to this, and if necessary, a filler, Light stabilizers such as additives, plasticizers, antioxidants, UV absorbers, dispersants, thickeners, drying agents, lubricants, antistatic agents, cross-linking agents, and other additives are optionally added, solvent, dilution Ink compositions having various forms obtained by sufficiently kneading with an agent or the like can be used. The print layer may be printed by surface printing or reverse printing of a desired printing pattern such as a character, a figure, a symbol, a pattern, or a pattern, and may be full surface printing or partial printing.

本発明では、前記蒸着層上にヒートシールを押出し形成によって積層することができる。ヒートシール層を押出し形成する際に、前記蒸着層上にアンカーコート剤を介してヒートシール層を形成することが好ましい。使用するアンカーコート剤としては、イソシアネート系(ウレタン系)、ポリエチレンイミン系、ポリブタジエン系、有機チタン系、その他のアンカーコーティング剤が例示できる。より好ましくは、例えば、トリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソシアナート、ポリメチレンポリフェニレンポリイソシアナートなどの芳香族ポリイソシアナート、またはヘキサメチレンジイソシアナート、キシリレンジイソシアナートなどの脂肪族ポリイソシアナート等の多官能イソシアナートと、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリアクリレートポリオール、その他のヒドロキシル基含有化合物との反応によって得られるポリエーテルポリウレタン系樹脂、ポリエステル系ポリウレタン系樹脂、ポリアクリレートポリウレタン系樹脂を主成分とするものである。   In the present invention, a heat seal can be laminated on the vapor deposition layer by extrusion. When the heat seal layer is formed by extrusion, the heat seal layer is preferably formed on the vapor deposition layer via an anchor coating agent. Examples of the anchor coating agent to be used include isocyanate (urethane), polyethyleneimine, polybutadiene, organic titanium, and other anchor coating agents. More preferably, for example, aromatic polyisocyanates such as tolylene diisocyanate, diphenylmethane diisocyanate, polymethylene polyphenylene polyisocyanate, or aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, xylylene diisocyanate, etc. Mainly used are polyether polyurethane resins, polyester polyurethane resins, and polyacrylate polyurethane resins obtained by reacting polyfunctional isocyanates with polyether polyols, polyester polyols, polyacrylate polyols, and other hydroxyl group-containing compounds. Ingredients.

これらによれば、柔軟性と屈曲性に富む薄膜を形成することができ、その引っ張り伸長度を向上させ、無機酸化物からなるバリア性薄膜層に対し、柔軟性、屈曲性などを有する被膜として作用し、ラミネート加工、印刷加工などの加工適性を向上させ、無機酸化物からなるバリア性薄膜層へのクラックなどの発生を回避することができ、バリア性フィルムとヒートシール層との密接着性を向上させ、無機酸化物からなるバリア性薄膜層へのクラックの発生を防止し、ラミネート強度を向上させることができる。本発明においては、アンカーコート剤を、例えば、ロールコート、グラビアコート、ナイフコート、デップコート、スプレイコート、その他のコーティング法でコーティングし、溶剤、希釈剤等を乾燥して、本発明にかかるアンカーコート剤によるアンカーコート剤層を形成することができる。アンカーコート剤の塗布量としては、0.1〜5g/m2(乾燥状態)位が望ましい。また、上記アンカーコート剤からなるアンカーコート剤層は、JIS規格K7113に基づいて、100〜300%の引っ張り伸長度を有することが好ましい。 According to these, it is possible to form a thin film rich in flexibility and flexibility, improve its tensile elongation, and as a film having flexibility, flexibility, etc. against a barrier thin film layer made of an inorganic oxide Acting, improving processability such as laminating and printing, avoiding the occurrence of cracks in the barrier thin film layer made of inorganic oxide, and tight adhesion between the barrier film and the heat seal layer And the occurrence of cracks in the barrier thin film layer made of an inorganic oxide can be prevented, and the laminate strength can be improved. In the present invention, the anchor coating agent is coated by, for example, roll coating, gravure coating, knife coating, dip coating, spray coating, or other coating methods, and the solvent, diluent or the like is dried, and the anchor according to the present invention is applied. An anchor coating agent layer with a coating agent can be formed. The application amount of the anchor coating agent is preferably about 0.1 to 5 g / m 2 (dry state). Moreover, it is preferable that the anchor coating agent layer which consists of said anchor coating agent has a tensile elongation degree of 100 to 300% based on JIS specification K7113.

