JP5151276B2 - Transport system - Google Patents
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Description
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等を搬送する搬送車を備えた搬送システムの技術分野に関する。 The present invention relates to the technical field of a transfer system including a transfer vehicle for transferring various substrates for manufacturing semiconductor devices, for example.
この種の搬送システムとして、天井に敷設された軌道上を走行する懸垂式の搬送車(OHT:Overhead Hoist Transfer)によって被搬送物を搬送するものがある。そして、上述したような搬送システムにおいては、軌道の真下以外に設置された被搬送物の移載(以下、適宜「横移載」と称する)を可能とするものがある。 As this type of transport system, there is a system that transports an object to be transported by a suspended transport vehicle (OHT: Overhead Hoist Transfer) that travels on a track laid on a ceiling. In some transport systems as described above, there is one that enables transfer of a transported object installed other than directly below the track (hereinafter referred to as “lateral transfer” as appropriate).
例えば特許文献1では、搬送車の下部に水平面で運動可能な移載手段を設けることにより、横移載を可能とする技術が開示されている。また特許文献2では、搬送車の側方に天井バッファを設け、昇降台を天井バッファ上まで移動することで横移載を可能とする技術が開示されている。更に特許文献3では、軌道の側方に物品載置台を設けることで横移載を可能とする技術が開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses a technique that enables lateral transfer by providing transfer means that can move in a horizontal plane at the lower part of a transport vehicle. Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228561 discloses a technology that enables a horizontal transfer by providing a ceiling buffer on the side of the transport vehicle and moving the lifting platform to the ceiling buffer. Further, Patent Document 3 discloses a technique that enables lateral transfer by providing an article mounting table on the side of the track.
しかしながら、上述したような横移載を行う際には、搬送車の側方に被搬送物が移載されることとなるため、重心が移動して搬送車が傾いてしまうおそれがある。搬送車が傾いてしまうと、搬送車が正常に走行できなくなる他、例えば被搬送物が衝撃によって破損或いは故障してしまうおそれがあるという技術的問題点がある。また、載置部が本体部に対し昇降可能である場合には、本体部の傾きによって載置部の位置が大きく変化し、被搬送物を被搬送物台等に移載する際の位置合わせ等が困難となってしまうという技術的問題点がある。 However, when performing the horizontal transfer as described above, the object to be transferred is transferred to the side of the transport vehicle, so that the center of gravity may move and the transport vehicle may tilt. If the transport vehicle is tilted, there is a technical problem that the transport vehicle cannot run normally, and the transported object may be damaged or broken due to an impact, for example. In addition, when the mounting unit can be moved up and down with respect to the main body, the position of the mounting unit greatly changes due to the inclination of the main body, and alignment when the transferred object is transferred to the transferred object table or the like. There is a technical problem that it becomes difficult.
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを防止可能な搬送システムを提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above-described problems, for example, and an object of the present invention is to provide a transport system that can prevent the transport vehicle from being tilted during lateral transfer.
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、天井に敷設された軌道部と、該軌道部を走行する走行部と、該走行部に吊り下がる形で取り付けられた本体部及び該本体部から前記軌道部の側方に移動して被搬送物を載置可能である載置部を有する搬送部と、前記軌道部に対向する前記本体部の面における、前記載置部が側方に移動することによって前記搬送部の重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りに設けられており、前記軌道部に向かって移動可能なアウトリガ部と、前記載置部が側方に移動する際に、前記軌道部に当接するように前記アウトリガ部を移動させるアウトリガ駆動手段とを備える。 In order to solve the above problems, a transport system of the present invention has a track portion laid on the ceiling, a travel portion that travels on the track portion, a main body portion that is attached to the travel portion in a suspended manner, and the main body portion. The placement section on the surface of the main body portion facing the track section and the transport section having a placement section that can move to the side of the track section and can place the object to be transported sideways. When the center of gravity of the transport unit is moved to move toward the edge in the direction opposite to the moving direction, the outrigger unit movable toward the track unit, and the placement unit moves sideways. And an outrigger driving means for moving the outrigger portion so as to contact the track portion.
本発明に係る搬送システムによれば、その動作時に、先ず天井に敷設された軌道部を走行部が走行することで、搬送部による被搬送物の搬送が行われる。搬送部は、走行部に吊釣り下がる形で取り付けられた本体部及び軌道部の側方に伸長して被搬送物を載置可能である載置部を有しており、軌道部の側方に設置された被搬送物を載置して搬送することが可能である。尚、ここでの「側方に伸長」とは、典型的には水平方向であるが、厳密な水平方向を意味するものではなく、軌道部から側方に外れる限り、斜め下方や斜め上方への伸長であってもよい。即ち、載置部は、典型的である水平に伸長しての横移載を行ってもよいし、変則的である斜めに伸長しての横移載を行ってもよい。また、載置部は伸長せずに載置することも可能である。 According to the transport system of the present invention, during the operation, first, the travel unit travels on the track portion laid on the ceiling, so that the transported object is transported by the transport unit. The transport unit has a main body unit that is attached to the traveling unit so as to hang down and a mounting unit that extends to the side of the track unit and is capable of mounting an object to be transported. It is possible to place and transport the object to be transported installed on the machine. The term “extend laterally” as used herein is typically a horizontal direction, but does not mean a strict horizontal direction, and may be obliquely downward or obliquely upward as long as it deviates laterally from the track. It may be an extension of. That is, the placement unit may perform horizontal transfer that is typically extended horizontally, or may perform horizontal transfer that is an irregular extension. Further, it is possible to place the placement unit without extending.