本発明のガスバリア性フィルムに積層できるヒートシール層としては、熱によって溶融し相互に融着し得る各種のヒートシール性を有するポリオレフィン系樹脂等を使用することができる。具体的には、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状(線状)低密度ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、メタロセン触媒を使用して重合したエチレン−α・オレフィン共重合体、ポリプロピレン、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、メチルペンテンポリマー、ポリブテンポリマー、ポリエチレンまたはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマール酸、イタコン酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオレフィン樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂等の樹脂からなる1種以上のフィルムもしくはシートまたは塗布膜などを使用することができる。ヒートシール層は、上記樹脂の1種からなる単層でも多層でもよく、ヒートシール層の厚さとしては、15〜130μmである。15μmを下回ると炭素含有酸化珪素の蒸着膜に擦り傷やクラックを発生する場合がある。   As the heat seal layer that can be laminated on the gas barrier film of the present invention, polyolefin resins having various heat seal properties that can be melted by heat and fused to each other can be used. Specifically, low density polyethylene, medium density polyethylene, high density polyethylene, linear (linear) low density polyethylene, polypropylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ionomer resin, ethylene-acrylic acid copolymer, ethylene -Ethyl acrylate copolymer, ethylene-methacrylic acid copolymer, ethylene-α / olefin copolymer polymerized using metallocene catalyst, polypropylene, ethylene-methyl methacrylate copolymer, ethylene-propylene copolymer Polyolefin resins such as methylpentene polymer, polybutene polymer, polyethylene or polypropylene modified with an unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, Vinyl acetate Resins, poly (meth) acrylic resin, one or more films made of a resin such as polyvinyl chloride resin or sheet or coated film and the like can be used. The heat seal layer may be a single layer or a multilayer composed of one of the above resins, and the thickness of the heat seal layer is 15 to 130 μm. If the thickness is less than 15 μm, scratches and cracks may occur in the deposited film of carbon-containing silicon oxide.

本発明のガスバリア性フィルムを使用して成型物を製造することができる。例えば、本発明のガスバリア性フィルムに、更にプライマー層、ラミネート用接着剤層、ヒートシール層を積層して積層材となし、包装用容器とすることができる。たとえば、該積層材の内層のヒートシール性フィルムの面を対向させて、それを折り重ねるか、或いはその二枚を重ね合わせ、更にその周辺端部をヒートシールしてシール部を設けて袋体を構成することができる。その製袋方法としては、上記の積層材を、その内層の面を対向させて折り曲げるか、あるいはその二枚を重ね合わせ、更にその外周の周辺端部を、例えば、側面シール型、二方シール型、三方シール型、四方シール型、封筒貼りシール型、合掌貼りシール型(ピロ−シール型)、ひだ付シール型、平底シール型、角底シール型、その他等のヒートシール形態によりヒートシールして、本発明にかかる種々の形態の包装用容器を製造することができる。また、例えば、自立性包装袋(スタンディングパウチ)等も製造することが可能であり、更に、本発明においては、積層材を使用してチューブ容器等も製造することができる。   A molded product can be produced using the gas barrier film of the present invention. For example, a primer layer, a laminating adhesive layer, and a heat seal layer may be further laminated on the gas barrier film of the present invention to form a laminated material, whereby a packaging container can be obtained. For example, the surface of the heat sealable film of the inner layer of the laminated material is faced and folded, or two of them are overlapped, and the peripheral end portion is further heat sealed to provide a seal portion to form a bag body Can be configured. As the bag making method, the above-mentioned laminated material is folded with the inner layer faces facing each other, or the two sheets are overlapped, and the peripheral edge of the outer periphery is, for example, a side seal type, two-side seal Heat seal by heat seal type such as mold, three-side seal type, four-side seal type, envelope sticker seal type, palm seal sticker type (pillow seal type), pleated seal type, flat bottom seal type, square bottom seal type, etc. Thus, various types of packaging containers according to the present invention can be manufactured. In addition, for example, a self-supporting packaging bag (standing pouch) or the like can be manufactured. In the present invention, a tube container or the like can also be manufactured using a laminated material.

ヒートシールの方法としては、例えば、バ−シール、回転ロ−ルシール、ベルトシール、インパルスシール、高周波シール、超音波シール等の公知の方法で行うことができる。なお、本発明においては、上記のような包装用容器には、例えば、ワンピースタイプ、ツウーピースタイプ、その他等の注出口、あるいは開閉用ジッパー等を任意に取り付けることができる。また、その形状は、角形容器、丸形等の円筒状の紙缶等のいずれのものでも製造することができる。   As a heat sealing method, for example, known methods such as a bar seal, a rotary roll seal, a belt seal, an impulse seal, a high frequency seal, and an ultrasonic seal can be used. In the present invention, a spout such as a one-piece type, a two-piece type, or the like, or an opening / closing zipper can be arbitrarily attached to the packaging container as described above. Further, the shape can be any of a rectangular container, a cylindrical paper can such as a round shape, and the like.

このような包装用容器は、種々の飲食品、接着剤、粘着剤等の化学品、化粧品、医薬品、その他物品の充填包装に使用されるものである。   Such packaging containers are used for filling and packaging various foods and drinks, chemicals such as adhesives and pressure-sensitive adhesives, cosmetics, pharmaceuticals, and other articles.

次に、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、これらの実施例は何ら本発明を制限するものではない。   Next, the present invention will be specifically described with reference to examples, but these examples do not limit the present invention.

実施例1
蒸着チャンバー内の真空度を2.0×10-4mbar、巻き取りチャンバー内の真空度を2.0×10-2mbar程度に減圧し、図2に示すように、送り出しロールに装着された、一方にコロナ処理面を有する厚さ12μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを、搬送速度240m/minで繰り出し、この2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムのコロナ処理面に、エレクトロンビーム物理蒸着装置に装着したるつぼに入れたアルミニウムに、酸素ガスを供給しながら電力を25kwとしてエレクトロンビームを照射することにより前記アルミニウムを蒸発させ、コーティングドラム上に案内された2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムの前記コロナ処理面上に、前記蒸発したアルミニウムによる膜厚200Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成させた。次に、表1に示す組成に従って調製した組成aの混合液に、予め調製した組成bの加水分解液を加えて攪拌し、無色透明のバリア塗工液を得た。
Example 1
The vacuum degree in the deposition chamber was reduced to 2.0 × 10 −4 mbar and the vacuum degree in the take-up chamber was reduced to about 2.0 × 10 −2 mbar. A biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 12 μm having a corona-treated surface on one side is fed out at a conveyance speed of 240 m / min, and a crucible mounted on an electron beam physical vapor deposition apparatus is provided on the corona-treated surface of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film. The aluminum was evaporated by irradiating an electron beam with an electric power of 25 kw while supplying oxygen gas to the aluminum contained in the aluminum, and on the corona-treated surface of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film guided on the coating drum, Film thickness of 200 mm with evaporated aluminum To form a deposited film of aluminum oxide. Next, a preliminarily prepared hydrolyzate of composition b was added to the mixed solution of composition a prepared according to the composition shown in Table 1 and stirred to obtain a colorless and transparent barrier coating solution.

Figure 0005157149
Figure 0005157149

そして、前記ポリエチレンテレフタレートフィルムにおける酸化アルミニウムの蒸着面に上記で製造したガスバリア性組成物から成るバリア塗工液を前述した版深にグラデーションを設けたグラビアロールを用いてコーティングし、次いで、乾燥温度180℃、搬送速度100m/minにて加熱処理して、乾燥状態で厚さ0.3μmのガスバリアコート層を有するガスバリア性基材を形成した。   Then, the barrier coating liquid made of the gas barrier composition prepared above is coated on the vapor deposition surface of the aluminum oxide in the polyethylene terephthalate film using the gravure roll provided with gradation in the plate depth described above, and then the drying temperature of 180 A gas barrier base material having a gas barrier coat layer having a thickness of 0.3 μm in a dried state was formed by heat treatment at a temperature of 100 ° C. and a conveyance speed of 100 m / min.