ここで特に、上述した横移載を行う場合には、載置部が側方に伸長することによって搬送部の重心が移動する。このため、走行部に吊り下がる形で取り付けられた搬送部は、重心が移動した方向に傾く。更に、伸長した載置部に被搬送物が載置されることで、より傾きは大きくなる。或いは、実際には傾かなくても、傾こうとする方向に力(言い換えれば、モーメント或いはトルク)が働いて、加重の均衡がくずれたり、装置の歪みや軋みの原因となる。 Here, in particular, in the case of performing the above-described lateral transfer, the center of gravity of the transport unit moves as the mounting unit extends sideways. For this reason, the conveyance part attached in the form suspended from the traveling part inclines in the direction in which the center of gravity has moved. Furthermore, the inclination is further increased by placing the transported object on the extended placement portion. Alternatively, even if the robot does not actually tilt, a force (in other words, moment or torque) acts in the direction of tilting, and the load balance is lost, which causes distortion and stagnation of the device.
仮に、搬送部が傾いたままで動作を行ったとすると、例えば本体部と軌道部とが接触することで、正常な走行が妨げられたり、衝撃等によって被搬送物が破損或いは故障してしまうおそれがある。しかも、横移載を行ったままの状態で走行することも、搬送システムの初期設定(例えば、ティーチング)や調整の際における、載置部の位置合わせ若しくは位置調整又は角度合わせや角度調整の際に、必須である又は望まれるところである。 If the operation is performed with the transport section tilted, for example, the main body section and the track section may come into contact with each other, which may prevent normal travel or damage or failure of the transported object due to impact or the like. is there. In addition, it is also possible to travel with the lateral transfer being performed, in the initial setting (for example, teaching) or adjustment of the transfer system, in the case of positioning or position adjustment, angle adjustment or angle adjustment of the mounting portion. It is essential or desired.
しかるに本発明では特に、軌道部に対向する本体の面における、重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りにアウトリガ部が設けられている。尚、載置部が複数方向に伸長可能である場合には、重心が移動する方向が複数存在することとなるため、アウトリガ部が複数設けられてもよい。アウトリガ部は前記軌道部に向かって移動可能であり、載置部が伸長する際に、アウトリガ駆動手段によって、軌道部に当接するように移動させられる。典型的には、アウトリガ部が鉛直方向上向きに移動させられることによって、軌道部の下面に当接する。 However, in the present invention, in particular, the outrigger portion is provided near the edge in the direction opposite to the direction in which the center of gravity moves on the surface of the main body facing the track portion. In addition, when the mounting part can be extended in a plurality of directions, there are a plurality of directions in which the center of gravity moves, and thus a plurality of outrigger parts may be provided. The outrigger portion is movable toward the track portion, and is moved so as to come into contact with the track portion by the outrigger driving means when the placement portion extends. Typically, the outrigger portion is brought into contact with the lower surface of the track portion by being moved upward in the vertical direction.
アウトリガ部が軌道部に当接することで、アウトリガ部が軌道部及び本体部夫々を支える状態となり、軌道部及び本体部が互いに接触してしまうことを防止する。アウトリガ部が軌道部に当接することで生じる抗力或いは反力によって、横移載の重心移動により発生する力(言い換えれば、モーメント或いはトルク)との均衡を保つことが可能となる訳である。よって、搬送部が重心の移動によって傾くことを防止することが可能となる。尚、アウトリガ部は、より縁寄りに設けられる方がよいが、伸長によって移動した重心よりも縁に近い位置であれば、上述した効果を得ることが可能である。 When the outrigger portion comes into contact with the track portion, the outrigger portion supports the track portion and the main body portion, thereby preventing the track portion and the main body portion from contacting each other. It is possible to maintain a balance with the force (in other words, moment or torque) generated by the lateral movement of the center of gravity due to the drag or reaction force generated by the outrigger portion coming into contact with the track portion. Therefore, it is possible to prevent the conveyance unit from being inclined due to the movement of the center of gravity. The outrigger portion is preferably provided closer to the edge, but the above-described effect can be obtained if the outrigger portion is closer to the edge than the center of gravity moved by extension.