実施例2
真空チャンバー内の真空度を2〜6×10-6mbar、蒸着チャンバー内の真空度を2〜5×10-3mbar程度に減圧し、図2に示すように、プラズマ化学気相成長装置の送り出しロールに装着された、一方にコロナ処理面を有する厚さ12μmの2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを、搬送速度100m/minで繰り出し、この2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムのコロナ処理面に、ヘキサメチルジシロキサン/酸素ガス/ヘリウムを供給しながら冷却・電極ドラムの供給電力を10kwとしてグロー放電プラズマにより前記2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムのコロナ処理面上に厚さ120Åの酸化珪素の蒸着膜を形成させた。次に、酸素ガス/アルゴンガスからなる混合ガスを用いて前記酸化珪素の蒸着膜面にグロー放電プラズマによりパワー9kw、混合ガス圧6×10-5torr、搬送速度420m/minでプラズマ処理を行い、酸化珪素の蒸着膜面の表面張力を54dyn/cm以上に向上させたプラズマ処理面を形成した。次いで、表1に示す組成のバリア塗工液を前記プラズマ処理面に、版深にグラデーションを設けたグラビアロールを用いてコーティングした後、乾燥温度180℃、搬送速度100m/minにて加熱処理して、乾燥状態で厚さ0.3μmのガスバリアコート層を有するガスバリア性基材を形成した。
Example 2
The degree of vacuum in the vacuum chamber is reduced to 2-6 × 10 −6 mbar and the degree of vacuum in the deposition chamber is reduced to about 2-5 × 10 −3 mbar. A biaxially stretched polyethylene terephthalate film having a thickness of 12 μm, which is mounted on a feed roll and having a corona-treated surface on one side, is fed out at a conveyance speed of 100 m / min. While supplying siloxane / oxygen gas / helium, the power supplied to the electrode drum was cooled to 10 kW, and a silicon oxide vapor deposition film having a thickness of 120 mm was formed on the corona-treated surface of the biaxially stretched polyethylene terephthalate film by glow discharge plasma. . Next, plasma treatment is performed on the surface of the silicon oxide deposition film by glow discharge plasma at a power of 9 kW, a mixed gas pressure of 6 × 10 −5 torr, and a transfer speed of 420 m / min using a mixed gas of oxygen gas / argon gas. Then, a plasma-treated surface was formed in which the surface tension of the deposited silicon oxide film surface was improved to 54 dyn / cm or more. Next, after coating the plasma-treated surface with a barrier coating solution having the composition shown in Table 1 using a gravure roll having gradation in the plate depth, heat treatment was performed at a drying temperature of 180 ° C. and a conveyance speed of 100 m / min. Thus, a gas barrier substrate having a gas barrier coat layer having a thickness of 0.3 μm in a dry state was formed.

実施例3
ガスバリアコート層を乾燥状態で厚さ0.5μmに設けた以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性基材を形成した。
Example 3
A gas barrier substrate was formed in the same manner as in Example 1 except that the gas barrier coat layer was provided in a dry state with a thickness of 0.5 μm.

実施例4
実施例1で得られたガスバリアコート層を有するバリア性基材に、さらに実施例1と同様に酸化アルミニウムの蒸着およびバリア塗工液のコーティングを実施して、ガスバリア性基材を形成した。
Example 4
The barrier substrate having the gas barrier coat layer obtained in Example 1 was further subjected to vapor deposition of aluminum oxide and coating with a barrier coating solution in the same manner as in Example 1 to form a gas barrier substrate.

実施例5
実施例2で得られたガスバリアコート層を有するバリア性基材に、さらに実施例2と同様に酸化珪素の蒸着およびバリア塗工液のコーティングを実施して、ガスバリア性基材を形成した。
Example 5
The barrier substrate having the gas barrier coat layer obtained in Example 2 was further vapor-deposited with silicon oxide and coated with a barrier coating solution in the same manner as in Example 2 to form a gas barrier substrate.