以上説明したように、本発明に係る搬送システムによれば、載置部が伸長した際にアウトリガ部が軌道部と当接するように移動させられるため、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを防止することが可能である。 As described above, according to the transport system according to the present invention, the outrigger unit is moved so as to come into contact with the track unit when the mounting unit extends, so that the transport vehicle is inclined during the lateral transfer. Can be prevented.
本発明の搬送システムの一態様では、前記載置部は、前記本体部に対して昇降可能である。 In one aspect of the transport system of the present invention, the placement unit can be raised and lowered with respect to the main body.
この態様によれば、例えば載置部には昇降ベルト等が設けられており、本体部に対して昇降可能とされている。即ち、本体部と異なる高さにある被搬送物を把持したり、本体部と異なる高さにある被搬送物台等に被搬送物を移載することが可能である。 According to this aspect, for example, the placing portion is provided with the lifting belt and the like, and can be raised and lowered with respect to the main body portion. In other words, it is possible to grip a transferred object at a height different from that of the main body, or to transfer the transferred object to a transferred object table or the like at a height different from that of the main body.
仮に、載置部が本体部から降下されている際に本体部が傾斜すると、載置部の位置も大きく変化することとなり、載置部と被搬送物との互いの位置、或いは被搬送物と被搬送物台との互いの位置を合わせることが著しく困難となるおそれがある。 If the main body is tilted when the mounting portion is lowered from the main body, the position of the mounting portion also changes greatly, and the position of the mounting portion and the transported object, or the transported object. There is a risk that it will be extremely difficult to align the positions of the carrier and the transported object table.
しかるに本態様では特に、アウトリガ部によって、本体部が傾いてしまうことを防止することが可能である。よって、載置部が伸長して降下されている場合であっても、載置部の位置が大きく変化してしまうことがない。従って、被搬送物を確実に把持する、或いは確実に被搬送物台に移載することが可能である。 However, in this embodiment, in particular, the outrigger portion can prevent the main body portion from being inclined. Therefore, even when the placement unit is extended and lowered, the position of the placement unit does not change greatly. Therefore, it is possible to reliably hold the object to be conveyed or transfer it to the object table.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、ローラである。 In another aspect of the transport system of the present invention, the portion of the outrigger portion that contacts the track portion is a roller.
この態様によれば、アウトリガ駆動部によって移動されたアウトリガ部が軌道部と接触する部分はローラであり、好ましくは走行方向に転動可能に取り付けられることによって、軌道部上において回転することで、接触した状態であっても走行部の走行を妨げない。このため、載置部を伸長している場合に、アウトリガ部で本体部の傾きを防止しつつ走行することが可能となる。このような効果は、例えば被搬送物を載置する際の走行部の停止位置等の教示(所謂、ティーチング)を行う際に顕著に発揮される。 According to this aspect, the portion where the outrigger portion moved by the outrigger drive portion contacts the track portion is a roller, and preferably by rotating on the track portion by being attached so as to be able to roll in the traveling direction, Even if it is in a contacted state, it does not hinder the traveling of the traveling unit. For this reason, when the mounting portion is extended, the outrigger portion can travel while preventing the tilt of the main body portion. Such an effect is remarkably exhibited, for example, when teaching (so-called teaching) such as a stop position of the traveling unit when placing an object to be conveyed.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部における前記軌道部と接触する部分は、弾性体を含んでいる。 In another aspect of the transport system of the present invention, a portion of the outrigger portion that contacts the track portion includes an elastic body.
この態様によれば、アウトリガ駆動部によって移動されたアウトリガ部が軌道部と接触する部分は弾性体を含んでおり、軌道部と本体部とが接触することによる衝撃や傷を防止する。弾性体は、例えばウレタンゴムやシリコンゴム等であり、柔軟性、耐摩耗性、潤滑性等を考慮した上で材質を決定することによって、上述した効果をより高めることが可能である。 According to this aspect, the portion where the outrigger portion moved by the outrigger driving portion contacts the track portion includes the elastic body, and prevents an impact and a scratch due to the contact between the track portion and the main body portion. The elastic body is, for example, urethane rubber or silicon rubber, and the above-described effects can be further enhanced by determining the material in consideration of flexibility, wear resistance, lubricity, and the like.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、偏心シャフトに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記偏心シャフトを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させる。 In another aspect of the transport system of the present invention, the outrigger portion is connected to an eccentric shaft, and the outrigger driving means moves the outrigger portion by rotating the eccentric shaft.
この態様によれば、アウトリガ部は、偏心シャフトに接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、偏心シャフトが回転させられることで、アウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。 According to this aspect, the outrigger portion is connected to the eccentric shaft. And an outrigger part is moved because an eccentric shaft is rotated by an outrigger drive means. By comprising in this way, it becomes possible to move an outrigger part more easily. In addition, since the configuration of the outrigger portion and the outrigger driving means can be simplified, it is possible to reduce costs and downsize the apparatus.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、ピニオンと噛み合わされたラックに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記ピニオンを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させる。 In another aspect of the transport system of the present invention, the outrigger portion is connected to a rack meshed with a pinion, and the outrigger driving means moves the outrigger portion by rotating the pinion.
この態様によれば、アウトリガ部は、ピニオンと噛み合わされたラックと接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、ピニオンが回転させられることでラックが駆動し、ラックに接続されたアウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。 According to this aspect, the outrigger portion is connected to the rack meshed with the pinion. Then, the rack is driven by the pinion being rotated by the outrigger driving means, and the outrigger portion connected to the rack is moved. By comprising in this way, it becomes possible to move an outrigger part more easily. In addition, since the configuration of the outrigger portion and the outrigger driving means can be simplified, it is possible to reduce costs and downsize the apparatus.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、アクチュエータに接続されており、前記アウトリガ駆動手段は、前記アクチュエータを制御することで、前記アウトリガ部を移動させる。 In another aspect of the transport system of the present invention, the outrigger unit is connected to an actuator, and the outrigger driving unit moves the outrigger unit by controlling the actuator.
この態様によれば、アウトリガ部は、例えば電動式、電磁気式、油圧式、空圧式、機械式などのアクチュエータに接続されている。そして、アウトリガ駆動手段によって、アクチュエータが制御されることで、アウトリガ部が移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。 According to this aspect, the outrigger portion is connected to an actuator such as an electric type, an electromagnetic type, a hydraulic type, a pneumatic type, and a mechanical type. And an outrigger part is moved because an actuator is controlled by an outrigger drive means. By comprising in this way, it becomes possible to move an outrigger part more easily. In addition, since the configuration of the outrigger portion and the outrigger driving means can be simplified, it is possible to reduce costs and downsize the apparatus.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部は、カムと噛み合わされており、前記アウトリガ駆動手段は、前記カムを制御することで、前記アウトリガ部を移動させる。 In another aspect of the transport system of the present invention, the outrigger portion is meshed with a cam, and the outrigger driving means moves the outrigger portion by controlling the cam.
この態様によれば、アウトリガ部はカムと噛み合わされている。そして、アウトリガ駆動手段がカムを回転させることにより、アウトリガ部が軌道部に接触するように移動される。このように構成することで、アウトリガ部をより容易に移動させることが可能となる。また、アウトリガ部及びアウトリガ駆動手段の構成を単純化できるため、コストの削減及び装置の小型化を実現することが可能である。 According to this aspect, the outrigger portion is meshed with the cam. Then, the outrigger drive means rotates the cam, so that the outrigger portion is moved so as to contact the track portion. By comprising in this way, it becomes possible to move an outrigger part more easily. In addition, since the configuration of the outrigger portion and the outrigger driving means can be simplified, it is possible to reduce costs and downsize the apparatus.
本発明の搬送システムの他の態様では、前記アウトリガ部が前記軌道部に接触したことを検出する接触検出手段を更に備える。 In another aspect of the transport system of the present invention, the transportation system further includes contact detection means for detecting that the outrigger portion has contacted the track portion.
この態様によれば、アウトリガ部が軌道部に当接するように移動された際に、接触検出手段によって、アウトリガ部が軌道部に接触したことが検出される。即ち、アウトリガ部によって、本体部が傾いてしまうことを適切に防止できているか否かを知ることが可能である。 According to this aspect, when the outrigger portion is moved so as to contact the track portion, it is detected by the contact detection means that the outrigger portion has contacted the track portion. That is, it is possible to know whether or not the main body portion can be appropriately prevented from being tilted by the outrigger portion.
アウトリガ部と接触する軌道部は、分岐点や合流点において途切れている場合があり、そのような地点においては、移動されたアウトリガ部が、軌道部に接触できないという事態が発生するおそれがある。このような場合に、本態様では特に、アウトリガ部が軌道部に接触したことが検出されないため、アウトリガ部による傾きを防止するという効果が適切に得られていないことを知ることができる。よって、本体部を移動させる等、アウトリガ部が軌道部に接触するように、何らかの対策を施すことが可能となる。 The track portion that contacts the outrigger portion may be interrupted at a branch point or a merge point. At such a point, there is a possibility that the moved outrigger portion cannot contact the track portion. In such a case, in particular, in this aspect, since it is not detected that the outrigger portion has contacted the track portion, it can be known that the effect of preventing the tilting by the outrigger portion is not properly obtained. Therefore, some measures can be taken so that the outrigger portion contacts the track portion, such as moving the main body portion.
以上説明したように、本態様に係る搬送システムによれば、移動されたアウトリガ部が軌道部に接触しているか否かを知ることができるため、横移載の際に搬送車が傾いてしまうことを、より好適に防止することが可能である。 As described above, according to the transport system according to this aspect, since it is possible to know whether or not the moved outrigger portion is in contact with the track portion, the transport vehicle is inclined during the lateral transfer. This can be prevented more suitably.