実施例6
実施例2で得られたガスバリアコート層を有するバリア性基材に、さらに実施例1と同様に酸化アルミニウムの蒸着およびバリア塗工液のコーティングを実施して、ガスバリア性基材を形成した。
Example 6
The barrier substrate having the gas barrier coat layer obtained in Example 2 was further subjected to vapor deposition of aluminum oxide and coating with a barrier coating solution in the same manner as in Example 1 to form a gas barrier substrate.

比較例1
従来のグラビアロールを用いて酸化アルミニウムの蒸着面にバリア塗工液をコーティングし、乾燥温度140℃で加熱処理させた以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性基材を形成した。
Comparative Example 1
A gas barrier substrate was formed in the same manner as in Example 1 except that the barrier coating liquid was coated on the aluminum oxide vapor deposition surface using a conventional gravure roll and heat-treated at a drying temperature of 140 ° C.

比較例2
従来のグラビアロールを用いて酸化アルミニウムの蒸着面にバリア塗工液をコーティングし、乾燥温度140℃で加熱処理させた以外は、実施例3と同様にしてガスバリア性基材を形成した。
Comparative Example 2
A gas barrier substrate was formed in the same manner as in Example 3 except that the barrier coating liquid was coated on the aluminum oxide vapor deposition surface using a conventional gravure roll and heat-treated at a drying temperature of 140 ° C.

比較例3
従来のグラビアロールを用いて酸化アルミニウムの蒸着面にバリア塗工液をコーティングした以外は、実施例1と同様にしてガスバリア性基材を形成した。
Comparative Example 3
A gas barrier substrate was formed in the same manner as in Example 1 except that the vapor deposition surface of aluminum oxide was coated with a conventional gravure roll and the barrier coating solution was coated.

比較例4
従来のグラビアロールを用いて酸化アルミニウムの蒸着面にバリア塗工液をコーティングし、乾燥温度140℃で加熱処理させた以外は、実施例4と同様にしてガスバリア性基材を形成した。
Comparative Example 4
A gas barrier substrate was formed in the same manner as in Example 4 except that a barrier coating solution was coated on the aluminum oxide deposition surface using a conventional gravure roll and heat-treated at a drying temperature of 140 ° C.

評価方法
実施例1〜6、比較例1〜4で製造したガスバリア性基材を用い、ガスバリア性の評価を行った。このガスバリア性は、酸素透過度および水蒸気透過度により評価した。その結果を表1に示す。なお、酸素透過度の測定は、温度23℃、湿度90%RHの条件で、米国、モコン(MOCON)社製の測定機〔機種名、オクストラン(OX−TRAN2/20)〕にて測定した。また、水蒸気透過度の測定は、温度40℃、湿度100%RHの条件で、米国、モコン(MOCON)社製の測定機〔機種名、パ−マトラン(PERMATRAN3/31)〕にて測定した。なお、表1において、酸素透過度の単位は、〔cc/m2/day・23℃・90%RH〕であり、水蒸気透過度の単位は、〔g/m2/day・40℃・90%RH〕である。
Evaluation Method Gas barrier properties were evaluated using the gas barrier substrates produced in Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 4. This gas barrier property was evaluated by oxygen permeability and water vapor permeability. The results are shown in Table 1. The oxygen permeability was measured with a measuring instrument (model name, OX-TRAN 2/20) manufactured by MOCON, USA under the conditions of a temperature of 23 ° C. and a humidity of 90% RH. The water vapor permeability was measured with a measuring instrument (model name, PERMATRAN 3/31) manufactured by MOCON, USA under the conditions of a temperature of 40 ° C. and a humidity of 100% RH. In Table 1, the unit of oxygen permeability is [cc / m 2 / day · 23 ° C. · 90% RH], and the unit of water vapor permeability is [g / m 2 / day · 40 ° C. · 90 % RH].