上述した接触検出手段を更に備える態様では、前記接触検出手段は、前記アウトリガ部が前記軌道部によって押下されていることを検出するように構成してもよい。 In the aspect further including the contact detection means described above, the contact detection means may be configured to detect that the outrigger portion is pressed by the track portion .
このように構成すれば、アウトリガ部と軌道部との接触の検出は、アウトリガ部が軌道部から押下されていることを検出することによって行われる。 If comprised in this way, the detection of a contact with an outrigger part and a track | orbit part will be performed by detecting that the outrigger part is pushed down from a track | orbit part.
アウトリガ部は軌道部に当接するように移動されるため、接触した際には軌道部から抗力を受けて押下される。従って、押下されていることから、アウトリガ部が軌道部に接触していることを検出することが可能となる。 Since the outrigger portion is moved so as to come into contact with the track portion, when it comes into contact, the outrigger portion is pushed down by receiving a drag force from the track portion. Therefore, since it is pressed, it can be detected that the outrigger portion is in contact with the track portion.
押下されたことを検出するように構成することで、例えば光学式センサや接触式センサ等を用いた単純な構成によって、アウトリガ部が軌道部に接触したことを検出することが可能となる。 By configuring so as to detect that the button has been pressed, it is possible to detect that the outrigger portion has contacted the track portion by a simple configuration using, for example, an optical sensor or a contact sensor.
上述した接触検出手段がアウトリガ部の押下を検出する態様では、前記アウトリガ部が移動されていない際に、前記アウトリガ部を前記軌道部に接触しない範囲で前記軌道部に近付けるように付勢する付勢手段を更に備えるように構成してもよい。 In the aspect in which the contact detection means detects the pressing of the outrigger portion, when the outrigger portion is not moved, the outrigger portion is energized so as to approach the track portion within a range not contacting the track portion. You may comprise so that a biasing means may be further provided.
このように構成すれば、アウトリガ部がアウトリガ駆動手段によって移動されていない際に、アウトリガ部は軌道部に接触しない範囲で軌道部に近付くように付勢される。付勢手段は、典型的にはバネであり、その復元力によってアウトリガ部を付勢する。 If comprised in this way, when the outrigger part is not moved by the outrigger drive means, the outrigger part is urged so as to approach the track part in a range not contacting the track part. The urging means is typically a spring and urges the outrigger portion by its restoring force.
上述したように付勢しておけば、軌道と接触したアウトリガ部は、軌道部から押下されることで、付勢した分だけ押し戻される。よって、軌道部から押下されていることを、より容易に検出することが可能となる。従って、アウトリガ部が軌道と接触していることをより好適に検出することが可能である。 If energized as described above, the outrigger portion that has come into contact with the track is pushed back from the track portion by the amount energized. Therefore, it is possible to more easily detect that the track has been pressed from the track portion. Therefore, it is possible to more suitably detect that the outrigger portion is in contact with the track.
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。 The operation and other advantages of the present invention will become apparent from the best mode for carrying out the invention described below.
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
<第1実施形態>
先ず、第1実施形態に係る搬送システムの構成について、図1及び図2を参照して説明する。ここに図1は、搬送システムの構成を示す側面図であり、図2は横移載を行う際の搬送システムの構成を示す側面図である。
<First Embodiment>
First, the configuration of the transport system according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a side view showing the configuration of the transport system, and FIG. 2 is a side view showing the configuration of the transport system when performing horizontal transfer.
図1において、第1実施形態に係る搬送システムは、走行ローラ115を有する走行部110と、本体部130、移動部140、把持部150、昇降ベルト160及び落下防止部170を有する搬送部120と、アウトリガ部200と、軌道部300とを備えて構成されている。
In FIG. 1, the transport system according to the first embodiment includes a