Figure 0005157149
Figure 0005157149

結果
(1)上記の実施例および比較例から、蒸着膜が、物理気相成長法による酸化アルミニウムなどの無機酸化物、あるいは化学気相成長法による酸化珪素などの有機珪素化合物を問わず、さらには、無機酸化物、有機珪素化合物それぞれの蒸着膜の1層からなる単層膜あるいは2層からなる多層膜またはそれら無機酸化物と有機珪素化合物との複合膜や、無機酸化物の蒸着膜における単層膜上のバリア塗工液によるコート層の厚みを0.5μmに増やしても、版深にグラデーションを設けたグラビアロールを用いて基材フィルムの蒸着面にバリア塗工液をコーティングする(実施例1〜6)ことにより、バリア塗工液を塗工していないフィルム端部の耳折れが生じないと判明した。また、従来のグラビアロールを用いても、基材フィルムの蒸着面にバリア塗工液をコーティングした後、乾燥温度を低めの140℃に設定する(比較例1)ことにより、上記耳折れが生じないことも判明した。
Results (1) From the above examples and comparative examples, the deposited film is not limited to an inorganic oxide such as aluminum oxide by physical vapor deposition or an organic silicon compound such as silicon oxide by chemical vapor deposition. Is a single-layer film consisting of one layer of vapor-deposited films of inorganic oxide and organic silicon compound, a multilayer film consisting of two layers, a composite film of these inorganic oxides and organic silicon compounds, or a vapor-deposited film of inorganic oxide Even if the thickness of the coating layer by the barrier coating solution on the single layer film is increased to 0.5 μm, the barrier coating solution is coated on the deposition surface of the base film using a gravure roll provided with gradation in the plate depth ( From Examples 1 to 6, it was found that the end of the film not coated with the barrier coating solution did not break. Moreover, even if the conventional gravure roll is used, after the barrier coating liquid is coated on the vapor deposition surface of the base film, the above-described ear breakage occurs by setting the drying temperature to a lower 140 ° C. (Comparative Example 1). It also turned out not to be.

(2)比較例1において、バリア塗工液を塗工していないフィルム端部の耳折れは生じないものの、乾燥温度が低いためにその酸素透過度および水蒸気透過度が大きく、ガスバリア性が低いことが判明した。   (2) In Comparative Example 1, the edge of the film not coated with the barrier coating solution does not break, but because of the low drying temperature, the oxygen permeability and water vapor permeability are large, and the gas barrier property is low. It has been found.

従って、実施例1〜6での製膜条件において、版深にグラデーションを設けたグラビアロールを用いて基材フィルムの蒸着面にバリア塗工液をコーティングすることにより、ガスバリア性を確保しつつ、基材フィルムの蒸着膜上に塗工されるガスバリア性組成物端部の塗布量を端部に向けて段階的に徐々に少なくしてガスバリア性組成物端部の収縮応力を減少させ、塗工されていない蒸着膜を有する基材フィルム端部の耳折れを防止させることが判明した。   Therefore, in the film forming conditions in Examples 1 to 6, while coating the barrier coating liquid on the deposition surface of the base film using a gravure roll provided with gradation in the plate depth, while ensuring gas barrier properties, The coating amount of the gas barrier composition edge coated on the vapor deposition film of the base film is gradually decreased gradually toward the edge to reduce the shrinkage stress at the gas barrier composition edge, and the coating is performed. It has been found that the edge of the base film film having an undeposited film can be prevented from breaking.

本発明によるガスバリア性フィルムの製造方法および製造装置は、特に、版深にグラデーションを設けたグラビアロールを用いて基材フィルムの蒸着面にバリア塗工液をコーティングすることにより、ガスバリア性を確保しつつ、塗工されていない蒸着膜を有する基材フィルム端部の耳折れを防止させ、ガスバリア性フィルムの生産性を向上させることに有用である。   The method and apparatus for producing a gas barrier film according to the present invention, in particular, ensures gas barrier properties by coating the vapor deposition surface of the base film with a barrier coating solution using a gravure roll having gradation in the plate depth. On the other hand, it is useful for preventing the edge breakage of the end of the base film having an uncoated vapor deposition film and improving the productivity of the gas barrier film.