軌道部300は、天井に敷設されており、例えば鉄やステンレス等の金属から構成される。
The
走行部110は、例えば図示しないモータ等によって走行ローラ115を回転させることで、軌道部300内を走行する。
The traveling
搬送部120は、本体部130が走行部110に吊り下がる形で取り付けられており、本体部130の下面に移動部140が設けられている。移動部140の内部には、把持部150が昇降ベルト160によって取り付けられている。また移動部140の下方には、被搬送物400の落下を防止する落下防止部170が設けられている。尚、移動部140、把持部150、昇降ベルト160及び落下防止部170は本発明の「載置部」の一例である。
The
図2において、搬送部120は、移動部140を本体部130の側方に伸長して、被搬送物400の横移載を行うことも可能である。また、昇降ベルト160の巻出し及び巻取りを行うことで、本体部130と高さの異なる位置にある被搬送物400を移載することも可能である。落下防止部170は、被搬送物400の移載を行う場合には、移載の妨げとならないように縮小させる、或いは移動部140の内部に収納させることが可能である。
In FIG. 2, the
アウトリガ部200は、本体部130の軌道部300に対向する面に設けられており、移動されることによって、軌道部300と接触可能である。また、アウトリガ部200における軌道部300と接触する部分は、ローラである。
The
次に、第1実施形態に係る搬送システムの動作について、引き続き図1及び図2を参照して説明する。尚、ここでは搬送部120が被搬送物400の横移載を行う場合を例にとり説明する。
Next, the operation of the transport system according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. Here, a case where the
図1において、第1実施形態に係る搬送システムの動作時には、先ず被搬送物400を移載していない搬送部120が、走行部110によって被搬送物400を移載する位置に移動される。この際、アウトリガ部200は軌道部300とは接触していない。また、搬送部120の重心は、本体部130のほぼ中心の位置となっている。
In FIG. 1, during the operation of the transport system according to the first embodiment, first, the
図2において、搬送部120は、先ず移動部140を本体部130の側方に移動(即ち、伸長)させる。続いて、昇降ベルト160を巻出すことによって、把持部150を被搬送物台等に設置された被搬送物400の位置まで降下させ、被搬送物400を移載する。この際、移動部140の伸長と共に、搬送部120の重心は伸長と同じ方向(即ち、図における右方向)に移動する。このため、走行部110から吊り下げられている搬送部120は、移動した重心を中心にして傾こうとする。
In FIG. 2, the
ここで本実施形態では特に、移動部140が伸長された際には、アウトリガ部200が鉛直方向上向きに移動されることで軌道部300と接触する。搬送部120は、アウトリガ部200を介して軌道部300からの抗力を受けるため、傾かずに移動部140を伸長する前の姿勢を維持することが可能となる。従って、搬送部120が傾くことによる被搬送物400の破損或いは故障等を防止することができる。
Here, particularly in the present embodiment, when the moving
また、図2に示すように、把持部150を降下させて被搬送物を移載する際には特に、搬送部120が傾くことによって、昇降ベルト160の先端に取り付けられた把持部150の位置は大きく変化してしまい、被搬送物400を把持することが困難となるおそれがある。
In addition, as shown in FIG. 2, the position of the
更に、被搬送物を把持した後には、被搬送物400の重みも加わることで更に重心が移動して、搬送部120の傾きは大きくなる。把持した被搬送物400を被搬送物台等に移載する場合は、被搬送物400の底面と被搬送物台の載置面との位置を互いに平行に近づくようにした方がよいが、搬送部120が傾くことで、把持部150の位置も大きく変化するので、このような位置合わせの動作が著しく困難となってしまう。
Furthermore, after gripping the transported object, the weight of the transported
これに対し、本実施形態では、上述したようにアウトリガ部200によって、搬送部120が傾くことを防止することができる。このため、被搬送物400を把持部150によって把持する際に、被搬送物400と把持部150との位置合わせがより正確に行える。また、把持した被搬送物400を被搬送物台等に移載する場合にも、被搬送物400と被搬送物台との位置合わせがより正確に行える。従って、被搬送物400の移載をより確実に行うことが可能となる。
On the other hand, in this embodiment, as described above, the
更に、アウトリガ部200における軌道部300と接触する部分はローラであるため、アウトリガ部200が軌道部300と接触している場合においても、走行部110による走行が可能である。よって、横移載を行った状態でも搬送部120を傾かせずに走行させることが可能である。このように横移載を行った状態のままで円滑に走行可能であると、ティーチングの際に便利である。
Furthermore, since the portion of the
次に、アウトリガ部200の詳細な構成及び動作について図3及び図4を参照して説明する。ここに図3はアウトリガ部の全体構成を示す上面図であり、図4は、偏心シャフトによるアウトリガ部の駆動を示す側面図である。
Next, a detailed configuration and operation of the
図3において、アウトリガ部200は、ローラ210と、シャフト220と、ベベルギア230と偏心シャフト240とを備えて構成されている。尚、シャフト220には、本発明の「アウトリガ駆動部」の一例であるモータが接続されている。また、ローラ210の表面(即ち、軌道部300と接触する面)は、ウレタンゴムによって構成されている。
In FIG. 3, the
アウトリガ部200の駆動時には、先ずモータの回転がシャフト220に伝えられる。続いて、シャフト220の回転方向が、シャフト220に接続されたベベルギア230によって変換されて、偏心シャフト240に伝えられる。そして、偏心シャフト240が回転されることによって、偏心シャフト240に接続されたローラ210が移動され、軌道部300に接触する。
When the
図4において、駆動前のローラ210は、軌道部300に接触していない状態である。そして、駆動によって偏心シャフト240が回転されると、ローラ210全体が回転して鉛直方向上向きへと移動することにより、軌道部300と接触する。軌道部300に接触したローラ210は、ベアリング215を軸にして軌道部300上を回転することが可能である。尚、この際、ローラ210の回転軸と偏心軸とが縦に並ぶように(即ち、図に示すように回転軸及び偏心軸を結ぶ直線と軌道部300における接触面とが垂直になるように)、或いはそれに近付けるようにすることで、ローラ210の回転トルクを小さくでき、よりスムーズな回転を実現することが可能となる。
In FIG. 4, the
次に、アウトリガ部200の変形例について図5及び図6を参照して説明する。ここに図5及び図6は夫々、アウトリガ部の変形例を示す側面図である。尚、図5及び図6においては、モータ等の一部の部材を省略して図示してある。
Next, a modified example of the
図5において、ローラ210は、ピニオン250と噛み合わされたラック260に接続されている。このように構成する場合、ピニオン250を回転させることによって、ラック260及びラック260に接続されたローラ210が図における上下方向に駆動される。
In FIG. 5, the
図6において、ローラ210は、本発明の「アクチュエータ」の一例である、リニアアクチュエータに接続されており、リニアアクチュエータを制御することによって、ローラ210が図における上下方向に駆動される。
In FIG. 6, a
このように、アウトリガ部200の構成は、ローラ210を軌道部300に当接させるような方向に駆動できるものであれば、様々な態様をとることが可能である。
As described above, the configuration of the
以上説明したように、第1実施形態に係る搬送システムによれば、横移載を行う場合等に、搬送車100の重心がずれて、搬送車100が傾くことを防止することが可能である。従って、例えば衝撃に弱い半導体等の基板等をより好適に移載し、搬送することが可能である。 As described above, according to the transport system according to the first embodiment, it is possible to prevent the transport vehicle 100 from tilting due to a shift in the center of gravity of the transport vehicle 100 when performing horizontal transfer. . Therefore, for example, a substrate such as a semiconductor that is vulnerable to impact can be transferred and transported more suitably.
<第2実施形態>
次に、第2実施形態に係る搬送システムについて、図7から図11を参照して説明する。ここに図7は、第2実施形態に係る搬送システムにおける、非接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図であり、図8は、第2実施形態に係る搬送システムにおける、接触時のアウトリガ部の構成を示す側面図である。また図9は、センサ部の構成を示す側面図であり、図10及び図11は、第2実施形態に係る搬送システムの変形例の構成を示す側面図である。尚、図7及び図9、並びに図10においては、図3から図6において示したようなローラ210を駆動するための構成は省略して図示してあり、図11においては、仕切り板やセンサ部等を省略して図示してある。また、第2実施形態は、上述の第1実施形態と比べて、アウトリガ部の接触を検出するセンサ部を備えている点で異なり、その他の構成及び動作については概ね同様である。このため第2実施形態では、センサ部の構成及び動作について詳細に説明し、その他の構成及び動作については適宜説明を省略する。
Second Embodiment
Next, a transport system according to the second embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a side view showing a configuration of the outrigger portion at the time of non-contact in the transport system according to the second embodiment, and FIG. 8 is an outrigger portion at the time of contact in the transport system according to the second embodiment. It is a side view which shows the structure of. FIG. 9 is a side view illustrating the configuration of the sensor unit, and FIGS. 10 and 11 are side views illustrating the configuration of a modified example of the transport system according to the second embodiment. 7, 9, and 10, the configuration for driving the
図7において、第2実施形態に係る搬送システムにおけるアウトリガ部200は、ローラ210と、駆動板510と、基準板520と、駆動軸530と、本発明の「付勢手段」の一例であるバネ540と、仕切り板550と、本発明の「接触検出手段」の一例であるセンサ部560とを備えて構成されている。
In FIG. 7, the
駆動板510は、本体部130(図1参照)に固定された基準板520に駆動軸530を介して接続されており、駆動軸530回転軸として回転するように駆動可能とされている。尚、駆動板510にはローラ210及び仕切り板550が固定されており、基準板520にはセンサ部560が固定されている。
The
バネ540は、駆動板510及び基準板520に接続されており、駆動板510を基準板520に引付けるように(即ち、図中の矢印方向に)付勢している。
The
仕切り板550は、金属の板等であって、付勢された状態でセンサ部560に検出されるように配置されている。
The
センサ部560は、例えば、ローラ210が当接していない際の仕切り板550の縁部(図7から図9において、下側の縁の付近にある部分)を挟んで対向配置された一対の発光部561及び受光部562を有する。尚、センサ部560は、接触式のセンサ等から構成されてもよい。
The
図8において、ローラ210が移動されて軌道部300に接触すると、ローラ210は軌道部300によって押下される。ローラ210は駆動板510に固定されているため、ローラ210が押下されるのに伴い、駆動板510も押下される。
In FIG. 8, when the
ここで、駆動板510に固定されていた仕切り板550の位置も変化し(即ち、図中における仕切り板550の右端が、図の上方向に移動する。)、仕切り板550はセンサ部560によって検出されなくなる。以下に、センサ部560による検出について詳細に説明する。
Here, the position of the
図9において、ローラ210が軌道部300に接触していない場合(図7参照)、仕切り板550は、センサ部560の発光部561と受光部562との間に位置する。このため、発光部561から出射された光は受光部562に到達せず、これによりセンサ部560は仕切り板550を検出する。
In FIG. 9, when the
一方、ローラ210が軌道部300に接触している場合(図8参照)、仕切り板550は上述したように、図中における上方向に移動する。このため、発光部561から出射された光は受光部562に到達し、仕切り板550はセンサ部560によって検出されなくなる。
On the other hand, when the
上述したように、仕切り板550が、ローラ210が軌道部300に接触していない場合には検出され、接触している場合には検出されないようにすることで、センサ部560によって、間接的にローラ210が軌道部300に接触したことを検出することができる。
As described above, the
図10において、アウトリガ部200は、ローラ210に接続された仕切り板550を、バネ540によって基準板520側から軌道部300側に押し上げるように構成してもよい。このような場合、仕切り板550はセンサ部560によって、ローラ210が軌道部300に接触していない場合には検出されず、接触している場合に検出される。