(a)〜(e)は、本発明のガスバリア性積層フィルムの一例を説明する横断面図である。(A)-(e) is a cross-sectional view explaining an example of the gas barrier laminated film of this invention. 巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of a winding-type vacuum deposition apparatus. 低温プラズマ化学蒸着装置の一例を示す概略的構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of a low temperature plasma chemical vapor deposition apparatus. 複数の製膜室を有する低温プラズマ化学蒸着装置の一例を示す概略的構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the low temperature plasma chemical vapor deposition apparatus which has a some film forming chamber. ガスバリア性組成物の塗工工程を有する巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of the winding-type vacuum evaporation apparatus which has a coating process of a gas barrier property composition. グラビアロールの正面模式図である。It is a front schematic diagram of a gravure roll. グラビアロールの表面を拡大した正面模式図である。It is the front schematic diagram which expanded the surface of the gravure roll.

符号の説明Explanation of symbols

10 基材フィルム
10’ プラズマ表面処理面
20 無機酸化物もしくは炭素含有酸化珪素の蒸着膜
20’ コロナ表面処理面
30 ガスバリア性塗布膜
40 コーティング薄膜
50 印刷層
60 ラミネート用接着剤層
70 ヒートシール層
100 プラズマ化学気相成長装置
241 巻き取り式真空蒸着装置
300 ガスバリア性組成物の塗工工程
301 チャンバー
303 グラビアロール
304 中央部近傍
305 両端部近傍
306 巻き取りロール
A,B,C 幅
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Base film 10 'Plasma surface treatment surface 20 Deposition film of inorganic oxide or carbon-containing silicon oxide 20' Corona surface treatment surface 30 Gas barrier coating film 40 Coating thin film 50 Printing layer 60 Adhesive layer for laminating 70 Heat seal layer 100 Plasma chemical vapor deposition apparatus 241 Winding type vacuum deposition apparatus 300 Gas barrier composition coating process 301 Chamber 303 Gravure roll 304 Near central part 305 Near both end parts 306 Winding roll A, B, C Width

Claims (3)

基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングして成るガスバリア性フィルムの製造方法において、前記グラビアロールの両端部近傍の彫刻の版深を、前記グラビアロールの中央部近傍から前記両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅く設けることを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。 In a method for producing a gas barrier film comprising a gas barrier composition coated with a gravure roll on an inorganic oxide vapor-deposited film formed on a base film, the engraving plate depth in the vicinity of both ends of the gravure roll is determined. A method for producing a gas barrier film, characterized in that the gravure roll is provided symmetrically from the vicinity of the center of the gravure roll to the vicinity of both ends and shallowly in three stages in steps of 10 to 20% . 基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をコーティングするグラビアロールにおいて、前記グラビアロールの彫刻の版深を、前記グラビアロールの中央部近傍から前記両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅くなるように設け、前記無機酸化物の蒸着膜上に塗布する前記ガスバリア性組成物の端部の塗布量を減少させることを特徴とする、グラビアロール。 In a gravure roll that coats a gas barrier composition on a vapor deposition film of an inorganic oxide formed on a base film, the gravure roll engraving depth is changed from the vicinity of the center of the gravure roll to the vicinity of both ends. It is provided so as to be symmetrical in the left and right direction and gradually become shallower by 10 to 20% in three stages, and the coating amount of the end portion of the gas barrier composition applied on the vapor-deposited film of the inorganic oxide is reduced. A gravure roll. 基材フィルム上に形成させた無機酸化物の蒸着膜上に、ガスバリア性組成物をグラビアロールでコーティングさせてガスバリア性フィルムを製造する前記グラビアロールを含むガスバリア性フィルムの製造装置において、前記グラビアロールの彫刻の版深を、前記グラビアロールの中央部近傍から前記両端部近傍に向けて左右対称、かつ三段階に順次10〜20%づつ浅くなるように設け、前記無機酸化物の蒸着膜上に塗布する前記ガスバリア性組成物の端部の塗布量を減少させることを特徴とする、グラビアロールを含むガスバリア性フィルムの製造装置。 In the gas barrier film manufacturing apparatus including the gravure roll, a gas barrier film is manufactured by coating a gas barrier composition with a gravure roll on an inorganic oxide vapor-deposited film formed on a base film. The engraving plate depth is provided so as to be symmetrical from the center of the gravure roll toward the ends of the gravure roll , and to become shallower in steps of 10 to 20% in three stages. An apparatus for producing a gas barrier film containing a gravure roll, wherein an application amount of an end portion of the gas barrier composition to be applied is reduced.
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