In FIG. 10, the
図11において、アウトリガ部200は、ローラ210がバネ540によって押し下げられるように構成してもよい。例えば、図に示すように本体部130(図1参照)等に固定された支持板610と、カム630に噛み合わされた噛合部620との間にバネ540が設けられ、ローラ210が軌道部300から遠ざかる側(即ち、図の下側)に付勢されるように構成される。
In FIG. 11, the
アウトリガ部200が駆動される際には、カム630が駆動モータ650によって、回転軸640を軸にして回転される。これによって、図に示すようにローラ210が押し上げられ、アウトリガ部200は軌道部300と接触するように移動される。
When the
このように、アウトリガ部200の構成は、ローラ210が軌道部300に接触したことをセンサ部560によって検出できるようなものであれば、様々な態様をとることが可能である。
As described above, the configuration of the
以上説明したように、第2実施形態に係る搬送システムによれば、アウトリガ部200の接触を検出するセンサ部560が備えられているため、アウトリガ部200による搬送部120の傾きを防止するという効果が適切に得られているか否かを検出することができる。従って、より好適に搬送部120の傾きを防止することが可能である。
As described above, according to the transport system according to the second embodiment, since the
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed without departing from the gist or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. It is included in the technical scope of the present invention.
110…走行部、115…走行ローラ、120…搬送部、130…本体部、140…移動部、150…把持部、160…昇降ベルト、170…落下防止部、200…アウトリガ部、210…ローラ、215…ベアリング、220…シャフト、230…ベベルギア、240…偏心シャフト、250…ピニオン、260…ラック、270…リニアアクチュエータ、300…軌道部、400…被搬送物、510…駆動板、520…基準板、530…駆動軸、540…バネ、550…仕切り板、560…センサ部、610…支持板、620…噛合部、630…カム、640…回転軸、650…駆動モータ
DESCRIPTION OF
Claims (11)
該軌道部を走行する走行部と、
該走行部に吊り下がる形で取り付けられた本体部及び該本体部から前記軌道部の側方に移動して被搬送物を載置可能である載置部を有する搬送部と、
前記軌道部に対向する前記本体部の面における、前記載置部が側方に移動することによって前記搬送部の重心が移動する方向とは反対方向の縁寄りに設けられており、前記軌道部に向かって移動可能なアウトリガ部と、
前記載置部が側方に移動する際に、前記軌道部に当接するように前記アウトリガ部を移動させるアウトリガ駆動手段と
を備えることを特徴とする搬送システム。 A track section laid on the ceiling,
A traveling unit traveling on the track unit;
A conveying section having a mounting portion can be placed a transported object to move to the side of the track portion from the body portion mounted in the hanging drop form to the traveling portion and the body portion,
On the surface of the main body portion facing the track portion, the track portion is provided near the edge in the direction opposite to the direction in which the center of gravity of the transport portion moves due to the lateral movement of the placement portion, An outrigger portion movable toward
Transport system the mounting section is when moving laterally, characterized in that it comprises a outriggers driving means for moving the outrigger portion so as to abut the track section.
前記アウトリガ駆動手段は、前記偏心シャフトを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送システム。 The outrigger portion is connected to an eccentric shaft;
5. The transport system according to claim 1, wherein the outrigger driving unit moves the outrigger portion by rotating the eccentric shaft. 6.
前記アウトリガ駆動手段は、前記ピニオンを回転させることで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送システム。 The outrigger portion is connected to a rack meshed with a pinion,
5. The transport system according to claim 1, wherein the outrigger driving unit moves the outrigger portion by rotating the pinion. 6.
前記アウトリガ駆動手段は、前記アクチュエータを制御することで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送システム。 The outrigger portion is connected to an actuator;
5. The transport system according to claim 1, wherein the outrigger driving unit moves the outrigger portion by controlling the actuator. 6.
前記アウトリガ駆動手段は、前記カムを制御することで、前記アウトリガ部を移動させることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送システム。 The outrigger portion is meshed with a cam,
5. The transport system according to claim 1, wherein the outrigger driving unit moves the outrigger portion by controlling the cam. 6.
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